JP2004198673A - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
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Abstract
【課題】アルカリ水溶液を用いた現像で可能であり、また、低温での加工で十分な耐熱性及び柔軟性を発現する、感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】（イ）アクリロイル基又はメタクリロイル基を有するフェノールノボラック、（ロ）一分子中に少なくともアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂、（ハ）一分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有するエポキシ樹脂、（ニ）光官能基を有する多官能モノマー及び／又は光官能基と熱官能基を有する多官能モノマーからなる希釈剤、および、（ホ）光重合開始剤を必須成分として含有する感光性樹脂組成物。
【解決手段】（イ）アクリロイル基又はメタクリロイル基を有するフェノールノボラック、（ロ）一分子中に少なくともアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂、（ハ）一分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有するエポキシ樹脂、（ニ）光官能基を有する多官能モノマー及び／又は光官能基と熱官能基を有する多官能モノマーからなる希釈剤、および、（ホ）光重合開始剤を必須成分として含有する感光性樹脂組成物。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、低温加工可能で、高い耐熱性を実現し、柔軟性や基材との接着性をも兼ね備えた感光性樹脂組成物であり、具体的には、半導体パッケージやプリント配線板等の製造に応用が可能で、特に多層フレキシブルプリント配線板の絶縁樹脂シートに好適である感光性樹脂組成物に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子機器の携帯化などによる軽薄短小化や高機能化が急速度で進展している。これに伴い、これら機器内の回路で使用される半導体集積回路にも、小型化、高集積化が進行している。そのため、従来のパッケージに比べて配線ピン数が増大するのに、実装面積やパッケージ面積は逆に小さくなるといったジレンマがあるため、従来のパッケージ方式とは異なる、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ），さらにはＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｃａｌｅ Ｐａｃｋａｇｅ）とよばれる、新しい形の実装密度の高いパッケージ方式が提案されている。これらの半導体パッケージ方式では、従来型半導体パッケージのリードフレームの代わりに、サブストレートあるいはインターポーザーと呼ばれる、プラスチックやセラミックス等各種材料を使って構成される半導体チップ搭載用プリント配線板を使用して、半導体チップの電極とプリント配線板の電気的接続を行っている。この半導体チップ搭載用プリント配線板上に構成される回路は、小型化・高密度化した半導体内に導入されるものであり、一般的なプリント配線板に比べて非常に細線化・高密度化が求められる。その手法の一つとして、多層プリント基板の開発・実用化が進められている。
【０００３】
この多層プリント基板では各層間の配線をビアホールで接続する方法が採られている。ビアホールの形成方法には、レーザーによる方法と感光性樹脂を用い露光・現像による方法の２つが主として行われる。
【０００４】
このうち、感光性樹脂を用いたビアホール形成方法は、例えば特許文献１のように、露光・現像により、一括して穴あけが可能なことや既存設備を流用できることから、レーザーによるビア形成方法に比べ低コスト化が期待できる。
【０００５】
現像方法としては、例えば特許文献２もしくは特許文献３のような溶剤現像、もしくは特許文献４のようなアルカリ現像の方法が取られているが、前者は有機溶剤を使用するため、作業環境を悪化させるため、後者のアルカリ現像の方法が好まれる。
【０００６】
ところが、感光性樹脂が多層プリント配線板に使用される場合、半導体チップ実装工程に耐えうる高い耐熱性や、逆に半導体チップ搭載用プリント配線板等他の材料にダメージを与えない低温加工性など一般的なプリント配線板表面に使用される場合に比べて、要求される特性は高度のものとなる。さらに多層のフレキシブルプリント配線板の層間の絶縁層に適用される場合、柔軟性も要求される。
【０００７】
現在、主として配線保護用の種々の感光性樹脂（感光性レジスト）が市販されているが、このようなフレキシブル多層配線板用途に使用できるだけの上記特性、即ち耐熱性、低温加工性、柔軟性を十分満たすものがあるとは言えない。例えば特許文献５のように、柔軟性を得るためにゴム成分を添加する方法があるが、耐熱性が低下してしまい、耐熱性、柔軟性を両立させるには至っていない。
【０００８】
【特許文献１】
特開平９−２１９５９０号公報
【特許文献２】
特開平２−６９７５４号公報
【特許文献３】
特開昭６０−２０８６２号公報
【特許文献４】
特開平１１−１６０２号公報
【特許文献５】
特開平１１−１８６７１８号公報
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
感光性樹脂の前記問題点に鑑み、本発明は、低温での加工が可能で十分な耐熱性及び柔軟性を発現し、さらにアルカリ現像が可能な多層フレキシブルプリント配線板に好適に用いられる感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、
(１)（イ）アクリロイル基又はメタクリロイル基を有するフェノールノボラック、（ロ）一分子中に少なくともアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂、（ハ）一分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有するエポキシ樹脂、（ニ）光官能基を有する多官能モノマー及び／又は光官能基と熱官能基を有する多官能モノマーからなる希釈剤、および、（ホ）光重合開始剤を必須成分として含有することを特徴とする感光性樹脂組成物、
