JP2004337728A

JP2004337728A - Droplet discharging apparatus, electro-optical device production method, electro-optical device, and electronic device

Info

Publication number: JP2004337728A
Application number: JP2003136482A
Authority: JP
Inventors: Seigo Mizutani; 誠吾水谷
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2003-05-14
Filing date: 2003-05-14
Publication date: 2004-12-02
Anticipated expiration: 2023-05-14
Also published as: JP4352758B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a droplet discharging apparatus which can do the drawing treatment of a work precisely and promptly without making the constitution of the apparatus complex, an electro-optical device production method, an electro-optical device, and an electronic device. <P>SOLUTION: The droplet discharging apparatus 1 is composed of a set table 63, a main scanning means 21 sending the work W relatively in the main scanning direction through the set table 63, a linear scale 203, and a linear sensor 205 and has a linear encoder 202 continuously detecting the moving position of the work W and a control means 5 controlling the main scanning means 21 and a functional liquid discharging head 32 based on the positional information of the linear encoder 202. The linear sensor 205 is mounted on a head unit 13. The linear scale 203 is located between the set table 63 and the work W and attached to a scale mask 211 of a thermal expansion coefficient equal to that of the work W. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、多数の画素領域が形成されたワークに対して、機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら当該機能液滴吐出ヘッドを選択的に吐出駆動させることにより、画素領域内に機能液を吐出させる液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液滴吐出装置の一種として、記録ヘッド（機能液滴吐出ヘッド）を主走査方向に移動させながら記録を行う１ラインの印刷と、印刷した１ライン分の被記録材（ワーク）の間欠送りと、を繰り返すことにより印刷を行うインクジェット記録装置が従来から知られている。インクジェット記録装置には、被記録材に対する記録ヘッドの記録タイミングを取るために、記録ピッチ密度で多数の検出線やスリットを有するリニアエンコーダが設けられており、インクジェット記録装置では、リニアエンコーダのスリット数等をカウントして記録ヘッドの位置検出を行いながら記録ヘッドの駆動を行っている。
【０００３】
そして、リニアエンコーダは、環境温度等に影響されて、（スリットの間隔が）変寸するため、インクジェット記録装置では、記録ヘッドの移動距離および移動速度に基づいてリニアエンコーダの変寸量を演算し、リニアエンコーダの変寸量に応じて記録ヘッドの記録タイミングを補正することにより、記録画像（記録ドット）の位置ずれを防止している（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平７−１３２５９４号公報（第２頁−第５頁、第１０図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
工業応用の液滴吐出装置では、単に記録画像の位置ずれを防止するだけではなく、ワークの所定位置（バンク部により形成された凹部開口内）に極めて高い吐出精度で機能液を吐出することが要求されている。したがって、環境温度等に起因したワークの膨張により、ワークとリニアエンコーダ（のスリット）と位置関係が変化すると、ワークの所定位置に機能液を吐出させることができなくなるため、液滴吐出装置では、リニアエンコーダの変寸量のみならず、ワークの熱膨張等を考慮に入れる必要がある。しかしながら、上記のインクジェット記録装置のように、リニアエンコーダの変寸量およびワークの膨張量を演算処理で求め、これらの値に基づいて記録ヘッドの記録タイミングを補正しようとした場合、演算処理を行う演算装置が必要となるうえ、演算処理に時間を要するため、ワークに対する描画処理が遅くなるといった問題が生じる。
【０００６】
そこで、本発明は、装置構成を複雑化することなく、ワークに対して精度良くかつ迅速に描画処理を行うことができる液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットに対し、透光性のワークを主走査方向に相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出してワークの表面に描画を行う液滴吐出装置において、ワークをセットするセットテーブルと、セットテーブルを介してワークを主走査方向に相対的に送る主走査手段と、主走査方向に延在するリニアスケールおよびリニアスケールに臨むリニアセンサから成り、主走査手段によって相対的に送られてゆくワークの移動位置を連続的に検出するリニアエンコーダと、リニアエンコーダの位置情報に基づいて、主走査手段の駆動および機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御する制御手段と、を備え、リニアセンサは、ヘッドユニットに搭載され、リニアスケールは、セットテーブルとワークとの間に介設され、ワークと同一熱膨張率のスケールマスクに付されていることを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、リニアスケールが付されたスケールマスクは、ワークと同一の熱膨張率を有しているので、リニアセンサは、環境温度に依存することなく、ワークの位置情報を正確に検出可能である。すなわち、環境温度が変化しても、スケールマスクはワークと同様に膨張するので、リニアスケールとワークとの相対的な位置関係が変化することなく、リニアスケールに基づいて、精度良くワークの位置情報を検出することが可能である。また、リニアスケールは、同種のワークに対して汎用的に用いることができる一方、ワークの種類に合わせてスケールマスクを交換することにより、どんなワークに対しても正確にワークの位置情報を検出することができ、精度良く機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御することができる。
【０００９】
この場合、ワークは、ガラス基板で構成され、スケールマスクは、板状のガラスで構成されていることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、ワークがガラス基板で構成されているので、ワークを介して、スケールマスクに付されたリニアスケールを検出することが可能である。また、スケールマスクは、ワークと同じガラスで構成されているので、スケールマスクとワークとの熱膨張率を全く同一にすることができる。
【００１１】
この場合、ワークは、ガラス基板で構成され、スケールマスクは、樹脂製のシートで構成されていることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、スケールマスクが樹脂製のシートで構成されているため、スケールマスクの加工が容易であり、スケールマスクの製造コストを抑えることが可能である。
【００１３】
これらの場合、スケールマスクは、透光性を有する部材で構成され、リニアスケールは、スケールマスクの裏面に付されていることが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、スケールマスクの裏面にリニアスケールが形成されているので、リニアスケールとワークが直接接触することがない。したがって、スケールマスクに対するワークの載せ換えを繰り返しても、リニアスケールが損傷することがなく、スケールマスクの耐久性を高めることができる。
【００１５】
この場合、セットテーブルは、ワークを吸着してセットする吸着テーブルを有し、スケールマスクには、吸着テーブルの吸引孔に連通する貫通孔が形成されていることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、吸着テーブルの吸引孔に連通する貫通孔が形成されているので、ワークをスケールマスク上に不動に吸着固定することができる。
【００１７】
この場合、ワークの表面には、行方向および列方向に延在するバンク部により多数の凹部開口がマトリクス状に形成され、機能液滴吐出ヘッドは開口凹部内に機能液滴を吐出することで描画を行い、リニアスケールは、主走査方向である行方向における多数の凹部開口のピッチと合致する多数の検出線を有していることが好ましい。
【００１８】
これらの構成によれば、スケールマスクには、機能液滴を吐出させる凹部開口の行方向（主走査方向）におけるピッチと合致して、多数のリニアスケールの検出線が付されているので、機能液滴の吐出位置と対応させて、ワークの移動情報を検出することができる。したがって、検出線に基づいて、機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動を行うことにより、凹部開口内に精度良く機能液滴を吐出させることができる。
【００１９】
この場合、スケールマスクに対しワークは、各検出線が行方向に隣接するバンク部の中間に位置するようにセットされていることが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、スケールマスクに対し、各検出線が行方向に隣接するバンク部の中間に位置するようにワークがセットされるので、リニアスケールの各検出線が凹部開口の中心に位置し、ワークをセットした状態でも、各検出線を容易に検出することができる。また、検出線が凹部開口の中心に位置しているため、制御手段による検出線の検出信号の受信タイミングに基づいて、機能液滴吐出ヘッドの駆動タイミングを制御することにより、凹部開口の略中心に機能液を吐出させることが可能である。
【００２１】
この場合、機能液滴吐出ヘッドのノズル列の列方向は、主走査方向に直交しており、ノズル列と、ヘッドユニットに設けたリニアセンサの検出端とは、主走査方向において同位置に配設されていることが好ましい。
【００２２】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドのノズル列と、リニアセンサの検出端とは、主走査方向において同位置に配設されているので、リニアセンサによる各検出線の検出をトリガとして機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動を行うことにより、凹部開口の略中央に機能液滴を吐出させることができる。
【００２３】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２４】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２５】
これらの構成によれば、環境温度に依存せず、正確にワークの位置情報を検出できる液滴吐出装置を用いて製造されるため、電気光学装置を極めて精度良く製造することが可能となる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（ＰｌａｓｍａＤｉｓｐｌａｙＰａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（ＦｉｅｌｄＥｍｉｓｓｉｏｎＤｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２６】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２７】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置について説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、いわゆるフラットパネルディスプレイの一種である有機ＥＬ装置の製造ラインに組み込まれるものであり、有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子を形成するものである。
【００２９】
ここでは先ず、液滴吐出装置の説明に先立ち、有機ＥＬ装置の構造および製造工程について簡単に説明する。図１は、有機ＥＬ装置の断面図を示した図である。同図に示すように、有機ＥＬ装置７０１は、基板７１１、回路素子部７２１、画素電極７３１、バンク部７４１、発光素子７５１、陰極７６１（対向電極）、および封止用基板７７１から構成された有機ＥＬ素子７０２に、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。
【００３０】
同図に示すように、有機ＥＬ素子７０２の基板７１１上には、回路素子部７２１が形成され、回路素子部７２１上には、複数の画素電極７３１が整列している。そして、各画素電極７３１間には、バンク部７４１が格子状に形成されており、バンク部７４１により生じた凹部開口７４４に、発光素子７５１が形成されている。バンク部７４１および発光素子７５１の上部全面には、陰極７６１が形成され、陰極７６１の上には、封止用基板７７１が積層されている。
【００３１】
有機ＥＬ素子７０２の製造プロセスは、バンク部７４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子７５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子７５１を形成する発光素子形成工程と、陰極７６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。すなわち、有機ＥＬ素子７０２は、予め回路素子部７２１および画素電極７３１が形成された基板７１１（ワークＷ）の所定位置にバンク部７４１を形成した後、プラズマ処理、発光素子７５１および陰極７６１（対向電極）の形成を順に行い、さらに、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止することにより製造される。なお、有機ＥＬ素子７０２は、大気中の水分等の影響を受けて劣化しやすいため、有機ＥＬ素子７０２の製造は、ドライエアーまたは不活性ガス（窒素、アルゴン、ヘリウム等）雰囲気で行うことが好ましい。
【００３２】
また、各発光素子７５１は、正孔注入／輸送層７５２およびＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）のいずれかの色に着色された発光層７５３から成る成膜部で構成されており、発光素子形成工程には、正孔注入／輸送層７５２を形成する正孔注入／輸送層形成工程と、３色の発光層７５３を形成する発光層形成工程と、が含まれている。この場合、上記バンク部７４１により形成したマトリクス状の多数の凹部開口７４４に対し、３色の発光層７５３の配列は、例えば図２に示すように、ストライプ配列（同図（ａ））、モザイク配列（同図（ｂ））およびデルタ配列（同図（ｃ））が知られている。
【００３３】
そして、有機ＥＬ装置７０１は、有機ＥＬ素子７０２を製造した後、有機ＥＬ素子７０２の陰極７６１にフレキシブル基板の配線を接続すると共に、駆動ＩＣに回路素子部７２１の配線を接続することにより製造される。
【００３４】
本実施形態の液滴吐出装置は、注入／輸送層形成工程に用いるものと、発光層形成工程に用いるものとがあるが、装置自体は同一構造のものが用いられるため、ここでは、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の発光層７５３を形成するための液滴吐出装置を例に、詳細に説明する。
【００３５】
図３の平面模式図に示すように、実施形態の液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上の全域に広く載置された描画装置３と、描画装置３に添設するように機台２上に載置したヘッド機能回復装置４とを有し、描画装置３に備えられた機能液滴吐出ヘッド３２によりワークＷ上に機能液滴による描画を行うと共に、ヘッド機能回復装置４により適宜、機能液滴吐出ヘッド３２の機能回復処理（メンテナンス）を行うようにしている。
【００３６】
液滴吐出装置１を構成する各装置の装置構成について簡単に説明する。描画装置３は、ワークＷを主走査方向に移動させるＸ軸テーブル（主走査手段）１２およびＸ軸テーブル２１に直交するＹ軸テーブル２２からなるＸ・Ｙ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル２２に移動自在に取り付けたメインキャリッジ１２と、メインキャリッジ１２に垂設したヘッドユニット１３とを備えている。ヘッドユニット１３には、サブキャリッジ３１を介して、Ｒ色、Ｇ色およびＢ色の３つの機能液滴吐出ヘッド３２が搭載される。各機能液滴吐出ヘッド３２のノズル面３３には、多数のノズル３４から成るノズル列３５が形成されており、各機能液滴吐出ヘッド３２のノズル列３５が主走査方向と直交するように、３つの機能液滴吐出ヘッド３２は、ヘッドユニット１３に搭載されている（図３参照）。なお、ヘッドユニット１３には、後述するリニアエンコーダ２０２のリニアセンサ２０５が搭載されている。
【００３７】
この場合、基板であるワークＷは、透光性（透明）のガラス基板で構成されている。ワークＷには、２ヶ所の基準マーク７６が付されており、ワークＷをＸ軸テーブル２１に搬入した段階で、これに臨む一対のワーク認識カメラ７５，７５により、Ｘ軸テーブル２１に位置決めされた状態でセットされる。なお、図示のサブキャリッジ３１には、色別の機能液滴吐出ヘッド３２が１つずつ搭載されているが、これらが複数の機能液滴吐出ヘッド３２で構成されていてもよい。
【００３８】
また、ヘッド機能回復装置４は、機台２上に載置した移動テーブル４１と、移動テーブル４１上に載置した保管ユニット４２、吸引ユニット４３およびワイピングユニット４４とを備えている。保管ユニット４２は、装置の稼動停止時に、機能液滴吐出ヘッド３２のノズル３４の乾燥を防止すべくこれを封止する。吸引ユニット４３は、機能液滴吐出ヘッド３２から機能液を強制的に吸引すると共に、機能液滴吐出ヘッド３２の全ノズル３４からの機能液の捨て吐出を受けるフラッシングボックスの機能を有している。ワイピングユニット４４は、主に、機能液吸引を行った後の機能液滴吐出ヘッド３２のノズル面３３をワイピング（拭き取り）する。
【００３９】
保管ユニット４２には、例えば機能液滴吐出ヘッド３２に対応する封止キャップ５１が昇降自在に設けられており、装置の稼動停止にヘッドユニット（の機能液滴吐出ヘッド３２）１３に臨んで上昇し、機能液滴吐出ヘッド３２のノズル面３３に封止キャップ５１を密接させて、これを封止する。これにより、機能液滴吐出ヘッド３２のノズル面３３における機能液の気化が抑制され、いわゆるノズル詰まりが防止される。
【００４０】
