JP2004276203A - パラレルリンク機械 - Google Patents

Abstract

【課題】エンドエフェクタまわりの配管を取り除くと共に、エンドエフェクタの姿勢が制限されることなく、さらにエンドエフェクタの位置決め精度が良好となるパラレルリンク機械を提供する。
【解決手段】基台１１側から第１ジョイント１７ａまでは、配管Ｐ１〜Ｐ４及び配管用ジョイントＪ１〜Ｊ７により、流体供給経路を形成している。そして、第１ジョイント１７ａからエンドエフェクタ１３までは、第１ジョイント１７ａ及びトラベリングプレート１２に穿設された連通孔Ｈ１〜Ｈ５により流体供給経路を形成している。
【選択図】図４

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、パラレルリンク機械に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
パラレルリンク機械は、パラレルリンク機構を介してトラベリングプレートが作動空間内を自由に移動可能に構成されている。そして、このトラベリングプレートには主軸等のエンドエフェクタが固定されており、種々の作業を行うことができる。ここで、図８に従来のパラレルリンク機械を示す。図８に示すように、エンドエフェクタとして主軸１３を取り付けた場合は、切削用の作動油、主軸冷却水、クーラント及びエア等を主軸１３に供給する必要がある。そのため、従来は、複数の配管Ｐ５各々を主軸１３のまわりに配設し、主軸１３に直接接続していた。このことは、トラベリングプレート１２を移動させることにより、配管Ｐ５同士の擦れや、配管Ｐ５とロッド１５との干渉の他、ロッド１５と主軸１３の隙間に配管Ｐ５が挟まれる状態、配管Ｐ５同士の絡み合い等の現象が起き、配管Ｐ５の破裂等の問題の発生につながる。この問題は、パラレルリンク機械の特徴を生かした動作をさせた場合には、トラベリングプレート１２が高速移動又は高加速度移動することにより、より大きな問題となる。
【０００３】
この問題を解決するために、例えば、特開２００３−１１０２９号公報に開示された技術がある。この技術は、主軸と基台とを接続した不撓管・可撓管内に配線・配管をまとめて挿入する構成としたものである。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００３−１１０２９号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特開２００３−１１０２９号公報に開示された構成によると、可撓管を撓曲する量には限界があるため、主軸の姿勢が制限されてしまう。さらに、可撓管が撓曲した際、撓曲による可撓管及びその内部に挿入された配管・配線の弾性力により、主軸の位置決めに影響を及ぼし、結果として加工精度を悪化させるという問題がある。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みて為されたものであり、エンドエフェクタまわりの配管を取り除くと共に、エンドエフェクタの姿勢が制限されることなく、さらにエンドエフェクタの位置決め精度が良好となるパラレルリンク機械を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
本発明のパラレルリンク機械は、基台と、可動体と、エンドエフェクタと、アクチュエータとを備える。ここで、可動体とは、トラベリングプレートと、パラレルリンク部とを備える。トラベリングプレートは、作動空間内を移動するプレートである。パラレルリンク部は、基台とトラベリングプレートとを連結する複数のロッドを有する。エンドエフェクタは、トラベリングプレートに固定されたものである。アクチュエータは、可動体を駆動するものである。そして、本発明の特徴的な構成は、可動体に連通孔が形成されたことである。連通孔は、可動体の内部側であってエンドエフェクタに連通して形成されており、エンドエフェクタへ供給される流体が通過する。
【０００８】