（２）（イ）アクリロイル基又はメタクリロイル基を有するフェノールノボラックが、分子中に１個又は２個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物とホルムアルデヒドとを、酸性触媒下で縮合して得られる多官能フェノール化合物のフェノール性水酸基をアクリロイル基又はメタクリロイル基で置換してなる(１)記載の感光性樹脂組成物、
（３）前記多官能フェノール化合物とグリシジルアクリレートまたはグリシジルメタクリレートと反応させて、前記多官能フェノール化合物のフェノール性水酸基の３０〜７０％をアクリロイル基又はメタクリロイル基で置換してなる（２）記載の感光性樹脂組成物、
（４）（イ）少なくとも１個のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するフェノールノボラックが、アルキルフェノールノボラックのフェノール性水酸基をアクリロイル基又はメタクリロイル基で置換してなる(１)記載の感光性樹脂組成物、
（５）（ホ）希釈剤が１分子中に２個以上のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有する光多官能モノマーからなる(１)〜（４）いずれか記載の感光性樹脂組成物、
である。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明をさらに詳細に説明する。本発明の最大の特徴は、感光性樹脂組成物中に、（ロ）一分子中に少なくともアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂を希釈剤として添加することで、アルカリ現像液への可溶性が乏しい感光性樹脂組成物にアルカリ現像液への可溶性を付与させることが可能であることである。
【００１２】
感光性樹脂組成物に柔軟性をもたせるには、（ハ）エポキシ樹脂として柔軟性な骨格を有するものを適用することが有効な手段であるが、エポキシ当量の高いエポキシ樹脂を使用する傾向にあり、フェノール当量との当量比をあわせるため、エポキシ成分が大量に存在することとなり、アルカリ現像液への可溶性が低下してしまう。
【００１３】
このような柔軟性をもった硬化物であってもアルカリ現像液への可溶性がない樹脂系へ、（ロ）一分子中に少なくともアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂を適用することで、アルカリ現像液に可溶であり、かつフレキシブルプリント配線板に必要な柔軟性をもった感光性樹脂組成物を得ることが可能となる。
【００１４】
（イ）本発明に用いる１個のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するフェノールノボラックは、分子中に１個又は２個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物とホルムアルデヒドとを、酸性触媒下で縮合して得られる多官能フェノール化合物のフェノール性水酸基をアクリロイル基又はメタクリロイル基で置換したものを用いるのが好ましく、多官能フェノール化合物とグリシジル基を有するアクリレート又はメタクリレートとを反応させて得られる。
【００１５】
光重合しアルカリ現像性に優れた、パターン精度の良い感光性樹脂組成物を得るためには、フェノールノボラックをグリシジル基を有するアクリレート又はメタクリレートを反応させフェノール性水酸基の３０〜７０％をアクリロイル基又はメタクリロイル基で置換してなることが適当である。３０％未満では光重合が不十分になり、現像時の耐現像性が劣る。また、７０％を超えるとアルカリ可溶性を示すフェノール性水酸基が不足し、アルカリ現像性が劣る。
【００１６】
分子中に２個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物としては、ビスフェノールＡ型、ビスフェノールＦ型またはビスフェノールＳ型等が挙げられる。また、アルキルフェノールノボラックからのノボラックも使用することができるが、その場合のアルキル基は、炭素数が１〜４程度が好ましく、例えばメチル基、エチル基，ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、さらにはアリル基等であり、炭素数がそれ以上の場合は、親油性が増し、アルカリ現像性のために好ましくない。
【００１７】
グリシジル基を有するアクリレート又はメタクリレートは、例えば、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートが反応性、入手の容易さ等により好ましいものである。
【００１８】
本発明に用いる（ロ）一分子中に少なくともアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂としては、脂環構造の側鎖にアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するもの、クレゾールノボラック構造の側鎖にアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するもの、Ｂｉｓ−Ａ型グリシジルエーテル構造の側鎖にアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するものが挙げられるが、アルカリ現像性および柔軟性において、脂環構造の側鎖にアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するものが好ましい。
【００１９】
本発明において、（ロ）一分子中に少なくともアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂の使用量としては、本発明の樹脂組成物中、０．１〜５０重量％の範囲で用いられる。
【００２０】
硬化物特性の制御のため、本発明の特長である耐熱性・柔軟性・光加工性を損なわない範囲でエポキシ基を有する成分として、一分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を併用する。用いられるエポキシ樹脂としてビスフェノールＡのジグリシジルエーテル、ビスフェノールＦ型のジグリシジルエーテル、ビスフェノールＡ−エピクロルヒドリン型エポキシ化合物、ジフェニルエーテル型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、クレゾールネボラック型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物等が挙げられる。
