JP2004305936A - プローブピン洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブピン洗浄装置1は、エタノール等の洗浄液2を収容する有底箱状の洗浄容器3と、この洗浄容器3の内底部上に配置されかつプローブピンPPが下に向いた状態のピンボードPBを水平に支持するステー4と、洗浄容器3の上部開口3aの外縁部3bを、衝撃吸収材5を介して支持する上部開口縁部6aを有する外箱6と、超音波振動発生装置7とから概略構成されている。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、ピンボードに支持されたプローブピンに対して洗浄治具を接触させずに洗浄を行う非接触方式のプローブピン洗浄装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
チップ部品を実装したプリント配線基板に対しては、インサーキットテストを用いて各端子間の電気量を測定し、配線不良、誤実装または部品不良等が検査されている。インサーキットテスタには、試験対象となるプリント配線基板の各端子にそれぞれ対応する複数のプローブピンを支持した試験治具(以下、ピンボードという)が用いられている。このピンボードは、スリーブとこのスリーブ内に配設したコイルばねとで構成された摺動部により、プローブピンをその長さ方向に沿って摺動可能に支持しており、これにより、導通検査時にプローブピンをプリント配線基板の各端子に対して所定の押圧力をもって接触させることが可能である。ところが、ピンボードに支持されたプローブピンの先端には、導通検査後に、プリント配線基板からフラックス等の汚れが付着することがある。
【0003】
従来、プローブピンの洗浄に対しては、例えば、特許文献1に開示されているように、プローブピンの触針部分を直接洗浄するブラシ等を用いる、いわゆる接触方式のプローブピン洗浄装置が主に用いられている。この接触方式のプローブピン洗浄装置では、ブラシによりプローブピンに対して大きな外力を加えることになるため、プローブピンが変形するなどのダメージを受けることになる。
【0004】
これに対して、非接触方式のプローブピン洗浄装置も知られている。特許文献2は、ピンボード上に支持されかつ上向きに置かれたプローブピンの触針部分に付着した汚れを溶解する洗浄液と洗浄用エアーとをプローブピンの触針部分に上方から噴射して洗浄する非接触方式の洗浄機を開示している。この洗浄機では、プローブピンに対して変形等のダメージを与えることは少ない。
【0005】
なお、特許文献3は、フラックス洗浄を行っていないプリント配線基板に対しても安定して導通検査することを目的として、プローブピンの触針部分に静的押圧力と超音波振動を付加して触針、導通させるピンボードを開示している。しかし、このピンボードに支持されたプローブピンに汚れが付着した場合には、結果として、上述のような従来のプローブピン洗浄装置を用いて洗浄することになる。
【0006】
【特許文献1】
特開平5−281257号公報(請求項1、図1)
【特許文献2】
特開平8−290090号公報(請求項1、図4)
【特許文献3】
特開平5−264588号公報(請求項1、図1)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のプローブピン洗浄装置は上述のような構成を有しているので、以下のような課題があった。
すなわち、従来の非接触方式のプローブピン洗浄装置では、上向きにしたプローブピンに対して噴射された洗浄液がプローブピンを伝ってピンボードの摺動部内に浸入して当該摺動部内のコイルばねを腐食させてしまうことがある。この場合には、腐食したコイルばねにより摺動すべきプローブピンが所定の距離を摺動できなくなるため、プリント配線基板の各端子に対するプローブピンの接触が不十分となり、精密な導通検査を実施できないおそれがあるという課題があった。また、洗浄液として例えばイソプロピルアルコール(IPA)またはグリコールエーテル(GE)を使用する場合には、その取り扱いや入手が困難であると共に、洗浄液のピンボードへの染み込みによる割れ等のダメージ(以下、ソルベントクラックという)が発生してしまうという課題があった。洗浄液と洗浄用エアーとを噴射する手段を個別に備える必要があるため、装置自体が大掛かりとなるという課題があった。さらに、従来のプローブピン洗浄装置では、汚れの落ち具合に関して、ユーザーが微細なプローブピンをそのまま目視で確認するか、あるいは拡大鏡等の装置を用いて確認しているため、洗浄終了の確認をとるのに手間取るという課題があった。
