JP2004290886A - ノズル清掃方法及びノズル清掃装置並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ノズル先端に対する清掃能力が低下することがなく、確実に清掃を行うことが可能で、しかも、吸収材の洗浄や交換が不要なノズル清掃方法及び装置を提供する。
【解決手段】本発明のノズル清掃方法は、帯状に構成した可撓性の払拭材101A,101Bを露出した清掃領域120を通過するように架設し、前記ノズルの先端を前記払拭材における前記清掃領域に配置された部位に接触させて清掃し、前記ノズルの清掃中、或いは、清掃の前後に前記払拭材を架設方向に移動させることを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】本発明のノズル清掃方法は、帯状に構成した可撓性の払拭材101A,101Bを露出した清掃領域120を通過するように架設し、前記ノズルの先端を前記払拭材における前記清掃領域に配置された部位に接触させて清掃し、前記ノズルの清掃中、或いは、清掃の前後に前記払拭材を架設方向に移動させることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はノズル清掃方法及びノズル清掃装置並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置に係り、特に、ペースト状物質を塗布するためのディスペンサのノズル先端を清掃する場合に好適な方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、ペースト状物質を種々の物体に塗布するための塗布装置(ディスペンサ)が種々の分野にて使用されている。たとえば、液晶パネルを製造する場合には、基板上にシール材を塗布してもう一方の基板と貼り合わせることによって液晶パネルを構成している。このような塗布装置は、通常、ペースト状物質を収容するシリンジの先端にノズルを設け、シリンジ内に機械的に若しくは流体を介して圧力を加えることにより、ペースト状物質をノズル先端から吐出させるように構成されている。
【0003】
ところで、上記の塗布装置を用いると、ノズル先端にペースト状物質が付着することがあり、この付着したペースト状物質が次回の塗布の際にペースト状物質の塗布状態に影響を与える場合がある。たとえば、図7(a)に示すようにノズル10の先端からペースト状物質11を吐出させて塗布した後、図7(b)のように塗布作業が終了したときにはノズル10の先端の開口部にはペースト状物質があふれ出していないが、その後、図7(c)に示すように時間の経過とともに開口部からゆっくりとペースト状物質11aがあふれ出す場合がある。また、このあふれ出したペースト状物質11aが多くなると、塗布作業を繰り返していくうちにノズル10の先端部の外面10aにペースト状物質11bが付着する場合もある。
【0004】
上記のように、塗布作業の開始前にノズル先端の開口部から余分なペースト状物質11aがあふれ出した状態となっていることにより、塗布開始点にペースト状物質の過剰な部分(塊)が形成されてしまったり、或いは、ノズル先端の外面上にペースト状物質11bが付着していることによって所要のパターンでペースト状物質を描画していくときに、意図しない部分にペースト状物質が付着してしまったりするといった問題点がある。
【0005】
そこで従来においては、ノズル先端を清掃するための吸収材を装置の所定位置に固定しておき、ペースト状物質による描画前に、ノズル先端を上記の吸収材に接触させることによって、ノズル先端の開口部から余分にあふれ出しているペースト状物質11aを拭うようにしていた。
【0006】
また、ノズル先端に付着したペースト状物質を除去する装置としては、吸収材が回転するように構成し、この回転する吸収材にノズル先端を押し付けるようにして清掃する方法が知られている(たとえば、以下の特許文献1参照)。
【0007】
【特許文献1】
特開平6−114314号公報(特に、図3及び図4を参照。)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来のノズルの清掃方法及び装置においては、吸収材を回転させることによってノズル先端に吸収材をこすり付けることが可能になり、これによりノズル先端を清掃するようにしている。しかしながら、上記の吸収材を使用し続けていくとペースト状物質の付着量が徐々に増大してくるため、ノズル先端に対する清掃能力が低下し、これに伴ってノズルの塗布精度が低下したり、ノズルの目詰まりを生じたりするという問題点がある。したがって、このような事態が生ずる前に吸収材を洗浄したり交換したりする必要があり、メンテナンスに手間がかかるという問題点もある。
【0009】
また、ペースト状物質の粘度が高くなるとスポンジやフェルトなどで構成された吸収材に吸収されにくくなるため、ノズル先端に付着したペースト状物質を吸収材で除去することが困難になり、充分な清掃効果を得ることができなくなるという問題点がある。
【0010】
さらに、ノズル先端においては、図7(c)に示すように、開口部からあふれ出したペースト状物質11aだけでなく、ノズル先端の外面10aに付着したペースト状物質11bも存在する場合があるが、このようにノズル先端の外面10a上に付着したペースト状物質11bを従来の清掃装置で除去することは困難であり、そのため、ノズルを洗浄したり交換したりしなければならないという問題点もある。
【0011】
