JP2004089868A

JP2004089868A - Drawing method and drawing apparatus, method for forming metal wiring, metal wiring forming apparatus, electro-optic apparatus, its manufacturing method and electronic appliance

Info

Publication number: JP2004089868A
Application number: JP2002255223A
Authority: JP
Inventors: Yoichi Miyasaka; 宮阪　洋一
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-08-30
Filing date: 2002-08-30
Publication date: 2004-03-25

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a drawing method, drawing apparatus, method for forming metal wiring and apparatus for forming metal wiring by which a continuous line can be appropriately drawn without depending on the structural variance of a plurality of nozzles and preferably used to form fine wiring in surface mounting techniques, and to provide an electro-optic apparatus, its manufacturing method and an electronic appliance. <P>SOLUTION: In the drawing method, an image is drawn by selectively ejecting a functional liquid in dots from a liquid ejection head 6 having a nozzle line 11 while the head 6 is relatively moved in the main scanning direction with respect to a work W. The method includes a work rotating process to relatively rotate the work W by a certain angle with respect to the liquid ejection head 6 for the drawing region on the work W composed of lines crossing with the main scanning direction so that the extended direction of the drawing region is aligned to be parallel to the main scanning direction, and a drawing process to draw the image in the drawing region after the work rotating process. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス基板等のワークに対し、インクジェットヘッドに代表される液滴吐出ヘッドにより機能液の吐出をドット状に行う描画方法および描画装置、金属配線形成方法および金属配線形成装置、電気光学装置およびその製造方法、並びに電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ノズル列を有するインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）を応用して、液晶表示装置等における金属配線を微細に形成することが試みられている。インクジェット方式による金属配線の形成では、基板（ワーク）に対し、ノズル列を有する液滴吐出ヘッドを主走査方向に相対的に移動させ、複数のノズルから機能液（液状金属材料）を選択的にドット状に吐出して、これらドットを連結することで、配線としての線分を構成するようにしている。
例えば、図８（ａ）に示すような「Ｚ」画像の配線は、液滴吐出ヘッド６の主走査方向に平行な２つの水平線分、および１つの交差線分からなる３つの線分から構成され、それぞれの線分においてドット間が連結されることで、配線に不可欠な連続性が確保されるようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、交差線分を水平線分と同じドット径で構成しようとすると、水平線分に比べドット中心間距離が√２倍になる結果、ドット間が断続し、その連結性を保つことができない。そのため、交差線分を構成する場合、水平線分に比べ吐出量を多くするか、あるいは１画素に対し機能液滴を重ねて吐出する等してドット径を大きくしていたが、線幅が太くなり、微細配線を適切に形成することができなかった。
また、水平線分は、一つのノズル１２からのドットを連結することで構成することができるため、ノズル１２間に構造上のばらつきがあっても、解像度に依存して配線の連続性を確保することができる。しかし、複数のノズル１２からの吐出により構成される交差線分や垂直線分では、ノズル１２にばらつきがあると、ドット（機能液滴の着弾位置）が精度良く配列せず、微細配線としては、その連続性を適切に確保できなかった（図８（ｂ）参照）。
【０００４】
