JP2004264033A - 感圧センサ、物体検出装置、及び開閉装置、並びに感圧センサの製造方法 - Google Patents

感圧センサ、物体検出装置、及び開閉装置、並びに感圧センサの製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】感圧センサの端部の密封加工の効率化が図れ、低コストの感圧センサ、物体検出装置、及び開閉装置、並びに煩雑な工程を必要としない感圧センサの製造方法を提供する。
【解決手段】感圧センサ17が、外力による変形を検出する感圧手段(圧電センサ33)と、感圧手段を内装した熱可塑性エラストマーからなるセンサ収容体(支持部材35)とを備え、センサ収容体を少なくとも一方の端部を熱処理により密封した。
【選択図】 図2

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、感圧センサ、物体検出装置、及び開閉装置、並びに感圧センサの製造方法に関し、特に、センサ端部の密封加工を簡単な作業で確実に行う改良技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、物体の挟み込みを防止するために使用される感圧センサとして、押圧により接点が閉じるタイプの感圧スイッチや、圧電素子を利用した圧電センサを使用する例が多々開示されている。圧電センサは、物体の押圧により圧電センサが変形すると、圧電効果により圧電センサから電圧パルスが出力され、この電圧パルスの有無に基づき物体の挟み込みの有無を検出する。これらの感圧センサを自動車のパワーウィンドウ装置の挟み込み防止用に適用する場合には、例えばドアの窓枠に沿って感圧スイッチや圧電センサを配設し、窓枠と窓ガラスとの間に物体が挟み込まれたときに、感圧スイッチや圧電センサが物体により変形を受けるようにされる。そして、窓ガラスを閉じる際に、感圧スイッチが閉じられたり、圧電センサから所定の電圧パルスが出力されると、物体の挟み込みがあったとして、電動モータの回転方向を逆転させて挟み込みを解除していた。
【0003】
そして、上記感圧スイッチでは、水滴等の異物の浸入を防止するため、スイッチの端部を所定の形状の成形型へセットし、絶縁性を有する熱可塑性の合成樹脂材を射出成形或いはトランスファ成形に準じた方法で圧力をかけながら型内部へ注入して端部をモールド加工して密封していた(特許文献1参照)。
【0004】
また、上記のような感圧スイッチにおいては、圧電センサをこれを支持する支持部材内等に装填する際に、例えば、支持部材に形成したセンサ収容孔に空気を圧入し、センサ収容孔を膨張させて、内径を拡大してから感圧センサを挿入していた(特許文献2,特許文献3参照)。
【特許文献1】
特開平11−237289号公報(段落(0057)参照)
【特許文献2】
特開平11−72395号公報
【特許文献3】
特開平11−94656号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の感圧スイッチにおける密封加工は、射出成形或いはトランスファ成形に準じた加工方法であるため、加工に時間がかかり、効率的でなく、コストも高いといった課題があった。
また、密封加工前に感圧センサを支持部材内等に挿入する際に、センサ収容孔に空気を圧入するのに手間がかかったり、圧搾ポンプなどの設備が必要となり、感圧センサの製造作業が効率的でないといった課題があった。
本発明は、このような状況に鑑みてなされたもので、感圧センサの端部の密封加工の効率化を図り、低コストの感圧センサ、物体検出装置、及び開閉装置を提供することを第1の目的とし、また、煩雑な工程を必要としない感圧センサの製造方法を提供することを第2の目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、下記構成により達成できる。
(1)外力による変形を検出する感圧手段と、熱可塑性エラストマーからなり前記感圧手段の外側を覆うセンサ収容体とを備え、前記センサ収容体は少なくとも一方の端部を熱処理により密封している感圧センサ。
(2)前記感圧手段が、変形により発生する出力信号を導出する複数の電極と、前記電極の断線や短絡を検出するための抵抗体を配設した抵抗体配設部とを備え、前記センサ収容体の一方の端部において前記抵抗体配設部を熱処理により密封固定している(1)記載の感圧センサ。
(3)前記抵抗体配設部が、前記センサ収容体の端部密封の際に前記抵抗体配設部の固定強度を高めるための凹部、凸部、楔形部の少なくとも一つを備えている(2)記載の感圧センサ。
(4)前記抵抗体配設部が、前記センサ収容体との固定強度を高めるためのピンを挿入する挿入孔を備えている(2)記載の感圧センサ。
(5)前記感圧手段の少なくとも一方の端部が、熱可塑性エラストマーからなるキャップにより覆われて、該キャップが熱処理によって前記センサ収容体の端部を密封している(1)〜(4)のいずれか1項記載の感圧センサ。
(6)前記センサ収容体が、センサの取付固定側に固着させる前記感圧手段の支持手段であって、該支持手段が、外力が印加された際に前記感圧手段の変形を増大させる中空部を備え、支持手段の少なくとも一方の端部において前記中空部を熱処理により密封している(1)〜(5)のいずれか1項記載の感圧センサ。
(7)前記センサ収容体が、前記感圧手段を被覆する被覆手段であって、該被覆手段で覆われた感圧手段を内装し、センサの取付固定側に固着される支持手段を具備し、該支持手段が、外力が印加された際に前記感圧手段の変形を増大させる中空部を備え、支持手段の少なくとも一方の端部において前記中空部を熱処理により密封している(1)〜(5)のいずれか1項記載の感圧センサ。
(8)前記支持手段の少なくとも一方の端部全体が、熱可塑性エラストマーからなるキャップにより覆われて、該キャップが熱処理によって前記端部を密封している(7)記載の感圧センサ。
(9)前記感圧手段が、塩素化ポリエチレンと圧電セラミックス粉体とを混合した複合圧電材を使用して成形されている(1)〜(8)のいずれか1項記載の感圧センサ。
(10)外力による変形を検出する感圧手段と、前記感圧手段の外側を覆うセンサ収容体とを備え、前記感圧手段と前記センサ収容体との間には滑剤が装填されている感圧センサ。
(11)前記センサ収容体は、少なくとも一方の端部が熱処理により密封されている(10)記載の感圧センサ。
