JP2004207426A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004207426A JP2004207426A JP2002373669A JP2002373669A JP2004207426A JP 2004207426 A JP2004207426 A JP 2004207426A JP 2002373669 A JP2002373669 A JP 2002373669A JP 2002373669 A JP2002373669 A JP 2002373669A JP 2004207426 A JP2004207426 A JP 2004207426A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- oxide film
- silicon oxide
- semiconductor device
- capacitor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 129
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims abstract description 113
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 47
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 33
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 103
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 abstract description 103
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 abstract description 69
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 69
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 40
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 description 33
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 27
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 12
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 12
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 10
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 7
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N tantalum pentoxide Inorganic materials O=[Ta](=O)O[Ta](=O)=O PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 3
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 3
- 244000025254 Cannabis sativa Species 0.000 description 2
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 titanium nitrides Chemical class 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010306 acid treatment Methods 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L28/00—Passive two-terminal components without a potential-jump or surface barrier for integrated circuits; Details thereof; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L28/40—Capacitors
- H01L28/60—Electrodes
- H01L28/82—Electrodes with an enlarged surface, e.g. formed by texturisation
- H01L28/90—Electrodes with an enlarged surface, e.g. formed by texturisation having vertical extensions
- H01L28/91—Electrodes with an enlarged surface, e.g. formed by texturisation having vertical extensions made by depositing layers, e.g. by depositing alternating conductive and insulating layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B12/00—Dynamic random access memory [DRAM] devices
- H10B12/01—Manufacture or treatment
- H10B12/02—Manufacture or treatment for one transistor one-capacitor [1T-1C] memory cells
- H10B12/03—Making the capacitor or connections thereto
- H10B12/033—Making the capacitor or connections thereto the capacitor extending over the transistor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B12/00—Dynamic random access memory [DRAM] devices
- H10B12/01—Manufacture or treatment
- H10B12/09—Manufacture or treatment with simultaneous manufacture of the peripheral circuit region and memory cells
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B12/00—Dynamic random access memory [DRAM] devices
- H10B12/30—DRAM devices comprising one-transistor - one-capacitor [1T-1C] memory cells
- H10B12/31—DRAM devices comprising one-transistor - one-capacitor [1T-1C] memory cells having a storage electrode stacked over the transistor