本発明は、複数のノズルの構造上のバラツキを問わず、連続性のある線分を適切に描画することができ、表面実装技術における微細配線の形成に好適に応用することができる描画方法および描画装置、金属配線形成方法および金属配線形成装置、電気光学装置およびその製造方法、並びに電子機器を提供することをその目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の描画方法は、ワークに対しノズル列を有する液滴吐出ヘッドを、主走査方向に相対的に移動させながら、当該液滴吐出ヘッドから機能液をドット状に選択的に吐出することで描画を行う描画方法であって、主走査方向に交差する交差線分から成るワーク上の描画領域に対し、描画領域の延在方向と主走査方向とが平行になるように、液滴吐出ヘッドに対しワークを相対的に角度回転させるワーク回転工程と、ワーク回転工程の後、描画領域に描画を行う描画工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
本発明の描画装置は、ワークに対しノズル列を有する液滴吐出ヘッドを、主走査方向に相対的に移動させながら、当該液滴吐出ヘッドから機能液をドット状に選択的に吐出することで描画を行う描画装置であって、液滴吐出ヘッドに対しワークを相対的に移動させるワーク移動機構と、液滴吐出ヘッドに対しワークを相対的に角度回転させるワーク回転機構と、ワーク移動機構、ワーク回転機構および液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、主走査方向に交差する交差線分から成るワーク上の描画領域に対し、ワーク回転機構を制御し、ワークを相対的に角度回転させて描画領域の延在方向と主走査方向とを平行にした後、ワーク移動機構および液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御し、描画領域に描画を行うことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、主走査方向に交差する交差線分をワークに描画する場合、液滴吐出ヘッドに対しワークを相対的に水平面内で角度回転させ、交差線分の方向（描画領域の延在方向）と主走査方向とを同一方向にさせてから、主走査方向に液滴吐出ヘッドを相対移動させ、機能液をドット状に吐出するようにしている。すなわち、交差線分から成るワーク上の描画領域を、実質的に、主走査方向に平行な水平線分として、描画するようにしている。
これにより、ドット間の連結が確保されるため、連続性を有する交差線分を適切に描画することができる。また、交差線分の描画が、角度回転させる必要のない水平線分の描画と同じ条件（液滴吐出量、液滴吐出回数など）で行えるため、極力細径のドットでドット間の連結性を確保することができ、極力小さな線幅で交差線分を描画することができる。
【０００８】
これらの場合、描画工程は、液滴吐出ヘッドの所定の１つのノズルを用いて行われることが、好ましい。
【０００９】
同様に、制御手段は、液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御し、その所定の１つのノズルを用いて描画領域に描画を行うことが、好ましい。
【００１０】
これらの構成によれば、交差線分を１つのノズルによる吐出で描画することができるため、最小線幅の交差線分をワーク上に構成することができる。このため、微細線が望まれる金属配線や非接触式ＩＣカードのアンテナへの応用性を高めることができる。
【００１１】
これらの場合、液滴吐出ヘッドは、ノズル列が主走査方向に対し所定の角度傾いていることが、好ましい。
【００１２】
同様に、ワーク移動機構は、液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジを備え、キャリッジは、液滴吐出ヘッドを、ノズル列が主走査方向に対し所定の角度傾いた状態で搭載していることが、好ましい。
【００１３】
これらの構成によれば、交差線分の線幅の微調整を適切に行うことができる。
【００１４】
これらの場合、ワーク回転工程は、描画領域を表す画像データから生成した、交差線分が主走査方向となす角に関する角度データに基づいて為されることが、好ましい。
【００１５】
同様に、制御手段は、描画領域を表す画像データから生成した、交差線分が主走査方向となす角に関する角度データに基づいてワーク回転機構を制御することが、好ましい。
【００１６】
これらの構成によれば、画像データから生成した角度データに基づいて液滴吐出ヘッドを相対的に角度回転させているため、その描画領域の延在方向と主走査方向とを確実に平行にさせることができる。なお、画像データは、交差線分の始点および終点を示す線図のデータが一般的であるが、ドットデータであってもよい。
【００１７】
これらの場合、Ｘ−Ｙ二次元直交座標におけるＸ軸方向が主走査方向となっており、描画工程は、描画領域を表す画像データから生成した、交差線分の描画開始座標に関するデータを含む描画位置データ、および液滴吐出ヘッドの吐出データに基づいて為されることが、好ましい。
【００１８】
同様に、Ｘ−Ｙ二次元直交座標におけるＸ軸方向が主走査方向となっており、制御手段は、描画領域を表す画像データから生成した、交差線分の描画開始座標に関するデータを含む描画位置データ、および液滴吐出ヘッドの吐出データに基づいて、ワーク移動機構および液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御することが、好ましい。
【００１９】
これらの構成によれば、画像データから生成した描画位置データおよび吐出データに基づいて、液滴吐出ヘッドの相対移動および吐出駆動を行っているため、液滴吐出ヘッドの回転後の位置に適したドット状の吐出を行うことができる。なお、描画位置データは、描画開始座標および描画終了座標に関するデータが一般的であるが、描画開始座標およびここからの長さに関するデータであってもよい。
【００２０】
これらの場合、描画領域には、交差線分が主走査方向となす角が異なる複数のものが存在しており、ワーク回転工程および描画工程は、主走査方向に対し異なる交角が小さい順または大きい順に行われることが、好ましい。
【００２１】
同様に、描画領域には、交差線分が主走査方向となす角が異なる複数のものが存在しており、制御手段は、ワーク回転機構によるワーク回転工程と、ワーク移動機構および液滴吐出ヘッドの吐出駆動による描画工程とを、主走査方向に対し異なる交角が小さい順または大きい順に行うことが、好ましい。
【００２２】
これらの構成によれば、交角の異なる複数の交差線分の描画が、液滴吐出ヘッドに対しワークが所定方向に順次相対的に角度回転して行われるため、簡単な制御により効率良く描画を行うことができる。
【００２３】
この場合、描画領域には、交差線分が主走査方向となす角が等しい複数のものが存在しており、描画工程は、交角の等しい複数の描画領域を一括して描画することが、好ましい。
