JP2004188111A - クリーンルームの洗浄滅菌システム及び洗浄滅菌方法 - Google Patents

Abstract

【課題】クリーンルームの洗浄滅菌において、クリーンルーム内への殺菌、洗浄液の散布を行う配管の洗浄滅菌方法及びシステムを提供する。
【解決手段】クリーンルームの洗浄滅菌システムにおいて、このシステム１０、３０は、前記クリーンルーム内に殺菌、洗浄液及びリンス液を供給する配管１１、３１と、前記配管の所定の位置に取りつけられ、前記クリーンルーム内に殺菌、洗浄液及びリンス液を噴射する複数のノズル２１、４１と、を備え、前記配管の少なくとも一部の配管を、内側管及びその内側管の周方向の少なくとも一部を囲む外側管とを有する二重構造とし、前記内側管と前記外側管との間に蒸気を通して前記内側管内と、少なくとも前記外側管の外周とを加熱、殺菌できるように構成する。
【選択図】 図１

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明はクリーンルームの洗浄滅菌を行う洗浄滅菌システム及びその方法に関し、更に詳しくは、例えば液体飲料の製造或いは充填包装処理が行われるクリーンルーム内に殺菌、洗浄液を噴射或いは噴霧してそのクリーンルーム内を洗浄滅菌するシステム及びそのような洗浄滅菌方法、更には、そのようなシステムの配管の残液防止及び殺菌構造並びに方法に関する。
【０００２】
【従来技術】
近年、ミネラルウォーター、茶、コーヒー等種々のペットボトル入り飲料が製造されている。これら飲料の充填の際には殺菌するためにホットパック充填が使われることが多いが、最近では充填物をフィルタ滅菌後、クリーンルーム内で常温充填することも行われている。クリーンルーム内で内容物をペットボトルに充填し、キャップすることにより内容物を加熱せず充填できることから加熱による中味の劣化や風味の変化、加熱コストを低減させることができるという利点を有する。しかしながら、クリーンルーム内に複雑な構造の充填機やキャップをつける装置（以下キャッパという。）を設置する必要があることからこれら装置の微生物汚染を防ぐために定期的に洗浄、殺菌を行う必要がある。この作業は従来は人間が手作業で洗浄液、殺菌液を装置に吹き付け、滅菌水（リンス液）で洗浄することにより行われていた。そのため作業者の健康面、作業効率や再現性等の面で問題があった。これらの問題等を解決するため、飲料充填システム内のクリーンルーム内の洗浄、殺菌の自動化が試みられてきたが、洗浄剤、殺菌剤を用いるシステムでの自動洗浄、殺菌システムとしては成功例はない。
【０００３】
クリーンルームの洗浄、殺菌の自動化が困難な最大の理由の一つはクリーンルーム内では常に上方から下方に向かって無菌空気が流れており、上部の殺菌、洗浄液とリンス用の滅菌水を通す配管の内部若しくは外部に菌が付着、増殖し、それが落下すると、下の飲料などのタンクやボトルに飛び込んで汚染するという問題があるためである。特に最上部にある配管の外側の周辺（以下外周という。）については下方からの薬液散布で一時的には殺菌できるものの、次の薬剤散布までの間の微生物の繁殖を防止することができず、配管外周部の微生物汚染を防止する方法の開発が求められていた。
【０００４】
解決方法としては、配管内部に薬液を満たして殺菌状態にしておくという方法も考えられるが、この場合、液が落下すること（いわゆる液だれ）により、充填物が汚染する恐れや配管が傷む、配管に沈殿が付着して洗浄効率が悪くなる、リンス水が溜まった部分に菌が繁殖しやすくなる等の問題があった。また、この場合でも管の内部は殺菌或いは滅菌できるものの、菌が付着した管の外周表面は殺菌或いは滅菌することはできない。したがって、上部の配管の外周表面の殺菌方法の開発も求められていた。
