JP2004341542A - 液晶パネルの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【構成】ラインガン13内部にHeとO2の混合気体15を導入し、ラインガン先端部にRF電源14からの高周波によって発生したプラズマ16部分に電気的に設置したステージ17上に乗せた液晶パネル18の端子部分19を重ねる。
【選択図】 図1
Description
図1は本発明に係る液晶表示装置の製造方法の第1実施例の要部を示す図である。まず構成を説明する。ステンレスからなる中空の電極11内部にアルミナ12を溶射して前記電極内部を気体が通過できる吹き出し型のラインガン13とする。該ラインガンをRF電源14と電気的に接続して、図1のような装置構成とする。この状態で前記吹き出し型ラインガン13内部にHeとO2の混合気体15を導入後、前記RF電源14をONにしてプラズマ16を発生させる。このとき、前記ラインガン13の直下には電気的に接地されたステージ17上に全面に配向膜を塗布された液晶パネル18の端子部分19にプラズマが当たるように設置した。前記ラインガン先端と前記液晶パネル端子部分との間隔は約5mmで一定になるように、また端子エッジ部とをラインガンの先端が近付くと異常放電が起こるので、プラズマの発生中心が端子部の平坦部に来るように配置した。
図2は本発明に係る液晶表示装置の製造方法の第2実施例の要部を示す図である。まず構成を説明する。実施例1で説明した電極21をステンレスからなる枠状の構造とする。該電極21内部にアルミナ22を溶射して前記電極内部を気体が通過できる吹き出し型プレートガン23とする。該プレートガン23とRF電源24と電気的に接続して、図2のような装置構成とする。この状態で前記吹き出し型プレートガン23内部にHeとO2の混合気体15を導入後、前記RF電源24をONにしてプラズマ26を発生させる。このとき、前記プレートガン23の直下には電気的に接地されたステージ27上に液晶パネル28を乗せた。該液晶パネル28は端子部分29を含めてパネル内面全面に配向膜が塗布されており、前記プレートガン23の直下約5mmの位置にパネル全面がプレートガンで隠れるように配置した。
図3は本発明に係る液晶表示装置の実施例の要部を示す図である。本発明のプラズマ処理を施す前の液晶パネルを図4に示す。ここでは対向する透明電31極付ガラス基板32の内面全面に配向膜33が塗布されている。従って、前記液晶パネルの端子部分も配向膜で被われているため、このままでは外部駆動回路と電気的に接続できないが、本発明のプラズマ処理を施すことにより端子部分の配向膜が除去されて図3に示す液晶パネルになる。
図5は本発明に係る液晶表示装置の製造方法の第1実施例の要部を示す図である。まず構成を説明する。ステンレスからなる中空の電極41内部にアルミナ42を溶射して前記電極内部を気体が通過できる吹き出し型のラインガン43とする。該ラインガンをRF電源44と電気的に接続して、図5のような装置構成とする。この状態で前記吹き出し型ラインガン43内部にHeとO2の混合気体45を導入後、前記RF電源44をONにしてプラズマ46を発生させる。このとき、前記ラインガン43の直下には電気的に接地されたステージ47上に全面に絶縁膜を塗布された液晶パネル48の端子部分49にプラズマが当たるように設置した。前記ラインガン先端と前記液晶パネル端子部分との間隔は約5mmで一定になるように、また端子エッジ部とをラインガンの先端が近付くと異常放電が起こるので、プラズマの発生中心が端子部の平坦部に来るように配置した。
図6は本発明に係る液晶表示装置の製造方法の第2実施例の要部を示す図である。まず構成を説明する。実施例4で説明した電極51をステンレスからなる枠状の構造とする。該電極51内部にアルミナ52を溶射して前記電極内部を気体が通過できる吹き出し型プレートガン53とする。該プレートガン53とRF電源54と電気的に接続して、図6のような装置構成とする。この状態で前記吹き出し型プレートガン53内部にHeとO2の混合気体55を導入後、前記RF電源54をONにしてプラズマ56を発生させる。このとき、前記プレートガン53の直下には電気的に接地されたステージ57上に液晶パネル58を乗せた。該液晶パネル58は端子部分59を含めてパネル内面全面に絶縁膜が塗布されており、前記プレートガン53の直下約5mmの位置にパネル全面がプレートガンで隠れるように配置した。
図7は本発明に係る液晶表示装置の実施例の要部を示す図である。本発明のプラズマ処理を施す前の液晶パネルを図8に示す。ここでは対向する透明電極61付ガラス基板62の内面全面に絶縁膜63が塗布されている。従って、前記液晶パネルの端子部分も絶縁膜で被われているため、このままでは外部駆動回路と電気的に接続できないが、本発明のプラズマ処理を施すことにより端子部分の配向膜が除去されて図7に示す液晶パネルになる。
図9は本発明に係る液晶表示装置の製造方法の第1実施例の要部を示す図である。まず構成を説明する。ステンレスからなる中空の電極71内部にアルミナ72を溶射して前記電極内部を気体が通過できる吹き出し型のラインガン73とする。該ラインガンをRF電源74と電気的に接続して、図9のような装置構成とする。この状態で前記吹き出し型ラインガン73内部にHeとO2の混合気体75を導入後、前記RF電源74をONにしてプラズマ76を発生させる。このとき、前記ラインガン73の直下には電気的に接地されたステージ77上に全面に配向膜と絶縁膜を塗布された液晶パネル78の端子部分79にプラズマが当たるように設置した。前記ラインガン先端と前記液晶パネル端子部分との間隔は約5mmで一定になるように、また端子エッジ部とをラインガンの先端が近付くと異常放電が起こるので、プラズマの発生中心が端子部の平坦部に来るように配置した。
