JP2004093462A - 半導体集積回路とその試験方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】論理回路ブロック11〜18とその後段に接続されたスキャンレジスタ21〜28からなるシフトスキャンのチェーンは、スキャンレジスタ21〜24と、スキャンレジスタ25〜28の分割チェーンに分けられる。試験動作時には、試験入力データTIがクロック信号CKの2倍の逓倍クロック信号CKDに同期して与えられ、直列並列変換回路40で並列データS41,S42に変換されて、各分割チェーンの先端のスキャンレジスタ21,25に与えられる。これにより、分割チェーンの長さが1/2になり、試験時間が短縮できる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
【0002】
本発明は、スキャンレジスタによる試験回路を備えた半導体集積回路と、その試験方法に関するものである。
【0003】
【従来の技術】
【0004】
【特許文献1】
【0005】
特開2000−258500号公報
【0006】
半導体集積回路の試験技術として、この集積回路の機能動作を行う複数の論理回路ブロックの間にスキャンレジスタを挿入しておき、試験時にこれらのスキャンレジスタをチェーン状に接続して各論理回路ブロックに試験用のデータを与えたり、各論理回路ブロックの出力データを取り出すシフトスキャン方式と呼ばれるものがある。
【0007】
図2は、従来のシフトスキャン方式の試験回路を備えた半導体集積回路の構成図である。
【0008】
この半導体集積回路は、n個の論理回路ブロック(LOG)1i(但し、i=1〜n)を有しており、この論理回路ブロック1iと論理回路ブロック1i+1の間がスキャンレジスタ(SR)2iで接続されると共に、論理回路ブロック1nの出力側にスキャンレジスタ2nが接続されている。
【0009】
各スキャンレジスタ2iは、モード信号MDに従って入力信号を切り替えるセレクタと、このセレクタで選択された信号をクロック信号CKのタイミングで保持して出力するフリップフロップで構成されている。セレクタの第1及び第2の入力側は、前段の論理回路ブロック1iの出力側と入力側にそれぞれ接続されている。また、フリップフロップの出力側は、後段の論理回路ブロック1i+1の入力側に接続されている。
【0010】
なお、初段の論理回路ブロック11の入力側とスキャンレジスタ21の第2の入力側には、それぞれ入力データDIと試験入力データTIが与えられるようになっている。また、最終段のスキャンレジスタ2nの出力側からは出力データDOと試験出力データTOが出力されるようになっている。
【0011】
このような半導体集積回路では、モード信号MDを通常動作モードに設定することにより、各スキャンレジスタ2iのセレクタが第1の入力側に切り替えられる。これにより、n個の論理回路ブロック11〜1nがスキャンレジスタ21〜2nを介して直列に接続され、クロック信号CKのタイミングに従って同期動作が行われる。
【0012】
一方、モード信号MDを試験動作モードに設定すると、各論理回路ブロック1iが切り離され、スキャンレジスタ21〜2nが縦続接続されたスキャンチェーンが構成される。ここで、クロック信号CKを与えることにより、試験入力データTIを順次スキャンレジスタ21〜2nにシフトして保持させると共に、これらのスキャンレジスタ21〜2nに保持されているデータを、試験出力データTOとして直列に読み出すことができる。これにより、各論理回路ブロック1iに任意の試験データを与えたり、これらの各論理回路ブロック1iの処理結果のデータを読み出すことができる。
【0013】
しかし、このようなシフトスキャン方式の試験回路では、論理回路ブロックの数が多くなると、これに従ってスキャンチェーンを構成するスキャンレジスタの数も多くなり、試験データの入力や出力に時間がかかるという問題があった。
【0014】
このような問題を解決するための試験回路を有する半導体集積回路が、前記特許文献1に記載されている。
【0015】
図3は、前記公報に記載された従来の半導体集積回路の構成図である。
【0016】
この半導体集積回路は、被検査回路102と、スキャンデータ入力端子151,152と、スキャンデータ出力端子161,162と、結線変更回路103と、符号圧縮回路104とで構成されている。
【0017】
被検査回路102は、複数のスキャンチェーン110,120,130,140をもち、それぞれスキャンレジスタ111〜113,121〜123,131〜133,141〜143がスキャンデータの入力と出力が可能なように接続されている。また、被検査回路102は、組み合わせ回路的に独立した部分回路171,172をもち、スキャンチェーン110,120は部分回路171に、スキャンチェーン130,140は部分回路172に、それぞれ属している。
