JP2004193182A - テープ搬送装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】薄肉厚テープを破損することなく高速かつ安定的に搬送できる。
【解決手段】テープ1の両側端部をそれぞれクランプするように配設された2組の上クランパ39及び下クランパ40を有し、該上クランパ39及び下クランパ40を開閉させるクランパ開閉機構30A、30Bと、クランパ開閉機構30A、30Bをそれぞれ搭載し、テープ送り方向に往復移動可能に設けられたテープ送り方向スライド機構20A、20Bと、クランパ開閉機構30Aをテープ送り方向に往復移動させるクランパ移動機構45と、クランパ開閉機構30Aのテープ送り方向の移動と連動してクランパ開閉機構30Bを移動可能に連結した連動手段60、61とを備えている。
【選択図】 図3

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、テープ搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、テープ搬送装置として、テープの両側端部に設けられたスプロケット穴にスプロケットの突起部を係合させて搬送するスプロケット搬送方式(特許文献1参照)、又はテープの両側端部をそれぞれ上下一対のローラで挟持して搬送するローラ搬送方式(特許文献2参照)が知られている。なお、テープ搬送ではないが、リードフレーム等の板状部材の搬送装置として、リードフレームを上下一対のクランパ(爪)で挟持して搬送するクランパ搬送方式(特許文献3参照)が知られている。
【0003】
特許文献1:特許第2984381号公報(特開平4−245656号公報)
特許文献2:特許第2617356号公報(特開平3−9542号公報)
特許文献1:特許第2890333号公報(特開平4−346446号公報)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
近年、半導体機器の高機能化に伴い、高密度実装が要求され、デバイスの小型化及び薄肉厚化が進展しており、テープも例えば25〜40μmと薄肉厚化されている。このような薄肉厚テープを上記従来の技術の方式で搬送すると、次のような問題があった。
【0005】
特許文献1のスプロケット搬送方式は、スプロケット穴にスプロケットの突起部を係合させてテープを搬送するため、テープが薄くなるとスプロケットの突起部によってスプロケット穴が変形し、後工程に悪影響を及ぼす。またスプロケット穴部分の強度が低いので、搬送スピードの高速化が図れない。
【0006】
特許文献2のローラ搬送方式は、テープの両側端部の左右一対のローラ径を同一寸法に加工できないので、ローラの回転によってテープは徐々に小径ローラ側に寄せられ、ついてはテープの両側端をガイドするガイドレールに押し付けられ、テープを破損させるという問題が生じる。
【0007】
特許文献3のクランパ搬送方式は、テープに適用したものではないが、この方式をテープ搬送に適用すると、テープの片側端部をクランプして搬送すると、薄肉厚テープは強度が無いために、捩れて搬送ミス及びテープ破損を引き起こすという問題が生じる。
【0008】
本発明の課題は、薄肉厚テープを破損することなく高速かつ安定的に搬送できるテープ搬送装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の請求項1は、テープを上下よりクランプする上クランパ及び下クランパを有し、該上クランパ及び下クランパを開閉させるクランパ開閉機構と、このクランパ開閉機構を搭載し、テープ送り方向に往復移動可能に設けられたテープ送り方向スライド機構とを2組備え、この2組のクランパ開閉機構及びテープ送り方向スライド機構は、上クランパ及び下クランパがテープの両側端部をそれぞれクランプするように配設され、一方のクランパ開閉機構をテープ送り方向に往復移動させるクランパ移動機構と、前記一方のクランパ開閉機構のテープ送り方向の移動と連動して他方のクランパ開閉機構を移動可能に連結した連動手段とを備えたことを特徴とする。
【0010】
上記課題を解決するための本発明の請求項2は、上記請求項1において、前記テープ搬送装置を2組有し、一方のテープ搬送装置は、テープ加工位置よりテープ送り方向の前方側に設けて定常作業を行なうテープ主送り装置とし、他方のテープ搬送装置は、テープ加工位置よりテープ送り方向の後方側に設けて補助作業を行なうテープ補助装置としたことを特徴とする。
【0011】