【0008】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、洗浄後にプローブピンを支持するピンボードにソルベントクランク等の不具合を生じさせずに、プローブピンの触針部分のみを確実に洗浄し、その洗浄確認が容易な小型のプローブピン洗浄装置を得ることを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この発明に係るプローブピン洗浄装置は、下向きにしたプローブピンの触針部分が浸る洗浄液に対して超音波振動を発生させる超音波振動発生手段を備えるように構成したものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の一形態を説明する。
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1によるプローブピン洗浄装置の構成を示す部分断面図であり、図2は図1に示したプローブピン洗浄装置の洗浄対象であるプローブピンに対して用いられる別体の紫外線照射手段を示す正面図である。
【0011】
図1に示すように、プローブピン洗浄装置1は、ピンボードPBに支持され下向きにされた複数のプローブピンPPの先端に位置する触針部分に対して超音波洗浄を施す洗浄装置であって、洗浄液2を収容する有底箱状の洗浄容器3と、この洗浄容器3の内底部上に配置されかつプローブピンPPが下に向いた状態のピンボードPBを水平に支持するステー(支持部材)4と、上記洗浄容器3の上部開口3aの外縁部3bを、衝撃吸収材5を介して支持する上部開口縁部6aを有する外箱6と、超音波振動発生装置(超音波振動発生手段)7とから概略構成されている。超音波振動発生装置7は、洗浄容器3の底部と外箱6の底部との間に形成された内空間8内に配設されかつ洗浄容器3の外底部に固定された振動子9と、この振動子9と電気的に接続されかつ外箱6の外部に置かれた発振器10とから概略構成されている。発振器10は、振動子9を振動させて洗浄容器3を介して洗浄液2に対して超音波振動を与えるものである。また、発振器10は周期的にまたは周波数や振幅を変えて超音波振動を出力することが可能であり、プローブピンPPの汚れ具合に応じて振動モードを適宜変更することが可能である。
【0012】
洗浄液2としては、従来、洗浄液として使用されてきたIPAまたはGEよりも入手が容易で人体や環境に無害であり、洗浄能力および揮発性に優れたエチルアルコール(以下、エタノールという)が好適に用いられる。但し、洗浄液2はエタノールに限定されるものではなく、エタノールと同等の洗浄能力、無害性および揮発性を有する洗浄液であれば、如何なる洗浄液でも使用可能である。なお、エタノール濃度は、洗浄対象であるプローブピンPPの汚れ具合、揮発性や経済性等を勘案して適宜決められる。このため、洗浄容器3は洗浄液2に使用される濃度のエタノールに耐えるに十分な耐エタノール性材料、例えばステンレス等で形成されている。また、洗浄容器3の上部開口3aの寸法および形状はピンボードPBをそのまま収容できるように設定されている。このため、ピンボードPBからプローブピンPPを取り外すことなく、当該ピンボードPBに支持された複数のプローブピンPPの触針部分を同時に効率よく洗浄することが可能である。
【0013】
ステー4は、支持したピンボードPBに設けられたプローブピンPPの触針部分のみが洗浄容器3内の洗浄液2に浸るように、ピンボードPBごとに長さが異なるプローブピンPPの触針部分の位置と洗浄液2の液面位置との関係を補填する高さを有するものであり、洗浄対象のピンボードPBごとに専用のステー4が用意される。
【0014】
衝撃吸収材5は、外箱6の上部開口縁部6a上に沿って配設される略環状の部材であり、この衝撃吸収材5としては、超音波振動により洗浄容器3のみを効率よく振動させかつ洗浄容器3からの外箱6への超音波振動の伝達を遮断するに十分な弾性と、超音波振動に耐えるに十分な耐久性とを備えた材料で形成されることが望ましく、例えばゴム等の弾性体が好適に用いられる。この衝撃吸収材5を配置することで、プローブピン洗浄装置1を設置する際に超音波振動の周囲への影響を配慮する必要がない。