【００２４】
同様に、描画領域には、交差線分が主走査方向となす角が等しい複数のものが存在しており、制御手段は、ワーク移動機構および液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御し、交角の等しい複数の描画領域を一括して描画させることが、好ましい。
【００２５】
これらの構成によれば、１回のワーク回転工程あるいはワーク回転機構によるワーク回転結果を維持した状態で、複数の交差線分を纏めて描画するようにしているため、効率良く描画することができる。
【００２６】
本発明の金属配線形成方法は、上記した本発明の描画方法・装置を用い、液滴吐出ヘッドに液状金属材料を導入して、ワークとなる基板上に金属配線を描画することを特徴とする。
【００２７】
同様に、本発明の金属配線形成装置は、ワークとなる基板上に金属配線を形成する金属配線形成装置であって、上記した本発明の描画装置と、機能液として、液状金属材料を前記液滴吐出ヘッドに供給する機能液供給機構と、を備えたことを特徴とする。
【００２８】
この構成によれば、金属配線が、ワーク上にインクジェット方式により直接形成されるため、その製造工程を簡略化することができると共に、微細な配線パターンを実現することができる。なお、インクジェット方式は、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いたタイプ、圧電素子（ピエゾ素子）を用いたタイプのいずれであってもよい。
【００２９】
本発明の電気光学装置は、上記した本発明の金属配線形成方法・装置を用いて形成された金属配線を有することを特徴とする。
【００３０】
同様に、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した本発明の金属配線形成方法・装置を用いて、金属配線を形成することを特徴とする。
【００３１】
この構成によれば、金属配線を微細に形成することができるため、電気光学装置自体を小型に製造することができる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ　Ｄｉｓｐｌａｙ　Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。また、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ　Ｅｍｉｓｓｉｏｎ　Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。
【００３２】
本発明の電子機器は、上記した本発明の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３３】
この構成によれば、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話等の電子機器を小型化できる。
【００３４】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の描画方法および描画装置の一実施形態について説明する。インクジェットプリンタのインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）は、微小なインク滴（液滴）をドット状に精度良く吐出することができることから、表面実装技術における回路形成に適用され、例えば機能液（吐出対象液）に液状金属材料を用いることにより、電気伝導性を有する金属配線を形成することが試みられている。本発明の描画方法および描画装置を適用した金属配線形成装置は、インクジェット方式により、微細配線パターンを基板上に、描画することができるものである。
【００３５】
図１に示すように、金属配線形成装置１は、図外の機台上に設置したＸ軸テーブル３およびこれに直交するＹ軸テーブル４から成るＸ・Ｙ移動機構２と、Ｙ軸テーブル４に移動自在に取り付けたキャリッジ５とを備え、キャリッジ５には、機能液をドット状に吐出する液滴吐出ヘッド６が搭載されている。ワークである基板Ｗは、例えばガラス基板やポリイミド基板等で構成され、Ｘ軸テーブル３に移動自在に取り付けたワークテーブル７に搭載されている。
【００３６】
また、図２に示すように、金属配線形成装置１には、液滴吐出ヘッド６に機能液として液状金属材料を供給する機能液供給機構８の他、Ｘ・Ｙ移動機構２や液滴吐出ヘッド６等の各種構成装置を統括制御するコントローラ９（制御手段）が組み込まれている。液状金属材料は、溶剤中に金や銀等の金属材料が均一に分散したものであり、基板Ｗへの描画後には金属配線として機能するものである。
【００３７】
液滴吐出ヘッド６は、ワークに平行に対峙する下面に１本のノズル列１１が形成されている。ノズル列１１は、１８０個（図示では模式的に示している）のノズル１２が等ピッチでＹ軸方向に平行に並べられて構成されている。また、液滴吐出ヘッド６には、各ノズル１２から機能液をドット状に選択的に吐出させるポンプ部（図示省略）が組み込まれている。この種のインクジェット方式の液滴吐出ヘッド６は、吐出駆動のためのエネルギー発生素子として圧電素子（ピエゾ素子）を用いたもの、あるいは電気熱変換体を用いたもので構成されている。
【００３８】
Ｘ・Ｙ移動機構２（ワーク移動機構）は、いわゆるＸ・Ｙロボットであり、Ｘ軸テーブル３はＹ軸テーブル４の下方に位置している。Ｙ軸テーブル４は、パルス駆動されるリニアモータ２１を内蔵したＹ軸スライダ２２を有し、これにキャリッジ５をＹ軸方向に移動自在に搭載して、構成されている。
【００３９】
Ｘ軸テーブル３は、パルス駆動されるリニアモータ２３を内蔵したＸ軸スライダ２４を有し、これにワークテーブル７を移動自在に搭載して、構成されている。ワークテーブル７は、基板Ｗを吸着載置する吸着テーブル２５と、吸着テーブル２５をθ軸方向に面内回転させるθテーブル２６とで構成されている。θテーブル２６は、正逆回転可能なθモータ２７を動力源としており、θモータ２７が正逆回転すると、θテーブル２６および吸着テーブル２５がＸ−Ｙ平面で基板Ｗを面内回転させる。すなわち、θテーブル２６とθモータ２７とにより、基板Ｗに対し液滴吐出ヘッド６を相対的に角度回転させるワーク回転機構２８が構成されている。
【００４０】
本実施形態の金属配線形成装置１は、Ｘ軸テーブル３による基板Ｗの移動に同期して液滴吐出ヘッド６が吐出駆動する構成であり、液滴吐出ヘッド６のいわゆる主走査は、Ｘ軸テーブル３による基板ＷのＸ軸方向への往復動動作により行われる。また、これに対応して、いわゆる副走査は、Ｙ軸テーブル４による液滴吐出ヘッド６のＹ軸方向への往動動作により行われる。
