JP2004232680A - フレキシブルチューブ - Google Patents
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Abstract
【課題】湾曲し易くするために、内周面に互いに独立した凹凸部が連続して設けられている従来のフレキシブルチューブでは、この凹凸部において、溶液の流れに乱れや滞留が生じ、金属等の微粒子が堆積し、チューブの詰まりを引き起こす原因になっていた。
【解決手段】螺旋状部33に至った溶液Lは案内導入溝39によって案内され、螺旋状の流れとなるように導かれる。溶液Lは案内導入溝39に案内されて螺旋状に流れるので、溶液Lの流れに乱れや滞留が生じることはなく円滑に流れる。従って、溶液Lに含まれる金属等の微粒子が堆積することはない。よって、チューブ5が詰まるのを防止することができる。
【選択図】 図2
【解決手段】螺旋状部33に至った溶液Lは案内導入溝39によって案内され、螺旋状の流れとなるように導かれる。溶液Lは案内導入溝39に案内されて螺旋状に流れるので、溶液Lの流れに乱れや滞留が生じることはなく円滑に流れる。従って、溶液Lに含まれる金属等の微粒子が堆積することはない。よって、チューブ5が詰まるのを防止することができる。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はフレキシブルチューブに係り、例えば半導体製造ラインや液晶製造ラインにおいて、各種の溶液や純水等を搬送するための配管として使用されるフレキシブルチューブに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造ラインや液晶製造ライン等では強酸性や強アルカリ性の各種の溶液が使用されることから、耐薬品性に優れた材料によって成形されるチューブが配管材料として使用されている。ところが、耐薬品性に優れる材料は柔軟性に劣る傾向があり、直管タイプのチューブを湾曲させてそのまま使用するには無理がある。
そこで、図6に示す蛇腹状部Bを備えたチューブCを使用している。この蛇腹状部Bの内周面には、互いに独立した凹凸部Aが連続して設けられている。従って、チューブCは、蛇腹状部Bにおいて容易に湾曲させることができ、配管の引き回しを楽に行うことができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
図7に示すようにチューブC内を流れる溶液Lは、その多くはチューブCの形状に沿って長手方向へ平行に流れる。しかしながら、凹凸部Aが設けられている部位では、溶液Lの流れに乱れや滞留が生じ、溶液Lに含まれる金属等の微粒子aが析出し凹凸部Aに付着して堆積し、チューブC内の溶液Lの円滑な流れを妨げて、チューブCの詰まりを引き起こす原因になっていた。
【0004】
本発明は上記従来の問題点に着目してなされたものであり、チューブ内周面における溶液等の流れの乱れ、滞留を生じることなく金属等の微粒子が析出し堆積するのを防止でき、しかも局所的な曲げや急激な力の変化に対応できる柔軟性に優れたフレキシブルチューブを提供することを目的とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために請求項1の発明は、可撓性を有し、管内流路を螺旋状に形成した螺旋状部が設けられたフレキシブルチューブにおいて、前記螺旋状部は直管部の間に設けられていることを特徴とするフレキシブルチューブである。
【0006】
請求項2の発明は、螺旋状部の外径は直管部の外径以下で、且つ螺旋状部の肉厚が直管部の肉厚とほぼ同じに形成されていることを特徴とするフレキシブルチューブである。
【0007】
請求項3の発明は、請求項1または2において、螺旋状部及び直管部は複数箇所に設けられており、且つ前記螺旋状部と前記直管部の少なくとも一方は長さ寸法の異なるものが混在していることを特徴とするフレキシブルチューブである。
【0008】
請求項4の発明は、請求項1から3のいずれかに記載のフレキシブルチューブにおいて、フッ素系樹脂によって構成されていることを特徴とするフレキシブルチューブである。
