JP2004311566A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体チップの冷却性能に優れた半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体チップを内蔵した非絶縁型半導体モジュール2と、半導体チップの冷却を行う冷却器3と、非絶縁型半導体モジュール2及び冷却器3の間に挟み込まれる絶縁シート6を備え、絶縁シート6にシリコンオイル7を浸透させると共に、絶縁シート6と非絶縁型半導体モジュール2側のバスバー5との間、及び、絶縁シート6と冷却器3との間の双方にシリコンオイル7を介在させた。
【選択図】 図1
【解決手段】半導体チップを内蔵した非絶縁型半導体モジュール2と、半導体チップの冷却を行う冷却器3と、非絶縁型半導体モジュール2及び冷却器3の間に挟み込まれる絶縁シート6を備え、絶縁シート6にシリコンオイル7を浸透させると共に、絶縁シート6と非絶縁型半導体モジュール2側のバスバー5との間、及び、絶縁シート6と冷却器3との間の双方にシリコンオイル7を介在させた。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体チップを内蔵した非絶縁型半導体モジュールを有する半導体装置の改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、上記したようなトランジスタやサイリスタなどの半導体チップを用いた半導体装置としては、直流電力を交流電力に変換するインバータがあるほか、交流電力を直流電力に変換するコンバータがある(例えば非特許文献1参照。)。
【0003】
このような半導体装置において、電力が大きくなるにつれて半導体チップからの放熱量が多くなって高温(60〜90℃)になるので、上記半導体チップに冷却器を取付けて冷却する必要があり、加えて、絶縁型半導体モジュールと比較してコンパクト化及び低コスト化を実現可能な非絶縁型半導体モジュールでは、チップ電極と接合するバスバーと上記冷却器との間に絶縁シートを配置して絶縁性を確保する必要がある。
【0004】
この場合、絶縁シートに熱伝導性の高いセラミックやアルミナなどのフィラーを高充填することで、絶縁シートの熱伝導性を高めて放熱性の向上を図るようにしている。
【0005】
【非特許文献1】
「機械工学便覧」社団法人 日本機械学会 発行 昭和63年5月15日 A8−62〜A8−65
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した半導体装置では、絶縁シートに熱伝導性の高いフィラーを高充填している都合上柔軟性に乏しく、半導体モジュール側のバスバーの表面凹凸又は冷却器の表面凹凸への追従性が良いとは言えないことから、接触熱抵抗が高くなってしまうという問題があった。
【0007】
また、絶縁シートとして柔軟性に富んだ放熱シートを用いると、バスバーの表面凹凸又は冷却器の表面凹凸への追従性が良好になって接触熱抵抗の低減を実現することはできるものの、柔軟性を確保するためにフィラーの添加量が制限されて熱伝導性の向上が困難となり、その結果、熱伝達性能の低下を招いてしまうという問題を有しており、これらの問題を解決することが従来の課題となっていた。
【0008】
【発明の目的】
本発明は、上記した従来の課題に着目してなされたもので、半導体モジュールと冷却器との間における熱伝達性が良好であり、半導体チップの冷却性能に優れた半導体装置及びその製造方法を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明者らが鋭意検討した結果、絶縁シートに膨潤助剤を浸透させて表面の軟化及び膨潤作用を促すことで、半導体モジュール側の表面凹凸及び冷却器の表面凹凸のうちの少なくとも一方の表面凹凸に対して絶縁シートを密着させ得ることを見出すに至った。
【0010】
すなわち、本発明は、半導体チップを内蔵した非絶縁型半導体モジュールと、半導体チップの冷却を行う冷却器と、上記非絶縁型半導体モジュール及び冷却器の間に挟み込まれる絶縁シートを備えた半導体装置において、上記絶縁シートに膨潤助剤を浸透させた構成としたことを特徴としており、この半導体装置の構成を前述した従来の課題を解決するための手段としている。
【0011】
