JP2004156979A - 回転体表面形状測定装置及び光ディスク表面形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、モアレトポグラフィ法やステレオ法を回転体測定に適するように改良し、回転体の変形形状測定が可能な回転体表面形状測定装置及び光ディスク表面形状測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の回転体表面形状測定装置は、一定の定型パターンを回転体上に設置し、設置された定型のパターン像を撮影し記録する撮影記録装置と、撮影された定型パターンの変形度を計算する演算装置と、定型パターンの後方から回転体の回転に同期して照明光を定型パターンにストロボ状に照明する照明装置と、回転体表面にパターン像を投影する投影装置とを有する。
【選択図】 図2
【解決手段】本発明の回転体表面形状測定装置は、一定の定型パターンを回転体上に設置し、設置された定型のパターン像を撮影し記録する撮影記録装置と、撮影された定型パターンの変形度を計算する演算装置と、定型パターンの後方から回転体の回転に同期して照明光を定型パターンにストロボ状に照明する照明装置と、回転体表面にパターン像を投影する投影装置とを有する。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は回転体表面形状測定装置及び光ディスク表面形状測定装置に関し、詳細には可撓性を有するシート状の回転体の変形形状を測定する回転体表面形状測定装置、特に可撓性を有する光ディスクシステムのうち、近接するガイドとディスクの間の空気流によって安定化された面を用いて記録再生を行うファンディスクシステムの光ディスク表面形状測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
【特許文献1】特許第2,817,338号明細書
【特許文献2】特開2000−258139号公報
従来、回転体の表面形状を測定する手法としては、接触型のプローブ等を被計測物体表面に接触させ、その力やプローブの位置関係から表面形状を測定する方法や非接触式の計測方法として干渉計を用いる方法がある。しかし、前者は表面を走査しなくてはならず計測に多大な時間を要し、後者も精度は高いものの計測時間やコストが多大になるという問題があった。
【0003】
非接触の測定手法には、上記特許文献1に示されるような、物体面上に格子状・縞状等のパターンを投射し、物体の形状により変形した縞模様と基準の縞模様とを重ね合わせ、それの差周波数として生じる等高線を表わすモアレ縞を解析することにより、物体の形状を測定する方法、いわゆるモアレトポグラフィ法がある。また、上記特許文献2に示されるような、物体表面上の格子状・縞状等のパターンを複数の撮影装置を用いてステレオ撮影の原理を用いて物体の形状を測定する方法、いわゆるステレオ法がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、いずれの方法でも静止した物体表面の形状を測定することしか意図されておらず、回転体の変形形状測定に直接適用できない。一方、近年可撓性を有する光ディスクの表面に近接して設けられたガイドとの間に生ずるベルヌーイ現象を利用して安定化を行うファンディスクシステムが将来の大容量記録媒体として開発されているが、その変形形状は3次元的な非常に複雑な形状をしており、その安定化の評価は大変困難であった。また、その安定化点における面形状は光ディスクの材料特性に対して一意であり、その条件を利用することで安定化を容易に行わせることができるという点がある。
【0005】
本発明はこれらの問題点を解決するためのものであり、モアレトポグラフィ法やステレオ法を回転体測定に適するように改良し、回転体の変形形状測定が可能な回転体表面形状測定装置及び光ディスク表面形状測定装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記問題点を解決するために、被測定対象物たるシート状の回転体の表面形状を測定する、本発明の回転体表面形状測定装置は、一定の定型パターンを回転体上に設置し、設置された定型のパターン像を撮影し記録する撮影記録装置と、撮影された定型パターンの変形度を計算する演算装置と、定型パターンの後方から回転体の回転に同期して照明光を定型パターンにストロボ状に照明する照明装置と、回転体表面にパターン像を投影する投影装置とを有することに特徴がある。よって、簡易非接触で回転体の回転に同期した表面変形形状を3次元的に計測する回転体表面形状測定装置を提供することができる。
【0007】
また、別の発明としての回転体表面形状測定装置は、一定の定型パターンを回転体上に設置し、設置された定型のパターン像を撮影し記録する撮影記録装置と、撮影された定型パターンの変形度を計算する演算装置と、定型パターンの後方から回転体の回転に同期して照明光を定型パターンにストロボ状に照明する照明装置とを有し、ステレオ法の原理で定型パターンの形状を測定する。よって、簡易非接触で回転体の回転に同期した表面変形形状を3次元的に計測する回転体表面形状測定装置を提供することができる。
【0008】
更に、撮影記録装置は時系列的にパターン像情報を動画として記録可能であることにより、回転周波数によらない時系列に変形形状が変化する場合でも回転体の表面変形形状を3次元的に測定する回転体表面形状測定装置を提供できる。
【0009】
また、撮影記録装置はRGBカラー情報を記録可能であることにより、一般に普及しているカラーCCDを用いることで時系列の情報密度を増加させることができる
【0010】
更に、回転体表面に描かれた定型パターンは特定波長の光源に対してのみ可視状態となることにより、回転体表面の計測用のパターンを通常は非可視にすることで、回転体の外見の自由度をあげることができる。
【0011】
また、上記記載の回転体表面形状測定装置と、可撓性を有するシート状の光ディスクを回転させる回転駆動手段と、光ディスクの記録面とは反対面側に設置され、少なくとも光ディスクにおける書込あるいは読取が行われる部位における回転軸方向の振れを空気流の圧力差よって安定化させる安定化手段とを有し、安定化手段が光ディスク方向に突出する突出部材である。よって、簡易非接触でファンディスクシステムの回転に同期した表面変形形状を3次元的に計測する回転体表面形状測定装置を提供できる。
【0012】
更に、安定化条件データを記録した記録装置と、測定された表面形状値から安定化状態を制御する制御装置とを有していることにより、簡易非接触でファンディスクシステムの回転に同期した表面変形形状を3次元的に計測する回転体表面形状測定によって、動的に駆動状態を制御し、更に安定化を図ることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明の回転体表面形状測定装置は、一定の定型パターンを回転体上に設置し、設置された定型のパターン像を撮影し記録する撮影記録装置と、撮影された定型パターンの変形度を計算する演算装置と、定型パターンの後方から回転体の回転に同期して照明光を定型パターンにストロボ状に照明する照明装置と、回転体表面にパターン像を投影する投影装置とを有する。
【0014】
【実施例】
図1はモアレトポグラフィ法の基本原理を示す図である。同図において、被測定対象物1と点状光源3との間に、等間隔に定型の基準パターン2、例えば直線状や格子状のパターンを配置し、この基準パターン2を点状光源3によって照明することによって、基準パターン2の影を被測定対象物1に直接投影する。すると、被測定対象物体1の表面には、基準パターン2の影が被測定対象物1の表面形状に応じて変形された変形パターン4となって投影される。この被測定対象物1上に投影された変形格子の変形パターン4を、基準パターン2とほぼ同じ高さに設定された観察点5から観察することによって変形パターン4とその前方に位置する基準パターン2とを重合わすことによって観察することでモアレパターンが生ずる。モアレパターンの現れる位置が物体の高さ、つまり基準パターン2からの距離の等しいところになり、このモアレパターンの位置は、所定の幾何学的な計算によって求まる。例えばフーリエ変換法により、基準周波数成分を抽出し、基準正弦波との重畳によりCCDの各ピクセルに対応した相対位相と絶対位相を計算し、絶対位相値と深さ(Z方向)の関係から値を計算する。結果的に被測定対象物1の形状を測ることができるようになっている。