- H10B12/312—DRAM devices comprising one-transistor - one-capacitor [1T-1C] memory cells having a storage electrode stacked over the transistor with a bit line higher than the capacitor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B12/00—Dynamic random access memory [DRAM] devices
- H10B12/50—Peripheral circuit region structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/311—Etching the insulating layers by chemical or physical means
- H01L21/31105—Etching inorganic layers
- H01L21/31111—Etching inorganic layers by chemical means
- H01L21/31116—Etching inorganic layers by chemical means by dry-etching
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
【解決手段】半導体基板100のメモリセル部には、半導体基板100の主表面に対して垂直な方向に延びる円筒キャパシタ開口部17bが形成されている。円筒キャパシタ開口部17bは、シリコン酸化膜15、シリコン窒化膜14、およびシリコン酸化膜12を貫通している。その円筒キャパシタ開口部17b内において、キャパシタ下部電極21、誘電体膜500およびキャパシタ上部電極22が、円筒キャパシタ開口部17bの表面に沿うように形成されている。また、円筒キャパシタ開口部17bの底面は、シリコン窒化膜11を用いて構成されている。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、キャパシタを備えた半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の半導体装置には、トランジスタの上側において、半導体基板の主表面に対して垂直に延びるホールの表面に沿うようにキャパシタが形成されているものがある。このキャパシタにおいては、トランジスタの上方に積層された多層の絶縁膜を貫通するように、前述のホールが設けられているものがある。
【0003】
【特許文献1】
特開2001−196553号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
従来のキャパシタの構造では、メモリセル部のキャパシタが形成されるホール上部の位置を半導体基板の主表面から離すことができない場合がある。その場合には、キャパシタ容量を大きくすることができない。そのため、半導体装置のリフレッシュ特性およびソフトエラー耐性を向上させることができない。
【0005】
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、メモリセル部のキャパシタが形成されるホールの上部の位置を半導体基板の主表面から離すことができない場合においても、リフレッシュ特性およびソフトエラー耐性を向上させることが可能な半導体装置を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の一の局面の半導体装置は、半導体基板上に設けられたトランジスタと、トランジスタを覆うように形成された第1エッチングストッパ膜と、第1エッチングストッパ膜上に形成された第1絶縁膜とを備えている。
【0007】
また、本発明の一の局面の半導体装置は、第1絶縁膜の上にトランジスタを覆うように形成された第2エッチングストッパ膜と、第2エッチングストッパ膜上に形成された第2絶縁膜とを備えている。
【0008】
また、本発明の一の局面の半導体装置は、第2絶縁膜の上方において、トランジスタに電気的に接続されたキャパシタとを備えている。
【0009】
また、キャパシタは、半導体基板の主表面に対して垂直な方向に延びるホール内において、下部電極、誘電体膜および上部電極が、ホールの表面に沿うように順次形成されている。
【0010】
また、ホールは、第2絶縁膜、第2エッチングストッパ膜、および第1絶縁膜を貫通している。また、ホールの底面は、第1ストッパ膜の主表面よりも下に位置している。
【0011】
上記の構成によれば、キャパシタが形成されるホールの底面が第2エッチングストッパ膜の主表面よりも上に位置する場合に比較して、半導体基板とメモリセル部配線部との間で半導体基板の主表面に対して垂直な方向に延びるホールの高さを極力高くすることができる。
【0012】
その結果、キャパシタが形成されるホールの上部を半導体基板から離すことができない場合にも、そのホールの表面に沿って形成されるキャパシタ下部電極の表面積を極力大きくすることができる。したがって、前述の半導体装置によれば、キャパシタ容量を極力大きくすることができる。
【0013】
本発明の他の局面の半導体装置は、半導体基板と、半導体基板の上方に半導体基板の主表面とほぼ平行に延びるように形成された第1絶縁膜とを備えている。
【0014】
また、本発明の他の局面の半導体装置は、第1絶縁膜を半導体基板の主表面に対して垂直な方向に貫通する第1ホールと、第1の絶縁膜の上に形成された第2絶縁膜とを備えている。
【0015】
また、本発明の他の局面の半導体装置は、第1ホールの開口よりも内側に位置し、第1絶縁膜を半導体基板の主表面に対して垂直な方向に貫通する第2ホールを備えている。
【0016】
さらに、上述の構成において、キャパシタ下部電極が、第1ホールの内側面に沿ってその内側面の全面にわたって形成されている。
【0017】
上記の構成によれば、第1ホールの上部を半導体基板の主表面からさらに離すことなく、第1ホール内においてキャパシタ下部電極の表面積を極力大きくすることができる。そのため、メモリセル部のキャパシタが形成されるホールの上部を半導体基板の主表面から離すことができない場合において、キャパシタ容量を極力大きくすることができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、図を用いて本発明の実施の形態の半導体装置を説明する。
【0019】
(実施の形態1)
まず、図1を参照して、実施の形態1の半導体装置の構造を説明する。
【0020】
本実施の形態の半導体装置は、半導体基板100上にメモリセル部と非メモリセル部とが設けられている。また、メモリセル部の半導体基板100内には、ボトムNウエル200が設けられている。また、ボトムNウエル200の上表面から半導体基板100の主表面までの領域に、Pウエル300が設けられている。
【0021】
また、非メモリセル部の半導体基板100内には、Pウエル400が設けられている。また、半導体基板100の主表面から所定の深さにかけて、素子分離絶縁膜1が設けられている。
【0022】
また、Pウエル300が形成されている領域内には、メモリセル部のトランジスタが設けられている。Pウエル400が形成されている領域内には、非メモリセル部のトランジスタが設けられている。これらのトランジスタは、ゲート酸化膜2、ゲート電極3およびソース/ドレイン領域5,7により構成されている。