同様に、吸引ユニット４３には、例えば機能液滴吐出ヘッド３２に対応する吸引キャップ５２が、昇降自在に設けられており、ヘッドユニット（の機能液滴吐出ヘッド３２）１３に機能液の充填を行う場合や、機能液滴吐出ヘッド３２内で増粘した機能液を除去する場合に、吸引キャップ５２を機能液滴吐出ヘッド３２に密着させて、ポンプ吸引を行う。また、機能液の吐出（描画）を休止するときには、吸引キャップ５２を機能液滴吐出ヘッド３２から僅かに離間させておいて、フラッシング（捨て吐出）を行う。これにより、ノズル詰まりが防止され或いはノズル詰まりの生じた機能液滴吐出ヘッド３２の機能回復が図られる。
【００４１】
ワイピングユニット４４には、例えば、ワイピングシート５３が繰出し且つ巻取り自在に設けられており、繰り出したワイピングシート５３を送りながら、且つ移動テーブル４１によりワイピングユニット４４をＸ軸方向に移動させながら、機能液滴吐出ヘッド３２のノズル面３３を拭き取るようになっている。これにより、機能液滴吐出ヘッド３２のノズル面３３に付着した機能液が取り除かれ、機能液吐出時の飛行曲がり等が防止される。
【００４２】
なお、ヘッド機能回復装置４として、上記の各ユニットに加え、機能液滴吐出ヘッド３２から吐出された機能液滴の飛行状態を検査する吐出検査ユニットや、機能液滴吐出ヘッド３２から吐出された機能液滴の重量を測定する重量測定ユニット等を、搭載することが好ましい。さらに、同図示では省略したが、この液滴吐出装置１には、各機能液滴吐出ヘッド３２に機能液が供給する機能液供給機構や、上記の描画装置３や機能液滴吐出ヘッド３２等の構成装置を統括制御する制御装置（制御手段：後述する）５などが組み込まれている。
【００４３】
次に、描画装置３を構成要素について説明する。図３および図４に示すように、Ｘ軸テーブル２１は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するＸ軸モータ６２駆動のＸ軸スライダ６１を有し、これに吸着テーブル６４およびθテーブル６５等から成るセットテーブル６３を移動自在に搭載して、構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル２２は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するＹ軸モータ６８駆動のＹ軸スライダ６７を有し、これにθテーブル６５を介して上記のメインキャリッジ１２を移動自在に搭載して、構成されている。
【００４４】
この場合、Ｘ軸テーブル２１は、機台２上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル２２は、機台２上に立設した左右の支柱７１，７１に支持されている。Ｘ軸テーブル２１とヘッド機能回復装置４とは、Ｘ軸方向に相互に平行に配設されており、Ｙ軸テーブル２２は、Ｘ軸テーブル２１とヘッド機能回復装置４の移動テーブル４１とを跨ぐように延在している。
【００４５】
Ｘ軸テーブル２１は、セットテーブル６３（吸着テーブル６４）にセットしたワークＷを主走査（Ｘ軸）方向に移動させ、移載エリア７４（後述する）で導入されたワークＷを描画エリア７２に移動させる。本実施形態では、ヘッド側（機能液滴吐出ヘッド３２）に対し、ワークＷ側を移動させる構成となっているが、ワークＷに対し、ヘッド側を移動させる構成とすることも可能である。なお、ワークＷをセットする吸着テーブル６４には、図外の真空ポンプに接続された吸引溝６６が複数形成されており、真空ポンプを駆動してワークＷを不動にセットできるようになっている。また、吸引溝６６には、複数の吸引孔６７が形成されている（図６参照）
【００４６】
Ｙ軸テーブル２２は、これに搭載したヘッドユニット（機能液滴吐出ヘッド３２）１３を、ヘッド機能回復装置４の直上部に位置する機能回復エリア７３と、Ｘ軸テーブル２１の直上部に位置する描画エリア７２との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Ｙ軸テーブル２２は、機能液滴吐出ヘッド３２の機能回復を行う場合には、ヘッドユニット１３を機能回復エリア７３に臨ませ、またＸ軸テーブル２１に導入したワークＷに描画を行う場合には、ヘッドユニット１３を描画エリア７２に臨ませる。
【００４７】
そして、描画エリア７２に導入したワークＷに描画を行う場合には、機能液滴吐出ヘッド（ヘッドユニット１３）３２を描画エリア７２に臨ませておいて、Ｘ軸テーブル２１による主走査（ワークＷの往復移動）に同期して、機能液滴吐出ヘッド３２を吐出駆動（機能液滴の選択的吐出）させる。また、Ｙ軸テーブル２２により適宜、副走査（ヘッドユニット１３の移動）が行われる。この一連の動作により、ワークＷの描画領域Ｄに所望の機能液滴の選択的吐出、すなわち描画が行われる。
【００４８】
また、機能液滴吐出ヘッド３２の機能回復を行う場合には、移動テーブル４１により吸引ユニット４３を機能回復エリア７３に移動させると共に、Ｙ軸テーブル２２によりヘッドユニット１３を機能回復エリア７３に移動させ、機能液滴吐出ヘッド３２のフラッシング或いはポンプ吸引を行う。また、ポンプ吸引を行った場合には、続いて移動テーブル４１によりワイピングユニット４４を機能回復エリア７３に移動させ、機能液滴吐出ヘッド３２のワイピングを行う。同様に、作業が終了して装置の稼動を停止する時には、保管ユニット４２により、機能液滴吐出ヘッド３２にキャッピングが行われる。
【００４９】
なお、Ｘ軸テーブル２１の一方の端部は、ワークＷをＸ軸テーブル２１にセット（載せ代える）するための移載エリア７４となっており、移載エリア７４には、上記した一対のワーク認識カメラ７５，７５が配設されている。そして、この一対のワーク認識カメラ７５，７５により、吸着テーブル６４上に供給されたワークＷの上記の２箇所の基準マーク７６が同時に認識され、この認識結果に基づいて、ワークＷのアライメントが為される。
【００５０】
次に、液滴吐出装置１の主制御系について説明する。図４に示すように、液滴吐出装置１は、インタフェース９１を有し、ホストコンピュータから送信された描画データおよび各種指令を入力すると共に、液滴吐出装置１内部における各種データをホストコンピュータに出力するためのデータ入出力部８１と、後述するリニアエンコーダ２０２等を有し、各種検出を行う検出部８２と、機能液滴吐出ヘッド３２を有し、機能液滴による描画を行う描画部８３と、Ｘ軸テーブル２１のＸ軸モータ６２やＹ軸テーブル２２のＹ軸モータ６８等のモータを有し、メインキャリッジ１２の移動およびワークＷの送りを行う搬送部８４と、ヘッド機能回復装置４を有し、機能液滴吐出ヘッド３２の保全を行う保全部８５と、機能液滴吐出ヘッド３２を駆動するヘッドドライバ９２や、各種モータを駆動するモータドライバ９３、ヘッド機能回復装置４の各ユニットを駆動するメンテナンスドライバ９４、等を有し、液滴吐出装置１各部を駆動する各種ドライバを有する駆動部８６と、これら各部に接続され、液滴吐出装置１全体の制御を行う制御部８７と、を備えている。
【００５１】
制御部８７は、ＣＰＵ１０１、ＲＯＭ１０２、ＲＡＭ１０３、周辺制御回路（Ｐ−ＣＯＮ）１０４を備えており、これらは互いに内部バス１０５により接続されている。ＲＯＭ１０２は、ＣＰＵ１０１で処理する制御プログラムを記憶する制御プログラム領域１１１の他、各種制御データを記憶する制御データ領域１１２を有している。ＲＡＭ１０３は、外部から入力した描画データを記憶する描画データ領域１１３、印刷のための吐出パターンデータを記憶する吐出パターンデータ領域１１４の他、各種バッファ領域１１５や各種レジスタ群１１６を有し、制御処理のための作業領域として使用される。
【００５２】
Ｐ−ＣＯＮ１０４には、ＣＰＵ１０１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が、ゲートアレイやカスタムＬＳＩなどにより構成されて組み込まれている。すなわち、Ｐ−ＣＯＮ１０４は、ホストコンピュータや液滴吐出装置１各部からの描画データや各種検出信号などをそのまま、あるいは加工して内部バス１０５に取り込むと共に、ＣＰＵ１０１と連動して、ＣＰＵ１０１等から内部バス１０５に出力されたデータや制御信号を（駆動部８６を介して）液滴吐出装置１各部に出力している。また、Ｐ−ＣＯＮ１０４には、時間制御を行うためのタイマー１１７が組み込まれている。
【００５３】
ＣＰＵ１０１は、ＲＯＭ１０２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ１０４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ１０３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ１０４を介して駆動部８６に制御信号を出力する。このように、制御部８７により液滴吐出装置１全体が統括制御される。
【００５４】
ところで、この描画装置３では、Ｘ軸テーブル２１によるＸ軸（主走査）方向へのワークＷの移動と、Ｙ軸テーブル２２によるＹ軸（副走査）方向への機能液滴吐出ヘッド（ヘッドユニット１３）３２の移動と、を繰り返し行いながら、リニアエンコーダ２０２の位置情報に基づいて機能液滴吐出ヘッド３２の吐出駆動を制御することにより、ワークＷに対する描画処理を行うようになっている。
【００５５】
リニアエンコーダ２０２は、多数の検出線２０４を有するリニアスケール２０３およびリニアスケール２０３の検出線２０４を検出するリニアセンサ２０５から構成されおり、リニアセンサ２０５でリニアスケール２０３の検出線２０４を順次検出することにより、ワークＷの位置情報を連続的に検出している。リニアスケール２０３は、上記したセットテーブル６３の吸着テーブル６４に着脱自在にセットされるスケールマスク２１１に形成されており、ワークＷは、スケールマスク２１１を介して吸着テーブル６４上にセットされる。なお、スケールマスク２１１には、上記した吸着テーブル６４の複数の吸引孔６７と連通する複数の連通孔（貫通孔）２１２が形成されており、ワークＷに吸引力を作用させて、ワークＷを不動にセット可能となっている。すなわち、吸着テーブル６４にスケールマスク２１１をセットすると、スケールマスク２１１の複数の連通孔２１２が吸着テーブル６４に形成された複数の吸引孔６７と連通するようになっている。
【００５６】
上述したように、ワークＷは、予め回路素子部７２１、画素電極７３１およびバンク部７４１を形成した透明なガラス基板７１１で構成されており、描画領域Ｄ内に形成されたバンク部７４１により構成されるマトリクス状の凹部開口７４４内に機能液滴を吐出するようになっている。リニアスケール２０３の各検出線２０４は、スケールマスク２１１に、行方向（主走査方向）における凹部開口７４４の配設ピッチと同一ピッチとなるように線引きされている（図５参照）。そして、スケールマスク２１１をセットテーブル６３にセットすると、各検出線２０４は、副走査方向に対して平行に（ワークＷの送り方向と直交して）延在するようになっている。なお、実施形態では、スケールマスク２１１の主走査方向に対して連続的に多数の検出線２０４を形成しているが、ワークＷに複数の描画領域Ｄが形成されている場合には、主走査方向におけるワークＷの描画領域Ｄの配置に対応させて断続的に多数の検出線２０４を形成することも可能である。
【００５７】
スケールマスク２１１には、ワークＷの四隅のセット位置を示す４つの指標２１３が形成されており、ワークＷを所定のセット位置にセットすると、各検出線２０４と凹部開口７４４が行方向において対応し、各凹部開口７４４の中心、すなわち主走査方向に隣接するバンク部７４１の中心に検出線２０４が位置するようになっている。ワークＷはガラス基板７１１で構成されているため、凹部開口７４４から、検出線２０４を視認することが可能である（図５参照）。なお、検出線２０４は、スケールマスク２１１の全面に亘って形成することも可能であるし、スケールマスク２１１の一部分（主走査方向の片側部分）のみに形成することも可能である。但し、後者の場合、スケールマスク２１１にワークＷをセットしたときに、各検出線２０４が、ワークＷの描画範囲から幅方向外側に外れた位置から（対応する行の）凹部開口７４４まで延在させることが好ましい。また、上記４つの指標２１３に代えて、ワーク位置決め用の突起（３個）を設けるようにしてもよい。
【００５８】
スケールマスク２１１は、透光性を有する板状のガラスで構成されており、ガラス基板７１１で構成されたワークＷと同様の熱膨張率を有している。したがって、環境温度の変化によりワークＷが熱膨張しても、スケールマスク２１１もワークＷと同様に熱膨張するため、スケールマスク２１１に形成されたリニアスケール２０３の各検出線２０４とワークＷの凹部開口７４４との相対的な位置関係が変化せず、リニアエンコーダ２０２に基づいて、ワークＷに正確な描画ができるようになっている。また、スケールマスク２１１は、セットテーブル６３に着脱自在であるため、ワークＷの種類や目的に合ったリニアスケール２０３が形成されたスケールマスク２１１を適宜選択することができ、描画装置３の汎用性を高めることが可能である。なお、実施形態のスケールマスク２１１は、ワークＷに対して一回り大きく形成されているが、同一平面形状としてもよい。この場合、ワークＷを構成するガラス基板７１１を用いることも可能である。
【００５９】
なお、リニアスケール２０３は、スケールマスク２１１の表面（ワークＷのセット面）に形成することも可能であるが、繰り返し行われるワークＷの載せ換えによってリニアスケール２０３が損傷しないように、スケールマスク２１１の裏面（吸着テーブル６４との当接面）にリニアスケール２０３を形成することが好ましい。また、スケールマスク２１１の材質は、ワークＷと同様の熱膨張率を有するものであればよく、樹脂製のシートで構成することも可能である。この場合も、リニアスケール２０３をスケールマスク２１１の裏面に形成することが好ましく、樹脂製のシートは、透光性（透明）を有することが好ましい。
【００６０】
一方、ヘッドユニット１３には、Ｒ色、Ｇ色およびＢ色の３つの機能液滴吐出ヘッド３２に対応して、３つのリニアセンサ２０５が搭載されており、これらは上記の制御装置５に接続されている。３つのリニアセンサ２０５の検出部（検出端）２０６は、各機能液滴吐出ヘッド３２のノズル列３５と同一直線上、すなわち主走査方向においてノズル列３５と同位置に配設されている。そして、３つのリニアセンサ２０５が、主走査方向を移動するワークＷを介して、スケールマスク２１１に形成されたリニアスケール２０３の検出線２０４を順次検出することにより、各リニアセンサ２０５に対応する機能液滴吐出ヘッド３２（のノズル列３５）とワークＷとの位置関係を正確に把握できるようになっている。
【００６１】
ワークＷの描画時における一連の制御について説明する。Ｒ、Ｇ、およびＢ色に対応する各機能液滴吐出ヘッド３２は、同様の制御が為されるので、ここでは、Ｒ色に対応する機能液滴吐出ヘッド３２の動作を例に説明する。描画処理が開始されると、先ず、ワーク認識カメラ７５によりワークＷの画像認識が為される。そして、整列する凹部開口７４４の行方向が主走査方向と直交するように、ワークＷの向きをθテーブル６５により補正する。また、このとき、リニアスケール２０３の各検出線２０４と凹部開口７４４の中心とのずれ量が検出される。
【００６２】
制御装置５は、Ｘ軸テーブル２１を駆動して、スケールマスク２１１を介して、セットテーブル６３にセットしたワークＷを描画エリア７２に移動させる。そして、ヘッドユニット１３にセットテーブル６３が臨み、ヘッドユニット１３に搭載されたリニアセンサ２０５がスケールマスク２１１の検出線２０４を順次検出して検出信号を制御装置５に送信する。制御装置５は、リニアセンサ２０５からの検出信号に基づいて、凹部開口７４４内の略中間に機能液が着弾するよう、Ｒ色に対応する機能液滴吐出ヘッド３２の吐出駆動を行う。具体的には、制御装置５は、各検出線２０４と凹部開口７４４の中心位置が一致している場合には、リニアセンサ２０５からの検出信号を受信すると瞬時に機能液滴吐出ヘッド３２の吐出駆動を行い、各検出線２０４と凹部開口７４４の中心位置とがずれている場合には、リニアセンサ２０５からの検出信号を受信してから、各検出線２０４と凹部開口７４４の中心位置とのずれ量に基づいて所定のタイミング遅らせて（上記のＰ−ＣＯＮ１０４に組み込まれたディレイ回路による）機能液滴吐出ヘッド３２の吐出駆動を行う。
【００６３】
このように、本実施形態では、リニアスケール２０３の各検出線２０４とワークＷの凹部開口７４４の行方向における配設ピッチが一致しているので、制御装置５が各検出線２０４の検出信号を受信する毎に機能液滴吐出ヘッド３２を吐出駆動させることにより、凹部開口７４４の配設ピッチに合わせて精度良く機能液滴を吐出させることができる。また、機能液滴吐出ヘッド３２のノズル列３５とリニアセンサ２０５の主走査方向における位置が一致しているため、各検出線２０４の検出信号の受信タイミングに対応（同期）させて機能液滴吐出ヘッド３２を吐出駆動させることにより、凹部開口７４４の略中心位置に機能液を精度良く着弾させることが可能である。
【００６４】
なお、リニアスケール２０３（検出線２０４）を、主走査時におけるワークＷのうねり（ヨーイング）矯正に用いることも可能である。この場合、ヘッドユニット１３に検出線を検出する一対のリニアセンサを設けて、検出線２０４の両側にこれを臨ませ、ワークＷのうねり（検出線両端部におけるワーク送り量のずれ）を検出する。そして、一対のリニアセンサの検出結果、すなわちワーク送り量のずれに基づいて、ワークの送りを微調整する。
【００６５】
次に、上記の液滴吐出装置１を液晶表示装置の製造に適用した場合について、説明する。図７は、液晶表示装置８０１の断面構造を表している。同図に示すように、液晶表示装置８０１は、カラーフィルタ８０２と、対向基板８０３と、カラーフィルタ８０２と対向基板８０３との間に封入された液晶組成物８０４と、バックライト（図示省略）と、で構成されている。対向基板８０３の内側の面には、画素電極８０５と、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示省略）とがマトリクス状に形成されている。そして、画素電極８０５に対向する位置に、カラーフィルタ８０２の赤、緑、青の着色層８１３が配列するようになっている。また、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ内側の面には、液晶分子を一定方向に配列させる配向膜８０６が形成されており、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ外側の面には、偏光板８０７が接着されている。
【００６６】
カラーフィルタ８０２は、透光性の透明基板８１１と、透明基板８１１上にマトリクス状に並んだ多数の画素（フィルタエレメント）８１２と、画素８１２上に形成された着色層８１３と、各画素８１２を仕切る遮光性の仕切り８１４と、を備えており、着色層８１３および仕切り８１４の上面には、オーバーコート層８１５および電極層８１６が形成されている。
【００６７】
液晶表示装置８０１の製造方法について説明すると、先ず、透明基板８１１に仕切り８１４を作り込んだ後、画素８１２部分にＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３を形成する。そして、透明アクリル樹脂塗料とスピンコートしてオーバーコート層８１５を形成し、さらに、ＩＴＯ（ｉｎｄｉｕｍｔｉｎｏｘｉｄｅ）から成る電極層８１６を形成して、カラーフィルタ８０２を作成する。また、対向基板８０３には、画素電極８０５とＴＦＴ素子を作り込んでおく。次に、作成したカラーフィルタ８０２および画素電極８０５が形成された対向基板８０３に配向膜８０６の塗布を行った後、これらを貼り合わせる。そして、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３との間に液晶組成物８０４を封入した後、偏光板８０７およびバックライトを積層する。
【００６８】
液滴吐出装置１は、上記したカラーフィルタのフィルタエレメント（Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３）の形成に用いることができる。また、画素電極８０５に対応する液体材料を用いることにより、画素電極８０５の形成にも用いることが可能である。
【００６９】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の他、プレパラート形成を包含する装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【００７０】
【発明の効果】
