JP2004186361A - Bellows mechanism and cutter having bellows mechanism - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、伸縮可能に構成された蛇腹機構および蛇腹機構を装備した切断装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列された多数の領域にIC、LSI等の回路を形成し、該回路が形成された各領域を所定のストリートといわれる切断ラインに沿ってダイシングすることにより個々の半導体チップを製造している。このようにして分割された半導体チップは、パッケージングされて携帯電話やパソコン等の電気機器に広く利用されている。
携帯電話やパソコン等の電気機器はより軽量化、小型化が求められており、半導体チップのパッケージもチップサイズパッケージ(CSP)と称する小型化できるパッケージ技術が開発されている。CSP技術の一つとして、Quad Flat Non−lead Package(QFN)と称するパッケージ技術が実用化されている。このQFNと称するパッケージ技術は、半導体チップの接続端子に対応した接続端子が複数形成されているとともに半導体チップ毎に区画するストリートが格子状に形成された銅板等の金属板に複数個の半導体チップをマトリックス状に配設し、半導体チップの裏面側から樹脂をモールディングした樹脂部によって金属板と半導体チップを一体化することによりCSP基板を形成する。このCSP基板をストリートに沿って切断することにより、個々にパッケージされたチップサイズパッケージ(CSP)に分割する。
【0003】
上記CSP基板の切断は、一般にダイシング装置とよばれる精密切断装置によって施される。この切断装置は、往復動せしめられるチャックテーブルと、該チャックテーブル上に保持された被加工部を切断するための切断手段とを具備している。切断手段はダイヤモンド粒子を含有した円板形状の回転ブレードから構成されている。また、切断手段には純水でよい加工水を供給するための加工水供給手段が付設されている。チャックテーブルが往動及び/又は復動する際に、チャックテーブル上のCSP基板に回転ブレードが作用せしめられ、CSP基板の切断が遂行される。チャックテーブルを往復動せしめるための往復動機構は、往復動方向に延在する回転自在なねじ軸と、このねじ軸に螺合せしめられた雌ねじ部材とを含んでおり、チャックテーブルは雌ねじ部材に装着されている。ねじ軸及び雌ねじ部材は所謂精密機械要素であり、この機械要素に切断屑及び/又は加工水が付着することを防ぐ必要がある。回転ブレードの回転方向に起因して切断屑及び加工水は、主として、チャックテーブルの往復動方向に見て片側、例えばCSP基板に作用する部位がチャックテーブルの往動方向に移動する方向に回転ブレードが回転せしめられる場合にはチャックテーブルの往動方向に見て下流側、に飛散せしめられる。加工水の一部は霧となりチャックテーブルの往動方向に見て上流側にも飛散する。そこで、チャックテーブルの往復動方向に見て少なくとも片側、通常は両側、に蛇腹機構を配設してねじ軸等の精密機械要素を覆っている。チャックテーブルが往動又は復動する場合には、チャックテーブルの往動方向に見て下流側に配置された蛇腹機構は収縮され、上流側に配置された蛇腹機構は伸張される。チャックテーブルが復動する場合には、チャックテーブルの往動方向に見て上流側に配置された蛇腹機構は収縮され、下流側に配置された蛇腹機構は伸張される。
【0004】
上述した切断装置によってCSP基板を切断する場合、CSP基板の縁部にはCSPが形成されていない所謂耳部が存在し、この耳部が比較的大きな切断屑として、チャックテーブルの往復動方向に見て片側、例えばCSP基板に作用する部位がチャックテーブルの往動方向に移動する方向に回転ブレードが回転せしめられる場合にはチャックテーブルの往動方向に見て下流側、に配置されている蛇腹機構上に飛散せしめられる。蛇腹機構上に飛散した比較的大きな切断屑は、蛇腹機構の円滑な収縮及び伸張を阻害する傾向がある。蛇腹機構は、円滑に収縮及び伸張せしめられることが必要である故に、通常、布或いはその類似シート材料で形成されている。従って、蛇腹機構上に飛散した比較的大きな切断屑によって、蛇腹手段に穴等の損傷が生成される虞も少なくない。
【0005】
上記問題を解消するために、蛇腹機構の上面を覆う保護シートを配設し、この保護シートがチャックテーブルの往復動に付随して、従って蛇腹機構の収縮及び伸張に付随して適宜に巻き取り及び巻き戻しされるように構成した切断装置が提案されている。(例えば、特許文献1参照。)
【0006】
【特許文献1】
特開2002−239888号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
而して、上記公報に開示されたものは、蛇腹機構の上面を覆う保護シートをチャックテーブルの往復動に付随して巻取り又は巻き戻す巻取り機構を設ける必要があり、構造が複雑になるとともにコスト的にも満足し得るものではない。
【0008】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、蛇腹部材を確実に保護することができる安価な蛇腹機構および蛇腹機構を備えた切断装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、シート部材によって複数の山部と谷部が交互に形成され伸縮自在に構成された蛇腹部材を具備し、該蛇腹部材の伸縮方向の一端が移動部材に取付けられ他端が静止部材に取り付けられた蛇腹機構であって、
該蛇腹部材の複数の山部にそれぞれ装着された複数のプレート部材を備え、
該プレート部材は、該蛇腹部材の伸縮方向に直交する方向の幅寸法以上の長さと該蛇腹部材が伸長された状態において隣接する山部と山部との間隔より大きい幅を有し、該伸縮方向の片側縁辺部が山部に装着され該伸縮方向の他側縁辺部が隣接するプレート部材の表面に摺動可能に重合せしめられる、
ことを特徴とする蛇腹機構が提供される。
【0010】
上記プレート部材は、上記移動部材側の縁辺部が上記蛇腹部材の山部に装着されていることが望ましい。また、上記プレート部材の裏面に片側縁辺が装着され該プレート部材が装着された蛇腹部材の山部と隣接する山部に他側縁辺が装着された可撓性を有する保護膜部材を備えていることが望ましい。
【0011】
