JP2004345697A - シリンジへの液状樹脂の充填装置及び充填方法 - Google Patents

シリンジへの液状樹脂の充填装置及び充填方法 Download PDF

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Junichi Himeji
淳一 姫路
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Abstract

【課題】注入ノズルからの液垂れを防止する目的で、注入ノズル内に残存する液状樹脂を押し出す際に、液状樹脂が飛散することを防止でき、かつ、真空雰囲気室内の真空度が低下するという問題が生じ難いシリンジへの液状樹脂の充填装置及び充填方法を提供する。
【解決手段】注入ノズル4が、円筒状のノズル本体21と、その先端に移送ホース18が接続される分岐管22と、上下動可能であるプランジャー23とを備えており、プランジャー23を上昇させたときには、ノズル本体21と分岐管22とが連通し、プランジャー23を下降させたときには、プランジャー23の側面で分岐管22の出口26が閉塞されることを特徴とするシリンジへの液状樹脂の充填装置及びこの充填装置を用いた充填方法。
【選択図】 図2

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体パッケージの封止に用いられる液状封止樹脂等の液状樹脂をシリンジ(注入器)に充填する充填装置及び充填方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
液状封止樹脂を用いて半導体パッケージの封止を行うにあたっては、液状封止樹脂をシリンジに充填しておき、シリンジの下端の注出口から液状封止樹脂を注出して滴下することによって行われている。
【0003】
液状封止樹脂等の液状樹脂をシリンジに充填する充填装置として、複数本のシリンジが配置される真空雰囲気室と、真空雰囲気室の外部に配置され液状樹脂がストックされたストックタンクと、ストックタンクと移送ホースによって接続されると共に真空雰囲気室内にあってシリンジの上方に配置され、ストックタンクから供給される液状樹脂をシリンジ内にシリンジ上端の開口部から注入して充填する注入ノズルとを具備しており、ストックタンク内の液状樹脂を注入ノズルに供給し、さらに、注入ノズルから液状樹脂をシリンジ内に注入して充填する充填装置が知られている(例えば特許文献1、2参照。)。
【0004】
このような充填装置ではシリンジへの液状樹脂の注入を終えると、注入ノズルからの液状樹脂の吐出を一旦停止する必要がある。液状樹脂の吐出を一旦停止した際に、注入ノズルの吐出口から液状樹脂が液垂れすると、シリンジの開口部が液状樹脂で汚されたり、シリンジへの液状樹脂の充填量の精度が悪くなる問題があった。そこで、特許文献2では、注入ノズル内に残存する液状樹脂をエアーを用いて押し出して、注入ノズルの吐出口からの液垂れを防止することが提案されている。
【0005】
【特許文献1】
特開2001−2190号公報
【0006】
【特許文献2】
特開2002−326607号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記のように、注入ノズル内に残存する液状樹脂をエアーを用いて押し出して、注入ノズルの吐出口からの液垂れを防止する場合には、エアーによって液状樹脂が飛散して、シリンジの開口部付近等が汚されたり、また、真空雰囲気室内に、外部からのエアーが導入されるため、真空雰囲気室内の真空度が低下するという問題があった。