【００４１】
なお、本実施形態では、液滴吐出ヘッド６に対し、基板Ｗを主走査方向に移動させるようにしているが、液滴吐出ヘッド６を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、基板Ｗを固定とし、液滴吐出ヘッド６を主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。逆に、液滴吐出ヘッド６を固定とし、基板Ｗを主走査方向および副走査方向に移動させる構成でもあってもよい。
【００４２】
なおまた、液滴吐出ヘッド６のノズル１２数、ノズル列１１数、ノズル列１１の延在方向も任意であり、例えば、液滴吐出ヘッド６を同一方向に所定の角度傾けたものであってもよい。また、液滴吐出ヘッド６が単数のものに限らず、これらが複数の場合にあっては、その配置パターンも千鳥状配置、階段状配置など任意であるが、複数の液滴吐出ヘッド６の全吐出ノズル１２によるドットが副走査方向において連続していることが好ましい。
【００４３】
図２に示すように、金属配線形成装置１を制御系からみると、金属配線形成装置１の制御系は、基本的に、パーソナルコンピュータなどの外部入力装置４１と、液滴吐出ヘッド６、Ｘ・Ｙ移動機構２およびワーク回転機構２８を駆動する各種ドライバを有する駆動部４２と、駆動部４２を含め金属配線形成装置１を統括制御する制御部４３（コントローラ９）とを備えている。外部入力装置４１は、ここで作成した金属配線を形成するための画像データ（線図データ）を、その操作により金属配線形成装置１に送信（入力）するものであり、制御部４３の入出力手段として機能している。
【００４４】
駆動部４２は、ヘッドドライバ４４と、モータドライバ４５とを備えている。ヘッドドライバ４４は、制御部４３の指示に従って、液滴吐出ヘッド６を吐出駆動する。また、モータドライバ４５は、Ｘ軸モータドライバ４５ａと、Ｙ軸モータドライバ４５ｂと、θモータドライバ４５ｃとを有し、これらは制御部４３の指示に従って、Ｘ・Ｙ移動機構２の各モータ（二つのリニアモータ２１，２３とθモータ２７）を駆動する。
【００４５】
制御部４３は、ＣＰＵ５１と、ＲＯＭ５２と、ＲＡＭ５３と、Ｐ−ＣＯＮ５４とを備え、これらは互いにバス５５を介して接続されている。ＲＯＭ５２は、ＣＰＵ５１で処理する制御プログラムや制御データを記憶する制御プログラム領域や、描画を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域を有している。ＲＡＭ５３は、各種レジスタ群の他、外部から入力した画像データを一時的に記憶する画像データ領域、描画のための描画データを記憶する描画データ領域、基板Ｗを角度回転させるための角度データを記憶する角度データ領域等を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。
【００４６】
Ｐ−ＣＯＮ５４には、ＣＰＵ５１の機能を補うと共に周辺回路とのインターフェース信号を取り扱うための論理回路が、ゲートアレイやカスタムＬＳＩなどにより構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ５４には、外部入力装置４１からの各種指令や画像データなどをそのままあるいは加工してバス５５に取り込むと共に、ＣＰＵ５１と連動して、ＣＰＵ５１等からバス５５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４２に出力する。
【００４７】
そして、ＣＰＵ５１は、上記の構成により、ＲＯＭ５２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ５４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ５３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ５４を介して駆動部４２に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出ヘッド６およびＸ・Ｙ移動機構２を制御して、所定の描画条件および所定の移動条件で基板Ｗに描画を行う。また、必要であればワーク回転機構２８を制御して、基板Ｗを回転させて描画を行うなど、金属配線形成装置１全体を制御している。
【００４８】
次に、金属配線形成装置１による、微細な金属配線パターンを基板Ｗに形成する金属配線形成方法について説明する。一例として、図３に示すような金属配線パターンを描画する場合を考える。この配線パターンは、基板Ｗ上の中央に設定されたチップ領域６１を中心として、左右対称且つ点対称に１０本の配線（Ｌ１〜Ｌ５，Ｒ１〜Ｒ５）が略放射状に延び、その途中からそれぞれが平行に延びているものである。
【００４９】
配線Ｌ１は、チップ領域６１側で主走査方向と角度θ１を為して交差する交差線分Ｌ１Ｆと、交差線分Ｌ１Ｆに連なり主走査方向に平行な水平線分Ｌ１Ｂとで構成されている。同様に、配線Ｌ２は、主走査方向と角度θ２を為して交差する交差線分Ｌ２Ｆと、交差線分Ｌ２Ｆに連なる水平線分Ｌ２Ｂとで構成され、配線Ｌ３は、水平線分のみから構成されている。以下、同様に、配線Ｌ４、配線Ｌ５、配線Ｒ１ないし配線Ｒ５が構成されており、配線パターンには、複数の水平線分および複数の交差線分が混在している。なお、同図には、垂直線分がないが、交差線分は、垂直線分も含む概念である。
【００５０】
図４は、本実施形態の金属配線形成装置１による描画方法を示している。同図において、点線で区画された各矩形領域が一画素に対応している。黒丸「●」で示された部分は、液滴吐出ヘッド６から吐出されて基板Ｗに着弾する液状金属材料（機能液）が形成するドットを示している。この描画方法では、水平線分と交差線分とを分けて描画を行うようにし、交差線分から成る基板Ｗ上の描画領域を、基板Ｗを面内回転させる等して、実質的に、主走査方向に平行な水平線分として、描画するようにしている。
【００５１】
具体的には、同図（ａ）に示すように、主走査方向に平行な水平線分を描画する場合には、液滴吐出ヘッド６をそのまま主走査方向に移動させ、所定のノズル１２から所定のタイミングで液状金属材料を吐出させる。主走査方向に連続的に（同ピッチで）描画されたドットは、ドット間が連結されて、連続性を有する水平線分として構成される。なお、ドットの中心位置を明瞭に示すべくドット径は小さめに表されているが、実際にはドット間は連結されている。