以上のように、本発明の液滴吐出装置によれば、リニアスケールが形成されたスケールマスクは、ワークと同一の熱膨張率を有しているので、環境温度の変化によりワークが熱膨張して変寸しても、リニアスケールも同様に変寸する。したがって、スケールマスクを用いるという比較的簡易な構成で、環境温度の変化に影響されることなく、リニアスケールを用いて正確にワークの位置情報を検出することができ、ワークの所定位置に精度良く機能液滴を吐出させることができる。また、本発明によれば、環境温度の変化によるワークの変寸量とリニアスケールの変寸量が同一であるので、適切な描画品質を確保するためにワークの変寸量を演算処理で求めるといった複雑な処理を必要とせず、描画処理を迅速に行うことが可能である。さらに、スケールマスクは、同種のワークに対して汎用的に使用できると共に、異種のワークに対しては交換可能であるので、液滴吐出装置の汎用性を高めることが可能である。
【００７１】
また、本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器は、上記の液滴吐出装置を適用して製造されるので、機能液滴による描画処理時において、ワークの熱膨張による影響を受けることがなく、高精度な製品を効率よく製造可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】有機ＥＬ装置の縦断面図である。
【図２】有機ＥＬ素子を構成する発光層の配列を示した図であり、（ａ）は、ストライプ配列、（ｂ）は、モザイク配列、（ｃ）は、デルタ配列の説明図である。
【図３】第１実施形態にかかる液滴吐出装置の平面模式図である。
【図４】液滴吐出装置の主制御系を示したブロック図である。
【図５】スケールマスクをセットした吸着テーブル廻りの説明図である。
【図６】ワーク、スケールマスク、吸着テーブルの説明図である。
【図７】液晶表示装置の断面図である。
【符号の説明】
１液滴吐出装置３描画装置
５制御装置１３ヘッドユニット
２１Ｘ軸テーブル３２機能液滴吐出ヘッド
３５ノズル列６３セットテーブル
６４吸着テーブル６７吸引孔
２０２リニアエンコーダ２０３リニアスケール
２０４検出線２０５リニアセンサ
２０６検出端２１１スケールマスク
７１１ガラス基板７４１バンク部
７４４凹部開口
Ｗワーク[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
According to the present invention, the function droplet discharge head is selectively driven to discharge while relatively moving the function droplet discharge head to a work having a large number of pixel regions formed thereon, so that the function droplet The present invention relates to a droplet discharge device for discharging a liquid, a method for manufacturing an electro-optical device, an electro-optical device, and an electronic apparatus.
[0002]
[Prior art]
As one type of droplet discharge device, one line printing for recording while moving a recording head (functional droplet discharge head) in the main scanning direction, and intermittent feeding of one line of printed recording material (work). An ink jet recording apparatus that performs printing by repeating the above steps is conventionally known. The inkjet recording apparatus is provided with a linear encoder having a large number of detection lines and slits at a recording pitch density in order to take the recording timing of the recording head on the recording material. The print head is driven while detecting the position of the print head by counting the number of times.
[0003]
Since the linear encoder changes its size (interval of slits) due to the influence of the environmental temperature and the like, the inkjet recording apparatus calculates the size of the linear encoder based on the moving distance and moving speed of the recording head. By correcting the recording timing of the recording head according to the amount of change in the size of the linear encoder, the displacement of the recording image (recording dot) is prevented (for example, see Patent Document 1).
[0004]
[Patent Document 1]
JP-A-7-132594 (pages 2 to 5, FIG. 10)
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In a droplet discharge device for industrial application, it is possible to not only prevent positional deviation of a recorded image, but also discharge a functional liquid to a predetermined position of a work (inside a concave opening formed by a bank portion) with extremely high discharge accuracy. Is required. Therefore, when the positional relationship between the work and the linear encoder (slit) changes due to the expansion of the work caused by the environmental temperature or the like, the functional liquid cannot be discharged to a predetermined position of the work. It is necessary to take into account not only the size of the linear encoder but also the thermal expansion of the work. However, as in the above-described ink jet printing apparatus, when the size of the linear encoder and the amount of expansion of the work are obtained by arithmetic processing, and the print timing of the print head is to be corrected based on these values, the arithmetic processing is performed. In addition to the need for an arithmetic unit, the time required for the arithmetic processing is long, which causes a problem that the drawing processing for the workpiece is slow.
[0006]
Thus, the present invention provides a droplet discharge device, a method of manufacturing an electro-optical device, an electro-optical device, and an electronic apparatus that can perform a drawing process on a workpiece accurately and quickly without complicating the device configuration. It is intended to provide.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The present invention relates to a head unit on which a functional liquid droplet ejection head is mounted, which ejects functional liquid droplets from the functional liquid droplet ejection head while moving the translucent work relatively in the main scanning direction, and the surface of the work. A set table for setting a work, main scanning means for relatively moving the work in the main scanning direction via the set table, a linear scale extending in the main scanning direction, and a linear scale A linear encoder that continuously detects the moving position of the work relatively sent by the main scanning unit, and a driving and functional droplet of the main scanning unit based on the position information of the linear encoder. Control means for controlling the ejection drive of the ejection head, the linear sensor is mounted on the head unit, and the linear scale is settable. And it is interposed between the workpiece, characterized in that it is subjected to scale mask work the same thermal expansion coefficient.
[0008]
According to this configuration, since the scale mask provided with the linear scale has the same coefficient of thermal expansion as the work, the linear sensor accurately detects the position information of the work without depending on the environmental temperature. It is possible. That is, even if the environmental temperature changes, the scale mask expands in the same manner as the work, so that the relative positional relationship between the linear scale and the work does not change, and the position information of the work can be accurately determined based on the linear scale. Can be detected. In addition, the linear scale can be used for the same kind of work for general purpose, but by replacing the scale mask according to the kind of work, the position information of the work can be accurately detected for any work. It is possible to accurately control the discharge drive of the functional liquid droplet discharge head.
[0009]
In this case, the work is preferably made of a glass substrate, and the scale mask is preferably made of plate-like glass.
[0010]
According to this configuration, since the work is formed of the glass substrate, it is possible to detect the linear scale attached to the scale mask via the work. Since the scale mask is made of the same glass as the work, the scale mask and the work can have exactly the same coefficient of thermal expansion.
[0011]
In this case, the work is preferably formed of a glass substrate, and the scale mask is preferably formed of a resin sheet.
[0012]
According to this configuration, since the scale mask is formed of a resin sheet, the scale mask can be easily processed, and the manufacturing cost of the scale mask can be reduced.
[0013]
In these cases, it is preferable that the scale mask is formed of a translucent member, and the linear scale is attached to the back surface of the scale mask.
[0014]
According to this configuration, since the linear scale is formed on the back surface of the scale mask, there is no direct contact between the linear scale and the work. Therefore, even if the workpiece is repeatedly placed on the scale mask, the linear scale is not damaged, and the durability of the scale mask can be improved.
[0015]
In this case, it is preferable that the set table has a suction table for sucking and setting the work, and the scale mask is preferably formed with a through hole communicating with the suction hole of the suction table.
[0016]
According to this configuration, since the through-hole communicating with the suction hole of the suction table is formed, the work can be fixedly suction-fixed on the scale mask.
[0017]
In this case, a large number of concave openings are formed in a matrix on the surface of the work by bank portions extending in the row direction and the column direction, and the functional droplet discharge head discharges functional droplets into the open concave portions. It is preferable that drawing is performed, and that the linear scale has a large number of detection lines that match the pitch of the large number of concave openings in the row direction that is the main scanning direction.
[0018]
According to these configurations, a large number of linear scale detection lines are attached to the scale mask in accordance with the pitch in the row direction (main scanning direction) of the concave opening for discharging the functional liquid droplet. Work movement information can be detected in association with the droplet discharge position. Therefore, by performing the ejection driving of the functional droplet ejection head based on the detection line, the functional droplet can be ejected with high accuracy into the opening of the concave portion.
