JP2004104858A - リニアモータ - Google Patents
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Abstract
【課題】電機子コイルによるモータ外部への漏洩磁束を電流位相に依らず大幅に抑えることができるリニアモータを提供することを目的とする。
【解決手段】リニアモータの永久磁石(図示せず)と磁気的ギャップを介して対向配置される電機子コイルは、主コイル群4aと、主コイル群4aの両側に配置した2つの補助コイル群4bより構成される。当該補助コイル群4bによって作られる磁束がそれぞれ隣り合う主コイル群4aによって作られる磁束と逆向きとなるように補助コイル群4bの各コイルの電流位相をそれぞれ隣り合う主コイル群4aの各コイルの電流位相に対して180°ずらした構成にしてある。さらに、主コイル群4aのコイル直線長Aに対する補助コイル群4bのコイル直線長Bの比率であるB/Aを0.6〜0.8としてある。
【選択図】 図1
【解決手段】リニアモータの永久磁石(図示せず)と磁気的ギャップを介して対向配置される電機子コイルは、主コイル群4aと、主コイル群4aの両側に配置した2つの補助コイル群4bより構成される。当該補助コイル群4bによって作られる磁束がそれぞれ隣り合う主コイル群4aによって作られる磁束と逆向きとなるように補助コイル群4bの各コイルの電流位相をそれぞれ隣り合う主コイル群4aの各コイルの電流位相に対して180°ずらした構成にしてある。さらに、主コイル群4aのコイル直線長Aに対する補助コイル群4bのコイル直線長Bの比率であるB/Aを0.6〜0.8としてある。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、半導体製造装置または工作機械のテーブル送りなど、超精密位置決め、高推力が要求される用途に適するリニアモータに関し、特に、電機子コイルによって生じる漏洩磁束を低減する構成に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体製造装置または工作機械のテーブル送りなど、超精密位置決め・高推力が要求される用途に適するリニアモータは、図7、図8のようになっている。図7は従来技術を示すリニアモータの可動子を構成する電機子の平面図である。図8は、図7の電機子を搭載したリニアモータを進行方向から見た正断面図である。なお、従来技術ならびに後述する本発明において、ムービングコイル形リニアモータを例示して説明する。
図7、図8において、1は界磁ヨーク、2はサイドヨーク、3は永久磁石、5は電機子、5aは電機子コイル、6は芯金、7は電機子固定板を表し、U、V、WはそれぞれU相コイル、V相コイル、W相コイルを表している。
【0003】
界磁極を構成する永久磁石3は、移動方向に向かって所定ピッチで隣り合うもの及び対向するものとが互いに異極となるように2つの界磁ヨーク1上にそれぞれ複数個並べて配置されている。そして、当該永久磁石3を配置した2つの界磁ヨーク1の間にサイドヨーク2を配設することによりリニアモータの固定子を構成している。
また、永久磁石3の磁石列と磁気的ギャップを介して対向する位置には、電機子コイル5aを有した電機子5を配置することにより、リニアモータの可動子を構成している。ここで、電機子コイル5aはステンレスなどの非磁性部材で形成された平板上の芯金6の両側面に、U相、W相、V相の順に3の倍数個だけ1列に繰り返し並べて配置されると共に、図示しない樹脂モールドにより電機子コイル5aのコイル群と芯金6を固着して強度を向上させている。そして、芯金6の先端部分には電機子固定板7が取り付けられている。なお、上記可動子は移動方向に可動自在な図示しない支持機構によって支持されており、固定子と可動子相互の位置を測るためにリニアスケール(図示せず)が取り付けられている。当該リニアモータは、電機子コイル5aを有する可動子の両側を永久磁石3を備えた2つの界磁ヨーク1からなる固定子で挟み込むように構成することにより、永久磁石3の磁力線が電機子コイル5aを貫通する磁気回路を形成した磁束貫通形構造であることから、電機子コイル5aのコイル群に三相交流を通電すると、その各コイルに流れる電流と永久磁石による磁束との電磁作用により高推力で滑らかに直線移動する(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開2001―86726号公報(第4図)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、図7、図8に示すような従来技術のリニアモータの場合、電機子コイル5aのW相電流がピークとなるときにはコイルによって発生する磁界はバランスするためモータ外部への漏洩磁束は小さいが、W相電流が0となるにつれてコイルによって発生する磁界のバランスが崩れてモータ外部への漏洩磁束が大きくなっていく。したがって、漏洩磁束が電機子電流の位相によって大きく変動するため、モータ外部の機器に影響を及ぼした後、誤作動を起こし、その結果、精密な位置決め作業に支障をきたすという問題があった。