【０００５】
また、上部配管のノズル先端部分の殺菌も難しく、リンス用の滅菌水を散布した後その部分で微生物が増殖し、汚染した液体が落下してペットボトルやタンクに混入するおそれがある。そこでクリーンルーム内の配管のノズルを殺菌する方法の開発も求められていた。またこの配管の周辺部分を滅菌できる方法を開発することにより、殺菌、洗浄を自動化もしくは半自動化できることが期待され、クリーンルームの洗浄、殺菌作業の自動化システムの開発が望まれていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はかかる要望に基づいて成されたものであって、その目的は、クリーンルームの洗浄滅菌方法及びシステムを提供することである。
本発明の他の目的は、クリーンルーム内への殺菌、洗浄液の散布を行う配管の少なくとも一部を二重構造とし、殺菌、洗浄液の散布の後内側管と外側間との間に蒸気を通して配管を加熱、殺菌することにより水分、細菌の残留を防止する洗浄滅菌方法及びシステムを提供することである。
本発明の別の目的は、クリーンルーム用洗浄滅菌システムにおける配管の内外に付着する残液を無くして殺菌を行う配管の残液防止及び殺菌構造を提供することである。
本発明の更に別の目的は、配管及び前記配管に取りつけられた複数のノズルを介してクリーンルームに殺菌、洗浄液を発泡効率の差を少なくして発泡させて噴射する方法を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明では、クリーンルームの洗浄滅菌システムにおいて、前記クリーンルーム内に殺菌、洗浄液及びリンス液を供給する配管と、前記配管の所定の位置に取りつけられ、前記クリーンルーム内に殺菌、洗浄液及びリンス液を噴射する少なくとも一つのノズルと、を備え、前記配管の少なくとも一部の配管を、内側管及びその内側管の周方向の少なくとも一部を囲む外側管とを有する二重構造とし、前記内側管と前記外側管との間に蒸気を通して前記内側管内と、少なくとも前記外側管の外周とを加熱、殺菌できるようにしたことを特徴とする洗浄滅菌システムが提供される。
この洗浄滅菌システムによれば、クリーンルームの洗浄、殺菌処理を行い、クリーンルーム内の配管内外でのその後の水分の残留、細菌の繁殖を防止できる。上記システムにおいて、前記配管を複数段に上下方向に異なる高さで配置し、少なくとも最上段の前記配管を前記二重構造としてもよい。また、前記配管に取り付けられるノズルを極力配管に近い位置に配置させることにより、配管の熱をノズルに伝達することにより、ノズルの温度を上昇させ乾燥状態に保つようにしてもよい。更に、前記配管がサニタリー仕様のものであってもよい。
【０００８】
請求項５に記載の発明では、クリーンルームの洗浄滅菌方法において、前記クリーンルーム内に殺菌、洗浄液及びリンス液を供給する配管であって、少なくとも一部の配管が、内側管及びその内側管の周方向の少なくとも一部を囲む外側管を有する二重構造になった配管と、前記配管の所定の位置に取りつけられ、前記クリーンルーム内に殺菌、洗浄液及びリンス液を噴射する少なくとも一つのノズルと、を使用し、前記配管及び前記ノズルを介して前記クリーンルーム内に前記殺菌、洗浄液、リンス液及び無菌ガスの順で時間をずらして噴射し、その後、前記内側管と前記外側管のとの間に蒸気を通して前記内側管内の乾燥及び殺菌並びに少なくとも前記外側管の外周の乾燥及び殺菌を行うことを特徴とする洗浄滅菌方法が提供される。
この洗浄滅菌方法によれば、クリーンルームの洗浄、殺菌処理を行い、クリーンルーム内の配管内外でのその後の水分の残留、細菌の繁殖を防止できる。
