JP2004113910A

JP2004113910A - Paste coating device

Info

Publication number: JP2004113910A
Application number: JP2002279614A
Authority: JP
Inventors: Junichi Kojima; 小嶋　純一
Original assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 2002-09-25
Filing date: 2002-09-25
Publication date: 2004-04-15
Anticipated expiration: 2022-09-25
Also published as: JP4301787B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To facilitate an exchange work of a paste (syringe) by a worker in a paste coating device adopted in assembling and manufacturing a liquid crystal substrate. <P>SOLUTION: The substrate 2 is mounted on a stage 4A on an X-Y-θ movement mechanism 4B and a paste pattern is drawn on the surface of the substrate 2 by a relative movement between the syringes 4E1, 4E2 on a head mechanism 4E. A movement driving source (motor 4B1a) in the Y direction in the X-Y-θ movement mechanism 4B is mounted on an opposite side (conveying robot 3 side) to the position where the worker stands and a distance L between the syringes 4E1, 4E2 and the worker is shortened. Thereby, the exchange work for the syringes 4E1, 4E2 is facilitated and an efficiency of the paste coating step is realized. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板表面にペーストパターンを描画するペースト塗布装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示パネル等の製造過程では、液晶を挟む２枚のガラス基板の貼り合わせが行われるが、その貼り合わせを行うために、一方のガラス基板の対向面に、接着剤であるペーストが塗布される。
【０００３】
図５は、搬送ロボットにより搬送されてくるガラス製の基板を受け取り、基板面にペーストを塗布描画する従来のペースト塗布装置の構成配置図で、図６はその要部拡大平面図、図７は図６に示したペースト塗布装置の斜視図である。
【０００４】
図５に示したように、供給台１上に順次搬送供給されてくる基板２は、搬送ロボット３に吸着保持され、搬送ラインである図示矢印Ｘ方向に搬送されつつＹ方向に方向変換され、搬送ラインに向けて２台ずつ対向配置されたペースト塗布装置４１〜４４の各ステージ４Ａに順次供給される。
【０００５】
Ｘ方向の搬送ラインに面して両側に、各２（複数）台のペースト塗布装置４１，４２、４３，４４が配置されるのは、他の製造工程との間でスループットタイムに整合性を持たせたからであり、比較的多くの時間を要するこの塗布工程において、複数台を同時に稼働させることにより、ペースト塗布工程におけるスループットを上昇させることで、基板２の組立て製造の生産性を高めることができる。
【０００６】
なお、図５では、１台のペースト塗布装置４１のみの要部構成を示したが、他の３台のペースト塗布装置４２〜４４も同じ構成からなるので、詳細構造は省略されている。
【０００７】
ペースト塗布装置４１のステージ４Ａの上面部には、図示しないが、吸着盤と上下方向（図７に示す矢印Ｚ方向）に移動可能な複数個のピンとを有していて、上昇したピンが搬送ロボット３から基板２を支持するようにして受け取った後、降下し、その降下した基板２を吸着盤が吸着保持するように構成されている。
【０００８】
ステージ４Ａは、Ｘ−Ｙ−θ移動機構４Ｂのθ（旋回）軸に旋回可能に装着され、θ軸はＹ軸４Ｂ１上にあって、Ｙ方向に移動可能に取り付けられている。またＹ軸４Ｂ１自体は、Ｘ軸４Ｂ２上をＸ方向に移動可能に構成されているので、架台（テーブル）４Ｃ上において、Ｘ−Ｙ−θ移動機構４Ｂは、架台４Ｃ上の基板２をＸ−Ｙ−θ方向に移動させることができる。また架台４Ｃ内には、電源回路等が組み込み収納されている。
【０００９】