つまり、エンドエフェクタに直接的に、配管を接続したり、可撓管により接続したりすることなく、流体をエンドエフェクタに供給することができる。すなわち、エンドエフェクタまわりには、配管が配設されることがない。従って、従来、エンドエフェクタまわりに配管を有することにより発生していた配管同士の擦れや配管とロッドの干渉等の問題は生じない。さらに、可撓管を用いることにより生じるエンドエフェクタの姿勢の制限及び位置決め精度の悪化の問題も生じない。すなわち、エンドエフェクタの姿勢は制限されることなく、位置決め精度が良好となる。なお、エンドエフェクタは、例えば、加工用主軸、ロボットハンド、レーザ加工用ノズル等である。また、エンドエフェクタに供給する流体は、例えば、作動油、クーラント液、主軸冷却水、エア等である。
【０００９】
なお、連通孔は、トラベリングプレートに穿設されるようにしてもよい。この場合は、例えば、トラベリングプレートに配管を接続し、トラベリングプレートの内部に形成された連通孔を介して流体がエンドエフェクタに供給される。このように、例えば、エンドエフェクタのみに連通孔を形成することにより、穴あけ加工の加工工数の低減、組み付けの容易化、流体のシール性の向上等の効果を奏する。
【００１０】
また、可動体は、さらに、トラベリングプレートとパラレルリンク部とを連結する回転継手を備え、連通孔は、トラベリングプレート及び回転継手に穿設されるようにしてもよい。この場合は、例えば、回転継手に配管を接続し、回転継手及びトラベリングプレートの内部に形成された連通孔を介して流体がエンドエフェクタに供給される。このように、例えば、回転継手に配管を接続することにより、トラベリングプレートの姿勢が変化した場合であっても配管が移動することは少ない。従って、トラベリングプレートに配管を接続する場合に比べると、配管同士の接触等をより確実に防止することができる。さらに、配管の移動が少ないので、配管の耐久性が向上する。
【００１１】
また、連通孔は、トラベリングプレート及びパラレルリンク部に穿設されるようにしてもよい。この場合は、例えば、パラレルリンク部のうちトラベリングプレートの反対側に配管を接続して、可動体の付近には配管を全く使用しないようにする。これにより、パラレルリンク部の設計自由度が向上する。また、可動体付近には配管が配設されていないことにより、例えば、切粉等による配管外部の損傷を防止することができる。
【００１２】
また、アクチュエータは、６本のガイドと、６つのスライドテーブルとを備えるようにしてもよい。ガイドは、基台に所定傾斜角度で２本ずつ略等間隔に３方向に放射状に固定されている。スライドテーブルは、ガイドの長手方向に移動可能に６本のガイドに各々に設けられたテーブルである。
【００１３】
このような構成とすることにより、機械剛性を高めることができる。すなわち、この構成からなるパラレルリンク機械は重切削が可能な機械である。そして、このような構成とすることにより、特開２００３−１１０２９号公報に記載された構成を採用することができない場合がある。なぜなら、基台とエンドエフェクタとの間には、上記構成からなるアクチュエータにより、不撓管及び可撓管を配設するための空間を有していないからである。そこで、このような構成からなるパラレルリンク機械であっても、本発明によれば、配管同士の擦れ等を確実に防止することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
次に、実施形態を挙げ、本発明について図面を参照してより詳しく説明する。ここで、本実施形態におけるパラレルリンク機械としてパラレルリンク工作機械を例に取り説明する。図１は、本実施形態におけるパラレルリンク工作機械の全体構成図を示す。図１に示すように、パラレルリンク工作機械は、門型フレーム１と、支持柱２と、テーブル３と、パラレルリンク加工部４と、制御装置５とから構成される。支持柱２は、門型フレーム１の天井に固定されている。パラレルリンク加工部４は、支持柱２の下端側に固定されている。そして、テーブル３は、支持柱２の下方側に配設されており、被加工物６を載置する。パラレルリンク加工部４は、被加工物６を加工する主軸１３を備える。制御装置５は、パラレルリンク加工部４の制御を行っている。
【００１５】
図２は、パラレルリンク加工部４の外観構成図を示す。パラレルリンク加工部４は、基台１１と、トラベリングプレート（可動体）１２と、パラレルリンク機構（パラレルリンク部、可動体）と、アクチュエータユニット（アクチュエータ）２０と、主軸（エンドエフェクタ）１３とから構成される。