【0009】
請求項5の発明は、請求項1から4のいずれかに記載のフレキシブルチューブにおいて、半導体製造ライン、液晶製造ラインあるいは化学薬品や食品等の製造ラインに適用される各種の溶液あるいは純水等を搬送する配管経路に使用されることを特徴とするフレキシブルチューブである。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
本明細書で溶液Lと言った場合には、半導体製造ラインや液晶製造ラインあるいは化学薬品や食品の製造ライン等で使用される各種の溶液の他、半導体製造ラインにおけるシリコンウェハの洗浄や液晶製造ラインにおけるガラス基板の洗浄等に使用される純水等も包含する。
【0011】
フレキシブルチューブ5は、ある程度の可撓性を有し、図2、3に示すように円形断面を有する軟質のパイプ状部材であり、中央に螺旋状部33を挟んでその左右に直管部35を有している。螺旋状部33はフレキシブルチューブ5を湾曲させる部位である。
螺旋状部33は外観形状を半円形断面のネジ山37を有する丸ネジ様に構成し、その内部の管内流路が連続した螺旋状となっている。そして、ネジ山37の内面に形成される凹陥部が管内の溶液Lの流れを螺旋状に導く案内導入溝39となっている。従って、螺旋状部33においてチューブ内周面における溶液等の流れの乱れ、滞留を防止でき、詰まりの原因となる微粒子が堆積するのを防止することができる。
【0012】
また、フレキシブルチューブ5では、管内流路を螺旋状に形成した螺旋状部33を設けたので、局所的な曲げや急激な力の変化に対応できる柔軟性を備えている。即ち、螺旋状部33ではネジ山37が連続しているので、螺旋状部33が湾曲した際の応力が多数のネジ山37に分散してかかることになり、このため湾曲に対する高い対応性能を備えている。
【0013】
図3に示すように、螺旋状部33の外径M1は、直管部35の外径M2よりも小さく設定されている。
また、螺旋状部33の肉厚は直管部35の肉厚とほぼ同一に設定されており、全長を通してその肉厚はほぼ均一になっている。従って、螺旋状部33と直管部35は、ほぼ同じ耐圧性能を有することになる。
さらに、全長を通してその肉厚はほぼ均一になっているので、強酸性または強アルカリ性の液体によって、フレキシブルチューブ5が徐々に浸食されるのを前提に使用する場合等においても、螺旋状部33と直管部35の両方がほぼ同じ耐久性をもつことになる。
【0014】
またフレキシブルチューブ5はPFAやPTFE等のフッ素系樹脂材料によって構成されている。これらのフッ素系樹脂材料は、強酸性や強アルカリ性の薬品等に耐えられる耐薬品性を有し、しかも管内を流れる溶液Lからの内圧、ポンプの脈動等に耐えられるだけの耐圧性を有しており、さらに溶液Lの急激な温度変化に耐えられる。
【0015】
上記フレキシブルチューブ5を半導体製造ラインや液晶製造ライン等の薬液等の供給ラインに適用した場合について説明する。
図1に示すように、フレキシブルチューブ5は、直管部35の間に螺旋状部33が2カ所形成されており、これら螺旋状部33で曲げられて配管されている。そして直管部35に固定具3が取り付けられており、この固定具3によってL型アングル2にフレキシブルチューブ5が固定されている。また、フレキシブルチューブ5の一端の直管部35は継手41に接続され、この継手41を介してフレキシブルチューブ5はチューブ7に連結されている。
【0016】
フレキシブルチューブ5は湾曲させやすい螺旋状部33と剛性が大きく湾曲しにくい直管部35を有しており、この直管部35の間に螺旋状部33が配置されているので、配管しやすい。即ち、直管部35を固定具3によって固定すれば、直管部35は高い剛性を有するので、しっかりと固定でき、螺旋状部33は湾曲しやすいので、比較的小さな力で自由に所望の方向及び角度に湾曲させることができる。従って、配管作業を楽に行うことができ、配管敷設作業工数を削減できて、工期を短縮できると共に作業コストを抑えることが可能となる。
【0017】