[0019]
In this case, it is preferable that the work is set with respect to the scale mask such that each detection line is located in the middle of the bank portion adjacent in the row direction.
[0020]
According to this configuration, since the work is set such that each detection line is positioned at the center of the bank portion adjacent to the scale mask in the row direction, each detection line of the linear scale is positioned at the center of the concave opening. Even when the workpiece is set, each detection line can be easily detected. Further, since the detection line is located at the center of the opening of the concave portion, the drive timing of the functional liquid droplet ejection head is controlled based on the reception timing of the detection signal of the detection line by the control means, thereby substantially It is possible to discharge the functional liquid.
[0021]
In this case, the row direction of the nozzle row of the functional droplet discharge head is orthogonal to the main scanning direction, and the nozzle row and the detection end of the linear sensor provided in the head unit are arranged at the same position in the main scanning direction. Preferably, it is provided.
[0022]
According to this configuration, since the nozzle row of the functional droplet ejection head and the detection end of the linear sensor are arranged at the same position in the main scanning direction, the detection of each detection line by the linear sensor functions as a trigger. By performing the ejection driving of the droplet ejection head, it is possible to eject the functional droplet to approximately the center of the opening of the concave portion.
[0023]
According to a second aspect of the invention, there is provided a method of manufacturing an electro-optical device, wherein a film forming unit is formed on a workpiece using functional droplets discharged from a functional droplet discharging head using the above-described droplet discharging device.
[0024]
In addition, an electro-optical device according to the present invention is characterized in that a film forming unit is formed on a work using functional droplets discharged from a functional droplet discharging head using the above-described droplet discharging device.
[0025]
According to these configurations, the electro-optical device can be manufactured with extremely high precision because the device is manufactured using the droplet discharge device that can accurately detect the position information of the work regardless of the environmental temperature. In addition, as the electro-optical device (device), a liquid crystal display device, an organic EL (Electro-Luminescence) device, an electron-emitting device, a PDP (Plasma Display Panel) device, an electrophoretic display device, and the like can be considered. The electron emission device is a concept including a so-called FED (Field Emission Display) device. Further, as the electro-optical device, a device including formation of a metal wiring, formation of a lens, formation of a resist, formation of a light diffuser, and the like can be considered.
[0026]
An electronic apparatus according to another aspect of the invention includes the electro-optical device described above.
[0027]
In this case, as the electronic device, various electric products other than a mobile phone and a personal computer equipped with a so-called flat panel display correspond thereto.
[0028]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, a droplet discharge device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The droplet discharge device according to the present embodiment is incorporated in a production line of an organic EL device, which is a kind of a so-called flat panel display, and forms a light emitting element serving as each pixel of the organic EL device.
[0029]
First, prior to the description of the droplet discharge device, the structure and manufacturing process of the organic EL device will be briefly described. FIG. 1 is a cross-sectional view of the organic EL device. As shown in the figure, the organic EL device 701 includes a substrate 711, a circuit element portion 721, a pixel electrode 731, a bank portion 741, a light emitting element 751, a cathode 761 (counter electrode), and a sealing substrate 771. The organic EL element 702 is connected to a wiring of a flexible substrate (not shown) and a driving IC (not shown).
[0030]
As shown in the figure, a circuit element portion 721 is formed on a substrate 711 of the organic EL element 702, and a plurality of pixel electrodes 731 are arranged on the circuit element portion 721. The bank portions 741 are formed in a lattice pattern between the pixel electrodes 731, and the light emitting elements 751 are formed in the concave openings 744 formed by the bank portions 741. A cathode 761 is formed on the entire upper surface of the bank portion 741 and the light emitting element 751, and a sealing substrate 771 is stacked on the cathode 761.
[0031]
The manufacturing process of the organic EL element 702 includes a bank section forming step of forming the bank section 741, a plasma processing step for appropriately forming the light emitting element 751, a light emitting element forming step of forming the light emitting element 751, and a cathode 761. And a sealing step of laminating and sealing the sealing substrate 771 on the cathode 761. That is, the organic EL element 702 is formed by forming a bank part 741 at a predetermined position on a substrate 711 (work W) on which a circuit element part 721 and a pixel electrode 731 are formed in advance, and then performing plasma processing, light emitting element 751 and cathode 761 Electrodes) are formed in order, and a sealing substrate 771 is laminated on the cathode 761 and sealed. Note that the organic EL element 702 is easily deteriorated under the influence of moisture in the air and the like, and therefore, the organic EL element 702 is manufactured in dry air or an inert gas (nitrogen, argon, helium, or the like) atmosphere. preferable.
[0032]
In addition, each light emitting element 751 is formed of a film forming section including a hole injection / transport layer 752 and a light emitting layer 753 colored in any one of R (red), G (green), and B (blue). The light emitting element forming step includes a hole injecting / transporting layer forming step of forming the hole injecting / transporting layer 752 and a light emitting layer forming step of forming the light emitting layers 753 of three colors. . In this case, the arrangement of the light-emitting layers 753 of the three colors is, for example, as shown in FIG. 2, a stripe arrangement (FIG. 2A) and a mosaic arrangement for a large number of matrix-shaped concave openings 744 formed by the bank portions 741. An array (FIG. 2B) and a delta array (FIG. 2C) are known.
[0033]
The organic EL device 701 is manufactured by manufacturing the organic EL element 702, connecting the wiring of the flexible substrate to the cathode 761 of the organic EL element 702, and connecting the wiring of the circuit element section 721 to the driving IC. You.
[0034]
The droplet discharge device according to the present embodiment includes a device used for the injection / transport layer forming process and a device used for the light emitting layer forming process. The droplet discharge device for forming the light-emitting layers 753 of three colors of G and B will be described in detail by way of example.
[0035]
As shown in the schematic plan view of FIG. 3, the droplet discharge device 1 according to the embodiment is provided with a machine base 2, a drawing device 3 widely mounted on the entire area on the machine base 2, and a drawing device 3. And a head function restoring device 4 mounted on the machine base 2 so that the function droplet discharging head 32 provided in the drawing device 3 draws a function droplet on the work W and recovers the head function. The device 4 appropriately performs a function recovery process (maintenance) of the function droplet discharge head 32.
[0036]
The device configuration of each device constituting the droplet discharge device 1 will be briefly described. The drawing apparatus 3 includes an X / Y moving mechanism 11 including an X-axis table (main scanning unit) 12 for moving the workpiece W in the main scanning direction and a Y-axis table 22 orthogonal to the X-axis table 21. The main carriage 12 includes a main carriage 12 movably attached thereto, and a head unit 13 suspended from the main carriage 12. On the head unit 13, three functional droplet discharge heads 32 of R, G, and B colors are mounted via a sub-carriage 31. On the nozzle surface 33 of each functional droplet discharge head 32, a nozzle row 35 composed of a large number of nozzles 34 is formed, and the nozzle row 35 of each functional droplet discharge head 32 is orthogonal to the main scanning direction. The three functional droplet discharge heads 32 are mounted on the head unit 13 (see FIG. 3). The head unit 13 has a linear sensor 205 of a linear encoder 202 described later mounted thereon.