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、電機子コイルによるモータ外部への漏洩磁束を電流位相に依らず大幅に抑えることができるリニアモータを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、請求項1の本発明は、界磁極を構成する永久磁石を移動方向に向かって交互に極性が異なるように複数並べて配置した界磁ヨークと、前記永久磁石の磁石列と磁気的ギャップを介して対向配置されると共に電機子コイルを有した電機子と、前記界磁極と前記電機子の何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁極と前記電機子を相対的に直線移動するようにしたリニアモータにおいて、前記電機子コイルは、前記永久磁石と磁気的ギャップを介して対向する位置に配置してなる主コイル群と、前記主コイル群の長手方向および磁気的ギャップ方向と直交する方向の両側に配置してなる2つの補助コイル群より構成され、前記補助コイル群の各コイルの電流位相は、それぞれ隣り合う前記主コイル群の各コイルの電流位相に対して180°ずらしたものである。
【0007】
請求項2の本発明は、請求項1記載のリニアモータにおいて、前記主コイル群と前記補助コイル群のコイルピッチ及びアンペアターンを同じにすると共に、前記主コイル群のコイル直線長をA、前記補助コイル群のコイル直線長をBとしたときにB/Aの値を0.6〜0.8としたものである。
【0008】
請求項3の本発明は、請求項1記載のリニアモータにおいて、前記主コイル群と前記補助コイル群のコイルピッチ及びコイル直線長を同じにすると共に、前記主コイル群のアンペアターンをAT、前記補助コイル群のアンペアターンをBTとしたときにBT/ATの値を0.6〜0.8としたものである。
【0009】
請求項4の本発明は、請求項1乃至3記載のリニアモータにおいて、前記界磁ヨークの補助コイル群と対向する位置に第2の永久磁石を配置すると共に、前記第2の永久磁石の極性を、前記主コイル群と対向する位置に配置した永久磁石の極性と互いに異極となるように構成したものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施例を図に基づいて説明する。
[第1実施例]
図1は本発明の第1実施例を示すリニアモータの可動子を構成する電機子の平面図であり、図2は図1の電機子を搭載したリニアモータを進行方向から見た正断面図である。なお、本発明において、界磁ヨーク1とサイドヨーク2と永久磁石3とで構成される固定子は図7に示す従来例と同じであるため、その説明を省略し、従来技術と異なる点のみ説明する。
図1、図2において、4は電機子、4a,4bはそれぞれ電機子コイルを構成する主コイル群、補助コイル群、Aは主コイル群4aのコイル直線長、Bは補助コイル群4bの直線長を表す。また、―U、―V、―WはそれぞれU相コイル、V相コイル、W相コイルと電機角が180°ずれている―U相コイル、―V相コイル、―W相コイルを表す。
本発明の特徴は以下のとおりである。
すなわち、図1、図2において、電機子コイルは、永久磁石と磁気的ギャップを介して対向する位置に配置してなる主コイル群4aと、主コイル群4aの長手方向および磁気的ギャップ方向と直交する方向の両側に配置してなる2つの補助コイル群4bより構成された点である。
また、補助コイル群4bによって作られる磁束がそれぞれ隣り合う主コイル群4aによって作られる磁束と逆向きとなるように補助コイル群4bの各コイルの電流位相をそれぞれ隣り合う主コイル群4aの各コイルの電流位相に対して180°ずらした構成にした点である。具体的に詳述すると、主コイル群4aがU相、W相、V相の順に繰り返して並設されると共に、補助コイル群4bはそれと電機角で180°分ずれた−U相、−W相、−V相の順に繰り返して並設されている。
さらに、補助コイル群4bを構成する各コイルによって作られる磁束がそれぞれ隣り合う主コイル群4aを構成する各コイルによって作られる磁束の半分の大きさになるように、主コイル群4aと補助コイル群4bのコイルピッチ及びアンペアターンを同じにすると共に、主コイル群4aのコイル直線長をA、補助コイル群4bのコイル直線長をBとしたときにAに対するBの比率B/Aを0.6〜0.8とした点である。なお、当該B/Aの値については、リニアモータの電磁界解析による検証結果を用いて、以下に説明する。