なお、Ｙ軸４Ｂ１及びＸ軸４Ｂ２の各移動駆動源であるモータ４Ｂ１ａ，４Ｂ２ａは、図５及び図６に示すように、Ｙ方向における図示下方（搬送ロボット３とは反対側）の端部、及びＸ方向における図示右方の端部にそれぞれ軸方向に突出するように組み込まれており、各モータ４Ｂ１ａ，４Ｂ２ａはいずれも一連のペースト塗布操作を統合して制御する制御器４Ｄに接続されている。
【００１０】
従って、制御器４Ｄの制御に基づき、Ｘ−Ｙ−θ移動機構４Ｂがステージ４Ａ上に搬送ロボット３から基板２を受け取るときには、モータ４Ｂ１ａの回転駆動により、架台ステージ４ＡはＹ方向の搬送ロボット３に向けて前進移動し、基板２を受け取ったステージ４Ａは同じくモータ４Ｂ１ａの回転駆動により、Ｙ方向にペースト塗布作業位置まで後退移動する。
【００１１】
ペースト塗布作業の開始に先立ち、ステージ４Ａに吸着保持された基板２は、ヘッド機構４Ｅに搭載された２個一組のシリンジ４Ｅ１，４Ｅ２との間で基準位置合わせが行われる。このとき、２個のシリンジ４Ｅ１，４Ｅ２間の距離は、いわゆる多面取りの基板２（１枚に同一品種の基板（子基板）を複数形成した基板２）において、各子基板のＸ方向の配列ピッチに対応するように位置決めされる。
【００１２】
すなわち、図６に示したように、ヘッド機構４Ｅには、各シリンジ４Ｅ１，４Ｅ２に対応するようにＣＣＤカメラ４Ｅ３，４Ｅ４がそれぞれ取り付けられ、そのＣＣＤカメラ４Ｅ３，４Ｅ４により撮影された基板２のアライメントマークの撮影画面が制御器４Ｄに供給される。アライメントマークの撮影画面が供給された制御器４Ｄは、パターン認識に基づく補正制御により、ペースト塗布作業の開始に先立ち、基板２の位置ずれ補正を実行する。
【００１３】
このように制御器４Ｄは、Ｘ−Ｙ−θ移動機構４Ｂを駆動制御して、基板２の位置補正制御を行うとともに、位置補正後は、シリンジ４Ｅ１，４Ｅ２におけるペーストの吐出量や吐出タイミング、並びにモータ４Ｂ１ａ，４Ｂ２ａ等の各回転速度等を予め設定されたプログラムに沿い制御するので、シリンジ４Ｅ１，４Ｅ２のノズル先端から吐出されたペーストにより、基板２面上に所定のペーストパターンが描画形成される。
【００１４】
このように、ペースト塗布装置では、プログラム制御に基づくＸ−Ｙ−θ移動機構４Ｂの駆動制御により、基板２を搭載したステージ４Ａは架台４Ｃ上を平面的に移動するのでその占有領域は広範囲なものとなる。
【００１５】
一方、工場建屋内の有効利用並びに省スペース化を考えたとき、Ｘ方向の塗布工程ラインはもとよりではあるが、特にＹ方向の幅もできるだけ短いのが望ましく、そのため、架台４Ｃ上のヘッド機構４Ｅは、図５ないし図７にそれぞれ示したように、予め搬送ロボット３側近くに寄せて設置されている。
【００１６】
ヘッド機構４Ｅのシリンジ４Ｅ１，４Ｅ２内のペーストは、基板２への塗布により消費されるので、作業員は空になったシリンジ４Ｅ１，４Ｅ２をヘッド機構４Ｅから取り外し、新しいシリンジと交換を行う。そのとき作業員は、各装置の外側（すなわち、搬送ロボット３とは反対側）に立ち、遠くのヘッド機構４Ｅまで手を差し伸ばして作業を行うことになる。
【００１７】
また、図５及び図７に示したように、制御器４Ｄには、モニタディスプレイ４Ｆ及びキ−ボ−ド４Ｇが接続されていて、作業員は、キーボート４Ｇの操作により、基板２へのペースト塗布作業を調整操作することができる。
【００１８】
なお、図５及び図７では、制御器４Ｄやモニタディスプレイ４Ｆ及びキーボード４Ｇは、４台のペースト塗布装置４１〜４４に共通するように示しているが、これらが各装置４１〜４４毎に個々に、たとえばそれぞれ各架台４Ｃ内に組み込み備えられることもある。また、架台４Ｃ上は、搬送ロボット３側を除いて、透明な板材で箱型に囲い、ペースト塗布工程において塵や埃が基板２面に付着するのを避ける等の工夫も採用されている。
【００１９】
上記のように構成された各ペースト塗布装置４１〜４４において、ペーストパターンが描画形成された後の基板２は、順次搬送ロボット３側に向けて前進移動して搬送ロボット３に引き渡され、搬送ロボット３に保持された基板２は、次の導電ペースト塗布工程等へと引き渡されるべく、図５に示した搬出台５に搬送供給される。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、ペースト塗布装置は、制御器４Ｄによるプログラム制御に基づき、基板２上に所定のペーストパターンが形成されるが、装置自体の小型化及び製造ラインの省スペース化のために、ヘッド機構４Ｅは架台４Ｃ上において、予め搬送ロボット３側近くに寄せて取り付けられている。
【００２１】
従って、ヘッド機構４Ｅに搭載されたシリンジ４Ｅ１，４Ｅ２の交換に際して作業員は、上記のように、ヘッド機構４Ｅから遠く離れた各架台４Ｃの外側（搬送ロボット３とは反対側）に立って、手を伸ばしつつシリンジの取り外し交換を行うことになり、作業性が損なわれた。
【００２２】
特に、近年の製造技術の進歩によるペースト塗付基板の大型化は、基板を載置するステージそのものの大型化をもたらすのみならず、塗付パターン形成のためのＸ−Ｙ方向への移動範囲も広がるので、Ｘ−Ｙ−θ移動機構を支持する架台の占有面積は広がり、図５に示すように、作業員が立つ架台の外側からシリンジ４Ｅ１，４Ｅ２までの距離Ｌはさらに遠くなる傾向にあった。
【００２３】
加えて、塗布効率の向上とともに単位時間当たりのペーストの消費量も増大するが、接着剤であるペーストは、元来、貯留時間が長引くと酸化が促進し品質が劣化する性質を有する。従って、予め大容量のシリンジをヘッド機構に搭載できないので、シリンジの交換頻度が多くなり、作業員にとっては大きな負担となった。