(12)前記(1)〜(11)のいずれか1項記載の感圧センサと、前記感圧センサの出力信号に基づき前記感圧センサへの物体の接触の有無を判定する判定手段とを備えた物体検出装置。
(13)前記判定手段は、支持手段の一方の端部において熱処理により密封固定された(12)記載の物体検出装置。
(14)前記(12)又は(13)記載の物体検出装置と、開閉部を駆動する駆動手段と、前記開閉部が閉動作する際に判定手段が感圧センサへの物体の接触を判定すると前記開閉部の閉動作を停止するか又は前記開閉部を開動作するよう前記駆動手段を制御する制御手段とを備えた開閉装置。
(15)外力による変形を検出する感圧手段と、前記感圧手段の外側を覆うセンサ収容体とを備えた感圧センサの製造方法であって、前記感圧手段の表面と、前記センサ収容体の内面との少なくとも何れか一方に滑剤を付着させ、前記感圧手段を前記センサ収容体の内面に挿入する感圧センサの製造方法。
(16)前記感圧手段の前記センサ収容体への挿入後、前記センサ収容体の少なくとも一方の端部を熱処理により密封する(15)記載の感圧センサの製造方法。
(17)前記滑剤として、ステアリン酸亜鉛、炭酸カルシウムのいずれかを用いる(15)又は(16)記載の感圧センサの製造方法。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る感圧センサ、物体検出装置、及び開閉装置、並びに感圧センサの製造方法の好適な実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
図1は本発明に係る感圧センサを備えた物体検出装置100及び開閉装置150の外観図で、自動車のパワーウインドウに適用した場合を一例として示している。図2は図1のA−A断面構成図である。なお、図2では図面右側が車室内側、左側が車室外側である。
【0008】
まず、本実施形態の物体検出装置100の基本構成は次の通りである。図1より、11は自動車のドア、13は開口部としての窓枠、15は開閉部としての窓ガラスである。17は感圧センサで窓枠13の端部周縁に配設されている。19は感圧センサ17の出力信号に基づき感圧センサ17への物体の接触を判定する判定手段である。
【0009】
また、本実施形態の開閉装置150は、上記の物体検出装置100と、窓ガラス15を開閉させる駆動手段21、駆動手段21を制御する制御手段23から成る。ここで、駆動手段21は、モータ25、ワイヤ27、窓ガラス15の支持具29、ガイド31等からなり、モータ25によりワイヤ27を動かし、ワイヤ27と連結された支持具29をガイド31に沿って上下させることにより窓ガラス15を開閉する構造となっている。なお、駆動手段21は上記のようなワイヤ27を用いた方式に限定するものではなく、他の方式であってもよい。また、制御手段23はモータ25と一体化してもよい。
【0010】
図2に示すように、本実施形態の感圧センサ17は、感圧手段としての可撓性の圧電センサ33と、センサ収容体としての支持手段35とを有する。支持手段35は、圧電センサ33を最下部近傍のセンサ収容孔34に内蔵して窓枠13に固着される変形部37を備えている。この変形部37は、中空部41と側壁部43とを有している。また、変形部37を含む支持手段35は、熱可塑性エラストマー(TPE)からなり、圧電センサ33よりも柔軟な特性を有している。なお、変形部37は窓枠13に配設されたウエザストリップと一体となっていてもよく、感圧センサ17は、開口部側に限らず、開閉側に設けた構成であってもよい。
【0011】
図3は圧電センサ33の断面構成図である。圧電センサ33は信号導出用電極としての中心電極45、外側電極47と、塩素化ポリエチレンからなるゴム弾性体に圧電セラミックの焼結粉体を混合した複合圧電材からなる複合圧電体層49と、被覆層51とを同心円状に積層してケーブル状に成形し分極処理して構成したもので、優れた可撓性を有し、変形の加速度に応じた出力信号を発生する。圧電セラミックとしては例えばチタン酸鉛又はチタン酸ジルコン酸鉛や、チタン酸ビスマスナトリウム、ニオブ酸ナトリウム、ニオブ酸カリウム等の無鉛圧電セラミックの焼結粉体を用いる。圧電センサ33は以下の工程により製造される。最初に、塩素化ポリエチレンシートと(40〜70)vol%の圧電セラミック(ここでは、チタン酸ジルコン酸鉛)粉末がロール法によりシート状に均一に混合される。このシートを細かくペレット状に切断した後、これらのペレットは中心電極45と共に連続的に押し出されて複合圧電体層49を形成する。それから、外側電極47が複合圧電体層49の周囲に巻きつけられる。外側電極47を取り巻いて被覆層51も連続的に押し出される。最後に、複合圧電体層49を分極するために、中心電極45と外側電極47の間に(5〜10)kV/mmの直流高電圧が印加される。
【0012】
上記塩素化ポリエチレンに圧電セラミック粉体を添加するとき、前もって圧電セラミック粉体をチタン・カップリング剤の溶液に浸漬・乾燥することが好ましい。この処理により、圧電セラミック粉体表面が、チタン・カップリング剤に含まれる親水基と疎水基で覆われる。親水基は圧電セラミック粉体同志の凝集を防止し、また、疎水基は塩素化ポリエチレンと圧電セラミック粉体との濡れ性を増加する。この結果、圧電セラミック粉体は塩素化ポリエチレン中に均一に、最大70vol%まで多量に添加することができる。上記チタン・カップリング剤溶液中の浸漬に代えて、塩素化ポリエチレンと圧電セラミック粉体のロール時にチタン・カップリング剤を添加することにより、上記と同じ効果の得られることが見出された。この処理は、特別にチタン・カップリング剤溶液中の浸漬処理を必要としない点で優れている。このように塩素化ポリエチレンは、圧電セラミック粉体を混合する際のバインダー樹脂としての役割も担っている。尚、塩素化ポリエチレンの代わりに、熱可塑性エラストマー等のノンハロゲン材料を使用しても良い。
【0013】
中心電極45は銅線やステンレス線等、通常の金属単線導線や複数本の撚線を用いてもよいが、ここでは絶縁性高分子繊維の周囲に金属コイルを巻いた電極を用いる。絶縁性高分子繊維と金属コイルとしては、電気毛布において商業的に用いられているポリエステル繊維と銀を5wt%含む銅合金がそれぞれ好ましい。
【0014】