【００２１】
本発明に用いる（ニ）希釈剤としては、光官能基及び熱官能基を有する多官能モノマーである光重合及び熱反応性モノマーからなり、１分子中に少なくとも１個の水酸基を有するアクリレート又はメタクリレート化合物が挙げられる。例えば、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート、ヒドロキシブチルアクリレート、ヒドロキシブチルメタクリレート、ブタンジオールモノアクリレートグリセロールメタクリレート、フェノキシヒドロキシプロピルアクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレート、又はグリセロールジメタクリレート等である。
【００２２】
また、光官能基を有する光多官能モノマーである光重合モノマーからなる希釈剤も用いられるが、１分子中に２個以上のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有する光多官能モノマーが好ましい。例えば、トリエチレングリコールジメタクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、グリコールメタクリレートアクリレート、グリセロールエポキシトリアクリレート、トリメチロプロパントリアクリレート、ペンタエリストールテトラアクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、１，４−ブタンジオールジメタクリレート、トリメチロプロパントリメタクリレート等である。
【００２３】
また、光官能基及び熱官能基を有する多官能モノマーと光官能基を有する光多官能モノマーとを併用することもできる。
【００２４】
本発明において、（ニ）希釈剤の使用量としては、本発明の樹脂組成物中、０．１〜５０重量％の範囲で用いられる。
【００２５】
本発明に用いる（ホ）光重合開始剤としては、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、４−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン類、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどのベンゾインアルキルエーテル類、４―フェノキシジクロロアセトフェノン、４−ｔ−ブチル−ジクロロアセトフェノン、４−ｔ−ブチル−トリクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノンなどのアセトフェノン類、チオキサンソン、２−クロルチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン、２，４−ジメチルチオキサンソンなどのチオキサンソン類、エチルアントラキノン、ブチルアントラキノンなどのアルキルアントラキノン類などを挙げることができる。これらは単独、あるいは２種以上の混合物として用いられる。この光重合開始剤の添加量は、本発明の樹脂組成物中、０．１〜１０重量％の範囲で用いられる。
【００２６】
その他、本発明の樹脂組成物には必要に応じて、保存安定性のために紫外線防止剤、熱重合防止剤、可塑剤、硬化促進剤などが添加できる。また、粘度調整のためにアクリレートモノマー、メタクリレートモノマー、ビニルモノマーなどを添加してもよい。
【００２７】
これらの成分からなる本発明の樹脂組成物は、高解像度でアルカリ水溶液による現像性に優れる。特に、アルカリ水溶液に対する溶解性については、（イ）アクリロイル基又はメタクリロイル基を有するフェノールノボラックの、フェノール性水酸基と、（ロ）一分子中に少なくともアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂のカルボキシル基によるものである。そして前述のように、これらの官能基が残存する光硬化物は、耐アルカリ性、耐薬品性、電気特性等の悪いレジストとなるが、本発明の感光性樹脂組成物は、光硬化と、現像後の熱硬化反応が主体の樹脂組成物であり、後熱処理により、（ハ）エポキシ樹脂の有するグリシジル基が、（ロ）一分子中に少なくともアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂の有するカルボキシル基、および（イ）フェノールノボラックの有するフェノール性水酸基と熱硬化反応し、要求諸特性に優れた主骨格を形成するものである。従って、耐熱性等に優れた感光性樹脂組成物の硬化物となる。
【００２８】
本発明の感光性樹脂組成物を絶縁接着剤シートとして用いるには、感光性樹脂組成物のワニスを、金属箔、芳香族ポリイミド、ポリエチレン、ポリエステル等の基材フィルム上に、厚みを、例えば１〜１００μｍで塗布し、その塗布層を８０℃〜２００℃の温度で２０秒〜３０分間乾燥することで、溶媒が０．５重量％以下にまで除去して、未硬化状態あるいは半硬化の絶縁接着剤の薄膜を形成し、前述のようにして製造された未硬化あるいは半硬化の絶縁性接着剤の薄膜を、プリント配線板の回路が形成された面に真空ラミネータ、真空プレスなどを用いてラミネートする。ラミネートは、６０℃〜２００℃、特に７０℃〜１５０℃の温度で行うことができる。この配線板に所定のパターンを載置して、高圧水銀灯露光装置を用い照射量１００〜４００ｍＪ／ｃｍ2で露光し、次いで、アルカリ水溶液で現像してビアホールを形成する。水洗乾燥後、全面に１Ｊ／ｃｍ2の後露光をして、１８０℃、６０分間熱処理することで強度、柔軟性が得られる。
【００２９】
【実施例】
以下、実施例に基づいて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれによって何ら限定されるものではない。
【００３０】
（実施例１）