【００２４】
そこで、本発明は、シリンジの交換作業における作業員の負担軽減を行い、ペースト塗付工程の効率化を図れるペースト塗布装置を提供することを目的とする。
【００２５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記従来の課題を解決するためになされたもので、搬送ロボットを介して受け取った基板をステージ上に載置して、少なくとも前記基板の受け取り方向に移動可能な基板移動機構と、前記基板に塗布されるペーストを収納したシリンジと、このシリンジを前記基板の受け取り側とは反対側に着脱可能に構成されたヘッド機構と、このヘッド機構及び前記基板移動機構を搭載した架台とを有するペースト塗布装置において、前記基板移動機構は、前記基板の受け取り方向への移動駆動源を備え、この移動駆動源を前記基板移動機構における前記基板の受け取り方向の端部のうち前記搬送ロボット側とは反対側の端部よりも前記搬送ロボット側に配置したことを特徴とする。
【００２６】
このように、本発明のペースト塗布装置は、基板移動機構の基板の受け取り方向への移動駆動源を、基板移動機構における基板受け取り方向の端部のうち搬送ロボット側とは反対側の端部よりも搬送ロボット側に設けたので、ヘッド機構から作業員の位置までの距離Ｌを短くすることができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明によるペースト塗布装置の一実施の形態を図１ないし図４を参照して詳細に説明する。なお、図５ないし図７に示した従来のペースト塗布装置と同一構成には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００２８】
図１は、本発明によるペースト塗布装置の第１の実施の形態を複数台配置した要部構成図で、図２は図１に示したペースト塗布装置の拡大平面図である。
【００２９】
すなわち、図１に示すように、供給台１上に順次搬送供給されてくる基板２は、従来と同様に、搬送ロボット３のアーム３ａに吸着保持され、θ（旋回）方向への回転及び搬送ライン（矢印Ｘ）方向への移動により、４台のペースト塗布装置４１〜４４に順次搬送供給される。
【００３０】
各ペースト塗布装置４１〜４４は、基板２を受取り載置するステージ４Ａとヘッド移動機構４Ｅとを備えている。
【００３１】
ステージ４Ａは、従来と同様に、Ｘ−Ｙ−θ移動機構４Ｂの旋回可能なθ軸に取り付けられ、Ｙ軸４Ｂ１に組み込み連結されている。
【００３２】
そこで、この第１の実施の形態では、図１及び図２に示すように、Ｙ軸４Ｂ１の移動駆動源であるモータ４Ｂ１ａは、Ｙ軸４Ｂ１上において搬送ロボット３側に設けられている。
【００３３】
このように、Ｙ方向のモータ４Ｂ１ａをＸ−Ｙ−θ移動機構４Ｂの搬送ロボット３側に設けたので、Ｘ−Ｙ−θ移動機構４Ｂを搭載した架台４Ｃは、モータ４Ｂ１のＹ方向の長さ分だけ、ヘッド機構４Ｅに搭載されたシリンジ４Ｅ１，４Ｅ２位置から作業員が立つ側の架台４Ｃの縁までの距離Ｌを短くすることができる。
【００３４】
このように、第１の実施の形態によれば、Ｘ−Ｙ−θ移動機構４Ｂは、基板の受け取り方向であるＹ方向の移動駆動源であるモータ４Ｂ１ａを搬送ロボット３側に取り付け構成したので、作業員の立つ位置からシリンジ４Ｅ１，４Ｅ２の位置までの距離Ｌが短くなり、それだけ作業員のシリンジ４Ｅ１，４Ｅ２の交換作業がやりやすくなり、作業員の負担の軽減と、塗布工程の効率化を実現することができる。
【００３５】
なお、上記第１の実施の形態において、Ｙ方向の移動駆動源であるモータ４Ｂ１ａをＹ軸４Ｂ１の搬送ロボット３側の端部に配置した例を示したが、これに限られるものではなく、モータ４Ｂ１ａは、Ｙ軸４Ｂ１の搬送ロボット３側とは反対側の端部よりも搬送ロボット３側に配置されていればよい。例えば、上図に示すように、Ｙ軸４Ｂ１における搬送ロボット３側とは反対側の端部に、モータ４Ｂ１ａをベルトやギヤ等の動力伝達手段を介してＹ軸４Ｂ１の送り軸４Ｂ１ｂに連結して配置しても良い。
【００３６】
このように構成した場合でも、ヘッド機構４Ｅのシリンジ４Ｅ１，４Ｅ２の位置に関して、Ｙ軸４Ｂ１の作業員が立つ側における長さを短くすることができるので、図１，図２に示す第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００３７】
しかも、上記によれば、モータ４Ｂ１ａが作業者の立つ側に配置されているので、モータ４Ｂ１ａの保守作業を容易に行なうことができる効果がある。
【００３８】
上記第１の実施の形態では、図１及び図２に示したように、架台４Ｃの上面はステージ４Ａと同様に矩形状をなし、ステージ４Ａの移動領域をカバーし得る大きさに形成されている。
【００３９】
ところで、作業員によるシリンジ４Ｅ１，４Ｅ２の交換作業は、当然ながら、装置を停止させた状態で行うことになるので、ステージ４Ａを搭載したＹ軸４Ｂ１を搬送ロボット３側に前進移動させることができる。
【００４０】
そこで、この点に着目し、平面視において、ステージ４Ａの大きさがＸ−Ｙ−θ移動機構４Ｂの大きさに比べて大きい場合であっても、作業員の立つ位置からシリンジ４Ｅ１，４Ｅ２の位置までの距離Ｌを有効に短縮できるようにしたものが次に説明する第２の実施の形態である。
【００４１】