また、本発明によれば、往復動せしめられるチャックテーブルと、該チャックテーブル上に保持された被加工部を加工水を供給しつつ切断するための切断手段と、該チャックテーブルの移動方向に沿って配設された排水路と、一端が該チャックテーブルに取り付けられ他端が静止部材に取り付けられた蛇腹機構と、を具備する切断装置において、
該蛇腹機構は、シート部材によって複数の山部と谷部が交互に形成され伸縮自在に構成された蛇腹部材と、該蛇腹部材の複数の山部にそれぞれ装着された複数のプレート部材とを備え、
該プレート部材は、該蛇腹部材の伸縮方向に直交する方向の幅寸法以上の長さと該蛇腹部材が伸長された状態において隣接する山部と山部との間隔より大きい幅を有し、該伸縮方向の片側縁辺部が山部に装着され該伸縮方向の他側縁辺部が隣接するプレート部材の表面に摺動可能に重合せしめられる、
ことを特徴とする切断装置が提供される。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に従って構成された蛇腹機構および蛇腹機構を備えた切断装置の好適実施形態を図示している添付図面を参照して、更に詳細に説明する。
【0013】
図1は、本発明に従って構成された蛇腹機構を備えた切断機の好適実施形態を図示している。全体を番号2で示す切断装置はハウジング4を具備しており、このハウジング4上には待機域6、チャッキング域8、アライメント域10、切断域12、洗浄及び乾燥域14が規定されている。切断すべき被加工物は適宜の搬入手段(図示していない)によって待機域6上に搬入せしめられる。
【0014】
図2には待機域6に搬入せしめられる被加工物の典型例を図示している。図示の被加工物はCSP基板16であり、このCSP基板16は矩形板状である合成樹脂製基板18を有する。合成樹脂製基板18上にはストリート20が格子状に配列されており、このストリート20によって複数個(図示の場合は32個)の矩形領域が区画されている。矩形領域の各々にはCSP22が配設されている。合成樹脂基板18の4周縁部にはCSPが形成されていない所謂耳部24が存在する。図示の実施形態においては、CSP基板16がそれ単独で待機域6に搬入されるのではなく、CSP基板16は装着治具26上に載置されて待機域6に搬入される。適宜の金属板から形成することができる装着治具26はCSP基板16よりも幾分大きい矩形板状である。装着治具26の上面中央部には溝28が格子状に配列されており、この溝28によって複数個(図示の場合は32個)の矩形領域30が区画されている。矩形領域30の各々はCSP基板16におけるCSP22の各々に対応せしめられており、平面図における矩形領域30の寸法はCSP22の寸法と実質上同一である。装着治具26の矩形領域30の各々には厚さ方向に貫通せしめられている吸引孔32が形成されている。装着治具26の裏面には全ての吸引孔32を接続している吸引溝(図示していない)が形成されている。CSP基板16は複数個のCSP22の各々を装着治具26の矩形領域30の各々に整合せしめて装着治具26上に載置される。そして、その上面にCSP基板16が載置された装着治具26が切断装置2の待機域6上に搬入される。
【0015】
再び図1を参照して説明を続けると、待機域6、チャッキング域8並びに洗浄及び乾燥域14に関連せしめて、第一の搬送手段34が配設されている。この第一の搬送手段34は、待機域6に搬入された装着治具26を吸引して、装着治具26とその上面に載置されているCSP基板16をチャッキング域8に搬送し、チャッキング域8に位置せしめられているチャックテーブル36上に載置する。図示の実施形態におけるチャックテーブル36は、装着治具26よりも幾分大きい矩形状の吸引盤38を有する。吸引盤38の中央部には矩形状の吸引開口40が形成されており、この吸引開口40には吸引管42の先端が開口せしめられている。チャックテーブル36の吸引盤38上に装着治具26が搬入されると、吸引管42が真空源(図示していない)に連通せしめられ、これによって吸引盤38上に装着治具26が真空吸引され、そしてまた装着治具26に形成されている吸引孔32の各々が真空源に連通せしめられる故に、CSP基板16(更に詳しくはそのCSP22の各々)が装着治具26に真空吸着される。
【0016】
チャックテーブル36は図1に矢印44及び46で示す方向に往復動自在に装着されており(チャックテーブル36の往復動については後に更に言及する)、そして更に実質上鉛直に延びる中心軸線を中心として回転自在に装着されている。チャッキング域8においてチャックテーブル36上に装着治具26が載置され真空吸着されると、チャックテーブル36が矢印44で示す方向に往動せしめられ、装着治具26上のCSP基板16がアライメント域10に位置付けられる。アライメント域10には顕微鏡を含有している撮像手段48が配設されており、CSP基板16の表面が撮像手段48によって撮像される。そして撮像された画像を解析することによって、CSP基板16の配置状態、更に詳しくはCSP基板16上のストリート20の各々の位置、即ちチャックテーブル36の往復動方向44及び46であるx方向及びこれに垂直なy方向の位置、が認識されると共に、チャックテーブル36の往復動方向44及び46に対するストリート20の傾斜が認識される。撮像手段48によって撮像される画像はハウジング4上に配設されているモニター50にも表示される。
【0017】
次いで、チャックテーブル36が切断域12に移動せしめられ、CSP基板16の切断が遂行される。切断域12に関連せしめて切断手段52が配設されている。図示の実施形態における切断手段52は、実質上水平に延びる回転軸54の先端部に固定された回転ブレード56から構成されている。回転ブレード56はダイヤモンド粒子を含有した薄肉円板形状の切断刃でよい。切断手段52には、純水の如き加工水を供給するための加工水供給手段58も付設されている。CSP基板16の切断は、次のとおりにして遂行される。最初に、CSP基板16におけるx方向に延びる複数個のストリート20の延在方向がチャックテーブル36の往復動方向44及び46に精密に平行に設定され、そして複数本のストリート20の特定の1個のy方向位置が回転切断刃56のy方向位置に精密に整合せしめられる。この位置合わせの際には、撮像手段48によって撮像されたCSP基板16の表面の画像の解析結果が利用される。しかる後に、所定高さに位置せしめられている回転ブレード56が矢印60で示す方向(即ち、回転ブレード56のCSP基板16に作用する下端部がチャックテーブル36の往動方向44に移動する方向)に回転せしめられると共に、チャックテーブ36が矢印44で示す方向に往動せしめられ、回転ブレード56の作用によってCSP基板16が特定の切断ストリート20に沿って切断される(回転ブレード56によるCSP基板16の切断については後に更に言及する)。