【0015】
このような構成のプローブピン洗浄装置1には、別体のバックライト(紫外線照射手段)11および送風手段(図示せず)が配設されている。バックライト11は、洗浄前後にプローブピンPPに紫外線を照射してプローブピンPPの触針部分に付着した汚れの有無を確認するための手段であり、これにより紫外線に反射して白く発光する汚れをユーザーが目視により容易に確認することが可能である。ここで、目視とは、ユーザーが裸眼により観察することを意味するものではなく、当然に紫外線除去フィルタを通して観察することを意味するものである。なお、プローブピン洗浄装置1には、超音波振動発生装置7、バックライト11および送風手段(図示せず)を駆動する駆動電源(図示せず)が設けられているが、以下の動作説明では、各装置または手段は駆動電源(図示せず)により駆動可能状態にあるものとする。
【0016】
次に動作について説明する。
まず、図2に示すように、洗浄対象となるピンボードPBのプローブピンPPに対してバックライト11から紫外線を照射してプローブピンPPの触針部分に付着した汚れを目視により確認する。次に、図1に示すように、洗浄容器3の内底部上に上記ピンボードPB専用のステー4を設置した後、所定の深さになるように所定量のエタノール等の洗浄液2を洗浄容器3内に注ぐ。
【0017】
次に、上記ピンボードPBのプローブピンPPが下向きになるようにピンボードPBを逆さにしてステー4上に載置し、プローブピンPPの触針部分の所定長さ(例えば1mm程度)が洗浄液2に浸るようにした後、洗浄容器3を、衝撃吸収材5を介して外箱6の上部に設置する。あるいは、洗浄容器3を、衝撃吸収材5を介して外箱6の上部に設置した後に、洗浄容器3の内底部にステー4を設置し、洗浄容器3内に洗浄液2を注ぎ、ピンボードPBを逆さにしてステー4上に載置してプローブピンPPの触針部分が洗浄液2に浸るようにしてもよい。
【0018】
次に、超音波振動発生装置7の発振器10を駆動して振動子9から洗浄容器3を介して洗浄液2に超音波振動を発生させてプローブピンPPの触針部分に対して洗浄を開始する。次に、所定時間が経過した後、超音波振動発生装置7を停止し、洗浄容器3から外したピンボードPB上のプローブピンPPに対して必要に応じて送風手段(図示せず)から送風して洗浄液2を揮発させ、プローブピンPPが上向きになるように置いたピンボードPBの当該プローブピンPPに対して、再び図2に示すように、バックライト11から紫外線を照射してプローブピンPPの触針部分に付着した汚れの落ち具合を目視により確認する。汚れが完全に落ちていることが確認された場合には、当該ピンボードPBはプリント配線基板(図示せず)等の導通検査への再使用が可能となる。
【0019】
以上のように、この実施の形態1によれば、下向きにしたプローブピンPPの触針部分が浸る洗浄液2に対して超音波振動を発生させる超音波振動発生装置7を備えるように構成したので、洗浄液2を介してプローブピンPPの触針部分に伝わる超音波振動によりプローブピンPPの触針部分のみを効率よく確実に洗浄することができると共に、プローブピンPPを伝ってピンボードPBに向けて洗浄液2が流下することがないため、従来洗浄後にピンボードPBに発生していたソルベントクランク等の不具合の発生を確実に防止することができるという効果がある。また、この実施の形態1によれば、従来使用されていた洗浄液と洗浄用エアーとを噴射する手段を備える必要がないので、装置自体の小型化を図ることができるという効果がある。
【0020】
この実施の形態1によれば、洗浄液2としてエタノールを用いるように構成したので、従来、洗浄液として使用されてきたIPAまたはGEと比べて、容易に入手することができ、人体や環境への悪影響を排除でき、洗浄能力を高めることができ、優れた揮発性により簡単にプローブピンPPを乾燥させることができるという効果がある。
【0021】
この実施の形態1によれば、プローブピンPPの触針部分に対して紫外線を照射してプローブピンPPの汚れを目視により確認するためのバックライト11を備えるように構成したので、洗浄前後にプローブピンPPに対して紫外線を照射することで、これに反射して白く発光する汚れをユーザーが目視により容易に確認することができるという効果がある。
【0022】
実施の形態2.