すなわち、平面視において、ステージ４Ａの大きさがＸ−Ｙ−θ移動機構４Ｂの大きさに比べて大きい場合、Ｙ軸４Ｂ１を中立に位置させたままでは、Ｙ軸４Ｂ１よりも作業員が立つ側に位置する架台４Ｃ上がステージ４Ａで覆われた状態となってしまう。これでは、モータ４Ｂ１ａを搬送ロボット３側に設けたとしても、作業員の立つ位置からシリンジ４Ｅ１，４Ｅ２の位置までの距離Ｌを短くする効果が妨げられる場合がある。そこで、Ｙ軸を搬送ロボット３側へ前進移動させる。これにより、作業員が立つ後方側の架台４Ｃ上に空間が形成される。こうすることによって、架台４Ｃの作業員が立つ側には、その空間に見合うように、外側に開口したスペースを予め設けることができ、作業員は、そのスペース内に立ち、よりシリンジ４Ｅ１，４Ｅ２に近い位置から、シリンジ４Ｅ１，４Ｅ２の交換を行うことができる。
【００４２】
以下、作業員が入り込むことができるスペースを架台に形成した本発明によるペースト塗布装置の第２の実施の形態を図３及び図４を参照して以下説明する。
【００４３】
図３は、第１の実施の形態の図２に対応した図で、第２の実施の形態の拡大平面図、図４は図３に示した構成に制御器４Ｄ、モニタディスプレイ４Ｆ、キーボード４Ｇが接続された状態を示した斜視図である。また、図３及び図４は、第１の実施の形態で示した図１及び図２とは相違して、テーブル４ＡをＸ−Ｙ−θ移動機構４Ｂによって搬送ロボット３側（図３中上側）に前進移動させた状態を示している。
【００４４】
また、この実施の形態のペースト塗布装置では、図４に破線で示したように、搬送ロボット３側（図中制御器４Ｄ側）を除き、架台４Ｃ面上の左右及び後方、並びに天井を透明な板部材で覆い、後方壁面にのみ作業員が出入りできるように扉４Ｈを設け、基板２面に塵や埃が付着しないように構成されている。
【００４５】
そこで、この第２の実施の形態のペースト塗布装置では、図３及び図４に示すように、架台４Ｃは、後方、つまり搬送ロボット３側とは反対側において、外側に向け開口した凹部状の開口部４Ｃａが形成されている。
【００４６】
従って、作業員は扉４Ｈを開けて、その開口部４Ｃａ内に入りヘッド機構４Ｅに近づくことができる。
【００４７】
このように、作業員は、Ｘ−Ｙ−θ移動機構４ＢのＹ軸４Ｂ１を搬送ロボット３側に向け前進移動させた後、扉４Ｈを開けて開口部４Ｃａ内に入り、図３に示したようにシリンジ４Ｅ１，４Ｅ２との間の近い距離Ｌに立って、シリンジ４Ｅ１，４Ｅ２を交換できるので、交換作業は容易となり、ペースト塗付工程の効率化を図ることができる。
【００４８】
なお、上記のように、作業員は装置が停止した状態で扉４Ｈを開け、シリンジ４Ｅ１，４Ｅ２の交換を行うものであるが、作業員が装置の稼動中に誤って扉４Ｈを開けて中に入ってしまうことがないように、ペースト塗布装置の稼動中は、扉４Ｈがロック状態となって開かないように構成して、作業員の安全を図るようにすることができる。また、作業員の安全上、もしも扉４Ｈが開けられたときには、扉４Ｈの開閉センサが作動し、装置が直ちに停止するように構成しても良い。
【００４９】
また、同様な目的のために、たとえば開口部４Ｃａに赤外線センサを取り付け、開口部４Ｃａに入った作業員を検知し、その検知信号に基づき、装置を停止させるようにしても良い。
【００５０】
いずれにしても、この第２の実施の形態によれば、Ｙ軸方向の移動駆動源であるモータ４Ｂ１ａをヘッド機構４Ｅの搬送ロボット３側に取り付けたことに加えて、後方に開口部４Ｃａを設けたので、作業員はシリンジ４Ｅ１，４Ｅ２に近い位置に立って容易かつ円滑に交換作業を実施することができ、ペースト塗布工程の効率向上を図ることができる。
【００５１】
以上説明のように、この発明のペースト塗布装置によれば、基板の大型化が進展し、またペーストの消費速度が増加する中で、シリンジの交換作業を迅速かつ効率良く行うことができるものであり、実用に際し優れた効果を発揮することができる。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のペースト塗布装置は、作業員がより近い位置に立って、ペーストを収納したシリンジを交換できるように構成されたので、シリンジの交換作業にかかわる作業員の負担が軽減され、ペースト塗付工程の効率化が図られるものであり、実用に際し得られる効果大である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるペースト塗布装置の第１の実施の形態の構成配置図である。
【図２】図１に示したペースト塗布装置の要部拡大平面図である。
【図３】本発明によるペースト塗布装置の第２の実施の形態の要部平面図である。
【図４】図３に示した装置の斜視図である。
【図５】従来のペースト塗布装置の構成配置図である。
【図６】図５に示したペースト塗付装置の要部拡大平面図である。
【図７】図５に示した装置の斜視図である。
【符号の説明】
１　供給台
２　基板
３　搬送ロボット
４１〜４４　ペースト塗布装置
４Ａ　ステージ
４Ｂ　Ｘ−Ｙ−θ移動機構
４Ｃ　架台
４Ｃａ　開口部
４Ｄ　制御器
４Ｅ　ヘッド機構
４Ｅ１，４Ｅ２，　シリンジ（ノズルヘッド）
４Ｆ　モニタディスプレイ
４Ｇ　キーボード
４Ｈ　扉
５　搬出台[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an improvement in a paste application device for drawing a paste pattern on a substrate surface.