【0008】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、注入ノズルの吐出口からの液垂れを防止する目的で、注入ノズル内に残存する液状樹脂を押し出す際に、液状樹脂が飛散することを防止でき、その結果、シリンジの開口部付近等が汚されることがなく、かつ、真空雰囲気室内の真空度が低下するという問題が生じ難いシリンジへの液状樹脂の充填装置及び充填方法を提供することを目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係る発明のシリンジへの液状樹脂の充填装置は、上端に開口部を下端に注出口を設けて形成された複数本のシリンジが配置される真空雰囲気室と、真空雰囲気室の外部に配置され液状樹脂がストックされたストックタンクと、ストックタンクと移送ホースによって接続されると共に真空雰囲気室内にあってシリンジの上方に配置され、ストックタンクから供給される液状樹脂をシリンジ内に上端の開口部から注入して充填する注入ノズルとを具備するシリンジへの液状樹脂の充填装置において、前記注入ノズルが、立設されていて、その下端に液状樹脂の吐出口を形成している円筒状のノズル本体と、ノズル本体の側面から延出され、その先端に前記移送ホースが接続される分岐管と、ノズル本体の内壁に摺接しながら上下動可能であるプランジャーとを備えており、プランジャーの先端が分岐管の出口より上方位置に達するまでプランジャーを上昇させたときには、ノズル本体と分岐管とが連通し、プランジャーの先端が吐出口に達する位置までプランジャーを下降させたときには、プランジャーの側面で分岐管の出口が閉塞されることを特徴とする。
【0010】
請求項2に係る発明のシリンジへの液状樹脂の充填装置は、請求項1記載のシリンジへの液状樹脂の充填装置において、プランジャーの先端部を、突出している円錐形状に形成していることを特徴とする。
【0011】
請求項3に係る発明のシリンジへの液状樹脂の充填装置は、請求項1記載のシリンジへの液状樹脂の充填装置において、プランジャーの先端面を、同心円状に配設した複数の円状溝を有する面に形成していることを特徴とする。
【0012】
請求項4に係る発明のシリンジへの液状樹脂の充填装置は、請求項1記載のシリンジへの液状樹脂の充填装置において、プランジャーの先端面を、複数のくぼみを有する面に形成していることを特徴とする。
【0013】
請求項5に係る発明のシリンジへの液状樹脂の充填装置は、請求項1記載のシリンジへの液状樹脂の充填装置において、プランジャーの先端面を、円錐形状の凹部を有する面に形成していることを特徴とする。
【0014】
請求項6に係る発明のシリンジへの液状樹脂の充填方法は、上端に開口部を下端に注出口を設けて形成された複数本のシリンジを真空雰囲気室内に配置し、真空雰囲気室の外部に配置され液状樹脂がストックされたストックタンクから、移送ホースを介して真空雰囲気室内に配置された注入ノズルに液状樹脂を供給し、さらに、注入ノズルから液状樹脂を各シリンジ内に注入して充填するシリンジへの液状樹脂の充填方法において、
前記注入ノズルが、立設されていて、その下端に液状樹脂の吐出口を有する円筒状のノズル本体と、ノズル本体の側面から延出され、その先端に前記移送ホースが接続される分岐管と、ノズル本体の内壁に摺接しながら上下動可能であるプランジャーとを備えており、注入ノズルから液状樹脂をシリンジ内に注入するときは、プランジャーの先端が分岐管の出口より上方位置に達するまでプランジャーを上昇させて、ノズル本体と分岐管とを連通させて吐出口から液状樹脂をシリンジ内に注入し、注入ノズルから液状樹脂をシリンジ内に注入するのを停止するときには、プランジャーの先端が吐出口に達する位置までプランジャーを下降させると共に、プランジャーの側面で分岐管の出口を閉塞することを特徴とする。
【0015】
請求項7に係る発明のシリンジへの液状樹脂の充填方法は、請求項6記載のシリンジへの液状樹脂の充填方法において、注入ノズルから液状樹脂をシリンジ内に注入するのを停止するときに、プランジャーの先端が吐出口に達する位置までプランジャーを下降させた後、プランジャーを上昇させて、プランジャーの先端をノズル本体の吐出口よりノズル本体の内側に収納した位置で、プランジャーの先端に付着した液状樹脂の液切れを行うことを特徴とする。
【0016】
【発明の実施の形態】
図1〜図9に基づいて、本発明の実施形態を説明する。図1は充填装置の全体構成図、図2、図3、図4は注入ノズルの吐出口から液状樹脂を吐出させるステップを説明した説明図である。図5〜図9はプランジャーの先端部を説明するための図である。
【0017】