そこで本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、ノズル先端に対する清掃能力が低下することがなく、確実に清掃を行うことのできるノズル清掃方法及び装置並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置を提供することにある。また、吸収材の洗浄や交換が不要なノズル清掃装置を提供することにある。さらに、高粘度のペースト状物質をも確実に除去できるノズル清掃方法及び装置並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置を提供することにある。また、ノズル先端の外面に付着しているペースト状物質をも確実に除去できるノズル清掃方法及び装置並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明のノズル清掃方法は、ノズルの先端を清掃するノズル清掃方法において、帯状に構成した可撓性の払拭材を露出した清掃領域を通過するように架設し、前記ノズルの先端を前記払拭材における前記清掃領域に配置された部位に接触させて清掃し、前記ノズルの清掃中、或いは、清掃の前後に前記払拭材を架設方向に移動させることを特徴とする。
【0013】
この発明によれば、帯状に構成した可撓性の払拭材を露出した清掃領域を通過するように架設して、この払拭材を架設方向に移動させることによって、常に新しい部分を清掃領域に移動させることができるため、払拭材の清掃能力を常に維持することができることから、清掃能力の低下を生ずることがない。また、払拭材のメンテナンス作業も容易になる。さらに、ノズルの清掃中に払拭材を架設方向に移動させることによって、ノズルを動かさずに清掃を行うことも可能になる。
【0014】
本発明において、前記払拭材としては、スポンジなどの多孔質材やフェルトなどの不織布、粘着性表面を有するシートなど、結果としてノズル先端に付着したペースト状物質を除去できるものであればよい。
【0015】
本発明において、前記清掃領域には、前記払拭材が平坦に架設された平坦架設部を設けることが好ましい。清掃領域に払拭材が平坦に架設された平坦架設部が設けられていることにより、ノズル先端の開口部を平坦に架設された払拭材の部分で清掃することができるので、清掃を容易に行うことができるとともに、開口部をより完全に清掃できる。
【0016】
本発明において、前記清掃領域では、一対の前記払拭材を相互に離間した位置から近接して対向配置されるように架設し、前記一対の払拭材により前記ノズルの先端を挟持した状態で、前記一対の清掃部材を前記ノズルの先端方向に移動させることが好ましい。これによれば、一対の払拭材を相互に離間した位置から近接して対向配置されるように架設し、その対向配置された部分にノズル先端を挿入することにより、ノズル先端の外面を一対の払拭材により清掃することができる。特に、この状態で一対の払拭材をノズルの先端側に移動させることによって、ノズル先端の外面をより確実かつ容易に清掃することができる。
【0017】
本発明のノズル清掃装置は、ノズルの先端を清掃するノズル清掃装置において、帯状に構成された可撓性の払拭材と、該払拭材を露出した清掃領域を通過するように架設する架設手段と、前記払拭材を架設方向に移動させる駆動手段とを有することを特徴とする。
【0018】
本発明において、前記清掃領域には、前記払拭材が平坦に架設されている平坦架設部が設けられていることが好ましい。
【0019】
本発明において、前記清掃領域では、一対の前記払拭材が相互に離間した位置から近接して対向する対向配置部に至るように架設されていることが好ましい。特に、一対の払拭材がそれぞれ平坦架設部を経て上記対向配置部に至るように架設されていることが望ましい。より具体的には、一対の払拭材が相互に反対側から接近し、それぞれの平坦架設部を経て相互に近接した位置にてそれぞれ屈折して相互に対向配置される対向配置部を構成する。
【0020】
本発明において、前記一対の払拭材を前記清掃領域の先で相互に重ねられた状態で回収する回収手段が設けられていることが好ましい。これによって、使用済みの払拭材の部分を簡易な構成で効率的に回収することができる。特に、払拭材の表面が粘着性を有する場合には、一対の払拭材をその粘着性により相互に接着させた状態で回収することができる。上記回収手段としては、払拭材を巻き取る回収リールが挙げられる。このとき、上記対向配置部の先で一対の払拭材をその対向姿勢のまま重ねて回収することにより、払拭材に付着したペースト状物質が重ね合わせ面上に位置するので、外部に触れることがなくなる。このため、周囲をペースト状物質で汚損することがなくなり、回収後の払拭材の取り扱いが容易になる。
【0021】
本発明において、前記対向配置部における前記一対の払拭材の相互間隔を増減するための間隔変更手段が設けられていることが好ましい。間隔変更手段によって対向配置部における一対の払拭材の相互間隔を変更できるため、挿入されるノズル先端の外径が種々異なる場合でも簡単に対応することができるとともに、挿入されたノズル先端を一対の払拭材により挟持することができるため、より確実にノズル先端を清掃することができる。また、ノズルが先細形状に形成されている場合には、ノズル先端を対向配置部から引き抜くように移動させる過程で少しずつ一対の払拭材の相互間隔を小さくしていくことによって、先細形状のノズル外面を確実に清掃できる。
【0022】
本発明において、前記対向配置部へのノズル導入位置に前記一対の払拭材を架設する架設ローラを有し、該一対の架設ローラの外周には、前記ノズルの先端を挿入可能とし、該先端に対応する断面形状を有する溝が設けられていることが好ましい。これによれば、架設ローラに溝が形成されていることによって、ノズル先端をこの溝に合わせて挿入することにより、払拭材がノズル先端の外面と架設ローラの環状溝の内面とに合わせて変形した状態で清掃を行うことができるので、より確実にノズル先端の外面を清掃できる。特に、溝の断面形状をノズル先端の断面形状に対応させることによりノズル先端の外面をほぼ全周に亘って清掃することができる。この場合には、上記架設ローラは回転自在に構成され、上記溝はノズルの先端形状に対応する断面形状を有する環状溝であることが望ましい。