上記洗浄滅菌方法において、前記クリーンルーム内への殺菌、洗浄液の噴射に際し、前記殺菌、洗浄液中に無菌ガスを添加して発泡させて噴射してもよい。また、前記配管には、前記ノズルが設置されている区域の両側から無菌ガスを導入することによりその領域内の前記ノズルからの発泡効率の差を少なくしてもよい。
更に、上記洗浄滅菌方法において、前記配管内への殺菌、洗浄液の供給に先立って、前記二重構造の配管の前記内側管と外側管との間に蒸気を流して殺菌、乾燥するようにしてもよく、この場合、前記二重構造の配管の前記内側管と外側管との間に蒸気を流した後冷却ガスを流して冷却してもよい。更にまた、上記配管に取り付けられるノズルを極力配管に近い位置に配置させることにより、配管の熱をノズルに伝達することにより、ノズルの温度を上昇させ乾燥状態に保つようにしてもよい。
【０００９】
請求項１１に記載の発明では、クリーンルーム用洗浄滅菌システムにおける配管の内外に付着する残液を無くして殺菌を行う配管の残液防止及び殺菌構造において、残液の防止及び殺菌を行いたい前記配管を、内側管及びその内側管の周方向の少なくとも一部を囲む外側管を有する二重構造とし、前記内側管と前記外側管との間に蒸気を通して前記内側管内と、少なくとも前記外側管の外周とを乾燥、殺菌できるようにしたことを特徴とする配管の残液防止及び殺菌構造が提供される。
上記配管の残液防止及び殺菌方法において、前記内側管内に殺菌、洗浄液とリンス液とを時間を異ならせて供給した後、前記内側管内に無菌ガスを導入して内側管内の残液を排出し、しかる後、前記内側管と外側管との間に蒸気を送ってもよい。
請求項１３に記載の発明では、配管及び前記配管に取りつけられた少なくとも一つのノズルを介してクリーンルームに殺菌、洗浄液を発泡させて噴射する方法において、記配管のノズル設置領域の両側から空気を導入することによりその間のノズルからの発泡効率の差を少なくすることを特徴とする殺菌、洗浄液の噴射方法が提供される。
【００１０】
【実施例】
以下、図面を参照して本発明の実施例について、液体飲料の充填設備用のクリーンルーム（以下ＣＲと呼ぶ）の洗浄滅菌システムとして説明する。
図１ないし図３において、飲料充填設備用の三つのＣＲ１ないしＣＲ３が示され、それらは公知の方法により外部と周壁６により隔てられかつ互いにも隔壁７により隔てられている。ＣＲ１内には容器を洗浄する洗浄及びリンスするリンサー１が配置され、ＣＲ２内にはリンサーで洗浄された容器内に飲料を充填する飲料充填装置３が配置され、ＣＲ３内には容器に蓋をするキャッパー５が配置されているが、本発明はリンサー、飲料充填装置及びキャッパーの発明ではないのでそれらの構造及び動作の説明は省略する。また、ＣＲ用の洗浄滅菌システムは各ＣＲについて基本構造が同じであるので以下ではＣＲ１用及びＣＲ２用の洗浄滅菌システムについて説明する。
【００１１】
図１ないし図４において、ＣＲ１用の洗浄滅菌システム１０は、ＣＲ１内の上下方向に隔てた位置で洗浄液及び殺菌液を噴射又は噴霧して散布するための上段、中段及び下段の配管１１、１２及び１３を備えている。図１は上段の配管１１及び３１並びにそれに取り付けられたノズル２１及び４１の平面配置を示し、
図２は中段の配管１２及び３２並びにそれに取り付けられたノズル２２及び４２の平面配置を示し、図３は下段の配管１３及び３３並びにそれに取り付けられたノズル２３及び４３の平面配置を示す。上段の配管１１の平面的な配置位置は図１に示されるようになっていて、配管１１の先端及び／又は途中には洗浄液、殺菌液等を噴射又は噴霧するノズル２１が取りつけられ、ノズルの配置は図１及び図４に示されるようになっている。また、中段の配管１２の平面的な配置位置は図２に示されるようになっていて、配管１２の先端及び／又は途中には洗浄液、殺菌液等を噴射又は噴霧するノズル２２が取りつけられ、ノズルの配置は図２及び図４に示されるようになっている。更に、下段の配管１３の平面的な配置位置は図３に示されるようになっていて、配管１３の先端及び／又は途中には洗浄液、殺菌液等を噴射又は噴霧するノズル２３が取りつけられ、ノズルの配置は図３及び図４に示されるようになっている。