このようにフレキシブルチューブ5は螺旋状部33で容易に湾曲させることができるので、エルボ継手を使用する必要がなくなる。従って、継手の使用を最小限にできて、資材コストを抑えることもできる。さらに、継手との連結部分からの液漏れの心配が減少し、しかも増締め等の定期メンテナンスの負担も軽減できる。また、エルボ継手を使用しないので、配管用のスペースが極端に狭い場合においても対応することが可能となる。
また、継手41は直管のチューブ専用のものであるが、本発明のフレキシブルチューブ5では、継手41に挿入される部分が直管部35になっているので、継手41にピッタリはまり込み、液漏れ等のおそれがない。
【0018】
上記実施の形態では、フレキシブルチューブ5を半導体製造ライン、液晶製造ラインあるいは化学薬品や食品等の製造ラインに適用した例を示したが、本発明はこれに限定されずトラバーサ装置の駆動部等に薬液、純水等を供給する配管等に適用してもよい。
【0019】
以上、本発明の実施の形態について詳述してきたが、具体的な構成はこの実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における設計の変更などがあっても本発明に含まれる。
例えば、図4(a)に示すようにフレキシブルチューブ5を直管部35が短く、螺旋状部33が比較的長いものにすることも可能であるし、図4(b)に示すように螺旋状部33を複数個設けることも可能である。また図4(c)に示すように螺旋状部33と直管部35に加えて、当初から管路が湾曲した曲管部43を備えた構成のフレキシブルチューブ5を採用することも可能である。
【0020】
さらに、螺旋状部33、直管部35の数は、上記実施の形態に限られるものではなく、螺旋状部33は1箇所以上、直管部35は2箇所以上に設けられていればよく、また、螺旋状部33、直管部35の長さ寸法もそれぞれ異なっていてもよい。即ち、螺旋状部33、直管部35共に複数箇所に形成して、螺旋状部33どうしの長さ寸法、直管部35どうしの長さ寸法は、同一である必要はなく、配管スペース等によって長さ寸法を適宜変更し、螺旋状部33、直管部35の少なくとも一方について長さ寸法の異なるものが混在する構成としてもよい。
また、上記実施の形態では、螺旋状部33の外径M1は、直管部35の外径M2よりも小さく設定したが、螺旋状部33の外径M1が、直管部35の外径M2以下であればよい。
【0021】
また、螺旋状部33のネジ山37の形状は図5(a)に示すような三角形状、図5(b)に示すような台形状、図5(c)に示すような四角形状等、種々の形状が採用可能である。またネジ山の高さやピッチは管径や使用個所の条件に合わせて適宜変更可能である。
上記実施の形態では、フレキシブルチューブ5の一端の直管部35が継手41を介してチューブ7と連結する場合を示したが、フレキシブルチューブ5の両端に直管部35を設け、これら両端の直管部35が継手41を介してチューブ7と連結するようにしてもよい。
【0022】
【発明の効果】
本発明のフレキシブルチューブでは、管内流路を螺旋状に形成した螺旋状部を設けたので、局所的な曲げや急激な力の変化に対応できる柔軟性を備え、しかも螺旋状部においてチューブ内周面における溶液等の流れの乱れ、滞留を防止でき、詰まりの原因となる微粒子が堆積するのを防止することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係るフレキシブルチューブを半導体製造ラインや液晶製造ライン等の薬液等の供給ラインに適用した場合の斜視図である。
【図2】図1のフレキシブルチューブを拡大して示す斜視図である。
【図3】図1のフレキシブルチューブを拡大して示す側断面図である。
【図4】フレキシブルチューブの構成を異ならせた他の実施の形態を示す側面図である。
【図5】フレキシブルチューブのネジ山の形状を異ならせた他の実施の形態を示す側面図である。
【図6】配管経路の湾曲部に蛇腹状部を適用した従来のチューブの構造を示す側面図である。
【図7】図6のチューブの一部を拡大し、その問題点を示す側断面図である。
【符号の説明】
L 溶液 2 L型アングル
3 固定具 5 フレキシブルチューブ
33 螺旋状部 35 直管部
37 ネジ山 39 案内導入溝
