JP2004139690A - 相変化光記録媒体 - Google Patents

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大間知 範威
Katsutaro Ichihara
市原 勝太郎
Keiichiro Yusu
柚須 圭一郎
Sumio Ashida
芦田 純生
Naomasa Nakamura
中村 直正
Takayuki Tsukamoto
塚本 隆之
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Abstract

【課題】クロスイレーズの低減化により更なる高密度化を図ることが可能な相変化光記録媒体を提供すること。
【解決手段】基板(1)と、光ビームを反射する反射層(6)と、前記基板と前記反射層との間に配置された層であって、光ビームの照射を受けて結晶状態と非晶質状態を遷移する相変化記録層(4)と、前記基板と前記反射層との間に配置された第1誘電体層(2)と、前記基板と前記第1誘電体層との間に配置された層であって、前記第1誘電体層より熱伝導率が低い第2誘電体層(3)とを備えている。
【選択図】  図3

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ビームの照射を受けて結晶状態と非晶質状態を遷移する相変化記録層を備えた相変化光記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】
相変化光記録媒体は、記録原理的にシングルビームで光強度変調によりオーバライトしやすく、再生原理的にROM媒体と互換性が取りやすい。このことから、相変化光記録媒体は、CD−RW,DVD−RAM,DVD−RW,DVD−RW等に利用されている。即ち、相変化光記録媒体は、計算機用ファイル、画像・音声ファイル等の分野で幅広く実用化されている。今後、相変化光記録媒体は、性能向上、特に記憶容量の増大が期待されている。
【0003】
相変化記録媒体における記憶容量増大の手法としては、光源の短波長化、対物レンズの高開口数化、変復調技術の改良、フォーマット効率の向上、媒体の改良等が挙げられる。波長400nm程度の青色レーザを用いた次世代DVDにおいては、開口数(NA)を高める提案(NA:0.85)、現行DVDの開口数(NA:0.6)との親和性を重視した提案(NA:0.65程度)が為されている。さらに、相変化記録の大容量化を実現する手段として、マーク長記録、ランド・グルーブ(L/G)記録、に適した媒体膜構造及び材料について各種の提案が為されている。
【0004】
ここで、基本的な相変化光記録媒体の構成について説明する。基本的な相変化光記録媒体の構成は、光入射側からZnS−SiO2に代表される第一干渉層、GeSbTeもしくはAgInSbTeに代表される相変化記録層、ZnS−SiO2に代表される第二干渉層、Al合金もしくはAg合金に代表されるヒートシンク機能を兼ねた反射層を順次積層した四層構成が代表的である。相変化記録層はアズデポの状態では非晶質状態であるが、この非晶質状態は光記録によって形成する非晶質状態よりもエネルギー的に高く結晶化しにくい。この為、通常はバルクイニシャライザー等を用いて初期結晶化してから媒体は使用される。結晶部の反射率をRc、非晶質部の反射率をRaと定義すると、Rcが過度に低いとヘッダ部の再生信号品質を損ねたり、初期状態でのサーボ信号の安定性を損ねたりする、と言った課題がある。このため、従来の相変化光ディスクでは、通常、Rc>Raとして光学設計される。又、光利用効率を高めて記録感度を高くする為、通常、反射層は光を透過しない程度の厚みに設定されていた。従って媒体全体の透過率は殆ど零を示す。相変化記録層が結晶の時の吸収率をAc、非晶質の時の吸収率をAaと定義し、Rc>Raとして設計すると、Ac<Aaとなっていた。
【0005】
一方でオーバーライト記録を行う上では、結晶部でも非晶質部でも同一の記録パワーによって同一のサイズのマークを記録する事が重要である。結晶部が溶融する際の潜熱と非晶質部が溶融する際の潜熱を比較すると、前者の方が大きい。従ってAc<Aaの媒体では、結晶上に記録ビームを照射した場合の溶融部のサイズが、非晶質部に記録ビームを照射した場合の溶融部のサイズよりも小さくなってしまい、オーバライトジッタを損ねるという問題が有った。特に高線密度に適したマーク長記録では、オーバライトジッタの劣化は大きな問題であった。
【0006】
このようなジッタに関する問題を解決するために各種提案がなされている。例えば、光入射側から、透光性基板、高熱伝導誘電体層、低熱伝導誘電体層、記録層の順に構成された光記録媒体が提案されている(特許文献1)。
【0007】
また、トラック密度を上げる有力な方法として、前記したL/G記録がある。L/G記録は、グルーブの深さを波長の1/6程度にすると共に、相変化記録層が結晶にある時と非晶質にある時の位相差を小さくする事により、クロストークを大幅に低減し、トラック密度を向上する技術である。又、L/G間にグルーブステップが存在する事により、記録層の膜面内方向の熱伝導が抑制される事で、クロスイレーズ低減化効果も有する。クロスイレーズの要因には記録層の膜面内方向の熱伝導の他、ビームエッジによる隣接トラックの直接加熱が挙げられる。前記したAc>Aaの構成では、Aaの値自体がAc<Aa構造に比較して小さくなる為、隣接トラック上の非晶質記録マークの昇温が抑制され、クロスイレーズ低減上有利である。
【0008】
【特許文献1】
特開2002−157737
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特許文献1で提案された光記録媒体は、高熱伝導誘電体層に伝わった熱の影響によりこの高熱伝導誘電体層に接している基板の変形又は変質などが起こり易いという新たな問題が生じるおそれがある。
【0010】
また、今後、更に大容量化しようとした場合、従来のクロスイレーズの抑制方法だけでは不十分である。
【0011】
この発明の目的は、上記した各種問題を解決するためになされたものであり、クロスイレーズの低減化により更なる高密度化を図ることが可能な相変化光記録媒体を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決し目的を達成するために、この発明の相変化光記録媒体は、以下のように構成されている。
【0013】
この発明の一実施の形態に係る相変化光記録媒体は、基板と、光ビームを反射する反射層と、前記基板と前記反射層との間に配置された層であって、光ビームの照射を受けて結晶状態と非晶質状態を遷移する相変化記録層と、前記基板と前記反射層との間に配置された第1誘電体層と、前記基板と前記第1誘電体層との間に配置された層であって、前記第1誘電体層より熱伝導率が低い第2誘電体層とを備えている。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【0015】
図1は、本発明の第1例の片面単記録層の相変化光記録媒体の断面を示す図である。図1に示すように相変化光記録媒体は、順に、光入射側透明基体1、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第2誘電体層(低熱伝導率)3、相変化記録層4、第3誘電体層5、反射層6、UV硬化層7、及び基体8を備えている。
【0016】
図2は、本発明の第1例の片面複記録層(2層)の相変化光記録媒体の断面を示す図である。図2に示すように相変化光記録媒体は、順に、光入射側透明基体1、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第2誘電体層(低熱伝導率)3、相変化記録層4、第3誘電体層5、反射層6、UV硬化層7、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第2誘電体層(低熱伝導率)3、相変化記録層4、第3誘電体層5、反射層6、及び基体8を備えている。
【0017】
光入射側透明基体1の光入射面1aから光ビームが入射し、光ビームの照射を受けた相変化記録層4は、結晶状態から非晶質状態へ変化したり、逆に非晶質状態から結晶状態へ変化したりして、情報が記録されたり消去されたりする。
【0018】
光入射側透明基体1は、プリフォーマッティングされたポリカーボネイト基板を用いるのが一般的で、厚みは1.2mmもしくは0.6mmが代表的である。或いは、例えば、0.1mm厚のポリカーボネイトもしくはUV硬化樹脂からなる平板を用いる事も可能である。単記録層の場合、各層は、光入射側透明基体1、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第2誘電体層(低熱伝導率)3、相変化記録層4、第3誘電体層5、反射層6、UV硬化層7、及び基体8の順、或いはその逆の順に形成される。複記録層の場合も、ほぼ同様である。
