JP2004235562A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラズマ処理装置は、導波管2内を伝播するマイクロ波Mを磁界面Hに設けられた第1および第2のスロットアンテナからマイクロ波導入窓3に導き、表面波Sを形成し、表面波Sによってチャンバー4内のプロセスガスを励起して表面波励起プラズマPを生成し、このプラズマPにより被処理物を処理する。第1のスロットアンテナ5a〜5dは、開口の長手方向がマイクロ波Mの磁力線に沿ってほぼ延在する屈曲または屈折形状を有する。第2のスロットアンテナ6a〜6cは、長矩形の開口形状を有する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、表面波励起プラズマを利用したプラズマ処理装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体製造プロセスでは、成膜、エッチング処理、アッシング処理等にプラズマ技術が多く利用されている。また、太陽電池、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等の製造にもプラズマ技術が利用されている。最近ではパネルの大型化や大画面化に伴って、大面積のプラズマ処理技術が重要になってきている。そのためには、大面積の高密度プラズマを均一に生成することが必要である。プラズマ密度が均一であれば、被処理物全面に均一な処理ができる。
【0003】
大面積の高密度プラズマを生成できるプラズマ処理装置としては、表面波励起プラズマ(SWP:Surface Wave Plasma)を利用する装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。この装置は、導波管内を伝播するマイクロ波をスロットアンテナから誘電体窓を通してプラズマ生成室内に導入し、誘電体窓に生じた表面波によってプラズマ生成室内のプロセスガスを励起するものである。表面波は誘電体窓の表面上を速やかに伝播し、誘電体窓の表面積に応じたプラズマ領域が容易に得られる。
【0004】
【特許文献1】
特開2000−348898号公報(第2頁、図1)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の装置では、誘電体窓全面に表面波エネルギーが均一に伝わるとは言えず、プラズマ密度分布の均一化という点では不十分であった。このことは、スロットアンテナの開口形状、配置等がマイクロ波導波管内部に生ずる電磁界分布に必ずしも適合していないことによる。
【0006】
本発明は、プラズマ領域が大きくプラズマ密度が均一に分布するプラズマ処理装置を提供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
(1)請求項1のプラズマ処理装置は、導波管内を伝播するマイクロ波を磁界面に設けられたスロットアンテナからマイクロ波導入窓に導き、表面波を形成し、表面波によって気密容器内のプロセスガスを励起して表面波励起プラズマを生成し、被処理物を処理するプラズマ処理装置において、スロットアンテナは、開口の長手方向がマイクロ波の磁力線に沿ってほぼ延在する屈曲または屈折形状を有する1以上の第1のスロットアンテナを含むことを特徴とする。
【0008】
上記のプラズマ処理装置において、磁界面に長矩形の開口形状を有する1以上の第2のスロットアンテナを更に設けることが好ましい。
また、第1のスロットアンテナを2つ以上設け、導波管内を伝播するマイクロ波の管内波長をλgとしたとき、各々のスロットアンテナの間隔をλg/2の整数倍とすることが好ましい。
第1のスロットアンテナに加え、第1のスロットアンテナと第2のスロットアンテナのうち少なくとも一方を含むスロットアンテナ群を2つ以上設け、導波管内を伝播するマイクロ波の管内波長をλgとしたとき、各々の対の間隔をλg/2の整数倍とすることが好ましい。
さらに、第2のスロットアンテナの開口の長手方向の向きをマイクロ波の伝播方向と平行な軸に対して可変とすることが好ましい。
【0009】
(2)請求項6のプラズマ処理装置は、導波管内を伝播するマイクロ波をスロットアンテナからマイクロ波導入窓に導き、表面波を形成し、前記表面波によって気密容器内のプロセスガスを励起して表面波励起プラズマを生成し、被処理物を処理するプラズマ処理装置において、マイクロ波の伝播方向に沿って、マイクロ波の電界方向の距離を連続的に変化させるための調節部材を導波管内に設けたことを特徴とする。