[0002]
[Prior art]
In the manufacturing process of a liquid crystal display panel or the like, two glass substrates sandwiching a liquid crystal are bonded. In order to perform the bonding, a paste as an adhesive is applied to an opposite surface of one glass substrate. You.
[0003]
FIG. 5 is a configuration layout view of a conventional paste coating apparatus that receives a glass substrate transferred by a transfer robot and applies and draws a paste on the substrate surface. FIG. 6 is an enlarged plan view of a main part thereof, and FIG. FIG. 7 is a perspective view of the paste application device shown in FIG. 6.
[0004]
As shown in FIG. 5, the substrate 2 sequentially conveyed and supplied onto the supply table 1 is suction-held by the transfer robot 3 and is changed in direction in the Y direction while being transferred in the illustrated arrow X direction as a transfer line. The pastes are sequentially supplied to the stages 4A of the paste application devices 41 to 44, which are arranged two by two toward the transport line.
[0005]
The two (plural) paste application devices 41, 42, 43, 44 are arranged on both sides facing the transport line in the X direction, so that the throughput time is consistent with other manufacturing processes. In this application process, which requires a relatively long time, by increasing the throughput in the paste application process by increasing the throughput in the paste application process, it is possible to increase the productivity of the assembly and manufacturing of the substrate 2. it can.
[0006]
Although FIG. 5 shows the main configuration of only one paste application device 41, the other three paste application devices 42 to 44 have the same configuration, and thus the detailed structure is omitted.
[0007]
Although not shown, the upper surface of the stage 4A of the paste application device 41 has a suction plate and a plurality of pins that can move in the vertical direction (the direction of the arrow Z shown in FIG. 7). After receiving the substrate 2 from the robot 3 so as to support it, the robot 2 descends, and the suction board sucks and holds the dropped substrate 2.
[0008]
The stage 4A is rotatably mounted on the θ (rotation) axis of the XY-θ moving mechanism 4B, and the θ axis is on the Y axis 4B1 and is mounted movably in the Y direction. Further, since the Y-axis 4B1 itself is configured to be movable in the X direction on the X-axis 4B2, the XY-θ moving mechanism 4B moves the substrate 2 on the gantry 4C on the gantry (table) 4C. -Y-θ direction. A power supply circuit and the like are incorporated and housed in the gantry 4C.
[0009]
The motors 4B1a and 4B2a, which are the moving drive sources of the Y-axis 4B1 and the X-axis 4B2, respectively, have a lower end (opposite to the transfer robot 3) in the Y direction as shown in FIGS. And motors 4B1a and 4B2a are connected to a controller 4D that integrally controls a series of paste application operations, respectively, so as to protrude in the axial direction at right ends in the drawing in the X direction. I have.
[0010]
Therefore, when the XY-θ moving mechanism 4B receives the substrate 2 from the transfer robot 3 on the stage 4A based on the control of the controller 4D, the gantry stage 4A rotates the transfer robot 3 in the Y direction by the rotation of the motor 4B1a. The stage 4A, which has moved forward toward, and has received the substrate 2, also moves backward in the Y direction to the paste application work position by the rotational drive of the motor 4B1a.
[0011]
Prior to the start of the paste application operation, the reference position of the substrate 2 sucked and held on the stage 4A is adjusted with a pair of syringes 4E1 and 4E2 mounted on the head mechanism 4E. At this time, the distance between the two syringes 4E1 and 4E2 is determined by the arrangement of the daughter boards in the X direction in a so-called multiple board 2 (a board 2 in which a plurality of boards (child boards) of the same type are formed on one sheet). It is positioned so as to correspond to the pitch.
[0012]
That is, as shown in FIG. 6, CCD cameras 4E3 and 4E4 are attached to the head mechanism 4E so as to correspond to the syringes 4E1 and 4E2, respectively, and alignment of the substrate 2 photographed by the CCD cameras 4E3 and 4E4 is performed. The photographing screen of the mark is supplied to the controller 4D. The controller 4D to which the photographing screen of the alignment mark is supplied executes the displacement correction of the substrate 2 before the start of the paste application operation by the correction control based on the pattern recognition.