外側電極47は高分子層の上に金属膜の接着された帯状電極を用い、これを複合圧電体層49の周囲に巻きつけた構成としている。そして、高分子層としてはポリエチレン・テレフタレート(PET)を用い、この上にアルミニウム膜を接着した電極は、120℃で高い熱的安定性を有するとともに商業的にも量産されているので、外側電極47として好ましい。この電極を判定手段19に接続する際には、例えばカシメやハトメにより接続することができる。また、外側電極47のアルミニウム膜の回りに金属単線コイルや金属編線を巻き付けてアルミニウム膜と導通をとり、金属単線コイルや金属編線を判定手段19に半田付けする構成としてもよい。この場合、半田付けが可能となるので作業の効率化が図れる。また、PET層の上に銅膜を形成した帯状電極を用いてもよく、これにより半田付けが可能となる。尚、圧電センサを外部環境の電気的雑音からシールドするために、外側電極47は部分的に重なるようにして複合圧電体層49の周囲に巻きつけることが好ましい。
【0015】
被覆層51としては、塩化ビニルやポリエチレンを用いればよいが、物体の押圧時に圧電センサ33が変形しやすいよう柔軟性及び可撓性の良い合成ゴムや熱可塑性エラストマー等の弾性材料を用いてもよい。以上のような構成により、圧電センサの最小曲率は半径5mmまで可能となる。なお、被覆層51を支持手段35と兼用する構成としてもよく、部品や製造工程の合理化が図られる。
上記のように、圧電センサの複合圧電材が塩素化ポリエチレンの有する可撓性と圧電セラミックの有する高温耐久性とを併せ持つので、圧電体としてポリフッ化ビニリデンを用いた従来の圧電センサのような高温での感度低下がなく、高温耐久性がよい上、EPDMのようなゴムのように成形時に加硫工程が不要なので生産効率がよいという利点が得られる。
【0016】
図4は圧電センサ33の外観図で、圧電センサ33の一方の端部には、断線・短絡の検出用の抵抗体を内蔵した抵抗体配設部53が設けられている。抵抗体配設部53の外径は、圧電センサ33の被覆層51の外径と略同じに構成されており、内蔵される抵抗体は圧電センサ33の中心電極45と外側電極47との間に接続されている。抵抗体は焦電効果によって圧電センサ33に発生する電荷を放電する放電部を兼用しており、部品の合理化が図られている。圧電センサ33は判定手段19に直接接続され、圧電センサ33と判定手段19とは一体化されている。また、判定手段19には、電源供給用と検出信号の出力用のケーブル57、及びコネクタ59が接続されている。圧電センサ33を支持手段35に配設する場合は、端部に抵抗体を内蔵した抵抗体配設部53を形成し、圧電センサ33を支持手段35のセンサ収容孔34に挿入した後、圧電センサ33と判定手段19とを接続して一体化する。あるいは、圧電センサ33の両端部にそれぞれ抵抗体配設部53と判定手段19とを接続した後、圧電センサ33を支持手段35のセンサ収容孔34に挿入してもよい。
【0017】
ここで、圧電センサ33の挿入の際は、圧電センサ33とセンサ収容孔34の少なくとも一方に滑剤を付着させてから圧電センサ33を挿入する方法をとる。この方法を用いると、滑剤の作用により圧電センサ33をスムーズにセンサ収容孔34に挿入することができ、手間がかからず、新規に設備を追加することもなく、生産効率が向上する。
【0018】
つまり、この感圧センサの製造方法としては、前記感圧手段の表面と、前記センサ収容体の内面との少なくとも何れか一方に滑剤を付着させるステップと、前記感圧手段を前記センサ収容体の内面に挿入するステップと、前記センサ収容体の少なくとも一方の端部を熱処理により密封するステップとをこの順で実行すればよい。
【0019】
また、滑剤としては、ゴムの押出成形時の滑剤やゴム同士の付着を防止するブロッキング剤として用いられるステアリン酸亜鉛や炭酸カルシウム等を用いることができる。なお、滑剤は上記材料に限定されることなく、被覆層や圧電センサ等に用いられている材料を劣化させない範囲で、適切な材料からなる滑剤を適宜選択して用いればよい。
【0020】
図5は本実施形態の物体検出装置及び開閉装置のブロック図である。判定手段19は、感圧センサ17の断線を検出する際に使用する分圧用抵抗体61、圧電センサ33からの出力信号から所定の周波数成分のみを通過させる濾波部62、濾波部62からの出力信号に基づき感圧センサ17への物体の接触を判定する判定部63、断線検出用抵抗体55と分圧用抵抗体61により形成される電圧値から圧電センサ33の中心電極45と外側電極47の断線異常を判定する異常判定部64を備えている。
【0021】
また、中心電極45と外側電極47を判定手段19に接続し圧電センサ33からの出力信号を判定手段19に入力する信号入力部65と、判定部63からの判定信号を出力する信号出力部66とは、隣接して判定手段19内に配設してある。信号出力部66には判定手段19への電源ラインとグランドラインも接続されている。さらに、判定手段19は、信号入力部65と信号出力部66との間に設けられ高周波信号をバイパスするコンデンサ等のバイパス部67を有している。
【0022】
判定手段19を構成する以上の各構成要素はワンチップIC化されて基板に実装され、基板全体は絶縁された後、円筒状または箱状のシールドケースに内蔵される。そしてシールドケースは圧電センサ33の外側電極47と電源のグランドラインとも導通しており、圧電センサ33と判定手段19との全体がシールドされていて、強電界ノイズ等による誤動作を防止する構成となっている。上記回路の入出力部に貫通コンデンサやEMIフィルタ等を付加して、さらに強電界対策を行ってもてもよい。
【0023】
駆動手段21はモータ25の回転パルスを検出するためのホール素子68を有する。
制御手段23は、ホール素子68からの出力信号に基づき窓ガラス15の上端位置を検出する位置検出部71と、ホール素子68からの出力信号に基づき窓ガラス15の移動速度を検出して窓ガラス15への物体の接触を判定する開閉部接触判定部72と、判定手段19と位置検出部71と開閉部接触判定部72との出力信号に基づきモータ25を制御する制御部73とを備えている。
【0024】
位置検出部71はホール素子68から出力されるパルス信号をカウントして記憶することにより窓ガラス15の上端の現在位置を検出する。ここで、窓ガラス15の上端位置Yは図1に示したように窓枠13の最下点からの高さで表される。