上記のプラズマ処理装置は、調節部材の電界方向の距離を変化させる度合いを可変とする調整手段を備えていることが好ましい。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明によるプラズマ処理装置について、図面を参照して説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態によるプラズマ処理装置全体を模式的に示す概略構成図である。(a)は上面図、(b)は(a)の I− I断面図である。図2は、本発明の実施の形態によるプラズマ処理装置において、スロットアンテナの形状、配置とマイクロ波導波管内の電磁界分布を示す模式図である。(a)は上面図、(b)は(a)の I− I断面図である。図3は、本発明の実施の形態によるプラズマ処理装置のマイクロ波エネルギーの伝播状態を示す部分上面図である。
【0011】
図1に示すプラズマ処理装置は、マイクロ波出力部1、マイクロ波導波管2、誘電体板3およびチャンバー4を備える。マイクロ波出力部1は、高圧電源とマイクロ波発振器を有し、例えば周波数2.45GHzのマイクロ波Mを発振する。マイクロ波Mは、電磁波であり、マイクロ波導波管2の内部を伝播し、定在波を形成する。マイクロ波導波管2の底面H(以下、磁界面と呼ぶ)には、マイクロ波Mを誘電体板3へ導くスロットアンテナ5a〜5d(第1のスロットアンテナ)と6a〜6c(第2のスロットアンテナ)が形成されている。後述するように、スロットアンテナ6a〜6cは、円板14a〜14cに形成されている(図2参照)。
【0012】
本実施の形態では、スロットアンテナ5a〜5dは、それぞれマイクロ波導波管2の側面E(以下、電界面と呼ぶ)側を凸とする弧状の長穴である。スロットアンテナ5a〜5dの詳細は、図5により後述する。磁界面H上で2つの電界面の中央の軸である中心軸7に対して、スロットアンテナ5aと5b、スロットアンテナ5cと5dがそれぞれ反対側に配置されている。また、スロットアンテナ6a〜6cは、それぞれ矩形状の長穴であり、中心軸7に沿ってスロットアンテナ6a、6b、6cの順に配置されている。
【0013】
マイクロ波導波管2の内部を伝播するマイクロ波Mは、スロットアンテナ5a〜5d、6a〜6cを通過して誘電体板3に入射し、誘電体板3の表面を表面波として伝播し、チャンバー4内に放射する。誘電体板3は、石英、アルミナ、ジルコニア、パイレックスガラス(登録商標)等の誘電性材料から製造される。
表面波Sは、誘電体板3のチャンバー4側の表面を瞬時に伝播する。この表面波のエネルギーによってプラズマPが生成し、表面波の伝播に伴ってプラズマ領域は拡大する。その結果、誘電体板3の表面積に応じた面積のプラズマを生成することができる。
【0014】
チャンバー4にはガス導入口8と真空排気口9が設けられている。ガス導入口8からO2,SiH4,H2,N2,SF6,Cl2,Ar,He等のプロセスガスが導入される。プロセスガスを導入しながら真空排気口9から排気することによって、チャンバー4内の圧力を通常、0.1〜50Pa程度に保持する。このような減圧雰囲気で、プロセスガスは表面波エネルギーにより励起され、プラズマPが生成する。図示されていないが、プラズマP中に被処理物を置くことによって、成膜、エッチング、アッシング等の処理が行われる。
【0015】
ここで、図2を参照してマイクロ波導波管2内の電磁界分布について説明する。マイクロ波導波管2の寸法は、磁界面Hの幅whが109.2mm、電界面Eの幅weが54.6mm、長さは、TE10の定在波伝送モードを安定させるのに必要な寸法である(図1参照)。図2(a)には、マイクロ波導波管2内の磁界分布が複数本の磁力線h(破線で表示)で示されている。図2(b)には、電界分布が複数本の電流i(実線で表示)で示されている。磁力線と電流は互いに直交している。
【0016】
上述したとおり、マイクロ波導波管2の磁界面Hには、スロットアンテナ5a〜5d、6a〜6cが設けられている。一般に、スロットアンテナは、開口の長手方向が磁力線に沿った状態になっている場合に最も効率良くマイクロ波電力を入射させることができる。図2(a)に示されるように、スロットアンテナ5a〜5dは、開口の長手方向が磁力線hに沿うような形状をなしているので、マイクロ波電力の取り出し効率が高い。
また、スロットアンテナ6a〜6cも開口の長手方向が磁力線hに概ね沿うように配置されている。
【0017】
図3は、表面波エネルギーが強く伝播する領域を概念的に示す平面図である。
マイクロ波電力は、スロットアンテナの開口の長手方向に直交する方向に対して効率的に放射する。放射されたマイクロ波電力は、表面波エネルギーとして誘電体板3の表面を伝播してゆくので、マイクロ波電力の取り出し口であるスロットアンテナの形状や配置を適切に設定することが重要である。
