JP2004216541A - ラッピング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ラッピング装置1は、ラッピング定盤2に沿って移動する研磨材認識センサ手段6gから送信されるラッピング定盤上の研磨材の認識情報に基づき、研磨材供給手段5aによりラッピング定盤上の研磨材過少位置に研磨材を供給するか、あるいは前記研磨除去手段によりラッピング定盤上の研磨材過剰位置の研磨材を除去するものである。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明はラッピング装置に係わり、特にラッピング定盤上の研磨材の状態あるいは研磨状態を良好にするラッピング装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般にラッピング装置では、決められた位置から適量の研磨材をスラリや霧状にして連続または間欠的にラッピング定盤に塗布し、研磨プレート用のアルミナ質成形体のようなワークとラッピング定盤との間に研磨材を介在させて研磨している。このようなラッピング定盤を用いた研磨加工では、ワークとラッピング定盤の間に介在する研磨材の量が、平面形状や平面精度に大きな影響を与える。さらに、ラッピング定盤が大形になると、研磨材を均一に塗布することが困難になるが、従来、大形な定盤に均一に研磨材を塗布するラッピング装置は開発されておらず、従来のラッピング装置に研磨材の散布口を増設するか、供給する研磨材量を増加させることで対処していた。
【0003】
しかしながら、ダイヤモンド砥粒などの高価な研磨材を用いる場合、研磨材の量を増やすことは、コストアップになり好ましくない。
【0004】
なお、散布口を増設あるいは研磨材量の増加で対処しており、先行技術文献は特にない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、大形な定盤でも高精度の平面加工ができ、また、均一に研磨材を塗布しながら研磨ができ、高精度の平面加工ができ、安価にラッピング加工が可能なラッピング装置が要望されていた。
【0006】
本発明は上述した事情を考慮してなされたもので、大形な定盤でも高精度の平面加工ができ、また、均一に研磨材を塗布しながら研磨ができて高精度の平面加工ができ、安価にラッピング加工が可能なラッピング装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の1つの態様によれば、回転されワークが載置されるラッピング定盤と、このラッピング定盤の上方に配置され水平方向に移動される移動体と、この移動体を水平移動させる移動体移動機構と、前記ラッピング定盤に研磨材を供給する研磨材供給装置の前記移動体に取り付けられた研磨材供給手段と、前記ラッピング定盤上の研磨材を認識する研磨材認識装置の前記移動体に取り付けられた研磨材認識センサ手段と、ラッピング定盤上の研磨材を除去する研磨材除去機構の前記移動体に取り付けられた研磨除去手段とを有し、前記ラッピング定盤に沿って移動する前記研磨材認識センサ手段から送信される前記ラッピング定盤上の研磨材の認識情報に基づき、前記研磨材供給手段により前記ラッピング定盤上の研磨材過少位置に研磨材を供給するか、あるいは前記研磨材除去手段により前記ラッピング定盤上の研磨材過剰位置の研磨材を除去することを特徴とするラッピング装置が提供される。これにより、大形な定盤でも均一に研磨材を塗布しながら研磨ができ、安価にラッピング加工が可能なラッピング装置が実現される。
【0008】
好適な一例では、上記研磨材認識センサ手段、研磨材供給手段、研磨材除去手段が取り付けられた移動体は、ラッピング定盤の直径に沿って、その半径の範囲で移動される。これにより、大きなラッピング定盤上の研磨材の塗布状況は適確に認識され、これに基づいて、研磨材の異常塗布位置に対して研磨材が供給され、あるいは除去されて、均一な塗布が実現される。