上記課題を解決するための本発明の請求項3は、上記請求項1において、前記一方のクランパ開閉機構をテープの幅方向に移動させる幅調整機構を設けたことを特徴とする。
【0012】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態を図1乃至図4により説明する。図1に示すように、テープ1は、図示しない供給リールに巻回されており、相対向して配設された一対のガイドレール2、3にテープ1の両側端部が案内されて加工位置4に導かれ、図示しない巻取りリールに巻き取られる。加工位置4より前方側にはテープ主送り装置5が配設され、加工位置4より後方側にはテープ主送り装置5と同じ構造よりなるテープ補助送り装置6が配設されている。テープ主送り装置5及びテープ補助送り装置6は、図2乃至図4に示す幅調整機構10、テープ送り方向スライド機構20A、20B、クランパ開閉機構30A、30B及びクランパ移動機構45とを備えている。
【0013】
まず、幅調整機構10の構造を図3により説明する。一方のガイドレール2の外側下方のベース板11上には、ガイドレール2に直角に配設されたリニアガイド12が固定されており、リニアガイド12にはスライダ13が摺動自在に嵌挿されている。リニアガイド12の直上には、スライダ13に遊嵌されたボールねじ14がリニアガイド12と平行に配設されている。ボールねじ14の一端は、ベース板11に固定された幅調整用モータ15の出力軸に固定されている。ボールねじ14には雌ねじ16が螺合しており、スライダ13及び雌ねじ16上には移動板17が固定されている。
【0014】
次にテープ送り方向スライド機構20A、20Bの構造を図3により説明する。テープ送り方向スライド機構20Aとテープ送り方向スライド機構20Bは同じ構造よりなるので、同じ又は相当部材には同一符号を付して説明する。移動板17上には、2個の支持ブロック21、21が固定されている。他方のガイドレール3の外側下方のベース板11上にも、2個の支持ブロック22、22が固定されている。支持ブロック21、21及び22、22上には、それぞれ支持板23、24が固定されており、支持板23、24上にはテープ送り方向スライド機構20A、20Bのリニアガイド25がそれぞれガイドレール2、3と平行に配設されて固定されている。リニアガイド25にはスライダ26が摺動自在に嵌挿されており、スライダ26上には支持板27、28が固定されている。
【0015】
次にクランパ開閉機構30A、30Bの構造を図2乃至図4により説明する。クランパ開閉機構30Aとクランパ開閉機構30Bは同じ構造よりなるので、同じ又は相当部材には同一符号を付して説明する。支持板28の上方には、ガイドレール2、3と平行にカム軸31が配設されており、カム軸31は支持板28に固定された軸受32に回転自在に支承されている。カム軸31の一端はクランパ開閉用モータ33の出力軸に固定されており、クランパ開閉用モータ33はブラケット34を介して支持板27に固定されている。カム軸31には、上クランパカム部35aと下クランパカム部35bとを有するカム35が固定されている。また支持板28には、カム35に対応してガイド棒36が垂直に固定されており、ガイド棒36には、上クランパ固定部材37及び下クランパ固定部材38が摺動自在に嵌挿されている。上クランパ固定部材37には上クランパ39が固定され、下クランパ固定部材38には下クランパ40が固定されている。
【0016】
上クランパ39は、ガイドレール2、3の上方よりガイドレール2、3間に伸び、下クランパ40は、ガイドレール2、3の下方よりガイドレール2、3間に伸びている。即ち、クランパ開閉機構30A及び30Bの上クランパ39と下クランパ40で、テープ1の両側端部をクランプするようになっている。上クランパ固定部材37及び下クランパ固定部材38には、上クランパカム部35a、下クランパカム部35bに対応した位置にそれぞれローラ41、42が回転自在に支承されており、上クランパ固定部材37及び下クランパ固定部材38は、ローラ41、42が上クランパカム部35a、下クランパカム部35bにそれぞれ圧接するように図示しないばねで付勢されている。
【0017】
最後に、クランパ移動機構45の構造を図2及び図3により説明する。支持板23の上方には、ガイドレール2と平行にボールねじ46が配設されており、ボールねじ46は支持板23に固定された軸受47に回転自在に支承されている。ボールねじ46の一端にはプーリ48が固定されている。また支持板23にはブラケット49を介してクランパ移動用モータ50が固定されており、クランパ移動用モータ50の出力軸には前記プーリ48に対応してプーリ51が固定されており、プーリ48と51にはベルト52が掛けられている。ボールねじ46には雌ねじ53が螺合しており、雌ねじ53は連結板54を介してテープ送り方向スライド機構20Aの支持板27に固定されている。