本発明の実施形態に係るシリンジへの液状樹脂の充填装置1は、図1に示すように、真空雰囲気室2と、ストックタンク3と、注入ノズル4とを具備している。真空雰囲気室2は、アクリル樹脂板等で作製されたものであり、開閉自在に設けた出し入れ口(図示せず)を閉じると密閉状態になるようにしてある。真空雰囲気室2は、その側面に排気筒5が設けてあり、この排気筒5に真空ポンプ6が接続してある。また、真空雰囲気室2は、その側面に真空計7を備えており、真空雰囲気室2内の真空度を測定可能としている。また、真空雰囲気室2は、真空ポンプ6及び真空計7と接続している制御器8によって、真空ポンプ6の動作を制御することにより、真空雰囲気室2内の真空度を所定の真空度に保持できるようにしている。
【0018】
また、真空雰囲気室2内には、上端に開口部9を下端に注出口10を設けて形成された複数本のシリンジ11が配置される。これらのシリンジ11は、シリンジスタンド12の上面に縦方向及び横方向に配列して保持されている。これら、各シリンジ11は、その開口部9を上に、注入口10を下にして保持されている(図2参照)。シリンジスタンド12は、計量秤の上に載置されており、シリンジ11内に注入された液状樹脂14(図2参照)を計量できるようになっている。シリンジスタンド12は、計量秤と共に、スタンド移動装置15によって、水平方法及び垂直方向に移動可能としている。
【0019】
また、この充填装置1では、液状樹脂14がストックされるストックタンク3は、下部がテーパー形状になっており、その下端に樹脂出口16が設けてあり、この樹脂出口16から液状樹脂14を送り出すようにしている。ストックタンク3の外周には、液状樹脂14の温度を調整する温度調整装置17が付設されている。ストックタンク3の樹脂出口16には、移送ホース18の一端が接続されており、移送ホース18の他端は注入ノズル4の分岐管22(図2参照)に接続されている。この注入ノズル4は、真空雰囲気室2内にあってシリンジ11の上方に配置されている。
【0020】
注入ノズル4の分岐管22の先端に位置する供給口20(図2参照)近傍の移送ホース18には樹脂用バルブ27を設けている。樹脂用バルブ27は、前後自在に移動する断面視が略矩形状の押片28と、その対向面に配置されたプレート29とで、移送ホース18を挟んで、液状樹脂14の供給を停止するピンチコック式のものである。
【0021】
注入ノズル4は、ストックタンク3から供給された液状樹脂14を、下端に形成した吐出口19(図2参照)から吐出して、シリンジ11の上端の開口部9からシリンジ11内に注入する。注入ノズル4及びシリンジ11は、真空雰囲気中に配置されるので、液状樹脂14に空気が巻き込まれることなしに、液状樹脂14をシリンジ11内に充填することができる。
【0022】
また、注入ノズル4は、図2に示すように、立設されていて、その下端に液状樹脂14の吐出口19を形成している円筒状のノズル本体21と、ノズル本体21の側面から延出され、その先端に前記移送ホース18が接続される分岐管22と、ノズル本体21の内壁に摺接しながら上下動可能であるプランジャー23とを備えている。プランジャー23は、プランジャー駆動用シリンダー25によって、ノズル本体21の内壁に摺接しながら上下動できるようにしている。なお、プランジャー23がノズル本体21の内壁に摺接する部分は、円筒形状としている。
【0023】
そして、プランジャー23の先端24が分岐管22の出口26より上方位置に達するまでプランジャー23を上昇させたときには、ノズル本体21と分岐管22とが連通し、プランジャー23の先端24が吐出口19に達する位置までプランジャー23を下降させたときには、プランジャー23の側面で分岐管の出口26が閉塞される。なお、分岐管22の先端側が、移送ホース18から液状樹脂14が供給される供給口22となり、分岐管22のノズル本体21側が出口26となる。
【0024】
ノズル本体21及び分岐管22の材質は、鉄、ステンレス等の金属又はフッ素樹脂などのプラスチック類であることが耐久性等の点で好ましく、プランジャー23の材質は、鉄、ステンレス等の金属又はフッ素樹脂などのプラスチック類であることが耐久性等の点で好ましい。
【0025】