[0013]
As described above, the controller 4D controls the drive of the XY-θ moving mechanism 4B to perform the position correction control of the substrate 2, and after the position correction, the discharge amount and discharge timing of the paste in the syringes 4E1 and 4E2. In addition, since the rotation speeds of the motors 4B1a and 4B2a are controlled according to a preset program, a predetermined paste pattern is drawn and formed on the surface of the substrate 2 by the paste discharged from the nozzle tips of the syringes 4E1 and 4E2. You.
[0014]
As described above, in the paste application device, the stage 4A on which the substrate 2 is mounted moves planarly on the gantry 4C by the drive control of the XY-θ moving mechanism 4B based on the program control. It will be.
[0015]
On the other hand, considering effective use and space saving in the factory building, it is desirable that the width in the Y direction is as short as possible, not to mention the coating process line in the X direction. Therefore, the head mechanism 4E on the gantry 4C is required. Are previously arranged near the transfer robot 3 side as shown in FIGS.
[0016]
Since the paste in the syringes 4E1 and 4E2 of the head mechanism 4E is consumed by application to the substrate 2, the worker removes the empty syringes 4E1 and 4E2 from the head mechanism 4E and replaces them with a new syringe. At that time, the worker stands outside of each device (that is, on the side opposite to the transfer robot 3) and reaches for the head mechanism 4E far away to perform the work.
[0017]
As shown in FIGS. 5 and 7, a monitor display 4F and a keyboard 4G are connected to the controller 4D. The coating operation can be adjusted.
[0018]
5 and 7, the controller 4D, the monitor display 4F, and the keyboard 4G are shown as being common to the four paste application devices 41 to 44, but these are individually provided for each of the devices 41 to 44. In some cases, for example, each of the frames 4C may be incorporated and provided. Except for the transfer robot 3, the gantry 4C is enclosed in a box shape with a transparent plate material to prevent dust and dirt from adhering to the surface of the substrate 2 in the paste application step.
[0019]
In each of the paste application devices 41 to 44 configured as described above, the substrate 2 on which the paste pattern is formed by drawing is sequentially moved forward toward the transfer robot 3 side and delivered to the transfer robot 3, and transferred to the transfer robot 3. The substrate 2 held by 3 is conveyed and supplied to the unloading stand 5 shown in FIG. 5 so as to be delivered to the next conductive paste application step or the like.
[0020]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, in the paste application apparatus, a predetermined paste pattern is formed on the substrate 2 based on the program control by the controller 4D. The mechanism 4E is mounted on the gantry 4C in advance near the transfer robot 3 side.
[0021]
Therefore, when replacing the syringes 4E1 and 4E2 mounted on the head mechanism 4E, as described above, the worker stands outside the gantry 4C far away from the head mechanism 4E (the side opposite to the transfer robot 3), and The user has to remove and replace the syringe while reaching for his hand, impairing workability.
[0022]
In particular, the increase in the size of the paste-coated substrate due to recent advances in manufacturing technology not only results in an increase in the size of the stage on which the substrate is mounted, but also the movement range in the X-Y direction for forming the coating pattern. As a result, the occupied area of the gantry supporting the XY-θ moving mechanism increases, and as shown in FIG. 5, the distance L from the outside of the gantry on which the worker stands to the syringes 4E1 and 4E2 tends to be farther. Was.
[0023]
In addition, the consumption of the paste per unit time increases with the improvement of the coating efficiency. However, the paste, which is an adhesive, originally has the property that if the storage time is prolonged, the oxidation is accelerated and the quality is deteriorated. Therefore, since a large-capacity syringe cannot be mounted on the head mechanism in advance, the frequency of replacement of the syringe is increased, which places a heavy burden on workers.
[0024]
Therefore, an object of the present invention is to provide a paste application apparatus that can reduce the burden on a worker in a syringe replacement operation and can improve the efficiency of the paste application process.
[0025]
[Means for Solving the Problems]
The present invention has been made in order to solve the above conventional problems, a substrate moving mechanism capable of placing a substrate received via a transfer robot on a stage and moving at least in the substrate receiving direction, A syringe containing a paste to be applied to the substrate, a head mechanism configured to be able to attach and detach the syringe to a side opposite to a receiving side of the substrate, and a pedestal equipped with the head mechanism and the substrate moving mechanism. In the paste coating apparatus having, the substrate moving mechanism includes a driving source for moving the substrate in a receiving direction, and the moving driving source is connected to the transfer robot side of the end of the substrate moving mechanism in the receiving direction of the substrate. Is disposed closer to the transfer robot than the opposite end.
[0026]
As described above, the paste coating apparatus of the present invention provides the substrate moving mechanism with the driving source for moving the substrate in the receiving direction of the substrate from the end of the substrate moving mechanism in the substrate receiving direction that is opposite to the transfer robot side. Is also provided on the transfer robot side, so that the distance L from the head mechanism to the position of the worker can be shortened.
[0027]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of a paste coating apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. The same components as those of the conventional paste application device shown in FIGS. 5 to 7 are denoted by the same reference numerals, and detailed description is omitted.
[0028]
FIG. 1 is a main part configuration diagram in which a plurality of paste application apparatuses according to a first embodiment of the present invention are arranged, and FIG. 2 is an enlarged plan view of the paste application apparatus shown in FIG.