【0018】
テープ送り方向スライド機構20Aの支持板27の下面にはガイド部材60が固定されており、ガイド部材60にはガイドレール2と直角方向にガイド穴60aが形成されている。ガイド穴60aには連動部材61が摺動自在に嵌挿されており、連動部材61は、テープ送り方向スライド機構20Bの支持板27の下面に固定されている。
【0019】
次に作用について説明する。まず、幅調整機構10、クランパ開閉機構30A、30B及びクランパ移動機構45の個々の動作について説明し、その後、テープ主送り装置5及びテープ補助送り装置6によるテープ1の送り動作について説明する。
【0020】
まず、幅調整機構10の動作について説明する。テープ1の幅が変更になった場合には、それに適合するように上クランパ39および下クランパ40の位置を調整する必要がある。幅調整用モータ15を回転させるとボールねじ14が回転し、雌ねじ16が図3において左右方向に移動する。雌ねじ16が移動すると、移動板17、支持ブロック21、支持板23、テープ送り方向スライド機構20Aのリニアガイド25、スライダ26、支持板27、28及びクランパ開閉機構30Aがテープ1の幅方向に移動し、クランパ開閉機構30Aの上クランパ39及び下クランパ40が共にテープ1の幅方向に移動する。これにより、クランパ開閉機構30Aの上クランパ39及び下クランパ40をテープ1の幅に適合する位置に調整することができる。
【0021】
次にクランパ開閉機構30A、30Bの動作について説明する。上クランパカム部35a及び下クランパカム部35bの上昇プロフィルによってそれぞれに対応した上クランパ固定部材37及び下クランパ固定部材38は上昇し、上クランパ39及び下クランパ40は上昇する。また逆に、上クランパカム部35a及び下クランパカム部35bの下降プロフィルによってそれぞれに対応した上クランパ固定部材37及び下クランパ固定部材38は下降し、上クランパ39及び下クランパ40は下降する。なお、上クランパカム部35aのプロフィルと下クランパカム部35bのプロフィルは逆に形成されている。
【0022】
上クランパ39、下クランパ40が閉じた状態より説明する。この状態よりクランパ開閉機構30A、30Bのクランパ開閉用モータ33が回転すると、それぞれのカム軸31と共にカム35が回転する。カム軸31が180度回転すると、上クランパカム部35aの上昇プロフィルによって上クランパ39は上昇し、下クランパカム部35bの下降プロフィルによって下クランパ40は下降する。これにより、上クランパ39及び下クランパ40は開く。この状態よりカム軸31が更に180度回転すると、上クランパカム部35aの下降プロフィルによって上クランパ39は下降し、下クランパカム部35bの上昇プロフィルによって下クランパ40は上昇する。これにより、上クランパ39、下クランパ40は閉じてテープ1をクランプする。
【0023】
次にクランパ移動機構45の動作について説明する。クランパ移動用モータ50が正回転すると、プーリ51が回転し、ベルト52、プーリ48を介してボールねじ46が回転する。これにより、雌ねじ53は、図1及び図2において右方向に移動する。雌ねじ53は連結板54を介してテープ送り方向スライド機構20Aの支持板27に固定されているので、テープ送り方向スライド機構20Aのスライダ26、支持板27、28と共にクランパ開閉機構30Aがリニアガイド25に沿って右方向に移動する。
【0024】
またテープ送り方向スライド機構20Aの支持板27にガイド部材60が固定され、ガイド部材60のガイド穴60aには連動部材61が挿入され、連動部材61はテープ送り方向スライド機構20Bの支持板27に固定されている。従って、テープ送り方向スライド機構20Aの支持板27が前記したように右方向に移動すると、ガイド部材60、連動部材61を介してテープ送り方向スライド機構20Bのスライダ26、支持板27、28と共にクランパ開閉機構30Bがリニアガイド25に沿って右方向に移動する。即ち、クランパ開閉機構30A及びクランパ開閉機構30Bは共に右方向に移動し、クランパ開閉機構30Aの上クランパ39、下クランパ40とクランパ開閉機構30Bの上クランパ39、下クランパ40は共に右方向に移動する。
【0025】