[0037]
In this case, the work W, which is a substrate, is formed of a translucent (transparent) glass substrate. The workpiece W is provided with two reference marks 76. When the workpiece W is carried into the X-axis table 21, the workpiece W is positioned on the X-axis table 21 by a pair of workpiece recognition cameras 75, 75 facing the workpiece W. It is set in the state where it was set. Although the illustrated sub-carriage 31 is equipped with one functional droplet discharge head 32 for each color, these may be constituted by a plurality of functional droplet discharge heads 32.
[0038]
Further, the head function recovery device 4 includes a moving table 41 mounted on the machine base 2, a storage unit 42, a suction unit 43 and a wiping unit 44 mounted on the moving table 41. The storage unit 42 seals the nozzle 34 of the functional liquid droplet ejection head 32 to prevent the nozzle 34 from drying when the operation of the apparatus is stopped. The suction unit 43 has a function of a flushing box that forcibly sucks the functional liquid from the functional liquid droplet ejection head 32 and receives a discarded ejection of the functional liquid from all the nozzles 34 of the functional liquid droplet ejection head 32. . The wiping unit 44 mainly wipes (wipes) the nozzle surface 33 of the functional liquid droplet ejection head 32 after performing the functional liquid suction.
[0039]
The storage unit 42 is provided with, for example, a sealing cap 51 corresponding to the functional liquid droplet ejection head 32 so as to be movable up and down. Then, the sealing cap 51 is brought into close contact with the nozzle surface 33 of the functional liquid droplet ejection head 32 to seal it. Thereby, the vaporization of the functional liquid on the nozzle surface 33 of the functional liquid droplet ejection head 32 is suppressed, and so-called nozzle clogging is prevented.
[0040]
Similarly, the suction unit 43 is provided with, for example, a suction cap 52 corresponding to the functional liquid droplet ejection head 32 so as to be able to move up and down. The head unit (of the functional liquid droplet ejection head 32) 13 is filled with the functional liquid. When performing the operation or removing the functional liquid thickened in the functional liquid droplet ejection head 32, the suction cap 52 is brought into close contact with the functional liquid droplet ejection head 32 to perform pump suction. When the discharge (drawing) of the functional liquid is stopped, the suction cap 52 is slightly separated from the functional liquid droplet discharge head 32, and flushing (discharge discharge) is performed. This prevents nozzle clogging or recovers the function of the functional droplet discharge head 32 in which nozzle clogging has occurred.
[0041]
The wiping unit 44 is provided with, for example, a wiping sheet 53 so as to be able to be fed out and wound up. The nozzle surface 33 of the droplet discharge head 32 is wiped. As a result, the functional liquid adhering to the nozzle surface 33 of the functional liquid droplet ejection head 32 is removed, and the flight bending or the like at the time of discharging the functional liquid is prevented.
[0042]
In addition, as the head function recovery device 4, in addition to the above units, an ejection inspection unit for inspecting the flight state of functional droplets ejected from the functional droplet ejection head 32, and an ejection inspection unit ejected from the functional droplet ejection head 32 It is preferable to mount a weight measuring unit or the like for measuring the weight of the functional droplet. Although not shown in the drawing, the droplet discharge device 1 includes a functional liquid supply mechanism for supplying a functional liquid to each functional droplet discharge head 32, the above-described drawing device 3, the functional droplet discharge head 32, and the like. A control device (control means: described later) 5 that integrally controls the constituent devices described above is incorporated.
[0043]
Next, components of the drawing apparatus 3 will be described. As shown in FIGS. 3 and 4, the X-axis table 21 has an X-axis slider 61 driven by an X-axis motor 62 constituting a drive system in the X-axis direction. The set table 63 is movably mounted. Similarly, the Y-axis table 22 has a Y-axis slider 67 driven by a Y-axis motor 68 constituting a drive system in the Y-axis direction, and the main carriage 12 is movably mounted on the Y-axis slider 67 via a θ table 65. And it is configured.
[0044]
In this case, the X-axis table 21 is directly supported on the machine base 2, while the Y-axis table 22 is supported by left and right columns 71, 71 erected on the machine base 2. The X-axis table 21 and the head function recovery device 4 are arranged parallel to each other in the X-axis direction, and the Y-axis table 22 straddles the X-axis table 21 and the moving table 41 of the head function recovery device 4. So that it extends.
[0045]
The X-axis table 21 moves the work W set on the set table 63 (suction table 64) in the main scanning (X-axis) direction, and transfers the work W introduced in the transfer area 74 (described later) to the drawing area 72. Move. In the present embodiment, the work W side is moved with respect to the head side (functional droplet discharge head 32), but the head side may be moved with respect to the work W. The suction table 64 for setting the work W is provided with a plurality of suction grooves 66 connected to a vacuum pump (not shown), so that the vacuum pump can be driven to set the work W immovably. . A plurality of suction holes 67 are formed in the suction groove 66 (see FIG. 6).
[0046]
The Y-axis table 22 has a head unit (functional droplet discharge head 32) 13 mounted on the Y-axis table 22, a function recovery area 73 located immediately above the head function recovery device 4, and a directly above X axis table 21. It is moved as appropriate between the drawing area 72 and each other. That is, when the Y-axis table 22 performs the function recovery of the functional droplet discharge head 32, the head unit 13 faces the function recovery area 73, and when the drawing is performed on the work W introduced into the X-axis table 21. , The head unit 13 is made to face the drawing area 72.
[0047]
When performing drawing on the work W introduced into the drawing area 72, the functional droplet discharge head (head unit 13) 32 faces the drawing area 72, and the main scanning (work W The liquid droplet discharge head 32 is driven to discharge (selective discharge of functional liquid droplets) in synchronization with the reciprocating movement of the liquid droplets. Further, sub-scanning (movement of the head unit 13) is appropriately performed by the Y-axis table 22. By this series of operations, selective ejection of a desired functional droplet to the drawing area D of the work W, that is, drawing is performed.
[0048]
When performing the function recovery of the functional droplet discharge head 32, the suction unit 43 is moved to the function recovery area 73 by the moving table 41, and the head unit 13 is moved to the function recovery area 73 by the Y-axis table 22. Flushing or pump suction of the functional droplet discharge head 32 is performed. When the pump suction is performed, the wiping unit 44 is moved to the function recovery area 73 by the moving table 41 to perform wiping of the functional liquid droplet ejection head 32. Similarly, when the operation is completed and the operation of the apparatus is stopped, the storage unit 42 caps the functional liquid droplet ejection head 32.
[0049]
One end of the X-axis table 21 is a transfer area 74 for setting (replacement) the work W on the X-axis table 21, and the transfer area 74 includes the pair of works described above. Recognition cameras 75, 75 are provided. The two reference marks 76 of the workpiece W supplied onto the suction table 64 are simultaneously recognized by the pair of workpiece recognition cameras 75, 75, and alignment of the workpiece W is performed based on the recognition result. Is done.
[0050]
Next, the main control system of the droplet discharge device 1 will be described. As shown in FIG. 4, the droplet discharge device 1 has an interface 91, inputs drawing data and various commands transmitted from the host computer, and outputs various data inside the droplet discharge device 1 to the host computer. A data input / output unit 81, a detecting unit 82 for performing various types of detection, and a drawing unit 83 for performing drawing using functional liquid droplets. A transport unit 84 having a motor such as the X-axis motor 62 of the X-axis table 21 and the Y-axis motor 68 of the Y-axis table 22 for moving the main carriage 12 and feeding the work W; A maintenance unit 85 for maintaining the functional droplet discharge head 32, a head driver 92 for driving the functional droplet discharge head 32, and various motors A driver 86 having a data driver 93, a maintenance driver 94 for driving each unit of the head function recovery device 4, etc., and various drivers for driving each unit of the droplet discharge device 1; A control unit 87 that controls the entire apparatus 1.