【0019】
第1誘電体層(高熱伝導率)2は、第2誘電体層(低熱伝導率)3に比べて、熱伝導率が高い。第1誘電体層(高熱伝導率)2は、例えば、図17に示す材料の中から選択される少なくも一種以上の材料を含むものとする。
【0020】
図17は、第1誘電体層(高熱伝導率)2の材料、各材料のバルクにおける室温(300K付近)の熱伝導率(κh)、及び第1誘電体層(高熱伝導率)2の層の厚さ(d)の範囲を示す図である。高熱伝導膜のκhとdを図17に示すように設定するのが、好ましい理由については後述する。図17に示すように、κh×dの適正な範囲は、第1誘電体層(高熱伝導率)2としてどの材料を用いた場合でも、概ね、下記の式(1)を満足する。
【0021】
1.5×10E−6(W/K)≦κh×d≦1.5×10E−5(W/K)         式(1)
なお、図17に示す材料の中で、Siは誘電体では無いが、吸収の比較的大きい短波長(例えば本発明の実施に使用した405nmの波長)でも層の厚さが20nm程度以下であれば本発明の第1誘電体層(高熱伝導率)2と等価の効果を有する。
【0022】
又、波長が長く吸収が小さい場合は、より層が厚くても使用可能である。この為、図17では、記録感度とXEを両立するに好ましい層の厚さ範囲全てを記載した。
【0023】
κhが100(W/mK)以上と高く、dが薄くても十分なXE低減効果を示す材料として、第1誘電体層(高熱伝導率)2が、SiC、WC、AlN、BN、BeO、GdB4、TbB4、TmB4、DLC(Diamond like Carbon) の中から選択される少なくも一種以上の材料を含むことが望ましい。
【0024】
また、光ディスクの成膜に最適なスパッタリング方法、特に低音スパッタ法においても、消衰係数が十分に低く厚膜でも高い透過率を容易に示す材料として、第1誘電体層(高熱伝導率)2が、AlN、BN、DLC(Diamond like Carbon)の中から選択される少なくも一種以上の材料を含むことが望ましい。
【0025】
第1誘電体層(高熱伝導率)2の材料の選択範囲は、特に媒体の層構成に大きくは依存しない。また、上記した第1誘電体層(高熱伝導率)2の材料の選択は、ここで説明する第1例だけでなく、後述する他の例にも適用できる。
【0026】
第2誘電体層(低熱伝導率)3は、ZnS−SiO2,SiO2,ZrO2,BaTiO3,TiO2,サイアロン、ムライト、ZrSiO4,Cu2O,CeO2,HfO2,MgF2,CaF2,SrF2,C−H結合もしくはC−F結合を有するプラズマ重合膜、C−F結合を有する有機系スパッタ膜、有機系スピンコート膜の中から選択される少なくも一種以上の材料を含むことが望ましい。最も好ましい一例は、オーバーライト耐久性に優れたZnS−SiO2を採用する事である。 ここで、図18及び図19を提示して第1誘電体層(高熱伝導率)2と第2誘電体層(低熱伝導率)3との熱伝導率の違いを明確にする。図18は、第2誘電体層(低熱伝導率)3の材料と熱伝導率の関係を示す図である。図19は、第1誘電体層(高熱伝導率)2と第2誘電体層(低熱伝導率)3との間の中間的な熱伝導誘電体層の材料と熱伝導率の関係を示す図である。上記した式(1)の条件を満たす場合、第2誘電体層(低熱伝導率)3として、図19に示す中間的な熱伝導誘電体層の材料を使用する事も可能である。
【0027】
相変化記録層4としては、GeSbTe,AgInSbTeを用いるのが代表的であり、その組成範囲も公知の範囲のものを使用する事が可能である。例えばGeSbTeとしては、GeTeとSb2Te3の二つの金属間化合物組成を結ぶ線上、所謂、擬似二元合金組成線上を含み、擬似二元組成線に垂直に±5%程度の範囲の組成領域のもの、もしくは、共晶組成のSb70Te30±10at%のSbTe合金にGeを5−20at%程度添加した、所謂、高速結晶成長組成のものを用いるのが代表的である。AgInSbTeとしては、Sb70Te30共晶組成にAg,Inを適量添加した組成を用いるのが代表的である。
【0028】
相変化記録層4の上面もしくは下面もしくは上下両面に、必要に応じてGeN,HfO2,CeO2,Ta2O5等から選択される数nm厚の界面層を設けると、高線速動作時の消去率を向上する事が出来る。又、界面層を用いずとも、記録層にBi,Sn等を数at%置換もしくは添加するとやはり消去率を高める事が出来る。又、Bi,Sn等の置換もしくは添加と界面層を併用しても構わない。
【0029】
第3誘電体層5の材料は、例えば図17〜図19に示す材料から自由に選択する事ができる。また、第3誘電体層5は、単層でも複層でも構わない。
【0030】
反射層6としては、AlTi,AlMo等のAlを主成分とする合金膜、AbPdCu,AgNdCu等のAgを主成分とする合金膜が用いられる。反射層6は、全反射性の反射層とするのが代表的だが、Ac,Aaを調整する目的で半透過性の反射層としてもよい。その場合は、反射層6として、各種金属微粒子分散膜や、Si,Ge等を用いる事が可能である。
【0031】
UV硬化層7は、保護材である。さらに、接着層を介してUV硬化層7上には対向基板としての基体8が貼り付けられている。
【0032】
上記した構成の媒体の代表的な作成方法は、通常の相変化光ディスクと同様である。透明基体1は、例えばマスタリングプロセスによる原盤作成、Ni電鋳プロセスによるスタンパー作成、射出成型プロセスによる透明基体の作成といった工程を経て作成可能である。又、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第2誘電体層(低熱伝導率)3、相変化記録層4、第3誘電体層5、及び反射層6等の薄膜は、スパッタリングプロセスで作成するのが代表的であるが、蒸着、プラズマ重合、スピンコート等を使用する事も出来る。薄膜の熱伝導率は、成膜装置、成膜条件(例えばスパッタリングの場合は、ガス種、ガス圧、ターゲットへの入力パワー等)に依存して変化するが、概ねバルク材料と同等もしくは20−30%程度低い値を示す。前記式(1)を満たす場合、熱物性ハンドブック等に記載されるバルクの熱伝導率を用いている。スパッタリング工程による薄膜の形成後、前記した保護材もしくは対向基板貼り付け後、一般的にバルクイニシャライザー等を用いて、相変化記録層を初期結晶化した後、記録再生動作に供する。
【0033】
図20は、相変化光記録媒体の記録再生特性の評価条件を示す図である。例えば、波長405nmの半導体レーザ光源、NA:0.65の対物レンズを想定するが、本発明は相変化光記録媒体に関するものなので、動作波長、NAには特には限定は受けない。波長が違う場合は、その波長において消衰係数と膜厚の積が小さく、単層透過率が概ね80%以上好ましくは90%以上になる誘電体材料の選択と、各層の膜厚の光学設計値が異なる程度である。又、線速については、主に5.6m/sを想定するが、前述の通り、数m/sから数10m/sの実用的な線速範囲内の全てにおいて本発明は効果的である。
【0034】
図22は、記録再生試験結果の一例を示す図である。横軸は第1誘電体層(高熱伝導率)2の熱伝導率κと第2誘電体層(低熱伝導率)3の熱伝導率κの比を示し、縦軸はトラックピッチ0.34μmにおけるクロスイレーズ(XE)値を示す。XEの測定は、先ずグルーブ(G)トラック上にランダムデータを10回オーバライト記録した後、9T(0.78μmのマークピッチ)の単一周波数の信号を記録してキャリアレベルを測定し、次に両隣接のランド(L)トラック上にランダムデータを10回ずつオーバーライト記録して、真中のGトラックのキャリアレベルを測定し、Lに記録する前後のGのキャリアレベルの差を調べて行った。システム的に許容されるXE値は概ね0.5dB未満である。
【0035】
図22は、第1誘電体層(高熱伝導率)2と第2誘電体層(低熱伝導率)3の誘電体材料を変えて行った実験の結果を示している。誘電体材料を変える毎に、誘電体の光学定数に合わせて、光学コントラスト比(|Rc−Ra|)/(Rc+Ra)が最大になる様に各層の膜厚を設計して媒体膜を試作した。但し、第1誘電体層(高熱伝導率)2の膜厚については、図17に示す好ましい範囲内の中から、高いコントラスト比が得られる値を選定した。記録再生評価においては、線速は5.6m/sを中心に何通りか変えて効果を明らかにした。図22から明らかな様に、第1誘電体層(高熱伝導率)2の熱伝導率κhと第2誘電体層(低熱伝導率)3の熱伝導率κlの比を10以上に設定した場合に、XEが0.5dB以下の実用的な値を示す事が判る。図22において、第1誘電体層(高熱伝導率)2の熱伝導率κhと第2誘電体層(低熱伝導率)3の熱伝導率κlの比が1の場合は、図1において第1誘電体層(高熱伝導率)2が無い場合に相当する。ここで、図20に示す条件、即ち、記録再生レーザの媒体面上におけるスポットサイズが、全半値幅(FWHM)で約0.32μm、e−2径で約0.52μm、トラックピッチとして0.34μmのランド・グルーブ(L/G)記録を用いた。同一の媒体を用いた場合、当然の事ながら、XEはトラックピッチが狭ければ大きく、広ければ小さい。本発明の媒体は、XEを低減化してトラック密度を向上させる(トラックピッチを狭くする)ことができる。つまり、FWHMに近いトラックピッチを選定した。本発明が効果的なトラックピッチは概ねスポットのFWHM以上、e−2径の75%以下の範囲である。この範囲内において、トラックピッチが狭い程、κh×dは大きめに設定するのが好ましく、トラックピッチが広い場合には、κh×dの選択範囲は小さい方に拡張する。