ビスフェノ−ルＡノボラック（大日本インキ化学工業（株）製、フェノライトＬＦ−４８７１）の不揮発分約７０％メチルエチルケトン溶液６８５ｇ（ＯＨ約４当量）を、２ｌのフラスコ中に投入し、これにハイドロキノン０．２ｇとグリシジルメタクリレート２８４ｇ（２モル）加え、１１０℃に加温した。その中へ、トリブチルアミン１ｇを添加した後、１１０℃で５時間攪拌反応させることにより、不揮発分約８０％メタクリロイル基含有フェノールノボラック（メタクリロイル基変性率５０％）Ａを得た。このメタクリロイル基含有フェノールノボラックＡ４０ｇに、アクリロイル基とカルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂（ダイセルＵＣＢ（株）製、サイクロマーＰ（ＡＣＡ−２００Ｍ）、樹脂含有量４８％）１２．６ｇ、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂（東都化成（株）製、ＹＤＦ−２００４（エポキシ当量９５０））４５ｇ、光開始剤として ベンジルジメチルケタール（チバ・ガイギー社製、イルガキュア６５１）１．５ｇと熱硬化促進剤として イミダゾール（四国化成工業（株）製、２Ｅ４ＭＺ−ＣＮ） ０．２ｇ、溶剤としてＭＥＫ５０ｇを添加して、樹脂ワニスとした。
この樹脂ワニスを３８μｍ厚のポリエステルフィルム（ＰＥＴ）（王子製紙（株）社製、商品名：ＲＬ−０７）上に、ロールコーターで、厚みが２５μｍになるように塗布し、８０℃で８分乾燥を行い、離型フィルムのついた感光性絶縁接着剤シートを得た。
この感光性絶縁接着剤シートに所定の円型パターン（φ５０ｕｍ）を載置して、高圧水銀灯露光装置を用い照射量１００ｍＪ／ｃｍ2で露光した。次いで、水酸化ナトリウム水溶液により２Ｋｇ／ｍ2のスプレー圧で現像した。この際現像残りもなく未露光部のパターンが現像液に溶解除去され、円型パターンに相応するビアホールが形成された。
水洗乾燥後、全面に１Ｊ／ｃｍ2の後露光をして、１８０℃、６０分間熱処理により硬化を行ったものを、３００℃の熱盤上に６０秒間置いたが、樹脂層に変化は見られなかった。また、硬化物の可とう性（１８０度折り曲げ試験）も５６回で、柔軟性に優れた特性を持つ感光性絶縁接着シートであった。この硬化後の感光性絶縁接着シートを、熱重量測定装置中において、室温より１分間に１０度の速度で昇温し、３００度での熱重量減少率を測定したところ１．０％であった。
【００３１】
（実施例２）
実施例１で得られたメタクリロイル基含有フェノールノボラックＡ４０ｇ、アクリロイル基とカルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂（ダイセルＵＣＢ（株）製、サイクロマーＰ（ＡＣＡ−２００Ｍ）、樹脂含有量４８％）１２．５ｇ、エポキシ樹脂（東都化成（株）製、ＳＴ−４０００Ｄ（エポキシ当量７００））３３ｇを混合し、光開始剤としてベンジルジメチルケタール（チバ・ガイギー社製、イルガキュア６５１）３ｇと熱硬化促進剤としてイミダゾール（四国化成工業（株）製、２Ｅ４ＭＺ−ＣＮ）０．２ｇ、溶剤としてＭＥＫ５０ｇを添加して、樹脂ワニスとした。
この樹脂ワニスを、実施例１と同様の方法で加工することにより、離型フィルムのついた感光性絶縁接着剤シートを作製した。
この感光性絶縁接着剤シートに所定の円型パターン（φ５０ｕｍ）を載置して、高圧水銀灯露光装置を用い照射量１００ｍＪ／ｃｍ2で露光した。次いで、水酸化ナトリウム水溶液により２Ｋｇ／ｍ2のスプレー圧で現像した。この際現像残りもなく未露光部のパターンが現像液に溶解除去され、円型パターンに相応するビアホールが形成された。
水洗乾燥後、全面に１Ｊ／ｃｍ2の後露光をして、１８０℃、６０分間熱処理により硬化を行ったものを、３００℃の熱盤上に６０秒間置いたが、樹脂層に変化は見られなかった。また、硬化物の可とう性（１８０度折り曲げ試験）も６４回で、柔軟性に優れた特性を持つ感光性絶縁接着シートであった。この硬化後の感光性絶縁接着シートを、熱重量測定装置中において、室温より１分間に１０度の速度で昇温し、３００度での熱重量減少率を測定したところ０．８％であった。
【００３２】
（実施例３）
実施例１で得られたメタクリロイル基含有フェノールノボラックＡ４０ｇ、アクリロイル基とカルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂（ダイセルＵＣＢ（株）製、サイクロマーＰ（ＡＣＡ−２５０）樹脂含有量５０％）５ｇ、エポキシ樹脂（東都化成（株）製、ＳＴ−４０００Ｄ（エポキシ当量７００））４０ｇを混合し、光開始剤としてベンジルジメチルケタール（チバ・ガイギー社製、イルガキュア６５１）３ｇと熱硬化促進剤としてイミダゾール（四国化成工業（株）製、２Ｅ４ＭＺ−ＣＮ）０．２ｇ、溶剤としてＭＥＫ５０ｇを添加して、樹脂ワニスとした。
この樹脂ワニスを、実施例１と同様の方法で加工することにより、離型フィルムのついた感光性絶縁接着剤シートを作製した。
この感光性絶縁接着剤シートに所定の円型パターン（φ５０ｕｍ）を載置して、高圧水銀灯露光装置を用い照射量１００ｍＪ／ｃｍ2で露光した。次いで、水酸化ナトリウム水溶液により２Ｋｇ／ｍ2のスプレー圧で現像した。この際現像残りもなく未露光部のパターンが現像液に溶解除去され、円型パターンに相応するビアホールが形成された。
水洗乾燥後、全面に１Ｊ／ｃｍ2の後露光をして、１８０℃、６０分間熱処理により硬化を行ったものを、３００℃の熱盤上に６０秒間置いたが、樹脂層に変化は見られなかった。また、硬化物の可とう性（１８０度折り曲げ試験）も５２回で、柔軟性に優れた特性を持つ感光性絶縁接着シートであった。この硬化後の感光性絶縁接着シートを、熱重量測定装置中において、室温より１分間に１０度の速度で昇温し、３００度での熱重量減少率を測定したところ０．８％であった。
【００３３】
（比較例１）
実施例１で得られたメタクリロイル基含有フェノールノボラックＢ４８ｇに水添ビスフェノールＡ骨格を含むエポキシ樹脂（東都化成（株）製、ＳＴ５０８０（エポキシ当量６００））４０ｇ、光開始剤として ベンジルジメチルケタール（チバ・ガイギー社製、イルガキュア６５１）１．５ｇと熱硬化促進剤として イミダゾール（四国化成工業（株）製、２Ｅ４ＭＺ−ＣＮ）０．２ｇ、溶剤としてＭＥＫ５０ｇを添加して、樹脂ワニスとした。
この樹脂ワニスを、実施例１と同様の方法で加工することにより、離型フィルムのついた感光性絶縁接着剤シートを作製したが、この感光性絶縁接着剤シートに所定の円型パターン（φ５０ｕｍ）を載置して、高圧水銀灯露光装置を用い照射量１００ｍＪ／ｃｍ2で露光し、次いで、水酸化ナトリウム水溶液により２Ｋｇ／ｍ2のスプレー圧で現像を試みたが、露光部、未露光部に関わらず、現像液に溶解せず、ビアホールを形成することは出来なかった。
【００３４】
【発明の効果】
本発明の感光性樹脂組成物を用いれば、高解像度で、アルカリ水溶液による現像が容易であり、かつ低温での加工で、はんだ付け工程等の３００℃前後までの温度にも耐える耐熱性、さらには柔軟性をも備えた多層フレキシブルプリント配線板用の絶縁樹脂シートを得ることができる。
【発明の属する技術分野】