一方、本発明の半導体装置の製造方法は、請求項1〜4のいずれかに記載の半導体装置を製造するに際して、非絶縁型半導体モジュール側の絶縁シート対向面及び冷却器側の絶縁シート対向面のうちの少なくともいずれか一方の絶縁シート対向面に膨潤助剤を付着させた後、上記非絶縁型半導体モジュール側の絶縁シート対向面と冷却器側の絶縁シート対向面との間に絶縁シートを挟み込む構成としている。
【0012】
本発明の半導体装置では、絶縁シートに浸透させた膨潤助剤により、シート表面の軟化及び膨潤作用が促進されるので、半導体モジュール側の表面凹凸及び冷却器の表面凹凸のうちの少なくとも一方の表面凹凸に対する絶縁シートの密着性が高まることとなり、その結果、半導体モジュールと冷却器との間における熱伝達性能が向上することとなる。
【0013】
本発明の半導体装置の製造方法では、非絶縁型半導体モジュール側の絶縁シート対向面と冷却器側の絶縁シート対向面との間に絶縁シートを挟み込むと、絶縁シートに膨潤助剤が浸透し、この際、膨潤助剤の付着量を十分なものとすれば、半導体モジュール側の表面凹凸及び冷却器の表面凹凸のうちの少なくとも一方の表面凹凸と、絶縁シートとの間に隙間が生じるのを回避し得ることとなる。
【0014】
【発明の効果】
本発明の半導体装置によれば、上記した構成としているので、半導体モジュールと冷却器との間における熱伝達性能を高めることができ、その結果、半導体チップの冷却性能の向上を実現することが可能であるという非常に優れた効果がもたらされる。
【0015】
また、熱伝導性の高いフィラーが高充填された柔軟性に乏しい絶縁シートを用いた場合であったとしても、半導体モジュール側の表面凹凸及び/又は冷却器の表面凹凸に対する絶縁シートの追従性を高めて、接触熱抵抗の低減を実現することができるという非常に優れた効果がもたらされる。
【0016】
さらに、本発明の半導体装置の製造方法によれば、上記した構成としたから、膨潤助剤の付着量を十分なものとすることで、半導体モジュール側の表面凹凸及び冷却器の表面凹凸のうちの少なくとも一方の表面凹凸と、絶縁シートとの間に隙間が生じるのを確実に阻止することが可能であるという非常に優れた効果がもたらされる。
【0017】
【発明の実施の形態】
本発明の半導体装置において、半導体モジュール側の表面凹凸及び冷却器の表面凹凸のうちの少なくとも一方の表面凹凸と、絶縁シートとの間に隙間が生じるのを確実に阻止するために、絶縁シートと非絶縁型半導体モジュール側との間、及び、絶縁シートと冷却器側との間のうちの少なくとも一方に膨潤助剤を介在させることが望ましい。
【0018】
また、本発明の半導体装置において、半導体モジュール側と冷却器との絶縁性をより一層高めるために、絶縁性を有する液状物質から成る膨潤助剤とすることが望ましく、絶縁性を有する液状物質としては、例えば、シリコンオイルやフッ素系オイルを用いることができる。
【0019】
さらに、本発明の半導体装置において、浸透している膨潤助剤が時間の経過とともに揮発して絶縁シートが収縮するのを防ぐために、揮発性の低い液状物質から成る膨潤助剤とすることが望ましく、シートに浸透し易く且つ揮発し難い液状物質としては、例えば、シリコンゴムやフッ素系ゴムに対するシリコンオイルやフッ素系オイルの使用が可能である。
【0020】
一方、本発明の半導体装置の製造方法において、非絶縁型半導体モジュール側の絶縁シート対向面及び冷却器側の絶縁シート対向面のうちの少なくともいずれか一方の絶縁シート対向面に対しては、その全面に膨潤助剤を付着させる必要はなく、上記絶縁シート対向面に膨潤助剤を点在させるように付着させてもよい。
【0021】
【実施例】
以下、本発明を図面に基づいて説明する。
【0022】
[実施例1]
図1〜図3は本発明の半導体装置の一実施例を示している。
【0023】
図1に示すように、この半導体装置1は、半導体チップを内蔵した非絶縁型半導体モジュール2と、半導体チップの冷却を行う冷却器3と、上記非絶縁型半導体モジュール2にはんだ4を介して接合したバスバー5及び冷却器3の間に挟み込まれる絶縁シート6を備えており、この絶縁シート6には、熱伝導性フィラーとしてアルミナが50質量%含有させてある。
【0024】
また、上記絶縁シート6には、膨潤助剤としての粘度10000cSのシリコンオイル(絶縁性を有し且つ揮発性の低い液状物質)7が浸透させてあり、この実施例において、絶縁シート6とバスバー5との間、及び、絶縁シート6と冷却器3との間にも上記シリコンオイル7が介在させてある。
【0025】
上記半導体装置1を製造するに際しては、まず、図2に示すように、非絶縁型半導体モジュール2側におけるバスバー5の絶縁シート対向面5a及び冷却器3の絶縁シート対向面3aの双方に対して、シリコンオイル7をスポット状に付着させる。