【００１２】
図１ないし図３及び図５において、ＣＲ２用の洗浄滅菌システム３０は、ＣＲ２内の上下方向に隔てた位置で洗浄液及び殺菌液を噴射又は噴霧して散布するための上段、中段及び下段の配管３１、３２及び３３を備えている。上段の配管３１の平面的な配置位置は図１に示されるようになっていて、配管３１の先端及び／又は途中には洗浄液、殺菌液等を噴射又は噴霧するノズル４１が取りつけられ、ノズルの配置は図１及び図５に示されるようになっている。また、中段の配管３２の平面的な配置位置は図２に示されるようになっていて、配管３２の先端及び／又は途中には洗浄液、殺菌液等を噴射又は噴霧するノズル４２が取りつけられ、ノズルの配置は図２及び図５に示されるようになっている。更に、下段の配管３３の平面的な配置位置は図３に示されるようになっていて、配管３３の先端及び／又は途中には洗浄液、殺菌液等を噴射又は噴霧するノズル４３が取りつけられ、ノズルの配置は図３及び図５に示されるようになっている。
【００１３】
図１において、前記配管１１ないし１３及び３１ないし３３のうち、本実施例に示す本実施形態では、上段の配管１１及び３１の配管であって、ＣＲ１及びＣＲ２内に位置する部分が図６及び図７に例示される二重管構造になっているが、それ以外の配管は全て一重の構造である。二重構造は、図７［Ａ］に示されるように、内側管１１１の外周全体を外側管１１２が囲む構造でも、或いは図７［Ｂ］に示されるように内側管１１１の外周の一部（この例では半周）を外側管１１３が囲む構造でもよい。内側管１１１と外側管１１２又は１１３との間の管路は蒸気供給管１５と接続され、その管路内に図示しない蒸気供給源から蒸気をまた図示しない無菌（又は滅菌）空気（ガス）供給源から無菌（又は滅菌）空気（ガス）を選択的に供給できるようになっている。上記二重構造の管１１及び３１へのノズル２１及び４１のそれぞれの取り付けは、図８に示されるように、配管の末端部において内側管１１１及び外側管１１２又は１１３の端部に取付け部材１１５を溶接等により接合し、その取付け部材１１５を介してノズル２１又は４１を取りつける。ノズル２１及び４１は公知の構造のものでよいので、詳細な説明は省略する。ノズルもステンレス鋼製のものを用いることにより熱効率がよく、加温効果が高いことからノズル部分においても十分な殺菌効果を得ることができる。配管１１及び３１の末端には、更に、内側管と外側管との間の管路内に送られた蒸気を排出する通路を設ける必要がある。この実施形態では、蒸気の流れが取付け部材１１５に接触して取付け部材を効率良く加熱できるように、排出管接続用の管１１６を外側管１１２又は１１３の末端の位置に溶接等により取りつけてある。より詳しくは、管１１６の内面のうち配管の末端側の部分を取付け部材１１５のフランジ部の上面（図８で見て）と略面一にして接続することによって、内側管１１１と外側管１１２又は１１３との間の管路内を流れる蒸気が取付け部材に十分に接触してその取付け部材を加熱し、ノズルの温度を上昇させて乾燥状態を保つことができるようにする。上記二重構造の配管の材質としては腐食を防止するためにステンレス鋼が好ましく、具体的には継ぎ目の無いサニタリー仕様のものを用いるのが望ましい。しかし、継ぎ目のない他の材質の管も使用することができる。二重配管は蒸気の高温高圧に耐える材質のもので熱伝導度が高いものであれば使用できる。
【００１４】