【0036】
図23は、第1誘電体層(高熱伝導率)2の材料と膜厚を変え、κh×dを変えて、XEと記録感度を調べた結果を示す図である。第2誘電体層(低熱伝導率)3としては、熱伝導率が0.5(W/mK)程度のZnS−SiO2を用いた。記録感度は9Tの単一周波数の信号を記録した際にCNRが飽和する記録パワーで、かつ二次高調波が最小となる記録パワー(Popt)として定義した。κh×dが式(1)に規定する下限よりも低い場合、XEが急激に劣化する事、κh×dが式(1)に規定する上限よりも高い場合、記録感度が急激に劣化する事が判る。κh×dが過小な場合、XEが増大する理由は、膜厚方向の熱伝導促進効果が希薄になる為であり、κh×dが過大な場合、Poptが極端に高くなる理由は、熱伝導促進効果が過剰になり、記録層の温度が融点以上に達しにくくなる為である。Poptは線速にも依存するが、図20に示した評価条件は、フォーマット効率が82%程度な場合にユーザデータ転送速度として35Mbpsが得られる条件であり、例えば次世代の高精彩動画像対応のDVDとして典型的な値である。線速を落とした場合、κh×dが本発明の上限値を超えた場合でもPoptの極端な上昇は回避可能だが、転送速度が遅い態様は実用的メリットが少ないので、本発明ではκh×dの上限値として、実用的な転送速度で実用的感度が得られる値を規定した。
【0037】
図3は、本発明の第2例の片面単記録層の相変化光記録媒体の断面を示す図である。図3に示すように相変化光記録媒体は、順に、光入射側透明基体1、第2誘電体層(低熱伝導率)3、第1誘電体層(高熱伝導率)2、相変化記録層4、第3誘電体層5、反射層6、UV硬化層7、及び基体8を備えている。つまり、図1に示す第2例の単記録層の相変化光記録媒体における第1誘電体層(高熱伝導率)2と第2誘電体層(低熱伝導率)3の位置を逆転させたものである。
【0038】
図4は、本発明の第2例の片面複記録層(2層)の相変化光記録媒体の断面を示す図である。図4に示すように相変化光記録媒体は、順に、光入射側透明基体1、第2誘電体層(低熱伝導率)3、第1誘電体層(高熱伝導率)2、相変化記録層4、第3誘電体層5、反射層6、UV硬化層7、第2誘電体層(低熱伝導率)3、第1誘電体層(高熱伝導率)2、相変化記録層4、第3誘電体層5、反射層6、及び基体8を備えている。
【0039】
なお、この第2例の相変化光記録媒体の各層に付された符号は、第1例の相変化光記録媒体に付された符号と関連する。つまり、同一の符号は同一のものを示す。
【0040】
図1及び図2に示すように、第1例の相変化光記録媒体は、光入射側透明基体1、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第2誘電体層(低熱伝導率)3、相変化記録層4の順で構成されているため、第1誘電体層(高熱伝導率)2に熱が伝わりやすい。この熱の影響により光入射側透明基体1の変形または変質などが起こり得る。これに対して、第2例の相変化光記録媒体の層構成によれば、つまり光入射側透明基体1と第1誘電体層(高熱伝導率)2との間に、第2誘電体層(低熱伝導率)3を挿入すれば、このような問題を解消できる。
【0041】
第2例の相変化光記録媒体の場合、適正なκh×dの範囲は、式(1)に規定する範囲よりも小さい方向にシフトしたが、シフト量としては20%以内であった。又、図17に示した第1誘電体層(高熱伝導率)2の材料は、ZnS−SiO2よりも全て高硬度である。この為、第1誘電体層(高熱伝導率)2は、オーバーライト繰り返しによる相変化記録層の体積変化を吸収する機能はZnS−SiO2より低い。但し、第1誘電体層(高熱伝導率)2と第2誘電体層(低熱伝導率)3を分割して積層する形態では、比較的自由度を増す事が可能となる。例えば、光入射側透明基体1上に、先ず低熱伝導誘電体層を形成し、続いて高熱伝導誘電体層を形成し、続いて低熱伝導誘電体層を形成し、その上に数nm程度の高熱伝導層を形成した後、相変化記録層4を形成する。この場合は、オーバーライト耐久性も含めて、良好な特性が得られた。高熱伝導誘電体膜を分割形成した場合は、そのトータルの膜厚が式(1)の条件を満たせば良い事も判明した。
【0042】
図5は、本発明の第3例の片面単記録層の相変化光記録媒体の断面を示す図である。図5に示すように相変化光記録媒体は、順に、光入射側透明基体1、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第1屈折率の誘電体層31、第2屈折率の誘電体層32、第3屈折率の誘電体層33、相変化記録層4、第3誘電体層5、反射層6、UV硬化層7、及び基体8を備えている。
【0043】
図6は、本発明の第3例の片面複記録層(2層)の相変化光記録媒体の断面を示す図である。図6に示すように相変化光記録媒体は、順に、光入射側透明基体1、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第1屈折率の誘電体層31、第2屈折率の誘電体層32、第3屈折率の誘電体層33、相変化記録層4、第3誘電体層5、反射層6、UV硬化層7、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第1屈折率の誘電体層31、第2屈折率の誘電体層32、第3屈折率の誘電体層33、相変化記録層4、第3誘電体層5、反射層6、及び基体8を備えている。
【0044】
なお、この第3例の相変化光記録媒体の各層に付された符号は、第1例の相変化光記録媒体に付された符号と関連する。つまり、同一の符号は同一のものを示す。
【0045】
第1屈折率は、第2屈折率と異なる屈折率である。第2屈折率は、第3屈折率と異なる屈折率である。第1屈折率の誘電体層31、第2屈折率の誘電体層32、第3屈折率の誘電体層33の中の少なくも一つの層は、第2誘電体層(低熱伝導率)3に相当する。高屈折率層としては、ZnS−SiO2,TiO2,Si3N4,Nb2O5,ZrO2,ZnOを用いる事が出来る。低屈折率層としては、SiO2,MgF2,CaF2, プラズマ重合膜、有機系スピンコート膜等を用いる事が出来る。この他、高屈折率層として、図17の材料の中から、低屈折率層よりも屈折率の高い膜、例えば、B4C,SiC,WC,AlN,BN,DLC、各種硼化物等も選択可能である。
【0046】
この第3例では、1層の第1誘電体層(高熱伝導率)2及び3層の誘電体層31、32、33を備えた媒体について説明したが、この発明はこれに限定されるものではない。第1誘電体層(高熱伝導率)2が複数層あってもよい。例えば、第1誘電体層(高熱伝導率)2を複数層設け、これら第1誘電体層(高熱伝導率)2の間に、誘電体層31、32、33の中の少なくも1つの層を挿入するようにしてもよい。
【0047】
また、第1誘電体層(高熱伝導率)2と基体1とが接するように配置しなくてもよい。例えば、第1誘電体層(高熱伝導率)2と基体1との間に、誘電体層31、32、33の中の少なくも1つの層を挿入するようにしてもよい。即ち、基体1、誘電体層31、32、33の中の少なくも1つの層、第1誘電体層(高熱伝導率)2、誘電体層31、32、33の中の少なくも1つの層、の順に構成されてもよい。また、第1誘電体層(高熱伝導率)2と相変化記録層4とがダイレクトに接するように配置されてもよい。
【0048】
この第三例のポイントとしては、誘電体層31、32、33の3つの層の中の少なくも一つ層に第2誘電体層(低熱伝導率)3を適用している点である。第2誘電体層(低熱伝導率)3の熱伝導率κlと第1誘電体層(高熱伝導率)2の熱伝導率κhの関係は、κh/κl≧10を満たし、且つ式(1)の条件を満たす。これら二つの要件を満たす範疇においては、膜構造と膜材料の選択の自由度は大きい。例えば、膜材料であるが、誘電体層31、32、33の3つの層の中の少なくも一つの層は第2誘電体層(低熱伝導率)3であるが、他の二つの誘電体層は図17に示す高熱伝導材料、図18に示す低熱伝導材料、図19に示す中熱伝導材料の中から自由に選択する事が可能である。
【0049】
この第3例の効果も第1例で示したと同様の手法で調べた所、概ね、第1例で得られたと同様の効果(図22及び図23に示した効果)を確認する事が出来た。第1誘電体層(高熱伝導率)2の位置が記録層に近い程、Poptは高くなったが、XEは小さくなったのも、第1例と同様であった。適正なκh×dの範囲のシフト量も第1例と同様に20%程度以内であった。