【００１６】
基台１１は、支持柱２の下端側に固定される。この基台１１は、六角柱状をなす部材であり、その側面には三角形状の板状の支持部１１ａが６枚、ほぼ等間隔に設けられている。
【００１７】
アクチュエータユニット２０は、６つのアクチュエータからなり、それぞれ、スライド（ガイド）２２、スライダ（スライドテーブル）２６、アクチュエータとしてのボールねじ及びサーボモータ２５Ｕ、２５ｕ、２５Ｖ、２５ｖ、２５Ｗ、２５ｗから構成されている。そして、これらのモータ２５Ｕ〜２５ｗには、それぞれモータ位置検出用エンコーダが取り付けられている。このアクチュエータユニット２０は、基台１１の６枚の支持部１１ａにそれぞれ配設されている。
【００１８】
スライド２２は、断面形状がコの字型をした棒状の部材である。それぞれのスライド２２は、基台１１に対して所定の傾斜角度（例えば４５度）をなすように、２本ずつ略等間隔に、３方向に放射状に基台１１に固定されている。これらのスライド２２には、その長手方向に移動可能にスライダ２６が支持されると共に、スライダ２６に螺合可能なボールねじが回動可能に支持されている。このボールねじの一端側には、それぞれのスライド２２に対応するモータ２５Ｕ〜２５ｗが連結されている。これにより、ボールねじに連結されるモータ２５Ｕ〜２５ｗを駆動することで、それぞれのボールねじを回動させ、その結果としてスライダ２６をスライド２２の長手方向に移動させ得るように構成されている。
【００１９】
パラレルリンク機構は、アクチュエータユニット２０側のそれぞれのスライダ２６からトラベリングプレート１２方向に向かって、ロッド１５を中心に、第５ジョイント１６ａ、第４ジョイント１６ｂ、第３ジョイント１６ｃ、ロッド１５、第２ジョイント１７ｂおよび第１ジョイント１７ａから構成されている。すなわち、６本のロッド１５がアクチュエータユニット２０に取り付けられている。
【００２０】
このパラレルリンク部の詳細な構成について図３に示す。図３に示すように、各スライダ２６に、例えば、３個のベアリングジョイント、すなわち第５ジョイント１６ａ、第４ジョイント１６ｂ及び第３ジョイント１６ｃを介して、各ロッド１５の一端側が連結される。これにより、ロッド１５は、スライダ２６に対して３次元方向に揺動可能となる。そして、各ロッド１５の他端側は、例えば２個のベアリングジョイント、即ち第１ジョイント１７ａ及び第２ジョイント１７ｂを介して、トラベリングプレート１２の同一平面上に連結される。これにより、ロッド１５は、トラベリングプレート１２に対して３次元方向に揺動可能となる。
【００２１】
つまり、本実施形態に係るパラレルリンク加工部４は、ロッド１５の一端側が第１対偶である第４ジョイント１６ｂを介してスライダ２６に連結され、ロッド１５の他端側が第２対偶である第２ジョイント１７ｂを介してトラベリングプレート１２に連結されている。そして、このロッド１５が、Ｕ軸、ｕ軸、Ｖ軸、ｖ軸、Ｗ軸、ｗ軸に対応して６本設けられている。なお、図３には、代表例として、Ｖ軸のロッド１５周囲の構成が例示されているが、他の軸（Ｕ、ｕ、ｖ、Ｗ、ｗ）のロッド１５周囲も、Ｖ軸と同様に構成されている。
【００２２】
トラベリングプレート１２は、三角形状をなす板状の部材であり、基台１１よりも小型に形成されている。そして、その周囲には、基台１１の支持柱１１ａに対応する位置に、ロッド１５の他端側が第１ジョイント１７ａ及び第２ジョイント１７ｂを介して、２本ずつ合計６本連結されている。
【００２３】
主軸１３は、トラベリングプレート１２のほぼ中央に嵌挿されている。この主軸１３は、下端側に取り付けられるドリルやエンドミル等の工具Ｔを駆動する。ここで、主軸１３には、主軸冷却水、スルークーラント、外部クーラント、エア及び作動油等の各種流体が供給されている。主軸冷却水は、主軸を冷却するための液体であって、外部から主軸１３へ供給されると共に、主軸１３から外部へ排出されるようにして循環させている。スルークーラントは、主軸中央を通過して被加工物６へ向けて排出される。外部クーラントは、例えば、主軸１３の下方側であって工具Ｔの周囲に配設されるノズルから被加工物６へ向けて排出される。エアは、例えば、主軸１３の工具Ｔの取付面に付着している切粉等を取り除くためのエアブロー用のエア等である。作動油は、工具Ｔのクランプ・アンクランプ用等に使用する。