【００５２】
このように、水平線分は、液滴吐出ヘッド６が構成できる最小ドット径で描画してその連続性を確保することができるため、所定の一つのノズル１２で一つの線分を描画すれば、最小線幅の線分として得られるものである。なお、同図では、二つの水平線分が、それぞれ一つのノズル１２を用いて描画されている。
【００５３】
一方、主走査方向に交差する交差線分を描画する場合には、先ず交差線分の方向と主走査方向とを同一方向にさせてから、液滴吐出ヘッド６を主走査方向に移動させて、ドットを構成するようにしている。例えば、同図（ｂ）に示すように、同図（ａ）で示す二つの水平線分を結ぶ交差線分を描画する場合にあっては、先ずワーク回転機構２８により基板Ｗを、交差線分が主走査方向となす角θだけ角度回転させて、交差線分の描画領域の延在方向と主走査方向とを平行にさせる。その後、液滴吐出ヘッド６を主走査方向に移動させて、その描画領域に所定のノズル１２から所定のタイミングで液状金属材料を吐出させている。
【００５４】
これにより、交差線分を、水平線分の場合と同じドット径で描画しても、ドット間の連結された連続性を有する線分とすることができる。また、水平線分の場合と同様に、所定の一つのノズル１２を用いて描画すれば、交差線分も水平線分と同幅の最小線幅のものとして得ることができる。このような描画方法により、本実施形態の金属配線形成装置１は、いかなる線分であっても、連続性を有する最小線幅の線分を形成することができるようになっている。
【００５５】
なお、同図（ｃ）に示すように、ワーク回転機構２８に代えて液滴吐出ヘッド６をキャリッジ５上で角度回転させるヘッド回転機構を別に設けておいて、交差線分の描画時には、ヘッド回転機構により液滴吐出ヘッド６を角度回転させた後、液滴吐出ヘッド６を主走査方向に移動させて、ドットを構成するようにしてよい。
【００５６】
ところで、金属配線形成装置１は、同図（ｂ）および（ｃ）に示すような描画を、外部入力装置４１により送信された配線の描画領域を表す画像データから、各種のデータを生成することで実行している。そこで、金属配線形成装置１におけるデータの流れについて、図３に示す金属配線パターンを例に説明する。
【００５７】
同図に示す各配線の画像データは、外部入力装置４１等により作成され、ここに記憶（用意）されている。この種の画像データは、線図のデータとして構成されており、Ｘ−Ｙ二次元直交座標におけるその線図の始点および終点の２点を示すものとして構成されている。例えば、配線Ｌ１の交差線分Ｌ１Ｆの線図データは、始点（Ｘ，Ｙ）＝（Ｘａ、Ｙａ）および終点（Ｘ，Ｙ）＝（Ｘｂ、Ｙｂ）で構成されている（図５参照）。なお、配線の画像データがドットデータの場合、画像解析等により線図データに変換後、同様に処理すればよい。
【００５８】
金属配線形成装置１の一連の描画（金属配線形成）において、外部入力装置４１から金属配線形成装置１に各配線の線図データが入力されると、金属配線形成装置１は、所定のアルゴリズムに従って、各配線の線図データを線分別になるように分解し、その分解後の各線分について、線分が主走査方向となす角に関する角度データと、線分の描画位置に関する描画位置データと、液滴吐出ヘッド６の吐出データとを生成する。すなわち、この配線パターンの場合、Ｌ３およびＲ３が水平線分のみからなることを考慮すると、総数１８の線分（ちなみに交差線分は８本）について、それぞれ角度データ等が生成される。
【００５９】
角度データは、線分が水平線分である場合には数値０として生成される。一方、交差線分が主走査方向となす角に関する角度データは、交差線分Ｌ１Ｆを例にとると、その線図データの始点および終点の２点の座標から簡単に求められることとなる（図５参照）。
【００６０】
また、描画位置データは、描画開始座標および描画終了座標に関するデータで構成されるか、あるいは、描画開始座標およびこの座標からの長さに関するデータとして構成される。そして、生成されたこれら角度データおよび描画位置データに基づいて、線分のドットを構成させるノズル１２についての吐出データが生成されるようになっている。
【００６１】
各線分の描画の実行（描画処理）に際して金属配線形成装置１は、ワーク回転機構２８を角度データに基づいて制御すると共に、Ｘ・Ｙ移動機構２および液滴吐出ヘッド６の吐出駆動を、描画位置データおよび吐出データから成る描画データに基づいて制御している。これにより、図４に示したように、線分を最小線幅で連続性のあるものとして描画している。
【００６２】
図６は、交差線分から成る基板Ｗ上の描画領域として、交差線分が主走査方向となす角θ（交角θ）が等しいものと異なるものとがそれぞれ複数存在している場合における、金属配線形成装置１の描画処理全体のフローを示したものである。この場合、異なる交角θが主走査方向に対し小さい順に描画が行なわれると共に、交角θが等しい複数の交差線分は一括して描画されるようになっている。
【００６３】
すなわち、先ず、描画処理が開始されると、各種の機構が初期設定されることとなり、θテーブル２６等が初期位置に移動した状態となる（Ｓｔｅｐ１）。Ｓｔｅｐ２では、複数の交差線分のうち、主走査方向となす交角θが最も小さい交差線分を描画するべく、この最小交角に対応する角度分、ワーク回転機構２８により基板Ｗが角度回転する。そして、この交差線分の描画データに基づいて、Ｘ・Ｙ移動機構２が駆動して、液滴吐出ヘッド６が主走査（基板Ｗを主走査方向に移動）して、液滴吐出ヘッド６から液状金属材料（機能液）が吐出されることで、交差線分が描画される（Ｓｔｅｐ３）。
【００６４】
このＳｔｅｐ３において、そのノズル列１１の基板Ｗに対する相対的な移動経路上に同一交角の交差線分が他に存在している場合には、図４（ａ）に示す如く、液滴吐出ヘッド６の主走査により纏めて描画される。一方、同一交角の交差線分がその移動経路上に存在しない場合には、液滴吐出ヘッド６が吐出を伴わないで副走査した後、その主走査が行われての描画となる（Ｓｔｅｐ４：Ｙｅｓ）。
【００６５】
同一交角の交差線分を一通り描画し終えると（Ｓｔｅｐ５：Ｎｏ）、今度は、最小交角の次に小さい交角の交差線分の描画を行うべく、ワーク回転機構２８が再駆動して、その交角に対応する角度分、基板Ｗが角度回転する（Ｓｔｅｐ２）。以下、同様にＳｔｅｐ３〜Ｓｔｅｐ５：Ｎｏが繰り返されることで、全ての交差線分の描画が終了する（Ｓｔｅｐ５：Ｙｅｓ）。なお、描画処理を交角θが主走査方向から小さい順に行ったが、場合によっては、大きい順から行ってもよい。