【0023】
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明に記載のノズル清掃方法を用いることを特徴とする。
【0024】
また、本発明の電気光学装置の製造装置は、本発明に記載のノズル清掃装置を含むことを特徴とする。
【0025】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面を参照して本発明に係るノズルの清掃方法及び清掃装置の実施形態について詳細に説明する。図1は、本実施形態のノズル清掃装置100の主要部の構成を模式的に示す概略構成図、図2は、同装置100の主要部の構成を模式的に示す概略平面図である。このノズル清掃装置100においては、帯状に構成された可撓性の払拭材101A,101Bが架設手段によって所定の架設経路に沿って架設されている。払拭材101A,101Bとしては、スポンジなどの多孔質材、フェルトなどの不織布などを用いることができる。上記架設手段は、架設ローラ103A,103B、104A,104B,105A,105B,106A,106B,107A,107Bによって構成される。この架設手段には、払拭材101A,101Bが、払拭材供給手段である、払拭材101A,101Bが巻回された供給リール102A,102Bによって供給される。また、架設手段によって架設された払拭材101A,101Bは相互に重ねられた状態で駆動ローラ108,109によって架設方向に牽引され、回収手段を構成する、回収ローラ110、111、テンションローラ112及び回収リール(巻上リール)113によって回収される。
【0026】
上記の払拭材101A,101Bの架設経路には、案内ローラ104A〜107Aによって払拭材101Aが平坦に架設されてなる平坦架設部120A、及び、案内ローラ104B〜107Aによって払拭材101Bが平坦に架設されてなる平坦架設部120Bが設けられている。また、これらの平坦架設部110A,110Bに沿って一対の払拭材101A,101Bは相互に接近し、やがて案内ローラ107A,107B上において一対の払拭材101A,101Bが相互に近接した位置にて屈折し、それらの表面が相互に対向配置される対向配置部120Cが設けられている。上記平坦架設部120A,120B及び対向配置部120Cは清掃領域120を構成する。
【0027】
図2に示すように、上記平坦架設部120Aを構成する案内ローラ104A〜107Aは、スライド部材121Aにそれぞれ軸支されている。また、上記平坦架設部120Bを構成する案内ローラ104B〜107Bは、スライド部材121Bにそれぞれ軸支されている。これらのスライド部材121A,121Bは、ガイド部材122A,122Bにそれぞれ案内され、平坦架設部120A,120Bにおける払拭材の架設方向へ移動可能に構成されている。スライド部材121A,121Bは、それぞれ駆動手段123A,123Bによって駆動される。
【0028】
上記平坦架設部120A,102Bのそれぞれ外側には、平坦架設部120A,120Bの架設平面に沿って配置された開口部を有する容器131A,131Bが配置されている。この容器131A,131Bは、ノズル先端から吐出されるペースト状物質を収容するためのものである。なお、供給リール102A,102Bはトルクリミッタ付きの制動器102a,102bに接続されている。また、回収リール113は巻上器113aに接続されている。
【0029】
上記のノズル清掃装置100は、図3に示すノズル10,20の先端部を清掃するための装置である。ここで、ノズル10の先端は先細形状に構成され、先端外面は円錐面状に構成されている。また、ノズル20は同径管状に構成されている。いずれのノズル10,20においても、図示しないシリンジ内に収容されたペースト状物質(液晶パネルにおいて基板同士を貼り合わせるためのシール材など)をその先端開口部から吐出させるように構成されたものである。
【0030】
本実施形態では、図3に示すように、払拭材101A,101Bが平坦に架設されてなる平坦架設部120A,120Bにおいて、ノズル10,20の先端を接触させることによって先端開口部に付着したペースト状物質11a,21aを払拭することができる。この場合、ノズル10,20の先端を払拭材101A,101Bに接触させたまま図示左右に移動させることによって払拭材101A,101Bによってノズル先端をこすることができ、より確実にペースト状物質11aを除去できる。また、ノズル10,20の先端を払拭材101A,101Bに接触させた状態で、図1に示す駆動ローラ108,109によって払拭材101A,101Bを架設方向に移動させることによっても同様にノズル先端をこすることができ、ペースト状物質11aをより容易に払拭できる。
【0031】
また、図4に示すように、払拭材101Aと101Bとが配向配置される対向配置部120Cの中にノズル10,20の先端を挿入することによって、ノズル10,20の外面10a,20aに付着したペースト状物質11b、21bを払拭することができる。この場合、対向配置部120Cにおける払拭材101Aと101Bとの相互間隔は、図2に示すスライド部材121A,121Bを移動させることにより変更することができる。したがって、上記相互間隔を変更することによってノズル10,20の先端部の外径に合わせることによって、より確実かつ容易に払拭できる。なお、この場合に、駆動ローラ108,109によって払拭材101A,101Bを移動させることによってより容易にノズル先端の外面10aを清掃できる。
【0032】