【0018】
結線変更回路103は、スキャンデータ入力端子151が分岐点153でスキャンチェーン110と130に分岐し、スキャンデータ入力端子152が、分岐点154でスキャンチェーン120と140に分岐する。符号圧縮回路104は、スキャンチェーン110と130の排他的論理を論理ゲート163でとってスキャンデータ出力端子161に出力し、スキャンチェーン120と140の排他的論理を論理ゲート164でとってスキャンデータ出力端子162に出力するようになっている。
【0019】
このような半導体集積回路では、例えば、スキャンデータ入力端子151に入力されたスキャンデータは、2つのスキャンチェーン110,130に同時に与えられる。そして、これらのスキャンチェーン110,130を順次シフトして転送されたスキャンデータは、論理ゲート163で排他的論理がとられてスキャンデータ出力端子161から出力される。これにより、被検査回路102であるスキャンチェーン110〜140の検査を短時間に行うことができる。
【0020】
【発明が解決しようとする課題】
【0021】
しかしながら、従来の半導体集積回路では、次のような課題があった。
【0022】
例えば、図2の半導体集積回路では、前述したように回路規模の増加に伴って、試験データの入力や出力に時間がかかるという問題があった。また、図3の半導体集積回路では、2つのスキャンチェーン110,130に同じスキャンデータを入力しており、個々のスキャンレジスタ111〜113,131〜133に任意のデータを保持させることはできない。このため、各論理回路に任意の試験データを与えてその論理回路の動作を試験することはできなかった。
【0023】
本発明は、前記従来技術が持っていた課題を解決し、試験時間の短縮が可能なシフトスキャン方式の試験回路を備えた半導体集積回路を提供するものである。
【0024】
【課題を解決するための手段】
【0025】
前記課題を解決するために、本発明の内の第1の発明は、m×n個(但し、m,nは複数)の論理回路ブロックの間をスキャンレジスタを介してチェーン状に接続し、通常動作時の通常データと試験動作時の試験データの入出力をクロック信号に同期して行う半導体集積回路において、前記スキャンレジスタを前記n個の論理回路ブロック毎に分割してm組の分割チェーンを構成すると共に、前記試験動作時に、前記クロック信号のm倍の周波数を有する逓倍クロック信号に同期して直列に与えられる前記試験データを、該逓倍クロック信号に従ってm個の並列データに変換して前記m組の分割チェーンの各先頭のスキャンレジスタに与える直列並列変換回路と、前記試験動作時に、前記m組の分割チェーンの各後尾のスキャンレジスタから出力されるデータを並列に入力し、前記逓倍クロック信号に従って直列データに変換して出力する並列直列変換回路とを設けている。
【0026】
第2の発明は、第1の発明に、クロック信号の周波数をm倍に逓倍して逓倍クロック信号を生成する逓倍回路を設けている。
【0027】
第3の発明は、m×n個の論理回路ブロックの間をスキャンレジスタを介してチェーン状に接続し、通常動作時の通常データと試験動作時の試験データの入出力をクロック信号に同期して行う半導体集積回路の試験方法において、前記スキャンレジスタを前記n個の論理回路ブロック毎に分割してm組の分割チェーンを構成し、前記クロック信号のm倍の周波数を有する逓倍クロック信号に同期して直列に与えられる前記試験データを、該逓倍クロック信号に従ってm個の並列データに変換して前記m組の分割チェーンの各先頭のスキャンレジスタに与えるようにしている。
【0028】
第4の発明は、第3の発明に加えて、前記m組の分割チェーンの各後尾のスキャンレジスタから出力されるデータを、前記逓倍クロック信号に従って直列データに変換して出力するようにしている。
【0029】
第5の発明は、第3または第4の発明において、クロック信号の周波数をm倍に逓倍して逓倍クロック信号を生成するようにしている。
【0030】
本発明によれば、次のような作用が行われる。
【0031】
試験動作時に、クロック信号のm倍の周波数を有する逓倍クロック信号に同期して試験データが直列に与えられると、この試験データが逓倍クロック信号によってm個の並列データに変換され、m組の分割チェーンの各先頭のスキャンレジスタに与えられる。一方、このm組の分割チェーンの各後尾のスキャンレジスタからそれぞれ並列に出力されるデータは、逓倍クロック信号に従って直列データに変換される。
【0032】
【発明の実施の形態】