【0009】
また、本発明の他の態様によれば、ラッピング定盤用モータにより回転されワークが載置されるラッピング定盤と、ワークを回転させるワーク回転機構と、前記ラッピング定盤に研磨材を供給する研磨材供給装置と、前記ラッピング定盤の回転負荷を検知する負荷検知手段とを有し、この負荷検知手段の負荷情報に基づき、前記研磨材供給装置、ラッピング用モータ、ワーク回転機構の全部または一部を制御して、加工条件を変更することを特徴とするラッピング装置が提供される。これにより、直径が大きなラッピング定盤を有するラッピング装置においても、高精度の平面加工が実現される。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係わるラッピング装置の第1実施形態について添付図面を参照して説明する。
【0011】
図1は本発明に係わるラッピング装置の第1実施形態の概念図である。
【0012】
図1に示すように、本第1実施形態のラッピング装置1は、回転され、例えばアルミナ製の研磨プレートのようなワークWが載置されるラッピング定盤2と、このラッピング定盤2の上方に配置され水平方向に移動される移動体3と、この移動体3を水平移動させる移動体移動機構4と、ラッピング定盤2に研磨材Aを供給する研磨材供給装置5の移動体3に取り付けられた研磨材供給手段5aと、ラッピング定盤2上の研磨材Aを認識する研磨材認識装置6の移動体3に取り付けられた研磨材認識センサ手段6gと、ラッピング定盤2上の余分な研磨材を除去する研磨材除去機構7の移動体3に取り付けられた研磨材除去手段7aとを有している。さらに、ラッピング装置1はラッピング定盤2上のワークWを回転させるワーク回転機構8を有している。
【0013】
上記ラッピング定盤2は、例えば銅板製であり、図2に示す制御系9に示すような定盤回転モータ2aにより回転される。
【0014】
移動体3には、研磨材供給手段5a、研磨材認識センサ手段6g及び研磨材除去手段7aが一体的に取り付けられており、移動体移動機構4の作動により、移動体3が、ラッピング定盤の上方を水平方向、例えば直径に沿って、好ましくは半径の範囲で移動され、研磨材供給手段5a、研磨材認識センサ手段6g及び研磨材除去手段7aも同様にラッピング定盤2に沿って半径の範囲で移動される。これにより、大きなラッピング定盤2上の研磨材の塗布状況は適確に認識され、これに基づいて、研磨材の異常塗布位置に対して研磨材が供給され、あるいは除去されて、均一な塗布が実現される。
【0015】
図3に示すように、移動体移動機構4には、図1に示す門形状の装置支持枠1aの内側に設けられ同じく門形状の移動機構支持枠4aと、この移動機構支持枠4aの支持部材4a1上に取り付けられたボールネジ4bが設けられており、さらに、このボールネジ4bを回転させるように連結されたステッピングモータからなる移動機構モータ4cと、移動体3の位置を読取る位置読み取り手段4dとしてのロータリエンコーダが設けられており、支持部材4a1に支持されボールネジ4bに螺合された移動体3を所定の水平位置に移動させるようになっている。位置読み取り手段にロータリエンコーダを用いることにより、移動体移動機構により、移動体の位置は正確に制御される。
【0016】
図4に示すように、研磨材供給装置5は、研磨材Aをスラリとして供給する研磨スラリ供給装置であり、図3に示す移動体3に取り付けられた研磨材供給手段5aとしてのスラリ供給ノズルと、ラッピング装置1の下部に設けられ研磨材供給手段5aにスラリ供給ポンプ5bを介して連通されるスラリタンク5cと、スラリ抜き取りタンク5dを介してスラリタンク5cに連設された分離装置5eと、この分離装置5eに連設され上記スラリタンク5cとに連通するスラリ調合タンク5fとで構成されている。なお、分離装置5eには廃液タンク5gが接続され、スラリ調合タンク5fには新研磨材供給ホッパ5h及び新液体供給容器5iが接続されている。