【0011】
次に、本発明のリニアモータによる漏洩磁場低減の効果を確認するため、電磁界解析による検証を行なった結果を図4、図5に示す。
図4は第1実施例に示すリニアモータと従来のリニアモータの電機子によって発生する漏洩磁束を比較したグラフであり、本発明の電機子構造では主コイル群4aのコイル直線長Aに対する補助コイル群4bのコイル直線長Bの比率B/Aを0.6〜0.8とすると、従来の電機子構造と比較して1/5以下に漏洩磁束を減少することができる。
【0012】
本発明の第1実施例は,電機子コイルを永久磁石と磁気的ギャップを介して対向する位置に配置してなる主コイル群4aと、主コイル群4aの長手方向および磁気的ギャップ方向と直交する方向の両側に配置してなる2つの補助コイル群4bより構成し、また、補助コイル群4bによって作られる磁束がそれぞれ隣り合う主コイル群4aによって作られる磁束と逆向きとなるように補助コイル群4bの各コイルの電流位相をそれぞれ隣り合う主コイル群4aの各コイルの電流位相に対して180°ずらす構成にして通電するようにしたので、電流位相がいかなる場合でも、主コイル群4aと補助コイル群4bで構成される電機子コイルによって発生する磁界が直近で閉磁路を作ることから、電機子コイルによるモータ外部への漏洩磁束が電流位相に依らず、電機子コイルによるモータ外部への漏洩磁束を大幅に抑えることができるという効果がある。その結果、磁気センサ(図失せず)のノイズが減少するため位置決め精度の向上が図られ、外部機器への漏洩磁場対策が不要となるためシステムの小型、軽量化と低コストが可能となる。
さらに、電機子コイルを構成する主コイル群4aと補助コイル群4bのコイルピッチ及びアンペアターンを同じにすると共に、主コイル群4aのコイル直線長Aに対する補助コイル群4bのコイル直線長Bの比率であるB/Aを0.6〜0.8とする構成にしたので、補助コイル群4bによる磁束が主コイル群4aによる磁束の半分の大きさになり、漏洩磁束の低減効果が最も大きくなる。
【0013】
[第2実施例]
図3は本発明の第2実施例を示すリニアモータの可動子を構成する電機子の平面図である。
第2実施例が第1実施例と異なる点は、以下のとおりである。
補助コイル群4bによって作られる磁束がそれぞれ隣り合う主コイル群4aによって作られる磁束の半分の大きさになるように、主コイル群4aと補助コイル群4bのコイルピッチ及びコイル直線長を同じにすると共に、主コイル群4aのアンペアターンをAT、補助コイル群4bのアンペアターンをBTとしたときにATに対するBTの比率BT/ATの値を0.6〜0.8とした点である。なお、当該BT/ATの値について、リニアモータの電磁界解析による検証結果を用いて、以下に説明する。
【0014】
また、図5は第2実施例に示すリニアモータと従来のリニアモータの電機子によって発生する漏洩磁束を比較したグラフであり、本発明の電機子構造では主コイル群4aのアンペアターンATに対する補助コイル群4bのアンペアターンBTの比率BT/ATの値を0.6〜0.8とすると従来の電機子構造と比較して1/5以下に漏洩磁束を減少することができる。
【0015】
本発明の第2実施例は, 電機子コイルを構成する主コイル群4aと補助コイル群4bのコイルピッチ及びコイル直線長を同じにすると共に、主コイル群4aのアンペアターンATに対する補助コイル群4bのアンペアターンBTの比率であるBT/ATの値を0.6〜0.8とする構成にしたので、補助コイル群4bによる磁束が主コイル群4aによる磁束の半分の大きさになり、漏洩磁束の低減効果が最も大きくなる。
【0016】
[第3実施例]
図4は本発明の第3実施例を示すリニアモータを進行方向から見た正断面図である。
第3実施例が第1実施例及び第2実施例と異なる点は、以下のとおりである。
図において,3a、3bは永久磁石である。
界磁ヨーク1の補助コイル群4bと対向する位置に第2の永久磁石3bを配置すると共に、第2の永久磁石3bの極性を、主コイル群4aと対向する位置に配置した永久磁石3aの極性と互いに異極となるように構成した点である。
【0017】
本発明の第3実施例は, 補助コイル群4bと対向する位置に第2の永久磁石3bを配置する構成にしたので,、補助コイル群4bからも推力を得ることができる。
【0018】
なお、本実施例では電機子への通電方法として三相を例示して説明したが、三相以外でも構わない。