【0033】
(第1の実施形態)
【0034】
図1は、本発明の第1の実施形態を示す半導体集積回路の構成図である。
【0035】
この半導体集積回路は、シフトスキャン方式の試験回路を備えたもので、この集積回路の機能動作を行う複数(例えば、8個)の論理回路ブロック11〜18と、これらの論理回路ブロック11〜18の出力側に接続されたスキャンレジスタ21〜28と、クロック信号CKから2倍の周波数の逓倍クロック信号CKDを生成する逓倍回路30と、直列並列変換回路(S/P)40と、並列直列変換回路(P/S)50を有している。
【0036】
各スキャンレジスタ21〜28はいずれも同様の構成で、例えばスキャンレジスタ21に示すように、モード信号MDに従って入力信号を切り替えるセレクタ(SL)21aと、このセレクタ21aで選択された信号をクロック信号CKのタイミングで保持して出力するフリップフロップ(FF)21bで構成されている。
【0037】
また、直列並列変換回路40は、逓倍回路30で生成された逓倍クロック信号CKDに同期して直列に入力される試験入力データTIを、並列データS41,S42に変換して出力するものである。直列並列変換回路40は、2つのフリップフロップ41,42を縦続接続して構成され、初段のフリップフロップ41の入力側に試験入力データTIが与えられ、同じ逓倍クロック信号CKDで入力側の信号を保持して出力するものである。フリップフロップ41,42の各出力側から、並列データS41,S42が、それぞれ出力されるようになっている。
【0038】
初段の論理回路ブロック11の入力側には、入力データDIが与えられるようになっており、この論理回路ブロック11の出力側が、スキャンレジスタ21のセレクタ21aの第1の入力側に接続されている。また、スキャンレジスタ21のセレクタ21aの第2の入力側には、直列並列変換回路40の並列データS41が与えられるようになっている。
【0039】
スキャンレジスタ21から出力される信号S21は、図示していないが、次段の論理回路ブロック12の入力側とスキャンレジスタ22の第2の入力側に与えられ、この論理回路ブロック12の出力信号が、スキャンレジスタ22の第1の入力側に与えられるようになっている。
【0040】
同様に、スキャンレジスタ22の信号S22は、論理回路ブロック13とスキャンレジスタ23の第2の入力側に与えられ、この論理回路ブロック13の出力信号が、スキャンレジスタ23の第1の入力側に与えられるようになっている。更に、スキャンレジスタ23の信号S23は、論理回路ブロック14とスキャンレジスタ24の第2の入力側に与えられ、この論理回路ブロック14の出力信号が、スキャンレジスタ24の第1の入力側に与えられるようになっている。
【0041】
スキャンレジスタ24の信号S24は、論理回路ブロック15に与えられ、この論理回路ブロック15の出力信号が、スキャンレジスタ25の第1の入力側に与えられるようになっている。また、スキャンレジスタ25の第2の入力側には、直列並列変換回路4の並列データS42が与えられるようになっている。
【0042】
更に、スキャンレジスタ25の信号S25は、図示していないが、論理回路ブロック16とスキャンレジスタ26の第2の入力側に与えられ、この論理回路ブロック16の出力信号が、スキャンレジスタ26の第1の入力側に与えられるようになっている。スキャンレジスタ26の信号S26は、論理回路ブロック17とスキャンレジスタ27の第2の入力側に与えられ、この論理回路ブロック17の出力信号が、スキャンレジスタ27の第1の入力側に与えられるようになっている。
【0043】
スキャンレジスタ27の信号S27は、論理回路ブロック18とスキャンレジスタ28の第2の入力側に与えられ、この論理回路ブロック18の出力信号が、スキャンレジスタ28の第1の入力側に与えられるようになっている。スキャンレジスタ28の信号S28は、出力データDOとして出力される他、スキャンレジスタ24の信号S24と共に並列直列変換回路50に入力されるようになっている。
【0044】
並列直列変換回路50は、並列に入力される信号S24,S28を、逓倍クロック信号CKDに従って直列の試験出力データTOとして出力するものである。並列直列変換回路50は、信号S24を逓倍クロック信号CKDのタイミングで保持するフリップフロップ51、信号S28とフリップフロップ51から出力される信号S51を、クロック信号CKのレベル“H”,“L”に基づいて選択するセレクタ52、及びこのセレクタ52から出力される信号S52を、逓倍クロック信号CKDのタイミングで保持し、試験出力データTOとして出力するフリップフロップ53で構成されている。
【0045】