【0015】
図2は本発明の第1の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、被測定対象物100は回転する回転体の表面形状である。撮影システム20は、光電素子を備えるCCDカメラ21、定型の基準パターン22及び光源23を含んで構成されている。また、光源23は、回転体の回転を制御する回転制御装置24によって、その発光間隔が制御され、例えば回転周波数と一致する発光間隔を有している。光源23は、例えばハロゲンを用いたストロボ光源などが用いられる。上述した演算を行う演算装置25によって、被測定対象物100の表面形状の測定結果が演算される。光源23の発光間隔が回転周波数と一致しているため、回転周期に対する形状変動が十分小さければ、一回の撮影から得られた計測データを複数回平均化することによってその計測誤差を少なくすることができる。
【0016】
図3はステレオ法の基本原理を示す図である。同図において、2つの結像レンズ33は光軸間隔Aで配置され、2つのCCD撮影装置32はそれぞれ結像レンズ33に対して焦点距離fの位置に配置されている。このとき、被測定対象物30上における点31の像の結像位置が結像レンズ33の中点からの距離がそれぞれX,Yであったとすると、被測定対象物30上の点31までの距離Lは以下のように表される。
【0017】
L=A・f(−X+Y−A)
【0018】
この測定を被測定対象物の全面に渡って行うことにより、被測定対象物の表面形状を測定することができる。
【0019】
図4は本発明の第2の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、被測定対象物100は回転する回転体の表面形状である。撮影システム40は、光電素子と結像レンズを備える2台のCCDカメラ41と、レーザ光源42とを含んで構成されている。レーザ光源42は回転体の回転を制御する回転制御装置43によって、その発光間隔が制御され、例えば回転周波数と一致する発光間隔を有している。上述した演算を行う演算装置44によって、被測定対象物100の表面形状の測定結果が演算される。レーザ光源42の発光間隔が回転周波数と一致しているため、回転周期に対する形状変動が十分小さければ、一回の撮影から得られた計測データを複数回平均化することによってその計測誤差を少なくすることができる。
【0020】
図5は本発明の第3の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図2と同じ参照符号は同じ構成要素である。ここで、回転体によっては回転周波数による変動以外にも時系列によってゆがみが大きくなっている現象が存在することが知られている。そのような回転体表面形状を測定する際には、光源の発光制御のみでは不十分である。そこで、第1の実施例に加えてCCD画像を時系列的に記録するHDDレコーダ26を設置し、演算装置25は時系列に画像データを分解して、この画像データに対して演算を行うようにする。このようにして、上記時系列に依存する形状変形データを計測することが可能となる。
【0021】
図6は本発明の第4の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図2と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。異なる構成要素として、例えばRGBの各色の光のみを透過させるフィルタを、発光装置の発光に応じて切り替えることによって、時系列の情報を効率的に得ることができる。例えば発光間隔を回転周波数の1/3に設定し、発光の1サイクルの間に各色のフィルタを切り替えることによって、時系列的に3倍のデータを獲得することができる。同図中、各色のフィルタはステージ27上に配置され、このステージ27は制御装置24によって発光間隔と同期して各色フィルタを切り替えられる構成となっている。このときCCDカメラ23がRGBの各色を撮影することができる機能を有していれば、効果的に時系列データを得ることができる。
【0022】
図7は本発明の第5の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図4と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。異なる構成要素として、第2の実施例に加えてCCD画像を時系列的に記録するHDDレコーダ45を設置し、演算装置44は時系列に画像データを分解して、ここの画像データに対して演算を行うようにする。このようにして、上記時系列に依存する形状変形データを計測することが可能となる。
【0023】
図8は本発明の第6の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図7と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。被測定対象物100の回転体表面には、特定の波長に対して可視状態となるインクによって描かれた定型パターン101が設置されている。例えば紫外線に対して蛍光状態となるフォトクロミック塗料である。レーザ光源42は紫外線域の波長の光源である。このような構成であれば、通常の非測定時には定型パターン101が生じず、測定時にはこの定型パターン101を用いてより高精度の測定が可能となる。
【0024】
図9はファンディスクシステムの簡単な説明図である。同図において、可撓性を有するシート状の光ディスク10を回転させる回転駆動手段と、光ディスク10の記録面とは反対面側に設置され、光ディスク10における書込あるいは読取が行われる部位における回転軸方向の振れを空気流の圧力差よって安定化させる安定化手段(以下ガイドと称す)11とを備え、ガイド11は光ディスク方向に突出する突出部材である。光ディスク10の材料特性とガイド11の表面形状・回転速度・重力方向によって光ディスク10の安定化時の変形形状が決まる。一般にはガイド11の押し込み方向と逆方向に光ディスク10は変形する。変形した光ディスク10の一部の領域において記録再生面に使用される。安定化状態は光ディスク10の材質やガイドの形状等に非常に敏感であり、表面形状の2次元形状測定は安定化の条件を設定するために重要な計測量である。
【0025】
図10は本発明の第7の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図2と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。撮影システム20は、光電素子を備えるCCDカメラ21、定型の基準パターン22及び光源23を含んで構成されている。また、光源23は、回転体の回転を制御する回転制御装置24によってその発光間隔が制御され、例えば回転周波数と一致する発光間隔を有している。上述した演算を行う演算装置25によって、ファンディスク10の表面形状の測定結果が演算される。光源23の発光間隔が回転周波数と一致しているため、回転周期に対する形状変動が十分小さければ、一回の撮影から得られた計測データを複数回平均化することによってその計測誤差を少なくすることができる。ファンディスクシステムの安定化状態に応じた変形形状を計測することが可能となり、安定化状態の条件特定に特に有効である。
【0026】
図11は本発明の第8の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図4と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。撮影システム40は、光電素子と結像レンズを備える2台のCCDカメラ41と、レーザ光源42とを含んで構成されている。レーザ光源42は回転体の回転を制御する回転制御装置43によって、その発光間隔が制御され、例えば回転周波数と一致する発光間隔を有している。上述した演算を行う演算装置44によって、ファンディスク10の表面形状の測定結果が演算される。レーザ光源42の発光間隔が回転周波数と一致しているため、回転周期に対する形状変動が十分小さければ、一回の撮影から得られた計測データを複数回平均化することによってその計測誤差を少なくすることができる。ファンディスクシステムの安定化状態に応じた変形形状を計測することが可能となり、安定化状態の条件特定に特に有効である。
【0027】