CSP基板16を切断する回転ブレード56の、CSP基板16の下面を越えて下方に突出する部分は、装着治具26の上面に配設されている溝28内に位置せしめられる。回転ブレード56によってCSP基板16が切断される際には、加工水供給手段58が加工水を供給する。1個の切断ストリート20に沿った切断が終了すると、回転ブレード56が固定されている回転軸54が非作用位置まで上昇せしめられ、チャックテーブル36が所要位置まで矢印46で示す方向に復動せしめられる。そして、チャックテーブル36がy方向にインデックス移動せしめられると共に回転ブレード56が固定されている回転軸54が所定位置まで下降せしめられる。しかる後に、チャックテーブル36が再び往動せしめられ、次のストリート20に沿ってCSP基板16が切断される。かようにしてx方向に延びる複数個のストリート20に沿ってCSP基板16が切断せしめられると、チャックテーブル36が90度の角度範囲に渡って回転せしめられ、それまでy方向に延在していた複数個のストリート20がx方向に延在する状態に位置付けられる。そして、x方向に延在する複数個のストリート20の各々に沿ったCSP基板16の切断が遂行される。
【0018】
切断域12においてCSP基板16が所要とおりに切断された後には、チャックテーブル36はチャッキング域8に戻される。チャッキング域8並びに洗浄及び乾燥域14に関連せしめて第二の搬送手段61が配設されている。第二の搬送手段61はチャックテーブル36上の装着治具26を吸引保持して、装着治具26及びその上に載置されている既にストリート20に沿って切断されたCSP基板16を洗浄及び乾燥域14に搬送し、洗浄及び乾燥域14に配置されているチャック手段(図示していない)上に載置する。そして、洗浄及び乾燥域14に配設されている洗浄及び乾燥手段(図示していない)によって、装着治具26及びその上に存在する切断されたCSP基板16が洗浄され乾燥される。しかる後に、上記第一の搬送手段34によって装着治具26及びその上に存在する切断されたCSP基板16が待機域6に搬送される。そして、装着治具26及びその上の切断されたCSP基板16は、適宜の搬出手段(図示していない)によって、例えば個々に切断されたCSP22を装着治具26上から収容ケースに移送するための移送装置(図示していない)に搬送される。
【0019】
図1を参照して説明を続けると、図示の実施形態においては、チャックテーブル36は図1に示すアライメント域10の上流側に位置する片端位置と切断域12における切断手段52の下流側に位置する他端位置との間を矢印44及び46で示す方向に往復動自在に装着されている。そして、チャックテーブル36にはこれを往復動せしめるための往復動機構(図示していない)が配設されている。それ自体は周知の形態でよい往復動機構は、チャックテーブル36の下方に回転自在に装着されたねじ軸を含んでいる。このねじ軸はチャックテーブル36の往復動方向44及び46に延在している。チャックテーブル36には雌ねじ部材が固定され、かかる雌めじ部材がねじ軸に螺合せしめられている。従って、ねじ軸の正転に応じてチャックテーブル36がねじ軸に沿って矢印44で示す方向に往動され、ねじ軸の逆転に応じてチャックテーブル36がねじ軸に沿って矢印46で示す方向に復動せしめられる。このような往復動機構におけるねじ軸及び雌ねじ部材は精密機械要素であり、切断域12において生成される切断屑、切断域12において供給される加工水からから防護することが必要である。
【0020】
図1と共に図3および図4を参照して説明すると、図示の実施形態においては、チャックテーブル36の往復動方向に見てチャックテーブル36の両側に蛇腹機構62及び64が配設されており、往復動機構におけるねじ軸及び雌ねじ部材の如き精密機械要素はチャクテーブル36自体と共にその両側に配設された第1の蛇腹機構62及び第2の蛇腹機構64によって覆われている。第1の蛇腹機構62は、布の如き折り畳み可能なシート部材によって複数の山部621aと谷部621bが交互に形成され伸縮自在に構成された蛇腹部材621と、該蛇腹部材621の両端にそれぞれ装着され金属板から形成することができる連結部材622、623とからなっている。このように構成された蛇腹部材621は、連結部材622がチャックテーブル36が上記片端位置に位置付けられている時にその上流側に位置する静止部材(図示していない)に連結され、連結部材623がチャックテーブル36の上流側面に連結されている。蛇腹部材621および連結部材622、623とによって構成された第1の蛇腹機構62は、逆チャッネル形状の横断面形状を有する。このように構成された第1の蛇腹機構62の蛇腹部材621は、チャックテーブル36が上記片端位置から上記他端位置に向けて矢印44で示す方向に往動せしめられる際には、チャックテーブル36の往動に応じて漸次伸張せしめられ、チャックテーブル36が上記他端位置から上記片端位置に向けて復動せしめられる際には漸次収縮せしめられる。
【0021】
次に、第2の蛇腹機構64について、図3乃至図6を参照して説明する。
図示の実施形態における第2の蛇腹機構64は、蛇腹部材641と、該蛇腹部材641の上面を覆う複数のプレート部材642と、該複数のプレート部材642と蛇腹部材641との間に配設された複数の保護膜部材643(図5及び図6参照)と、蛇腹部材641の両端にそれぞれ装着され金属板から形成することができる連結部材644、645とからなっている。蛇腹部材641は、上記第1の蛇腹機構62の蛇腹部材621と同様に布の如き折り畳み可能なシート部材によって複数の山部641aと谷部641bが交互に形成され伸縮自在に構成され、逆チャッネル形状の横断面形状を有している。このように構成された第2の蛇腹機構64の蛇腹部材641の一端即ちチャックテーブル36側の端部に装着された連結部材644は、チャックテーブル36の下流側面に連結されている。また、蛇腹部材641の他端即ちチャックテーブル36側と反対側の端部に装着された連結部材645は、後述する静止部材に取り付けられている。従って、第2の蛇腹機構64を構成する蛇腹部材641は、チャックテーブル36が上記片端位置から上記他端位置に向けて矢印44で示す方向に往動せしめられる際にはチャックテーブル36の往動に応じて漸次収縮せしめられ、チャックテーブル36が上記他端位置から上記片端位置に向けて復動せしめられる際には漸次伸張せしめられる。
【0022】