図3はこの発明の実施の形態2によるプローブピン洗浄装置の構成を示す部分断面図である。なお、この実施の形態2の構成要素のうち、実施の形態1の構成要素と共通するものについては同一符号を付し、その部分の説明を省略する。
【0023】
この実施の形態2の特徴は、バックライト11からの紫外線を反射してプローブピンPPの触針部分に当てる反射鏡12を洗浄容器3の内底部に設けた点にある。この実施の形態2では、バックライト11は、洗浄容器3の上部開口3aの斜め上方から洗浄容器3内の反射鏡12に対して紫外線を照射できるように、洗浄容器3の斜め上方に配置されている。なお、洗浄容器3の内部が紫外線を透過する材料で形成されている場合には、反射鏡12は洗浄容器3の外底部に設けてもよい。
【0024】
次に動作について説明する。
まず、図3に示すように、洗浄容器3の内底部上に設けた反射鏡12上に上記ピンボードPB専用のステー4を設置した後、所定の深さになるように所定量のエタノール等の洗浄液2を洗浄容器3内に注ぐ。
【0025】
次に、上記ピンボードPBのプローブピンPPが下向きになるようにピンボードPBを逆さにしてステー4上に載置し、プローブピンPPの触針部分の所定長さ(例えば1mm程度)が洗浄液2に浸るようにした後、洗浄容器3を、衝撃吸収材5を介して外箱6の上部に設置する。あるいは、洗浄容器3を、衝撃吸収材5を介して外箱6の上部に設置した後に、洗浄容器3の内底部にステー4を設置し、洗浄容器3内に洗浄液2を注ぎ、ピンボードPBを逆さにしてステー4上に載置してプローブピンPPの触針部分が洗浄液2に浸るようにしてもよい。
【0026】
次に、バックライト11を点灯して、洗浄容器3の内底部上に設けた反射鏡12に向けて紫外線を照射し、その紫外線により白く発光する汚れがプローブピンPPの触針部分に付着していることを目視により確認しながら、超音波振動発生装置7の発振器10を駆動して振動子9から洗浄容器3を介して洗浄液2に超音波振動を発生させてプローブピンPPの触針部分に対して洗浄を開始する。次に、所定時間が経過しても、汚れが完全に落ちていなければ、必要に応じて洗浄時間を延長する。次に、汚れが完全に落ちていることが確認された場合には、バックライト11を消灯しかつ超音波振動発生装置7の駆動を停止した後、洗浄容器3から外したピンボードPB上のプローブピンPPに対して必要に応じて送風手段(図示せず)から送風して洗浄液2を揮発させる。これにより、ピンボードPBはプリント配線基板(図示せず)等の導通検査への再使用が可能となる。
【0027】
以上のように、この実施の形態2によれば、実施の形態1における構成に加えて、バックライト11からの紫外線を反射してプローブピンPPの触針部分に当てる反射鏡12を洗浄容器3の内底部に設けるように構成したので、プローブピンPPの触針部分に付着した汚れの落ち具合、すなわち洗浄レベルを確認しながら、超音波振動発生装置7を駆動して発生させた超音波振動によりプローブピンPPの触針部分のみを洗浄することができるという効果がある。従って、この実施の形態2では、プローブピン洗浄装置1から取り出してからプローブピンPPの触針部分における洗浄レベルを確認する実施の形態1に比べて、洗浄時間の短縮化および洗浄の効率化を図ることができるという効果がある。
【0028】
実施の形態3.
図4はこの発明の実施の形態3による自動プローブピン洗浄装置の構成を示す部分断面図であり、図5は図4に示した自動プローブピン洗浄装置の動作を説明するためのフローチャートである。なお、この実施の形態3の構成要素のうち、実施の形態1の構成要素等と共通するものについては同一符号を付し、その部分の説明を省略する。
【0029】
この実施の形態3の特徴は、超音波振動によるプローブピンPPの触針部分に対する洗浄を自動化した点にある。すなわち、図4に示すように、自動プローブピン洗浄装置20における洗浄容器3の底部にはブラックライト透過領域3cが形成されており、内空間8内にはブラックライト透過領域3cの下側にブラックライト照明機能を備えた画像認識カメラ21が配設されている。
【0030】
画像認識カメラ21は、洗浄容器3上に載置されるピンボードPBに支持された複数のプローブピンPPのうち、少なくとも1つのプローブピンPPの触針部分に対して紫外線を照射しながら、当該触針部分を重点的に逐次観察する手段である。また、洗浄容器3の内底部上には、上記画像認識カメラ21により観察されるプローブピンPPを除いたプローブピンPPの触針部分の位置を検出する触針位置検出センサ22と、洗浄容器3内に注がれる洗浄液2の液位を検出する液位計23と、プローブピンPPの触針部分の位置を洗浄液2の液面に対して変更可能なようにピンボードPBを水平に昇降させる電動エレベータ(昇降手段)24とが配設されている。