図12は本発明の第9の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図8と同じ参照符号は同じ構成要素である。ここで、ファンディスクシステムにおいては回転周波数による変動以外にも時系列によってゆがみが大きくなっている現象が存在することが知られている。そのような場合の表面形状を測定する際には、光源の発光制御のみでは不十分である。そこで、第6の実施例に加えてCCD画像を時系列的に記録するHDDレコーダ等の記録装置45を設置し、演算装置44は時系列に画像データを分解して、ここの画像データに対して演算を行うようにする。このようにして、上記時系列に依存する形状変形データを計測することが可能となる。
【0028】
図13は本発明の第10の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図2と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。撮影システム20は、光電素子を備えるCCDカメラ21と、定型の基準パターン22及び光源23を含んで構成されている。また、光源23は、回転体の回転を制御する回転制御装置24によって、その発光間隔が制御され、例えば回転周波数と一致する発光間隔を有している。上述した演算を行う演算装置25によって、ファンディスク10の表面形状の測定結果が演算される。光源23の発光間隔が回転周波数と一致しているため、回転周期に対する形状変動が十分小さければ、一回の撮影から得られた計測データを複数回平均化することによってその計測誤差を少なくすることができる。このようにして得られた計測結果はHDDレコーダ等の記憶装置26に記録された、予め得られている代表的な安定化条件(変形形状と回転数)と比較され、安定化状態に近づけるように、ディスクの回転数とガイド位置等を制御する。更に、表面形状の計測が行われ、動的に安定化状態に近づいていく制御を行うことによって、より安定した記録再生が行えるようになる。
【0029】
図14は本発明の第11の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図4と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。撮影システム40は、光電素子と結像レンズを備える2台のCCDカメラ41と、レーザ光源42とを含んで構成されている。レーザ光源42は回転体の回転を制御する回転制御装置43によって、その発光間隔が制御され、例えば回転周波数と一致する発光間隔を有している。上述した演算を行う演算装置44によって、ファンディスク10の表面形状の測定結果が演算される。レーザ光源42の発光間隔が回転周波数と一致しているため、回転周期に対する形状変動が十分小さければ、一回の撮影から得られた計測データを複数回平均化することによってその計測誤差を少なくすることができる。このようにして得られた計測結果はHDDレコーダ等の記憶装置45に記録された、予め得られている代表的な安定化条件(変形形状と回転数)と比較され、安定化状態に近づけるように、ディスクの回転数とガイド位置等を制御する。更に、表面形状の計測が行われ、動的に安定化状態に近づいていく制御を行うことによって、より安定した記録再生が行えるようになる。
【0030】
図15は本発明の第12の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図13と同じ参照符号は同じ構成要素である。ここで、ファンディスクシステムにおいては回転周波数による変動以外にも時系列によってゆがみが大きくなっている現象が存在することが知られている。そのような場合の表面形状を測定する際には、光源の回転に同期する発光制御のみでは不十分である。そこで、第6の実施例に加えてCCD画像を時系列的に記録するHDDレコーダ26を設置し、演算装置25は時系列に画像データを分解して、ここの画像データに対して演算を行うようにする。このようにして、上記時系列に依存する形状変形データを計測することが可能となる。このようにして得られた計測結果は、制御装置28によって、HDDレコーダ26に記録された、予め得られている代表的な安定化条件(変形形状と回転数)と比較され、安定化状態に近づけるように、ディスクの回転数とガイド位置等を制御する。更に、表面形状の計測が行われ、動的に安定化状態に近づいていく制御を行うことによって、より安定した記録再生が行えるようになる。
【0031】
図16は本発明の第13の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図2と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。撮影システム20は、光電素子を備えるCCDカメラ21、定型の基準パターン22及び光源23を含んで構成されている。また、光源23は、回転体の回転を制御する回転制御装置24によって、その発光間隔が制御され、例えば回転周波数と一致する発光間隔を有している。上述した演算を行う演算装置25によって、ファンディスク10の表面形状の測定結果が演算される。光源23の発光間隔が回転周波数と一致しているために、回転周期に対する形状変動が十分小さければ、一回の撮影から得られた計測データを複数回平均化することによってその計測誤差を少なくすることができる。このようにして得られた計測結果は、制御装置28に通信回線29を介して接続されるHDDレコーダ26に記録された、予め得られている代表的な安定化条件(変形形状と回転数)と比較され、安定化状態に近づけるように、ディスクの回転数とガイド位置等を制御する。更に、表面形状の計測が行われ、動的に安定化状態に近づいていく制御を行うことによって、より安定した記録再生が行えるようになる。
【0032】
図17は本発明の第14の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図2と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。撮影システム20は、光電素子を備えるCCDカメラ21、定型の基準パターン22及び光源23を含んで構成されている。また、光源23は、回転体の回転を制御する回転制御装置24によって、その発光間隔が制御され、例えば回転周波数と一致する発光間隔を有している。上述した演算を行う演算装置25によって、ファンディスク10の表面形状の測定結果が演算される。光源23の発光間隔が回転周波数と一致しているため、回転周期に対する形状変動が十分小さければ、一回の撮影から得られた計測データを複数回平均化することによってその計測誤差を少なくすることができる。このようにして得られた計測結果は、制御装置28によって、HDDレコーダ26に記録された、予め得られている代表的な安定化条件(変形形状と回転数)と比較され、安定化状態に近づけるように、ディスクの回転数とガイド位置等を制御する。更に、表面形状の計測が行われ、動的に安定化状態に近づいていく制御を行うことによって、より安定した記録再生が行えるようになる。この際、安定化状態が選択可能な複数な場合には、更に安定化状態データベースには予め計測された消費電力のカラムを用意しておき、もっとも消費電力が小さい安定化状態を選択することで安定化を達成した上で更に省エネルギーを達成することができる。
【0033】
図18は本発明の第15の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図2と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。撮影システム20は、光電素子を備えるCCDカメラ21、定型の基準パターン22及び光源23を含んで構成されている。また、光源23は、回転体の回転を制御する回転制御装置24によって、その発光間隔が制御され、例えば回転周波数と一致する発光間隔を有している。上述した演算を行う演算装置25によって、ファンディスク10の表面形状の測定結果が演算される。光源23の発光間隔が回転周波数と一致しているため、回転周期に対する形状変動が十分小さければ、一回の撮影から得られた計測データを複数回平均化することによってその計測誤差を少なくすることができる。このようにして得られた計測結果は、制御装置28によって、HDDレコーダ26に記録された、予め得られている代表的な安定化条件(変形形状と回転数)と比較され、安定化状態に近づけるように、ディスクの回転数とガイド位置等を制御する。更に、表面形状の計測が行われ、動的に安定化状態に近づいていく制御を行うことによって、より安定した記録再生が行えるようになる。この際、安定化状態が選択可能な複数な場合には、もっとも変形量が小さい安定化状態を選択するアルゴリズムを用意しておくことが望ましい。これによれば、変形量が少ないため、ディスクの耐用時間が向上することになる。