41 継手 43 曲管部
【発明の属する技術分野】
本発明はフレキシブルチューブに係り、例えば半導体製造ラインや液晶製造ラインにおいて、各種の溶液や純水等を搬送するための配管として使用されるフレキシブルチューブに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造ラインや液晶製造ライン等では強酸性や強アルカリ性の各種の溶液が使用されることから、耐薬品性に優れた材料によって成形されるチューブが配管材料として使用されている。ところが、耐薬品性に優れる材料は柔軟性に劣る傾向があり、直管タイプのチューブを湾曲させてそのまま使用するには無理がある。
そこで、図6に示す蛇腹状部Bを備えたチューブCを使用している。この蛇腹状部Bの内周面には、互いに独立した凹凸部Aが連続して設けられている。従って、チューブCは、蛇腹状部Bにおいて容易に湾曲させることができ、配管の引き回しを楽に行うことができる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
図7に示すようにチューブC内を流れる溶液Lは、その多くはチューブCの形状に沿って長手方向へ平行に流れる。しかしながら、凹凸部Aが設けられている部位では、溶液Lの流れに乱れや滞留が生じ、溶液Lに含まれる金属等の微粒子aが析出し凹凸部Aに付着して堆積し、チューブC内の溶液Lの円滑な流れを妨げて、チューブCの詰まりを引き起こす原因になっていた。
【0004】
本発明は上記従来の問題点に着目してなされたものであり、チューブ内周面における溶液等の流れの乱れ、滞留を生じることなく金属等の微粒子が析出し堆積するのを防止でき、しかも局所的な曲げや急激な力の変化に対応できる柔軟性に優れたフレキシブルチューブを提供することを目的とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために請求項1の発明は、可撓性を有し、管内流路を螺旋状に形成した螺旋状部が設けられたフレキシブルチューブにおいて、前記螺旋状部は直管部の間に設けられていることを特徴とするフレキシブルチューブである。
【0006】
請求項2の発明は、螺旋状部の外径は直管部の外径以下で、且つ螺旋状部の肉厚が直管部の肉厚とほぼ同じに形成されていることを特徴とするフレキシブルチューブである。
【0007】
請求項3の発明は、請求項1または2において、螺旋状部及び直管部は複数箇所に設けられており、且つ前記螺旋状部と前記直管部の少なくとも一方は長さ寸法の異なるものが混在していることを特徴とするフレキシブルチューブである。
【0008】
請求項4の発明は、請求項1から3のいずれかに記載のフレキシブルチューブにおいて、フッ素系樹脂によって構成されていることを特徴とするフレキシブルチューブである。
【0009】
請求項5の発明は、請求項1から4のいずれかに記載のフレキシブルチューブにおいて、半導体製造ライン、液晶製造ラインあるいは化学薬品や食品等の製造ラインに適用される各種の溶液あるいは純水等を搬送する配管経路に使用されることを特徴とするフレキシブルチューブである。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
本明細書で溶液Lと言った場合には、半導体製造ラインや液晶製造ラインあるいは化学薬品や食品の製造ライン等で使用される各種の溶液の他、半導体製造ラインにおけるシリコンウェハの洗浄や液晶製造ラインにおけるガラス基板の洗浄等に使用される純水等も包含する。
【0011】
フレキシブルチューブ5は、ある程度の可撓性を有し、図2、3に示すように円形断面を有する軟質のパイプ状部材であり、中央に螺旋状部33を挟んでその左右に直管部35を有している。螺旋状部33はフレキシブルチューブ5を湾曲させる部位である。
螺旋状部33は外観形状を半円形断面のネジ山37を有する丸ネジ様に構成し、その内部の管内流路が連続した螺旋状となっている。そして、ネジ山37の内面に形成される凹陥部が管内の溶液Lの流れを螺旋状に導く案内導入溝39となっている。従って、螺旋状部33においてチューブ内周面における溶液等の流れの乱れ、滞留を防止でき、詰まりの原因となる微粒子が堆積するのを防止することができる。