洗浄滅菌システム１０の中段の配管１２は、図４に示されるように、ＣＲ１内ではそれらを画成する側壁及び（又は隔壁）に沿って上下に伸びる部分１２ａと、上方の位置で横方向に伸びる部分１２ｂとを有し、それらの配管には複数のノズル２２が上下に隔てて或いは横方向に隔てて取りつけられている。また、洗浄滅菌システム３０の中段の配管３２は、図５に示されるように、ＣＲ２内ではそれらを画成する側壁及び（又は隔壁）に沿って上下に伸びる部分３２ａと、上方の位置で横方向に伸びる部分３２ｂとを有し、それらの配管には複数のノズル４２が上下に隔てて或いは横方向に隔てて取りつけられている。これら中段及び下段の配管の材料としても、ステンレス鋼のような腐食し難い材質が好ましく、具体的には継ぎ目の無いサニタリー仕様のものを用いるのが望ましい。しかし、継ぎ目のない他の材質の管も使用することもできる。
【００１５】
二重構造の配管１１及び３１の内側管と外側管との間の管路は、前記のように蒸気供給源に接続可能なだけでなく、図示しないバルブを介して無菌空気の供給源とも接続可能になっていて、その管路内に無菌空気をも供給できるようになっている。更に、上記二重構造の配管の内側管１１１及びその他の配管１２、１３、３２、３３はＣＲ１及びＣＲ２の外部において供給管１６に接続され、その供給管は図示しないバルブを介して無菌水の供給源に接続されている。そして供給管１６にはバルブを介して洗浄、殺菌剤の供給源（何れも図示せず）に接続可能になっており、かつバルブを介して無菌空気の供給源（何れも図示せず）にも接続可能になっている。
１本の配管に複数のノズルが取りつけられている構造においては、図９に示されるように、一度に同時に殺菌、洗浄液を散布する区域Ａを定め、その区域内にあるノズルを間に挟んで配管の両側から無菌空気を供給して殺菌、洗浄液の発泡効率に差が生じないようする。すなわち、複数のノズル２２、２３、４２又は４３が取り付けられている配管１２、１３、３２又は３３には、一度に同時に殺菌、洗浄液を散布する区域Ａを決め、その区域の両端部において配管に無菌空気の供給管１７を接続し、その供給管を図示しないバルブを介して無菌空気供給源に接続する。このようにすることによって、その区域内に存在するノズルから洗浄、殺菌液を散布する場合、その区域の両側の空気供給管から無菌空気を配管内に供給し、洗浄、殺菌剤を発泡させた状態でノズルから殺菌液を散布する。このように所望の区域内にある配管内に両側から無菌空気を供給することにより殺菌液の発泡を均質化でき発泡効率を上げかつ均一化できる。
【００１６】
次に上記洗浄滅菌システムの動作について、ＣＲ１用の洗浄滅菌システム動作を例にして説明するが、ＣＲ２の洗浄滅菌システムの動作も同じであるからその説明は省略する。
まず、上段の配管１１の蒸気供給管から内側管１１１と外側管１１２との間の管路内に蒸気供給源から蒸気送って内側管１１１を加熱し、内側管内を殺菌する。その後、内側管１１１と外側管１１２との間に無菌空気又は無菌ガスを図示しない無菌空気の供給源から供給して配管１１を冷却する。
次に、上段の二重構造の配管１１、３１の内側管内及び中段及び下段の一重構造の配管１２、１３及び３２、３３内に無菌水を供給してその配管内を無菌水で満たす。その後、まず下段の配管１３内に濃縮した殺菌、洗浄液を供給すると共に配管内に無菌空気を供給して殺菌、洗浄液を発泡させた状態でノズルから殺菌液を散布する。下段の配管からの殺菌、洗浄液の散布が完了した後、中段の配管１２内に濃縮した殺菌、洗浄液を供給すると共に配管内に無菌空気を供給して殺菌液を発泡させた状態でノズルから殺菌、洗浄液を散布する。その後、１１の配管１１の内側管１１１内に殺菌、洗浄液を供給すると共に配管内に無菌空気を供給して殺菌液を発泡させた状態でノズルから殺菌液を散布する。上記の殺菌、洗浄液を発泡させ散布する場合は、前述のように、予め散布する区域を分け、その区域の両端から配管に無菌空気を送って発泡効率の均一化を図る。