また、本実施例のリニアモータは、電機子コイルを有する可動子の両側を永久磁石を備えた2つの界磁ヨークからなる固定子で挟み込む構成となっているが、永久磁石を備えた界磁ヨークを1つにして、電機子コイルと対向させるギャップ対向形構造の構成にしても構わない。
また、本実施例では電機子を可動子とするムービングコイル形を例示して説明したが、界磁極を可動子とするムービングマグネット形に適用しても構わない。
【0019】
【発明の効果】
以上に述べたように、本発明の第1実施例によれば、電機子コイルを永久磁石と磁気的ギャップを介して対向する位置に配置してなる主コイル群と、主コイル群の長手方向および磁気的ギャップ方向と直交する方向の両側に配置してなる2つの補助コイル群より構成し、また、補助コイル群によって作られる磁束がそれぞれ隣り合う主コイル群によって作られる磁束と逆向きとなるように補助コイル群の各コイルの電流位相をそれぞれ隣り合う主コイル群の各コイルの電流位相に対して180°ずらす構成にして通電するようにしたため、電流位相がいかなる場合でも、主コイル群と補助コイル群で構成される電機子コイルによって発生する磁界が直近で閉磁路を作ることから、電機子コイルによるモータ外部への漏洩磁束が電流位相に依らず、電機子コイルによるモータ外部への漏洩磁束を大幅に抑えることができるという効果がある。その結果、磁気センサのノイズが減少するため位置決め精度の向上が図られ、外部機器への漏洩磁場対策が不要となるためシステムの小型、軽量化と低コストが可能となる。
さらに、電機子コイルを構成する主コイル群と補助コイル群のコイルピッチ及びアンペアターンを同じにすると共に、主コイル群のコイル直線長Aに対する補助コイル群のコイル直線長Bの比率であるB/Aを0.6〜0.8とする構成にしたため、補助コイル群による磁束が主コイル群による磁束の半分の大きさになり、漏洩磁束の低減効果を最も大きくすることができる。
【0020】
また、本発明の第2実施例によれば、電機子コイルを構成する主コイル群と補助コイル群のコイルピッチ及びコイル直線長を同じにすると共に、主コイル群のアンペアターンATに対する補助コイル群4bのアンペアターンBTの比率であるBT/ATの値を0.6〜0.8とする構成にしたため、補助コイル群による磁束が主コイル群による磁束の半分の大きさになり、漏洩磁束の低減効果を最も大きくすることができる。
【0021】
また、本発明の第3実施例によれば、補助コイル群と対向する位置に第2の永久磁石を配置する構成にしたため、補助コイル群からも推力を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示すリニアモータの可動子を構成する電機子の平面図である。
【図2】図1の電機子を搭載したリニアモータを進行方向から見た正断面図である。
【図3】本発明の第1実施例のリニアモータと従来のリニアモータでの電機子によって発生する漏洩磁束の大きさを比較したグラフである。
【図4】本発明の第2実施例を示すリニアモータの可動子を構成する電機子の平面図である。
【図5】本発明の第2実施例のリニアモータと従来のリニアモータでの電機子によって発生する漏洩磁束の大きさを比較したグラフである。
【図6】本発明の第3実施例を示すリニアモータを進行方向から見た正断面図である。
【図7】従来技術を示すリニアモータの可動子を構成する電機子の平面図である。
【図8】図7の電機子を搭載したリニアモータを進行方向から見た正断面図である。
【符号の説明】
1:界磁ヨーク
2:サイドヨーク
3、3a、3b:永久磁石
4:電機子
4a:主コイル群(電機子コイル)
4b:補助コイル群(電機子コイル)
5:電機子
5a:電機子コイル
6:芯金
7:電機子固定板
A:主コイル直線長
B:補助コイル直線長
C:コイル直線長
AT:主コイルアンペアターン
BT:補助コイルアンペアターン
U:U相コイル
V:V相コイル
W:W相コイル
−U:−U相コイル
−V:−V相コイル
−W:−W相コイル
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、半導体製造装置または工作機械のテーブル送りなど、超精密位置決め、高推力が要求される用途に適するリニアモータに関し、特に、電機子コイルによって生じる漏洩磁束を低減する構成に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体製造装置または工作機械のテーブル送りなど、超精密位置決め・高推力が要求される用途に適するリニアモータは、図7、図8のようになっている。図7は従来技術を示すリニアモータの可動子を構成する電機子の平面図である。図8は、図7の電機子を搭載したリニアモータを進行方向から見た正断面図である。なお、従来技術ならびに後述する本発明において、ムービングコイル形リニアモータを例示して説明する。