【0012】
また、フレキシブルチューブ5では、管内流路を螺旋状に形成した螺旋状部33を設けたので、局所的な曲げや急激な力の変化に対応できる柔軟性を備えている。即ち、螺旋状部33ではネジ山37が連続しているので、螺旋状部33が湾曲した際の応力が多数のネジ山37に分散してかかることになり、このため湾曲に対する高い対応性能を備えている。
【0013】
図3に示すように、螺旋状部33の外径M1は、直管部35の外径M2よりも小さく設定されている。
また、螺旋状部33の肉厚は直管部35の肉厚とほぼ同一に設定されており、全長を通してその肉厚はほぼ均一になっている。従って、螺旋状部33と直管部35は、ほぼ同じ耐圧性能を有することになる。
さらに、全長を通してその肉厚はほぼ均一になっているので、強酸性または強アルカリ性の液体によって、フレキシブルチューブ5が徐々に浸食されるのを前提に使用する場合等においても、螺旋状部33と直管部35の両方がほぼ同じ耐久性をもつことになる。
【0014】
またフレキシブルチューブ5はPFAやPTFE等のフッ素系樹脂材料によって構成されている。これらのフッ素系樹脂材料は、強酸性や強アルカリ性の薬品等に耐えられる耐薬品性を有し、しかも管内を流れる溶液Lからの内圧、ポンプの脈動等に耐えられるだけの耐圧性を有しており、さらに溶液Lの急激な温度変化に耐えられる。
【0015】
上記フレキシブルチューブ5を半導体製造ラインや液晶製造ライン等の薬液等の供給ラインに適用した場合について説明する。
図1に示すように、フレキシブルチューブ5は、直管部35の間に螺旋状部33が2カ所形成されており、これら螺旋状部33で曲げられて配管されている。そして直管部35に固定具3が取り付けられており、この固定具3によってL型アングル2にフレキシブルチューブ5が固定されている。また、フレキシブルチューブ5の一端の直管部35は継手41に接続され、この継手41を介してフレキシブルチューブ5はチューブ7に連結されている。
【0016】
フレキシブルチューブ5は湾曲させやすい螺旋状部33と剛性が大きく湾曲しにくい直管部35を有しており、この直管部35の間に螺旋状部33が配置されているので、配管しやすい。即ち、直管部35を固定具3によって固定すれば、直管部35は高い剛性を有するので、しっかりと固定でき、螺旋状部33は湾曲しやすいので、比較的小さな力で自由に所望の方向及び角度に湾曲させることができる。従って、配管作業を楽に行うことができ、配管敷設作業工数を削減できて、工期を短縮できると共に作業コストを抑えることが可能となる。
【0017】
このようにフレキシブルチューブ5は螺旋状部33で容易に湾曲させることができるので、エルボ継手を使用する必要がなくなる。従って、継手の使用を最小限にできて、資材コストを抑えることもできる。さらに、継手との連結部分からの液漏れの心配が減少し、しかも増締め等の定期メンテナンスの負担も軽減できる。また、エルボ継手を使用しないので、配管用のスペースが極端に狭い場合においても対応することが可能となる。
また、継手41は直管のチューブ専用のものであるが、本発明のフレキシブルチューブ5では、継手41に挿入される部分が直管部35になっているので、継手41にピッタリはまり込み、液漏れ等のおそれがない。
【0018】
上記実施の形態では、フレキシブルチューブ5を半導体製造ライン、液晶製造ラインあるいは化学薬品や食品等の製造ラインに適用した例を示したが、本発明はこれに限定されずトラバーサ装置の駆動部等に薬液、純水等を供給する配管等に適用してもよい。
【0019】
以上、本発明の実施の形態について詳述してきたが、具体的な構成はこの実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における設計の変更などがあっても本発明に含まれる。
例えば、図4(a)に示すようにフレキシブルチューブ5を直管部35が短く、螺旋状部33が比較的長いものにすることも可能であるし、図4(b)に示すように螺旋状部33を複数個設けることも可能である。また図4(c)に示すように螺旋状部33と直管部35に加えて、当初から管路が湾曲した曲管部43を備えた構成のフレキシブルチューブ5を採用することも可能である。