図5は、図4に示す対向配置部120Cによるノズルの清掃態様の一例を示す工程説明図である。この方法では、図5(a)に示すように、最初にノズル10の先端を対向配置部120C内に挿入し、払拭材101Aと101Bとによってノズル先端が挟持された状態とする。次に、払拭材101A、101Bを架設方向に移動させて、ノズル外面10aをこするようにする。そして、図5(b)に示すように、上記機構によって払拭材101Aと101Bの相互間隔を狭めながら、ノズル10を対抗配置部120Cから少しずつ抜き出すように移動させていく。そして、最終的に、図5(c)に示すように、ノズル10の先端まで払拭材1010Aと101Bとによって挟持した状態で払拭する。このようにすることによって、ノズル先端の外面形状が図示のように先細形状となっていても、外面10a全体をきれいに払拭することができる。
【0033】
なお、上記の払拭方法は一例にすぎず、対向配置部120Cの構成と、この対向配置部120Cにおける一対の払拭材101A,101Bの相互間隔を変更する手段とによって、上記方法とは異なる様々な払拭方法を用いることができる。
【0034】
図6は、上記清掃領域120のより詳細な平面図である。ここで、上記対向配置部120Cの入り口に配置された架設ローラ107A,107Bには、ノズル10の先端の横断面形状に対応する断面形状を有する溝107a,107bが設けられている。図示例ではノズル10の先端の横断面形状は円形であり、これに対応する溝107a,107bの断面形状は半円形となっている。これらの溝107a,107bは、それぞれの架設ローラにおいて他方の架設ローラに対面する側に設けられていればよい。ただし、本実施形態では、図示のように、架設ローラ107A,107Bは回転自在に軸支されており、常に対面側に同じ断面形状を有するように、溝107a,107bは環状溝となっている。
【0035】
本実施形態において、対向配置部120Cに対してノズル10の先端を上記溝107a,107bが形成された部位に挿入することによって、可撓性を有する払拭材101A,101Bが溝107a,107bに沿って変形し、ノズル10の先端の外面10aの形状にほぼ沿った形状になる。したがって、ノズル10の先端の外面10aをより確実に払拭することができるようになる。
【0036】
この場合に、図3に示すような平坦架設部120A,120Bを用いて払拭を行う場合には、払拭材101A,101Bの全幅のうち、上記溝107a,107b上を通過しない幅部分(図示例では、中央部分を除いた左右いずれかの部位)にて払拭を行うことが好ましい。これによって、上記溝107a,107bに対応する部位、すなわち、対向配置部120Cにて用いられる部分(図示例では幅方向中央部)にペースト状物質11a,21aを付着させることがなくなるので、対向配置部102Cにおいて清掃を行う際にノズル先端を汚染することがなくなる。
【0037】
なお、上記実施形態におけるノズル清掃装置によって清掃されるノズルは、例えば液晶装置、エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動表示装置、電界放出表示装置、LED(ライトエミッティングダイオード)表示装置などの電気光学装置の製造装置に含まれるものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態のノズル清掃装置の主要部の構成を模式的に示す概略構成図。
【図2】実施形態のノズル清掃装置の主要部の構成を模式的に示す概略平面図。
【図3】ノズル先端を平坦架設部において清掃する方法を示す説明図。
【図4】ノズル先端を対向配置部において清掃する方法を示す説明図。
【図5】対向配置部におけるノズル清掃方法の一例を示す工程図(a)〜(c)。
【図6】実施形態のノズル清掃装置の清掃領域の拡大平面図。
【図7】ノズルによる塗布中及び塗布後の様子を示す説明図(a)〜(c)。
【符号の説明】
10,20…ノズル、10a,20a…外面、11a,11b,21a,21b…ペースト状物質、100…ノズル清掃装置、101A,101B…払拭材、102A,102B…供給リール、103A〜107A,103B〜107B…架設ローラ、108,109…駆動ローラ、110,111…回収ローラ、112…テンションローラ、113…回収リール、120…清掃領域、120A,120B…平坦架設部、120C…対向配置部
【発明の属する技術分野】
本発明はノズル清掃方法及びノズル清掃装置並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置に係り、特に、ペースト状物質を塗布するためのディスペンサのノズル先端を清掃する場合に好適な方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、ペースト状物質を種々の物体に塗布するための塗布装置(ディスペンサ)が種々の分野にて使用されている。たとえば、液晶パネルを製造する場合には、基板上にシール材を塗布してもう一方の基板と貼り合わせることによって液晶パネルを構成している。このような塗布装置は、通常、ペースト状物質を収容するシリンジの先端にノズルを設け、シリンジ内に機械的に若しくは流体を介して圧力を加えることにより、ペースト状物質をノズル先端から吐出させるように構成されている。
【0003】
ところで、上記の塗布装置を用いると、ノズル先端にペースト状物質が付着することがあり、この付着したペースト状物質が次回の塗布の際にペースト状物質の塗布状態に影響を与える場合がある。たとえば、図7(a)に示すようにノズル10の先端からペースト状物質11を吐出させて塗布した後、図7(b)のように塗布作業が終了したときにはノズル10の先端の開口部にはペースト状物質があふれ出していないが、その後、図7(c)に示すように時間の経過とともに開口部からゆっくりとペースト状物質11aがあふれ出す場合がある。また、このあふれ出したペースト状物質11aが多くなると、塗布作業を繰り返していくうちにノズル10の先端部の外面10aにペースト状物質11bが付着する場合もある。