【0026】
次いで、図3に示すように、上記バスバー5の絶縁シート対向面5aと冷却器3の絶縁シート対向面3aとの間に絶縁シート6を挟み込むと、上記半導体装置1が得られることとなる。
【0027】
このとき、バスバー5の絶縁シート対向面5a及び冷却器3の絶縁シート対向面3aの双方にスポット状に付着させたシリコンオイル7は、絶縁シート6に浸透しつつ押し広げられるので、バスバー5の絶縁シート対向面5aと絶縁シート6との間に隙間が生じたり、冷却器3の絶縁シート対向面3aと絶縁シート6との間に隙間が生じたりすることなく、絶縁シート6の組み付けがなされることとなる。
【0028】
上記した半導体装置1では、絶縁シート6に浸透させたシリコンオイル7により、絶縁シート6の表面の軟化及び膨潤作用が促進されるのに加えて、絶縁シート6とバスバー5との間、及び、絶縁シート6と冷却器3との間にも上記シリコンオイル7を介在させているので、半導体モジュール2側のバスバー5の絶縁シート対向面5a及び冷却器3の絶縁シート対向面3aの双方に対する絶縁シート6の密着性が高まることとなり、その結果、接触熱抵抗の大幅な低減が実現することとなる。
【0029】
また、上記した半導体装置1では、膨潤助剤として、絶縁性を有し且つ揮発性の低いシリコンオイル7を用いているので、半導体モジュール2側と冷却器3との絶縁性が確保されると共に、時間の経過とともに絶縁シート6が収縮するのを回避し得ることとなる。
【0030】
[実施例2]
この実施例における半導体装置1は、膨潤助剤として、金属添加剤を配合して導電性を持たせたシリコンオイル7を用いており、他の構成は先の実施例の半導体装置1と同じである(図3参照)。
【0031】
この半導体装置1においても、絶縁シート6の表面の軟化及び膨潤作用を促進することができるのに加えて、上記した実施例における半導体装置1ほどではないものの、半導体モジュール2側と冷却器3との絶縁に対する高い信頼性を得ることができる。
【0032】
[実施例3]
図4に部分的に示すように、この実施例における半導体装置11は、膨潤助剤として、揮発し易いガソリン17を用いており、他の構成は先の実施例の半導体装置1と同じである。
【0033】
この半導体装置11において、製造後間もないころは、絶縁シート6に浸透させたガソリン17により、絶縁シート6の表面の軟化及び膨潤作用が促進されるうえ、絶縁シート6とバスバー5との間、及び、絶縁シート6と冷却器3との間にも上記ガソリン17が介在しているので、半導体モジュール2側のバスバー5の絶縁シート対向面5a及び冷却器3の絶縁シート対向面3aの双方に対する密着性が高まるが、時間の経過に伴うガソリン17の揮発により絶縁シート6が硬化して、接触熱抵抗が僅かに(10%程度)高くなる。
【0034】
[実施例4]
図5に部分的に示すように、この実施例における半導体装置21は、アルミナフィラーを50%添加した絶縁シート26を使用し、膨潤助剤としての粘度10000cSのシリコンオイル27をこの絶縁シート26に浸透させた状態でバスバー25と冷却器23との間に配置する構成としている。
【0035】
この半導体装置21において、絶縁シート26に浸透させたシリコンオイル27により、絶縁シート6の表面の軟化及び膨潤作用が促進されるので、バスバー25及び冷却器23の双方に対する密着性が高まることとなり、この際、絶縁シート26とバスバー25との間、及び、絶縁シート26と冷却器23との間にはシリコンオイル27を介在させていないので、上記実施例1の半導体装置1よりも接触熱抵抗が僅かに(10%程度)高くなる。
【0036】
[比較例1]
図6に部分的に示すように、この比較例における半導体装置51は、フィラーとしてのアルミナを80質量%添加した絶縁シート56を使用して、この絶縁シート56をバスバー55と冷却器53との間に配置する構成としている。
【0037】
この半導体装置51において、絶縁シート56にフィラーとしてのアルミナを高充填しているため柔軟性に乏しく、バスバー55の表面凹凸又は冷却器53の表面凹凸へ追従することが困難であり、上記実施例1の半導体装置1よりも接触熱抵抗がかなり(40%程度)高くなってしまう。
【0038】
[比較例2]
図7に部分的に示すように、この比較例における半導体装置61は、バスバー65の表面凹凸又は冷却器63の表面凹凸への追従性をよくするために、フィラーとしてのアルミナを20質量%添加した柔軟性に富んだ絶縁シート66を使用して、この絶縁シート66をバスバー65と冷却器63との間に配置する構成としている。