上記複数のプレート部材642は、ポリエステル等の合成樹脂やアルミ合金等の金属材によって形成することができ、図4に示すように蛇腹部材641の伸縮方向に直交する方向の幅寸法L1以上の長さ寸法Laと、図5に示すように蛇腹部材641が最も伸長した状態において隣接する山部641aと山部641aとの間隔L2より大きい伸縮方向の幅Lbを有している。このように形成された複数のプレート部材642は、蛇腹部材641の伸縮方向の片側縁辺部(図5及び図6において右側縁辺部)即ち移動部材であるチャックテーブル36側の縁辺部が蛇腹部材641の山部641aにそれぞれ接着剤によって装着され、他側縁辺部(図5及び図6において左側縁辺部)即ち移動部材であるチャックテーブル36と反対側の縁辺部がそれぞれ隣接するプレート部材(図示の実施形態においては、図5及び図6において左側のプレート部材)の表面に摺動可能に重合せしめられる。このようにして、蛇腹部材641の上側に配設された複数のプレート部材642は、図5に示す蛇腹部材641が最も伸長した状態と図6に示す収縮した状態との間を伸縮するに伴って、他側縁辺部が隣接するプレート部材の表面上を摺動することにより、蛇腹部材641の伸縮作用の妨げとはならない。従って、蛇腹部材641の上側は常に複数のプレート部材642に覆われているので、切断屑が蛇腹部材641の谷部に侵入することがなく、切断屑による蛇腹部材641の破損が防止される。
【0023】
上記複数のプレート部材642と蛇腹部材641との間に配設された複数の保護膜部材643は、ポリウレタンエラストマー等の可撓性部材によって形成されており、プレート部材642の長さ寸法Laと略同じ長さ寸法を有している。このように形成された保護膜部材643は、その伸縮方向の片側縁辺がプレート部材642の伸縮方向中央部裏面に接着材によって装着され、その幅方向の他側縁辺が隣接するプレート部材642(図5及び図6において左側のプレート部材)が装着された蛇腹部材641の山部641aに接着材によって装着されている。保護膜部材65の伸縮方向の幅寸法は、少なくとも図5に示すように蛇腹部材641が最も伸長した状態まで蛇腹部材641の伸長を許容する値に設定されている。なお、保護膜部材65は、蛇腹部材641が収縮した場合には図6に示すようにプレート部材642の裏面に沿って湾曲せしめられる。このように、保護膜部材65を配設することにより、万が一重なり合ったプレート部材642間から切断屑が侵入しても蛇腹部材641の谷部に侵入することを防止できる。
【0024】
図3及び図4に示すように、上記チャックテーブル36及び第1の蛇腹機構62、第2の蛇腹機構64の下側及び両側方を覆う仕切部材66が配設されている。この仕切部材66は底壁661とその両側縁から上方に延びる両側壁662、663を有する。底壁661の上面には図4に示されているように上記両側壁662、663とそれぞれ平行に仕切り板68、70が取り付けられている。従って、仕切部材66の底壁661上には、側壁662と仕切り板68によって形成される排水路72と、側壁663と仕切り板70によって形成される排水路74とが設けられる。なお、上記仕切り板68と70との間隔は、上記蛇腹機構64を構成する蛇腹部材641の幅寸法L1より小さい値に設定されている。従って、仕切り板68、70は、横断面形状が逆チャッネル形状の蛇腹部材641によって包囲される。後述するように排水路72、74には加工水と共に切断屑が飛散するが、この加工水及び切断屑をチャックテーブル36の往動方向に見て下流側に流動せしめるために、仕切り板68はチャックテーブル36の往動方向44に見て下流に向かって若干下方に傾斜せしめられていることが望ましい。加えて、チャックテーブル36の往動方向に見て下流側に指向された、水でよい液体流を生成せしめる液体噴射手段(図示していない)を配設することができる。図示の実施形態においては、上記仕切り板68、70の下流側端面には、両者間を連結する静止部材としての取付け板76が装着されている。この取付け板76に上記第2の蛇腹機構64を構成する蛇腹部材641に装着された連結部材645が締結ボルト78によって取り付けられる。
【0025】
図3を参照して説明を続けると、上記仕切部材66の下流側端部、即ち第2の蛇腹機構64を構成する蛇腹部材641に装着された連結部材645が取り付けられた静止部材としての取付け板76の下方には、切断屑収集手段80が配設されている。図示の実施形態における切断屑収集手段80は、切断屑搬送手段82と切断屑収集容器84とを含んでいる。切断屑搬送手段82は、仕切部材66の幅方向に延在せしめられている無端搬送ベルト機構から構成されており、駆動ローラ821と従動ローラ822、823およびこれらのローラに巻き掛けられた無端ベルト824を含んでいる。駆動ローラ821は電動モータ825の駆動軸に伝動連結されており、矢印826で示す方向に回転駆動され、これによって無端ベルト824が矢印827で示す方向に駆動せしめられる。合成ゴムの如き適宜の材料から形成することができる無端ベルト824には、多数の排水孔828が形成されていることが望ましい。切断屑収集容器84は、切断屑搬送手段82の下側に配設され、上面が開放された箱状に形成されている。この切断屑収集容器84の内部は、仕切り板841によって切断屑収容部842と排水収容部843に区画されている。切断屑収容部842を形成する底壁には排出開口842aが形成されており、この排出開口842aの直下にはゴミ箱87が配設される。排水収容部843を形成する底壁には排水口844が設けられており、この排水口844は図示しない排水ダクトに接続されている。図示の実施形態における切断屑収集手段80は、切断屑収集容器84の切断屑収容部842に配設され、上記無端ベルト824の下方走行部の下端部において無端ベルト804の表面に接触乃至近接するブラシ手段86を備えている。このブラシ手段86は、無端ベルト804によって搬送される切断屑を剥離する。
【0026】