【００１７】
ＣＲ１内に殺菌液の散布が完了した後、殺菌剤の効果保持のため所定の時間待機し、その後、全ての配管１１（下段の配管１１の場合は内側管）、１２及び１３内に無菌水を供給して各ノズルから無菌水を散布し、ＣＲ１内の殺菌液を洗い流す。その後、全ての配管１１（下段の配管１１の場合は内側管）、１２及び１３内に無菌空気を供給して各ノズルから配管内及びノズル内に残存している水分を吹き飛ばす。最後に、上段の配管１１の内側管１１１と外側管との間に蒸気を流して配管１１及びその配管に取りつけられているノズルを加熱、殺菌する。配管１１を蒸気で加熱すると、内側管が加熱せられてその中が乾燥され、また内側管の外周及び（又は）外側管１１２の外周も加熱されてその外周面に付着する水分も乾燥され、更には、ノズルも加熱されてノズルに付着する水分も乾燥される。これで一連の洗浄殺菌動作は終了する。
【００１８】
【発明の効果】
本発明によれば次のような効果を奏することが可能である。
（イ）ＣＲ内の配管の内部及び外周部分の殺菌が可能で、下部の充填物に雑菌が混入して汚染することを防止することができる。
（ロ）ＣＲ内の洗浄殺菌作業を半自動化又は自動化することが可能となる。
（ハ）配管の末端部分へのノズル取り付け部にパッキンを使用しないのでノズルへの熱伝導効率がよくなり、ノズルの十分な加熱効果が得られる。
（ニ）サニタリー仕様の管を使用することにより、ＣＲ内で継ぎ目を作らずに２本だけで２重管をつくることができる。また研磨できるので表面を滑らかにできこれにより菌が付着しにくくなるという効果も得られ、高温高圧にも耐えられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の洗浄滅菌システムを備えた飲料充填設備用のクリーンルームの概略平面図であって、上段の配管及びそれに取り付けられたノズルの配置を示す図である。
【図２】図１に示すクリーンルームの概略平面図であって、中段の配管及びそれに取り付けられたノズルの配置を示す図である。
【図３】図１に示すクリーンルームの概略平面図であって、下段の配管及びそれに取り付けられたノズルの配置を示す図である。
【図４】図１ないし図３に示すクリーンルームＣＲ１内の配管及びそれに取り付けられたノズルの配置を示す図である。
【図５】図１ないし図３に示すクリーンルームＣＲ２内の配管及びそれに取り付けられたノズルの配置を示す図である。
【図６】二重構造の配管の例を示す平面図である。
【図７】二重構造の配管の例を示す拡大横断面図である。
【図８】上段の配管へのノズルの取付状態を示す拡大断面図である。
【図９】配管への無菌空気の供給方法を説明する図である。
【符号の説明】
１０、３０ 洗浄滅菌システム
１１、１２、１３、３１、３２、３３ 配管
２１、２２、２３、４１、４２、４３ ノズル
１５ 蒸気供給管
１６ 供給管
ＣＲ１、ＣＲ２ クリーンルーム

Claims (13)

1. クリーンルームの洗浄滅菌システムにおいて、
   前記クリーンルーム内に殺菌、洗浄液及びリンス液を供給する配管と、
   前記配管の所定の位置に取りつけられ、前記クリーンルーム内に殺菌、洗浄液及びリンス液を噴射する少なくとも一つノズルと、を備え、
   前記配管の少なくとも一部の配管を、内側管及びその内側管の周方向の少なくとも一部を囲む外側管とを有する二重構造とし、前記内側管と前記外側管との間に蒸気を通して前記内側管内と、少なくとも前記外側管の外周とを加熱、殺菌できるようにしたことを特徴とする洗浄滅菌システム。
2. 請求項１に記載のクリーンルームの洗浄滅菌システムにおいて、
   前記配管を複数段に上下方向に異なる高さで配置し、少なくとも最上段の前記配管を前記二重構造とする洗浄滅菌システム。