【0034】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲内の記載であれば多種の変形や置換可能であることは言うまでもない。
【0035】
【発明の効果】
以上説明したように、被測定対象物たるシート状の回転体の表面形状を測定する、本発明の回転体表面形状測定装置は、一定の定型パターンを回転体上に設置し、設置された定型のパターン像を撮影し記録する撮影記録装置と、撮影された定型パターンの変形度を計算する演算装置と、定型パターンの後方から回転体の回転に同期して照明光を定型パターンにストロボ状に照明する照明装置と、回転体表面にパターン像を投影する投影装置とを有することに特徴がある。よって、簡易非接触で回転体の回転に同期した表面変形形状を3次元的に計測する回転体表面形状測定装置を提供することができる。
【0036】
また、別の発明としての回転体表面形状測定装置は、一定の定型パターンを回転体上に設置し、設置された定型のパターン像を撮影し記録する撮影記録装置と、撮影された定型パターンの変形度を計算する演算装置と、定型パターンの後方から回転体の回転に同期して照明光を定型パターンにストロボ状に照明する照明装置とを有し、ステレオ法の原理で定型パターンの形状を測定する。よって、簡易非接触で回転体の回転に同期した表面変形形状を3次元的に計測する回転体表面形状測定装置を提供することができる。
【0037】
更に、撮影記録装置は時系列的にパターン像情報を動画として記録可能であることにより、回転周波数によらない時系列に変形形状が変化する場合でも回転体の表面変形形状を3次元的に測定する回転体表面形状測定装置を提供できる。
【0038】
また、撮影記録装置はRGBカラー情報を記録可能であることにより、一般に普及しているカラーCCDを用いることで時系列の情報密度を増加させることができる
【0039】
更に、回転体表面に描かれた定型パターンは特定波長の光源に対してのみ可視状態となることにより、回転体表面の計測用のパターンを通常は非可視にすることで、回転体の外見の自由度をあげることができる。
【0040】
また、上記記載の回転体表面形状測定装置と、可撓性を有するシート状の光ディスクを回転させる回転駆動手段と、光ディスクの記録面とは反対面側に設置され、少なくとも光ディスクにおける書込あるいは読取が行われる部位における回転軸方向の振れを空気流の圧力差よって安定化させる安定化手段とを有し、安定化手段が光ディスク方向に突出する突出部材である。よって、簡易非接触でファンディスクシステムの回転に同期した表面変形形状を3次元的に計測する回転体表面形状測定装置を提供できる。
【0041】
更に、安定化条件データを記録した記録装置と、測定された表面形状値から安定化状態を制御する制御装置とを有していることにより、簡易非接触でファンディスクシステムの回転に同期した表面変形形状を3次元的に計測する回転体表面形状測定によって、動的に駆動状態を制御し、更に安定化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】モアレトポグラフィ法の基本原理を示す図である。
【図2】本発明の第1の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図3】ステレオ法の基本原理を示す図である。
【図4】本発明の第2の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図5】本発明の第3の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図6】本発明の第4の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図7】本発明の第5の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図8】本発明の第6の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図9】ファンディスクシステムの簡単な説明図である。
【図10】本発明の第7の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図11】本発明の第8の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図12】本発明の第9の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図13】本発明の第10の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図14】本発明の第11の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図15】本発明の第12の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図16】本発明の第13の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図17】本発明の第14の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図18】本発明の第15の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【符号の説明】
1,30,100;被測定対象物、2;基準パターン、3;光源、
4;変形パターン、5;観察点、10;光ディスク、11;ガイド、
20,40;撮影システム、21,41;CCDカメラ、
22;基準パターン、23;光源、24,43;回転制御装置、
25,44;演算装置、26;HDDレコーダ、27;ステージ、
28;制御装置、29;通信回線、31;点、32;CCD撮影装置、
33;結像レンズ、42;レーザ光源、45;HDDレコーダ、
101;定型パターン。
【発明の属する技術分野】
本発明は回転体表面形状測定装置及び光ディスク表面形状測定装置に関し、詳細には可撓性を有するシート状の回転体の変形形状を測定する回転体表面形状測定装置、特に可撓性を有する光ディスクシステムのうち、近接するガイドとディスクの間の空気流によって安定化された面を用いて記録再生を行うファンディスクシステムの光ディスク表面形状測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
【特許文献1】特許第2,817,338号明細書
【特許文献2】特開2000−258139号公報
従来、回転体の表面形状を測定する手法としては、接触型のプローブ等を被計測物体表面に接触させ、その力やプローブの位置関係から表面形状を測定する方法や非接触式の計測方法として干渉計を用いる方法がある。しかし、前者は表面を走査しなくてはならず計測に多大な時間を要し、後者も精度は高いものの計測時間やコストが多大になるという問題があった。
【0003】
非接触の測定手法には、上記特許文献1に示されるような、物体面上に格子状・縞状等のパターンを投射し、物体の形状により変形した縞模様と基準の縞模様とを重ね合わせ、それの差周波数として生じる等高線を表わすモアレ縞を解析することにより、物体の形状を測定する方法、いわゆるモアレトポグラフィ法がある。また、上記特許文献2に示されるような、物体表面上の格子状・縞状等のパターンを複数の撮影装置を用いてステレオ撮影の原理を用いて物体の形状を測定する方法、いわゆるステレオ法がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、いずれの方法でも静止した物体表面の形状を測定することしか意図されておらず、回転体の変形形状測定に直接適用できない。一方、近年可撓性を有する光ディスクの表面に近接して設けられたガイドとの間に生ずるベルヌーイ現象を利用して安定化を行うファンディスクシステムが将来の大容量記録媒体として開発されているが、その変形形状は3次元的な非常に複雑な形状をしており、その安定化の評価は大変困難であった。また、その安定化点における面形状は光ディスクの材料特性に対して一意であり、その条件を利用することで安定化を容易に行わせることができるという点がある。