【００２４】
次に、主軸１３に供給される各種流体の供給経路について図面を参照して説明する。供給経路は、配管用ジョイントＪ１〜Ｊ７、配管Ｐ１〜Ｐ４、及び連通孔Ｈ１〜Ｈ５から構成される。まず、配管用ジョイントＪ１〜Ｊ７及び配管Ｐ１〜Ｐ４について、図４を参照して説明する。ここで、図４は、パラレルリンク加工部４の正面図を示す。
【００２５】
配管用ジョイントＪ１は、図４に示すように、固定用ジョイントであって、アクチュエータユニット２０のスライド２２に取り付けられている。配管用ジョイントＪ２は、固定用ジョイントであって、アクチュエータユニット２０のスライダ２６に取り付けられている。配管用ジョイントＪ３は、スイベルジョイントであって、アクチュエータユニット２０のスライダ２６に取り付けられている。配管用ジョイントＪ４は、スイベルジョイントであって、第４ジョイント１６ｂに取り付けられている。すなわち、配管用ジョイントＪ３，Ｊ４は、第４ジョイント１６ｂの回転に伴い回動可能となる。配管用ジョイントＪ５は、スイベルジョイントであって、第４ジョイント１６ｂに取り付けられている。配管用ジョイントＪ６は、固定用ジョイントであって、ロッド１５の一端側（図の上方側）に取り付けられている。すなわち、配管用ジョイントＪ５，Ｊ６は、ロッド１５の第４ジョイント１６ｂに対する回転に伴い回動可能となる。配管用ジョイントＪ７は、スイベルジョイントであって、第２ジョイント１７ｂに取り付けられている。すなわち、配管用ジョイントＪ７は、第２ジョイント１７ｂの回転に伴い回動可能となる。
【００２６】
配管Ｐ１は、配管用ジョイントＪ１と配管用ジョイントＪ２との間に連結されている。この配管Ｐ１は、スライダ２６の移動に伴い移動する。配管Ｐ２は、配管用ジョイントＪ２と配管用ジョイントＪ３との間に連結されている。配管Ｐ３は、配管用ジョイントＪ３と配管用ジョイントＪ４との間に連結されている。配管Ｐ４は、配管用ジョイントＪ４と配管用ジョイントＪ５との間に連結されている。
【００２７】
そして、連通孔Ｈ１〜Ｈ４については、第１ジョイント１７ａ及び第２ジョイント１７ｂ、トラベリングプレート１２の詳細な構成と併せて図５及び図６を参照して説明する。図５は、第１ジョイント１７ａの回転軸と第２ジョイント１７ｂの回転軸を含む面における第１ジョイント１７ａ及び第２ジョイント１７ｂの部分断面図である。図６は、第１ジョイント１７ａの回転軸と主軸１３の回転軸を含む面における第１ジョイント１７ａ及びトラベリングプレート１２の部分断面図である。
【００２８】
図５に示すように、第２ジョイント１７ｂは、第２ハウジング３１と、第２シャフト３２と、マニホールド３３と、軸受３４，３５とから構成される。第２ハウジング３１は、コの字型形状をなし、コの字の対向する面には連結用貫通孔が形成されている。この連結用貫通孔には、軸受３４，３５を軸支している。そして、第２ハウジングの一端側は、ロッド１５の他端側に固定されている。第２シャフト３２は軸受３４，３５に軸支されている。すなわち、第２ハウジング３１は、第２シャフト３２の軸心まわりに第２シャフト３２に対して相対回転可能となる。なお、この第２シャフト３２は、後述する固定ピン４５ａ，４５ｂにより第１ジョイント１７ａの第１シャフト４２に固定されている。
【００２９】
そして、第２シャフト３２には、軸方向に向かって２本の連通孔（軸方向連通孔）Ｈ２ａがほぼ平行に穿設されている。さらに、第２シャフト３２の軸垂直方向に向かって軸方向連通孔Ｈ２ａから外周側に２本の連通孔（軸垂直方向連通孔）Ｈ２ｂがほぼ平行に穿設されている。そして、軸方向連通孔Ｈ２ａは、第２シャフト３２の一端側に開通しており、他端側には閉塞されている。マニホールド３３は、第２シャフト３２の一端側、すなわち軸方向連通孔Ｈ２ａが開通している側に固定されている。このマニホールド３３は、配管用ジョイントＪ７が２つ取り付けられている。そして、配管用ジョイントＪ７が取り付けられる位置から第２シャフト３２の連通孔Ｈ２ａに連通するように連通孔Ｈ１が２つ形成されている。