また前記と逆に、クランパ移動用モータ50が逆回転すると、前記と逆にクランパ開閉機構30Aの上クランパ39、下クランパ40とクランパ開閉機構30Bの上クランパ39、下クランパ40は共に左方向に移動する。
【0026】
次にテープ主送り装置5及びテープ補助送り装置6によるテープ1の送り動作について説明する。テープ主送り装置5及びテープ補助送り装置6の送り動作は、クランパ開閉機構30A、30Bの動作の項で説明したクランパ開閉用モータ33の回転によるクランパ開閉機構30A、30Bの上クランパ39、下クランパ40の開閉動作と、クランパ移動機構45の動作の項で説明したクランパ移動用モータ50の正逆転によるクランパ開閉機構30A、30Bの上クランパ39、下クランパ40の往復動との組み合わせによる上クランパ39、下クランパ40の矩形運動によって行われる。
【0027】
テープ主送り装置5によるテープ1の送り動作時にはテープ補助送り装置6は作動しなく、テープ補助送り装置6のクランパ開閉機構30A、30Bの上クランパ39、下クランパ40は開状態にある。またテープ補助送り装置6によるテープ1の送り動作時にはテープ主送り装置5は作動しなく、テープ主送り装置5のクランパ開閉機構30A、30Bの上クランパ39、下クランパ40は開状態にある。
【0028】
まず、テープ主送り装置5によるテープ1の送り動作について説明する。テープ1に図示しない加工装置で加工、例えばボンディング装置でボンディングを行っている時は、テープ主送り装置5のクランパ開閉機構30A、30Bのそれぞれの上クランパ39、下クランパ40は閉状態でテープ1をクランプした状態にある。テープ1の加工部の加工が終了すると、クランパ移動用モータ50が一定量回転する。これにより、クランパ開閉機構30A、30Bの上クランパ39、下クランパ40は、テープ1の両側端部をクランプしたまま図1及び図2において右方向に一定量(テープ1の1デバイス分)移動する。即ち、加工位置4にはテープ1の次の加工部分が送られる。
【0029】
次にクランパ開閉用モータ33が180度回転する。これにより、上クランパ39、下クランパ40は開状態となる。続いてクランパ移動用モータ50が前記と逆に一定量逆回転する。これにより、上クランパ39、下クランパ40は、テープ1を開放した状態で左方向に一定量移動して元の位置に戻る。次にクランパ開閉用モータ33が180度回転する。これにより、上クランパ39、下クランパ40は閉状態となってテープ1の両側端部をクランプする。この一連の動作を順次繰り返し行い、加工が終了したテープ1の加工部は送られ、図示しない巻取りリールに巻き取られる。
【0030】
このように、クランパ開閉機構30A、30Bのそれぞれの上クランパ39、下クランパ40によってテープ1の両側端部をそれぞれクランプしてテープ1を送るので、テープ1が薄肉厚であっても、該テープ1を破損なく高速かつ安定的に送ることができる。
【0031】
最後に、テープ補助送り装置6によるテープ1の送り動作について説明する。テープ主送り装置5は、テープ1の加工部を順次加工位置4に送る定常作業に用いるのに対し、テープ補助送り装置6は補助的な作業を行う場合に用いる。
【0032】
例えば、新しいテープ1をセットする場合に用いる。テープ主送り装置5及びテープ補助送り装置6のクランパ開閉機構30A、30Bの上クランパ39、下クランパ40が開状態で、テープ1の始端をテープ補助送り装置6のクランパ開閉機構30A、30Bの上クランパ39と下クランパ40間に位置させる。そして、テープ補助送り装置6のクランパ開閉機構30A、30Bの上クランパ39、下クランパ40の閉動作、該上クランパ39、下クランパ40の右方向の移動、該上クランパ39、下クランパ40の開動作及び該上クランパ39、下クランパ40の左方向の移動の一連の動作を繰り返し行うことにより、テープ1の始端をテープ主送り装置5のクランパ開閉機構30A、30Bの上クランパ39と下クランパ40間に自動的に送ることができる。
【0033】
また、例えば、前記のようにしてテープ1をテープ主送り装置5のクランパ開閉機構30A、30Bの上クランパ39と下クランパ40間に送った場合に、テープ1の加工部が加工位置4より位置ずれしているのを補正するために用いる。
【0034】
テープ1の加工部が加工位置4よりテープ主送り装置5側にある場合には、テープ補助送り装置6のクランパ開閉機構30A、30Bの上クランパ39、下クランパ40を閉状態とし、テープ1の加工部と加工位置4のずれ量分だけ上クランパ39、下クランパ40が左方向に移動するようにテープ補助送り装置6のクランパ移動用モータ50を逆回転させる。前記ずれ量の補正は、手動操作でクランパ開閉用モータ33及びクランパ移動用モータ50を回転させて行ってもよく、またカメラによって前記ずれ量を検出し、そのずれ量を補正するようにクランパ開閉用モータ33及びクランパ移動用モータ50を回転させるようにしてもよい。