【0005】
本発明はこれらの問題点を解決するためのものであり、モアレトポグラフィ法やステレオ法を回転体測定に適するように改良し、回転体の変形形状測定が可能な回転体表面形状測定装置及び光ディスク表面形状測定装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記問題点を解決するために、被測定対象物たるシート状の回転体の表面形状を測定する、本発明の回転体表面形状測定装置は、一定の定型パターンを回転体上に設置し、設置された定型のパターン像を撮影し記録する撮影記録装置と、撮影された定型パターンの変形度を計算する演算装置と、定型パターンの後方から回転体の回転に同期して照明光を定型パターンにストロボ状に照明する照明装置と、回転体表面にパターン像を投影する投影装置とを有することに特徴がある。よって、簡易非接触で回転体の回転に同期した表面変形形状を3次元的に計測する回転体表面形状測定装置を提供することができる。
【0007】
また、別の発明としての回転体表面形状測定装置は、一定の定型パターンを回転体上に設置し、設置された定型のパターン像を撮影し記録する撮影記録装置と、撮影された定型パターンの変形度を計算する演算装置と、定型パターンの後方から回転体の回転に同期して照明光を定型パターンにストロボ状に照明する照明装置とを有し、ステレオ法の原理で定型パターンの形状を測定する。よって、簡易非接触で回転体の回転に同期した表面変形形状を3次元的に計測する回転体表面形状測定装置を提供することができる。
【0008】
更に、撮影記録装置は時系列的にパターン像情報を動画として記録可能であることにより、回転周波数によらない時系列に変形形状が変化する場合でも回転体の表面変形形状を3次元的に測定する回転体表面形状測定装置を提供できる。
【0009】
また、撮影記録装置はRGBカラー情報を記録可能であることにより、一般に普及しているカラーCCDを用いることで時系列の情報密度を増加させることができる
【0010】
更に、回転体表面に描かれた定型パターンは特定波長の光源に対してのみ可視状態となることにより、回転体表面の計測用のパターンを通常は非可視にすることで、回転体の外見の自由度をあげることができる。
【0011】
また、上記記載の回転体表面形状測定装置と、可撓性を有するシート状の光ディスクを回転させる回転駆動手段と、光ディスクの記録面とは反対面側に設置され、少なくとも光ディスクにおける書込あるいは読取が行われる部位における回転軸方向の振れを空気流の圧力差よって安定化させる安定化手段とを有し、安定化手段が光ディスク方向に突出する突出部材である。よって、簡易非接触でファンディスクシステムの回転に同期した表面変形形状を3次元的に計測する回転体表面形状測定装置を提供できる。
【0012】
更に、安定化条件データを記録した記録装置と、測定された表面形状値から安定化状態を制御する制御装置とを有していることにより、簡易非接触でファンディスクシステムの回転に同期した表面変形形状を3次元的に計測する回転体表面形状測定によって、動的に駆動状態を制御し、更に安定化を図ることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明の回転体表面形状測定装置は、一定の定型パターンを回転体上に設置し、設置された定型のパターン像を撮影し記録する撮影記録装置と、撮影された定型パターンの変形度を計算する演算装置と、定型パターンの後方から回転体の回転に同期して照明光を定型パターンにストロボ状に照明する照明装置と、回転体表面にパターン像を投影する投影装置とを有する。
【0014】
【実施例】
図1はモアレトポグラフィ法の基本原理を示す図である。同図において、被測定対象物1と点状光源3との間に、等間隔に定型の基準パターン2、例えば直線状や格子状のパターンを配置し、この基準パターン2を点状光源3によって照明することによって、基準パターン2の影を被測定対象物1に直接投影する。すると、被測定対象物体1の表面には、基準パターン2の影が被測定対象物1の表面形状に応じて変形された変形パターン4となって投影される。この被測定対象物1上に投影された変形格子の変形パターン4を、基準パターン2とほぼ同じ高さに設定された観察点5から観察することによって変形パターン4とその前方に位置する基準パターン2とを重合わすことによって観察することでモアレパターンが生ずる。モアレパターンの現れる位置が物体の高さ、つまり基準パターン2からの距離の等しいところになり、このモアレパターンの位置は、所定の幾何学的な計算によって求まる。例えばフーリエ変換法により、基準周波数成分を抽出し、基準正弦波との重畳によりCCDの各ピクセルに対応した相対位相と絶対位相を計算し、絶対位相値と深さ(Z方向)の関係から値を計算する。結果的に被測定対象物1の形状を測ることができるようになっている。
【0015】
図2は本発明の第1の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、被測定対象物100は回転する回転体の表面形状である。撮影システム20は、光電素子を備えるCCDカメラ21、定型の基準パターン22及び光源23を含んで構成されている。また、光源23は、回転体の回転を制御する回転制御装置24によって、その発光間隔が制御され、例えば回転周波数と一致する発光間隔を有している。光源23は、例えばハロゲンを用いたストロボ光源などが用いられる。上述した演算を行う演算装置25によって、被測定対象物100の表面形状の測定結果が演算される。光源23の発光間隔が回転周波数と一致しているため、回転周期に対する形状変動が十分小さければ、一回の撮影から得られた計測データを複数回平均化することによってその計測誤差を少なくすることができる。
【0016】
図3はステレオ法の基本原理を示す図である。同図において、2つの結像レンズ33は光軸間隔Aで配置され、2つのCCD撮影装置32はそれぞれ結像レンズ33に対して焦点距離fの位置に配置されている。このとき、被測定対象物30上における点31の像の結像位置が結像レンズ33の中点からの距離がそれぞれX,Yであったとすると、被測定対象物30上の点31までの距離Lは以下のように表される。
【0017】
L=A・f(−X+Y−A)
【0018】
この測定を被測定対象物の全面に渡って行うことにより、被測定対象物の表面形状を測定することができる。
【0019】
図4は本発明の第2の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、被測定対象物100は回転する回転体の表面形状である。撮影システム40は、光電素子と結像レンズを備える2台のCCDカメラ41と、レーザ光源42とを含んで構成されている。レーザ光源42は回転体の回転を制御する回転制御装置43によって、その発光間隔が制御され、例えば回転周波数と一致する発光間隔を有している。上述した演算を行う演算装置44によって、被測定対象物100の表面形状の測定結果が演算される。レーザ光源42の発光間隔が回転周波数と一致しているため、回転周期に対する形状変動が十分小さければ、一回の撮影から得られた計測データを複数回平均化することによってその計測誤差を少なくすることができる。
【0020】
図5は本発明の第3の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図2と同じ参照符号は同じ構成要素である。ここで、回転体によっては回転周波数による変動以外にも時系列によってゆがみが大きくなっている現象が存在することが知られている。そのような回転体表面形状を測定する際には、光源の発光制御のみでは不十分である。そこで、第1の実施例に加えてCCD画像を時系列的に記録するHDDレコーダ26を設置し、演算装置25は時系列に画像データを分解して、この画像データに対して演算を行うようにする。このようにして、上記時系列に依存する形状変形データを計測することが可能となる。
【0021】