【0023】
メモリセル部のゲート電極3の上には、エッチングマスクとしてのシリコン酸化膜4が設けられている。非メモリセル部のゲート電極3およびソース/ドレイン領域5,7の上には、低抵抗コバルトシリサイド膜10が形成されている。また、ゲート電極3およびシリコン酸化膜4の側壁には、サイドウォール絶縁膜としてのシリコン窒化膜6が形成されている。
【0024】
メモリセル部のゲート電極3全てを覆うように、シリコン酸化膜8が形成されている。また、シリコン酸化膜8の上側を覆うように、かつ非メモリセル部のゲート電極3を覆うように、エッチングストッパ膜としてのシリコン窒化膜11が形成されている。シリコン窒化膜11の上に絶縁膜としてのシリコン酸化膜12が形成されている。また、メモリセル部のシリコン酸化膜12の上には、エッチングストッパ膜としてのシリコン窒化膜14が形成されている。また、シリコン窒化膜14およびシリコン酸化膜12を覆うように、シリコン酸化膜15が形成されている。
【0025】
半導体基板100のメモリセル部には、半導体基板100の主表面に対して垂直な方向に延びる円筒キャパシタ開口部17bが形成されている。円筒キャパシタ開口部17bは、シリコン酸化膜15、シリコン窒化膜14、およびシリコン酸化膜12を貫通している。その円筒キャパシタ開口部17b内において、キャパシタ下部電極21、キャパシタ誘電体膜500およびキャパシタ上部電極22が、円筒キャパシタ開口部17bの表面に沿うように形成されている。また、円筒キャパシタ開口部17bの底面は、シリコン窒化膜11の主表面よりも下に位置している。
【0026】
また、シリコン酸化膜15の上には、シリコン酸化膜23が形成されている。メモリセル部のソース/ドレイン領域5には、シリコン酸化膜12、シリコン窒化膜11およびシリコン酸化膜8を貫通するコンタクトホールが開口されている。そのコンタクトホールには、多結晶シリコンプラグ13が埋め込まれている。また、多結晶シリコンプラグ13の上側には、シリコン酸化膜23、シリコン酸化膜15およびシリコン窒化膜14を貫通するホールが形成されている。そのコンタクトホール24には、バリアメタル25およびコンタクトプラグ26が埋め込まれている。
【0027】
また、非メモリセル部のソース/ドレイン領域5,7には、シリコン酸化膜23、シリコン酸化膜15、シリコン窒化膜14、シリコン酸化膜12、およびシリコン窒化膜11を貫通するコンタクトホール24が開口されている。そのコンタクトホール24には、バリアメタル25およびコンタクトプラグ26が形成されている。
【0028】
また、コンタクトプラグ26からなるプラグそれぞれの上面には、別個独立して、上下から窒化チタン27,29に挟まれたアルミ配線層28それぞれが電気的に接続されている。
【0029】
上記の構成によれば、非メモリセル部のコンタクトホール24は、アスペクト比が所定の値以下でなければ、そのコンタクトホール24の形成そのものおよびそのコンタクトホール24内の埋め込みが良好に行われない。そのため、コンタクトホール24の高さは所定の値以下に制限される。したがって、メモリセル部では、半導体基板100と窒化チタン27,29に挟まれたアルミ配線層28との間の距離も制限される。
【0030】
しかしながら、上記の構成によれば、円筒キャパシタ開口部17bは、シリコン酸化膜15、シリコン窒化膜14、およびシリコン酸化膜12を貫通するとともに、その円筒キャパシタ開口部17bの底面は、シリコン窒化膜11の主表面よりも下に位置している。そのため、その円筒キャパシタ開口部17bの底面がシリコン窒化膜14の主表面よりも上に位置している場合に比較して、半導体基板100とメモリセル部の窒化チタン27,29に挟まれたアルミ配線層28との間で半導体基板100の主表面に対して垂直な方向に延びる円筒キャパシタ開口部17bの高さを極力高くすることができる。その結果、その円筒キャパシタ開口部17bの表面に沿って形成されるキャパシタ下部電極21の表面積を極力大きくすることができる。したがって、キャパシタ容量を極力大きくすることができる。
【0031】
次に、図2〜図13を参照して、実施の形態1の半導体装置の製造方法を説明する。
【0032】
本実施の形態の半導体装置に製造工程においては、一般的なEDRAM(Embedded Dynamic Random Access Memory)の製造工程が行われて図2に示す構造が得られる。その図2の構造が得られるまでの工程においては、まず、半導体基板100の主表面から所定の深さにかけて、素子形成領域を分離するための素子分離絶縁膜1を形成する。その後、半導体基板100のメモリセル部にボトムNウエル200を形成する。次に、ボトムNウエル200の上にPウエル300を形成する。
【0033】
また、非メモリセル部の半導体基板100内にPウエル400を形成する。次に、トランジスタのチャネル領域となる領域に不純物注入を行なう。その後、半導体基板100の表面上にゲート酸化膜2を構成する酸化膜を形成する。
【0034】
次に、その酸化膜の上にゲート電極3を構成する多結晶シリコン膜を形成する。多結晶シリコン膜の上にゲート電極3を形成するときにエッチングマスクとして用いられるTEOS(Tetra Ethyl Ortho Silicate)からなるシリコン酸化膜4を形成する。
【0035】
前述の酸化膜および多結晶シリコン膜を、シリコン酸化膜4をエッチングマスクとしてエッチングする。それにより、ゲート酸化膜2およびゲート電極3が形成される。その後、半導体基板100の主表面から所定の深さにかけて不純物注入を行うことにより、ソース/ドレイン領域5を形成する。それにより、図2に示す構造が得られる。
【0036】
次に、半導体基板100、ゲート電極3、シリコン酸化膜4およびソース/ドレイン領域5を覆うようにシリコン窒化膜を形成する。このシリコン窒化膜を異方性エッチングすることにより、ゲート電極3およびシリコン酸化膜4の側壁部にサイドウォールスペーサとしてのシリコン窒化膜6を形成する。さらに、非メモリセル部のソース/ドレイン領域5に不純物注入を行なう。それにより、図3に示す構造が得られる。
【0037】
次に、耐コバルトシリサイド化反応膜としてのアンドープトシリケートガラス膜(以下、「USG(Un-doped Silicate Grass)」という。)からなるシリコン酸化膜8をソース/ドレイン領域5、シリコン窒化膜6およびシリコン酸化膜4を覆うように形成する。
【0038】
次に、シリコン酸化膜8の上に所定のレジストパターン9形成する。このレジストパターン9をマスクとしてエッチングを行なう。それにより、少なくとも非メモリセル部において、シリコン酸化膜8およびゲート電極3上のシリコン酸化膜4の除去を行なう。それにより、図4に示す構造が得られる。
【0039】
次に、コバルトスパッタ法により非メモリセル部の半導体基板1上の全体を覆うようにコバルトを形成する。その後、ランプアニールなどの熱処理を行なう。それにより、非メモリセル部のソース/ドレイン領域5上およびゲート電極3上に低抵抗コバルトシリサイド膜10が形成される。その結果、図5に示す構造が得られる。
【0040】
その後、後にコンタクトホールを開口する工程で、非メモリセル部を保護するためのエッチングストッパ膜として機能するシリコン窒化膜11を、半導体基板100上の全体を覆うように形成する。シリコン窒化膜11の上にBPTEOS(Bro-Phospho Tetra Ethyl Ortho Silicate)またはUSGからなるシリコン酸化膜12を積層する。その後、熱処理またはCMP(Chemical Mechanical Polishing)法によって前述のシリコン酸化膜12の表面を平坦化する。それにより、図6に示す構造が得られる。