開閉部接触判定部72では、窓ガラス15に物体が接触すると窓ガラス15の移動速度が遅くなることに基づき、ホール素子68から出力されるパルス信号のパルス間隔から窓ガラス15の移動速度を演算し、演算した移動速度の単位時間当たりの変化量|ΔV|が予め設定した設定値Vw1より大となった場合、窓ガラス15に物体が接触したと判定し、Lo→Hi→Loのバルス信号を出力する。ここで、このパルス信号のうち、Hiレベルの信号が判定信号となる。
【0025】
また、制御手段23には、判定手段19の判定結果を車室内のフロントパネルに設置された所定のライト等で報知する報知手段74、窓ガラス15を開閉するための開閉スイッチ75が接続され、この開閉スイッチは、ワンタッチ操作で窓ガラス15を開閉するオートアップスイッチ、オートダウンスイッチと、マニュアル操作で窓ガラス15を開閉するマニュアルアップスイッチ、マニュアルダウンスイッチ等からなる。そして、判定手段19を通じて電力を供給する自動車のバッテリー等からなる電源76が設けられている。
【0026】
濾波部62は、圧電センサ33の出力信号から自動車の車体の振動等に起因する不要な信号を除去し、物体の接触による押圧により圧電センサ33が変形する際に圧電センサ33の出力信号に現れる特有な周波数成分のみを抽出するような濾波特性を有する。濾波特性の決定には自動車の車体の振動特性や走行時の車体振動を解析して最適化すればよい。
【0027】
次に、物体検出装置による物体の感圧センサ17への接触を検出する際の基本動作について説明する。
図6に窓枠と窓ガラスの間に物体77が侵入して挟み込まれた場合の感圧センサ17の様子を示した。物体77が感圧センサ17と接触すると、物体77による押圧が支持手段35及び圧電センサ33に印加される。支持手段35は圧電センサ33より柔軟性を有しているので、図示のように物体77が接触する点を中心として押圧により支持手段35が圧縮されて、側壁部43が変形し、同時に中空部41が押し潰される。これにより圧電センサ33も物体77が支持手段35と接触する点を中心として屈曲して変形する。
【0028】
このようにして圧電センサ33が変形すると、圧電効果により圧電センサ33から変形の加速度に応じた出力信号が出力される。圧電センサ33からの出力信号は濾波部62により濾波される。圧電センサ33の出力信号に自動車の車体の振動等に起因する不要な振動成分による出力信号が現れることがあるが、濾波部62がこの不要な信号を除去する。
【0029】
ここで、判定部63と制御部73の動作手順の一例について、図7に基づいて説明する。図7は濾波部62からの出力信号V、判定手段19の判定出力J、モータ25への印加電圧Vを示す特性図である。図7中、縦軸は上から順にV、J、V、横軸は時刻tである。時刻tに開閉スイッチ75のオートアップスイッチをオンすると、制御部73がモータ25に+Vの電圧を印加して窓ガラス15を閉動作させる。判定手段19は窓ガラス15の閉動作時に判定動作を行う。図6に示したように物体77が挟み込まれると、圧電センサ33からは圧電効果により圧電センサ33の変形の加速度に応じた信号が出力され、濾波部62からは図7(a)に示すような基準電位Vより大きな信号成分が現れる。この際、単に圧電センサ33を窓枠13に配設した構成であれば、挟み込みの際の圧電センサ33の変形はわずかであるが、本実施形態の場合は図2に示すように、支持手段35が柔軟性を有しており、挟み込みの際に支持手段35が容易に圧縮されるので、圧電センサ33の変形量が増大する。
【0030】
そして、挟み込みの際に中空部41も押し潰されるので圧電センサ33の変形量がさらに増大する。このように圧電センサ33は大きな変形量が得られ、変形量の2次微分値である加速度も大きくなり、結果として圧電センサ33の出力信号も大きくなる。判定部63はVのVからの振幅|V−V|がDより大ならば物体との接触があったものと判定し、図7(b)に示すように、時刻tで判定出力としてLo→Hi(判定信号)→Loのバルス信号を出力する。
制御部73はこの判定信号があると、図7(c)に示すように、モータ25への+Vの電圧印加を停止し、−Vの電圧を時刻tまで一定時間印加して窓ガラス15を一定量下降させ、挟み込みを解除、或いは挟み込みの発生を未然に防止する。感圧センサ17への圧力を解除する場合には、圧電センサ33からは変形が復元する加速度に応じた信号(図7(a)の基準電位Vより小さな信号成分)が出力される。
【0031】
なお、感圧センサ17の変形の際、VがVより大となるか小となるかは、圧電センサ33の屈曲方向や分極方向、電極の割付け(どちらを基準電位とするか)、圧電センサ33の支持方向により変化するが、判定部63ではVのVからの振幅の絶対値に基づき挟み込みを判定しているので、VのVに対する大小によらず挟み込みを判定することができる。
【0032】
さらに、感圧センサ17の変形による圧電センサ33からの出力は、変形が発生した場合と、その変形が元の状態に復帰した場合とでは、極性の異なる出力信号となるので、感圧センサへの物体の接触開始から接触終了までを検出することができる。これにより、例えば物体の挟み込みが生じている間は窓ガラスの操作を強制停止させ、挟み込みが解除されてから操作可能にすることもできる。
【0033】
次に、以上説明した感圧センサ17における、端部の密封加工について説明する。
本実施形態の支持手段35は熱可塑性エラストマーからなる。熱可塑性エラストマーは、軟質合成樹脂の一つであって、且つ常温でゴム状弾性を有する高分子物質で、その組成としては樹脂中に架橋されたゴムが分散している状態のものである。熱可塑性エラストマーは、成型時に加硫工程が不要なので、生産効率がよいという利点が得られる。熱可塑性エラストマーとしては、例えば、オレフィン系(TPO)、スチレン系(SBC)、塩ビ系(TPVC)、ウレタン系(TPU)、エステル系(TPEE)、アミド系(TPAE)等のものが挙げられる。
【0034】
この支持手段35に圧電センサ33を内装させる方法としては、前述したように、支持手段35を単体で押出成形や型成形により作製しておき、支持手段35に形成されたセンサ収容孔34に圧電センサを後工程で挿入する方法と、支持手段35と圧電センサ33とを同時に押出成形する方法がある。
【0035】
まず、前者の方法で作製した感圧センサの端部の密封加工を説明する。
密封加工を行うには、図8に示すように、支持手段35の端部を、加熱した加圧用治具により支持手段35の端部を加熱・加圧(熱処理)することで、熱可塑性エラストマーによる熱融着によって密封する。即ち、図8(a)に示す端部密封前の状態から、(b)に示すように垂直方向、あるいは(c)に示すように水平方向に加圧しつつ加熱することで、センサ収容孔34と中空部41を密封する。