【００６６】
ところで、上記の説明では、微細な配線を形成することを目的としていたため、液滴吐出ヘッド６の一つのノズル１２を用いて一つの線分を構成することとしたが、一定の線幅の線分（帯状の線分）を構成したい場合には、それぞれが隣接する複数のノズル１２から、ドット状に機能液を吐出させればよい。この場合には、液滴吐出ヘッド６を、そのノズル列１１が主走査方向に対し傾けてキャリッジ５に搭載することで、ノズルピッチに依存せずに、線幅を調整することができる。
【００６７】
また、本実施形態の金属配線形成装置１は、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることができる。すなわち、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等における金属配線を微細に形成することができる。また、これらの電気光学装置を備えた電子機器、例えばフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話を提供することができる。
【００６８】
そこで、この金属配線形成装置１を用いた製造方法を、液晶表示装置の製造方法を例に簡単に説明する。図５の液晶表示装置の断面図に示すように、液晶表示装置１００は、背面にバックライト２１２を有する液晶パネル１０１と、液晶パネル１０１に実装した駆動用ＩＣ１０２と、液晶パネル１０１に接続したフレキシブル基板（ＦＰＣ）１０３と、で構成されている。
【００６９】
液晶パネル１０１は、ガラス基板２０３ａを主体として対向面に第１電極２０４および配向膜２０５を形成した上基板２０１と、ガラス基板２０３ｂを主体として対向面に第２電極２０４および配向膜２０５を形成した下基板２０２と、上下両基板２０１，２０２間に介設した多数のスペーサ２０６と、上下両基板２０１，２０２間を封止するシール材２０７と、上下両基板２０１，２０２間に充填した液晶２０８とで構成されると共に、上基板２０１の背面に位相基板２０９および偏光板２１０を積層し、且つ下基板２０２の背面に偏光板２１１およびバックライト２１２を積層して、構成されている。
【００７０】
通常の製造工程では、それぞれ第１・第２電極２０４のパターニングおよび配向膜２０５の塗布を行って上基板２０１および下基板２０１を別々に作製した後、スペーサ２０６およびシール材２０７を作り込み、この状態で上基板２０１を張り合わせる。次いで、シール材２０２の注入口から液晶２０８を注入し、注入口を閉止する。その後、位相基板２０９、両偏光板２１０，２１１およびバックライト２１２を積層し、液晶パネル１０１を得る。最後に、液晶パネル１０１に対して、駆動用ＩＣ１０２を実装すると共に、フレキシブル基板１０３を接続する。
【００７１】
下基板２０２は、上基板２０１の外側へ張り出す基板張出し部２１２を有しており、この基板張出し部２１２には、第２電極２０４から延び駆動用ＩＣ１０２の出力用端子に導電接続される引出し配線２１３や、駆動用ＩＣ１０２の入力用端子に導電接続されると共にフレキシブル基板１０３に導電接続される金属配線２１４が形成されている他、第１電極２０４と導通する引出し配線（図示省略）などが、パターン形成されている。そして、この基板張出し部２１２上の金属配線２１４が、本実施形態の金属配線形成装置１により微細に形成されている。
【００７２】
【発明の効果】
本発明の描画方法および描画装置によれば、ワーク上の交差線分から成る描画領域に対し、液滴吐出ヘッドの主走査方向と交差線分の線分方向とが平行になるように、ワークを面内回転させて、実質的に、交差線分を主走査方向に平行な水平線分として、描画するようにしている。これにより、複数のノズルの構造上のバラツキを問わず、ドット間が連結されるため、連続性のある線分を適切に描画することができると共に、その線幅を極力小さく描画することもできる。
【００７３】
本発明の金属配線形成方法および金属配線形成装置によれば、上記の描画方法・装置を用いたインクジェット方式により、金属配線をワーク上に直接形成することができるため、配線として不可欠な連続性を適切に確保できると共に、金属配線を微細に描画することができる。
【００７４】
本発明の電気光学装置およびその製造方法によれば、電気光学装置における金属配線を微細に形成することができるため、これ自体を小型化に製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る描画装置を備えた金属配線形成装置を模式的に示した図であり、（ａ）平面図、（ｂ）正面図である。
【図２】実施形態に係る金属配線形成装置の制御構成を示すブロック図である。
【図３】金属配線の配線パターンを示した平面図である。
【図４】実施形態に係る金属配線形成装置の描画方法を模式的に示す図である。
【図５】実施形態に係る金属配線形成装置で、角度データを求めるための説明図である。
【図６】実施形態に係る金属配線形成装置の描画処理のフローを示すフローチャートである。
【図７】液晶表示装置の断面図である。
【図８】従来の描画方法を模式的に示す図である。
【符号の説明】
１　金属配線形成装置
２　Ｘ・Ｙ移動機構（ワーク移動機構）
５　キャリッジ
６　液滴吐出ヘッド
８　機能液供給機構
９　コントローラ（制御手段）
１１　ノズル列
１２　ノズル
２８　ワーク回転機構
Ｗ　基板[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a drawing method and a drawing apparatus, in which a functional liquid is discharged in a dot shape by a droplet discharge head typified by an inkjet head on a work such as a glass substrate, a metal wiring forming method and a metal wiring forming apparatus, The present invention relates to an apparatus, a method for manufacturing the same, and electronic equipment.