【0018】
図3により、弧状のスロットアンテナ5a〜5dに着目して、表面波エネルギーが伝わる状態を説明する。スロットアンテナ5aによる伝播領域11aとスロットアンテナ5cによる伝播領域11cは、中心軸7から離れるにつれて互いに重なり合っていく。同様に、スロットアンテナ5bによる伝播領域11bとスロットアンテナ5dによる伝播領域11dも、中心軸7から離れるにつれて互いに重なり合っていく。このようにして、表面波は誘電体板3の全面に拡がり、プラズマ領域を拡大していく。
表面波エネルギーは、スロットアンテナ5a〜5dの弧の中心に対して同心円状に拡散していく。表面波が重なり合うことによって、中心軸7から離れた場所でもエネルギー密度はそれほど低下しない。従って、エネルギー分布も均一になる。弧状のスロットアンテナ5a〜5dは、広範囲に表面波エネルギーを伝播させるとともに、直角方向のエネルギー分布の均一化にも寄与する。
【0019】
再び図2を参照し、スロットアンテナの配置について説明する。スロットアンテナ群12は、スロットアンテナ5a、5bとスロットアンテナ6a、6bから成る。また、スロットアンテナ群13は、スロットアンテナ5c、5dとスロットアンテナ6b、6cから成る。スロットアンテナ6bは、スロットアンテナ群12とスロットアンテナ群13とで共有されている。マイクロ波導波管2の中心軸7上に配置されるスロットアンテナ6a〜6cは、マイクロ波伝播方向に表面波エネルギーを伝播する作用が主である。スロットアンテナ6a〜6cは、開口の長手方向がマイクロ波伝播方向に直角となったとき、マイクロ波伝播方向に最も多くマイクロ波電力を取り出せる。
【0020】
図2に示されるように、本実施の形態では、スロットアンテナ群12とスロットアンテナ群13との間隔をλg/2としている。λgは導波管内のマイクロ波の波長である。2つの群の間隔をλg/2とすることによって、マイクロ波導波管2内の定在波が形成されるピッチに適合し、効率良くマイクロ波電力を取り入れることができる。
また、スロットアンテナ群12とスロットアンテナ群13との間隔をλgとすることも、3λg/2とすることも可能である。
【0021】
本実施の形態では、スロットアンテナ6a〜6cの向きを可変にすることによって、誘電体板3のエネルギー分布の均一化をより一層改善することができる。
図2に示すように、スロットアンテナ6a、6b、6cは、それぞれ円板14a、14b、14cに同じように形成されている。スロットアンテナ6cを例として説明する。スロットアンテナ6cは、例えば、アルミニウム合金等の非磁性導体材料の円板を放電加工によって矩形状に切り抜くことで製造される。スロットアンテナ6cを有する円板14cは、磁界面Hを有する底板15に回転できるように嵌め込まれている。回転角αは、マイクロ波導波管2の中心軸7を基準に0°〜180°の範囲で手動または自動で変化させることができる。円板14cの回転角を自動で変える場合は、例えば、円板の外周近傍に細いワイヤを取り付け、モーターでワイヤを巻き取る。このような構成は、マイクロ波導波管2内の定在波伝送モードを乱すことがない。
【0022】
図4は、本実施の形態の変形例であって、マイクロ波導波管内のスロットアンテナの配置を示す部分平面図である。前述したように、スロットアンテナ6a、6b、6cをそれぞれ有する円板14a、14b、14cは底板15に嵌め込まれている。スロットアンテナ5a、5b、5c、5dは、それぞれプレート16a、16b、16c、16dに同じように形成されている。プレート16a、16b、16c、16dは、底板15の両側に単に並べて配置されているので、容易に着脱できる。従って、各種の形状、寸法のスロットアンテナをプレートに設けておくことにより、マイクロ波出力や気密容器内の圧力等を変えた場合でも、誘電体板表面のエネルギー分布を均一にするために、容易に交換できる。また、スロットアンテナが形成されていないブランクのプレートを組み合わせて用いることもできる。なお、プレート16a、16b、16c、16dと底板15との隙間やプレート同士の隙間は、1mm程度以下であれば、マイクロ波導波管2内の定在波伝送モードを乱すことがない。
【0023】
図5は、スロットアンテナの形状、寸法、位置についての具体例を示す図である。スロットアンテナ5aを例として説明する。図5(a)に示されるように、Aはスロットアンテナ5aの長さ、Bはスロットアンテナ5aを円弧としたときの曲率半径、Cはスロットアンテナ5aの幅、Dは曲率中心Rの中心軸7からの距離である。図5(b)に示されるように、マイクロ波導波管2の磁界面Hの幅wを109.2mmとした場合、A〜Dのそれぞれは、図5に示すminからmaxまでの数値範囲にある。