図1と共に図3乃至図6を参照して説明を続けると、切断域12におけるCSP基板16の切断に起因して仕切部材66によって規定されている排水路72及び排水路74上に飛散した切断屑及び加工水は、チャックテーブル36の往動方向44に排水路72及び排水路74を流下し、排水路72及び排水路74の下流端から切断屑搬送手段82の無端ベルト824上に落下せしめられる。チャックテーブル36の往動方向44に見てチャックテーブル36の下流側に飛散した切断屑及び加工水は、第2の蛇腹機構64を構成する蛇腹部材641の上側を覆う複数のプレート部材642上に落下する。従って、蛇腹部材641上に直接的に切断屑、特に比較的大きい切断屑90が落下せしめられることはない。チャックテーブル36が往動方向44に往動せしめられ、これに応じて複数のプレート部材642が往動方向44に移動せしめられると、複数のプレート部材642上に飛散した切断屑90及び加工水も複数のプレート部材642と共に往動方向44に移動せしめられる。このとき、複数のプレート部材642は移動部材であるチャックテーブル36側の縁辺部が蛇腹部材641の山部641aにそれぞれ接着剤によって装着されているので、プレート部材642上に飛散した切断屑90は順次往動方向44に送り出す作用があり、切断屑90の移動が円滑に行われる。そして、切断屑90が最下流のプレート部材642に達すると、加工水と共に切断屑搬送手段82の無端ベルト824上に落下せしめられる。無端ベルト824上に落下せしめられた切断屑は無端ベルト824の移動に付随して矢印827で示す方向に搬送され、無端ベルト824の方向変化部位において切断屑収集容器84の切断屑収容部842内に落下され、或いはブラシ手段86の作用によって無端ベルト824から離脱せしめられて切断屑収集容器84の切断屑収容部842内に導かれる。そして、切断屑収容部842内に導かれた切断屑は、排出開口842aを通してゴミ箱87に排出される。一方、無端ベルト824上の落下せしめられた加工水は、無端ベルト824に形成されている排水孔828を通って流下して、切断屑収集容器84の排水収容部843内に落下する。
【0027】
以上、本発明に従って構成された蛇腹機構および蛇腹機構を装備した切断装置の好適実施形態について詳細に説明したが、本発明は実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形乃至修正が可能であることは言うまでもない。例えば、図示の実施形態においては、チャックテーブルの両側に配設した蛇腹機構の一方に関して本発明に従って構成された蛇腹機構を適用した例を示したが、切断屑が双方の蛇腹機構に飛散する虞がある場合等においては、双方の蛇腹機構に関して本発明に従って構成された蛇腹機構を適用することもできる。また、本発明に従って構成された蛇腹機構は、切断装置に限らず他の加工装置に広く適用するすることが可能である。
【0028】
【発明の効果】本発明の蛇腹機構においては、蛇腹部材の複数の山部にそれぞれ装着された複数のプレート部材を備えいるので、飛散した切断屑等は複数のプレート部材上に落下して蛇腹部材の谷部には侵入しないので、飛散した切削屑等によって蛇腹部材の円滑な収縮及び伸張が阻害され或いは蛇腹部材が損傷されることが効果的に防止される。また、プレート部材は蛇腹部材の伸縮に伴って作動するので、作動手段が不要となり、構造が簡単になると共に安価な蛇腹機構を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に従って構成された蛇腹機構を装備した切断装置の全体を示す斜面図。
【図2】図1の切断装置によって切断されるCSP基板及びこれをチャックテーブルに装着するために使用される装着治具を示す分解斜面図。
【図3】図1の切断装置における蛇腹機構及びこれらの関連手段を示す部分斜面図。
【図4】図1の切断装置における蛇腹機構及びこれらの関連手段を示す分解斜面図。
【図5】図2及び図3に示す蛇腹機構を構成する蛇腹部材が伸長下状態を示す要部拡大断面図。
【図6】図2及び図3に示す蛇腹機構を構成する蛇腹部材が収縮した状態を示す要部拡大断面図。
【符号の説明】
2:切断装置
4:ハウジング
6:待機域
8:チャッキング域
10:アライメント域
12:切断域
14:洗浄及び乾燥域
16:CSP基板
20:切断ストリート
22:CSP
24:耳部
26:装着治具
36:チャックテーブル
52:切断手段
56:回転切断刃
58:加工水供給手段
62:第1の蛇腹機構
621:蛇腹部材
621a:蛇腹部材の山部
621b:蛇腹部材の谷部
622、623:連結部材
64:第2の蛇腹機構
641:蛇腹部材
641a:蛇腹部材の山部
641b:蛇腹部材の谷部
642:プレート部材
643:保護膜部材
644、645:連結部材
66:仕切部材
68、70:仕切り板
72、74:排水路
76:取付け板
80:切断屑収集手段
82:切断屑搬送手段
84:切断屑収集容器
90:比較的大きな切断屑[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a bellows mechanism configured to be extendable and contractible and a cutting device equipped with the bellows mechanism.
[0002]
[Prior art]
In a semiconductor device manufacturing process, circuits such as ICs and LSIs are formed in a large number of regions arranged in a lattice on the surface of a semiconductor wafer having a substantially disk shape, and each region where the circuits are formed is formed into a predetermined street. Individual semiconductor chips are manufactured by dicing along a cutting line called "cutting line". The semiconductor chips thus divided are packaged and widely used for electric devices such as mobile phones and personal computers.