図4は、図1の試験時の動作を示すタイミングチャートである。以下、この図4を参照しつつ、図1の動作を説明する。なお、試験時には、モード信号MDによって、すべてのスキャンレジスタ21〜28が、第2の入力側に切り替えられる。
【0046】
図1のクロック信号CKは、各スキャンレジスタ21〜28に与えられると共に逓倍回路30に与えられ、図4に示すように、2倍の周波数の逓倍クロック信号CKDが生成される。生成された逓倍クロック信号CKDは、直列並列変換回路40と、並列直列変換回路50内の各フリップフロップに与えられる。
【0047】
図4の時刻t1,t3,t5,…におけるクロック信号CKのレベル“H”,“L”の変化に同期して、直列並列変換回路40には、試験入力データTIとして、データD1,D2,D3,…が順次入力される。これにより、直列並列変換回路40のフリップフロップ41には、逓倍クロック信号CKDの立上がりのタイミングt2,t4,t6,…で、順次D1,D2,D3,…と変化するデータが保持され、信号S41として出力される。
【0048】
一方、フリップフロップ42には、信号S41よりも1クロック分だけ遅れて、時刻t4、t6、…に、順次D1,D2,…と変化する信号S42が出力される。直列並列変換回路40の信号S41,S42は、それぞれスキャンレジスタ21,25に与えられる。
【0049】
時刻t5におけるクロック信号CKの立上がりのタイミングで、信号S41,S42は、それぞれスキャンレジスタ21,25に保持される。これにより、スキャンレジスタ21,25から出力される信号S21,S25は、それぞれデータD2,D1となる。
【0050】
時刻t7におけるクロック信号CKの立上がりで、データD2,D1はスキャンレジスタ22,26へシフトされ、スキャンレジスタ21,25から出力される信号S21,S25は、それぞれデータD4,D3となる。
【0051】
時刻t8におけるクロック信号CKの立上がりで、データD2,D1はスキャンレジスタ23,27へシフトされると共に、データD4,D3はスキャンレジスタ22,26へシフトされ、スキャンレジスタ21,25から出力される信号S21,S25は、それぞれデータD6,D5となる。
【0052】
時刻t9におけるクロック信号CKの次の立上がりで、データD2,D1はスキャンレジスタ24,28へ、データD4,D3はスキャンレジスタ23,27へ、データD6,D5はスキャンレジスタ22,26へそれぞれシフトされる。そして、スキャンレジスタ21,25から出力される信号S21,S25は、それぞれデータD8,D7となる。
【0053】
この状態でスキャンレジスタ28の信号S28が並列直列変換回路50のセレクタ52で選択され、このセレクタ52から出力される信号S52はデータD1となる。
【0054】
時刻t10において、逓倍クロック信号CKDが立上がると、並列直列変換回路50のフリップフロップ51に信号S24が保持され、このフリップフロップ51の信号S51はデータD2となる。また、フリップフロップ53に保持されて出力される試験出力データTOは、データD1となる。
【0055】
時刻t11において、クロック信号CKが“L”になると、セレクタ52はフリップフロップ51側に切り替えられ、このセレクタ52から出力される信号S52はデータD2に変化する。
【0056】
時刻t12において、逓倍クロック信号CKDが立上がると、フリップフロップ53に信号S52が保持され、このフリップフロップ53の試験出力データTOは、データD2となる。
【0057】
以上のような動作により、時刻t10以降、逓倍クロック信号CKDの立上がりに同期して、試験出力データTOとしてデータD1,D2,D3,…が順次出力される。
【0058】
なお、通常動作時には、モード信号MDによって各スキャンレジスタ21〜28のセレクタが、第1の入力側に切り替えられ、それぞれ前段の論理回路11〜18の出力信号がフリップフロップに入力される。これにより、各論理回路11〜18は、それぞれスキャンレジスタ21〜28のフリップフロップを介して縦続接続され、クロック信号CKに基づいた同期動作が行われる。
【0059】
以上のように、この第1の実施形態の半導体集積回路は、論理回路11〜18を接続するスキャンレジスタ21〜28によるスキャンチェーンを2分割し、それぞれのチェーンに試験入力データTIを直列並列変換回路40によって並列に変換して与えると共に、それぞれのチェーンから並列に出力される信号を並列直列変換回路50によって直列に変換して出力するようにしている。これにより、各スキャンレジスタ21〜28へデータの書き込みと、これらのスキャンレジスタ21〜28からのデータの読み出しに必要な時間を半減することができるという利点がある。