3. 請求項１又は２に記載のクリーンルームの洗浄滅菌システムにおいて、
   前記配管に取り付けられるノズルを極力配管に近い位置に配置させることにより、配管の熱をノズルに伝達することにより、ノズルの温度を上昇させ乾燥状態に保つことを特徴とする洗浄滅菌システム。
4. 請求項１ないし３のいずれかに記載のクリーンルームの洗浄滅菌システムにおいて、
   前記配管がサニタリー仕様のものであることを特徴とする洗浄滅菌システム。
5. クリーンルームの洗浄滅菌方法において、
   前記クリーンルーム内に殺菌、洗浄液及びリンス液を供給する配管であって、少なくとも一部の配管が、内側管及びその内側管の周方向の少なくとも一部を囲む外側管を有する二重構造になった配管と、前記配管の所定の位置に取りつけられ、前記クリーンルーム内に殺菌、洗浄液及びリンス液を噴射する少なくとも一つのノズルと、を使用し、
   前記配管及び前記ノズルを介して前記クリーンルーム内に前記殺菌、洗浄液、リンス液及び無菌ガスの順で時間をずらして噴射し、
   その後、前記内側管と前記外側管のとの間に蒸気を通して前記内側管内の乾燥及び殺菌並びに少なくとも前記外側管の外周の乾燥及び殺菌を行うことを特徴とする洗浄滅菌方法。
6. 請求項５に記載のクリーンルームの洗浄滅菌方法において、
   前記クリーンルーム内への殺菌、洗浄液の噴射に際し、前記殺菌、洗浄液中に無菌ガスを添加して発泡させて噴射することを特徴とする洗浄滅菌方法。
7. 請求項６に記載のクリーンルームの洗浄滅菌方法において、
   前記配管には、前記ノズルが設置されている区域の両側から無菌ガスを導入することによりその領域内の前記ノズルからの発泡効率の差を少なくすることを特徴とする洗浄滅菌方法。
8. 請求項５ないし７のいずれかに記載のクリーンルームの洗浄滅菌方法において、
   前記配管内への殺菌、洗浄液の供給に先立って、前記二重構造の配管の前記内側管と外側管との間に蒸気を流して殺菌、乾燥することを特徴とする洗浄滅菌方法。
9. 請求項８に記載のクリーンルームの洗浄滅菌方法において、
   前記二重構造の配管の前記内側管と外側管との間に蒸気を流した後冷却ガスを流して冷却することを特徴とする洗浄滅菌方法。
10. 請求項５ないし９のいずれかに記載のクリーンルームの洗浄滅菌方法において、
    上記配管に取り付けられるノズルを極力配管に近い位置に配置させることにより、配管の熱をノズルに伝達することにより、ノズルの温度を上昇させ乾燥状態に保つことを特徴とする洗浄滅菌方法。
11. クリーンルーム用洗浄滅菌システムにおける配管の内外に付着する残液を無くして殺菌を行う配管の残液防止及び殺菌構造において、
    残液の防止及び殺菌を行いたい前記配管を、内側管及びその内側管の周方向の少なくとも一部を囲む外側管を有する二重構造とし、前記内側管と前記外側管との間に蒸気を通して前記内側管内と少なくとも前記外側管の外周とを乾燥、殺菌できるようにしたことを特徴とする配管の残液防止及び殺菌構造。
12. 請求項１１に記載の配管の残液防止及び殺菌方法において、
    前記内側管内に殺菌、洗浄液とリンス液とを時間を異ならせて供給した後、前記内側管内に無菌ガスを導入して内側管内の残液を排出し、しかる後、前記内側管と外側管との間に蒸気を送ることを特徴とする配管の残液防止及び殺菌方法。
13. 配管及び前記配管に取りつけられた少なくとも一つのノズルを介してクリーンルームに殺菌、洗浄液を発泡させて噴射する方法において、
    前記配管のノズル設置領域の両側から無菌ガスを導入することによりその間のノズルからの発泡効率の差を少なくすることを特徴とする殺菌、洗浄液の噴射方法。

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