Electric devices such as mobile phones and personal computers are required to be lighter and smaller, and a package technology that can reduce the size of a semiconductor chip package called a chip size package (CSP) has been developed. As one of the CSP technologies, a package technology called Quad Flat Non-lead Package (QFN) has been put to practical use. This package technology called QFN is based on a technique in which a plurality of connection terminals corresponding to connection terminals of a semiconductor chip are formed, and a plurality of semiconductor chips are mounted on a metal plate such as a copper plate in which streets defined for each semiconductor chip are formed in a grid pattern. Are arranged in a matrix, and the metal plate and the semiconductor chip are integrated by a resin portion molded with resin from the back surface side of the semiconductor chip to form a CSP substrate. The CSP substrate is cut along the streets to be divided into individually packaged chip size packages (CSP).
[0003]
The CSP substrate is cut by a precision cutting device generally called a dicing device. This cutting device includes a chuck table that is reciprocated and cutting means for cutting a portion to be processed held on the chuck table. The cutting means is composed of a disk-shaped rotating blade containing diamond particles. Further, the cutting means is provided with processing water supply means for supplying processing water which may be pure water. When the chuck table moves forward and / or backward, a rotating blade acts on the CSP substrate on the chuck table, and the CSP substrate is cut. A reciprocating mechanism for reciprocating the chuck table includes a rotatable screw shaft extending in the reciprocating direction and a female screw member screwed to the screw shaft. It is installed. The screw shaft and the female screw member are so-called precision mechanical elements, and it is necessary to prevent chips and / or processing water from adhering to the mechanical elements. Due to the rotation direction of the rotating blade, the cutting chips and processing water mainly rotate in one direction when viewed in the reciprocating direction of the chuck table, for example, in a direction in which a portion acting on the CSP substrate moves in the forward direction of the chuck table. Is rotated, it is scattered downstream in the forward direction of the chuck table. Part of the processing water becomes fog and scatters upstream as viewed in the forward movement direction of the chuck table. Therefore, a bellows mechanism is provided on at least one side, usually both sides, as viewed in the reciprocating direction of the chuck table, and covers precision mechanical elements such as a screw shaft. When the chuck table moves forward or backward, the bellows mechanism arranged on the downstream side in the forward movement direction of the chuck table is contracted, and the bellows mechanism arranged on the upstream side is extended. When the chuck table moves back, the bellows mechanism arranged on the upstream side in the forward movement direction of the chuck table is contracted, and the bellows mechanism arranged on the downstream side is extended.