【0060】
(第2の実施形態)
【0061】
図5は、本発明の第2の実施形態を示す半導体集積回路の構成図である。
【0062】
この半導体集積回路は、集積回路の機能動作を行うm×n個の論理回路ブロック10i,j(但し、i=1〜m、j=1〜n)と、これらの論理回路ブロック10i,jの間に接続されたスキャンレジスタ20i,jと、クロック信号CKからm倍の周波数の逓倍クロック信号CKDを生成する逓倍回路35と、直列並列変換回路45と、並列直列変換回路55を有している。
【0063】
m×n個の論理回路ブロック10i,jとスキャンレジスタ20i,jは、n個毎に分割され、m組の分割チェーン回路が構成されている。
【0064】
第1組の分割チェーン回路は、論理回路ブロック101,1〜101,nをスキャンレジスタ201,1〜201,n−1を介して接続すると共に、論理回路ブロック101,nの後段にスキャンレジスタ201,nを接続したものである。先頭の論理回路ブロック101,1には、入力データDIが与えられるようになっている。また、2段目以降のスキャンレジスタ201,2〜201,nの第2の入力側には、その前段のスキャンレジスタ201,1〜201,n−1の出力信号が与えられるようになっている。
【0065】
第2組以降の第i組の分割チェーン回路もほぼ同様の構成で、論理回路ブロック10i,1〜10i,nをスキャンレジスタ20i,1〜20i,n−1を介して接続すると共に、論理回路ブロック10i,nの後段にスキャンレジスタ20i,nを接続したものである。但し、先頭の論理回路ブロック10i,1には、第i−1組の分割チェーン回路のスキャンレジスタ20i−1,nの出力信号が与えられるようになっている。また、2段目以降のスキャンレジスタ20i,2〜20i,nの第2の入力側には、その前段のスキャンレジスタ20i,1〜20i,n−1の出力信号が与えられるようになっている。
【0066】
直列並列変換回路45は、逓倍回路35で生成された逓倍クロック信号CKDに同期して直列に入力される試験入力データTIを、m個の並列データS451〜S45mに変換して出力するものである。並列データS451〜S45mは、それぞれ各組の分割チェーン回路の先頭のスキャンレジスタ201,1〜20m,1の第2の入力側に与えられるようになっている。
【0067】
一方、各組の分割チェーン回路の最後のスキャンレジスタ201,n〜20m,nの出力信号は、並列直列変換回路55に並列入力信号として与えられるようになっている。並列直列変換回路55は、クロック信号CKのタイミングに基づいて並列入力信号を保持し、逓倍クロック信号CKDのタイミングに基づいて、その保持した並列入力信号を直列信号に変換して試験出力データTOとして出力するものである。
【0068】
この半導体集積回路の通常動作時には、モード信号MDによって各スキャンレジスタ20i,jが、第1の入力側に切り替えられ、それぞれ前段の論理回路ブロック10i,jの出力信号が、クロック信号CKに同期してこのスキャンレジスタ20i,jの保持され、後段の論理回路ブロック10i,j+1等へ出力される。これにより、各論理回路ブロック10i,jは、それぞれスキャンレジスタ20i,jを介して縦続接続され、クロック信号CKに基づいた同期動作が行われる。
【0069】
一方、試験動作時には、モード信号MDによって各スキャンレジスタ20i,jが、第2の入力側に切り替えられる。これにより、各分割チェーン回路から論理回路10i,jが切り離され、直列並列変換回路45と並列直列変換回路55との間に、それぞれn個のスキャンレジスタ20i,1〜20i,nが縦続接続された分割チェーン回路が、m組並列して接続される。そして、直列並列変換回路45で並列に変換されたm個の試験入力データがそれぞれ対応する分割チェーン回路に入力され、クロック信号CKに同期して順次シフトされる。更に、m組の各分割チェーン回路の最後のスキャンレジスタ201,n〜20m,nの出力信号は、並列直列変換回路55に与えられ、この並列直列変換回路55において逓倍クロック信号CKDによって直列に変換され、試験出力データTOとして出力される。
【0070】
以上のように、この第2の実施形態の半導体集積回路は、論理回路ブロック10i,jを接続するスキャンレジスタ20i,jによるスキャンチェーンをm分割し、それぞれの分割チェーンに試験入力データTIを直列並列変換回路45によって並列に変換して与えると共に、それぞれの分割チェーンから並列に出力される信号を並列直列変換回路55によって直列に変換して出力するようにしている。これにより、各スキャンレジスタ20i,jへデータの書き込みと、これらのスキャンレジスタ20i,jからのデータの読み出しに必要な時間を1/mに低減することができるという利点がある。