【0024】
本実施の形態では、スロットアンテナ5a〜5d(第1のスロットアンテナ)は、開口形状が円弧状のもので説明したが、本発明はこれのみに限られない。
図6は、第1のスロットアンテナの他の開口形状を例示する模式図である。(a)は円弧より扁平な弧状、(b)は開口の中央付近の1ヵ所が屈折した形状、(c)は開口の中央付近の2ヶ所が屈折し、台に類似の形状である。これらの開口形状を有する第1のスロットアンテナは、開口の長手方向がマイクロ波の磁力線に沿うような形状をなしているので、上述した円弧状のスロットアンテナ5a〜5dと同様の作用効果を有する。
【0025】
また、本実施の形態では、第1のスロットアンテナは4個(スロットアンテナ5a〜5d)で説明したが、1個でもよい。さらに、第1のスロットアンテナの向きは電界面Eに凸であったが、開口の長手方向がマイクロ波の磁力線に沿うような形状をなしていれば、これのみに限られない。
【0026】
本実施の形態によるプラズマ処理装置は、マイクロ波導波管内部に生ずる電磁界分布に適合するように、スロットアンテナの開口形状や配置が設定されているので、プラズマ領域が大きいだけではなくプラズマ密度分布の均一化も達成されている。
また、第2のスロットアンテナの向きを可変にすることによって、第1のスロットアンテナの作用を補完して、誘電体板表面のエネルギー分布をより一層均一にすることができ、プラズマ密度分布の均一化が達成される。
【0027】
(第2の実施の形態)
図7は、本発明の第2の実施の形態によるプラズマ処理装置全体を模式的に示す概略構成図である。本実施の形態によるプラズマ処理装置は、マイクロ波Mの伝播方向に沿って、マイクロ波導波管2の電界方向の距離eが連続的に変化していくように構成されている。電界方向の距離eを変化させると、プラズマの励起状態が変化し、結果としてプラズマ密度の均一化を図ることができる。
【0028】
マイクロ波導波管2内の電界方向の距離eを変化させるために、図7に示すように、マイクロ波導波管2の磁界面Hと対向する面、すなわち上面21に調節部材(フラップ板)を取り付ける。フラップ板22は、アルミニウム合金などの非磁性導体材料から加工され、上面21の2箇所で調整ノブ23,24により取り付けられている。調整ノブ23と24は、互いに独立して回転し、上下方向にフラップ板22移動させる。この結果、電界方向の距離eが変化し、傾斜角度βも変化する。
【0029】
次に、フラップ板22の取り付け位置、長さとスロットアンテナの位置との関係を説明する。マイクロ波導波管2において、マイクロ波Mの入り口側を上流、終端面側を下流と呼ぶことにする。スロットアンテナは、上流から下流に向かって地点a,d,gの3ヵ所に設けられているとする。フラップ板22の先端位置Xは、地点gよりも上流であれば任意に選ぶことができる。また、フラップ板22の終端位置Yは、地点gよりも下流にあればよい。従って、フラップ板22の先端位置Xと終端位置Yによってフラップ板22の長さが規定される。
本実施の形態では、スロットアンテナの形状、寸法、個数を問わず、フラップ板22の先端位置Xは、最も下流側のスロットアンテナよりも上流にあり、フラップ板22の終端位置Yは、最も下流側のスロットアンテナよりも下流にある。
なお、フラップ板22の幅は、マイクロ波導波管2の磁界面Hの幅とほぼ等しくするのが望ましいが、磁界面Hの幅より狭くともよい。
【0030】
フラップ板22の傾斜角度βは、先端22aまたは終端22bが磁界面Hまたは上面21に接するまで任意に変えることができる。それに応じて電界方向の距離eも変わる。結果的に、傾斜の度合いも変えることができる。図8により、この状態を具体的に説明する。
図8は、本発明の第2の実施の形態によるプラズマ処理装置のマイクロ波導波管内部を模式的に示す部分断面図である。(a)は、フラップ板22が磁界面Hと上面21に平行になっており、傾斜角度βは0°である。電界方向の距離eは任意に選ぶことができる。(b)は、フラップ板22が図7とは逆に傾斜している状態を示す。マイクロ波導波管2の上流から下流に向かって電界方向の距離eが増加する場合である。
【0031】
調整ノブ23,24の回転動作は、手動でも自動でもよい。自動で回転させるためには、例えば、調整ノブ23,24の回転軸を各々独立にモーターの回転軸を直結する構成とすればよい。
【0032】
本実施の形態によるプラズマ処理装置は、マイクロ波の伝播方向に沿ってマイクロ波の電界方向の距離を連続的に変化させることができるように、調節部材を導波管の内壁に設けたので、プラズマ領域が大きいだけではなく、各スロットアンテナにおけるエネルギー吸収率を平均化することで、プラズマ密度分布の均一化も達成されている。