[0002]
[Prior art]
In recent years, it has been attempted to form a fine metal wiring in a liquid crystal display device or the like by applying an ink jet head (droplet discharge head) having a nozzle row. In the formation of metal wiring by the inkjet method, a droplet discharge head having a nozzle row is relatively moved in a main scanning direction with respect to a substrate (work), and a functional liquid (liquid metal material) is selectively supplied from a plurality of nozzles. By discharging in the form of dots and connecting these dots, a line segment as a wiring is configured.
For example, the wiring of the “Z” image as shown in FIG. 8A is composed of two horizontal lines parallel to the main scanning direction of the droplet discharge head 6 and three lines consisting of one crossing line. By connecting the dots in each line segment, continuity essential for wiring is ensured.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, if an attempt is made to form the intersection line segment with the same dot diameter as the horizontal line segment, the distance between the dot centers becomes √2 times as large as the horizontal line segment, so that the dots are intermittent and the connectivity cannot be maintained. For this reason, when forming the intersection line segment, the dot diameter is increased by increasing the ejection amount as compared with the horizontal line segment, or by ejecting the functional droplets to one pixel in an overlapping manner, but the line width is increased. Therefore, the fine wiring could not be formed properly.
In addition, since the horizontal line segment can be formed by connecting dots from one nozzle 12, even if there is a structural variation between the nozzles 12, the continuity of the wiring is ensured depending on the resolution. be able to. However, if there is a variation in the nozzles 12 in the intersecting line segments or the vertical line segments formed by the ejection from the plurality of nozzles 12, the dots (the landing positions of the functional liquid droplets) are not arranged with high accuracy, and as fine wiring , The continuity could not be properly secured (see FIG. 8B).
[0004]
The present invention provides a drawing method that can appropriately draw continuous line segments regardless of structural variations of a plurality of nozzles, and can be suitably applied to formation of fine wiring in surface mounting technology. It is an object of the present invention to provide a drawing apparatus, a metal wiring forming method and a metal wiring forming apparatus, an electro-optical device and a method for manufacturing the same, and an electronic apparatus.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
The drawing method of the present invention is to selectively discharge a functional liquid in a dot form from the droplet discharge head while relatively moving a droplet discharge head having a nozzle row with respect to a work in a main scanning direction. In a drawing method for performing drawing, a droplet discharge head is arranged such that an extending direction of a drawing region and a main scanning direction are parallel to a drawing region on a workpiece formed of intersecting line segments intersecting with the main scanning direction. On the other hand, the method includes a work rotation step of relatively rotating the work by an angle, and a drawing step of drawing in a drawing area after the work rotation step.
[0006]
The drawing apparatus of the present invention selectively discharges the functional liquid from the droplet discharge head in the form of dots while relatively moving the droplet discharge head having a nozzle row with respect to the work in the main scanning direction. A drawing apparatus that performs drawing, a work moving mechanism that relatively moves the work with respect to the droplet discharge head, a work rotation mechanism that relatively rotates the work with respect to the droplet discharge head, a work moving mechanism, Control means for controlling the discharge drive of the work rotation mechanism and the droplet discharge head, the control means controls the work rotation mechanism for a drawing area on the work composed of intersecting line segments intersecting in the main scanning direction, After the work is relatively rotated by an angle so that the extending direction of the drawing area and the main scanning direction are parallel to each other, the discharge movement of the work moving mechanism and the droplet discharge head is controlled to perform drawing in the drawing area. The features.
[0007]
According to this configuration, when drawing an intersecting line segment intersecting with the main scanning direction on the work, the work is rotated at an angle in a horizontal plane relative to the droplet discharge head, and the direction of the intersecting line (extending of the drawing area). The main scanning direction and the main scanning direction are made to be the same direction, and then the droplet discharge head is relatively moved in the main scanning direction to discharge the functional liquid in the form of dots. That is, the drawing area on the work composed of the intersecting lines is drawn substantially as a horizontal line parallel to the main scanning direction.