そして、プランジャー23の先端部30の形状について、図2で示すものは先端24を平坦面に形成している例であり、プランジャー23の作製が容易であるという利点がある。
【0026】
以下、上記のシリンジへの液状樹脂の充填装置1を用いて、液状樹脂14をシリンジ11内に注入して充填する充填方法について、図2〜図4に基づいて説明する。
【0027】
液状樹脂14のシリンジ11内への充填を開始する前の段階では、図3に示すように、樹脂用バルブ27の押片28を前進させ、押片28とプレート29とで移送ホース18を挟んで締めて、移送ホース18から、注入ノズル4への液状樹脂14の供給を停止すると共に、注入ノズル4が備えるプランジャー23を下降させて、プランジャー23の側面で分岐管の出口26を閉塞した状態にしている。
【0028】
そして、液状樹脂14をシリンジ11内に充填するときには、図2に示すように、プランジャー23の先端24が分岐管22の出口26より上方位置に達するまでプランジャー23を上昇させて、ノズル本体21と分岐管22とを連通すると共に、樹脂用バルブ27の押片28を後退させ、押片28とプレート29とで移送ホース18を挟むのを解除して、液状樹脂14を、注入ノズル4の供給口20から注入ノズル4に供給し、さらに、その液状樹脂14を注入ノズル4の下端の吐出口19から吐出させて、シリンジ11内に注入する。
【0029】
そして、シリンジ11内に所定量の液状樹脂14が供給されたところで、図3に示すように、樹脂用バルブ27の押片28を前進させ、押片28とプレート29とで移送ホース18を挟んで締めて、移送ホース18から、注入ノズル4への液状樹脂14の供給を停止すると共に、プランジャー23の先端24が吐出口19に達する位置までプランジャー23を下降させる。このプランジャー23の下降動作に伴って、ノズル本体21中に残存した液状樹脂14を吐出口19から、シリンジ11内に注入する。そして、プランジャー23の先端24が吐出口19に達する位置までプランジャー23を下降させたときには、プランジャー23の側面で分岐管の出口26は閉塞されるようにしている。
【0030】
このようにして、シリンジ11内への液状樹脂14の充填を行うと、プランジャー23の下降動作に伴って、ノズル本体21内から液状樹脂14は押し出されるため、注入ノズル4の吐出口19からの液垂れが防止される。
【0031】
なお、図3に示すように、プランジャー23の先端24には、液切れ後の液状樹脂14が若干量残存する。そこで、プランジャーの先端24がノズル本体21の吐出口19に達する位置までプランジャー23を下降させた後、図4に示すように、プランジャー23を上昇させて、プランジャーの先端24をノズル本体21の吐出口19よりノズル本体21の内側に収納した位置で、プランジャーの先端24に付着した液状樹脂14の液切れを行うようにすると、若干量残存する液切れ後の液状樹脂14は、プランジャーの先端24とノズル本体21の内面とで形成される凹部で保持されるため、時間が経過しても下方に落下することがないので、より確実に吐出口19からの液垂れが防止されるので好ましい。
【0032】
また、この充填方法によれば、エアーを用いて注入ノズル内に残存する液状樹脂を押し出す場合の問題であった、液状樹脂の飛散を防止でき、かつ、真空雰囲気室内の真空度が低下する問題が生じ難くなる。
【0033】
このように、上記のシリンジへの液状樹脂の充填装置1を用いた充填方法によれば、注入ノズル4内に残存する液状樹脂14を押し出す際に、液状樹脂14が飛散することを防止でき、その結果、シリンジの開口部9付近等が汚されることがなく、かつ、真空雰囲気室2内の真空度が低下するという問題が生じ難くなる。
【0034】
以上、プランジャー23の先端部30の形状について、図5に示すように、プランジャー23の先端面31を平坦面に形成している場合について説明したが、この実施形態のシリンジへの液状樹脂の充填装置1では、プランジャー23の先端部30の形状について、以下に述べる各種のバリエーションを採用することができる。
【0035】