【0017】
図5に示すように、研磨材認識装置6は、図2に示す制御系9の制御装置10に接続される発光素子ドライバー6aに制御され、レーザ光を発振する発光素子6bと、この発光素子6bの光軸上に設けられた投光レンズ6cと、上記光軸のラッピング定盤2の研磨材Aに対する反射光軸上に設けられた結像レンズ6dと、反射光軸上のレーザ光を受光する受光センサ6eと、この受光センサ6eからの研磨材認識信号を処理する信号処理装置6fとを有しており、制御装置10に接続されている。発光素子6b、投光レンズ6c、結像レンズ6d及び受光センサ6eは、一体的にケーシングに収納されて研磨材認識センサ手段6gが形成されている。なお、研磨材認識装置6は、その全体が移動体3に取り付けられていてもよく、また、そのセンサ部である研磨材認識センサ手段のみが取り付けられていてもよい。また、研磨材認識センサ手段は、レーザ光を用いるものに限らず、2次元CCDカメラなどを用いたものであってもよい。
【0018】
図6に示すように、研磨材除去機構7は、研磨材除去用の研磨材除去手段7aとしてのスクレーパと、研磨材除去手段7aが取り付けられ昇降される昇降部材7bと、この昇降部材7bが螺合されるボールネジ7cと、このボールネジ7cを回転させ、研磨材除去手段7aを昇降させるステッピングモータである除去手段昇降モータ7dで構成されている。本実施形態においては、研磨材除去機構7全体が移動体3に取り付けられているが、昇降部材を昇降させる駆動源として、スクレーパ昇降モータに替えて、エアシリンダあるいは油圧シリンダが用いられる場合には、研磨材除去手段のみが移動体に取り付けられてもよい。
【0019】
また、図1に示すように、上記ワーク回転機構8は、一対の回転支持部材8a、8aと、この回転支持部材8a、8aを回転させるワーク回転モータ8b、8bとからなっており、回転支持部材8a、8aは、ラッピング定盤2の上方にラッピング定盤2とわずかに離間して、配置されており、ワークWを所定の位置に保持するとともに、ワークWを回転させるようになっている。なお、ワーク回転機構8をラッピング定盤2の半径方向(図1中矢印方向)に揺動する揺動機構(図示せず)をさらに設けることによって、ラッピング定盤2の全面を満遍なく活用して、平坦度の高いワーク加工を繰返し行うことができる。このような実質的にワークを揺動させるワーク揺動機構を付加するのがより好ましい。
【0020】
さらに、図2に示すように、制御系9の制御装置10は、CPU10a、メモリ10bを有し、ラッピング装置1全体を制御するものであり、この制御装置10には、ワークWが載置されるラッピング定盤2を回転させる定盤回転モータ2a及びワークWを回転支持させるワーク回転モータ8b、移動体3を移動させる移動機構モータ4c及び移動体3に取り付けられた除去手段昇降モータ7d、研磨材Aを含む研磨スラリを供給するスラリ供給ポンプ5b、移動機構モータ4cとボールネジ4bの回転より移動体3の位置を読取る位置読み取り手段4d、ラッピング定盤2上の研磨材Aの状態を認識する研磨材認識装置6、操作パネル11に設けられた表示手段11a及び入力手段11bがそれぞれ接続されている。なお、ラッピング工程中、制御装置10による上記各モータ2a、4c、7d、8b、スラリ供給ポンプ5b、位置読み取り手段4d及び研磨材認識装置6の制御は、事前に制御装置10にプログラムされた制御手順に従って行われ、また、必要に応じ入力手段11bからの入力により行われる。
【0021】
次に本第1実施形態のラッピング装置を用いたワークの研磨方法について説明する。
【0022】