【0036】
この加圧方向は、感圧センサ17の敷設場所に応じて適切な方向が選択される。また、単に加圧するのみならず、加熱型に挟み込んで加圧することで、端部を所望の形状に仕上げることも可能である。密封はセンサ収容孔34のみならず、中空部41を共に密封することが好ましい。このような熱融着による密封によって圧電センサ33が支持手段35の内部に密閉されるため、水滴等の異物が支持手段35の内部に侵入することなく、水滴等の侵入による誤動作や腐食を防止できる。また、支持手段35内に水滴等が侵入して凍結した場合等に、感圧センサ17が撓みにくくなって感度が低下したり、支持手段35を破裂させる等の不具合の発生も未然に防止される。そして、圧電センサ33の端部が支持手段35に固着されるので、圧電センサ33を弛みなく支持手段35のセンサ収容孔34内に確実に収容することができ、センサ端部でのセンサの感度を低下させることがなくなる。さらに、上記構成においては、感圧センサ17は、最外層の被覆層51を省略して、外側電極47を外部に露出させた形態として、センサ収容孔34に挿入する構成としてもよい。
【0037】
上記のように、支持手段35の端部を単に加熱・加圧する熱処理によって容易に端部の密封ができるので、射出成形やトランスファ成形に準じた加工方法と比較して、端部の密封加工の作業性を大幅に向上することができ、低コストで効率的な密封が行える。また、支持手段35は、図9(a)に示す両端部が開口しているものに限らず、図9(b)に示すように、一端部がセンサ収容孔34及び中空部41の閉口されたものであってもよい。その場合には、片側のみ密封するだけでよいため、密封作業が簡略化できる。
【0038】
次に、支持手段35の端部密封の際に、圧電センサ33の端部に設けられる抵抗体配設部53(図4参照)の支持手段35に対する固定強度を高めるため、抵抗体配設部53の形状に改良を加えた構成例を以下に説明する。
【0039】
(第1の構成例)
図10は抵抗体配設部53の第1の構成例を示す断面図である。
圧電センサ33は、中心電極45の表面に複合圧電体層49を形成し、この複合圧電体層49の表面に外側電極47を被覆形成し、さらに外側電極47の周囲に被覆層51を形成して構成されており、被覆層51を圧電センサ33の端部から一部除去して外側電極47が露出した状態としている。そして、断線検出用抵抗体55をリード線方向がセンサと同軸方向となるように合わせ、センサに近い側のリード線56aを中心電極45に接続している。一方、反対側のリード線56bは、端部が外側電極47に導通される径を有する円筒状の導電性キャップ81の底部81aに接続している。リード線56aと中心電極45との接続、及びリード線56bと導電性キャップ81との接続は、溶接、ろう接、カシメ等の適宜な接続手段により電気的に接続できる。
【0040】
導電性キャップ81は金属等からなり、その外表面にはセンサの軸方向に沿って段状の凹凸部83を有する絶縁性樹脂85が固着されている。一例として示した凹凸部83は、導電性キャップ81の径方向外側に突出する凸部83a及び凹部83bを導電性キャップ81の円周方向に沿って複数段形成したものである。なお、抵抗体配設部53は、支持手段35への固着後に周囲との電気的接触のおそれがない場合には、絶縁性樹脂85を形成する代わりに、導電性キャップ81自体がその外周面に凹凸部83を有するものとしてもよい。
【0041】
上記構成の抵抗体配設部53によれば、図11に示すように、支持手段35のセンサ収容孔34に圧電センサ33を挿入して熱融着させた際に、圧電センサ33側の凹凸部83がセンサ収容孔34に食い込み、センサ収容孔34内で圧電センサ33が軸方向に摺動することや抜け落ちることを確実に防止できる。これにより、圧電センサ33をセンサ収容孔34内で弛みなく配置させることができ、もって、物体との接触が生じた場合に圧電センサ33の変形加速度が鈍ることなく、センサの検出感度を高めることができる。
【0042】
(第2の構成例)
図12は抵抗体配設部53の第2の構成例を示す断面図である。以降の説明では、同一の機能を有する同一の部材に対しては、同一の符号を付与することでその説明は省略するものとする。
この構成例では、導電性キャップ81の外表面に、センサの軸方向に沿って拡径、縮径する山形の凹凸部83を有する絶縁性樹脂87が固着されている。
【0043】
この抵抗体配設部53の構成によっても、圧電センサ33側の凹凸部83がセンサ収容孔34に食い込み、センサ収容孔34内で圧電センサ33が軸方向に摺動することや抜け落ちることを確実に防止できる。また、凹凸部83の形状が単純であるので、絶縁性樹脂87の加工が容易となる。なお、上記凹凸部83は、山形に限らず、センサの軸方向に沿って端部側ほど拡径する円錐形状や、拡径部から端部側ほど縮径する円錐形状であっても同様な効果を得ることができる。
【0044】
(第3の構成例)
図13(a)は抵抗体配設部53の第3の構成例を示す断面図で、(b)は(a)に示すB−B断面図である。
この構成例は、導電性キャップ81に固定用のピンを差し込む挿通孔89を導電性キャップ81の外周面の一部に穿設した構成としている。この構成の抵抗体配設部53では、図14(a)に示すように、支持手段35のセンサ収容孔34の位置に予め固定用のピンを差し込むための挿通孔91を穿設しておき、圧電センサ33の抵抗体配設部53を挿通させ、図14(b)に示すように挿通孔89,91を位置合わせして、ピン93を挿通孔89,91に差し込む。これにより、抵抗体配設部53が支持手段35に固定され、圧電センサ33をセンサ収容孔34内で弛みなく配置させることができ、上記同様の効果が奏される。
【0045】
なお、支持手段35側に挿通孔91を設けずに、圧電センサ33をセンサ収容孔34内に挿通させて、先端の鋭利なピンを支持手段35に突き刺して導電性キャップ81の挿通孔91に差し込む構成としてもよい。この構成では、一層簡単に抵抗体配設部53を支持手段35に確実に固定することができる。
【0046】
(第4の構成例)
図15(a)は抵抗体配設部53の第4の構成例を示す断面図で、(b)は側面図である。