本発明は、低温加工可能で、高い耐熱性を実現し、柔軟性や基材との接着性をも兼ね備えた感光性樹脂組成物であり、具体的には、半導体パッケージやプリント配線板等の製造に応用が可能で、特に多層フレキシブルプリント配線板の絶縁樹脂シートに好適である感光性樹脂組成物に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子機器の携帯化などによる軽薄短小化や高機能化が急速度で進展している。これに伴い、これら機器内の回路で使用される半導体集積回路にも、小型化、高集積化が進行している。そのため、従来のパッケージに比べて配線ピン数が増大するのに、実装面積やパッケージ面積は逆に小さくなるといったジレンマがあるため、従来のパッケージ方式とは異なる、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ），さらにはＣＳＰ（Ｃｈｉｐ Ｓｃａｌｅ Ｐａｃｋａｇｅ）とよばれる、新しい形の実装密度の高いパッケージ方式が提案されている。これらの半導体パッケージ方式では、従来型半導体パッケージのリードフレームの代わりに、サブストレートあるいはインターポーザーと呼ばれる、プラスチックやセラミックス等各種材料を使って構成される半導体チップ搭載用プリント配線板を使用して、半導体チップの電極とプリント配線板の電気的接続を行っている。この半導体チップ搭載用プリント配線板上に構成される回路は、小型化・高密度化した半導体内に導入されるものであり、一般的なプリント配線板に比べて非常に細線化・高密度化が求められる。その手法の一つとして、多層プリント基板の開発・実用化が進められている。
【０００３】
この多層プリント基板では各層間の配線をビアホールで接続する方法が採られている。ビアホールの形成方法には、レーザーによる方法と感光性樹脂を用い露光・現像による方法の２つが主として行われる。
【０００４】
このうち、感光性樹脂を用いたビアホール形成方法は、例えば特許文献１のように、露光・現像により、一括して穴あけが可能なことや既存設備を流用できることから、レーザーによるビア形成方法に比べ低コスト化が期待できる。
【０００５】
現像方法としては、例えば特許文献２もしくは特許文献３のような溶剤現像、もしくは特許文献４のようなアルカリ現像の方法が取られているが、前者は有機溶剤を使用するため、作業環境を悪化させるため、後者のアルカリ現像の方法が好まれる。
【０００６】
ところが、感光性樹脂が多層プリント配線板に使用される場合、半導体チップ実装工程に耐えうる高い耐熱性や、逆に半導体チップ搭載用プリント配線板等他の材料にダメージを与えない低温加工性など一般的なプリント配線板表面に使用される場合に比べて、要求される特性は高度のものとなる。さらに多層のフレキシブルプリント配線板の層間の絶縁層に適用される場合、柔軟性も要求される。
【０００７】
現在、主として配線保護用の種々の感光性樹脂（感光性レジスト）が市販されているが、このようなフレキシブル多層配線板用途に使用できるだけの上記特性、即ち耐熱性、低温加工性、柔軟性を十分満たすものがあるとは言えない。例えば特許文献５のように、柔軟性を得るためにゴム成分を添加する方法があるが、耐熱性が低下してしまい、耐熱性、柔軟性を両立させるには至っていない。
【０００８】
【特許文献１】
特開平９−２１９５９０号公報
【特許文献２】
特開平２−６９７５４号公報
【特許文献３】
特開昭６０−２０８６２号公報
【特許文献４】
特開平１１−１６０２号公報
【特許文献５】
特開平１１−１８６７１８号公報
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
感光性樹脂の前記問題点に鑑み、本発明は、低温での加工が可能で十分な耐熱性及び柔軟性を発現し、さらにアルカリ現像が可能な多層フレキシブルプリント配線板に好適に用いられる感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、
(１)（イ）アクリロイル基又はメタクリロイル基を有するフェノールノボラック、（ロ）一分子中に少なくともアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂、（ハ）一分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有するエポキシ樹脂、（ニ）光官能基を有する多官能モノマー及び／又は光官能基と熱官能基を有する多官能モノマーからなる希釈剤、および、（ホ）光重合開始剤を必須成分として含有することを特徴とする感光性樹脂組成物、
（２）（イ）アクリロイル基又はメタクリロイル基を有するフェノールノボラックが、分子中に１個又は２個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物とホルムアルデヒドとを、酸性触媒下で縮合して得られる多官能フェノール化合物のフェノール性水酸基をアクリロイル基又はメタクリロイル基で置換してなる(１)記載の感光性樹脂組成物、
（３）前記多官能フェノール化合物とグリシジルアクリレートまたはグリシジルメタクリレートと反応させて、前記多官能フェノール化合物のフェノール性水酸基の３０〜７０％をアクリロイル基又はメタクリロイル基で置換してなる（２）記載の感光性樹脂組成物、
（４）（イ）少なくとも１個のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するフェノールノボラックが、アルキルフェノールノボラックのフェノール性水酸基をアクリロイル基又はメタクリロイル基で置換してなる(１)記載の感光性樹脂組成物、
（５）（ホ）希釈剤が１分子中に２個以上のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有する光多官能モノマーからなる(１)〜（４）いずれか記載の感光性樹脂組成物、
である。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明をさらに詳細に説明する。本発明の最大の特徴は、感光性樹脂組成物中に、（ロ）一分子中に少なくともアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂を希釈剤として添加することで、アルカリ現像液への可溶性が乏しい感光性樹脂組成物にアルカリ現像液への可溶性を付与させることが可能であることである。
【００１２】