【0033】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、プラズマ領域が大きくプラズマ密度が均一に分布するプラズマ処理装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係るプラズマ処理装置全体を模式的に示す概略構成図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態に係るプラズマ処理装置のスロットアンテナの形状、配置と電磁界分布を示す模式図である。
【図3】本発明の第1の実施の形態に係るプラズマ処理装置のマイクロ波エネルギーの伝播状態を示す部分上面図である。
【図4】本発明の変形例によるプラズマ処理装置のスロットアンテナの形状、配置を示す部分上面図である。
【図5】本発明の第1の実施の形態に係るスロットアンテナの形状、寸法、位置についての具体例を示す上面図である。
【図6】本発明の第1の実施の形態に係るスロットアンテナの形状を例示する模式図である。
【図7】本発明の第2の実施の形態に係るプラズマ処理装置を模式的に示す概略構成図である。
【図8】本発明の第2の実施の形態に係るプラズマ処理装置のマイクロ波導波管内部を模式的に示す部分断面図である。
【符号の説明】
1:マイクロ波出力部
2:マイクロ波導波管
3:誘電体板(マイクロ波導入窓)
4:チャンバー(気密容器)
5a〜5d:スロットアンテナ
6a〜6c:スロットアンテナ
22:フラップ板(調節部材)
23,24:調整ノブ(調整手段)
M:マイクロ波
S:表面波
P:プラズマ
H:磁界面(底面)
E:電界面(側面)
Claims (8)
- 導波管内を伝播するマイクロ波を磁界面に設けられたスロットアンテナからマイクロ波導入窓に導き、表面波を形成し、前記表面波によって気密容器内のプロセスガスを励起して表面波励起プラズマを生成し、被処理物を処理するプラズマ処理装置において、
前記スロットアンテナは、開口の長手方向が前記マイクロ波の磁力線に沿ってほぼ延在する屈曲または屈折形状を有する1以上の第1のスロットアンテナを含むことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1のプラズマ処理装置において、
前記磁界面に長矩形の開口形状を有する1以上の第2のスロットアンテナを更に設けたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1のプラズマ処理装置において、
前記第1のスロットアンテナを2つ以上設け、前記導波管内を伝播するマイクロ波の管内波長をλgとしたとき、各々のスロットアンテナの間隔をλg/2の整数倍としたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項3のプラズマ処理装置において、
前記第1のスロットアンテナと請求項2の第2のスロットアンテナのうち少なくとも一方を含むスロットアンテナ群を2つ以上設け、前記導波管内を伝播するマイクロ波の管内波長をλgとしたとき、各々のスロットアンテナ群の間隔をλg/2の整数倍としたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項2または4のプラズマ処理装置において、
前記第2のスロットアンテナの開口の長手方向の向きを前記マイクロ波の伝播方向と平行な軸に対して可変としたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 導波管内を伝播するマイクロ波を磁界面に設けられたスロットアンテナからマイクロ波導入窓に導き、表面波を形成し、前記表面波によって気密容器内のプロセスガスを励起して表面波励起プラズマを生成し、被処理物を処理するプラズマ処理装置において、
前記マイクロ波の伝播方向に沿って、前記マイクロ波の電界方向の距離を連続的に変化させるための調節部材を前記導波管内に設けたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項6のプラズマ処理装置において、
前記調節部材の電界方向の距離を変化させる度合いを可変とする調整手段を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項7のプラズマ処理装置において、
前記調節部材は、前記導波管の磁界面に対向する面に両端が独立に運動するように取り付けられているフラップ板であることを特徴とするプラズマ処理装置。
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