【0041】
次に、メモリセル部のゲート電極3同士の間に半導体基板100の表面に達するコンタクトホールを形成する。そのコンタクトホールに多結晶シリコンを充填することにより、多結晶シリコンプラグ13を形成する。それにより、図7に示す構造が得られる。
【0042】
次に、メモリセル部のシリコン酸化膜12の表面および多結晶シリコンプラグ13の表面を覆うように、シリコン窒化膜14を形成する。このシリコン窒化膜14は、後のコンタクトホールを形成する工程においてエッチングストッパ膜として機能する。前述の工程の後、図8に示す構造が得られる。
【0043】
次に、シリコン酸化膜12およびシリコン窒化膜14を覆うように、BPTEOS、USGまたはPSG(Phospho-doped Silicate Grass)からなるシリコン酸化膜15を積層する。その後、シリコン酸化膜15の表面を平坦化する。次に、シリコン酸化膜15の上にフォトレジストパターン16を形成する。
【0044】
このフォトレジストパターン16をマスクとしてドライエッチングを行なう。それにより、シリコン酸化膜15およびシリコン窒化膜14およびシリコン酸化膜12を貫通するとともに、シリコン窒化膜11の主表面から所定の深さまでを除去するように、円筒キャパシタ開口部17bを形成する。それにより、図9に示す構造が得られる。
【0045】
ドライエッチング技術においてレジストに対するシリコン酸化膜またはシリコン窒化膜の選択比が向上することにより、図9に示す本構造を形成することが可能となる。
【0046】
前述の円筒キャパシタ開口部17bの表面上にキャパシタ下部電極21となるリンがドープされた多結晶シリコン膜と何ら不純物がドープされていないアモルファスシリコン膜とを形成する。その後、アモルファスシリコン膜の表面処理を行なって表面積を増大させる。
【0047】
次に、前述の円筒キャパシタ開口部17b内の多結晶シリコン膜およびアモルファスシリコン膜をフォトレジストで覆う。このフォトレジスト膜をマスクとして多結晶シリコン膜およびアモルファスシリコン膜を異方性エッチングする。それにより、円筒キャパシタ開口部17bの表面にのみ多結晶シリコン膜およびアモルファスシリコン膜が残存する。この多結晶シリコン膜およびアモルファスシリコン膜がキャパシタ下部電極21を構成する。このキャパシタ下部電極21が形成された構造が図10に示されている。
【0048】
次に、キャパシタ下部電極21およびシリコン酸化膜15の表面上に、キャパシタ誘電体膜500として機能する五酸化タンタルを形成する。次に、五酸化タンタルの上に、キャパシタ上部電極22として機能する窒化チタンを含む膜を形成する。その後、フォトレジストを用いてパターニングすることにより、図11に示す構造が得られる。その結果、キャパシタが完成する。
【0049】
キャパシタ上部電極22の上にプラズマTEOSまたはUSGからなるシリコン酸化膜23する。その後、シリコン酸化膜23の表面をCMP研磨法により平坦化する。次に、メモリセル部の多結晶シリコンプラグ13およびゲート電極(図示せず)およびキャパシタ上部電極22(図示せず)ならびに非メモリセル部のソース/ドレイン領域5,7上の低抵抗コバルトシリサイド膜10およびゲート電極(図示せず)に達するコンタクトホール24を形成するする。それにより、図12に示す構造が得られる。
【0050】
このときのコンタクトホール24を形成するためのエッチングは2回に分けて行われる。1回目のエッチングでは、メモリセル部のシリコン窒化膜14および非メモリセル部のシリコン窒化膜11それぞれの内部にコンタクトホール24の底面が位置する段階でエッチングを終了する。2回目のエッチングでは、コンタクトホール24がシリコン窒化膜14およびシリコン窒化膜11それぞれを貫通し、多結晶シリコンプラグ13の表面およびソース/ドレイン領域5,7上の低抵抗コバルトシリサイド膜10の表面が露出する。
【0051】
その後、コンタクトホール24内にバリアメタル25としての窒化チタンおよびコンタクトプラグ26としてのタングステンを順次充填する。それにより、図13に示す構造が得られる。その後、タングステンの上表面に接するように窒化チタン27,29により上下から挟まれたアルミ配線層28を形成する。それにより、図1に示す構造が得られる。
【0052】
上記の本実施の形態の半導体装置の製造方法によれば、非メモリセル部のコンタクトプラグ25の高さBを高くすることなく、キャパシタ下部電極21の高さをA+分だけ高くすることが可能である。その結果、キャパシタ容量が増加する。したがって、半導体装置のリフレッシュ特性およびソフトエラー耐性が向上する。
【0053】
また、上記のような本実施の形態の半導体装置によれば、抜き円筒キャパシタ開口部17bの形成プロセスにおいて、次のような効果がある。従来においては、図9に示すフォトレジストパターン16をマスクとしてシリコン酸化膜15に開口を形成した後に、フォトレジストパターン16を除去し、その後、シリコン酸化膜15をマスクとしてシリコン窒化膜14を除去していたため工程が煩雑であった。しかしながら、本実施の形態の半導体装置の製造方法によれば、図9に示すように、フォトレジストをマスクとしてシリコン窒化膜11、シリコン酸化膜12、シリコン窒化膜14、シリコン酸化膜15および多結晶シリコンプラグ13を一気に除去するため、工程数の大幅な削減が可能となる。
【0054】
(実施の形態2)
まず、図14を用いて実施の形態2の半導体装置の構造を説明する。
【0055】
本実施の形態の半導体装置の構造は、図1に示す実施の形態1の構造とほぼ同様の構造である。しかしながら、本実施の形態の半導体装置の構造は、図14に示すように、キャパシタ下部電極21に接続された多結晶シリコンプラグ13が、シリコン窒化膜11を貫通して、シリコン窒化膜11の表面よりも上側に突出していることが、図1を用いて示す実施の形態1の半導体装置の構造と異なっている。
【0056】
上記本実施の形態の半導体装置の構造によれば、実施の形態1の半導体装置の構造に比較して、キャパシタ下部電極21に接続された多結晶シリコンプラグ13がシリコン窒化膜11の表面から上側に突出している分だけ、キャパシタ下部電極21の表面積を大きくすることができる。その結果、本実施の形態の半導体装置の構造によれば、実施の形態1の半導体装置の構造よりも、キャパシタ容量をより大きくすることができる。
【0057】
次に、図15〜図19を用いて実施の形態2の半導体装置の製造方法を説明する。なお、本実施の形態の半導体装置の製造方法においては、図8に至る構造を製造するまでの過程は、実施の形態1の半導体装置と同様の過程を経る。
【0058】
次に、シリコン酸化膜12およびシリコン窒化膜14を覆うように、BPTEOS、USGまたはPSGからなるシリコン酸化膜15を積層する。その後、シリコン酸化膜15の表面を平坦化する。次に、シリコン酸化膜15の上にフォトレジストパターン16を形成する。
【0059】
このフォトレジストパターン16をマスクとしてドライエッチングを行なう。それにより、シリコン酸化膜15およびシリコン窒化膜14およびシリコン酸化膜12を貫通するとともに、シリコン窒化膜11の主表面から所定の深さまでを除去するように、円筒キャパシタ開口部17cを形成する。それにより、図15に示す構造が得られる。
【0060】
本実施の形態の製造方法は、図15に示すように、円筒キャパシタ開口部17cが形成されたときに、多結晶シリコンプラグ13が円筒キャパシタ開口部17cの底面から上側に突出していることが、実施の形態1の半導体装置の製造方法とは異なっている。そのため、本実施の形態の半導体装置のキャパシタ容量が実施の形態1の半導体装置のキャパシタ容量よりもさらに増加している。なお、前述の工程では、シリコン酸化膜およびシリコン窒化膜のみをエッチングし、多結晶シリコンプラグ13をエッチングしないようなエッチャントを使用するのである。