図6は本発明の第4の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図2と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。異なる構成要素として、例えばRGBの各色の光のみを透過させるフィルタを、発光装置の発光に応じて切り替えることによって、時系列の情報を効率的に得ることができる。例えば発光間隔を回転周波数の1/3に設定し、発光の1サイクルの間に各色のフィルタを切り替えることによって、時系列的に3倍のデータを獲得することができる。同図中、各色のフィルタはステージ27上に配置され、このステージ27は制御装置24によって発光間隔と同期して各色フィルタを切り替えられる構成となっている。このときCCDカメラ23がRGBの各色を撮影することができる機能を有していれば、効果的に時系列データを得ることができる。
【0022】
図7は本発明の第5の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図4と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。異なる構成要素として、第2の実施例に加えてCCD画像を時系列的に記録するHDDレコーダ45を設置し、演算装置44は時系列に画像データを分解して、ここの画像データに対して演算を行うようにする。このようにして、上記時系列に依存する形状変形データを計測することが可能となる。
【0023】
図8は本発明の第6の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図7と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。被測定対象物100の回転体表面には、特定の波長に対して可視状態となるインクによって描かれた定型パターン101が設置されている。例えば紫外線に対して蛍光状態となるフォトクロミック塗料である。レーザ光源42は紫外線域の波長の光源である。このような構成であれば、通常の非測定時には定型パターン101が生じず、測定時にはこの定型パターン101を用いてより高精度の測定が可能となる。
【0024】
図9はファンディスクシステムの簡単な説明図である。同図において、可撓性を有するシート状の光ディスク10を回転させる回転駆動手段と、光ディスク10の記録面とは反対面側に設置され、光ディスク10における書込あるいは読取が行われる部位における回転軸方向の振れを空気流の圧力差よって安定化させる安定化手段(以下ガイドと称す)11とを備え、ガイド11は光ディスク方向に突出する突出部材である。光ディスク10の材料特性とガイド11の表面形状・回転速度・重力方向によって光ディスク10の安定化時の変形形状が決まる。一般にはガイド11の押し込み方向と逆方向に光ディスク10は変形する。変形した光ディスク10の一部の領域において記録再生面に使用される。安定化状態は光ディスク10の材質やガイドの形状等に非常に敏感であり、表面形状の2次元形状測定は安定化の条件を設定するために重要な計測量である。
【0025】
図10は本発明の第7の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図2と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。撮影システム20は、光電素子を備えるCCDカメラ21、定型の基準パターン22及び光源23を含んで構成されている。また、光源23は、回転体の回転を制御する回転制御装置24によってその発光間隔が制御され、例えば回転周波数と一致する発光間隔を有している。上述した演算を行う演算装置25によって、ファンディスク10の表面形状の測定結果が演算される。光源23の発光間隔が回転周波数と一致しているため、回転周期に対する形状変動が十分小さければ、一回の撮影から得られた計測データを複数回平均化することによってその計測誤差を少なくすることができる。ファンディスクシステムの安定化状態に応じた変形形状を計測することが可能となり、安定化状態の条件特定に特に有効である。
【0026】
図11は本発明の第8の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図4と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。撮影システム40は、光電素子と結像レンズを備える2台のCCDカメラ41と、レーザ光源42とを含んで構成されている。レーザ光源42は回転体の回転を制御する回転制御装置43によって、その発光間隔が制御され、例えば回転周波数と一致する発光間隔を有している。上述した演算を行う演算装置44によって、ファンディスク10の表面形状の測定結果が演算される。レーザ光源42の発光間隔が回転周波数と一致しているため、回転周期に対する形状変動が十分小さければ、一回の撮影から得られた計測データを複数回平均化することによってその計測誤差を少なくすることができる。ファンディスクシステムの安定化状態に応じた変形形状を計測することが可能となり、安定化状態の条件特定に特に有効である。
【0027】
図12は本発明の第9の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図8と同じ参照符号は同じ構成要素である。ここで、ファンディスクシステムにおいては回転周波数による変動以外にも時系列によってゆがみが大きくなっている現象が存在することが知られている。そのような場合の表面形状を測定する際には、光源の発光制御のみでは不十分である。そこで、第6の実施例に加えてCCD画像を時系列的に記録するHDDレコーダ等の記録装置45を設置し、演算装置44は時系列に画像データを分解して、ここの画像データに対して演算を行うようにする。このようにして、上記時系列に依存する形状変形データを計測することが可能となる。
【0028】
図13は本発明の第10の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図2と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。撮影システム20は、光電素子を備えるCCDカメラ21と、定型の基準パターン22及び光源23を含んで構成されている。また、光源23は、回転体の回転を制御する回転制御装置24によって、その発光間隔が制御され、例えば回転周波数と一致する発光間隔を有している。上述した演算を行う演算装置25によって、ファンディスク10の表面形状の測定結果が演算される。光源23の発光間隔が回転周波数と一致しているため、回転周期に対する形状変動が十分小さければ、一回の撮影から得られた計測データを複数回平均化することによってその計測誤差を少なくすることができる。このようにして得られた計測結果はHDDレコーダ等の記憶装置26に記録された、予め得られている代表的な安定化条件(変形形状と回転数)と比較され、安定化状態に近づけるように、ディスクの回転数とガイド位置等を制御する。更に、表面形状の計測が行われ、動的に安定化状態に近づいていく制御を行うことによって、より安定した記録再生が行えるようになる。
【0029】
図14は本発明の第11の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図4と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。撮影システム40は、光電素子と結像レンズを備える2台のCCDカメラ41と、レーザ光源42とを含んで構成されている。レーザ光源42は回転体の回転を制御する回転制御装置43によって、その発光間隔が制御され、例えば回転周波数と一致する発光間隔を有している。上述した演算を行う演算装置44によって、ファンディスク10の表面形状の測定結果が演算される。レーザ光源42の発光間隔が回転周波数と一致しているため、回転周期に対する形状変動が十分小さければ、一回の撮影から得られた計測データを複数回平均化することによってその計測誤差を少なくすることができる。このようにして得られた計測結果はHDDレコーダ等の記憶装置45に記録された、予め得られている代表的な安定化条件(変形形状と回転数)と比較され、安定化状態に近づけるように、ディスクの回転数とガイド位置等を制御する。更に、表面形状の計測が行われ、動的に安定化状態に近づいていく制御を行うことによって、より安定した記録再生が行えるようになる。
【0030】