この構成例は、導電性キャップ81に抜け止め用の係止片(楔形部)81bを、底部81a側を基部として圧電センサ33側に向けて外方へ突出させて楔形となるように設けてある。ここでは、一例として、導電性キャップ81の周面の一部を係止片81bとして軸方向に切り出し、底部81a側を基端として係止片81bを外方へ引き出すことで形成している。なお、係止片81bは上下1対としているが、2つ以上の複数あっても、1つであってもよく、軸方向に沿って多段に構成してもよい。
【0047】
上記構成の抵抗体配設部53によれば、図16に示すように、支持手段35のセンサ収容孔34に圧電センサ33を挿入して熱融着させた際に、係止片81bがセンサ収容孔34に食い込み、センサ収容孔34内で圧電センサ33が軸方向に摺動することや抜け落ちることを確実に防止できる。これにより、前述と同様の効果が奏される。
【0048】
次に、抵抗体配設部53を支持手段35内に密封する他の方法を説明する。
図17は支持手段のセンサ収容孔に熱可塑性エラストマーを装填して熱融着する様子を示す説明図で、(a)は熱融着前、(b)は熱融着後の状態を示す断面図である。
ここでは、図17(a)に示すように、支持手段35のセンサ収容孔34内に圧電センサ33を挿通させる一方、支持手段35端部のセンサ収容孔34に、センサ収容孔34を塞ぐ熱可塑性エラストマーからなる栓体95を装填する。この状態で熱融着させると、図17(b)に示すように、栓体95が支持手段35端部のセンサ収容孔34を隙間なく塞ぐと共に、センサ先端の抵抗体配設部53が支持手段35内で栓体95と支持手段35に固着される。これにより、圧電センサ33を支持手段35の内部に簡単な作業で確実に密封することができる。
【0049】
さらに他の密封方法として、次の方法がある。
図18は支持手段の端部を熱可塑性エラストマーからなるキャップを用いて密封する様子を示す説明図である。
図18(a)に示すように、抵抗体配設部53をセンサ収容孔34内に配置した状態で、図18(b)に示すように、熱可塑性エラストマーからなり支持手段35の一端部全体を覆うキャップ97を取り付け、キャップ97の近傍を加熱・加圧(熱処理)することで熱融着させる。これにより、支持手段35のセンサ収容孔34及び中空部41が確実に密閉され、且つ、その端部がキャップ97により覆われるため、密着強度が増強されて耐久性が向上する。
【0050】
また、図19に示すように、他端側に対しても同様に熱可塑性エラストマーからなるキャップ98を端部全体を覆うように取り付けることで、感圧センサの全体を密封することができる。
【0051】
次に、支持手段35と圧電センサ33とを一体に押出成形する方法により作製した感圧センサの端部の密封加工について説明する。
図20は支持手段と圧電センサとを一体に押出成形して端部を密封する様子を示す説明図である。
【0052】
図20に示すように、圧電センサ33が挿入された状態で連続的に成形される支持手段35から所望の長さを切り出して、感圧センサを作製する際、次のようにして端部を密封する。まず、図20(a)の切り出した支持手段35の端部を、図20(b)に示すように圧電センサ33を残してカットすることで、圧電センサ33をセンサ収容孔34から突出させる。そして、図20(c)に示すように、突出させた圧電センサ33の端部に、前述の図4に示す抵抗体配設部53と判定手段19を取り付けて、例えば図20(d)に示すようにキャップ101,103により密封する。
【0053】
ここで、図20(d)におけるC方向断面を図21に、D方向断面を図22に示して具体的な密封構造を説明する。即ち、図21は抵抗体配設部53側の密封構造を示す断面図、図22は判定手段19側の密封構造を示す断面図である。
図21に示すように、抵抗体配設部53側では、支持手段35から突出させた圧電センサ33の端部に抵抗体配設部53を取り付けて、抵抗体配設部53の外側及び支持手段35の端部全体を熱可塑性エラストマーからなるキャップ101で覆い、熱融着させる。
また、図22に示すように、判定手段19側では、支持手段35から突出させた圧電センサ33の端部に基板上に形成した判定手段19を取り付けて、判定手段19の外側及び支持手段35の端部全体を熱可塑性エラストマーからなるキャップ103で覆い、熱融着させる。
【0054】
以上説明した圧電センサ端部の密封構造によって、熱処理による端部の密封加工が簡単に行えるため、端部を密封加工する作業が簡単化されて、低コスト化が図られる。
【0055】
また、図20に示すように、支持手段35と圧電センサ33とを一体に押出成形する場合にも、圧電センサ33の被覆層51(図3参照)を省略することができる。その場合の端部の密封加工も上記同様に行うことができる。その他にも、例えば、図23に示すように、支持手段35の端部を除去する際、センサ収容孔34の回りを残してキャップ取付代105を形成しておき、このキャップ取付代105に熱可塑性エラストマーからなるキャップ107の内周部を嵌め込み、熱融着させることで密封する。一方、支持手段35の中空部14は、加熱・加圧(熱処理)して端部を熱融着させる。このような体積の小さなキャップ107で端部の密封加工を行うことで、資材の削減により低コスト化が図られる。
【0056】
以上説明した感圧センサ17は、いずれもセンサの変形量を増大させるための中空部41を有する支持手段35に内装されたものである。本発明の感圧センサはこのような支持手段の形態に限らず、前述した中空部41を有しない支持手段に内装されたものであってもよい。このような構成の感圧センサの一例を図24に断面図として示した。図24に示す感圧センサ17は、熱可塑性エラストマーからなる断面円筒状の支持手段36の内部に圧電センサ33を内装した構成である。図25は、図24に示す断面構成を有する感圧センサの一形態としての全体構成図であって、チューブ状の熱可塑性エラストマーからなる支持手段36に、抵抗体配設部53及び判定手段19が接続された圧電センサ33を内装して感圧センサを構成している。端部の密封は、図示のように袋状のチューブを被せる、熱融着させる方法の他、キャップを被せて熱融着させる等の適宜の方法を採用することができる。
【0057】
上記構成の支持手段36を備えた感圧センサ17によれば、検出の目的に応じた適宜な形態で、感圧センサ17を所望の配置位置へ取り付けることで、所望の検出を行うことができる。そして、圧電センサ33に作用する引張、圧縮、曲げ、捻れ等による変形が、薄肉の支持手段36であるために減衰分が少なくなり、変形の加速度の検出感度が向上して、高感度な検出が可能となる。また、センサの径が小さく小型であるために、センサの設置自由度、及び他の部材に組み込む際の設計自由度が向上し、本発明に係る感圧センサの適用範囲を広げることができる。