【0050】
図7は、本発明の第4例の片面単記録層の相変化光記録媒体の断面を示す図である。図7に示すように相変化光記録媒体は、順に、光入射側透明基体1、第1屈折率の誘電体層(高屈折率)31、第2屈折率の誘電体層(低屈折率)32、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第3屈折率の誘電体層(高屈折率)33、相変化記録層4、第3誘電体層5、反射層6、UV硬化層7、及び基体8を備えている。
【0051】
図8は、本発明の第4例の片面複記録層(2層)の相変化光記録媒体の断面を示す図である。図8に示すように相変化光記録媒体は、順に、光入射側透明基体1、第1屈折率の誘電体層(高屈折率)31、第2屈折率の誘電体層(低屈折率)32、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第3屈折率の誘電体層(高屈折率)33、相変化記録層4、第3誘電体層5、反射層6、UV硬化層7、第1屈折率の誘電体層(高屈折率)31、第2屈折率の誘電体層(低屈折率)32、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第3屈折率の誘電体層(高屈折率)33、相変化記録層4、第3誘電体層5、反射層6、及び基体8を備えている。
【0052】
なお、この第4例の相変化光記録媒体の各層に付された符号は、第3例の相変化光記録媒体に付された符号と関連する。つまり、同一の符号は同一のものを示す。
【0053】
第1屈折率は、第2屈折率より高い屈折率である。第2屈折率は、第3屈折率と異なる屈折率である。なお、この第4例では、相変化光記録層4と基体1との間に設けられる各誘電体層が3層のケースについて説明するが、複数層であれば3層だけに限定されるものではない。
【0054】
又、各誘電体層の材料選択であるが、高屈折率層としては、ZnS−SiO2,TiO2,Si3N4,Nb2O5,ZrO2,ZnOを用いる事が出来る。低屈折率層としては、SiO2,MgF2,CaF2, プラズマ重合膜、有機系スピンコート膜等を用いる事が出来る。この他、高屈折率層として、図17に示す材料の中から、低屈折率層よりも屈折率の高い膜、例えば、B4C,SiC,WC,AlN,BN,DLC、各種硼化物等も選択可能である。
【0055】
ここで、第4例の具体例を挙げる。プリフォーマッティングされた0.6mm厚のポリカーボネイトからなるL/G基板を透明基体1として選ぶ。この透明基体1上にスパッタリング法により、層の厚さ10−30nmのZnS−SiO2で構成される第1屈折率の誘電体層(高屈折率)31、層の厚さ30−60nmのSiO2で構成される第2屈折率の誘電体層(低屈折率)32、層の厚さ10−30nmのAlNで構成される第1誘電体層(高熱伝導率)2、層の厚さ10−30nmのZnS−SiOで構成される第3屈折率の誘電体層(高屈折率)33、層の厚さ10−20nmのGe40Sb4Bi4Te52で構成される相変化記録層4、層の厚さ10−40nmのZnS−SiO2で構成される第3誘電体層5、層の厚さ50−200nmのAbPdCuで構成される反射層6を順次成膜する。その後、UV硬化層7、接着層を介して0.6mm厚のポリカーボネイト製対向基体8を貼り合せ、バルクイニシャライザーを用いて、相変化記録層4を初期結晶化した後、記録再生試験に供した。この層構成は、Rc<Ra,Ac>Aaを満たす構成であり、Rcは概ね5%以上と実用的な値を示した。記録再生試験は図20に示す条件を用いて行い、シングルトラックランダムオーバライト1000回後に9Tのマークピッチの単一周波数の信号を記録して9T−CNRを測定する。続いて、両隣接トラック上にランダムパターンを1000回オーバーライトした後、真中のトラックの9T−CNRを測定した。又、XEについては第1例と同様の手法を用いても測定した。この具体例の評価結果を図21に示す。シングルトラックランダムオーバライト1000回後のCNRは極めて高い値を示す。さらに、両隣接トラック上にランダムパターンを1000回オーバーライトした後のCNRも隣接トラックに記録する前と同等のCNRを維持する。XEの影響が実質的にない事が証明された。第1例と同様の評価方法で調べたXEも0.5dB未満であり、システム要求を満たしている事が判る。この様に優れたアナログ特性を示す媒体のbERをPRML変復調方式を適用して調べた。その結果、ボトムbERもGで2.7×10E−5、Lで8.7×10E−6と、システム要求の10E−4を大幅に下回る優れた値を示し、本発明の効果が立証された。ここで図21中のPw/Peは非晶質化パワー(記録パワー)/結晶化パワー(消去パワー)を各々意味し、Pwは実質的にPoptと同一である。
【0056】
次に、図9及び図10を参照して、第4例の変形例である第5例について説明する。
【0057】
図9は、本発明の第5例の片面単記録層の相変化光記録媒体の断面を示す図である。図9に示すように相変化光記録媒体は、順に、光入射側透明基体1、第1屈折率の誘電体層(高屈折率)31、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第2屈折率の誘電体層(低屈折率)32、第3屈折率の誘電体層(高屈折率)33、相変化記録層4、第3誘電体層5、反射層6、UV硬化層7、及び基体8を備えている。
【0058】
図10は、本発明の第5例の片面複記録層(2層)の相変化光記録媒体の断面を示す図である。図10に示すように相変化光記録媒体は、順に、光入射側透明基体1、第1屈折率の誘電体層(高屈折率)31、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第2屈折率の誘電体層(低屈折率)32、第3屈折率の誘電体層(高屈折率)33、相変化記録層4、第3誘電体層5、反射層6、UV硬化層7、第1屈折率の誘電体層(高屈折率)31、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第2屈折率の誘電体層(低屈折率)32、第3屈折率の誘電体層(高屈折率)33、相変化記録層4、第3誘電体層5、反射層6、及び基体8を備えている。
【0059】
なお、この第5例の相変化光記録媒体の各層に付された符号は、第4例の相変化光記録媒体に付された符号と関連する。つまり、同一の符号は同一のものを示す。この第5例は、第4例の変形例であり、詳細は第4例と同様であり、第4例と同様の効果を得ることができる。
【0060】
図11は、本発明の第6例の片面単記録層の相変化光記録媒体の断面を示す図である。図11に示すように相変化光記録媒体は、順に、光入射側透明基体1、第2誘電体層(低熱伝導率)3、相変化記録層4、第3誘電体層51、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第4誘電体層52、反射層6、UV硬化層7、及び基体8を備えている。
【0061】
図12は、本発明の第6例の片面複記録層(2層)の相変化光記録媒体の断面を示す図である。図12に示すように相変化光記録媒体は、順に、光入射側透明基体1、第2誘電体層(低熱伝導率)3、相変化記録層4、第3誘電体層51、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第4誘電体層52、反射層6、UV硬化層7、第2誘電体層(低熱伝導率)3、相変化記録層4、第3誘電体層51、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第4誘電体層52、反射層6、及び基体8を備えている。
【0062】
なお、この第6例の相変化光記録媒体の各層に付された符号は、第1例の相変化光記録媒体に付された符号と関連する。つまり、同一の符号は同一のものを示す。
【0063】
この第6例の特徴は、相変化記録層4の光入射側の面とは反対側の面に第1誘電体層(高熱伝導率)2が配置されている点である。この様にする事で、他の例と同様に、PoptとXEの両立が図れる。また、第3誘電体層51及び第4誘電体層52の中の少なくとも一方が低熱伝導誘電体である。この低熱伝導誘電体の熱伝導率κlと第1誘電体層(高熱伝導率)2の熱伝導率κhの関係は、κh/κl≧10を満たし、且つ式(1)の条件を満たす。これら二つの要件を満たす範疇においては、膜構造と膜材料の選択の自由度は大きい。例えば、第3誘電体層51、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第4誘電体層52は、図11及び図12に示すように、夫々が単層であってもよいし、また図示しないが多層であってもよい。
【0064】