[0051]
The control unit 87 includes a CPU 101, a ROM 102, a RAM 103, and a peripheral control circuit (P-CON) 104, which are connected to each other by an internal bus 105. The ROM 102 has a control data area 112 for storing various control data in addition to a control program area 111 for storing a control program processed by the CPU 101. The RAM 103 has a drawing data area 113 for storing drawing data input from the outside, an ejection pattern data area 114 for storing ejection pattern data for printing, various buffer areas 115 and various register groups 116, and performs control processing. Used as a work area for
[0052]
In the P-CON 104, a logic circuit for supplementing the function of the CPU 101 and for handling an interface signal with a peripheral circuit is configured by a gate array, a custom LSI, or the like, and is incorporated. That is, the P-CON 104 captures drawing data and various detection signals from the host computer and various parts of the liquid droplet ejection apparatus 1 as they are or processes them and loads them into the internal bus 105. In conjunction with the CPU 101, the P-CON 104 The data and control signal output to 105 are output to each unit of the droplet discharge device 1 (via the drive unit 86). The P-CON 104 incorporates a timer 117 for performing time control.
[0053]
The CPU 101 inputs various detection signals, various commands, various data, and the like via the P-CON 104 according to a control program in the ROM 102, processes various data and the like in the RAM 103, and then drives the driving unit 86 via the P-CON 104. To output a control signal. In this way, the control unit 87 controls the entire droplet discharge device 1 as a whole.
[0054]
In the drawing apparatus 3, the work W is moved in the X-axis (main scanning) direction by the X-axis table 21, and the functional droplet discharge head (head unit) is moved in the Y-axis (sub-scanning) direction by the Y-axis table 22. 13) The drawing process on the work W is performed by controlling the ejection drive of the functional liquid droplet ejection head 32 based on the position information of the linear encoder 202 while repeatedly performing the movement of the 32.
[0055]
The linear encoder 202 includes a linear scale 203 having many detection lines 204 and a linear sensor 205 that detects the detection lines 204 of the linear scale 203. The linear sensor 205 sequentially detects the detection lines 204 of the linear scale 203. Thus, the position information of the work W is continuously detected. The linear scale 203 is formed on a scale mask 211 that is detachably set on the suction table 64 of the above-described set table 63, and the work W is set on the suction table 64 via the scale mask 211. A plurality of communication holes (through holes) 212 communicating with the plurality of suction holes 67 of the suction table 64 are formed in the scale mask 211, and a suction force is applied to the work W to cause the work W to move. It can be set immovably. That is, when the scale mask 211 is set on the suction table 64, the plurality of communication holes 212 of the scale mask 211 communicate with the plurality of suction holes 67 formed on the suction table 64.
[0056]
As described above, the work W is constituted by the transparent glass substrate 711 on which the circuit element portion 721, the pixel electrode 731 and the bank portion 741 are formed in advance, and is constituted by the bank portion 741 formed in the drawing area D. The functional droplets are ejected into the matrix-shaped concave openings 744. Each detection line 204 of the linear scale 203 is drawn on the scale mask 211 so as to have the same pitch as the arrangement pitch of the concave openings 744 in the row direction (main scanning direction) (see FIG. 5). When the scale mask 211 is set on the set table 63, each detection line 204 extends parallel to the sub-scanning direction (perpendicular to the direction in which the workpiece W is fed). In the embodiment, a large number of detection lines 204 are continuously formed in the main scanning direction of the scale mask 211. However, when a plurality of drawing areas D are formed on the workpiece W, the main scanning is performed. It is also possible to intermittently form a large number of detection lines 204 corresponding to the arrangement of the drawing area D of the work W in the direction.
[0057]
Four indices 213 indicating the set positions of the four corners of the work W are formed on the scale mask 211. When the work W is set at a predetermined set position, each detection line 204 and the concave opening 744 correspond in the row direction. The detection line 204 is positioned at the center of each recess opening 744, that is, at the center of the bank 741 adjacent in the main scanning direction. Since the work W is formed of the glass substrate 711, the detection line 204 can be visually recognized from the concave opening 744 (see FIG. 5). Note that the detection line 204 can be formed over the entire surface of the scale mask 211, or can be formed only on a part (one side in the main scanning direction) of the scale mask 211. However, in the latter case, when the work W is set on the scale mask 211, each detection line 204 extends from the position outside the drawing range of the work W outward in the width direction to the concave opening 744 (of the corresponding row). Preferably. Further, in place of the four indices 213, protrusions (three) for positioning the work may be provided.
[0058]
The scale mask 211 is made of a translucent plate-like glass and has a coefficient of thermal expansion similar to that of the work W formed of the glass substrate 711. Therefore, even if the work W thermally expands due to a change in the environmental temperature, the scale mask 211 also thermally expands similarly to the work W. Therefore, each detection line 204 of the linear scale 203 formed on the scale mask 211 and the concave portion of the work W The relative positional relationship with the opening 744 does not change, and accurate drawing can be performed on the work W based on the linear encoder 202. Further, since the scale mask 211 is detachable from the set table 63, the scale mask 211 on which the linear scale 203 is formed according to the type and purpose of the work W can be appropriately selected. It is possible to increase. Although the scale mask 211 of the embodiment is formed to be slightly larger than the work W, the scale mask 211 may have the same plane shape. In this case, it is also possible to use the glass substrate 711 constituting the work W.
[0059]
Note that the linear scale 203 can be formed on the surface of the scale mask 211 (the setting surface of the work W), but the scale mask 211 is not damaged so that the linear scale 203 is not damaged by the repetitive replacement of the work W. It is preferable to form the linear scale 203 on the back surface (the contact surface with the suction table 64). Further, the material of the scale mask 211 may be any material having the same coefficient of thermal expansion as that of the work W, and may be made of a resin sheet. Also in this case, it is preferable to form the linear scale 203 on the back surface of the scale mask 211, and it is preferable that the resin sheet has translucency (transparency).
[0060]
On the other hand, the head unit 13 is equipped with three linear sensors 205 corresponding to the three functional liquid droplet ejection heads 32 for R, G, and B colors, which are connected to the control device 5 described above. Have been. The detection units (detection ends) 206 of the three linear sensors 205 are arranged on the same straight line as the nozzle rows 35 of the respective functional liquid droplet ejection heads 32, that is, at the same positions as the nozzle rows 35 in the main scanning direction. Then, the three linear sensors 205 sequentially detect the detection lines 204 of the linear scale 203 formed on the scale mask 211 via the workpiece W moving in the main scanning direction, and the function corresponding to each linear sensor 205 is performed. The positional relationship between (the nozzle array 35 of) the droplet discharge head 32 and the work W can be accurately grasped.
[0061]
A series of controls at the time of drawing the work W will be described. Since the same control is performed on each of the functional droplet discharge heads 32 corresponding to the R, G, and B colors, the operation of the functional droplet discharge head 32 corresponding to the R color will be described as an example here. When the drawing process is started, first, the work recognition camera 75 performs image recognition of the work W. Then, the direction of the work W is corrected by the θ table 65 so that the row direction of the aligned concave openings 744 is orthogonal to the main scanning direction. At this time, the amount of deviation between each detection line 204 of the linear scale 203 and the center of the concave opening 744 is detected.