【0058】
次に、本発明に係る感圧センサの他の形態として、支持手段を備えずに単に圧電センサを被覆しただけの構成とした形態を説明する。
図26に被覆層を有せずに外側電極47を露出した圧電センサの断面図、図27に図26に示す圧電センサを熱可塑性エラストマーからなる被覆手段により覆った様子を示す構成図を示した。
図27(a)に示す感圧センサは、両端部が開口されてチューブ状に形成されたセンサ収容体としての被覆手段113内に、抵抗体配設部53及び判定手段19が接続された圧電センサ111を挿入して形成したものである。端部の密封は、図中矢印で示すように被覆手段113の両端部を熱融着することで行っている。
【0059】
また、図27(b)に示す感圧センサは、一端部が閉口されたチューブ状の被覆手段115内に、抵抗体配設部53及び判定手段19が接続された圧電センサ111を挿入して構成したものである。端部の密封は、図中矢印で示すように被覆手段113の片側端部を熱融着することで行っている。この場合には、被覆手段113の片側のみ密封するだけでよいため、密封作業が簡略化できる。なお、端部の密封加工は、そのまま熱融着させる以外にも、熱可塑性エラストマーからなるキャップを被せて熱融着させることで行ってもよい。
【0060】
このように、必要最小限の部材で感圧センサを構成すると共に、被覆手段の端部を熱融着して密封することで、センサ内部への水や異物等の侵入を防止した、低コストな感圧センサを得ることができる。
【0061】
次に、表面が被覆手段により覆われた圧電センサを備えた感圧センサについて、圧電センサと被覆手段とを押出成形により一体成形して形成した一例を説明する。
図28は被覆手段と圧電センサとを一体に押出成形して端部を密封する様子を示す説明図である。
図28(a)に示すように、押出成形によって、表面に熱可塑性エラストマーからなる被覆手段117が形成された圧電センサ111を所定の長さに切り出し、図28(b)に示すように、圧電センサ111端部の被覆手段117をカットして、圧電センサ111の端部の外側電極を露出させる。そして、図28(c)に示すように、圧電センサ117の端部に、前述の図4に示す抵抗体配設部53と判定手段19を取り付けて、例えば図28(d)に示すようにキャップ121,123により密封する。
【0062】
このように、押出成形により被覆部材と圧電センサとを一体に作製して、抵抗体配設部53と判定手段19を取り付けた後、端部を密封するという簡単な作業で、センサ内部への水や異物等の侵入を防止した感圧センサを作製することができる。
【0063】
以上説明した本発明に係る感圧センサは、自動車の窓枠に配設する感圧センサに限らず、例えば、自動車の車体側面のスライドドア、車体天井の電動サンルーフ、車体後部の電動ハッチドア、或いは電動トランク、ガルウィングタイプのドア、トラックの自動開閉式ウイング等に適用することもでき、前述同様の効果が奏される。さらには、自動車に限らず、列車或いは建物の自動ドア等に対しても適用可能である。また、無人搬送車や自動車等の移動体のバンパーセンサ装置としても適用可能である。
なお、上記の各実施形態の構成は、適宜組み合わせて使用することができる、また、センサ収容体への感圧手段の挿入については、センサ収容体が熱可塑性エラストマーに限定されることなく、他の材料であっても同様な作用効果を奏するものである。
【0064】
【発明の効果】
本発明によれば、感圧手段を収容するセンサ収容体が熱可塑性エラストマーからなり、センサ収容体熱処理により容易に端部の密封加工ができるので、端部の密封加工の効率化が図れ、低コストの感圧センサ、物体検出装置、及び開閉装置を提供することができる。
また、感圧手段の表面とセンサ収容体の内面との少なくとも何れか一方に滑剤を付着させて、感圧手段をセンサ収容体の内面に挿入することで、煩雑な工程を必要とせずに感圧センサを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る感圧センサを備えた物体検出装置及び開閉装置の外観図である。
【図2】図1のA−A断面構成図である。
【図3】圧電センサの断面構成図である。
【図4】圧電センサの外観図である。
【図5】物体検出装置及び開閉装置のブロック図である。
【図6】窓枠と窓ガラスの間に物体が侵入して挟み込まれた場合の感圧センサの様子を示す説明図である。
【図7】濾波部からの出力信号、判定手段の判定出力、モータへの印加電圧を示す特性図である。
【図8】感圧センサの端部の密封加工を説明する説明図で、(a)は端部密封前の状態、(b)は垂直方向(c)は水平方向に加熱・加圧して密封した様子を示す側面図である。
【図9】支持手段の外観図であって、(a)は両端部が開口した支持手段、(b)は一端部がセンサ収容孔及び中空部の閉口された支持手段を示す斜視図である。
【図10】抵抗体配設部の第1の構成例を示す断面図である。
【図11】図10に示す抵抗体配設部を支持手段のセンサ収容孔に挿入して熱融着させた様子を示す断面図である。
【図12】抵抗体配設部の第2の構成例を示す断面図である。
【図13】抵抗体配設部の第3の構成例を示す図であって、(a)は抵抗体配設部の断面図で、(b)は(a)に示すB−B断面図である。
【図14】図13に示す抵抗体配設部を支持手段のセンサ収容孔に挿入した様子を示す図であって、(a)は挿入前の状態、(b)は挿入後にピン止めした状態を示す説明図である。
【図15】抵抗体配設部の第4の構成例を示す図であって、(a)は抵抗体配設部の断面図で、(b)は側面図である。
【図16】図15に示す抵抗体配設部を支持手段のセンサ収容孔に挿入した様子を示す図であって、(a)は挿入前の状態、(b)は挿入後の状態を示す説明図である。
【図17】支持手段のセンサ収容孔に熱可塑性エラストマーを装填して熱融着する様子を示す説明図で、(a)は熱融着前、(b)は熱融着後の状態を示す断面図である。
【図18】支持手段のセンサ収容孔から突出させた抵抗体配設部をキャップにより覆い熱融着させる様子を示す説明図で、(a)はキャップ取付前、(b)はキャップ取付後、(c)熱融着後の状態を示す一部断面図である。