図7、図8において、1は界磁ヨーク、2はサイドヨーク、3は永久磁石、5は電機子、5aは電機子コイル、6は芯金、7は電機子固定板を表し、U、V、WはそれぞれU相コイル、V相コイル、W相コイルを表している。
【0003】
界磁極を構成する永久磁石3は、移動方向に向かって所定ピッチで隣り合うもの及び対向するものとが互いに異極となるように2つの界磁ヨーク1上にそれぞれ複数個並べて配置されている。そして、当該永久磁石3を配置した2つの界磁ヨーク1の間にサイドヨーク2を配設することによりリニアモータの固定子を構成している。
また、永久磁石3の磁石列と磁気的ギャップを介して対向する位置には、電機子コイル5aを有した電機子5を配置することにより、リニアモータの可動子を構成している。ここで、電機子コイル5aはステンレスなどの非磁性部材で形成された平板上の芯金6の両側面に、U相、W相、V相の順に3の倍数個だけ1列に繰り返し並べて配置されると共に、図示しない樹脂モールドにより電機子コイル5aのコイル群と芯金6を固着して強度を向上させている。そして、芯金6の先端部分には電機子固定板7が取り付けられている。なお、上記可動子は移動方向に可動自在な図示しない支持機構によって支持されており、固定子と可動子相互の位置を測るためにリニアスケール(図示せず)が取り付けられている。当該リニアモータは、電機子コイル5aを有する可動子の両側を永久磁石3を備えた2つの界磁ヨーク1からなる固定子で挟み込むように構成することにより、永久磁石3の磁力線が電機子コイル5aを貫通する磁気回路を形成した磁束貫通形構造であることから、電機子コイル5aのコイル群に三相交流を通電すると、その各コイルに流れる電流と永久磁石による磁束との電磁作用により高推力で滑らかに直線移動する(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開2001―86726号公報(第4図)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、図7、図8に示すような従来技術のリニアモータの場合、電機子コイル5aのW相電流がピークとなるときにはコイルによって発生する磁界はバランスするためモータ外部への漏洩磁束は小さいが、W相電流が0となるにつれてコイルによって発生する磁界のバランスが崩れてモータ外部への漏洩磁束が大きくなっていく。したがって、漏洩磁束が電機子電流の位相によって大きく変動するため、モータ外部の機器に影響を及ぼした後、誤作動を起こし、その結果、精密な位置決め作業に支障をきたすという問題があった。
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、電機子コイルによるモータ外部への漏洩磁束を電流位相に依らず大幅に抑えることができるリニアモータを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、請求項1の本発明は、界磁極を構成する永久磁石を移動方向に向かって交互に極性が異なるように複数並べて配置した界磁ヨークと、前記永久磁石の磁石列と磁気的ギャップを介して対向配置されると共に電機子コイルを有した電機子と、前記界磁極と前記電機子の何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁極と前記電機子を相対的に直線移動するようにしたリニアモータにおいて、前記電機子コイルは、前記永久磁石と磁気的ギャップを介して対向する位置に配置してなる主コイル群と、前記主コイル群の長手方向および磁気的ギャップ方向と直交する方向の両側に配置してなる2つの補助コイル群より構成され、前記補助コイル群の各コイルの電流位相は、それぞれ隣り合う前記主コイル群の各コイルの電流位相に対して180°ずらしたものである。
【0007】
請求項2の本発明は、請求項1記載のリニアモータにおいて、前記主コイル群と前記補助コイル群のコイルピッチ及びアンペアターンを同じにすると共に、前記主コイル群のコイル直線長をA、前記補助コイル群のコイル直線長をBとしたときにB/Aの値を0.6〜0.8としたものである。
【0008】
請求項3の本発明は、請求項1記載のリニアモータにおいて、前記主コイル群と前記補助コイル群のコイルピッチ及びコイル直線長を同じにすると共に、前記主コイル群のアンペアターンをAT、前記補助コイル群のアンペアターンをBTとしたときにBT/ATの値を0.6〜0.8としたものである。
【0009】