図6は、プランジャー23の先端部30を、外方に突出している円錐形状に形成している例を示すものであり、先端面31が先細りするテ−パー状となるため、プランジャー23の先端面31に付着した液状樹脂14の液切れ性が向上するので好ましい。特に、粘度が30〜100Pa・sの比較的低粘度の液状樹脂14の場合には、先端部30を外方に突出している円錐形状に形成していると、液垂れの成長、脱落が早まる傾向があるので、好ましい。
【0036】
図7は、プランジャー23の先端部30の先端面31を、同心円状に配設した複数の円状溝32を有する面に形成している例を示すものであり、この先端部30は、液切れ後に先端面31に付着した液状樹脂14を、表面張力の作用で保持する性質が強いので、液垂れ防止に効果があり、好ましい。特に、粘度が300〜600Pa・sの中・高粘度の液状樹脂14の場合に、液垂れ防止効果が顕著となる。
【0037】
図8は、プランジャー23の先端部30の先端面31を、複数のくぼみ32を有する面に形成している例を示すものであり、この先端部30は、液切れ後に先端面31に付着した液状樹脂14を、表面張力の作用で保持する性質が強いので、液垂れ防止に効果があり、好ましい。特に、粘度が300〜600Pa・sの中・高粘度の液状樹脂14の場合に、液垂れ防止効果が顕著となる。
【0038】
図9は、プランジャー23の先端部30の先端面31を、円錐形状の凹部を有する面に形成している例を示すものであり、円錐形状の凹部は、先端面31に付着した液状樹脂14の液切れ性を向上させると共に、液切れ後に先端面31に付着した液状樹脂14を保持する性質があるので、液垂れ防止に効果があり、好ましい。特に、粘度が30〜600Pa・sの粘度の液状樹脂14の場合に、液垂れ防止効果が顕著となる。
【0039】
【発明の効果】
請求項1に係る発明のシリンジへの液状樹脂の充填装置は、上記の構成を有しているので、注入ノズルの吐出口からの液垂れを防止する目的で、注入ノズル内に残存する液状樹脂を押し出す際に、液状樹脂が飛散することを防止でき、その結果、シリンジの開口部付近が汚されることがなく、かつ、真空雰囲気室内の真空度が低下し難いという効果を奏する。
【0040】
請求項2に係る発明のシリンジへの液状樹脂の充填装置は、請求項1の効果に加えて、プランジャーの先端面に付着した液状樹脂の液切れ性が向上するという効果を奏する。
【0041】
請求項3及び請求項4に係る発明のシリンジへの液状樹脂の充填装置は、請求項1の効果に加えて、液切れ後にプランジャーの先端面に付着した液状樹脂が、プランジャーの先端部で保持されるため、より確実に液垂れを防止できるという効果を奏する。
【0042】
請求項5に係る発明のシリンジへの液状樹脂の充填装置は、請求項1の効果に加えて、円錐形状の凹部は、プランジャーの先端面に付着した液状樹脂の液切れ性を向上させると共に、液切れ後に先端面に付着した液状樹脂が、プランジャーの先端部で保持されるため、より確実に液垂れを防止できるという効果を奏する。
【0043】
請求項6に係る発明のシリンジへの液状樹脂の充填方法によれば、注入ノズルの吐出口からの液垂れを防止する目的で、注入ノズル内に残存する液状樹脂を押し出す際に、液状樹脂が飛散することを防止でき、その結果、シリンジの開口部付近が汚されることがなく、かつ、真空雰囲気室内の真空度が低下し難いという効果を奏する。
【0044】
請求項7に係る発明のシリンジへの液状樹脂の充填方法によれば、請求項6の効果に加えて、プランジャーの先端に若干量残存する液切れ後の液状樹脂が、プランジャーの先端とノズル本体の内面とで形成される凹部で保持されるため、時間が経過しても下方に落下することがなく、より確実に吐出口からの液垂れを防止できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態の充填装置の全体構成図である。
【図2】液状樹脂を吐出させるステップの説明図である。
【図3】液状樹脂を吐出させる際の図2に続くステップの説明図である。
【図4】液状樹脂を吐出させる際の図3に続くステップの説明図である。
【図5】先端が平坦なプランジャーの先端部を示す斜視図である。
【図6】突出している円錐形状に形成したプランジャー先端部を示す斜視図である。
【図7】複数の円状溝を有しているプランジャー先端部を示す(a)は斜視図、(b)は断面図である。