又、第1誘電体層(高熱伝導率)2を配する位置も、第3誘電体層51と第4誘電体層52の間に限定されない。例えば、相変化記録層4の直上でも、反射層6に隣接していても構わない。この第6例に示す媒体についても各種誘電体材料を適用して試作し、記録再生試験を行った。その結果、概ね第1例に示した効果(図22及び図23)を得た。この第6例に示す媒体は基本的には、Rc>Ra,Ac<Aaの光学応答を呈する。しかし、例えば、以下(1)〜(3)に示すように工夫して、Rc>Ra,Ac>Aaの光学応答に設計する事が可能である。
(1)透明基体1の直上に半透明膜を挿入する。
(2)反射層6として半透過型の材料を用いる。
(3)相変化記録層4と反射層6の間に第3誘電体層51、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第4誘電体層52の他に更に半吸収性の膜材料を配する。
【0065】
ここで具体例を挙げる。透明基体1上に、膜厚5−20nmのAgPdCuで構成される半透明層、膜厚40−80nmのZnS−SiO2で構成される第2誘電体層(低熱伝導率)3、膜厚1−5nmのHfO2で構成される界面層、膜厚10−20nmのGe40Sb8Te52で構成される相変化記録層4、膜厚1−5nmのHfO2で構成される界面層、膜厚5−25nmのZnS−SiO2で構成される第3誘電体層51、膜厚5−30nmのBNで構成される第1誘電体層(高熱伝導率)2、膜厚5−25nmのZnS−SiO2で構成される第4誘電体層52、膜厚50−200nmのAgNdCuで構成される反射層6を順次成膜した媒体においては、Rc>Ra,Ac>Aaの設計となる。つまり、Rcは20%程度となり、ヘッダ信号、サーボ信号上十分に高い値を示すと同時に、図21に示す記録再生特性と同等のものが得られた。
【0066】
次に、図13及び図14を参照して、第1例及び第6例の変形例である第7例について説明する。
【0067】
図13は、本発明の第7例の片面単記録層の相変化光記録媒体の断面を示す図である。図13に示すように相変化光記録媒体は、順に、光入射側透明基体1、第2誘電体層(低熱伝導率)3、相変化記録層4、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第3誘電体層5、反射層6、UV硬化層7、及び基体8を備えている。
【0068】
図14は、本発明の第7例の片面複記録層(2層)の相変化光記録媒体の断面を示す図である。図14に示すように相変化光記録媒体は、順に、光入射側透明基体1、第2誘電体層(低熱伝導率)3、相変化記録層4、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第3誘電体層5、反射層6、UV硬化層7、第2誘電体層(低熱伝導率)3、相変化記録層4、第1誘電体層(高熱伝導率)2、第3誘電体層5、反射層6、及び基体8を備えている。
【0069】
なお、この第7例の相変化光記録媒体の各層に付された符号は、第1例の相変化光記録媒体に付された符号と関連する。つまり、同一の符号は同一のものを示す。この第7例は、第1例及び第4例の変形例であり、詳細は第1例及び第4例と同様であり、第1例及び第4例と同様の効果を得ることができる。
【0070】
さらに、図15及び図16を参照して、第1例及び第6例の変形例である第8例について説明する。
【0071】
図15は、本発明の第8例の片面単記録層の相変化光記録媒体の断面を示す図である。図15に示すように相変化光記録媒体は、順に、光入射側透明基体1、第2誘電体層(低熱伝導率)3、相変化記録層4、第3誘電体層5、第1誘電体層(高熱伝導率)2、反射層6、UV硬化層7、及び基体8を備えている。
【0072】
図16は、本発明の第8例の片面複記録層(2層)の相変化光記録媒体の断面を示す図である。図16に示すように相変化光記録媒体は、順に、光入射側透明基体1、第2誘電体層(低熱伝導率)3、相変化記録層4、第3誘電体層5、第1誘電体層(高熱伝導率)2、反射層6、UV硬化層7、第2誘電体層(低熱伝導率)3、相変化記録層4、第3誘電体層5、第1誘電体層(高熱伝導率)2、反射層6、及び基体8を備えている。
【0073】
なお、この第8例の相変化光記録媒体の各層に付された符号は、第1例の相変化光記録媒体に付された符号と関連する。つまり、同一の符号は同一のものを示す。この第8例は、第1例及び第4例の変形例であり、詳細は第1例及び第4例と同様であり、第1例及び第4例と同様の効果を得ることができる。
【0074】
次に、第9例について説明する。第9例の相変化光記録媒体は、第1例、第3例、第4例のうちのどれかと、第6例とを組み合わせた構成の相変化光記録媒体である。この構成では、相変化記録層4の上下に第1誘電体層(高熱伝導率)2が配され、下記(1)及び(2)の二つの要件が満たされていれば、層構成の自由度は極めて高い。
【0075】
(1)上下トータルの膜厚dと第1誘電体層(高熱伝導率)2の熱伝導率κhの積が、式(1)の要件を満たす。
【0076】
(2)第1誘電体層(高熱伝導率)2以外に相変化記録層4の上下いづれかもしくは両側に配される誘電体層の中の少なくも一つが第2誘電体層(低熱伝導率)3であり、熱伝導率κlとκhとの関係がκh/κl≧10を満たす。
【0077】
ここで具体例を挙げる。プリフォーマッティングされた0.6mm厚のポリカーボネイトからなるL/G基板を透明基体1として選び、その上にスパッタリング法により、膜厚10−30nmのZnS−SiO2で構成される第1屈折率(高屈折率)の誘電体層31、膜厚30−60nmのSiO2で構成される第2屈折率(低屈折率)の誘電体層32、膜厚5−15nmのAlNで構成される入射側の第1誘電体層(高熱伝導率)2、膜厚10−30nmのZnS−SiO2で構成される第3屈折率(高屈折率)の誘電体層33、膜厚10−20nmのGe40Sb4Bi4Te52で構成される相変化記録層4、膜厚5−20nmのZnS−SiO2で構成される誘電体層5、膜厚5−20nmのBNで構成される反射層側の第1誘電体層(高熱伝導率)2、膜厚5−20nmのZnS−SiO2で構成される誘電体層、膜厚50−200nmのAbPdCuで構成される反射層6を順次成膜し、さらに接着層を介してUV硬化層7、さらにその上には0.6mm厚のポリカーボネイト製対向基体8を貼り合せ、相変化光記録媒体が生成される。生成された相変化光記録媒体は、バルクイニシャライザーにより相変化記録層4が初期結晶化された後、記録再生試験に供される。この相変化光記録媒体の層の構成は、Rc<Ra,Ac>Aaの構成であり、Rcは概ね5%以上と実用的な値を示した。その結果、図21に示す記録再生特性と同等以上の値が得られた。又、各層、特に各誘電体層の材料と膜厚の選定により、Rc>Ra,Ac>Aaと光学設計する事も可能であった。
【0078】
ここで、上記各例の相変化光記録媒体の片面複記録層(2層)の作用効果についてまとめる。
【0079】
片面に二つの相変化記録層を持つ媒体においては、光入射側に近い方の記録媒体部をL0(第1層)、遠い方の記録媒体部をL1(第2層)と称する。L0とL1の間は厚みが数10μm程度の透明樹脂からなる中間分離層が配される。L0には50%程度の高い透過率、非晶質状態と結晶状態での透過率差が少ない事が要求され、L1には高感度性が要求される。本発明の媒体は高感度性と低XE性を両立するものなので、L1に本発明の層構成を適用可能な事は、上記説明した単記録層のケースのPoptを見ても明白であり、青色半導体レーザの光源出力の半分以下のPoptが得られている事が、例えば図23から判る。L1層の形成は、一般的にはプリフォーマッティングされた基板上に、光入射側とは反対側の膜から光入射側の膜へ向けて、片面単記録層の媒体とは逆向きに成膜すれば良い。
【0080】
本発明は片面に二つの相変化記録層を持つ媒体のL0に適用した場合にも、高感度化と低XE化を両立する上で効果的である。図1、図3、図5、図7、図9、図11、図13、図15に示す媒体において、相変化記録層の厚さを5−7nm程度、反射層の厚さを3−15nm程度にすれば、透過率50%程度のL0層になり得る。この様に記録層が薄い構成の媒体においても本発明は有用である。
【0081】
ここで、L0に本発明を適用した具体例を例示する。例えば光入射側の透明基体上に、スパッタリング法により、膜厚10−30nmのZnS−SiO2で構成される高屈折率層、膜厚10−50nmのAlNで構成される高熱伝導誘電体層、膜厚10−30nmのZnS−SiO2で構成される高屈折率層、膜厚1−5nmのCeO2で構成される界面層、膜厚5−7nmのGe40Sb4Bi4Te52で構成される相変化記録層、膜厚5−20nmのZnS−SiO2で構成される誘電体層、膜厚3−15nmのAgPdCuで構成される半透過型反射層、膜厚5−20nmのBNで構成される高熱伝導誘電体層を順次成膜した後、上記説明した各例の片面単記録層の構成を適用したL1層(もしくは本発明を適用しないL1層でも良い)を中間分離層を介して接着する。これにより、本発明を適用したL0層及びL1層を具備する片面二層相変化光記録媒体を形成する事が出来る。得られた片面二層媒体の特性も図20に示したよりも10%程度、線密度もしくはトラック密度を低下させた条件で調べた所、図21に示す特性とほぼ同等の結果がL0,L1共に得られ、本発明が片面二層相変化光記録媒体にも有用である事が明確になった。