【0004】
上記のように、塗布作業の開始前にノズル先端の開口部から余分なペースト状物質11aがあふれ出した状態となっていることにより、塗布開始点にペースト状物質の過剰な部分(塊)が形成されてしまったり、或いは、ノズル先端の外面上にペースト状物質11bが付着していることによって所要のパターンでペースト状物質を描画していくときに、意図しない部分にペースト状物質が付着してしまったりするといった問題点がある。
【0005】
そこで従来においては、ノズル先端を清掃するための吸収材を装置の所定位置に固定しておき、ペースト状物質による描画前に、ノズル先端を上記の吸収材に接触させることによって、ノズル先端の開口部から余分にあふれ出しているペースト状物質11aを拭うようにしていた。
【0006】
また、ノズル先端に付着したペースト状物質を除去する装置としては、吸収材が回転するように構成し、この回転する吸収材にノズル先端を押し付けるようにして清掃する方法が知られている(たとえば、以下の特許文献1参照)。
【0007】
【特許文献1】
特開平6−114314号公報(特に、図3及び図4を参照。)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来のノズルの清掃方法及び装置においては、吸収材を回転させることによってノズル先端に吸収材をこすり付けることが可能になり、これによりノズル先端を清掃するようにしている。しかしながら、上記の吸収材を使用し続けていくとペースト状物質の付着量が徐々に増大してくるため、ノズル先端に対する清掃能力が低下し、これに伴ってノズルの塗布精度が低下したり、ノズルの目詰まりを生じたりするという問題点がある。したがって、このような事態が生ずる前に吸収材を洗浄したり交換したりする必要があり、メンテナンスに手間がかかるという問題点もある。
【0009】
また、ペースト状物質の粘度が高くなるとスポンジやフェルトなどで構成された吸収材に吸収されにくくなるため、ノズル先端に付着したペースト状物質を吸収材で除去することが困難になり、充分な清掃効果を得ることができなくなるという問題点がある。
【0010】
さらに、ノズル先端においては、図7(c)に示すように、開口部からあふれ出したペースト状物質11aだけでなく、ノズル先端の外面10aに付着したペースト状物質11bも存在する場合があるが、このようにノズル先端の外面10a上に付着したペースト状物質11bを従来の清掃装置で除去することは困難であり、そのため、ノズルを洗浄したり交換したりしなければならないという問題点もある。
【0011】
そこで本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、ノズル先端に対する清掃能力が低下することがなく、確実に清掃を行うことのできるノズル清掃方法及び装置並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置を提供することにある。また、吸収材の洗浄や交換が不要なノズル清掃装置を提供することにある。さらに、高粘度のペースト状物質をも確実に除去できるノズル清掃方法及び装置並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置を提供することにある。また、ノズル先端の外面に付着しているペースト状物質をも確実に除去できるノズル清掃方法及び装置並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置の製造装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明のノズル清掃方法は、ノズルの先端を清掃するノズル清掃方法において、帯状に構成した可撓性の払拭材を露出した清掃領域を通過するように架設し、前記ノズルの先端を前記払拭材における前記清掃領域に配置された部位に接触させて清掃し、前記ノズルの清掃中、或いは、清掃の前後に前記払拭材を架設方向に移動させることを特徴とする。
【0013】
この発明によれば、帯状に構成した可撓性の払拭材を露出した清掃領域を通過するように架設して、この払拭材を架設方向に移動させることによって、常に新しい部分を清掃領域に移動させることができるため、払拭材の清掃能力を常に維持することができることから、清掃能力の低下を生ずることがない。また、払拭材のメンテナンス作業も容易になる。さらに、ノズルの清掃中に払拭材を架設方向に移動させることによって、ノズルを動かさずに清掃を行うことも可能になる。
【0014】
本発明において、前記払拭材としては、スポンジなどの多孔質材やフェルトなどの不織布、粘着性表面を有するシートなど、結果としてノズル先端に付着したペースト状物質を除去できるものであればよい。
【0015】
本発明において、前記清掃領域には、前記払拭材が平坦に架設された平坦架設部を設けることが好ましい。清掃領域に払拭材が平坦に架設された平坦架設部が設けられていることにより、ノズル先端の開口部を平坦に架設された払拭材の部分で清掃することができるので、清掃を容易に行うことができるとともに、開口部をより完全に清掃できる。
【0016】
本発明において、前記清掃領域では、一対の前記払拭材を相互に離間した位置から近接して対向配置されるように架設し、前記一対の払拭材により前記ノズルの先端を挟持した状態で、前記一対の清掃部材を前記ノズルの先端方向に移動させることが好ましい。これによれば、一対の払拭材を相互に離間した位置から近接して対向配置されるように架設し、その対向配置された部分にノズル先端を挿入することにより、ノズル先端の外面を一対の払拭材により清掃することができる。特に、この状態で一対の払拭材をノズルの先端側に移動させることによって、ノズル先端の外面をより確実かつ容易に清掃することができる。