【0039】
この半導体装置61では、柔軟性を確保するうえでフィラーとしてのアルミナの添加量を抑える必要があることから、熱伝導性を高めることが困難であり、その結果、上記実施例1の半導体装置1よりも接触熱抵抗がかなり(30%程度)高くなってしまう。
【0040】
本発明の半導体装置及びその製造方法の詳細な構成は、上記した実施例に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体装置の一実施例を示す断面説明図である。
【図2】図1に示した半導体装置の絶縁シートを組付ける前の部分拡大断面説明図である。
【図3】図1に示した半導体装置の絶縁シートを組付けた後の部分拡大断面説明図である。
【図4】本発明の半導体装置の他の実施例を示す部分拡大断面説明図である。
【図5】本発明の半導体装置のさらに他の実施例を示す部分拡大断面説明図である。
【図6】比較例としての半導体装置を示す部分拡大断面説明図である。
【図7】他の比較例としての半導体装置を示す部分拡大断面説明図である。
【符号の説明】
1,11,21 半導体装置
2 非絶縁型半導体モジュール
3,23 冷却器
3a 絶縁シート対向面
5,25 バスバー
5a 絶縁シート対向面
6,26 絶縁シート
7,27 シリコンオイル(膨潤助剤;液状物質)
17 ガソリン(膨潤助剤;液状物質)
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体チップを内蔵した非絶縁型半導体モジュールを有する半導体装置の改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、上記したようなトランジスタやサイリスタなどの半導体チップを用いた半導体装置としては、直流電力を交流電力に変換するインバータがあるほか、交流電力を直流電力に変換するコンバータがある(例えば非特許文献1参照。)。
【0003】
このような半導体装置において、電力が大きくなるにつれて半導体チップからの放熱量が多くなって高温(60〜90℃)になるので、上記半導体チップに冷却器を取付けて冷却する必要があり、加えて、絶縁型半導体モジュールと比較してコンパクト化及び低コスト化を実現可能な非絶縁型半導体モジュールでは、チップ電極と接合するバスバーと上記冷却器との間に絶縁シートを配置して絶縁性を確保する必要がある。
【0004】
この場合、絶縁シートに熱伝導性の高いセラミックやアルミナなどのフィラーを高充填することで、絶縁シートの熱伝導性を高めて放熱性の向上を図るようにしている。
【0005】
【非特許文献1】
「機械工学便覧」社団法人 日本機械学会 発行 昭和63年5月15日 A8−62〜A8−65
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した半導体装置では、絶縁シートに熱伝導性の高いフィラーを高充填している都合上柔軟性に乏しく、半導体モジュール側のバスバーの表面凹凸又は冷却器の表面凹凸への追従性が良いとは言えないことから、接触熱抵抗が高くなってしまうという問題があった。
【0007】
また、絶縁シートとして柔軟性に富んだ放熱シートを用いると、バスバーの表面凹凸又は冷却器の表面凹凸への追従性が良好になって接触熱抵抗の低減を実現することはできるものの、柔軟性を確保するためにフィラーの添加量が制限されて熱伝導性の向上が困難となり、その結果、熱伝達性能の低下を招いてしまうという問題を有しており、これらの問題を解決することが従来の課題となっていた。
【0008】
【発明の目的】
本発明は、上記した従来の課題に着目してなされたもので、半導体モジュールと冷却器との間における熱伝達性が良好であり、半導体チップの冷却性能に優れた半導体装置及びその製造方法を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明者らが鋭意検討した結果、絶縁シートに膨潤助剤を浸透させて表面の軟化及び膨潤作用を促すことで、半導体モジュール側の表面凹凸及び冷却器の表面凹凸のうちの少なくとも一方の表面凹凸に対して絶縁シートを密着させ得ることを見出すに至った。
【0010】
すなわち、本発明は、半導体チップを内蔵した非絶縁型半導体モジュールと、半導体チップの冷却を行う冷却器と、上記非絶縁型半導体モジュール及び冷却器の間に挟み込まれる絶縁シートを備えた半導体装置において、上記絶縁シートに膨潤助剤を浸透させた構成としたことを特徴としており、この半導体装置の構成を前述した従来の課題を解決するための手段としている。