【0082】
以上説明した本発明によれば、相変化光記録媒体の記録感度を適正に出来ると共に、狭トラック化した場合に問題となるクロスイレーズを大幅に低減出来るので、片面単記録層、片面二層記録共に、相変化光記録の記憶容量を格段に向上する事が可能となる。
【0083】
本発明の本質的効果は、クロスイレーズ低減化による高トラック密度化にあるので、特に従来技術において効果が確認されているAc>Aaの構成の媒体に限定される事は無いが、Ac>Aaに調整された媒体に本発明を適用する事で、更に本発明の作用効果は顕著となる事は言うまでも無い。
【0084】
以下、効果をまとめる。
【0085】
(1)第1例及び第2例の本発明は、相変化記録層の光入射側に、少なくも高熱伝導誘電体層と低熱伝導誘電体層の二種の誘電体層を配する構成の相変化光記録媒体で、高熱伝導層の熱伝導率は低熱伝導層の熱伝導率の10倍以上である。この様にする事で、記録層の膜厚方向の熱伝導を促進する事が出来、クロスイレーズが低減化出来る。高熱伝導率の誘電体層は記録層に接して配されていても良いが、記録感度とオーバーライト耐久性を確保する上では、ZnS−SiO2等に代表される低熱伝導層が記録層に接して配され、その光入射側に高熱伝導層が配されるのが良い。高熱伝導層の光入射側は透明基体で有っても良いし、ZnS−SiO2,SiO2,ZrO2,BaTiO3,TiO2,Y2O3,Cu2O,CeO2,HfO2,MgF2,CaF2,C−H結合もしくはC−F結合を有するプラズマ重合膜、C−F結合を有する有機系スパッタ膜、有機系スピンコート膜等の比較的熱伝導率の低い膜が配されていても良い。高熱伝導膜は、図17に示す材料の中から選択される少なくも一種以上の材料を含むことが望ましい。さらに、κhが100(W/mK)以上と高く、dが薄くても十分なXE低減効果を示す材料として、SiC、WC、AlN、BN、BeO、GdB4、TbB4、TmB4、DLC(Diamond like Carbon) の中から選択される少なくも一種以上の材料を含むことが望ましい。さらに、光ディスクの成膜に最適なスパッタリング方法、特に低音スパッタ法においても、消衰係数が十分に低く厚膜でも高い透過率を容易に示す材料として、第1誘電体層(高熱伝導率)2が、AlN、BN、DLC(Diamond like Carbon)の中から選択される少なくも一種以上の材料を含むことが望ましい。
【0086】
なお、Rc,Raの大小関係、Ac,Aaの大小関係に特に限定はないが、低熱伝導膜材料と膜厚、高熱伝導膜材料と膜厚の選定により、Ac>Aaとするか、もしくは、記録層の光入射面と反対側の面に半吸収膜を用いるか、反射膜部に半透明膜を用いるかして、Ac>Aaとするのが好ましい。
【0087】
なお、本発明で言う所の誘電体層は複素屈折率の消衰係数(k)が実質的に零の膜を指すが、光記録媒体として見た場合に透明な膜材料で有ればよく、必ずしもk=0である必要はない。許容されるkの値は膜厚に依存するが、単層の透過率として、少なくも80%以上、好ましくは90%以上有れば、本発明の誘電体層として用いる事が可能である。
【0088】
又、本発明で言う熱伝導率(κ)は、本質的には相変化光記録媒体に用いる薄膜のκを指すが、本発明に至る過程で行った各種実験の結果に基づいて、熱物性ハンドブック等に記載されているバルクのκで数値範囲限定(式(1))したものであり、使用している材料を特定する事により、本発明を実施しているか否かを知る事が出来る。
【0089】
又、高熱伝導誘電体層の熱伝導率(κh)が低熱伝導誘電体層の熱伝導率(κl)の10倍以上という規定は、所定の線速(最短ビットピッチ、フォーマット効率と併せてデータ転送速度を決定)において、実用的な感度と、実用上十分に低いクロスイレーズ(XE)を両立させる為の条件である。線速は光記録システムもしくは光記録ドライブの設計事項であるが、実用的な線速範囲、例えば数m/sから数10m/sの範囲内において、κh/κl≧10を満足すれば、感度とXEの両立が図れる。線速に応じて適正なκhとκlの各々の範囲は決まり、例えば、本発明で主に用いる線速:5.6m/s(最短ビットピッチ:0.13μm/bit、フォーマット効率:82%においてユーザデータ転送速度:35Mbpsの高精彩動画像対応)においては、適正なκlは概ね0.01−10(W/mK)であり、これに応じて適正なκhは0.1(W/mK)以上もしくは100(W/mK)以上となる。最適例の一つは低熱伝導誘電体層としてZnS−SiO2を用いた場合で、この場合κlは約0.5(W/mK)となり、適正なκhは5(W/mK)以上、好ましくは50(W/mK)以上、更に好ましくは100(W/mK)以上となる。線速がより速い場合には、κl,κhの適正値は低い方にシフトし、線速がより速い場合は高い方にシフトする。線速が、数m/sから数10m/sの範囲内においては、κh/κl≧10を満足すれば、感度とXEの両立が図れる。又、線速が変わった場合、感度とXEの両立はκh,κlそのものの値の他に、式(1)に規定するκh×dで調整する事が出来る。
【0090】
(2)第3例、第4例、及び第5例の本発明は、記録層の光入射側に屈折率の異なる二種以上の誘電体層と、その他に高熱伝導誘電体層を具備する相変化光記録媒体であり、屈折率の異なる二種以上の誘電体層としては、高屈折率層としては、ZnS−SiO2,TiO2,Si3N4,Nb2O5,ZrO2,ZnO等、低屈折率層としては、SiO2,MgF2,CaF2, プラズマ重合膜、有機系スピンコート膜等を用いる事が出来る。屈折率の異なる二種以上の誘電体層を用いる事により光学設計の自由度が大幅に改善されるのが特長である。第二の発明に用いる高熱伝導膜の材料には上記(1)に示した選択が好ましい。Rc,Raの大小関係、Ac,Aaの大小関係に特に限定はないが、屈折率の異なる二種以上の誘電体層の材料と膜厚、高熱伝導膜材料と膜厚の選定により、Ac>Aaとするか、もしくは、記録層の光入射面と反対側の面に半吸収膜を用いるか、反射膜部に半透明膜を用いるかして、Ac>Aaとするのが好ましい。高熱伝導誘電体膜の挿入位置は透明基体上、屈折率の異なる二種以上の誘電体層の間、誘電体層と相変化記録層の間のいずれかで構わないが、適度な記録感度とオーバーライト耐久性を確保する上では、ZnS−SiO2等に代表される低熱伝導膜が記録層に接して配され、その光入射側に高熱伝導膜が配されるのが良い。その他は、上記(1)と同様の事が言える。最も好ましい態様は次の(3)に説明する。
【0091】
(3)第4例の本発明に類似の改良技術として、既に本発明の発明者等は、特願2002−52111として、Rc<RaかつAc>Aaの媒体の相変化光記録層の光入射側に、半吸収性膜、代表的には膜厚が10数nm程度以下の高熱伝導金属膜を配して、膜厚方向の熱伝導を促進しクロスイレーズを低減化する構造を提案した。その後、発明者等の研究の進展により、記録層の光入射側に半吸収性の膜材料を用いると、記録感度を損ねる事、多結晶性の金属膜を配すると粒界に起因してノイズ上昇が起こる事が判明した。その後、半吸収性の膜に代えて高熱伝導の誘電体層を配すると、記録感度を損ねず、かつノイズ上昇を伴わずにクロスイレーズを低減化出来る事が判明した。又、半吸収の高熱伝導膜を用いる場合には、膜厚に制限が有ったが、高熱伝導の誘電体層を用いる場合には、特に膜厚に制限が無い為、厚膜化により、更にクロスイレーズ低減効果が顕著になる事が判り、第4例の本発明のポイントとなる高熱伝導誘電体層を配する位置は、特にクロスイレーズ低減化効果が顕著な、記録層に近い部分に配した場合であり、オーバーライト繰返し耐久性や高消去特性も加味した場合、光入射側の透明基体上に、透明基体とは屈折率の異なる誘電体層として例えば低熱伝導率のZnS−SiO2、その上にAc>Aaの設計を容易にする為の例えばやはり低熱伝導率だがZnS−SiO2と屈折率差の大きいSiO2、その上に本発明のポイントとなる高熱伝導の誘電体層、その上にオーバーライト耐久性確保の為の例えばZnS−SiO2の配置構成である。ZnS−SiO2の上には記録層が直接形成されていても良いし、数nm厚の結晶化促進層を介して記録層が積層されていても構わない。結晶化促進層を用いない場合には、例えばBiやSnを置換したGeSbTe膜を記録層に用いる事が、消去率を確保する上で好ましい。結晶化促進層を用いる場合は、無置換のGeSbTeを記録層に用いる事も可能で、結晶化促進層としては、GeN,HfO2,CeO2,Ta2O5等が代表的である。高熱伝導膜の材料には上記(1)に示した選択が好ましい。その他は、上記(1)と同様の事が言える。
【0092】