【００３０】
第１ジョイント１７ａは、第１ハウジング４１と、第１シャフト４２と、軸受４３，４４と、固定ピン４５ａ，４５ｂとから構成される。第１ハウジング４１は、ほぼ円筒形状をなしている。この第１ハウジング４１は、トラベリングプレート１２のジョイント取付穴に嵌挿されて固定されている。さらに、第１ハウジング４１の内周側には、軸受４３，４４を軸支している。そして、第１ハウジング４１には、軸垂直方向に内周側から外周側へ２本の連通孔Ｈ４がほぼ平行に穿設されている。第１シャフト４２は軸受４３，４４に軸支されている。すなわち、第１ハウジング４１は、第１シャフト４２の軸心まわりに第１シャフト４２に対して相対回転可能となる。固定ピン４５ａ，４５ｂは、図５及び図６に示すように、第１ジョイント１７ａの第１シャフト４２と第２ジョイント１７ｂの第２シャフト３２とを連結固定するピンである。すなわち、第１シャフト４２と第２シャフト３２とは一体となる。
【００３１】
そして、第１シャフト４２は、一端側に連結用貫通孔が形成されており、この連結用貫通孔には第２ジョイント１７ｂの第２シャフト３２が嵌合している。さらに、この第１シャフト４２には、軸方向に向かって２本の連通孔（軸方向連通孔）Ｈ３ａがほぼ平行に穿設されている。この軸方向連通孔Ｈ３ａの一端側は、第２ジョイント１７ｂの第２シャフト３２の軸垂直方向連通孔Ｈ２ｂに連通している。さらに、第１シャフト４２の軸垂直方向に向かって軸方向連通孔Ｈ３ａから外周側に２本の連通孔（軸垂直方向連通孔）Ｈ３ｂがほぼ平行に穿設されている。この軸垂直方向連通孔Ｈ３ｂの外周側は、第１ハウジング４１の連通孔Ｈ４に連通している。
【００３２】
トラベリングプレート１２は、ジョイント取付穴と、連通孔Ｈ５が形成されている。ジョイント取付穴は、図５，６に示すように、第１ジョイント１７ａの第１ハウジング３１が嵌挿される穴である。連通孔Ｈ５は、図６に示すように、水平方向連通孔Ｈ５ａと、第１垂直方向連通孔Ｈ５ｂと、第２垂直方向連通孔Ｈ５ｃとからなる。水平方向連通孔Ｈ５ａは、トラベリングプレート１２の平行方向に、すなわち主軸の軸垂直方向に２本穿設されている。第１垂直方向連通孔Ｈ５ｂは、水平方向連通孔Ｈ５ａからジョイント取付穴側へ２本穿設されている。第２垂直方向連通孔Ｈ５ｃは、水平方向連通孔Ｈ５ａからトラベリングプレート１２の上面側へ２本穿設されている。そして、第１垂直方向連通孔Ｈ５ｂは、第１ジョイント１７ａの第１ハウジング４１に形成された連通孔Ｈ４と連通している。第２垂直方向連通孔Ｈ５ｃは、主軸１３に形成される穴（図示せず）に連通している。なお、主軸１３には、図示しないが、それぞれの連通孔に対応する連通孔が形成されている。
【００３３】
ここで、形成する経路は７経路の場合における配管用ジョイント及び配管の配設について図７を参照して説明する。図７に示すように、６本のロッドを１５ａ〜１５ｆとする。ロッド１５ａ〜１５ｅには、配管用ジョイントＪ１〜Ｊ７及び配管Ｐ１〜Ｐ４が、それぞれ１本ずつ配設される。ロッド１５ｆには、配管用ジョイントＪ１〜Ｊ７及び配管Ｐ１〜Ｐ４が、２本配設される。また、連通孔Ｈ１〜Ｈ４は全ての第１ジョイント１７ａ及び第２ジョイント１７ｂに形成され、連通孔Ｈ５はトラベリングプレート１２に合計１２本の連通孔Ｈ１〜Ｈ５が形成されている。そして、ロッド１５ａ〜１５ｅが連結されている第１ジョイント１７ａ及び第２ジョイント１７ｂ及びトラベリングプレート１２に形成されている連通孔Ｈ１〜Ｈ５のうち１本のみ使用しており、他の１本は閉塞されて使用しない。また、ロッド１５ｆが連結されている第１ジョイント１７ａ及び第２ジョイント１７ｂ及びトラベリングプレート１２に形成されている連通孔Ｈ１〜Ｈ５は、２本とも使用している。
【００３４】
そして、ロッド１５ａに形成された供給経路は、外部クーラントの供給用に使用している。ロッド１５ｂに形成された供給経路は、主軸冷却水の供給用に使用している。ロッド１５ｃに形成された供給経路は、工具締め用の作動油の供給用に使用している。ロッド１５ｄに形成された供給経路は、主軸冷却水の排出用に使用している。ロッド１５ｅに形成された供給経路は、スルークーラント用に使用している。ロッド１５ｆに形成された供給経路のうち一方は、工具緩め用の作動油の供給用に使用している。ロッド１５ｆに形成された供給経路のうち他方は、エアの供給用に使用している。