[0029]
That is, as shown in FIG. 1, the substrate 2 sequentially transported and supplied onto the supply table 1 is sucked and held by the arm 3a of the transport robot 3, and rotated and transported in the θ (rotation) direction, as in the related art. By moving in the line (arrow X) direction, the paste is sequentially conveyed and supplied to the four paste coating devices 41 to 44.
[0030]
Each of the paste application devices 41 to 44 includes a stage 4A for receiving and mounting the substrate 2 and a head moving mechanism 4E.
[0031]
The stage 4A is attached to the rotatable θ-axis of the XY-θ moving mechanism 4B, and is connected to the Y-axis 4B1 as in the related art.
[0032]
Therefore, in the first embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, the motor 4B1a, which is a moving drive source of the Y-axis 4B1, is provided on the Y-axis 4B1 on the side of the transfer robot 3.
[0033]
As described above, since the Y-direction motor 4B1a is provided on the transfer robot 3 side of the XY-θ moving mechanism 4B, the gantry 4C on which the XY-θ moving mechanism 4B is mounted has a length in the Y direction of the motor 4B1. Accordingly, the distance L from the position of the syringes 4E1 and 4E2 mounted on the head mechanism 4E to the edge of the gantry 4C on the side on which the worker stands can be reduced.
[0034]
As described above, according to the first embodiment, the XY-θ moving mechanism 4B is configured such that the motor 4B1a, which is the movement driving source in the Y direction, which is the substrate receiving direction, is attached to the transfer robot 3 side. The distance L from the position where the worker stands to the position of the syringes 4E1 and 4E2 is shortened, which makes it easier for the worker to replace the syringes 4E1 and 4E2, thereby reducing the burden on the worker and increasing the efficiency of the coating process. Can be realized.
[0035]
In the first embodiment, an example is shown in which the motor 4B1a, which is a driving source for movement in the Y direction, is arranged at the end of the Y axis 4B1 on the side of the transfer robot 3, but the present invention is not limited to this. The motor 4B1a may be disposed closer to the transfer robot 3 than the end of the Y axis 4B1 opposite to the transfer robot 3 side. For example, as shown in the above figure, a motor 4B1a is connected to a feed shaft 4B1b of the Y-axis 4B1 via a power transmission means such as a belt or a gear at an end of the Y-axis 4B1 opposite to the transfer robot 3 side. May be arranged.
[0036]
Even in the case of such a configuration, the length of the position of the syringes 4E1 and 4E2 of the head mechanism 4E on the side on which the worker stands on the Y-axis 4B1 can be shortened, so that the first position shown in FIGS. The same effect as in the embodiment can be obtained.
[0037]
Moreover, according to the above, since the motor 4B1a is disposed on the side where the worker stands, there is an effect that maintenance work of the motor 4B1a can be easily performed.
[0038]
In the first embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, the upper surface of the gantry 4C has a rectangular shape like the stage 4A, and is formed in a size that can cover the moving area of the stage 4A. I have.
[0039]
By the way, since the replacement work of the syringes 4E1 and 4E2 by the operator is naturally performed with the apparatus stopped, the Y-axis 4B1 on which the stage 4A is mounted can be moved forward to the transfer robot 3 side. .
[0040]
Therefore, paying attention to this point, even when the size of the stage 4A is larger than the size of the XY-θ moving mechanism 4B in plan view, the syringes 4E1 and 4E2 are moved from the position where the worker stands. A second embodiment described below is one in which the distance L to the position can be effectively shortened.
[0041]
That is, in plan view, when the size of the stage 4A is larger than the size of the XY-θ moving mechanism 4B, the worker stands more than the Y axis 4B1 when the Y axis 4B1 is kept neutral. The stage 4C located on the side is covered with the stage 4A. In this case, even if the motor 4B1a is provided on the transfer robot 3, the effect of shortening the distance L from the position where the worker stands to the position of the syringes 4E1 and 4E2 may be hindered. Then, the Y-axis is moved forward to the transfer robot 3 side. Thereby, a space is formed on the gantry 4C on the rear side where the worker stands. By doing so, a space opened outward can be provided in advance on the side where the worker of the gantry 4C stands so as to match the space, and the worker stands in the space and becomes more syringe 4E1, 4E2. The syringes 4E1 and 4E2 can be exchanged from a position close to.
[0042]
Hereinafter, a second embodiment of the paste coating apparatus according to the present invention in which a space into which a worker can enter is formed on a gantry will be described below with reference to FIGS.
[0043]
FIG. 3 is a diagram corresponding to FIG. 2 of the first embodiment, and is an enlarged plan view of the second embodiment. FIG. 4 is a diagram showing a controller 4D, a monitor display 4F, and a keyboard 4G in the configuration shown in FIG. It is the perspective view which showed the state connected. 3 and 4 are different from FIGS. 1 and 2 shown in the first embodiment in that the table 4A is moved by the XY-θ moving mechanism 4B to the transfer robot 3 side (the upper side in FIG. 3). ) Shows a state in which it is moved forward.