【0011】
一方、本発明の半導体装置の製造方法は、請求項1〜4のいずれかに記載の半導体装置を製造するに際して、非絶縁型半導体モジュール側の絶縁シート対向面及び冷却器側の絶縁シート対向面のうちの少なくともいずれか一方の絶縁シート対向面に膨潤助剤を付着させた後、上記非絶縁型半導体モジュール側の絶縁シート対向面と冷却器側の絶縁シート対向面との間に絶縁シートを挟み込む構成としている。
【0012】
本発明の半導体装置では、絶縁シートに浸透させた膨潤助剤により、シート表面の軟化及び膨潤作用が促進されるので、半導体モジュール側の表面凹凸及び冷却器の表面凹凸のうちの少なくとも一方の表面凹凸に対する絶縁シートの密着性が高まることとなり、その結果、半導体モジュールと冷却器との間における熱伝達性能が向上することとなる。
【0013】
本発明の半導体装置の製造方法では、非絶縁型半導体モジュール側の絶縁シート対向面と冷却器側の絶縁シート対向面との間に絶縁シートを挟み込むと、絶縁シートに膨潤助剤が浸透し、この際、膨潤助剤の付着量を十分なものとすれば、半導体モジュール側の表面凹凸及び冷却器の表面凹凸のうちの少なくとも一方の表面凹凸と、絶縁シートとの間に隙間が生じるのを回避し得ることとなる。
【0014】
【発明の効果】
本発明の半導体装置によれば、上記した構成としているので、半導体モジュールと冷却器との間における熱伝達性能を高めることができ、その結果、半導体チップの冷却性能の向上を実現することが可能であるという非常に優れた効果がもたらされる。
【0015】
また、熱伝導性の高いフィラーが高充填された柔軟性に乏しい絶縁シートを用いた場合であったとしても、半導体モジュール側の表面凹凸及び/又は冷却器の表面凹凸に対する絶縁シートの追従性を高めて、接触熱抵抗の低減を実現することができるという非常に優れた効果がもたらされる。
【0016】
さらに、本発明の半導体装置の製造方法によれば、上記した構成としたから、膨潤助剤の付着量を十分なものとすることで、半導体モジュール側の表面凹凸及び冷却器の表面凹凸のうちの少なくとも一方の表面凹凸と、絶縁シートとの間に隙間が生じるのを確実に阻止することが可能であるという非常に優れた効果がもたらされる。
【0017】
【発明の実施の形態】
本発明の半導体装置において、半導体モジュール側の表面凹凸及び冷却器の表面凹凸のうちの少なくとも一方の表面凹凸と、絶縁シートとの間に隙間が生じるのを確実に阻止するために、絶縁シートと非絶縁型半導体モジュール側との間、及び、絶縁シートと冷却器側との間のうちの少なくとも一方に膨潤助剤を介在させることが望ましい。
【0018】
また、本発明の半導体装置において、半導体モジュール側と冷却器との絶縁性をより一層高めるために、絶縁性を有する液状物質から成る膨潤助剤とすることが望ましく、絶縁性を有する液状物質としては、例えば、シリコンオイルやフッ素系オイルを用いることができる。
【0019】
さらに、本発明の半導体装置において、浸透している膨潤助剤が時間の経過とともに揮発して絶縁シートが収縮するのを防ぐために、揮発性の低い液状物質から成る膨潤助剤とすることが望ましく、シートに浸透し易く且つ揮発し難い液状物質としては、例えば、シリコンゴムやフッ素系ゴムに対するシリコンオイルやフッ素系オイルの使用が可能である。
【0020】
一方、本発明の半導体装置の製造方法において、非絶縁型半導体モジュール側の絶縁シート対向面及び冷却器側の絶縁シート対向面のうちの少なくともいずれか一方の絶縁シート対向面に対しては、その全面に膨潤助剤を付着させる必要はなく、上記絶縁シート対向面に膨潤助剤を点在させるように付着させてもよい。
【0021】
【実施例】
以下、本発明を図面に基づいて説明する。
【0022】
[実施例1]
図1〜図3は本発明の半導体装置の一実施例を示している。
【0023】
図1に示すように、この半導体装置1は、半導体チップを内蔵した非絶縁型半導体モジュール2と、半導体チップの冷却を行う冷却器3と、上記非絶縁型半導体モジュール2にはんだ4を介して接合したバスバー5及び冷却器3の間に挟み込まれる絶縁シート6を備えており、この絶縁シート6には、熱伝導性フィラーとしてアルミナが50質量%含有させてある。
【0024】
また、上記絶縁シート6には、膨潤助剤としての粘度10000cSのシリコンオイル(絶縁性を有し且つ揮発性の低い液状物質)7が浸透させてあり、この実施例において、絶縁シート6とバスバー5との間、及び、絶縁シート6と冷却器3との間にも上記シリコンオイル7が介在させてある。