感光性樹脂組成物に柔軟性をもたせるには、（ハ）エポキシ樹脂として柔軟性な骨格を有するものを適用することが有効な手段であるが、エポキシ当量の高いエポキシ樹脂を使用する傾向にあり、フェノール当量との当量比をあわせるため、エポキシ成分が大量に存在することとなり、アルカリ現像液への可溶性が低下してしまう。
【００１３】
このような柔軟性をもった硬化物であってもアルカリ現像液への可溶性がない樹脂系へ、（ロ）一分子中に少なくともアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂を適用することで、アルカリ現像液に可溶であり、かつフレキシブルプリント配線板に必要な柔軟性をもった感光性樹脂組成物を得ることが可能となる。
【００１４】
（イ）本発明に用いる１個のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するフェノールノボラックは、分子中に１個又は２個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物とホルムアルデヒドとを、酸性触媒下で縮合して得られる多官能フェノール化合物のフェノール性水酸基をアクリロイル基又はメタクリロイル基で置換したものを用いるのが好ましく、多官能フェノール化合物とグリシジル基を有するアクリレート又はメタクリレートとを反応させて得られる。
【００１５】
光重合しアルカリ現像性に優れた、パターン精度の良い感光性樹脂組成物を得るためには、フェノールノボラックをグリシジル基を有するアクリレート又はメタクリレートを反応させフェノール性水酸基の３０〜７０％をアクリロイル基又はメタクリロイル基で置換してなることが適当である。３０％未満では光重合が不十分になり、現像時の耐現像性が劣る。また、７０％を超えるとアルカリ可溶性を示すフェノール性水酸基が不足し、アルカリ現像性が劣る。
【００１６】
分子中に２個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物としては、ビスフェノールＡ型、ビスフェノールＦ型またはビスフェノールＳ型等が挙げられる。また、アルキルフェノールノボラックからのノボラックも使用することができるが、その場合のアルキル基は、炭素数が１〜４程度が好ましく、例えばメチル基、エチル基，ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、さらにはアリル基等であり、炭素数がそれ以上の場合は、親油性が増し、アルカリ現像性のために好ましくない。
【００１７】
グリシジル基を有するアクリレート又はメタクリレートは、例えば、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートが反応性、入手の容易さ等により好ましいものである。
【００１８】
本発明に用いる（ロ）一分子中に少なくともアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂としては、脂環構造の側鎖にアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するもの、クレゾールノボラック構造の側鎖にアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するもの、Ｂｉｓ−Ａ型グリシジルエーテル構造の側鎖にアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するものが挙げられるが、アルカリ現像性および柔軟性において、脂環構造の側鎖にアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するものが好ましい。
【００１９】
本発明において、（ロ）一分子中に少なくともアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂の使用量としては、本発明の樹脂組成物中、０．１〜５０重量％の範囲で用いられる。
【００２０】
硬化物特性の制御のため、本発明の特長である耐熱性・柔軟性・光加工性を損なわない範囲でエポキシ基を有する成分として、一分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を併用する。用いられるエポキシ樹脂としてビスフェノールＡのジグリシジルエーテル、ビスフェノールＦ型のジグリシジルエーテル、ビスフェノールＡ−エピクロルヒドリン型エポキシ化合物、ジフェニルエーテル型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、クレゾールネボラック型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物等が挙げられる。
【００２１】
本発明に用いる（ニ）希釈剤としては、光官能基及び熱官能基を有する多官能モノマーである光重合及び熱反応性モノマーからなり、１分子中に少なくとも１個の水酸基を有するアクリレート又はメタクリレート化合物が挙げられる。例えば、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート、ヒドロキシブチルアクリレート、ヒドロキシブチルメタクリレート、ブタンジオールモノアクリレートグリセロールメタクリレート、フェノキシヒドロキシプロピルアクリレート、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレート、又はグリセロールジメタクリレート等である。
【００２２】
また、光官能基を有する光多官能モノマーである光重合モノマーからなる希釈剤も用いられるが、１分子中に２個以上のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有する光多官能モノマーが好ましい。例えば、トリエチレングリコールジメタクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、グリコールメタクリレートアクリレート、グリセロールエポキシトリアクリレート、トリメチロプロパントリアクリレート、ペンタエリストールテトラアクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、１，４−ブタンジオールジメタクリレート、トリメチロプロパントリメタクリレート等である。
【００２３】
また、光官能基及び熱官能基を有する多官能モノマーと光官能基を有する光多官能モノマーとを併用することもできる。
【００２４】