図1に示すように、ワークW例えばアルミナ製の研磨プレートを研磨するには、ワークWをラッピング定盤2に載置し、ワーク回転機構8により、ワークWを支持して一定の場所に位置させ、制御装置10により、ワーク回転モータ8bを回転させてワークWを自転させる。しかる後、制御装置10により、定盤回転モータ2aを回転させてラッピング定盤2を回転させ、さらに、スラリ供給ポンプ5bを作動させて、半径の範囲で移動され、移動体3に取り付けた研磨材供給手段5aから噴出される研磨スラリにより研磨材Aが全面に渡って均一に塗布される。この均一に塗布された研磨材Aにより、ラッピング定盤2に載置された研磨材Aの載置面は均一に研磨される。
【0023】
ラッピング工程が開始されると、移動体3に取り付けられた研磨材供給手段5aから研磨スラリとして研磨材Aがラッピング定盤2上に塗布され、塗布された研磨材Aの塗布状態(研磨材量)は研磨材認識装置6により常時把握(計測)される。また、移動体3に取り付けられた研磨材供給手段5aを、周期的に半径の範囲で移動させることにより、研磨材Aは周期的にラッピング定盤2に塗布される。
【0024】
このようなラッピング工程において、研磨材Aの塗布状態(研磨材量)の把握(計測)は、次のようにして行われ、研磨材Aが均一に塗布された状態が保たれ、常時ラッピング定盤2の研磨材Aの塗布量は監視されながらラッピング加工が行われる。
【0025】
例えば、制御装置10により、移動体3を周期的に半径の範囲で移動させることにより、研磨材認識センサ6gが半径の範囲で周期的に移動され、ラッピング定盤2上の研磨材Aの塗布状態は認識される。例えば、図7(a)に示すように、ラッピング定盤2上の研磨材Aが均一に塗布された状態では、発光素子6bから発光されたレーザ光は、研磨材Aで反射されて、受光センサ6eで受光され、信号処理装置6fで信号処理されて、制御装置10に送信され、処理され、さらに、予めメモリ10bに記憶された均一塗布状態データと比較させ、均一塗布状態が認識される。
【0026】
さらに、研磨材認識センサ手段6gが半径の範囲で周期的に移動されて、図7(b)に示すように、ラッピング定盤2上の研磨材Aが過少塗布状態の位置に達すると、発光素子6bから発光されたレーザ光は、ラッピング定盤2で反射されて、受光センサ6eで受光され、信号処理装置6fで信号処理されて、制御装置10に送信され、処理され、さらに、予めメモリ10bに記憶された過少塗布状態データと比較されて、過少塗布状態が認識される。過少塗布状態が認識されると、位置読み取り手段4dにより、移動体3の位置を介してラッピング定盤2上の過少塗布位置は検知され、メモリ10bに記憶される。過少塗布状態が入力された制御装置10は、移動機構モータ4cを停止させて、移動体3をその位置に止める。移動体3を止めた状態で、研磨材供給装置5のスラリ供給ポンプ5bを作動させ、研磨材供給手段5aから研磨スラリをラッピング定盤2上の過少塗布部位が均一になるまで研磨材Aを噴出させて均一に塗布させる。
【0027】
また、図7(c)に示すように、研磨材認識センサ6gが半径の範囲で周期的に移動されて、ラッピング定盤2上の研磨材Aが過剰に塗布された状態の位置に達すると、発光素子6bから発光されたレーザ光は、ラッピング定盤2の過剰研磨材Aaで反射されて、受光センサ6eで受光され、信号処理装置6fで信号処理されて、制御装置10に送信され、処理され、さらに、予めメモリ10bに記憶された塗布過剰状態データと比較されて、塗布過剰状態が認識される。塗布過剰状態が認識されると、位置読み取り手段4dにより、移動体3の位置を介してラッピング定盤2上の塗布過剰位置は検知され、メモリ10bに記憶される。塗布過剰状態が入力された制御装置10は、移動機構モータ4cを停止させて、移動体3をその位置に止めさせる。移動体3を止めた状態で、除去手段昇降モータ7dを回転させて、ボールネジ7c、昇降部材7bを介して研磨材除去手段7aを降下させ、研磨材Aが規定塗布値(量)に達するまで研磨材除去手段7aがラッピング定盤2に押し付けられ、余分な研磨材Aは除去される。
【0028】