【００３５】
なお、上述の実施形態においては、アクチュエータユニット２０から第１ジョイント１７ａまでは配管用ジョイント及び配管により、第１ジョイント１７ａから主軸１３までは連通孔により流体供給経路を形成しているが、これに限られるものではない。例えば、アクチュエータユニット２０からトラベリングプレート１２まで配管用ジョイント及び配管により、トラベリングプレート１２から主軸１３までは連通孔により流体供給経路を形成してもよい。また、アクチュエータユニット２０からロッド１５まで配管用ジョイント及び配管により、ロッド１５から主軸１３までは連通孔により流体供給経路を形成してもよい。また、アクチュエータユニット２０から第３，４，５ジョイント１６ａ，ｂ，ｃまでは配管用ジョイント及び配管により、第３，４，５ジョイント１６ａ，ｂ，ｃから主軸１３までは連通孔により流体供給経路を形成してもよい。また、アクチュエータユニット２０から主軸１３まで全て連通孔により流体供給経路を形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】パラレルリンク工作機械の全体構成図を示す。
【図２】パラレルリンク加工部の外観構成図を示す。
【図３】パラレルリンク部の詳細構成図を示す。
【図４】パラレルリンク加工部の正面図を示す。
【図５】第１ジョイントの回転軸と第２ジョイントの回転軸を含む面における第１ジョイント及び第２ジョイントの部分断面図を示す。
【図６】第１ジョイントの回転軸と主軸の回転軸を含む面における第１ジョイント及びトラベリングプレートの部分断面図を示す。
【図７】トラベリングプレート周囲の平面図である。
【図８】従来のパラレルリンク加工部の正面図を示す。
【符号の説明】
１ ・・・ 門型フレーム
２ ・・・ 支持柱
３ ・・・ テーブル
４ ・・・ パラレルリンク加工部
１０ ・・・ パラレルリンク部（可動体）
１１ ・・・ 基台
１２ ・・・ トラベリングプレート（可動体）
１３ ・・・ 主軸（エンドエフェクタ）
１５ ・・・ ロッド
１６ａ ・・・ 第５ジョイント
１６ｂ ・・・ 第４ジョイント
１６ｃ ・・・ 第３ジョイント
１７ａ ・・・ 第１ジョイント
１７ｂ ・・・ 第２ジョイント
２０ ・・・ アクチュエータユニット（アクチュエータ）
２２ ・・・ スライド（ガイド）
２６ ・・・ スライダ（スライドテーブル）
Ｊ１〜Ｊ７ ・・・ 配管用ジョイント
Ｐ１〜Ｐ４ ・・・ 配管
Ｈ１〜Ｈ５ ・・・ 連通孔

Claims (5)

1. 基台と、
   作動空間内を移動するトラベリングプレートと、前記基台と前記トラベリングプレートとを連結する複数のロッドを有するパラレルリンク部とを備えた可動体と、
   前記トラベリングプレートに固定されたエンドエフェクタと、
   前記可動体を駆動するアクチュエータと、
   を備えたパラレルリンク機械において、
   前記可動体は、内部側であって前記エンドエフェクタに連通してなり、前記エンドエフェクタへ供給される流体が通過する連通孔が形成されたことを特徴とするパラレルリンク機械。
2. 前記連通孔は、前記トラベリングプレートに穿設されることを特徴とする請求項１記載のパラレルリンク機械。
3. 前記可動体は、さらに、前記トラベリングプレートと前記パラレルリンク部とを連結する回転継手を備え、
   前記連通孔は、前記トラベリングプレート及び前記回転継手に穿設されることを特徴とする請求項１記載のパラレルリンク機械。
4. 前記連通孔は、前記トラベリングプレート及び前記パラレルリンク部に穿設されることを特徴とする請求項１記載のパラレルリンク機械。
5. 前記アクチュエータは、
   前記基台に所定傾斜角度で２本ずつ略等間隔に３方向に放射状に固定された６本のガイドと、
   前記ガイドの長手方向に移動可能に６本の前記ガイドに各々に設けられた６つのスライドテーブルと、
   を備えたことを特徴とする請求項１記載のパラレルリンク機械。

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