請求項4の本発明は、請求項1乃至3記載のリニアモータにおいて、前記界磁ヨークの補助コイル群と対向する位置に第2の永久磁石を配置すると共に、前記第2の永久磁石の極性を、前記主コイル群と対向する位置に配置した永久磁石の極性と互いに異極となるように構成したものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施例を図に基づいて説明する。
[第1実施例]
図1は本発明の第1実施例を示すリニアモータの可動子を構成する電機子の平面図であり、図2は図1の電機子を搭載したリニアモータを進行方向から見た正断面図である。なお、本発明において、界磁ヨーク1とサイドヨーク2と永久磁石3とで構成される固定子は図7に示す従来例と同じであるため、その説明を省略し、従来技術と異なる点のみ説明する。
図1、図2において、4は電機子、4a,4bはそれぞれ電機子コイルを構成する主コイル群、補助コイル群、Aは主コイル群4aのコイル直線長、Bは補助コイル群4bの直線長を表す。また、―U、―V、―WはそれぞれU相コイル、V相コイル、W相コイルと電機角が180°ずれている―U相コイル、―V相コイル、―W相コイルを表す。
本発明の特徴は以下のとおりである。
すなわち、図1、図2において、電機子コイルは、永久磁石と磁気的ギャップを介して対向する位置に配置してなる主コイル群4aと、主コイル群4aの長手方向および磁気的ギャップ方向と直交する方向の両側に配置してなる2つの補助コイル群4bより構成された点である。
また、補助コイル群4bによって作られる磁束がそれぞれ隣り合う主コイル群4aによって作られる磁束と逆向きとなるように補助コイル群4bの各コイルの電流位相をそれぞれ隣り合う主コイル群4aの各コイルの電流位相に対して180°ずらした構成にした点である。具体的に詳述すると、主コイル群4aがU相、W相、V相の順に繰り返して並設されると共に、補助コイル群4bはそれと電機角で180°分ずれた−U相、−W相、−V相の順に繰り返して並設されている。
さらに、補助コイル群4bを構成する各コイルによって作られる磁束がそれぞれ隣り合う主コイル群4aを構成する各コイルによって作られる磁束の半分の大きさになるように、主コイル群4aと補助コイル群4bのコイルピッチ及びアンペアターンを同じにすると共に、主コイル群4aのコイル直線長をA、補助コイル群4bのコイル直線長をBとしたときにAに対するBの比率B/Aを0.6〜0.8とした点である。なお、当該B/Aの値については、リニアモータの電磁界解析による検証結果を用いて、以下に説明する。
【0011】
次に、本発明のリニアモータによる漏洩磁場低減の効果を確認するため、電磁界解析による検証を行なった結果を図4、図5に示す。
図4は第1実施例に示すリニアモータと従来のリニアモータの電機子によって発生する漏洩磁束を比較したグラフであり、本発明の電機子構造では主コイル群4aのコイル直線長Aに対する補助コイル群4bのコイル直線長Bの比率B/Aを0.6〜0.8とすると、従来の電機子構造と比較して1/5以下に漏洩磁束を減少することができる。
【0012】
本発明の第1実施例は,電機子コイルを永久磁石と磁気的ギャップを介して対向する位置に配置してなる主コイル群4aと、主コイル群4aの長手方向および磁気的ギャップ方向と直交する方向の両側に配置してなる2つの補助コイル群4bより構成し、また、補助コイル群4bによって作られる磁束がそれぞれ隣り合う主コイル群4aによって作られる磁束と逆向きとなるように補助コイル群4bの各コイルの電流位相をそれぞれ隣り合う主コイル群4aの各コイルの電流位相に対して180°ずらす構成にして通電するようにしたので、電流位相がいかなる場合でも、主コイル群4aと補助コイル群4bで構成される電機子コイルによって発生する磁界が直近で閉磁路を作ることから、電機子コイルによるモータ外部への漏洩磁束が電流位相に依らず、電機子コイルによるモータ外部への漏洩磁束を大幅に抑えることができるという効果がある。その結果、磁気センサ(図失せず)のノイズが減少するため位置決め精度の向上が図られ、外部機器への漏洩磁場対策が不要となるためシステムの小型、軽量化と低コストが可能となる。
さらに、電機子コイルを構成する主コイル群4aと補助コイル群4bのコイルピッチ及びアンペアターンを同じにすると共に、主コイル群4aのコイル直線長Aに対する補助コイル群4bのコイル直線長Bの比率であるB/Aを0.6〜0.8とする構成にしたので、補助コイル群4bによる磁束が主コイル群4aによる磁束の半分の大きさになり、漏洩磁束の低減効果が最も大きくなる。
【0013】
[第2実施例]
図3は本発明の第2実施例を示すリニアモータの可動子を構成する電機子の平面図である。
第2実施例が第1実施例と異なる点は、以下のとおりである。