【0017】
本発明のノズル清掃装置は、ノズルの先端を清掃するノズル清掃装置において、帯状に構成された可撓性の払拭材と、該払拭材を露出した清掃領域を通過するように架設する架設手段と、前記払拭材を架設方向に移動させる駆動手段とを有することを特徴とする。
【0018】
本発明において、前記清掃領域には、前記払拭材が平坦に架設されている平坦架設部が設けられていることが好ましい。
【0019】
本発明において、前記清掃領域では、一対の前記払拭材が相互に離間した位置から近接して対向する対向配置部に至るように架設されていることが好ましい。特に、一対の払拭材がそれぞれ平坦架設部を経て上記対向配置部に至るように架設されていることが望ましい。より具体的には、一対の払拭材が相互に反対側から接近し、それぞれの平坦架設部を経て相互に近接した位置にてそれぞれ屈折して相互に対向配置される対向配置部を構成する。
【0020】
本発明において、前記一対の払拭材を前記清掃領域の先で相互に重ねられた状態で回収する回収手段が設けられていることが好ましい。これによって、使用済みの払拭材の部分を簡易な構成で効率的に回収することができる。特に、払拭材の表面が粘着性を有する場合には、一対の払拭材をその粘着性により相互に接着させた状態で回収することができる。上記回収手段としては、払拭材を巻き取る回収リールが挙げられる。このとき、上記対向配置部の先で一対の払拭材をその対向姿勢のまま重ねて回収することにより、払拭材に付着したペースト状物質が重ね合わせ面上に位置するので、外部に触れることがなくなる。このため、周囲をペースト状物質で汚損することがなくなり、回収後の払拭材の取り扱いが容易になる。
【0021】
本発明において、前記対向配置部における前記一対の払拭材の相互間隔を増減するための間隔変更手段が設けられていることが好ましい。間隔変更手段によって対向配置部における一対の払拭材の相互間隔を変更できるため、挿入されるノズル先端の外径が種々異なる場合でも簡単に対応することができるとともに、挿入されたノズル先端を一対の払拭材により挟持することができるため、より確実にノズル先端を清掃することができる。また、ノズルが先細形状に形成されている場合には、ノズル先端を対向配置部から引き抜くように移動させる過程で少しずつ一対の払拭材の相互間隔を小さくしていくことによって、先細形状のノズル外面を確実に清掃できる。
【0022】
本発明において、前記対向配置部へのノズル導入位置に前記一対の払拭材を架設する架設ローラを有し、該一対の架設ローラの外周には、前記ノズルの先端を挿入可能とし、該先端に対応する断面形状を有する溝が設けられていることが好ましい。これによれば、架設ローラに溝が形成されていることによって、ノズル先端をこの溝に合わせて挿入することにより、払拭材がノズル先端の外面と架設ローラの環状溝の内面とに合わせて変形した状態で清掃を行うことができるので、より確実にノズル先端の外面を清掃できる。特に、溝の断面形状をノズル先端の断面形状に対応させることによりノズル先端の外面をほぼ全周に亘って清掃することができる。この場合には、上記架設ローラは回転自在に構成され、上記溝はノズルの先端形状に対応する断面形状を有する環状溝であることが望ましい。
【0023】
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明に記載のノズル清掃方法を用いることを特徴とする。
【0024】
また、本発明の電気光学装置の製造装置は、本発明に記載のノズル清掃装置を含むことを特徴とする。
【0025】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面を参照して本発明に係るノズルの清掃方法及び清掃装置の実施形態について詳細に説明する。図1は、本実施形態のノズル清掃装置100の主要部の構成を模式的に示す概略構成図、図2は、同装置100の主要部の構成を模式的に示す概略平面図である。このノズル清掃装置100においては、帯状に構成された可撓性の払拭材101A,101Bが架設手段によって所定の架設経路に沿って架設されている。払拭材101A,101Bとしては、スポンジなどの多孔質材、フェルトなどの不織布などを用いることができる。上記架設手段は、架設ローラ103A,103B、104A,104B,105A,105B,106A,106B,107A,107Bによって構成される。この架設手段には、払拭材101A,101Bが、払拭材供給手段である、払拭材101A,101Bが巻回された供給リール102A,102Bによって供給される。また、架設手段によって架設された払拭材101A,101Bは相互に重ねられた状態で駆動ローラ108,109によって架設方向に牽引され、回収手段を構成する、回収ローラ110、111、テンションローラ112及び回収リール(巻上リール)113によって回収される。
【0026】
上記の払拭材101A,101Bの架設経路には、案内ローラ104A〜107Aによって払拭材101Aが平坦に架設されてなる平坦架設部120A、及び、案内ローラ104B〜107Aによって払拭材101Bが平坦に架設されてなる平坦架設部120Bが設けられている。また、これらの平坦架設部110A,110Bに沿って一対の払拭材101A,101Bは相互に接近し、やがて案内ローラ107A,107B上において一対の払拭材101A,101Bが相互に近接した位置にて屈折し、それらの表面が相互に対向配置される対向配置部120Cが設けられている。上記平坦架設部120A,120B及び対向配置部120Cは清掃領域120を構成する。
【0027】