【0020】
さらに、螺旋状部33、直管部35の数は、上記実施の形態に限られるものではなく、螺旋状部33は1箇所以上、直管部35は2箇所以上に設けられていればよく、また、螺旋状部33、直管部35の長さ寸法もそれぞれ異なっていてもよい。即ち、螺旋状部33、直管部35共に複数箇所に形成して、螺旋状部33どうしの長さ寸法、直管部35どうしの長さ寸法は、同一である必要はなく、配管スペース等によって長さ寸法を適宜変更し、螺旋状部33、直管部35の少なくとも一方について長さ寸法の異なるものが混在する構成としてもよい。
また、上記実施の形態では、螺旋状部33の外径M1は、直管部35の外径M2よりも小さく設定したが、螺旋状部33の外径M1が、直管部35の外径M2以下であればよい。
【0021】
また、螺旋状部33のネジ山37の形状は図5(a)に示すような三角形状、図5(b)に示すような台形状、図5(c)に示すような四角形状等、種々の形状が採用可能である。またネジ山の高さやピッチは管径や使用個所の条件に合わせて適宜変更可能である。
上記実施の形態では、フレキシブルチューブ5の一端の直管部35が継手41を介してチューブ7と連結する場合を示したが、フレキシブルチューブ5の両端に直管部35を設け、これら両端の直管部35が継手41を介してチューブ7と連結するようにしてもよい。
【0022】
【発明の効果】
本発明のフレキシブルチューブでは、管内流路を螺旋状に形成した螺旋状部を設けたので、局所的な曲げや急激な力の変化に対応できる柔軟性を備え、しかも螺旋状部においてチューブ内周面における溶液等の流れの乱れ、滞留を防止でき、詰まりの原因となる微粒子が堆積するのを防止することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係るフレキシブルチューブを半導体製造ラインや液晶製造ライン等の薬液等の供給ラインに適用した場合の斜視図である。
【図2】図1のフレキシブルチューブを拡大して示す斜視図である。
【図3】図1のフレキシブルチューブを拡大して示す側断面図である。
【図4】フレキシブルチューブの構成を異ならせた他の実施の形態を示す側面図である。
【図5】フレキシブルチューブのネジ山の形状を異ならせた他の実施の形態を示す側面図である。
【図6】配管経路の湾曲部に蛇腹状部を適用した従来のチューブの構造を示す側面図である。
【図7】図6のチューブの一部を拡大し、その問題点を示す側断面図である。
【符号の説明】
L 溶液 2 L型アングル
3 固定具 5 フレキシブルチューブ
33 螺旋状部 35 直管部
37 ネジ山 39 案内導入溝
41 継手 43 曲管部
Claims (5)
- 可撓性を有し、管内流路を螺旋状に形成した螺旋状部が設けられたフレキシブルチューブにおいて、前記螺旋状部は直管部の間に設けられていることを特徴とするフレキシブルチューブ。
- 請求項1に記載のフレキシブルチューブにおいて、螺旋状部の外径は直管部の外径以下で、且つ螺旋状部の肉厚が直管部の肉厚とほぼ同じに形成されていることを特徴とするフレキシブルチューブ。
- 請求項1または2において、螺旋状部及び直管部は複数箇所に設けられており、且つ前記螺旋状部と前記直管部の少なくとも一方は長さ寸法の異なるものが混在していることを特徴とするフレキシブルチューブ。
- 請求項1から3のいずれかに記載のフレキシブルチューブにおいて、フッ素系樹脂によって構成されていることを特徴とするフレキシブルチューブ。
- 請求項1から4のいずれかに記載のフレキシブルチューブにおいて、半導体製造ライン、液晶製造ラインあるいは化学薬品や食品等の製造ラインに適用される各種の溶液あるいは純水等を搬送する配管経路に使用されることを特徴とするフレキシブルチューブ。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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