【0061】
次に、前述の円筒キャパシタ開口部17cの表面上にキャパシタ下部電極となるリンがドープされた多結晶シリコン膜と何ら不純物がドープされていないアモルファスシリコン膜とを形成する。その後、アモルファスシリコン膜の表面処理を行なって表面積を増大させる。次に、前述の円筒キャパシタ開口部17c内の、多結晶シリコン膜およびアモルファスシリコン膜をフォトレジストで覆う。
【0062】
このフォトレジスト膜をマスクとして多結晶シリコン膜およびアモルファスシリコン膜を異方性エッチングする。それにより、円筒キャパシタ開口部17cの表面にのみ多結晶シリコン膜およびアモルファスシリコン膜が残存する。この多結晶シリコン膜およびアモルファスシリコン膜がキャパシタ下部電極21を構成する。このキャパシタ下部電極21が形成された構造が図16に示されている。
【0063】
次に、キャパシタ下部電極21およびシリコン酸化膜15の表面上に、キャパシタ誘電体膜500として機能する五酸化タンタルを形成する。次に、五酸化タンタルの上に、キャパシタ上部電極22として機能する窒化チタンを含む膜を形成する。その後、フォトレジストを用いてパターニングすることにより、図17に示す構造が得られる。その結果、キャパシタが完成する。
【0064】
次に、キャパシタ上部電極22を覆うように、シリコン酸化膜15の上にプラズマTEOSからなるシリコン酸化膜23する。その後、シリコン酸化膜23の表面をCMP研磨法により平坦化する。次に、メモリセル部の多結晶シリコンプラグ13およびゲート電極(図示せず)ならびに非メモリセル部の低抵抗コバルトシリサイド膜10およびゲート電極(図示せず)に達するコンタクトホール24を形成するする。それにより、図18に示す構造が得られる。
【0065】
このときのコンタクトホール24を形成するためのエッチングは2回に分けて行われる。1回目のエッチングでは、メモリセル部のシリコン窒化膜14および非メモリセル部のシリコン窒化膜11それぞれの内部にコンタクトホール24の底面が位置する段階でエッチングを終了する。2回目のエッチングでは、コンタクトホール24がシリコン窒化膜14およびシリコン窒化膜11それぞれを貫通し、多結晶シリコンプラグ13の表面および低抵抗コバルトシリサイド膜10の表面が露出する。
【0066】
その後、コンタクトホール24内にバリアメタル25としての窒化チタンおよびコンタクトプラグ26としてのタングステンを順次充填する。それにより、図19に示す構造が得られる。
【0067】
その後、コンタクトプラグ25の上表面に接するように窒化チタン27,29により上下から挟まれたアルミ配線層28を形成する。それにより、図14に示す構造が得られる。
【0068】
上記の本発明の半導体装置の製造方法によれば、図14に示す非メモリセル部のコンタクトプラグ25の高さBを高くすることなく、キャパシタ下部電極21の高さをA+分だけ高くすることが可能である。さらに、上記の本発明の半導体装置の製造方法によれば、多結晶シリコンプラグ13がシリコン窒化膜11に対して突出しているため、実施の形態1に比較して、キャパシタ下部電極21の表面積が増加する。その結果、キャパシタ容量が増加する。したがって、半導体装置のリフレッシュ特性およびソフトエラー耐性が向上する。
【0069】
また、上記のような本実施の形態の半導体装置によれば、図15に示す抜き円筒キャパシタ開口部17cの形成プロセスにおいて、次のような効果がある。従来においては、フォトレジストパターン16をマスクとしてシリコン酸化膜15を開口した後に、フォトレジストパターン16を除去し、その後、シリコン酸化膜15をマスクにシリコン窒化膜14を除去していたため工程が煩雑であった。しかしながら、本実施の形態の半導体装置の製造方法によれば、図15に示すように、フォトレジストをマスクとしてシリコン窒化膜11、シリコン窒化膜14およびシリコン酸化膜15を一気に除去するため、工程数の大幅な削減が可能となる。
【0070】
(実施の形態3)
まず、図20を用いて実施の形態3の半導体装置の構造を説明する。
【0071】
本実施の形態の半導体装置の構造は、図1に示す実施の形態1の半導体装置の構造または図14に示す実施の形態2の半導体装置の構造とほぼ同様の構造である。しかしながら、本実施の形態の半導体装置の構造は、図20に示すように、次に示す部分が、図1を用いて示す実施の形態1の半導体装置の構造または図14を用いて示す実施の形態2の構造と異なっている。
【0072】
本実施の形態の半導体装置の構造は、図20に示すように、シリコン酸化膜15とシリコン酸化膜23との間に、不純物がドープされていないシリコン酸化膜30が設けられている。このシリコン酸化膜30は、シリコン窒化膜であってもよい。
【0073】
また、円筒キャパシタ開口部17dは、実施の形態1の円筒キャパシタ開口部17bまたは実施の形態2の円筒キャパシタ開口部17cに比較して、シリコン酸化膜12およびシリコン酸化膜15の側面が外側に広がった位置にある。つまり、本実施の形態の円筒キャパシタ開口部17dは、シリコン酸化膜12およびシリコン酸化膜15の側面よりも、シリコン窒化膜11,14およびシリコン酸化膜30またはシリコン窒化膜の側面が、内側に位置している。
【0074】
また、キャパシタ下部電極21は、円筒キャパシタ開口部17dの内側面に沿ってその内側面の全面にわたって形成されている。
【0075】
上記の構成によれば、円筒キャパシタ開口部17dの上部を半導体基板100の主表面からより離すことなく、円筒キャパシタ開口部17d内においてキャパシタ下部電極21の表面積を極力大きくすることができる。そのため、メモリセル部のキャパシタが形成される円筒キャパシタ開口部17dの上面を上側方向に位置させることができない場合において、キャパシタ容量を極力大きくすることができる。
【0076】
次に、図21〜図23を用いて実施の形態3の半導体装置の製造方法を説明する。なお、本実施の形態の半導体装置の製造方法においては、図8に至る構造を製造するまでの過程は、実施の形態1および2の半導体装置と同様の過程を経る。
【0077】
次に、シリコン酸化膜12およびシリコン窒化膜14を覆うように、BPTEOSまたはUSGからなるシリコン酸化膜15を積層する。その後、シリコン酸化膜15の表面を平坦化する。次に、シリコン酸化膜15の上にUSGからなるシリコン酸化膜30を形成する。その後、シリコン酸化膜30の上にフォトレジストパターン16を形成する。
【0078】
このフォトレジストパターン16をマスクとしてドライエッチングを行なう。それにより、シリコン酸化膜30、シリコン酸化膜15、シリコン窒化膜14およびシリコン酸化膜12を貫通するとともに、シリコン窒化膜11の表面から所定の深さまでを除去するように、円筒キャパシタ開口部17dを形成する。それにより、図21に示す構造が得られる。
【0079】
なお、ドライエッチング技術において、レジストに対するシリコン酸化膜またはシリコン窒化膜の選択比が向上すれば、図21に示す本構造を形成することが可能となる。
【0080】
さらに、フォトレジストパターン16をマスクとしてフッ酸処理を行なう。それにより、フッ酸に対するエッチング速度の比が高いBPTEOSまたはPSGからなるシリコン酸化膜12,15が、フッ酸に対するエッチング速度が低いUSGからなるシリコン酸化膜30およびシリコン窒化膜11,14に比較して、大きくエッチングされる。したがって、図22に示すように、半導体基板1の主表面に平行な方向において、シリコン酸化膜12,15の側壁は、シリコン酸化膜30およびシリコン窒化膜11,14の側壁よりも外側に位置するようになる。