本発明において、（ニ）希釈剤の使用量としては、本発明の樹脂組成物中、０．１〜５０重量％の範囲で用いられる。
【００２５】
本発明に用いる（ホ）光重合開始剤としては、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、４−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン類、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどのベンゾインアルキルエーテル類、４―フェノキシジクロロアセトフェノン、４−ｔ−ブチル−ジクロロアセトフェノン、４−ｔ−ブチル−トリクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノンなどのアセトフェノン類、チオキサンソン、２−クロルチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン、２，４−ジメチルチオキサンソンなどのチオキサンソン類、エチルアントラキノン、ブチルアントラキノンなどのアルキルアントラキノン類などを挙げることができる。これらは単独、あるいは２種以上の混合物として用いられる。この光重合開始剤の添加量は、本発明の樹脂組成物中、０．１〜１０重量％の範囲で用いられる。
【００２６】
その他、本発明の樹脂組成物には必要に応じて、保存安定性のために紫外線防止剤、熱重合防止剤、可塑剤、硬化促進剤などが添加できる。また、粘度調整のためにアクリレートモノマー、メタクリレートモノマー、ビニルモノマーなどを添加してもよい。
【００２７】
これらの成分からなる本発明の樹脂組成物は、高解像度でアルカリ水溶液による現像性に優れる。特に、アルカリ水溶液に対する溶解性については、（イ）アクリロイル基又はメタクリロイル基を有するフェノールノボラックの、フェノール性水酸基と、（ロ）一分子中に少なくともアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂のカルボキシル基によるものである。そして前述のように、これらの官能基が残存する光硬化物は、耐アルカリ性、耐薬品性、電気特性等の悪いレジストとなるが、本発明の感光性樹脂組成物は、光硬化と、現像後の熱硬化反応が主体の樹脂組成物であり、後熱処理により、（ハ）エポキシ樹脂の有するグリシジル基が、（ロ）一分子中に少なくともアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂の有するカルボキシル基、および（イ）フェノールノボラックの有するフェノール性水酸基と熱硬化反応し、要求諸特性に優れた主骨格を形成するものである。従って、耐熱性等に優れた感光性樹脂組成物の硬化物となる。
【００２８】
本発明の感光性樹脂組成物を絶縁接着剤シートとして用いるには、感光性樹脂組成物のワニスを、金属箔、芳香族ポリイミド、ポリエチレン、ポリエステル等の基材フィルム上に、厚みを、例えば１〜１００μｍで塗布し、その塗布層を８０℃〜２００℃の温度で２０秒〜３０分間乾燥することで、溶媒が０．５重量％以下にまで除去して、未硬化状態あるいは半硬化の絶縁接着剤の薄膜を形成し、前述のようにして製造された未硬化あるいは半硬化の絶縁性接着剤の薄膜を、プリント配線板の回路が形成された面に真空ラミネータ、真空プレスなどを用いてラミネートする。ラミネートは、６０℃〜２００℃、特に７０℃〜１５０℃の温度で行うことができる。この配線板に所定のパターンを載置して、高圧水銀灯露光装置を用い照射量１００〜４００ｍＪ／ｃｍ2で露光し、次いで、アルカリ水溶液で現像してビアホールを形成する。水洗乾燥後、全面に１Ｊ／ｃｍ2の後露光をして、１８０℃、６０分間熱処理することで強度、柔軟性が得られる。
【００２９】
【実施例】
以下、実施例に基づいて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれによって何ら限定されるものではない。
【００３０】
（実施例１）
ビスフェノ−ルＡノボラック（大日本インキ化学工業（株）製、フェノライトＬＦ−４８７１）の不揮発分約７０％メチルエチルケトン溶液６８５ｇ（ＯＨ約４当量）を、２ｌのフラスコ中に投入し、これにハイドロキノン０．２ｇとグリシジルメタクリレート２８４ｇ（２モル）加え、１１０℃に加温した。その中へ、トリブチルアミン１ｇを添加した後、１１０℃で５時間攪拌反応させることにより、不揮発分約８０％メタクリロイル基含有フェノールノボラック（メタクリロイル基変性率５０％）Ａを得た。このメタクリロイル基含有フェノールノボラックＡ４０ｇに、アクリロイル基とカルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂（ダイセルＵＣＢ（株）製、サイクロマーＰ（ＡＣＡ−２００Ｍ）、樹脂含有量４８％）１２．６ｇ、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂（東都化成（株）製、ＹＤＦ−２００４（エポキシ当量９５０））４５ｇ、光開始剤として ベンジルジメチルケタール（チバ・ガイギー社製、イルガキュア６５１）１．５ｇと熱硬化促進剤として イミダゾール（四国化成工業（株）製、２Ｅ４ＭＺ−ＣＮ） ０．２ｇ、溶剤としてＭＥＫ５０ｇを添加して、樹脂ワニスとした。
この樹脂ワニスを３８μｍ厚のポリエステルフィルム（ＰＥＴ）（王子製紙（株）社製、商品名：ＲＬ−０７）上に、ロールコーターで、厚みが２５μｍになるように塗布し、８０℃で８分乾燥を行い、離型フィルムのついた感光性絶縁接着剤シートを得た。
この感光性絶縁接着剤シートに所定の円型パターン（φ５０ｕｍ）を載置して、高圧水銀灯露光装置を用い照射量１００ｍＪ／ｃｍ2で露光した。次いで、水酸化ナトリウム水溶液により２Ｋｇ／ｍ2のスプレー圧で現像した。この際現像残りもなく未露光部のパターンが現像液に溶解除去され、円型パターンに相応するビアホールが形成された。
水洗乾燥後、全面に１Ｊ／ｃｍ2の後露光をして、１８０℃、６０分間熱処理により硬化を行ったものを、３００℃の熱盤上に６０秒間置いたが、樹脂層に変化は見られなかった。また、硬化物の可とう性（１８０度折り曲げ試験）も５６回で、柔軟性に優れた特性を持つ感光性絶縁接着シートであった。この硬化後の感光性絶縁接着シートを、熱重量測定装置中において、室温より１分間に１０度の速度で昇温し、３００度での熱重量減少率を測定したところ１．０％であった。
【００３１】
（実施例２）