【0035】
また例えば、テープ主送り装置5による定常作業中にトラブルが生じ、加工済の加工部分を加工位置4に戻す場合にも用いることができる。このように、テープ補助送り装置6を設けると、種々の補助的な作業を迅速に行なうことができるようになる。
【0036】
【発明の効果】
本発明は、テープを上下よりクランプする上クランパ及び下クランパを有し、該上クランパ及び下クランパを開閉させるクランパ開閉機構と、このクランパ開閉機構を搭載し、テープ送り方向に往復移動可能に設けられたテープ送り方向スライド機構とを2組備え、この2組のクランパ開閉機構及びテープ送り方向スライド機構は、上クランパ及び下クランパがテープの両側端部をそれぞれクランプするように配設され、一方のクランパ開閉機構をテープ送り方向に往復移動させるクランパ移動機構と、前記一方のクランパ開閉機構のテープ送り方向の移動と連動して他方のクランパ開閉機構を移動可能に連結した連動手段とを備えた構成よりなるので、薄肉厚テープを破損することなく高速かつ安定的に搬送できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のテープ搬送装置の一実施の形態の概略構成を示す要部平面図である。
【図2】図1のテープ主送り装置及びテープ補助送り装置の拡大平面図である。
【図3】図2のA−A、B−B線断面図である。
【図4】図2の正面図である。
【符号の説明】
1 テープ
2、3 ガイドレール
4 加工位置
5 テープ主送り装置
6 テープ補助送り装置
10 幅調整機構
12 リニアガイド
13 スライダ
14 ボールねじ
15 幅調整用モータ
16 雌ねじ
17 移動板
20A、20B テープ送り方向スライド機構
23、24 支持板
25 リニアガイド
26 スライダ
27、28 支持板
30A、30B クランパ開閉機構
31 カム軸
33 クランパ開閉用モータ
35 カム
35a 上クランパカム部
35b 下クランパカム部
37 上クランパ固定部材
38 下クランパ固定部材
39 上クランパ
40 下クランパ
45 クランパ移動機構
46 ボールねじ
50 クランパ移動用モータ
53 雌ねじ
54 連結板
60 ガイド部材
61 連動部材

Claims (3)

  1. テープを上下よりクランプする上クランパ及び下クランパを有し、該上クランパ及び下クランパを開閉させるクランパ開閉機構と、このクランパ開閉機構を搭載し、テープ送り方向に往復移動可能に設けられたテープ送り方向スライド機構とを2組備え、この2組のクランパ開閉機構及びテープ送り方向スライド機構は、上クランパ及び下クランパがテープの両側端部をそれぞれクランプするように配設され、一方のクランパ開閉機構をテープ送り方向に往復移動させるクランパ移動機構と、前記一方のクランパ開閉機構のテープ送り方向の移動と連動して他方のクランパ開閉機構を移動可能に連結した連動手段とを備えたことを特徴とするテープ搬送装置。
  2. 前記テープ搬送装置を2組有し、一方のテープ搬送装置は、テープ加工位置よりテープ送り方向の前方側に設けて定常作業を行なうテープ主送り装置とし、他方のテープ搬送装置は、テープ加工位置よりテープ送り方向の後方側に設けて補助作業を行なうテープ補助装置としたことを特徴とする請求項1記載のテープ搬送装置。
  3. 前記一方のクランパ開閉機構をテープの幅方向に移動させる幅調整機構を設けたことを特徴とする請求項1記載のテープ搬送装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008010586A (ja) * 2006-06-28 2008-01-17 Shibaura Mechatronics Corp 被搬送部材の搬送装置及び電子部品の実装装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100700618B1 (ko) * 2005-12-02 2007-03-28 합명회사 서우테크 티씨피/씨오에프 외관검사기의 필름규격에 의한 폭조절구조

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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