【0081】
前述の円筒キャパシタ開口部17dの表面上にキャパシタ下部電極21となるリンがドープされた多結晶シリコン膜と何ら不純物がドープされていないアモルファスシリコン膜とを形成する。その後、アモルファスシリコン膜の表面処理を行なって表面積を増大させる。
【0082】
次に、前述の円筒キャパシタ開口部17dをフォトレジストで覆う。このフォトレジスト膜をマスクとして多結晶シリコン膜およびアモルファスシリコン膜を異方性エッチングする。それにより、円筒キャパシタ開口部17dの表面にのみ多結晶シリコン膜およびアモルファスシリコン膜が残存する。この多結晶シリコン膜およびアモルファスシリコン膜がキャパシタ下部電極21を構成する。このキャパシタ下部電極21が形成された構造が図23に示されている。
【0083】
このとき、USGからなるシリコン酸化膜30の突出し部の遮蔽効果により、キャパシタ下部電極21の後退量Cはシリコン酸化膜30の膜厚で規定されることになる。したがって、シリコン酸化膜30の膜厚を極力薄くすることにより、キャパシタ下部電極21の後退量Cを最小限に食い止めることが可能となる。
【0084】
次に、キャパシタ下部電極21およびシリコン酸化膜15の表面上に、キャパシタ誘電体膜500として機能する五酸化タンタルを形成する。次に、五酸化タンタルの上に、キャパシタ上部電極22として機能する窒化チタンを含む膜を形成する。その後、フォトレジストを用いてパターニングすることにより、図24に示す構造が得られる。その結果、キャパシタが完成する。
【0085】
キャパシタ上部電極22の上にプラズマTEOSからなるシリコン酸化膜23する。その後、シリコン酸化膜23の表面をCMP研磨法により平坦化する。次に、メモリセル部の多結晶シリコンプラグ13およびゲート電極(図示せず)ならびに非メモリセル部の低抵抗コバルトシリサイド膜10およびゲート電極(図示せず)に達するコンタクトホール24を形成する。
【0086】
このときのコンタクトホール24を形成するためのエッチングは2回に分けて行われる。1回目のエッチングでは、メモリセル部のシリコン窒化膜14および非メモリセル部のシリコン窒化膜11それぞれの内部にコンタクトホール24の底面が位置する段階でエッチングを終了する。2回目のエッチングでは、コンタクトホール24がシリコン窒化膜14およびシリコン窒化膜11それぞれを貫通し、多結晶シリコンプラグ13の表面および低抵抗コバルトシリサイド膜10の表面が露出する。
【0087】
その後、コンタクトホール24内にバリアメタル25としての窒化チタンおよびコンタクトプラグ26としてのタングステンを順次充填する。その後、コンタクトプラグ25の上表面に接するように窒化チタン27,29により上下から挟まれたアルミ配線層28を形成する。それにより、図20に示す構造が得られる。
【0088】
上記の本発明の半導体装置の製造方法によれば、非メモリセル部のコンタクトプラグ25の高さBを高くすることなく、キャパシタ下部電極21の高さをA+分だけ高くすることが可能である。その結果、キャパシタ容量が増加する。したがって、半導体装置のリフレッシュ特性およびソフトエラー耐性が向上する。
【0089】
また、上記のような本実施の形態の半導体装置の製造方法によれば、図22に示す抜き円筒キャパシタ開口部17dの形成プロセスにおいて、次のような効果がある。従来においては、フォトレジストパターン16をマスクとしてシリコン酸化膜15を開口後に、フォトレジストパターン16を除去し、その後、シリコン酸化膜15をマスクにシリコン窒化膜14を除去していたため工程が煩雑であった。しかしながら、本実施の形態の半導体装置の製造方法によれば、図15に示すように、フォトレジストをマスクとしてシリコン窒化膜11、シリコン窒化膜14、シリコン酸化膜15および多結晶シリコンプラグ13を一気に除去するため、工程数の大幅な削減が可能となる。
【0090】
また、シリコン酸化膜30の膜厚を薄く設定することにより、キャパシタ下部電極21の後退量Cを従来のキャパシタ下部電極の後退量に比べて減少させることが可能である。なお、前述の後退量を減少させる効果は、シリコン酸化膜30の代わりにシリコン窒化膜を用いた場合にも得られる。
【0091】
なお、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【0092】
【発明の効果】
本発明の半導体装置によれば、メモリセル部のキャパシタが形成されるホールの高さを所定の値以上半導体基板の主表面から離すことができない場合においても、リフレッシュ特性およびソフトエラー耐性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態1の半導体装置の構造を説明するための図である。
【図2】実施の形態1の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図3】実施の形態1の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図4】実施の形態1の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図5】実施の形態1の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図6】実施の形態1の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図7】実施の形態1の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図8】実施の形態1の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図9】実施の形態1の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図10】実施の形態1の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図11】実施の形態1の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図12】実施の形態1の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図13】実施の形態1の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図14】実施の形態2の半導体装置の構造を説明するための図である。
【図15】実施の形態2の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図16】実施の形態2の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図17】実施の形態2の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図18】実施の形態2の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図19】実施の形態2の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図20】実施の形態3の半導体装置の構造を説明するための図である。