実施例１で得られたメタクリロイル基含有フェノールノボラックＡ４０ｇ、アクリロイル基とカルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂（ダイセルＵＣＢ（株）製、サイクロマーＰ（ＡＣＡ−２００Ｍ）、樹脂含有量４８％）１２．５ｇ、エポキシ樹脂（東都化成（株）製、ＳＴ−４０００Ｄ（エポキシ当量７００））３３ｇを混合し、光開始剤としてベンジルジメチルケタール（チバ・ガイギー社製、イルガキュア６５１）３ｇと熱硬化促進剤としてイミダゾール（四国化成工業（株）製、２Ｅ４ＭＺ−ＣＮ）０．２ｇ、溶剤としてＭＥＫ５０ｇを添加して、樹脂ワニスとした。
この樹脂ワニスを、実施例１と同様の方法で加工することにより、離型フィルムのついた感光性絶縁接着剤シートを作製した。
この感光性絶縁接着剤シートに所定の円型パターン（φ５０ｕｍ）を載置して、高圧水銀灯露光装置を用い照射量１００ｍＪ／ｃｍ2で露光した。次いで、水酸化ナトリウム水溶液により２Ｋｇ／ｍ2のスプレー圧で現像した。この際現像残りもなく未露光部のパターンが現像液に溶解除去され、円型パターンに相応するビアホールが形成された。
水洗乾燥後、全面に１Ｊ／ｃｍ2の後露光をして、１８０℃、６０分間熱処理により硬化を行ったものを、３００℃の熱盤上に６０秒間置いたが、樹脂層に変化は見られなかった。また、硬化物の可とう性（１８０度折り曲げ試験）も６４回で、柔軟性に優れた特性を持つ感光性絶縁接着シートであった。この硬化後の感光性絶縁接着シートを、熱重量測定装置中において、室温より１分間に１０度の速度で昇温し、３００度での熱重量減少率を測定したところ０．８％であった。
【００３２】
（実施例３）
実施例１で得られたメタクリロイル基含有フェノールノボラックＡ４０ｇ、アクリロイル基とカルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂（ダイセルＵＣＢ（株）製、サイクロマーＰ（ＡＣＡ−２５０）樹脂含有量５０％）５ｇ、エポキシ樹脂（東都化成（株）製、ＳＴ−４０００Ｄ（エポキシ当量７００））４０ｇを混合し、光開始剤としてベンジルジメチルケタール（チバ・ガイギー社製、イルガキュア６５１）３ｇと熱硬化促進剤としてイミダゾール（四国化成工業（株）製、２Ｅ４ＭＺ−ＣＮ）０．２ｇ、溶剤としてＭＥＫ５０ｇを添加して、樹脂ワニスとした。
この樹脂ワニスを、実施例１と同様の方法で加工することにより、離型フィルムのついた感光性絶縁接着剤シートを作製した。
この感光性絶縁接着剤シートに所定の円型パターン（φ５０ｕｍ）を載置して、高圧水銀灯露光装置を用い照射量１００ｍＪ／ｃｍ2で露光した。次いで、水酸化ナトリウム水溶液により２Ｋｇ／ｍ2のスプレー圧で現像した。この際現像残りもなく未露光部のパターンが現像液に溶解除去され、円型パターンに相応するビアホールが形成された。
水洗乾燥後、全面に１Ｊ／ｃｍ2の後露光をして、１８０℃、６０分間熱処理により硬化を行ったものを、３００℃の熱盤上に６０秒間置いたが、樹脂層に変化は見られなかった。また、硬化物の可とう性（１８０度折り曲げ試験）も５２回で、柔軟性に優れた特性を持つ感光性絶縁接着シートであった。この硬化後の感光性絶縁接着シートを、熱重量測定装置中において、室温より１分間に１０度の速度で昇温し、３００度での熱重量減少率を測定したところ０．８％であった。
【００３３】
（比較例１）
実施例１で得られたメタクリロイル基含有フェノールノボラックＢ４８ｇに水添ビスフェノールＡ骨格を含むエポキシ樹脂（東都化成（株）製、ＳＴ５０８０（エポキシ当量６００））４０ｇ、光開始剤として ベンジルジメチルケタール（チバ・ガイギー社製、イルガキュア６５１）１．５ｇと熱硬化促進剤として イミダゾール（四国化成工業（株）製、２Ｅ４ＭＺ−ＣＮ）０．２ｇ、溶剤としてＭＥＫ５０ｇを添加して、樹脂ワニスとした。
この樹脂ワニスを、実施例１と同様の方法で加工することにより、離型フィルムのついた感光性絶縁接着剤シートを作製したが、この感光性絶縁接着剤シートに所定の円型パターン（φ５０ｕｍ）を載置して、高圧水銀灯露光装置を用い照射量１００ｍＪ／ｃｍ2で露光し、次いで、水酸化ナトリウム水溶液により２Ｋｇ／ｍ2のスプレー圧で現像を試みたが、露光部、未露光部に関わらず、現像液に溶解せず、ビアホールを形成することは出来なかった。
【００３４】
【発明の効果】
本発明の感光性樹脂組成物を用いれば、高解像度で、アルカリ水溶液による現像が容易であり、かつ低温での加工で、はんだ付け工程等の３００℃前後までの温度にも耐える耐熱性、さらには柔軟性をも備えた多層フレキシブルプリント配線板用の絶縁樹脂シートを得ることができる。
Claims (5)
- （イ）アクリロイル基又はメタクリロイル基を有するフェノールノボラック、（ロ）一分子中に少なくともアクリロイル基又はメタクリロイル基と、カルボキシル基を有するアクリル共重合樹脂、（ハ）一分子中に少なくとも２個のエポキシ基を有するエポキシ樹脂、（ニ）光官能基を有する多官能モノマー及び／又は光官能基と熱官能基を有する多官能モノマーからなる希釈剤、および、（ホ）光重合開始剤を必須成分として含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
- （イ）アクリロイル基又はメタクリロイル基を有するフェノールノボラックが、分子中に１個又は２個のフェノール性水酸基を有するフェノール化合物とホルムアルデヒドとを、酸性触媒下で縮合して得られる多官能フェノール化合物のフェノール性水酸基をアクリロイル基又はメタクリロイル基で置換してなる請求項１記載の感光性樹脂組成物。
- 前記多官能フェノール化合物とグリシジルアクリレートまたはグリシジルメタクリレートと反応させて、前記多官能フェノール化合物のフェノール性水酸基の３０〜７０％をアクリロイル基又はメタクリロイル基で置換してなる請求項２記載の感光性樹脂組成物。
- （イ）少なくとも１個のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するフェノールノボラックが、アルキルフェノールノボラックのフェノール性水酸基をアクリロイル基又はメタクリロイル基で置換してなる請求項１記載の感光性樹脂組成物。
- （ニ）希釈剤が、１分子中に２個以上のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有する光多官能モノマーからなる請求項１〜４いずれか記載の感光性樹脂組成物。
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