【図19】図18に示す支持手段の他端側にキャップを取り付けた様子を示す外観図である。
【図20】支持手段と圧電センサとを一体に押出成形して端部を密封する様子を示す説明図で、(a)は支持手段を切り出した状態、(b)は支持手段の端部をカットした状態、(c)は圧電センサの端部を処理した状態、(d)は圧電センサの端部をキャップで覆った状態を示す外観図である。
【図21】抵抗体配設部側の密封構造を示す断面図である。
【図22】判定手段側の密封構造を示す断面図である。
【図23】支持手段の端部に形成したキャップ取付代にキャップを嵌め込み、熱融着させる様子を示す説明図で、(a)は密封前、(b)は密封後の状態を示す断面図である。
【図24】センサの変形量を増大させるための中空部を有しない支持手段に内装された感圧センサの一例を示す断面図である。
【図25】図24に示す断面構成を有する感圧センサの一形態としての全体構成図である。
【図26】被覆層を有せずに外側電極を露出した圧電センサの断面図である。
【図27】図26に示す圧電センサを被覆手段により覆った様子を示す構成図で、(a)は両端部が開口された被覆手段、(b)は一端部が閉口された被覆手段の断面図である。
【図28】被覆手段と圧電センサとを一体に押出成形して端部を密封する様子を示す説明図で、(a)は表面に被覆手段が形成された圧電センサを所定の長さに切り出した状態、(b)は圧電センサ端部の被覆手段をカットした状態、(c)は圧電センサの端部を処理した状態、(d)は端部をキャップにより密封した状態を示す断面図である。
【符号の説明】
13 窓枠(開口部)
15 窓ガラス(開閉部)
17 感圧センサ
19 判定手段
21 駆動手段
23 制御手段
25 モータ
33,111 圧電センサ
34 センサ収容孔
35,36 支持手段
41 中空部
43 側壁部
45 中心電極
47 外側電極
49 複合圧電体層
51 被覆層
53 抵抗体配設部
55 断線検出用抵抗体
63 判定部
73 制御部
75 開閉スイッチ
77 物体
81 導電性キャップ
81b 係止片(楔形部)
83 凹凸部
83a 凸部
83b 凹部
85,87 絶縁性樹脂
89,91 挿通孔
93 ピン
95 栓体
97,98,101,103,107,121,123 キャップ
113,115,117 被覆手段
100 物体検出装置
150 開閉装置

Claims (17)

  1. 外力による変形を検出する感圧手段と、熱可塑性エラストマーからなり前記感圧手段の外側を覆うセンサ収容体とを備え、前記センサ収容体は少なくとも一方の端部を熱処理により密封している感圧センサ。
  2. 前記感圧手段が、変形により発生する出力信号を導出する複数の電極と、前記電極の断線や短絡を検出するための抵抗体を配設した抵抗体配設部とを備え、前記センサ収容体の一方の端部において前記抵抗体配設部を熱処理により密封固定している請求項1記載の感圧センサ。
  3. 前記抵抗体配設部が、前記センサ収容体の端部密封の際に前記抵抗体配設部の固定強度を高めるための凹部、凸部、楔形部の少なくとも一つを備えている請求項2記載の感圧センサ。
  4. 前記抵抗体配設部が、前記センサ収容体との固定強度を高めるためのピンを挿入する挿入孔を備えている請求項2記載の感圧センサ。
  5. 前記感圧手段の少なくとも一方の端部が、熱可塑性エラストマーからなるキャップにより覆われて、該キャップが熱処理によって前記センサ収容体の端部を密封している請求項1〜請求項4のいずれか1項記載の感圧センサ。
  6. 前記センサ収容体が、センサの取付固定側に固着させる前記感圧手段の支持手段であって、
    該支持手段が、外力が印加された際に前記感圧手段の変形を増大させる中空部を備え、支持手段の少なくとも一方の端部において前記中空部を熱処理により密封している請求項1〜請求項5のいずれか1項記載の感圧センサ。
  7. 前記センサ収容体が、前記感圧手段を被覆する被覆手段であって、
    該被覆手段で覆われた感圧手段を内装し、センサの取付固定側に固着される支持手段を具備し、
    該支持手段が、外力が印加された際に前記感圧手段の変形を増大させる中空部を備え、支持手段の少なくとも一方の端部において前記中空部を熱処理により密封している請求項1〜請求項5のいずれか1項記載の感圧センサ。
  8. 前記支持手段の少なくとも一方の端部全体が、熱可塑性エラストマーからなるキャップにより覆われて、該キャップが熱処理によって前記端部を密封している請求項7記載の感圧センサ。
  9. 前記感圧手段が、塩素化ポリエチレンと圧電セラミックス粉体とを混合した複合圧電材を使用して成形されている請求項1〜請求項8のいずれか1項記載の感圧センサ。
  10. 外力による変形を検出する感圧手段と、前記感圧手段の外側を覆うセンサ収容体とを備え、前記感圧手段と前記センサ収容体との間には滑剤が装填されている感圧センサ。
  11. 前記センサ収容体は、少なくとも一方の端部が熱処理により密封されている請求項10記載の感圧センサ。
  12. 請求項1〜11のいずれか1項記載の感圧センサと、前記感圧センサの出力信号に基づき前記感圧センサへの物体の接触の有無を判定する判定手段とを備えた物体検出装置。
  13. 前記判定手段は、支持手段の一方の端部において熱処理により密封固定された請求項12記載の物体検出装置。
  14. 請求項12又は請求項13記載の物体検出装置と、開閉部を駆動する駆動手段と、前記開閉部が閉動作する際に判定手段が感圧センサへの物体の接触を判定すると前記開閉部の閉動作を停止するか又は前記開閉部を開動作するよう前記駆動手段を制御する制御手段とを備えた開閉装置。
  15. 外力による変形を検出する感圧手段と、前記感圧手段の外側を覆うセンサ収容体とを備えた感圧センサの製造方法であって、
    前記感圧手段の表面と、前記センサ収容体の内面との少なくとも何れか一方に滑剤を付着させ、
    前記感圧手段を前記センサ収容体の内面に挿入する感圧センサの製造方法。
  16. 前記感圧手段の前記センサ収容体への挿入後、前記センサ収容体の少なくとも一方の端部を熱処理により密封する請求項15記載の感圧センサの製造方法。
  17. 前記滑剤として、ステアリン酸亜鉛、炭酸カルシウムのいずれかを用いる請求項15又は請求項16記載の感圧センサの製造方法。
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