【図21】実施の形態3の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図22】実施の形態3の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図23】実施の形態3の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【図24】実施の形態3の半導体装置の製造方法を説明するための図である。
【符号の説明】
1 素子分離酸化膜、2 ゲート酸化膜、3 ゲート電極、4 シリコン酸化膜、5,7 ソース/ドレイン領域、6 シリコン窒化膜、8 シリコン酸化膜、9 フォトレジストパターン、10 コバルトシリサイド膜、11 シリコン窒化膜、12 シリコン酸化膜、13 多結晶シリコンプラグ、14 シリコン窒化膜、15 シリコン酸化膜、16 フォトレジストパターン、17b,17c,17d 抜き円筒キャパシタ開口部、21 キャパシタ下部電極、22 キャパシタ上部電極、23 シリコン酸化膜、24 コンタクトホール、25 バリアメタル、26 コンタクトプラグ、27 窒化チタン、28 アルミ配線、29 窒化チタン、30 シリコン酸化膜、A,A+ キャパシタの高さ、B 非メモリセル部のコンタクトホール高さ、C 後退量。
Claims (3)
- 半導体基板上に設けられたトランジスタと、
該トランジスタを覆うように形成された第1エッチングストッパ膜と、
該第1エッチングストッパ膜上に形成された第1絶縁膜と、
該第1絶縁膜の上に前記トランジスタを覆うように形成された第2エッチングストッパ膜と、
該第2エッチングストッパ膜上に形成された第2絶縁膜と、
前記トランジスタに電気的に接続されたキャパシタとを備え、
前記キャパシタは、前記半導体基板の主表面に対して垂直な方向に延びるホール内において、下部電極、誘電体膜および上部電極が、前記ホールの表面に沿うように順次形成され、
前記ホールは、前記第2絶縁膜、前記第2エッチングストッパ膜、および前記第1絶縁膜を貫通するとともに、該ホールの底面は、前記第1ストッパ膜の主表面よりも下に位置している、半導体装置。 - 前記キャパシタと前記メモリセル部トランジスタとは、前記半導体基板の主表面に対して垂直な方向に延びるコンタクトプラグにより電気的に接続されており、
該コンタクトプラグは、前記ホールの底面よりも上側に突出している、請求項1に記載の半導体装置。 - 半導体基板と、
該半導体基板の上方に該半導体基板の主表面とほぼ平行に延びるように形成された第1絶縁膜と、
該第1絶縁膜を前記半導体基板の主表面に対して垂直な方向に貫通する第1ホールと、
前記第1の絶縁膜の上に形成された第2絶縁膜と、
前記第1ホールの開口よりも内側に位置し、前記第1絶縁膜を前記半導体基板の主表面に対して垂直な方向に貫通する第2ホールとを備え、
キャパシタ下部電極が、前記第1ホールの内側面に沿って該内側面の全面にわたって形成された、半導体装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002373669A JP2004207426A (ja) | 2002-12-25 | 2002-12-25 | 半導体装置 |
US10/425,929 US6774423B2 (en) | 2002-12-25 | 2003-04-30 | Semiconductor device having a capacitor with increased capacitance |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002373669A JP2004207426A (ja) | 2002-12-25 | 2002-12-25 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004207426A true JP2004207426A (ja) | 2004-07-22 |
JP2004207426A5 JP2004207426A5 (ja) | 2006-02-09 |
Family
ID=32652663
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002373669A Pending JP2004207426A (ja) | 2002-12-25 | 2002-12-25 | 半導体装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6774423B2 (ja) |
JP (1) | JP2004207426A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008053300A (ja) * | 2006-08-22 | 2008-03-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体記憶装置およびその製造方法 |
JP2008530813A (ja) * | 2005-02-18 | 2008-08-07 | エヌエックスピー ビー ヴィ | キャパシタンスを増大させた埋め込み型dram及びその製造方法 |
WO2021251029A1 (ja) * | 2020-06-11 | 2021-12-16 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体記憶装置、及び半導体記憶装置の製造方法 |
WO2024135286A1 (ja) * | 2022-12-19 | 2024-06-27 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体記憶装置およびトランジスタ装置 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6999298B2 (en) * | 2003-09-18 | 2006-02-14 | American Semiconductor, Inc. | MIM multilayer capacitor |
KR100632938B1 (ko) * | 2004-12-22 | 2006-10-12 | 삼성전자주식회사 | 커패시터를 구비하는 디램 소자 및 그 형성 방법 |
US20060157776A1 (en) * | 2005-01-20 | 2006-07-20 | Cheng-Hung Chang | System and method for contact module processing |
KR100604943B1 (ko) * | 2005-06-20 | 2006-07-31 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 및 그 제조방법 |
US7538006B1 (en) * | 2008-05-24 | 2009-05-26 | International Business Machines Corporation | Annular damascene vertical natural capacitor |
US20100271962A1 (en) * | 2009-04-22 | 2010-10-28 | Motorola, Inc. | Available backhaul bandwidth estimation in a femto-cell communication network |
JP2010287853A (ja) * | 2009-06-15 | 2010-12-24 | Elpida Memory Inc | 半導体装置及びその製造方法 |
US9553096B2 (en) * | 2013-11-22 | 2017-01-24 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited | Semiconductor arrangement with capacitor |