(4)第6例の本発明は、発明者等が提案した特願2002−86297に開示される媒体の改良技術に関する。構成的にはRc>RaかつAc<Aaの媒体のクロスイレーズを低減化するものだが、吸収率制御層との併用もしくは半透過型反射層との併用により、Rc>RaかつAc>Aaの媒体のクロスイレーズ低減化にも効果を発揮する。特願2002−86297においては、記録層と反射層の間の誘電体層を分割し、その中間に10数nm程度以下の膜厚の半透過型の高熱伝導金属膜を挿入し、膜厚方向の熱伝導を促進してクロスイレーズを低減化する技術を開示した。その後の本発明の発明者等の研究開発により、半透過型の高熱伝導金属膜の採用は、前記した特願2002−52111の場合と同様に、記録感度の低下、ノイズレベルの上昇を招く事が判明し、本発明に至ったものである。第6例の本発明における、高熱伝導の誘電体層を挿入する位置は、記録層と第二誘電体層の間、第二誘電体層(少なくも二つ以上に分割する)の中間部、第二誘電体層と反射層の間のいずれかで構わないが、(1)〜(4)で説明したと同様の理由で、記録層上には結晶化促進層もしくはオーバーライト耐久性上好ましい例えばZnS−SiO2が存在し、この上に高熱伝導透明層が存在し、更にその上に低熱伝導透明層(例えばZnS−SiO2)を介して反射層、もしく高熱伝導誘電体層に直接接して反射層を配する構成が最も好ましい。高熱伝導誘電体層の熱伝導率は、第二誘電体層中最も熱伝導率の低い膜材料の熱伝導率の10倍以上である。この様にする事で、記録層の膜厚方向の熱伝導を促進する事が出来、XEが低減化出来ると共に、第一の発明で説明した様に実用的な線速範囲において感度とXEの両立が可能となる。
【0093】
(5)本発明は、上記(1)もしくは(2)もしくは(3)の発明と(4)の発明の両方の構成を併せ持つ相変化光記録媒体であり、記録層の光入射側の面及び光入射側とは反対側の面の両方に高熱伝導透明膜を具備する態様である。高熱伝導膜の材料には上記(1)に示した選択が好ましい。
【0094】
又、本発明は片面単記録層媒体以外に片面2記録層媒体のL0層及びL1層への適用も可能である。
【0095】
なお、本願発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。また、各実施形態は可能な限り適宜組み合わせて実施してもよく、その場合組み合わせた効果が得られる。更に、上記実施形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適当な組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施形態に示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
【0096】
【発明の効果】
この発明によれば、クロスイレーズの低減化により更なる高密度化を図ることが可能な相変化光記録媒体を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1例の片面単記録層の相変化光記録媒体の断面の概略を示す図である。
【図2】本発明の第1例の片面複記録層(2層)の相変化光記録媒体の断面の概略を示す図である。
【図3】本発明の第2例の片面単記録層の相変化光記録媒体の断面の概略を示す図である。
【図4】本発明の第2例の片面複記録層(2層)の相変化光記録媒体の断面の概略を示す図である。
【図5】本発明の第3例の片面単記録層の相変化光記録媒体の断面の概略を示す図である。
【図6】本発明の第3例の片面複記録層(2層)の相変化光記録媒体の断面の概略を示す図である。
【図7】本発明の第4例の片面単記録層の相変化光記録媒体の断面の概略を示す図である。
【図8】本発明の第4例の片面複記録層(2層)の相変化光記録媒体の断面の概略を示す図である。
【図9】本発明の第5例の片面単記録層の相変化光記録媒体の断面の概略を示す図である。
【図10】本発明の第5例の片面複記録層(2層)の相変化光記録媒体の断面の概略を示す図である。
【図11】本発明の第6例の片面単記録層の相変化光記録媒体の断面の概略を示す図である。
【図12】本発明の第6例の片面複記録層(2層)の相変化光記録媒体の断面の概略を示す図である。
【図13】本発明の第7例の片面単記録層の相変化光記録媒体の断面の概略を示す図である。
【図14】本発明の第7例の片面複記録層(2層)の相変化光記録媒体の断面の概略を示す図である。
【図15】本発明の第8例の片面単記録層の相変化光記録媒体の断面の概略を示す図である。
【図16】本発明の第8例の片面複記録層(2層)の相変化光記録媒体の断面の概略を示す図である。
【図17】第1誘電体層(高熱伝導率)として適用可能な材料と熱伝導率と好適な層の厚さの関係を示す図である。
【図18】第2誘電体層(低熱伝導率)として適用可能な材料と熱伝導率との関係を示す図である。
【図19】第1誘電体層(高熱伝導率)と第2誘電体層(低熱伝導率)との間の中間的な熱伝導誘電体層として適用可能な材料と熱伝導率との関係を示す図である。
【図20】相変化光記録媒体の記録再生特性の評価条件を示す図である。
【図21】グルーブトラック(G)及びランドトラック(L)におけるオーバーライトとクロスイレーズ(XE)値との関係を示す図である。
【図22】相変化光記録媒体の記録再生試験結果を示す図であって、第1誘電体層(高熱伝導率)の熱伝導率κ及び第2誘電体層(低熱伝導率)の熱伝導率κの比とトラックピッチ0.34μmにおけるクロスイレーズ(XE)値との関係を示す図である。
【図23】相変化光記録媒体のクロスイレーズ(XE)値と記録感度を調べた結果を示す図である。
【符号の説明】
1…光入射側透明基体
2…第1誘電体層(高熱伝導率)
3…第2誘電体層(低熱伝導率)
4…相変化記録層
5…第3誘電体層
6…反射層
7…UV硬化層
8…基体

Claims (10)

  1. 基板と、
    光ビームを反射する反射層と、
    前記基板と前記反射層との間に配置された層であって、光ビームの照射を受けて結晶状態と非晶質状態を遷移する相変化記録層と、
    前記基板と前記反射層との間に配置された第1誘電体層と、
    前記基板と前記第1誘電体層との間に配置された層であって、前記第1誘電体層より熱伝導率が低い第2誘電体層と、
    を備えたことを特徴とする相変化光記録媒体。
  2. 前記第1誘電体層は、前記第2誘電体層と前記相変化記録層との間に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の相変化光記録媒体。
  3. 前記第1誘電体層と前記相変化記録層の間に配置された層であって、前記第2誘電体層と異なる屈折率の誘電体層を備えたことを特徴とする請求項1に記載の相変化光記録媒体。
  4. 前記第2誘電体層は、第1屈折率の誘電体層及び第2屈折率の誘電体層を含み、
    前記第1誘電体層と前記相変化記録層の間に配置された層であって、第3屈折率の誘電体層を備え、
    前記第1屈折率及び第3屈折率は前記第2屈折率より高いことを特徴とする請求項1に記載の相変化光記録媒体。
  5. 前記第1誘電体層と前記相変化記録層の間に配置された層であって、前記第2誘電体層と異なる屈折率の第3誘電体層と、
    前記第3誘電体層と前記相変化記録層の間に配置された層であって、前記第3誘電体層と異なる屈折率の第4誘電体層と、
    を備えたことを特徴とする請求項1に記載の相変化光記録媒体。
  6. 前記第1誘電体層は、前記相変化記録層と前記反射層との間に配置されており、
    前記相変化記録層と前記第1誘電体層との間に配置された層であって、前記第2誘電体層より熱伝導率が低い第3誘電体層と、
    前記第1誘電体層と前記反射層との間に配置された層であって、前記第2誘電体層より熱伝導率が低い第4誘電体層と、
    を備えたことを特徴とする請求項1に記載の相変化光記録媒体。
  7. 前記第1誘電体層は、前記相変化記録層と前記反射層との間に配置されており、
    前記第1誘電体層と前記反射層との間に配置された層であって、前記第2誘電体層より熱伝導率が低い第3誘電体層を備えたことを特徴とする請求項1に記載の相変化光記録媒体。
  8. 前記第1誘電体層は、前記相変化記録層と前記反射層との間に配置されており、
    前記相変化記録層と前記第1誘電体層との間に配置された層であって、前記第2誘電体層より熱伝導率が低い第3誘電体層を備えたことを特徴とする請求項1に記載の相変化光記録媒体。
  9. 前記第1誘電体層の厚さをd(nm)、300(K)における熱伝導率をκh(W/m・K)と定義すると、
    1.5×10E−6(W/K)≦κh×d≦1.5×10E−5(W/K)
    を満たすことを特徴とする請求項1に記載の相変化光記録媒体。