上記のように、本第1実施形態のラッピング装置は、ラッピング定盤上に研磨材が均一に塗布されているか否かを、認識する研磨材認識センサ及び研磨材が過少な位置に研磨材供給手段を移動させて、研磨材が供給され、研磨材が過剰な位置に研磨材除去手段を移動させ、研磨材が削除される。従って、直径が大きなラッピング定盤を有するラッピング装置においても、研磨材は均一に塗布され、高精度の平面加工が実現される。また、余分な研磨材が供給されることがないので研磨材の使用量は削減される。さらに、意図的にワークの中心や外周部を多めに研磨することもできる。
【0029】
また、本発明に係わるラッピング装置の第2実施形態について説明する。
【0030】
上記第1実施形態がラッピング定盤上の研磨材の状態を研磨材認識センサにより検知するのに対して、本第2実施形態はラッピング定盤の回転負荷を検知する負荷検知手段を設けて研磨状態を検知するものである。
【0031】
例えば、図8及び図9に示すように、本第2実施形態のラッピング装置1Aは、ラッピング定盤用モータ2Aaにより回転されワークWが載置されるラッピング定盤2Aと、ワークWを回転させるワーク回転機構8Aと、ラッピング定盤2Aに研磨材Aを供給し能力可変ポンプ5Abを具備する研磨材供給装置5Aと、ラッピング定盤2Aの回転負荷を検知する負荷検知手段21Aとを有している。さらに、ワーク回転機構8Aをラッピング定盤2Aの半径方向(図8中矢印方向)に揺動する揺動機構(図示せず)が設けられており、ラッピング定盤2Aの全面を満遍なく活用して、平坦度の高いワーク加工を繰返し行うことができるようになっている。また、ラッピング装置1Aは回路系9Aを有し、負荷検知手段21Aはラッピング定盤用モータ2Aaの定盤モータ電流検知センサ2Aa1が制御装置10Aに接続されてなっており、さらに、ワーク回転機構8Aのワーク回転モータ8Abにはワークモータ電流検知センサ8Ab1が制御装置10Aに接続されてワークの回転負荷を常時検知可能になっており、また、ワーク回転モータ8Acにはワーク揺動モータ電流検知センサ8Ac1が制御装置10Aに接続されてワークの揺動を常時検知可能になっている。なお、負荷検知手段はモータ電流検知センサに限らず回転トルク検知センサ等であってもよく、また、ワーク回転モータのモータ電流検知センサも回転トルク検知センサ等であってもよい。他の構成は図1及び図2に示すラッピング装置及び回路系と異ならないので、同一符号を付して説明は省略する。
【0032】
従って、本第2実施形態のラッピング装置1Aを用いたラップ加工が始まると研磨材供給装置5AからスラリAがラッピング定盤2A上に塗布され、ラップ加工が行われる。この加工中はラップ定盤2Aやワーク回転の負荷は、常時定盤モータ電流検知センサ2Aa1、ワークモータ電流検知センサ8Ab1によって検知され、予め設定された設定値以上に負荷が上昇すると、能力可変ポンプ5Aaを制御して研磨材供給装置5Aから供給されるスラリAを増加させるか、ラッピング定盤用モータ2Aaの回転を制御してラッピング定盤2Aの回転を制御するか、あるいはワーク回転モータ8Abの回転を制御してワークWの回転を遅くする等の制御を行う。このような制御を行なっても、さらに回転負荷が上昇する場合は安全に運転が停止される。なお、研磨材供給装置5AからスラリAのラッピング定盤2A上への塗布は、研磨材供給手段5aと高さが予め設定された研磨材除去手段7aを周期的にラッピング定盤2Aの半径方向に移動させ、常時スラリAを均一に供給するが、研磨材供給手段を適宜複数固定的に配置しスラリAを均一に供給するようにしてもよい。
【0033】
本第2実施形態によれば、研磨加工中は常時ラッピング定盤の回転負荷を監視しながら最適な加工状態で研磨加工を行うことができ、ワークとラッピング定盤の摩擦の増大に起因する傷や加工痕を低減でき、ワークとラッピング定盤の密着に起因するモータの過負荷による故障、ワークとラッピング定盤との密着によって生じる移動制約に起因する不均一研磨を防止でき、直径が大きなラッピング定盤を有するラッピング装置においても、高精度の平面加工が実現される。