【0025】
上記半導体装置1を製造するに際しては、まず、図2に示すように、非絶縁型半導体モジュール2側におけるバスバー5の絶縁シート対向面5a及び冷却器3の絶縁シート対向面3aの双方に対して、シリコンオイル7をスポット状に付着させる。
【0026】
次いで、図3に示すように、上記バスバー5の絶縁シート対向面5aと冷却器3の絶縁シート対向面3aとの間に絶縁シート6を挟み込むと、上記半導体装置1が得られることとなる。
【0027】
このとき、バスバー5の絶縁シート対向面5a及び冷却器3の絶縁シート対向面3aの双方にスポット状に付着させたシリコンオイル7は、絶縁シート6に浸透しつつ押し広げられるので、バスバー5の絶縁シート対向面5aと絶縁シート6との間に隙間が生じたり、冷却器3の絶縁シート対向面3aと絶縁シート6との間に隙間が生じたりすることなく、絶縁シート6の組み付けがなされることとなる。
【0028】
上記した半導体装置1では、絶縁シート6に浸透させたシリコンオイル7により、絶縁シート6の表面の軟化及び膨潤作用が促進されるのに加えて、絶縁シート6とバスバー5との間、及び、絶縁シート6と冷却器3との間にも上記シリコンオイル7を介在させているので、半導体モジュール2側のバスバー5の絶縁シート対向面5a及び冷却器3の絶縁シート対向面3aの双方に対する絶縁シート6の密着性が高まることとなり、その結果、接触熱抵抗の大幅な低減が実現することとなる。
【0029】
また、上記した半導体装置1では、膨潤助剤として、絶縁性を有し且つ揮発性の低いシリコンオイル7を用いているので、半導体モジュール2側と冷却器3との絶縁性が確保されると共に、時間の経過とともに絶縁シート6が収縮するのを回避し得ることとなる。
【0030】
[実施例2]
この実施例における半導体装置1は、膨潤助剤として、金属添加剤を配合して導電性を持たせたシリコンオイル7を用いており、他の構成は先の実施例の半導体装置1と同じである(図3参照)。
【0031】
この半導体装置1においても、絶縁シート6の表面の軟化及び膨潤作用を促進することができるのに加えて、上記した実施例における半導体装置1ほどではないものの、半導体モジュール2側と冷却器3との絶縁に対する高い信頼性を得ることができる。
【0032】
[実施例3]
図4に部分的に示すように、この実施例における半導体装置11は、膨潤助剤として、揮発し易いガソリン17を用いており、他の構成は先の実施例の半導体装置1と同じである。
【0033】
この半導体装置11において、製造後間もないころは、絶縁シート6に浸透させたガソリン17により、絶縁シート6の表面の軟化及び膨潤作用が促進されるうえ、絶縁シート6とバスバー5との間、及び、絶縁シート6と冷却器3との間にも上記ガソリン17が介在しているので、半導体モジュール2側のバスバー5の絶縁シート対向面5a及び冷却器3の絶縁シート対向面3aの双方に対する密着性が高まるが、時間の経過に伴うガソリン17の揮発により絶縁シート6が硬化して、接触熱抵抗が僅かに(10%程度)高くなる。
【0034】
[実施例4]
図5に部分的に示すように、この実施例における半導体装置21は、アルミナフィラーを50%添加した絶縁シート26を使用し、膨潤助剤としての粘度10000cSのシリコンオイル27をこの絶縁シート26に浸透させた状態でバスバー25と冷却器23との間に配置する構成としている。
【0035】
この半導体装置21において、絶縁シート26に浸透させたシリコンオイル27により、絶縁シート6の表面の軟化及び膨潤作用が促進されるので、バスバー25及び冷却器23の双方に対する密着性が高まることとなり、この際、絶縁シート26とバスバー25との間、及び、絶縁シート26と冷却器23との間にはシリコンオイル27を介在させていないので、上記実施例1の半導体装置1よりも接触熱抵抗が僅かに(10%程度)高くなる。
【0036】
[比較例1]
図6に部分的に示すように、この比較例における半導体装置51は、フィラーとしてのアルミナを80質量%添加した絶縁シート56を使用して、この絶縁シート56をバスバー55と冷却器53との間に配置する構成としている。
【0037】
この半導体装置51において、絶縁シート56にフィラーとしてのアルミナを高充填しているため柔軟性に乏しく、バスバー55の表面凹凸又は冷却器53の表面凹凸へ追従することが困難であり、上記実施例1の半導体装置1よりも接触熱抵抗がかなり(40%程度)高くなってしまう。