[0062]
The control device 5 drives the X-axis table 21 to move the work W set on the set table 63 to the drawing area 72 via the scale mask 211. Then, the set table 63 faces the head unit 13, and the linear sensor 205 mounted on the head unit 13 sequentially detects the detection line 204 of the scale mask 211 and transmits a detection signal to the control device 5. The control device 5 drives the functional liquid droplet ejection head 32 corresponding to the R color based on the detection signal from the linear sensor 205 so that the functional liquid lands substantially in the middle of the concave opening 744. Specifically, when the detection line 204 and the center position of the recess opening 744 coincide with each other, the control device 5 discharges the ejection of the functional droplet ejection head 32 immediately upon receiving the detection signal from the linear sensor 205. When the drive is performed and the center position of each of the detection lines 204 and the concave opening 744 is shifted, a detection signal from the linear sensor 205 is received, and then the detection line 204 and the center of the concave opening 744 are moved. The ejection drive of the functional droplet ejection head 32 is performed with a predetermined timing delay (based on the delay circuit incorporated in the P-CON 104) based on the shift amount.
[0063]
As described above, in the present embodiment, since the arrangement pitches of the detection lines 204 of the linear scale 203 and the concave openings 744 of the workpiece W in the row direction match, the control device 5 outputs the detection signals of the respective detection lines 204. By driving the functional liquid droplet discharging head 32 every time receiving, the functional liquid droplets can be discharged with high precision in accordance with the arrangement pitch of the concave openings 744. In addition, since the position of the nozzle array 35 of the functional liquid droplet ejection head 32 and the position of the linear sensor 205 in the main scanning direction coincide with each other, the functional liquid droplet ejection is performed in synchronization with the reception timing of the detection signal of each detection line 204. By driving the head 32 to discharge, the functional liquid can be accurately landed at a substantially central position of the recess opening 744.
[0064]
Note that the linear scale 203 (detection line 204) can also be used for correcting undulation (yaw) of the workpiece W during main scanning. In this case, the head unit 13 is provided with a pair of linear sensors for detecting a detection line, and faces both sides of the detection line 204 to detect the undulation of the work W (the deviation of the work feed amount at both ends of the detection line). . Then, based on the detection result of the pair of linear sensors, that is, the deviation of the work feed amount, the work feed is finely adjusted.
[0065]
Next, a case where the above-described droplet discharge device 1 is applied to the manufacture of a liquid crystal display device will be described. FIG. 7 illustrates a cross-sectional structure of the liquid crystal display device 801. As shown in the figure, the liquid crystal display device 801 includes a color filter 802, a counter substrate 803, a liquid crystal composition 804 sealed between the color filter 802 and the counter substrate 803, a backlight (not shown), , Is composed. On the inner surface of the counter substrate 803, pixel electrodes 805 and TFT (thin film transistor) elements (not shown) are formed in a matrix. The red, green, and blue coloring layers 813 of the color filter 802 are arranged at positions facing the pixel electrodes 805. An alignment film 806 for arranging liquid crystal molecules in a fixed direction is formed on the inner surface of each of the color filter 802 and the counter substrate 803, and a polarizing film is formed on the outer surface of each of the color filter 802 and the counter substrate 803. The plate 807 is bonded.
[0066]
The color filter 802 includes a light-transmitting transparent substrate 811, a large number of pixels (filter elements) 812 arranged in a matrix on the transparent substrate 811, a coloring layer 813 formed over the pixels 812, and each pixel 812. And a light-shielding partition 814 for partitioning, and an overcoat layer 815 and an electrode layer 816 are formed on the upper surface of the coloring layer 813 and the partition 814.
[0067]
A method of manufacturing the liquid crystal display device 801 will be described. First, after forming a partition 814 on a transparent substrate 811, an R (red), G (green), and B (blue) coloring layer 813 is formed on a pixel 812 portion. . Then, a color filter 802 is formed by forming an overcoat layer 815 by spin coating with a transparent acrylic resin paint and further forming an electrode layer 816 made of indium tin oxide (ITO). Further, the pixel electrode 805 and the TFT element are formed in the counter substrate 803 in advance. Next, an orientation film 806 is applied to the counter substrate 803 on which the formed color filter 802 and the pixel electrode 805 are formed, and these are laminated. After the liquid crystal composition 804 is sealed between the color filter 802 and the counter substrate 803, a polarizing plate 807 and a backlight are stacked.
[0068]
The droplet discharge device 1 can be used to form the above-described filter element (color layer 813 of R (red), G (green), and B (blue)) of the color filter. In addition, when a liquid material corresponding to the pixel electrode 805 is used, the liquid material can be used for forming the pixel electrode 805.
[0069]
Further, as other electro-optical devices, devices including preparation of metal plates, lens formation, resist formation, light diffuser formation, and the like can be considered. By using the above-described droplet discharge device 1 for manufacturing various electro-optical devices (devices), it is possible to efficiently manufacture various electro-optical devices.
[0070]
【The invention's effect】
As described above, according to the droplet discharge device of the present invention, since the scale mask on which the linear scale is formed has the same coefficient of thermal expansion as the work, the work expands thermally due to a change in the environmental temperature. Even if the size changes, the linear scale also changes in size. Therefore, with a relatively simple configuration using a scale mask, the position information of the work can be accurately detected using the linear scale without being affected by changes in the environmental temperature, and the work can be accurately detected at a predetermined position on the work. Functional droplets can be ejected. Further, according to the present invention, since the dimension of the workpiece is the same as the dimension of the linear scale due to the change in the environmental temperature, the dimension of the workpiece is obtained by arithmetic processing in order to secure appropriate drawing quality. The drawing process can be performed quickly without the need for such complicated processes. Further, the scale mask can be used for the same kind of work for general purposes and can be replaced for different kinds of works, so that the versatility of the droplet discharge device can be improved.
[0071]
Further, since the method for manufacturing an electro-optical device, the electro-optical device, and the electronic apparatus of the present invention are manufactured by applying the above-described droplet discharge device, during the drawing process using functional droplets, the thermal expansion of the work may be caused. Highly accurate products can be efficiently manufactured without being affected.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a longitudinal sectional view of an organic EL device.
FIGS. 2A and 2B are diagrams showing an arrangement of light emitting layers constituting an organic EL element, wherein FIG. 2A is an explanatory diagram of a stripe arrangement, FIG. 2B is an explanatory diagram of a mosaic arrangement, and FIG.
FIG. 3 is a schematic plan view of the droplet discharge device according to the first embodiment.
FIG. 4 is a block diagram showing a main control system of the droplet discharge device.
FIG. 5 is an explanatory diagram around a suction table on which a scale mask is set.
FIG. 6 is an explanatory diagram of a work, a scale mask, and a suction table.
FIG. 7 is a sectional view of a liquid crystal display device.
[Explanation of symbols]
1 droplet discharge device 3 drawing device
5 control device 13 head unit
21 X-axis table 32 Functional droplet discharge head
35 Nozzle row 63 Set table
64 Suction table 67 Suction hole
202 Linear encoder 203 Linear scale
204 Detection line 205 Linear sensor
206 Detection end 211 Scale mask
711 Glass substrate 741 Bank part
744 recess opening
W Work