補助コイル群4bによって作られる磁束がそれぞれ隣り合う主コイル群4aによって作られる磁束の半分の大きさになるように、主コイル群4aと補助コイル群4bのコイルピッチ及びコイル直線長を同じにすると共に、主コイル群4aのアンペアターンをAT、補助コイル群4bのアンペアターンをBTとしたときにATに対するBTの比率BT/ATの値を0.6〜0.8とした点である。なお、当該BT/ATの値について、リニアモータの電磁界解析による検証結果を用いて、以下に説明する。
【0014】
また、図5は第2実施例に示すリニアモータと従来のリニアモータの電機子によって発生する漏洩磁束を比較したグラフであり、本発明の電機子構造では主コイル群4aのアンペアターンATに対する補助コイル群4bのアンペアターンBTの比率BT/ATの値を0.6〜0.8とすると従来の電機子構造と比較して1/5以下に漏洩磁束を減少することができる。
【0015】
本発明の第2実施例は, 電機子コイルを構成する主コイル群4aと補助コイル群4bのコイルピッチ及びコイル直線長を同じにすると共に、主コイル群4aのアンペアターンATに対する補助コイル群4bのアンペアターンBTの比率であるBT/ATの値を0.6〜0.8とする構成にしたので、補助コイル群4bによる磁束が主コイル群4aによる磁束の半分の大きさになり、漏洩磁束の低減効果が最も大きくなる。
【0016】
[第3実施例]
図4は本発明の第3実施例を示すリニアモータを進行方向から見た正断面図である。
第3実施例が第1実施例及び第2実施例と異なる点は、以下のとおりである。
図において,3a、3bは永久磁石である。
界磁ヨーク1の補助コイル群4bと対向する位置に第2の永久磁石3bを配置すると共に、第2の永久磁石3bの極性を、主コイル群4aと対向する位置に配置した永久磁石3aの極性と互いに異極となるように構成した点である。
【0017】
本発明の第3実施例は, 補助コイル群4bと対向する位置に第2の永久磁石3bを配置する構成にしたので,、補助コイル群4bからも推力を得ることができる。
【0018】
なお、本実施例では電機子への通電方法として三相を例示して説明したが、三相以外でも構わない。
また、本実施例のリニアモータは、電機子コイルを有する可動子の両側を永久磁石を備えた2つの界磁ヨークからなる固定子で挟み込む構成となっているが、永久磁石を備えた界磁ヨークを1つにして、電機子コイルと対向させるギャップ対向形構造の構成にしても構わない。
また、本実施例では電機子を可動子とするムービングコイル形を例示して説明したが、界磁極を可動子とするムービングマグネット形に適用しても構わない。
【0019】
【発明の効果】
以上に述べたように、本発明の第1実施例によれば、電機子コイルを永久磁石と磁気的ギャップを介して対向する位置に配置してなる主コイル群と、主コイル群の長手方向および磁気的ギャップ方向と直交する方向の両側に配置してなる2つの補助コイル群より構成し、また、補助コイル群によって作られる磁束がそれぞれ隣り合う主コイル群によって作られる磁束と逆向きとなるように補助コイル群の各コイルの電流位相をそれぞれ隣り合う主コイル群の各コイルの電流位相に対して180°ずらす構成にして通電するようにしたため、電流位相がいかなる場合でも、主コイル群と補助コイル群で構成される電機子コイルによって発生する磁界が直近で閉磁路を作ることから、電機子コイルによるモータ外部への漏洩磁束が電流位相に依らず、電機子コイルによるモータ外部への漏洩磁束を大幅に抑えることができるという効果がある。その結果、磁気センサのノイズが減少するため位置決め精度の向上が図られ、外部機器への漏洩磁場対策が不要となるためシステムの小型、軽量化と低コストが可能となる。
さらに、電機子コイルを構成する主コイル群と補助コイル群のコイルピッチ及びアンペアターンを同じにすると共に、主コイル群のコイル直線長Aに対する補助コイル群のコイル直線長Bの比率であるB/Aを0.6〜0.8とする構成にしたため、補助コイル群による磁束が主コイル群による磁束の半分の大きさになり、漏洩磁束の低減効果を最も大きくすることができる。
【0020】
また、本発明の第2実施例によれば、電機子コイルを構成する主コイル群と補助コイル群のコイルピッチ及びコイル直線長を同じにすると共に、主コイル群のアンペアターンATに対する補助コイル群4bのアンペアターンBTの比率であるBT/ATの値を0.6〜0.8とする構成にしたため、補助コイル群による磁束が主コイル群による磁束の半分の大きさになり、漏洩磁束の低減効果を最も大きくすることができる。
【0021】
また、本発明の第3実施例によれば、補助コイル群と対向する位置に第2の永久磁石を配置する構成にしたため、補助コイル群からも推力を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示すリニアモータの可動子を構成する電機子の平面図である。