【0038】
[比較例2]
図7に部分的に示すように、この比較例における半導体装置61は、バスバー65の表面凹凸又は冷却器63の表面凹凸への追従性をよくするために、フィラーとしてのアルミナを20質量%添加した柔軟性に富んだ絶縁シート66を使用して、この絶縁シート66をバスバー65と冷却器63との間に配置する構成としている。
【0039】
この半導体装置61では、柔軟性を確保するうえでフィラーとしてのアルミナの添加量を抑える必要があることから、熱伝導性を高めることが困難であり、その結果、上記実施例1の半導体装置1よりも接触熱抵抗がかなり(30%程度)高くなってしまう。
【0040】
本発明の半導体装置及びその製造方法の詳細な構成は、上記した実施例に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体装置の一実施例を示す断面説明図である。
【図2】図1に示した半導体装置の絶縁シートを組付ける前の部分拡大断面説明図である。
【図3】図1に示した半導体装置の絶縁シートを組付けた後の部分拡大断面説明図である。
【図4】本発明の半導体装置の他の実施例を示す部分拡大断面説明図である。
【図5】本発明の半導体装置のさらに他の実施例を示す部分拡大断面説明図である。
【図6】比較例としての半導体装置を示す部分拡大断面説明図である。
【図7】他の比較例としての半導体装置を示す部分拡大断面説明図である。
【符号の説明】
1,11,21 半導体装置
2 非絶縁型半導体モジュール
3,23 冷却器
3a 絶縁シート対向面
5,25 バスバー
5a 絶縁シート対向面
6,26 絶縁シート
7,27 シリコンオイル(膨潤助剤;液状物質)
17 ガソリン(膨潤助剤;液状物質)
Claims (6)
- 半導体チップを内蔵した非絶縁型半導体モジュールと、半導体チップの冷却を行う冷却器と、上記非絶縁型半導体モジュール及び冷却器の間に挟み込まれる絶縁シートを備えた半導体装置において、上記絶縁シートに膨潤助剤を浸透させたことを特徴とする半導体装置。
- 絶縁シートと非絶縁型半導体モジュール側との間、及び、絶縁シートと冷却器側との間のうちの少なくとも一方に膨潤助剤を介在させた請求項1に記載の半導体装置。
- 膨潤助剤は絶縁性を有する液状物質から成っている請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 膨潤助剤は揮発性の低い液状物質から成っている請求項1〜3のいずれか1つの項に記載の半導体装置。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の半導体装置を製造するに際して、非絶縁型半導体モジュール側の絶縁シート対向面及び冷却器側の絶縁シート対向面のうちの少なくともいずれか一方の絶縁シート対向面に膨潤助剤を付着させた後、上記非絶縁型半導体モジュール側の絶縁シート対向面と冷却器側の絶縁シート対向面との間に絶縁シートを挟み込むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 非絶縁型半導体モジュール側の絶縁シート対向面及び冷却器側の絶縁シート対向面のうちの少なくともいずれか一方の絶縁シート対向面に膨潤助剤を点在させる請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
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JP2003100229A JP2004311566A (ja) | 2003-04-03 | 2003-04-03 | 半導体装置及びその製造方法 |
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WO2022249841A1 (ja) * | 2021-05-26 | 2022-12-01 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 実装構造体 |
-
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- 2003-04-03 JP JP2003100229A patent/JP2004311566A/ja active Pending
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