Claims

機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットに対し、透光性のワークを主走査方向に相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴を吐出して前記ワークの表面に描画を行う液滴吐出装置において、
前記ワークをセットするセットテーブルと、
前記セットテーブルを介して前記ワークを主走査方向に相対的に送る主走査手段と、
前記主走査方向に延在するリニアスケールおよび前記リニアスケールに臨むリニアセンサから成り、前記主走査手段によって相対的に送られてゆくワークの移動位置を連続的に検出するリニアエンコーダと、
前記リニアエンコーダの位置情報に基づいて、前記主走査手段の駆動および前記機能液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御する制御手段と、を備え、
前記リニアセンサは、前記ヘッドユニットに搭載され、
前記リニアスケールは、前記セットテーブルと前記ワークとの間に介設され、前記ワークと同一熱膨張率のスケールマスクに付されていることを特徴とする液滴吐出装置。While moving the translucent work relative to the head unit equipped with the functional droplet discharge head in the main scanning direction, the functional droplet discharge head discharges functional droplets to draw on the surface of the work. In the droplet discharge device to be performed,
A set table for setting the work,
Main scanning means for relatively sending the work in the main scanning direction via the set table,
A linear encoder extending from the linear scale extending in the main scanning direction and a linear sensor facing the linear scale, and continuously detecting a moving position of the work relatively sent by the main scanning unit; and
Control means for controlling the drive of the main scanning means and the ejection drive of the functional droplet ejection head based on the position information of the linear encoder,
The linear sensor is mounted on the head unit,
The linear discharge device, wherein the linear scale is provided between the set table and the work, and is attached to a scale mask having the same coefficient of thermal expansion as the work.

前記ワークは、ガラス基板で構成され、
前記スケールマスクは、板状のガラスで構成されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。The work is configured by a glass substrate,
The droplet discharge device according to claim 1, wherein the scale mask is made of a plate-like glass.

前記ワークは、ガラス基板で構成され、
前記スケールマスクは、樹脂製のシートで構成されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。The work is configured by a glass substrate,
The droplet discharge device according to claim 1, wherein the scale mask is formed of a resin sheet.

前記スケールマスクは、透光性を有する部材で構成され、
前記リニアスケールは、前記スケールマスクの裏面に付されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出装置。The scale mask is made of a translucent member,
4. The droplet discharge device according to claim 1, wherein the linear scale is provided on a back surface of the scale mask.

前記セットテーブルは、前記ワークを吸着してセットする吸着テーブルを有し、
前記スケールマスクには、前記吸着テーブルの吸引孔に連通する貫通孔が形成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。The set table has a suction table for sucking and setting the work.
5. The droplet discharge device according to claim 1, wherein a through hole communicating with the suction hole of the suction table is formed in the scale mask.

前記ワークの表面には、行方向および列方向に延在するバンク部により多数の凹部開口がマトリクス状に形成され、前記機能液滴吐出ヘッドは前記開口凹部内に機能液滴を吐出することで描画を行い、
前記リニアスケールは、前記主走査方向である行方向における前記多数の凹部開口のピッチと合致する多数の検出線を有していることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出装置。On the surface of the work, a number of concave openings are formed in a matrix by bank portions extending in the row direction and the column direction, and the functional droplet discharge head discharges functional droplets into the open concave portions. Do the drawing,
The liquid according to any one of claims 1 to 5, wherein the linear scale has a large number of detection lines that match a pitch of the large number of concave openings in a row direction that is the main scanning direction. Drop ejection device.

前記スケールマスクに対し前記ワークは、前記各検出線が行方向に隣接する前記バンク部の中間に位置するようにセットされていることを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出装置。7. The droplet discharging apparatus according to claim 6, wherein the workpiece is set with respect to the scale mask such that each of the detection lines is located in the middle of the bank portion adjacent in the row direction.

前記機能液滴吐出ヘッドのノズル列の列方向は、前記主走査方向に直交しており、
前記ノズル列と、前記ヘッドユニットに設けたリニアセンサの検出端とは、前記主走査方向において同位置に配設されていることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出装置。The row direction of the nozzle row of the functional droplet discharge head is orthogonal to the main scanning direction,
The apparatus according to claim 7, wherein the nozzle row and a detection end of a linear sensor provided in the head unit are arranged at the same position in the main scanning direction.

請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。A method for manufacturing an electro-optical device, comprising: forming a film-forming portion using functional droplets on the work using the droplet discharge device according to claim 1.

請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。An electro-optical device, comprising: a film-forming portion formed of functional liquid droplets on the work using the liquid droplet discharge device according to claim 1.

請求項１０に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 10.