[0044]
In addition, in the paste application apparatus of this embodiment, as shown by the broken line in FIG. 4, except for the transfer robot 3 side (the controller 4D side in the figure), the left, right, rear and the ceiling on the surface of the gantry 4C are transparent. A door 4H is provided so that the worker can enter and exit only on the rear wall surface, and dust and dirt do not adhere to the surface of the substrate 2.
[0045]
Therefore, in the paste application device according to the second embodiment, as shown in FIGS. 3 and 4, the gantry 4 </ b> C is formed in a recessed shape that opens outward in the rear, that is, on the side opposite to the transfer robot 3 side. An opening 4Ca is formed.
[0046]
Therefore, the worker can open the door 4H, enter the opening 4Ca, and approach the head mechanism 4E.
[0047]
As described above, the worker moves the Y-axis 4B1 of the XY-θ moving mechanism 4B forward toward the transfer robot 3, and then opens the door 4H to enter the opening 4Ca, as shown in FIG. As described above, since the syringes 4E1 and 4E2 can be replaced while standing at the short distance L between the syringes 4E1 and 4E2, the replacement operation becomes easy, and the efficiency of the paste application process can be improved.
[0048]
As described above, the worker opens the door 4H in a state where the apparatus is stopped, and replaces the syringes 4E1 and 4E2. However, the worker mistakenly opens the door 4H while the apparatus is operating. During operation of the paste application device, the door 4H is locked so that it does not open so as not to open, so that the worker can be safe. Further, for safety of the worker, if the door 4H is opened, the opening / closing sensor of the door 4H may be activated and the apparatus may be stopped immediately.
[0049]
For the same purpose, for example, an infrared sensor may be attached to the opening 4Ca, a worker entering the opening 4Ca may be detected, and the apparatus may be stopped based on the detection signal.
[0050]
In any case, according to the second embodiment, in addition to mounting the motor 4B1a, which is a movement drive source in the Y-axis direction, on the side of the transport robot 3 of the head mechanism 4E, the opening 4Ca is formed rearward. With the provision, the worker can easily and smoothly perform the replacement work while standing near the syringes 4E1 and 4E2, and improve the efficiency of the paste application process.
[0051]
As described above, according to the paste application apparatus of the present invention, the replacement of the syringe can be performed quickly and efficiently while the size of the substrate is increased and the consumption speed of the paste is increased. Yes, it can exhibit excellent effects in practical use.
[0052]
【The invention's effect】
As described above, the paste application apparatus of the present invention is configured so that the worker can stand and exchange the syringe containing the paste at a closer position. Therefore, the efficiency of the paste application process can be reduced, and the effect obtained in practical use is large.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration layout diagram of a first embodiment of a paste application device according to the present invention.
FIG. 2 is an enlarged plan view of a main part of the paste application device shown in FIG.
FIG. 3 is a plan view of a main part of a second embodiment of the paste application device according to the present invention.
FIG. 4 is a perspective view of the device shown in FIG.
FIG. 5 is a configuration layout diagram of a conventional paste application device.
FIG. 6 is an enlarged plan view of a main part of the paste application device shown in FIG.
7 is a perspective view of the device shown in FIG.
[Explanation of symbols]
Reference Signs List 1 supply table 2 substrate 3 transfer robots 41 to 44 paste coating device 4A stage 4B XY-θ moving mechanism 4C gantry 4Ca opening 4D controller 4E head mechanism 4E1, 4E2, syringe (nozzle head)
4F Monitor display 4G Keyboard 4H Door 5 Carrying stand

Claims

搬送ロボットを介して受け取った基板をステージ上に載置して、少なくとも前記基板の受け取り方向に移動可能な基板移動機構と、前記基板に塗布されるペーストを収納したシリンジと、このシリンジを前記基板の受け取り側とは反対側に着脱可能に構成されたヘッド機構と、このヘッド機構及び前記基板移動機構を搭載した架台とを有するペースト塗布装置において、
前記基板移動機構は、前記基板の受け取り方向への移動駆動源を備え、この移動駆動源を前記基板移動機構における前記基板の受け取り方向の端部のうち前記搬送ロボット側とは反対側の端部よりも前記搬送ロボット側に配置したことを特徴とするペースト塗布装置。The substrate received via the transfer robot is placed on a stage, a substrate moving mechanism capable of moving at least in the substrate receiving direction, a syringe containing a paste to be applied to the substrate, and the syringe In a paste coating apparatus having a head mechanism detachably configured on the opposite side to the receiving side of the receiving apparatus and a pedestal equipped with the head mechanism and the substrate moving mechanism,
The substrate moving mechanism includes a driving source for moving the substrate in a receiving direction, and the moving driving source is an end of the substrate moving mechanism in an end of the substrate receiving direction opposite to the transfer robot. A paste application device, wherein the paste application device is disposed closer to the transfer robot side.

前記架台は、前記搬送ロボット側とは反対側の縁が外側に向け開口した凹部状に構成されたことを特徴とする請求項１記載のペースト塗布装置。2. The paste application device according to claim 1, wherein the pedestal is configured in a concave shape in which an edge opposite to the transfer robot side is opened outward. 3.

前記架台は、前記凹部状の開口部を開閉するドアを備えたことを特徴とする請求項２記載のペースト塗布装置。The paste application device according to claim 2, wherein the pedestal includes a door that opens and closes the concave opening.