【図8】複数のくぼみを有しているプランジャー先端部を示す(a)は斜視図、(b)は断面図である。
【図9】円錐形状の凹部を有しているプランジャー先端部を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 充填装置
2 真空雰囲気室
3 ストックタンク
4 注入ノズル
9 開口部
10 注出口
11 シリンジ
12 シリンジスタンド
14 液状樹脂
18 移送ホース
19 吐出口
20 供給口
21 ノズル本体
22 分岐管
23 プランジャー
24 先端
25 シリンダー
26 出口
27 樹脂用バルブ
30 先端部
31 先端面
32 円状溝
33 くぼみ

Claims (7)

  1. 上端に開口部を下端に注出口を設けて形成された複数本のシリンジが配置される真空雰囲気室と、真空雰囲気室の外部に配置され液状樹脂がストックされたストックタンクと、ストックタンクと移送ホースによって接続されると共に真空雰囲気室内にあってシリンジの上方に配置され、ストックタンクから供給される液状樹脂をシリンジ内に上端の開口部から注入して充填する注入ノズルとを具備するシリンジへの液状樹脂の充填装置において、
    前記注入ノズルが、立設されていて、その下端に液状樹脂の吐出口を有する円筒状のノズル本体と、ノズル本体の側面から延出され、その先端に前記移送ホースが接続される分岐管と、ノズル本体の内壁に摺接しながら上下動可能であるプランジャーとを備えており、プランジャーの先端が分岐管の出口より上方位置に達するまでプランジャーを上昇させたときには、ノズル本体と分岐管とが連通し、プランジャーの先端が吐出口に達する位置までプランジャーを下降させたときには、プランジャーの側面で分岐管の出口が閉塞されることを特徴とするシリンジへの液状樹脂の充填装置。
  2. プランジャーの先端部を、突出している円錐形状に形成していることを特徴とする請求項1記載のシリンジへの液状樹脂の充填装置。
  3. プランジャーの先端面を、同心円状に配設した複数の円状溝を有する面に形成していることを特徴とする請求項1記載のシリンジへの液状樹脂の充填装置。
  4. プランジャーの先端面を、複数のくぼみを有する面に形成していることを特徴とする請求項1記載のシリンジへの液状樹脂の充填装置。
  5. プランジャーの先端面を、円錐形状の凹部を有する面に形成していることを特徴とする請求項1記載のシリンジへの液状樹脂の充填装置。
  6. 上端に開口部を下端に注出口を設けて形成された複数本のシリンジを真空雰囲気室内に配置し、真空雰囲気室の外部に配置され液状樹脂がストックされたストックタンクから、移送ホースを介して真空雰囲気室内に配置された注入ノズルに液状樹脂を供給し、さらに、注入ノズルから液状樹脂を各シリンジ内に注入して充填するシリンジへの液状樹脂の充填方法において、
    前記注入ノズルが、立設されていて、その下端に液状樹脂の吐出口を有する円筒状のノズル本体と、ノズル本体の側面から延出され、その先端に前記移送ホースが接続される分岐管と、ノズル本体の内壁に摺接しながら上下動可能であるプランジャーとを備えており、注入ノズルから液状樹脂をシリンジ内に注入するときは、プランジャーの先端が分岐管の出口より上方位置に達するまでプランジャーを上昇させて、ノズル本体と分岐管とを連通させて吐出口から液状樹脂をシリンジ内に注入し、注入ノズルから液状樹脂をシリンジ内に注入するのを停止するときには、プランジャーの先端が吐出口に達する位置までプランジャーを下降させると共に、プランジャーの側面で分岐管の出口を閉塞することを特徴とするシリンジへの液状樹脂の充填方法。
  7. 注入ノズルから液状樹脂をシリンジ内に注入するのを停止するときに、プランジャーの先端が吐出口に達する位置までプランジャーを下降させた後、プランジャーを上昇させて、プランジャーの先端をノズル本体の吐出口よりノズル本体の内側に収納した位置で、プランジャーの先端に付着した液状樹脂の液切れを行うことを特徴とする請求項6記載のシリンジへの液状樹脂の充填方法。
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