図2に示すように、上記平坦架設部120Aを構成する案内ローラ104A〜107Aは、スライド部材121Aにそれぞれ軸支されている。また、上記平坦架設部120Bを構成する案内ローラ104B〜107Bは、スライド部材121Bにそれぞれ軸支されている。これらのスライド部材121A,121Bは、ガイド部材122A,122Bにそれぞれ案内され、平坦架設部120A,120Bにおける払拭材の架設方向へ移動可能に構成されている。スライド部材121A,121Bは、それぞれ駆動手段123A,123Bによって駆動される。
【0028】
上記平坦架設部120A,102Bのそれぞれ外側には、平坦架設部120A,120Bの架設平面に沿って配置された開口部を有する容器131A,131Bが配置されている。この容器131A,131Bは、ノズル先端から吐出されるペースト状物質を収容するためのものである。なお、供給リール102A,102Bはトルクリミッタ付きの制動器102a,102bに接続されている。また、回収リール113は巻上器113aに接続されている。
【0029】
上記のノズル清掃装置100は、図3に示すノズル10,20の先端部を清掃するための装置である。ここで、ノズル10の先端は先細形状に構成され、先端外面は円錐面状に構成されている。また、ノズル20は同径管状に構成されている。いずれのノズル10,20においても、図示しないシリンジ内に収容されたペースト状物質(液晶パネルにおいて基板同士を貼り合わせるためのシール材など)をその先端開口部から吐出させるように構成されたものである。
【0030】
本実施形態では、図3に示すように、払拭材101A,101Bが平坦に架設されてなる平坦架設部120A,120Bにおいて、ノズル10,20の先端を接触させることによって先端開口部に付着したペースト状物質11a,21aを払拭することができる。この場合、ノズル10,20の先端を払拭材101A,101Bに接触させたまま図示左右に移動させることによって払拭材101A,101Bによってノズル先端をこすることができ、より確実にペースト状物質11aを除去できる。また、ノズル10,20の先端を払拭材101A,101Bに接触させた状態で、図1に示す駆動ローラ108,109によって払拭材101A,101Bを架設方向に移動させることによっても同様にノズル先端をこすることができ、ペースト状物質11aをより容易に払拭できる。
【0031】
また、図4に示すように、払拭材101Aと101Bとが配向配置される対向配置部120Cの中にノズル10,20の先端を挿入することによって、ノズル10,20の外面10a,20aに付着したペースト状物質11b、21bを払拭することができる。この場合、対向配置部120Cにおける払拭材101Aと101Bとの相互間隔は、図2に示すスライド部材121A,121Bを移動させることにより変更することができる。したがって、上記相互間隔を変更することによってノズル10,20の先端部の外径に合わせることによって、より確実かつ容易に払拭できる。なお、この場合に、駆動ローラ108,109によって払拭材101A,101Bを移動させることによってより容易にノズル先端の外面10aを清掃できる。
【0032】
図5は、図4に示す対向配置部120Cによるノズルの清掃態様の一例を示す工程説明図である。この方法では、図5(a)に示すように、最初にノズル10の先端を対向配置部120C内に挿入し、払拭材101Aと101Bとによってノズル先端が挟持された状態とする。次に、払拭材101A、101Bを架設方向に移動させて、ノズル外面10aをこするようにする。そして、図5(b)に示すように、上記機構によって払拭材101Aと101Bの相互間隔を狭めながら、ノズル10を対抗配置部120Cから少しずつ抜き出すように移動させていく。そして、最終的に、図5(c)に示すように、ノズル10の先端まで払拭材1010Aと101Bとによって挟持した状態で払拭する。このようにすることによって、ノズル先端の外面形状が図示のように先細形状となっていても、外面10a全体をきれいに払拭することができる。
【0033】
なお、上記の払拭方法は一例にすぎず、対向配置部120Cの構成と、この対向配置部120Cにおける一対の払拭材101A,101Bの相互間隔を変更する手段とによって、上記方法とは異なる様々な払拭方法を用いることができる。
【0034】
図6は、上記清掃領域120のより詳細な平面図である。ここで、上記対向配置部120Cの入り口に配置された架設ローラ107A,107Bには、ノズル10の先端の横断面形状に対応する断面形状を有する溝107a,107bが設けられている。図示例ではノズル10の先端の横断面形状は円形であり、これに対応する溝107a,107bの断面形状は半円形となっている。これらの溝107a,107bは、それぞれの架設ローラにおいて他方の架設ローラに対面する側に設けられていればよい。ただし、本実施形態では、図示のように、架設ローラ107A,107Bは回転自在に軸支されており、常に対面側に同じ断面形状を有するように、溝107a,107bは環状溝となっている。
【0035】
本実施形態において、対向配置部120Cに対してノズル10の先端を上記溝107a,107bが形成された部位に挿入することによって、可撓性を有する払拭材101A,101Bが溝107a,107bに沿って変形し、ノズル10の先端の外面10aの形状にほぼ沿った形状になる。したがって、ノズル10の先端の外面10aをより確実に払拭することができるようになる。
【0036】
この場合に、図3に示すような平坦架設部120A,120Bを用いて払拭を行う場合には、払拭材101A,101Bの全幅のうち、上記溝107a,107b上を通過しない幅部分(図示例では、中央部分を除いた左右いずれかの部位)にて払拭を行うことが好ましい。これによって、上記溝107a,107bに対応する部位、すなわち、対向配置部120Cにて用いられる部分(図示例では幅方向中央部)にペースト状物質11a,21aを付着させることがなくなるので、対向配置部102Cにおいて清掃を行う際にノズル先端を汚染することがなくなる。
【0037】