【0031】
画像認識カメラ21、触針位置検出センサ22、液位計23、電動エレベータ24および超音波振動発生装置7の発振器10は、それぞれ計算機25と電気的に接続されている。従って、計算機25は、画像認識カメラ21、触針位置検出センサ22および液位計23からの情報に基いて電動エレベータ24および超音波振動発生装置7の駆動を制御することが可能である。具体的には、計算機25は、画像認識カメラ21と協同して、画像認識カメラ21からのプローブピンPPの触針部分の画像情報を分析してプローブピンPPの触針部分の洗浄レベルを把握する画像認識手段を構成している。
【0032】
また、計算機25は、触針位置検出センサ22および液位計23と協同して、触針位置検出センサ22からのプローブピンPPの触針部分の位置情報と液位計23からの洗浄液2の液位情報とを分析してプローブピンPPの触針部分が洗浄液2に浸っているか否かを検知する検知手段を構成している。なお、電動エレベータ24の上部にはピンボードPBが載置されたか否かを判断する重量センサ(図示せず)が配設されている。
【0033】
ブラックライト透過領域3cを形成する材料としてはガラスが好適であるが、これに限定されるものではなく、ガラスと同等の透過率および機械強度を有していれば、他の材料でブラックライト透過領域3cを形成してもよい。
【0034】
電動エレベータ24は、昇降の開始および停止のタイミングを計算機25からの指令により電気的に行い、かつ例えばミリメートル単位でピンボードPBを精密に昇降させる手段であれば、如何なる昇降手段をも利用することが可能である。
【0035】
なお、ピンボードPB上にエタノール等の洗浄液2に接触させてはならない非接触部位26が存在する場合には、図4に示すように非接触部位26を覆う突起物カバー27をピンボードPBに対して、例えばスナップフィット構造等により着脱自在に取り付けるように構成してもよい。
【0036】
次に動作について説明する。
まず、洗浄開始前の電動エレベータ24はプローブピンPPの触針部分を洗浄液2に浸らせない位置(以下、上位置という)で停止しており、洗浄液2の注入量は、電動エレベータ24上にピンボードPBが逆さに載置されたときにプローブピンPPの触針部分が洗浄液2に浸らないように決められている。この状態で、液位計23により洗浄容器3内の洗浄液2の液位が正確に検出され(ステップST1)、検出された場合には、その液位情報は計算機25へ送られ、保存される。
【0037】
次に、重量センサ(図示せず)により電動エレベータ24上にピンボードPBが載置されたか否かが検知される(ステップST2)。電動エレベータ24上にピンボードPBが載置されると、その検知情報は計算機25へ送られ、これがトリガーとなって触針位置検出センサ22により電動エレベータ24上に載置されたピンボードPBの触針部分の位置が検出される(ステップST3)。この触針位置検出情報は計算機25へ送られ、計算機25は触針位置検出情報と上記液位情報とに基いてプローブピンPPの触針部分のみを洗浄液2に浸らせる位置(以下、下位置という)を求め、電動エレベータ24を当該下位置まで下降させる(ステップST4)。
【0038】
次に、プローブピンPPの触針部分が洗浄液2に浸っている状態で、画像認識カメラ21のバックライト機能によりプローブピンPPの触針部分に対してブラックライト透過領域3cを通して紫外線が照射され、同時に画像認識カメラ21により洗浄開始前におけるプローブピンPPの触針部分がモニターされる(ステップST5)。この画像情報は、プローブピンPPの触針部分の汚れ具合を示す情報として逐一計算機25へ送られる。
【0039】
次に、超音波振動発生装置7の発振器10を駆動して振動子9から洗浄容器3を介して洗浄液2に超音波振動を発生させてプローブピンPPの触針部分に対して洗浄を開始する(ステップST6)。次に、画像認識カメラ21でモニターされた画像情報に基いて、プローブピンPPの触針部分の汚れが完全に落ちているか否かが計算機25により判断され(ステップST7)、汚れが完全に落ちたと判断された場合には、画像認識カメラ21の作動および超音波振動発生装置7の駆動を停止させて洗浄を終了する(ステップST8)。
【0040】
次に、電動エレベータ24を上位置まで上昇させた状態でピンボードPBを取外し、このピンボードPB上のプローブピンPPに対して必要に応じて送風手段(図示せず)から送風して洗浄液2を揮発させる。これにより、ピンボードPBはプリント配線基板(図示せず)等の導通検査への再使用が可能となる。
【0041】