【0034】
【発明の効果】
本発明に係わるラッピング装置によれば、大形な定盤でも高精度の平面加工ができ、また、均一に研磨材を塗布しながら研磨ができて高精度の平面加工ができ、安価にラッピング加工が可能なラッピング装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態のラッピング装置の概念図。
【図2】本発明の第1実施形態のラッピング装置に用いられる回路系の概念図。
【図3】本発明の第1実施形態のラッピング装置に用いられる移動体移動手段の概念図。
【図4】本発明の第1実施形態のラッピング装置に用いられる研磨材供給手段の概念図。
【図5】本発明の第1実施形態のラッピング装置に用いられる研磨材認識手段の概念図。
【図6】本発明の第1実施形態のラッピング装置に用いられる研磨材除去手段の概念図。
【図7】本発明の第1実施形態のラッピング装置に用いられる研磨材認識手段の認識状態を示す説明図。
【図8】本発明の第2実施形態のラッピング装置の概念図。
【図9】本発明の第2実施形態のラッピング装置に用いられる回路系の概念図。
【符号の説明】
1 ラッピング装置
1a 装置支持枠
2 ラッピング定盤
2a 定盤回転モータ
3 移動体
4 移動体移動機構
4a 移動機構支持枠
4a1 支持部材
4b ボールネジ
4c 移動機構モータ
4d 位置読み取り手段
5 研磨材供給装置
5a 研磨材供給手段
5b スラリ供給ポンプ
5c スラリタンク
5d ラリ抜き取りタンク
5e 遠心分離装置
5f スラリ調合タンク
5g 廃液タンク
5h 新研磨材供給ホッパ
5i 新液体供給容器
6 研磨材認識装置
6a 発光素子ドライバー
6b 発光素子
6c 投光レンズ
6d 結像レンズ
6e 受光センサ
6f 信号処理装置
6g 研磨材認識センサ
7 研磨材除去機構
7a 研磨材除去手段
7b 昇降部材
7c ボールネジ
7d 除去手段昇降モータ
8 ワーク回転機構
8a 回転支持部材
8b ワーク回転モータ
9 制御系
10 制御装置
11 操作パネル
11a 表示手段
11b 入力手段
A 研磨材
W ワーク
Claims (3)
- 回転されワークが載置されるラッピング定盤と、このラッピング定盤の上方に配置され水平方向に移動される移動体と、この移動体を水平移動させる移動体移動機構と、前記ラッピング定盤に研磨材を供給する研磨材供給装置の前記移動体に取り付けられた研磨材供給手段と、前記ラッピング定盤上の研磨材を認識する研磨材認識装置の前記移動体に取り付けられた研磨材認識センサ手段と、ラッピング定盤上の研磨材を除去する研磨材除去機構の前記移動体に取り付けられた研磨材除去手段とを有し、前記ラッピング定盤に沿って移動する前記研磨材認識センサ手段から送信される前記ラッピング定盤上の研磨材の認識情報に基づき、前記研磨材供給手段により前記ラッピング定盤上の研磨材過少位置に研磨材を供給するか、あるいは前記研磨除去手段により前記ラッピング定盤上の研磨材過剰位置の研磨材を除去することを特徴とするラッピング装置。
- 上記移動体は、ラッピング定盤の直径に沿って、その半径の範囲で移動されることを特徴とする請求項1に記載のラッピング装置。
- ラッピング定盤用モータにより回転されワークが載置されるラッピング定盤と、ワークを回転させるワーク回転機構と、前記ラッピング定盤に研磨材を供給する研磨材供給装置と、前記ラッピング定盤の回転負荷を検知する負荷検知手段とを有し、この負荷検知手段の負荷情報に基づき、前記研磨材供給装置、ラッピング用モータ、ワーク回転機構の全部または一部を制御して、加工条件を変更することを特徴とするラッピング装置。
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