[0004]
When the CSP substrate is cut by the above-described cutting device, there is a so-called ear portion on which no CSP is formed at the edge of the CSP substrate. When the rotary blade is rotated in a direction in which the portion acting on the CSP substrate moves in the forward direction of the chuck table, a bellows disposed on the downstream side in the forward direction of the chuck table. It is scattered on the mechanism. Relatively large cuttings scattered on the bellows mechanism tend to inhibit smooth contraction and extension of the bellows mechanism. Bellows mechanisms are usually made of cloth or similar sheet material because they need to be able to contract and stretch smoothly. Therefore, there is a possibility that relatively large cutting chips scattered on the bellows mechanism may cause damage such as a hole in the bellows means.
[0005]
In order to solve the above-mentioned problem, a protective sheet for covering the upper surface of the bellows mechanism is provided, and this protective sheet is appropriately wound up with the reciprocation of the chuck table, and thus with the contraction and extension of the bellows mechanism. And a cutting device configured to be rewound has been proposed. (For example, refer to Patent Document 1.)
[0006]
[Patent Document 1]
JP-A-2002-239888
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
Therefore, the structure disclosed in the above publication requires a winding mechanism for winding or rewinding the protective sheet covering the upper surface of the bellows mechanism in association with the reciprocating movement of the chuck table, which complicates the structure. In addition, it is not satisfactory in terms of cost.
[0008]
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and a main technical problem thereof is to provide an inexpensive bellows mechanism capable of reliably protecting a bellows member and a cutting device including the bellows mechanism.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
According to an embodiment of the present invention, there is provided a bellows member having a plurality of peaks and valleys formed alternately by a sheet member and configured to be expandable and contractable, and one end of the bellows member in the expansion and contraction direction. Is a bellows mechanism attached to the moving member and the other end is attached to the stationary member,
A plurality of plate members respectively attached to a plurality of peaks of the bellows member,
The plate member has a length that is equal to or greater than a width dimension in a direction perpendicular to the direction in which the bellows member expands and contracts, and a width that is greater than the distance between adjacent peaks when the bellows member is extended. One side edge in the direction is attached to the mountain portion, and the other side edge in the expansion and contraction direction is slidably overlapped on the surface of the adjacent plate member,
A bellows mechanism is provided.
[0010]
It is preferable that the edge of the plate member on the side of the moving member is mounted on the peak of the bellows member. In addition, there is provided a flexible protective film member having one side edge mounted on the back surface of the plate member and a second side edge mounted on a peak adjacent to the peak of the bellows member on which the plate member is mounted. It is desirable.
[0011]
Further, according to the present invention, a chuck table which is reciprocated, cutting means for cutting a portion to be processed held on the chuck table while supplying machining water, and along a moving direction of the chuck table And a bellows mechanism having one end attached to the chuck table and the other end attached to a stationary member.
The bellows mechanism includes a bellows member that is formed to extend and contract by alternately forming a plurality of peaks and valleys by a sheet member, and a plurality of plate members respectively attached to the plurality of peaks of the bellows member. ,
The plate member has a length that is equal to or greater than a width dimension in a direction perpendicular to the direction in which the bellows member expands and contracts, and a width that is greater than the distance between adjacent peaks when the bellows member is extended. One side edge in the direction is attached to the mountain portion, and the other side edge in the expansion and contraction direction is slidably overlapped on the surface of the adjacent plate member,
A cutting device is provided.
[0012]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of a bellows mechanism configured according to the present invention and a cutting apparatus having the bellows mechanism will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
[0013]
FIG. 1 illustrates a preferred embodiment of a cutting machine with a bellows mechanism configured according to the present invention. The cutting device, generally designated by the
[0014]
FIG. 2 shows a typical example of a workpiece to be carried into the waiting area 6. The illustrated workpiece is a
[0015]
Referring again to FIG. 1, the first transport means 34 is provided in association with the standby area 6, the chucking area 8, and the cleaning and drying
[0016]
The chuck table 36 is reciprocally mounted in the directions indicated by
[0017]
Next, the chuck table 36 is moved to the cutting
[0018]
After the
[0019]
Continuing the description with reference to FIG. 1, in the illustrated embodiment, the chuck table 36 is positioned at one end located upstream of the
[0020]
Referring to FIGS. 3 and 4 together with FIG. 1, in the illustrated embodiment, bellows
[0021]
Next, the
The second bellows
[0022]
The plurality of
[0023]
The plurality of
[0024]
As shown in FIGS. 3 and 4, a
[0025]
Continuing with reference to FIG. 3, mounting as a stationary member to which the connecting
[0026]
With reference to FIGS. 3 to 6 together with FIG. 1, the cutting scattered on the
[0027]
As described above, the preferred embodiment of the bellows mechanism and the cutting device equipped with the bellows mechanism configured according to the present invention has been described in detail, but the present invention is not limited to the embodiment and departs from the scope of the present invention. Needless to say, various changes and modifications are possible. For example, in the illustrated embodiment, an example is shown in which the bellows mechanism configured according to the present invention is applied to one of the bellows mechanisms disposed on both sides of the chuck table, but there is a possibility that cutting chips may scatter to both bellows mechanisms. In some cases, the bellows mechanism configured according to the present invention can be applied to both bellows mechanisms. Further, the bellows mechanism configured according to the present invention can be widely applied not only to the cutting device but also to other processing devices.