以上のように、この実施の形態3によれば、超音波振動発生装置7に加え、紫外線照射されたプローブピンPPの触針部分の画像を認識してプローブピンPPの汚れを確認する画像認識手段(画像認識カメラ21および計算機25)を備えるように構成したので、プローブピンPPの触針部分の洗浄レベルをモニターしながらプローブピンPPの触針部分に対して超音波洗浄することができるという効果がある。従って、洗浄時間を管理することができ、プローブピンPPの触針部分に対する洗浄の自動化を図ることができるという効果がある。
【0042】
この実施の形態3によれば、ピンボードPBに支持されたプローブピンPPの触針部分が洗浄液2に浸っているか否かを検知する検知手段(触針位置検出センサ22、液位計23および計算機25)と、この検知手段による検知情報に基いてプローブピンPPの触針部分の位置を洗浄液2の液面に対して変更する電動エレベータ(昇降手段)24とを備えるように構成したので、ユーザーがピンボードPBを電動エレベータ24上に載置するだけで、プローブピンPPの触針部分のみを洗浄液2に浸らせるようにピンボードPBを自動的に昇降させることができ、洗浄開始前の準備段階の自動化を図ることができるという効果がある。
【0043】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、下向きにしたプローブピンの触針部分が浸る洗浄液に対して超音波振動を発生させる超音波振動発生手段を備えるように構成したので、洗浄液を介してプローブピンの触針部分に伝わる超音波振動によりプローブピンの触針部分のみを効率よく確実に洗浄することができると共に、プローブピンを伝ってプローブピンを支持するピンボードに向けて洗浄液が流下することがないため、従来洗浄後にピンボードに発生していたソルベントクランク等の不具合の発生を確実に防止することができるという効果がある。また、この発明によれば、従来使用されていた洗浄液と洗浄用エアーとを噴射する手段を備える必要がないので、装置自体の小型化を図ることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態1によるプローブピン洗浄装置の構成を示す部分断面図である。
【図2】図1に示したプローブピン洗浄装置の洗浄対称であるプローブピンに対して用いられる別体の紫外線照射手段を示す正面図である。
【図3】この発明の実施の形態2によるプローブピン洗浄装置の構成を示す部分断面図である。
【図4】この発明の実施の形態3による自動プローブピン洗浄装置の構成を示す部分断面図である。
【図5】図4に示した自動プローブピン洗浄装置の動作を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
1 プローブピン洗浄装置、2 洗浄液、3 洗浄容器、3a 上部開口、3b 外縁部、3c ブラックライト透過領域、4 ステー(支持部材)、5 衝撃吸収材、6 外箱、6a 上部開口縁部、7 超音波振動発生装置(超音波振動発生手段)、8 内空間、9 振動子、10 発振器、11 バックライト(紫外線照射手段)、12 反射鏡、20 自動プローブピン洗浄装置、21 画像認識カメラ(画像認識手段)、22 触針位置検出センサ(検知手段)、23液位計(検知手段)、24 電動エレベータ(昇降手段)、25 計算機(検知手段)、26 非接触部位、27 突起物カバー、PB ピンボード、PP プローブピン。
Claims (6)
- 下向きにしたプローブピンの触針部分が浸る洗浄液に対して超音波振動を発生させる超音波振動発生手段を備えたプローブピン洗浄装置。
- 洗浄液はエチルアルコールであることを特徴とする請求項1記載のプローブピン洗浄装置。
- プローブピンの触針部分に対して汚れを確認するための紫外線を照射する紫外線照射手段を備えたことを特徴とする請求項2記載のプローブピン洗浄装置。
- 洗浄液を収容する洗浄容器の底部に設けられかつ紫外線照射手段からの紫外線を反射してプローブピンの触針部分に当てる反射鏡を備えたことを特徴とする請求項3記載のプローブピン洗浄装置。
- 紫外線照射されたプローブピンの触針部分の画像を認識して前記プローブピンの汚れを確認する画像認識手段を備えたことを特徴とする請求3記載のプローブピン洗浄装置。
- ピンボードに支持されたプローブピンの触針部分が洗浄液に浸っているか否かを検知する検知手段と、該検知手段による検知情報に基いて前記プローブピンの触針部分の位置を洗浄液の液面に対して変更する昇降手段とを備えたことを特徴とする請求項5記載のプローブピン洗浄装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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