  10. 前記第1誘電体層は、SiC、WC、AlN、BN、BeO、GdB4、TbB4、TmB4、DLC(Diamond like Carbon)、Si3N4、B4C、TiC、MgO、ZnO、Al2O3、TiB2、ZrB2、Siの中から選択される少なくも一種以上の材料を含むことを特徴とする請求項1に記載の相変化光記録媒体。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8580368B2 (en) 2011-03-08 2013-11-12 Panasonic Corporation Information recording medium and method for manufacturing the same
US8685518B2 (en) 2011-03-08 2014-04-01 Panasonic Corporation Information recording medium and method for producing same
CN111505753A (zh) * 2020-04-22 2020-08-07 南京波长光电科技股份有限公司 一种基于碳化硅基底的co2反射膜及其制备方法

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW527592B (en) * 2001-03-19 2003-04-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Optical information recording media, and the manufacturing method and record regeneration method of the same
JP2003281780A (ja) * 2002-03-26 2003-10-03 Toshiba Corp 光記録媒体
US7335459B2 (en) * 2002-11-22 2008-02-26 Kabushiki Kaisha Toshiba Phase-change optical recording medium
US7439007B2 (en) * 2002-12-20 2008-10-21 Ricoh Company, Ltd. Phase change information recording medium having multiple layers and recording and playback method for the medium
JP2004220699A (ja) * 2003-01-15 2004-08-05 Tdk Corp 光記録媒体
JP4078237B2 (ja) * 2003-03-28 2008-04-23 Tdk株式会社 光記録媒体、光記録方法及び光記録装置
JP4354733B2 (ja) * 2003-04-18 2009-10-28 Tdk株式会社 光記録媒体
JP3940709B2 (ja) * 2003-07-01 2007-07-04 株式会社東芝 相変化光記録媒体
JP4113096B2 (ja) * 2003-10-30 2008-07-02 株式会社東芝 相変化光記録媒体
JP2005209247A (ja) * 2004-01-20 2005-08-04 Tdk Corp 光記録媒体
US20050207322A1 (en) * 2004-03-18 2005-09-22 Hon-Lun Chen Phase change optical disk
JP2005302275A (ja) * 2004-03-18 2005-10-27 Sharp Corp 光情報記録媒体、記録再生方法、ならびに記録再生装置
JP2005302261A (ja) * 2004-03-19 2005-10-27 Ricoh Co Ltd 光記録媒体
JP2006099905A (ja) * 2004-09-30 2006-04-13 Toshiba Corp 光記録媒体
JP4227091B2 (ja) * 2004-10-01 2009-02-18 株式会社東芝 相変化光記録媒体
EP1714757B1 (en) * 2005-04-21 2008-09-10 Rohm and Haas Company Wood preservatives
CN101019178B (zh) * 2005-06-06 2011-11-09 株式会社理光 相变型光记录介质与用于此类记录介质的再现方法与装置
US7567499B2 (en) * 2005-08-30 2009-07-28 Victor Company Of Japan, Ltd. Optical disc and method of producing the same
CN104659038A (zh) * 2015-03-13 2015-05-27 京东方科技集团股份有限公司 显示背板及其制作方法、显示装置
US10539727B2 (en) 2015-09-04 2020-01-21 President And Fellows Of Harvard College Modifying optical properties of thin film structures using an absorbing element
CN105824061B (zh) * 2016-04-28 2018-01-02 西安应用光学研究所 一种氟化镁中波红外光学窗口高强度保护膜的膜系结构
CN106086886B (zh) * 2016-08-10 2019-06-14 广东工业大学 一种自润滑二硼化钛/类金刚石涂层及其制备方法和应用

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0863784A (ja) * 1994-06-13 1996-03-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光記録媒体及び光記録媒体の使用方法
US6231945B1 (en) * 1997-09-09 2001-05-15 Hitachi, Ltd. Information recording medium
JPH11203725A (ja) * 1998-01-16 1999-07-30 Nec Corp 相変化光ディスク
JP2000182274A (ja) * 1998-10-06 2000-06-30 Tdk Corp 光記録媒体および光記録方法
JP3651559B2 (ja) * 1998-10-19 2005-05-25 株式会社東芝 光記録媒体
US6406771B1 (en) * 1999-10-29 2002-06-18 Toray Industries, Inc. Optical recording medium and optical recording apparatus
US6632583B2 (en) * 1999-12-07 2003-10-14 Mitsubishi Chemical Corporation Optical recording medium and production method of the same
TW519637B (en) * 2000-03-10 2003-02-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd Information recording medium and its manufacturing method
JP2001319370A (ja) * 2000-05-11 2001-11-16 Nec Corp 相変化光ディスク
JP2002157737A (ja) * 2000-05-12 2002-05-31 Tdk Corp 光記録方法および光記録媒体
AU6425401A (en) * 2000-06-16 2001-12-24 Mitsubishi Chemical Corporation Optical information recording medium
CN1194348C (zh) * 2000-11-30 2005-03-23 日本胜利株式会社 光记录媒体

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8580368B2 (en) 2011-03-08 2013-11-12 Panasonic Corporation Information recording medium and method for manufacturing the same
US8685518B2 (en) 2011-03-08 2014-04-01 Panasonic Corporation Information recording medium and method for producing same
CN111505753A (zh) * 2020-04-22 2020-08-07 南京波长光电科技股份有限公司 一种基于碳化硅基底的co2反射膜及其制备方法
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