[0028]
According to the bellows mechanism of the present invention, since a plurality of plate members are respectively mounted on the plurality of peaks of the bellows member, scattered cutting debris or the like falls on the plurality of plate members and falls on the bellows member. Since it does not enter the valleys of the members, the smooth shrinkage and expansion of the bellows member are hindered or the bellows member is effectively prevented from being damaged by scattered cuttings and the like. In addition, since the plate member operates in accordance with the expansion and contraction of the bellows member, no operation means is required, and the structure is simplified, and a cheap bellows mechanism can be obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an entire cutting apparatus equipped with a bellows mechanism configured according to the present invention.
FIG. 2 is an exploded perspective view showing a CSP substrate cut by the cutting device of FIG. 1 and a mounting jig used to mount the CSP substrate on a chuck table.
FIG. 3 is a partial oblique view showing a bellows mechanism and related means in the cutting apparatus of FIG. 1;
FIG. 4 is an exploded perspective view showing the bellows mechanism and the related means in the cutting device of FIG. 1;
FIG. 5 is an enlarged sectional view of a main part showing a bellows member constituting the bellows mechanism shown in FIGS. 2 and 3 in an extended state;
FIG. 6 is an enlarged sectional view of a main part showing a state where a bellows member constituting the bellows mechanism shown in FIGS. 2 and 3 is contracted;
[Explanation of symbols]
2: Cutting device
4: Housing
6: Standby area
8: Chucking area
10: alignment area
12: Cutting area
14: Washing and drying area
16: CSP board
20: Cutting Street
22: CSP
24: Ear
26: Mounting jig
36: Chuck table
52: cutting means
56: Rotary cutting blade
58: Processing water supply means
62: first bellows mechanism
621: bellows member
621a: Crest of bellows member
621b: Valley of bellows member
622, 623: connecting member
64: second bellows mechanism
641: bellows member
641a: Crest of bellows member
641b: Valley of bellows member
642: plate member
643: protective film member
644, 645: connecting member
66: Partition member
68, 70: Partition plate
72, 74: drainage channel
76: Mounting plate
80: cutting waste collecting means
82: cutting waste conveying means
84: Cutting waste collection container
90: relatively large cutting waste
Claims (4)
該蛇腹部材の複数の山部にそれぞれ装着された複数のプレート部材を備え、
該プレート部材は、該蛇腹部材の伸縮方向に直交する方向の幅寸法以上の長さと該蛇腹部材が伸長された状態において隣接する山部と山部との間隔より大きい幅を有し、該伸縮方向の片側縁辺部が山部に装着され該伸縮方向の他側縁辺部が隣接するプレート部材の表面に摺動可能に重合せしめられる、
ことを特徴とする蛇腹機構。A plurality of peaks and valleys are alternately formed by the sheet member, and the bellows member is configured to be extendable and contractible. One end of the bellows member in the direction of expansion and contraction is attached to the moving member, and the other end is attached to the stationary member. A bellows mechanism,
A plurality of plate members respectively attached to a plurality of peaks of the bellows member,
The plate member has a length that is equal to or greater than a width dimension in a direction perpendicular to the direction in which the bellows member expands and contracts, and a width that is greater than the distance between adjacent peaks when the bellows member is extended. One side edge in the direction is attached to the mountain portion, and the other side edge in the expansion and contraction direction is slidably overlapped on the surface of the adjacent plate member,
A bellows mechanism characterized in that:
該蛇腹機構は、シート部材によって複数の山部と谷部が交互に形成され伸縮自在に構成された蛇腹部材と、該蛇腹部材の複数の山部にそれぞれ装着された複数のプレート部材とを備え、
該プレート部材は、該蛇腹部材の伸縮方向に直交する方向の幅寸法以上の長さと該蛇腹部材が伸長された状態において隣接する山部と山部との間隔より大きい幅を有し、該伸縮方向の片側縁辺部が山部に装着され該伸縮方向の他側縁辺部が隣接するプレート部材の表面に摺動可能に重合せしめられる、
ことを特徴とする切断装置。A chuck table that is reciprocated; cutting means for cutting the workpiece held on the chuck table while supplying machining water; and a drainage channel disposed along the moving direction of the chuck table. A bellows mechanism having one end attached to the chuck table and the other end attached to a stationary member,
The bellows mechanism includes a bellows member that is formed to extend and contract by alternately forming a plurality of peaks and valleys by a sheet member, and a plurality of plate members respectively attached to the plurality of peaks of the bellows member. ,
The plate member has a length that is equal to or greater than a width dimension in a direction perpendicular to the direction in which the bellows member expands and contracts, and a width that is greater than the distance between adjacent peaks when the bellows member is extended. One side edge in the direction is attached to the mountain portion, and the other side edge in the expansion and contraction direction is slidably overlapped on the surface of the adjacent plate member,
A cutting device characterized by the above-mentioned.
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