図15は本発明の第12の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図13と同じ参照符号は同じ構成要素である。ここで、ファンディスクシステムにおいては回転周波数による変動以外にも時系列によってゆがみが大きくなっている現象が存在することが知られている。そのような場合の表面形状を測定する際には、光源の回転に同期する発光制御のみでは不十分である。そこで、第6の実施例に加えてCCD画像を時系列的に記録するHDDレコーダ26を設置し、演算装置25は時系列に画像データを分解して、ここの画像データに対して演算を行うようにする。このようにして、上記時系列に依存する形状変形データを計測することが可能となる。このようにして得られた計測結果は、制御装置28によって、HDDレコーダ26に記録された、予め得られている代表的な安定化条件(変形形状と回転数)と比較され、安定化状態に近づけるように、ディスクの回転数とガイド位置等を制御する。更に、表面形状の計測が行われ、動的に安定化状態に近づいていく制御を行うことによって、より安定した記録再生が行えるようになる。
【0031】
図16は本発明の第13の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図2と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。撮影システム20は、光電素子を備えるCCDカメラ21、定型の基準パターン22及び光源23を含んで構成されている。また、光源23は、回転体の回転を制御する回転制御装置24によって、その発光間隔が制御され、例えば回転周波数と一致する発光間隔を有している。上述した演算を行う演算装置25によって、ファンディスク10の表面形状の測定結果が演算される。光源23の発光間隔が回転周波数と一致しているために、回転周期に対する形状変動が十分小さければ、一回の撮影から得られた計測データを複数回平均化することによってその計測誤差を少なくすることができる。このようにして得られた計測結果は、制御装置28に通信回線29を介して接続されるHDDレコーダ26に記録された、予め得られている代表的な安定化条件(変形形状と回転数)と比較され、安定化状態に近づけるように、ディスクの回転数とガイド位置等を制御する。更に、表面形状の計測が行われ、動的に安定化状態に近づいていく制御を行うことによって、より安定した記録再生が行えるようになる。
【0032】
図17は本発明の第14の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図2と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。撮影システム20は、光電素子を備えるCCDカメラ21、定型の基準パターン22及び光源23を含んで構成されている。また、光源23は、回転体の回転を制御する回転制御装置24によって、その発光間隔が制御され、例えば回転周波数と一致する発光間隔を有している。上述した演算を行う演算装置25によって、ファンディスク10の表面形状の測定結果が演算される。光源23の発光間隔が回転周波数と一致しているため、回転周期に対する形状変動が十分小さければ、一回の撮影から得られた計測データを複数回平均化することによってその計測誤差を少なくすることができる。このようにして得られた計測結果は、制御装置28によって、HDDレコーダ26に記録された、予め得られている代表的な安定化条件(変形形状と回転数)と比較され、安定化状態に近づけるように、ディスクの回転数とガイド位置等を制御する。更に、表面形状の計測が行われ、動的に安定化状態に近づいていく制御を行うことによって、より安定した記録再生が行えるようになる。この際、安定化状態が選択可能な複数な場合には、更に安定化状態データベースには予め計測された消費電力のカラムを用意しておき、もっとも消費電力が小さい安定化状態を選択することで安定化を達成した上で更に省エネルギーを達成することができる。
【0033】
図18は本発明の第15の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。同図において、図2と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。撮影システム20は、光電素子を備えるCCDカメラ21、定型の基準パターン22及び光源23を含んで構成されている。また、光源23は、回転体の回転を制御する回転制御装置24によって、その発光間隔が制御され、例えば回転周波数と一致する発光間隔を有している。上述した演算を行う演算装置25によって、ファンディスク10の表面形状の測定結果が演算される。光源23の発光間隔が回転周波数と一致しているため、回転周期に対する形状変動が十分小さければ、一回の撮影から得られた計測データを複数回平均化することによってその計測誤差を少なくすることができる。このようにして得られた計測結果は、制御装置28によって、HDDレコーダ26に記録された、予め得られている代表的な安定化条件(変形形状と回転数)と比較され、安定化状態に近づけるように、ディスクの回転数とガイド位置等を制御する。更に、表面形状の計測が行われ、動的に安定化状態に近づいていく制御を行うことによって、より安定した記録再生が行えるようになる。この際、安定化状態が選択可能な複数な場合には、もっとも変形量が小さい安定化状態を選択するアルゴリズムを用意しておくことが望ましい。これによれば、変形量が少ないため、ディスクの耐用時間が向上することになる。
【0034】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲内の記載であれば多種の変形や置換可能であることは言うまでもない。
【0035】
【発明の効果】
以上説明したように、被測定対象物たるシート状の回転体の表面形状を測定する、本発明の回転体表面形状測定装置は、一定の定型パターンを回転体上に設置し、設置された定型のパターン像を撮影し記録する撮影記録装置と、撮影された定型パターンの変形度を計算する演算装置と、定型パターンの後方から回転体の回転に同期して照明光を定型パターンにストロボ状に照明する照明装置と、回転体表面にパターン像を投影する投影装置とを有することに特徴がある。よって、簡易非接触で回転体の回転に同期した表面変形形状を3次元的に計測する回転体表面形状測定装置を提供することができる。
【0036】
また、別の発明としての回転体表面形状測定装置は、一定の定型パターンを回転体上に設置し、設置された定型のパターン像を撮影し記録する撮影記録装置と、撮影された定型パターンの変形度を計算する演算装置と、定型パターンの後方から回転体の回転に同期して照明光を定型パターンにストロボ状に照明する照明装置とを有し、ステレオ法の原理で定型パターンの形状を測定する。よって、簡易非接触で回転体の回転に同期した表面変形形状を3次元的に計測する回転体表面形状測定装置を提供することができる。
【0037】
更に、撮影記録装置は時系列的にパターン像情報を動画として記録可能であることにより、回転周波数によらない時系列に変形形状が変化する場合でも回転体の表面変形形状を3次元的に測定する回転体表面形状測定装置を提供できる。
【0038】
また、撮影記録装置はRGBカラー情報を記録可能であることにより、一般に普及しているカラーCCDを用いることで時系列の情報密度を増加させることができる
【0039】
更に、回転体表面に描かれた定型パターンは特定波長の光源に対してのみ可視状態となることにより、回転体表面の計測用のパターンを通常は非可視にすることで、回転体の外見の自由度をあげることができる。
【0040】
また、上記記載の回転体表面形状測定装置と、可撓性を有するシート状の光ディスクを回転させる回転駆動手段と、光ディスクの記録面とは反対面側に設置され、少なくとも光ディスクにおける書込あるいは読取が行われる部位における回転軸方向の振れを空気流の圧力差よって安定化させる安定化手段とを有し、安定化手段が光ディスク方向に突出する突出部材である。よって、簡易非接触でファンディスクシステムの回転に同期した表面変形形状を3次元的に計測する回転体表面形状測定装置を提供できる。
【0041】
更に、安定化条件データを記録した記録装置と、測定された表面形状値から安定化状態を制御する制御装置とを有していることにより、簡易非接触でファンディスクシステムの回転に同期した表面変形形状を3次元的に計測する回転体表面形状測定によって、動的に駆動状態を制御し、更に安定化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】モアレトポグラフィ法の基本原理を示す図である。