【0071】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されず、種々の変形が可能である。この変形例としては、例えば、次のようなものがある。
【0072】
(a) スキャンレジスタ21等の構成は、図1中に例示したようなセレクタとフリップフロップを組み合わせたものに限定されない。
【0073】
(b) クロック信号CKを逓倍して逓倍クロック信号CKDを生成する逓倍回路30,35を有しているが、外部の試験装置等から端子を介してこの逓倍クロック信号CKDが与えられる場合には、逓倍回路は不要である。
【0074】
【発明の効果】
【0075】
以上詳細に説明したように、第1及び第3の発明によれば、n個の論理回路ブロック毎にスキャンレジスタを分割してm組の分割チェーンを構成し、逓倍クロック信号に従って試験データをm個の並列データに変換して各分割チェーンの先頭のスキャンレジスタに与えるようにしている。これにより、チェーンの長さが1/mになり、試験データの転送時間を短縮することができる。
【0076】
第2及び第5の発明によれば、クロック信号を逓倍して逓倍クロック信号を生成するようにしている。これにより、外部から逓倍クロック信号を供給する必要がなくなり、試験のための外部端子の数の増加を抑えることができる。
【0077】
第1及び第4の発明によれば、m組の分割チェーンの各後尾のスキャンレジスタから出力されるデータを、逓倍クロック信号に従って直列データに変換して出力するようにしている。これにより、試験データの出力端子が1つで済み、試験のための外部端子の数の増加を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態を示す半導体集積回路の構成図である。
【図2】従来の半導体集積回路の構成図である。
【図3】従来の半導体集積回路の構成図である。
【図4】図1の試験時の動作を示すタイミングチャートである。
【図5】本発明の第2の実施形態を示す半導体集積回路の構成図である。
【符号の説明】
10i,j,11〜18 論理回路ブロック
20i,j,21〜28 スキャンレジスタ
30,35 逓倍回路
40,45 直列並列変換回路
50,55 並列直列変換回路
Claims (5)
- m×n個(但し、m,nは複数)の論理回路ブロックの間をスキャンレジスタを介してチェーン状に接続し、通常動作時の通常データと試験動作時の試験データの入出力をクロック信号に同期して行う半導体集積回路において、
前記スキャンレジスタを前記n個の論理回路ブロック毎に分割してm組の分割チェーンを構成すると共に、
前記試験動作時に、前記クロック信号のm倍の周波数を有する逓倍クロック信号に同期して直列に与えられる前記試験データを、該逓倍クロック信号に従ってm個の並列データに変換して前記m組の分割チェーンの各先頭のスキャンレジスタに与える直列並列変換回路と、
前記試験動作時に、前記m組の分割チェーンの各後尾のスキャンレジスタから出力されるデータを並列に入力し、前記逓倍クロック信号に従って直列データに変換して出力する並列直列変換回路とを、
設けたことを特徴とする半導体集積回路。 - 前記クロック信号の周波数をm倍に逓倍して前記逓倍クロック信号を生成する逓倍回路を設けたことを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路。
- m×n個(但し、m,nは複数)の論理回路ブロックの間をスキャンレジスタを介してチェーン状に接続し、通常動作時の通常データと試験動作時の試験データの入出力をクロック信号に同期して行う半導体集積回路の試験方法において、
前記スキャンレジスタを前記n個の論理回路ブロック毎に分割してm組の分割チェーンを構成し、
前記クロック信号のm倍の周波数を有する逓倍クロック信号に同期して直列に与えられる前記試験データを、該逓倍クロック信号に従ってm個の並列データに変換して前記m組の分割チェーンの各先頭のスキャンレジスタに与える、
ことを特徴とする半導体集積回路の試験方法。 - 請求項3記載の半導体集積回路の試験方法において、前記m組の分割チェーンの各後尾のスキャンレジスタから出力されるデータを、前記逓倍クロック信号に従って直列データに変換して出力することを特徴とする半導体集積回路の試験方法。
- 前記クロック信号の周波数をm倍に逓倍して前記逓倍クロック信号を生成することを特徴とする請求項3または4記載の半導体集積回路の試験方法。
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