【図2】図1の電機子を搭載したリニアモータを進行方向から見た正断面図である。
【図3】本発明の第1実施例のリニアモータと従来のリニアモータでの電機子によって発生する漏洩磁束の大きさを比較したグラフである。
【図4】本発明の第2実施例を示すリニアモータの可動子を構成する電機子の平面図である。
【図5】本発明の第2実施例のリニアモータと従来のリニアモータでの電機子によって発生する漏洩磁束の大きさを比較したグラフである。
【図6】本発明の第3実施例を示すリニアモータを進行方向から見た正断面図である。
【図7】従来技術を示すリニアモータの可動子を構成する電機子の平面図である。
【図8】図7の電機子を搭載したリニアモータを進行方向から見た正断面図である。
【符号の説明】
1:界磁ヨーク
2:サイドヨーク
3、3a、3b:永久磁石
4:電機子
4a:主コイル群(電機子コイル)
4b:補助コイル群(電機子コイル)
5:電機子
5a:電機子コイル
6:芯金
7:電機子固定板
A:主コイル直線長
B:補助コイル直線長
C:コイル直線長
AT:主コイルアンペアターン
BT:補助コイルアンペアターン
U:U相コイル
V:V相コイル
W:W相コイル
−U:−U相コイル
−V:−V相コイル
−W:−W相コイル
Claims (4)
- 界磁極を構成する永久磁石を移動方向に向かって極性が互いに異なるように複数並べて配置した界磁ヨークと、前記永久磁石の磁石列と磁気的ギャップを介して対向配置されると共に電機子コイルを有した電機子と、前記界磁極と前記電機子の何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁極と前記電機子を相対的に直線移動するようにしたリニアモータにおいて、
前記電機子コイルは、前記永久磁石と磁気的ギャップを介して対向する位置に配置してなる主コイル群と、前記主コイル群の長手方向および磁気的ギャップ方向と直交する方向の両側に配置してなる2つの補助コイル群より構成され、
前記補助コイル群の各コイルの電流位相は、それぞれ隣り合う前記主コイル群の各コイルの電流位相に対して180°ずらしてあることを特徴とするリニアモータ。 - 前記主コイル群と前記補助コイル群のコイルピッチ及びアンペアターンを同じにすると共に、前記主コイル群のコイル直線長をA、前記補助コイル群のコイル直線長をBとしたときにB/Aの値を0.6〜0.8としたことを特徴とする請求項1記載のリニアモータ。
- 前記主コイル群と前記補助コイル群のコイルピッチ及びコイル直線長を同じにすると共に、前記主コイル群のアンペアターンをAT、前記補助コイル群のアンペアターンをBTとしたときにBT/ATの値を0.6〜0.8としたことを特徴とする請求項1記載のリニアモータ。
- 前記界磁ヨークの補助コイル群と対向する位置に第2の永久磁石を配置すると共に、前記第2の永久磁石の極性を、前記主コイル群と対向する位置に配置した永久磁石の極性と互いに異極となるように構成したことを特徴とする請求項1乃至3記載のリニアモータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002260010A JP2004104858A (ja) | 2002-09-05 | 2002-09-05 | リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002260010A JP2004104858A (ja) | 2002-09-05 | 2002-09-05 | リニアモータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004104858A true JP2004104858A (ja) | 2004-04-02 |
Family
ID=32260852
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002260010A Pending JP2004104858A (ja) | 2002-09-05 | 2002-09-05 | リニアモータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004104858A (ja) |
-
2002
- 2002-09-05 JP JP2002260010A patent/JP2004104858A/ja active Pending
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