【図2】本発明の第1の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図3】ステレオ法の基本原理を示す図である。
【図4】本発明の第2の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図5】本発明の第3の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図6】本発明の第4の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図7】本発明の第5の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図8】本発明の第6の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図9】ファンディスクシステムの簡単な説明図である。
【図10】本発明の第7の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図11】本発明の第8の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図12】本発明の第9の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図13】本発明の第10の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図14】本発明の第11の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図15】本発明の第12の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図16】本発明の第13の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図17】本発明の第14の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【図18】本発明の第15の実施例に係る回転体表面形状測定装置の構成を示す概略図である。
【符号の説明】
1,30,100;被測定対象物、2;基準パターン、3;光源、
4;変形パターン、5;観察点、10;光ディスク、11;ガイド、
20,40;撮影システム、21,41;CCDカメラ、
22;基準パターン、23;光源、24,43;回転制御装置、
25,44;演算装置、26;HDDレコーダ、27;ステージ、
28;制御装置、29;通信回線、31;点、32;CCD撮影装置、
33;結像レンズ、42;レーザ光源、45;HDDレコーダ、
101;定型パターン。
Claims (8)
- 被測定対象物たるシート状の回転体の表面形状を測定する回転体表面形状測定装置において、
一定の定型パターンを回転体上に設置し、設置された定型のパターン像を撮影し記録する撮影記録装置と、
撮影された定型パターンの変形度を計算する演算装置と、
前記定型パターンの後方から回転体の回転に同期して照明光を前記定型パターンにストロボ状に照明する照明装置と、
回転体表面にパターン像を投影する投影装置と
を有することを特徴とする回転体表面形状測定装置。 - 被測定対象物たるシート状の回転体の表面形状を測定する回転体表面形状測定装置において、
一定の定型パターンを回転体上に設置し、設置された定型のパターン像を撮影し記録する撮影記録装置と、
撮影された定型パターンの変形度を計算する演算装置と、
前記定型パターンの後方から回転体の回転に同期して照明光を前記定型パターンにストロボ状に照明する照明装置とを有し、
ステレオ法の原理で前記定型パターンの形状を測定することを特徴とする回転体表面形状測定装置。 - 前記撮影記録装置は時系列的にパターン像情報を動画として記録可能である請求項1又は2に記載の回転体表面形状測定装置。
- 前記撮影記録装置はRGBカラー情報を記録可能である請求項1記載の回転体表面形状測定装置。
- 回転体表面に描かれた前記定型パターンは特定波長の光源に対してのみ可視状態となる請求項2記載の回転体表面形状測定装置。
- 請求項1に記載の回転体表面形状測定装置と、可撓性を有するシート状の光ディスクを回転させる回転駆動手段と、光ディスクの記録面とは反対面側に設置され、少なくとも光ディスクにおける書込あるいは読取が行われる部位における回転軸方向の振れを空気流の圧力差よって安定化させる安定化手段とを有し、該安定化手段が光ディスク方向に突出する突出部材であることを特徴とする光ディスク表面形状測定装置。
- 請求項2に記載の回転体表面形状測定装置と、可撓性を有するシート状の光ディスクを回転させる回転駆動手段と、光ディスクの記録面とは反対面側に設置され、少なくとも光ディスクにおける書込あるいは読取が行われる部位における回転軸方向の振れを空気流の圧力差よって安定化させる安定化手段とを有し、該安定化手段が光ディスク方向に突出する突出部材であることを特徴とする光ディスク表面形状測定装置。
- 安定化条件データを記録した記録装置と、計測された表面形状値から安定化状態を制御する制御装置とを有している請求項6又は7に記載の光ディスク表面形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002321994A JP2004156979A (ja) | 2002-11-06 | 2002-11-06 | 回転体表面形状測定装置及び光ディスク表面形状測定装置 |
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JP2002321994A JP2004156979A (ja) | 2002-11-06 | 2002-11-06 | 回転体表面形状測定装置及び光ディスク表面形状測定装置 |
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JP2004156979A true JP2004156979A (ja) | 2004-06-03 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009506920A (ja) * | 2005-07-26 | 2009-02-19 | エアバス フランス | 航空機の構造体パネルの表面の形状の異常箇所の測定方法とその方法を実行するシステム |
FR2976069A1 (fr) * | 2011-05-31 | 2012-12-07 | Peugeot Citroen Automobiles Sa | Caracterisation des deformees d'un organe en rotation par stereocorrelation d'images |
KR20140062372A (ko) * | 2012-11-14 | 2014-05-23 | 삼성전자주식회사 | 홀로그램 광학기기용 광학헤드와 그 동작방법 |
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2002
- 2002-11-06 JP JP2002321994A patent/JP2004156979A/ja active Pending
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FR2976069A1 (fr) * | 2011-05-31 | 2012-12-07 | Peugeot Citroen Automobiles Sa | Caracterisation des deformees d'un organe en rotation par stereocorrelation d'images |
KR20140062372A (ko) * | 2012-11-14 | 2014-05-23 | 삼성전자주식회사 | 홀로그램 광학기기용 광학헤드와 그 동작방법 |
KR101955328B1 (ko) * | 2012-11-14 | 2019-05-30 | 삼성전자주식회사 | 홀로그램 광학기기용 광학헤드와 그 동작방법 |
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