US11101175B2 (en) * | 2018-11-21 | 2021-08-24 | International Business Machines Corporation | Tall trenches for via chamferless and self forming barrier |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6169010B1 (en) * | 1999-01-26 | 2001-01-02 | Lucent Technologies Inc. | Method for making integrated circuit capacitor including anchored plug |
JP2001196553A (ja) | 2000-01-07 | 2001-07-19 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置およびその製造方法 |
JP2002076297A (ja) * | 2000-08-28 | 2002-03-15 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
-
2002
- 2002-12-25 JP JP2002373669A patent/JP2004207426A/ja active Pending
-
2003
- 2003-04-30 US US10/425,929 patent/US6774423B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008530813A (ja) * | 2005-02-18 | 2008-08-07 | エヌエックスピー ビー ヴィ | キャパシタンスを増大させた埋め込み型dram及びその製造方法 |
JP2008053300A (ja) * | 2006-08-22 | 2008-03-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体記憶装置およびその製造方法 |
WO2021251029A1 (ja) * | 2020-06-11 | 2021-12-16 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体記憶装置、及び半導体記憶装置の製造方法 |
WO2024135286A1 (ja) * | 2022-12-19 | 2024-06-27 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体記憶装置およびトランジスタ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20040124457A1 (en) | 2004-07-01 |
US6774423B2 (en) | 2004-08-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6720232B1 (en) | Method of fabricating an embedded DRAM for metal-insulator-metal (MIM) capacitor structure | |
JP2617049B2 (ja) | 高集積半導体メモリ装置の製造方法 | |
US8518788B2 (en) | Methods of forming a plurality of capacitors | |
US6194757B1 (en) | Semiconductor device having contact hole and method of manufacturing the same | |
JP2011108927A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4552835B2 (ja) | キャパシタの製造方法 | |
KR100632938B1 (ko) | 커패시터를 구비하는 디램 소자 및 그 형성 방법 | |
JP2004207426A (ja) | 半導体装置 | |
US6806195B1 (en) | Manufacturing method of semiconductor IC device | |
KR20030080234A (ko) | 트렌치 커패시터 및 그 제조 방법 | |
KR101168606B1 (ko) | 반도체 장치의 배선 구조물 및 이의 형성 방법 | |
KR100807226B1 (ko) | 반도체 장치의 제조 방법 | |
KR101019712B1 (ko) | 반도체 소자의 제조방법 | |
US6548348B1 (en) | Method of forming a storage node contact hole in a porous insulator layer | |
US6518613B2 (en) | Memory cell configuration with capacitor on opposite surface of substrate and method for fabricating the same | |
US20030215997A1 (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
US20040142531A1 (en) | Method of forming a stacked capacitor structure with increased surface area for a DRAM device | |
JP4336477B2 (ja) | 半導体集積回路装置の製造方法 | |
US6261900B1 (en) | Method for fabricating a DRAM capacitor | |
KR100745594B1 (ko) | 커패시터를 구비하는 디램 소자의 형성 방법 및 그방법으로 형성된 디램 소자 | |
JP3085831B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US6400022B1 (en) | Semiconductor device and fabrication process therefor and capacitor structure | |
US6271072B1 (en) | Method of manufacturing a storage node having five polysilicon bars | |
JP3202732B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2005086150A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051214 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051214 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080630 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090414 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090818 |