図10は本発明に係る液晶表示装置の製造方法の第2実施例の要部を示す図である。まず構成を説明する。実施例8で説明した電極81をステンレスからなる枠状の構造とする。該電極81内部にアルミナ82を溶射して前記電極内部を気体が通過できる吹き出し型プレートガン83とする。該プレートガン83とRF電源84と電気的に接続して、図10のような装置構成とする。この状態で前記吹き出し型プレートガン83内部にHeとO2の混合気体85を導入後、前記RF電源84をONにしてプラズマ86を発生させる。このとき、前記プレートガン83の直下には電気的に接地されたステージ87上に液晶パネル88を乗せた。該液晶パネル88は端子部分89を含めてパネル内面全面に配向膜と絶縁膜が塗布されており、前記プレートガン83の直下約5mmの位置にパネル全面がプレートガンで隠れるように配置した。
図11は本発明に係る液晶表示装置の実施例の要部を示す図である。本発明のプラズマ処理を施す前の液晶パネルを図12に示す。ここでは対向する透明電極91付ガラス基板92の内面全面に配向膜と絶縁膜93が塗布されている。従って、前記液晶パネルの端子部分も配向膜と絶縁膜で被われているため、このままでは外部駆動回路と電気的に接続できないが、本発明のプラズマ処理を施すことにより端子部分の配向膜と配向膜が除去されて図11に示す液晶パネルになる。
12、22、42、52、72、82 ・・・アルミナ
13、43、73・・・ラインガン
23、53、83・・・プレートガン
14、24、44、54、71、82・・・RF電源
15、25、45、55、75、85・・・HeとO2の混合気体
16、26、46、56、76、86・・・プラズマ
17、27、47、57、77、87・・・ステージ
18、28、48、58、78、88・・・液晶パネル
19、29、49、59、79、89・・・端子部分
31、61、91・・・透明電極
32、62、92・・・ガラス基板
33、93・・・配向膜
63、94・・・絶縁膜
Claims (3)
- 端子部が形成された一方の基板と他方の基板とを対向配置し、前記一方の基板と前記他方の基板の間に液晶組成物が封入されてなる液晶パネルの製造方法において、
前記一方の基板と前記他方の基板を貼り合せて液晶パネルを形成し、
しかる後に、前記端子部上に形成された配向膜を大気圧下におけるプラズマ処理により除去する工程を有する
ことを特徴とする液晶パネルの製造方法。 - 端子部が形成された一方の基板と他方の基板とを対向配置し、前記一方の基板と前記他方の基板の間に液晶組成物が封入されてなる液晶パネルの製造方法において、
前記一方の基板と前記他方の基板を貼り合せて液晶パネルを形成し、
しかる後に、前記端子部上に形成された絶縁膜を大気圧下におけるプラズマ処理により除去する工程を有する
ことを特徴とする液晶パネルの製造方法。 - 端子部が形成された一方の基板と他方の基板とを対向配置し、前記一方の基板と前記他方の基板の間に液晶組成物が封入されてなる液晶パネルの製造方法において、
前記一方の基板と前記他方の基板を貼り合せて液晶パネルを形成し、
しかる後に、前記端子部上に形成された絶縁膜とその上に形成された配向膜を大気圧下におけるプラズマ処理により除去する工程を有する
ことを特徴とする液晶パネルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004183884A JP3716854B2 (ja) | 2004-06-22 | 2004-06-22 | 液晶パネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004183884A JP3716854B2 (ja) | 2004-06-22 | 2004-06-22 | 液晶パネルの製造方法 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5914395A Division JP3590433B2 (ja) | 1995-03-17 | 1995-03-17 | 液晶パネルの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004341542A true JP2004341542A (ja) | 2004-12-02 |
JP3716854B2 JP3716854B2 (ja) | 2005-11-16 |
Family
ID=33535841
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004183884A Expired - Lifetime JP3716854B2 (ja) | 2004-06-22 | 2004-06-22 | 液晶パネルの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007084843A (ja) * | 2005-09-20 | 2007-04-05 | Konica Minolta Holdings Inc | 薄膜形成方法および該薄膜形成方法により製造された物品 |
JP2007311757A (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-29 | Ind Technol Res Inst | フィルム除去方法およびフィルム除去装置 |
US7733451B2 (en) | 2005-07-12 | 2010-06-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Liquid crystal display, method of manufacturing the same, and apparatus manufacturing the same |
-
2004
- 2004-06-22 JP JP2004183884A patent/JP3716854B2/ja not_active Expired - Lifetime
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US8075790B2 (en) | 2006-05-15 | 2011-12-13 | Industrial Technology Research Institute | Film removal method and apparatus |
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