JP2004249729A - 圧電体素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 上部電極14、圧電材料及び/又は電歪材料12、下部電極13を含む圧電体素子15であって、圧電材料及び/又は電歪材料12が双晶を持つことで、圧電材料及び/又は電歪材料12の内部応力を緩和し、高い圧電性を有する圧電体素子15を得ることが出来る。
【選択図】 図3
Description
[2]上述の目的は双晶の双晶面が{110}で表される群から選ばれた1つである前記[1]に記載の圧電体素子によって達成される。
[4]上述の目的は圧電材料及び/又は電歪材料が正方晶であることを特徴とする前記[2]に記載の圧電体素子によって達成される。
実施例1の圧電体素子の製作手順は以下の通りである。
実施例2の圧電体素子の製作手順は以下の通りである。
実施例4、比較例3の圧電アクチュエーターの製作手順は以下の通りである。
実施例4および比較例3の圧電アクチュエーターをそれぞれ用いて図3のインクジェット記録ヘッドを製作し、実施例5および比較例4とした。
2 液吐出口
3 圧力室
4 ノズルプレート
10 圧電アクチュエーター
11 振動板
12 圧電材料及び/又は電歪材料
13 下部電極
14 上部電極
15 圧電体素子
Claims (16)
- 上部電極と、圧電材料及び/又は電歪材料と、下部電極とを有する圧電体素子であって、前記圧電材料及び/又は電歪材料が一般式ABO3で構成される複合酸化物であり、前記圧電材料及び/又は電歪材料が双晶を持つことを特徴とする圧電体素子。
- 双晶の双晶面が{110}で表される群から選ばれた1つである請求項1に記載の圧電体素子。
- 双晶の双晶面が{100}で表される群から選ばれた1つである請求項1に記載の圧電体素子。
- 圧電材料及び/又は電歪材料が正方晶であることを特徴とする請求項2に記載の圧電体素子。
- 圧電材料及び/又は電歪材料が斜方晶であることを特徴とする請求項2に記載の圧電体素子。
- 圧電材料及び/又は電歪材料が菱面体晶であることを特徴とする請求項3に記載の圧電体素子。
- 圧電材料及び/又は電歪材料の双晶率が0.001以上至1.0以下である請求項1に記載の圧電体素子。
- 圧電材料及び/又は電歪材料が配向性を有する請求項1に記載の圧電体素子。
- 圧電材料及び/又は電歪材料の配向率が、少なくとも一軸方向で99%以上である請求項8に記載の圧電体素子。
- 圧電材料及び/又は電歪材料が上部電極と接する結晶主面が{100}である請求項8に記載の圧電体素子。
- 圧電材料及び/又は電歪材料が上部電極と接する結晶主面が{111}である請求項8に記載の圧電体素子。
- 圧電材料及び/又は電歪材料が上部電極と接する結晶主面が{110}である請求項8に記載の圧電体素子。
- 下部電極、圧電材料及び/又は電歪材料が基板上に直接形成されている請求項1に記載の圧電体素子。
- 圧電材料及び/又は電歪材料を含む層が形成されており、その厚さが1μm以上至10μm以下である請求項13に記載の圧電体素子。
- 請求項1に記載の圧電体素子を用いた圧電アクチュエーター。
- 請求項1に記載の圧電体素子を用いたインクジェット記録ヘッド。
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