なお、上記実施形態におけるノズル清掃装置によって清掃されるノズルは、例えば液晶装置、エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動表示装置、電界放出表示装置、LED(ライトエミッティングダイオード)表示装置などの電気光学装置の製造装置に含まれるものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態のノズル清掃装置の主要部の構成を模式的に示す概略構成図。
【図2】実施形態のノズル清掃装置の主要部の構成を模式的に示す概略平面図。
【図3】ノズル先端を平坦架設部において清掃する方法を示す説明図。
【図4】ノズル先端を対向配置部において清掃する方法を示す説明図。
【図5】対向配置部におけるノズル清掃方法の一例を示す工程図(a)〜(c)。
【図6】実施形態のノズル清掃装置の清掃領域の拡大平面図。
【図7】ノズルによる塗布中及び塗布後の様子を示す説明図(a)〜(c)。
【符号の説明】
10,20…ノズル、10a,20a…外面、11a,11b,21a,21b…ペースト状物質、100…ノズル清掃装置、101A,101B…払拭材、102A,102B…供給リール、103A〜107A,103B〜107B…架設ローラ、108,109…駆動ローラ、110,111…回収ローラ、112…テンションローラ、113…回収リール、120…清掃領域、120A,120B…平坦架設部、120C…対向配置部
Claims (11)
- ノズルの先端を清掃するノズル清掃方法において、帯状に構成した可撓性の払拭材を露出した清掃領域を通過するように架設し、前記ノズルの先端を前記払拭材における前記清掃領域に配置された部位に接触させて清掃し、前記ノズルの清掃中、或いは、清掃の前後に前記払拭材を架設方向に移動させることを特徴とするノズル清掃方法。
- 前記清掃領域には、前記払拭材が平坦に架設された平坦架設部を設けることを特徴とする請求項1に記載のノズル清掃方法。
- 前記清掃領域では、一対の前記払拭材を相互に離間した位置から近接して対向配置されるように架設し、前記一対の払拭材により前記ノズルの先端を挟持した状態で、前記一対の清掃部材を前記ノズルの先端方向に移動させることを特徴とする請求項1又は2に記載のノズル清掃方法。
- ノズルの先端を清掃するノズル清掃装置において、帯状に構成された可撓性の払拭材と、該払拭材を露出した清掃領域を通過するように架設する架設手段と、前記払拭材を架設方向に移動させる駆動手段とを有することを特徴とするノズル清掃装置。
- 前記清掃領域には、前記払拭材が平坦に架設されている平坦架設部が設けられていることを特徴とする請求項4に記載のノズル清掃装置。
- 前記清掃領域では、一対の前記払拭材が相互に離間した位置から近接して対向する対向配置部に至るように架設されていることを特徴とする請求項4又は5に記載のノズル清掃装置。
- 前記一対の払拭材を前記清掃領域の先で相互に重ねられた状態で回収する回収手段が設けられていることを特徴とする請求項6に記載のノズル清掃装置。
- 前記対向配置部における前記一対の払拭材の相互間隔を増減するための間隔変更手段が設けられていることを特徴とする請求項6又は7に記載のノズル清掃装置。
- 前記対向配置部の導入部位に前記一対の払拭材を架設する架設ローラを有し、該一対の架設ローラの外周には、前記ノズルの先端を挿入可能とし、該先端に対応する断面形状を有する溝が設けられていることを特徴とする請求項6乃至8のいずれか一項に記載のノズル清掃装置。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載のノズル清掃方法を用いることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
- 請求項4〜9のいずれか1項に記載のノズル清掃装置を含むことを特徴とする電気光学装置の製造装置。
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CN102152623A (zh) * | 2009-12-25 | 2011-08-17 | 精工爱普生株式会社 | 流体喷射装置和流体接受方法 |
CN102189772A (zh) * | 2010-02-12 | 2011-09-21 | 精工爱普生株式会社 | 流体喷射装置 |
CN102553845A (zh) * | 2010-12-20 | 2012-07-11 | 塔工程有限公司 | 喷嘴清洁装置以及具有喷嘴清洁装置的密封胶涂布机 |
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2003
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008213197A (ja) * | 2007-03-01 | 2008-09-18 | Honda Motor Co Ltd | ノズルの付着物除去装置 |
JP4648348B2 (ja) * | 2007-03-01 | 2011-03-09 | 本田技研工業株式会社 | ノズルの付着物除去装置 |
CN102152623A (zh) * | 2009-12-25 | 2011-08-17 | 精工爱普生株式会社 | 流体喷射装置和流体接受方法 |
CN102189772A (zh) * | 2010-02-12 | 2011-09-21 | 精工爱普生株式会社 | 流体喷射装置 |
CN102553845A (zh) * | 2010-12-20 | 2012-07-11 | 塔工程有限公司 | 喷嘴清洁装置以及具有喷嘴清洁装置的密封胶涂布机 |
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