As a result, the connection between the dots is ensured, so that it is possible to appropriately draw a continuous line segment having continuity. In addition, since the drawing of the intersection line can be performed under the same conditions (the droplet discharge amount, the number of droplet discharges, and the like) as the drawing of the horizontal line segment that does not need to be rotated, the connectivity between the dots is minimized by using the smallest possible dots. As a result, the intersection can be drawn with a line width as small as possible.
[0008]
In these cases, it is preferable that the drawing process is performed using one predetermined nozzle of the droplet discharge head.
[0009]
Similarly, it is preferable that the control unit controls the ejection drive of the droplet ejection head, and performs drawing in the drawing area using the predetermined one nozzle.
[0010]
According to these configurations, since the intersection line segment can be drawn by ejection by one nozzle, the intersection line segment having the minimum line width can be formed on the work. For this reason, the applicability to a metal wiring or a non-contact type IC card for which a fine line is desired can be enhanced.
[0011]
In these cases, it is preferable that the nozzle row of the droplet discharge head is inclined at a predetermined angle with respect to the main scanning direction.
[0012]
Similarly, the work moving mechanism includes a carriage on which the droplet discharge head is mounted, and the carriage mounts the droplet discharge head in a state where the nozzle row is inclined at a predetermined angle with respect to the main scanning direction. preferable.
[0013]
According to these configurations, fine adjustment of the line width of the intersection line segment can be appropriately performed.
[0014]
In these cases, it is preferable that the work rotation step is performed based on angle data generated from image data representing a drawing area and relating to an angle between the intersection line and the main scanning direction.
[0015]
Similarly, it is preferable that the control means controls the work rotating mechanism based on angle data on an angle formed by the intersection line with the main scanning direction, generated from image data representing the drawing area.
[0016]
According to these configurations, since the droplet discharge head is relatively rotated based on the angle data generated from the image data, the extending direction of the drawing area and the main scanning direction are surely made parallel. be able to. In addition, the image data is generally data of a diagram indicating a start point and an end point of an intersection line, but may be dot data.
[0017]
In these cases, the X-axis direction in the XY two-dimensional orthogonal coordinates is the main scanning direction, and the drawing process includes drawing data including drawing start coordinates of intersection lines generated from image data representing a drawing region. It is preferable that the adjustment is performed based on the position data and the ejection data of the droplet ejection head.
[0018]
Similarly, the X-axis direction in the XY two-dimensional orthogonal coordinates is the main scanning direction, and the control unit generates a drawing position including data on a drawing start coordinate of an intersecting line generated from image data representing a drawing area. It is preferable to control the ejection drive of the work moving mechanism and the droplet discharge head based on the data and the discharge data of the droplet discharge head.
[0019]
According to these configurations, since the relative movement and the ejection drive of the droplet ejection head are performed based on the drawing position data and the ejection data generated from the image data, the droplet ejection head is suitable for the position after the rotation of the droplet ejection head. Dot-shaped ejection can be performed. The drawing position data is generally data on drawing start coordinates and drawing end coordinates, but may be data on drawing start coordinates and length from the drawing start coordinates.
[0020]
In these cases, in the drawing area, there are a plurality of crossing line segments having different angles with respect to the main scanning direction. It is preferable to be performed in order.
[0021]
Similarly, in the drawing area, there are a plurality of drawing areas having different angles formed by the intersecting line segments with the main scanning direction, and the control means includes a work rotating step by a work rotating mechanism, a work moving mechanism and a droplet discharge head. It is preferable to perform the drawing process by the ejection driving in the order of smaller or larger intersection angles with respect to the main scanning direction.
[0022]
According to these configurations, the drawing of a plurality of intersecting lines having different intersection angles is performed by sequentially rotating the work relative to the droplet discharge head in a predetermined direction, so that the drawing can be efficiently performed by the simple control. It can be carried out.
[0023]
In this case, in the drawing area, there are a plurality of drawing areas having the same angle between the intersection line segment and the main scanning direction, and in the drawing step, it is preferable to draw a plurality of drawing areas having the same intersection angle collectively. .
[0024]
Similarly, there are a plurality of drawing areas in which the intersection line segment forms an angle equal to the main scanning direction, and the control means controls the work moving mechanism and the ejection drive of the droplet ejection head to determine the intersection angle. It is preferable to draw a plurality of equal drawing areas collectively.
[0025]
According to these configurations, a plurality of intersecting line segments are collectively drawn in a state where the result of one work rotation process or the work rotation by the work rotation mechanism is maintained, so that efficient drawing can be performed. .
[0026]
The metal wiring forming method of the present invention is characterized in that a liquid metal material is introduced into a droplet discharge head and metal wiring is drawn on a substrate serving as a work, using the drawing method and apparatus of the present invention described above. .
[0027]
Similarly, a metal wiring forming apparatus of the present invention is a metal wiring forming apparatus for forming a metal wiring on a substrate to be a work, and the drawing apparatus of the present invention described above, and a liquid metal material as the functional liquid. And a functional liquid supply mechanism for supplying to the droplet discharge head.
[0028]
According to this configuration, the metal wiring is formed directly on the work by the ink jet method, so that the manufacturing process can be simplified and a fine wiring pattern can be realized. In addition, the inkjet method may be any of a type using an electrothermal converter as an energy generating element and a type using a piezoelectric element (piezo element).
[0029]
An electro-optical device according to the present invention includes a metal wiring formed using the above-described method and apparatus for forming a metal wiring according to the present invention.
[0030]
Similarly, a method of manufacturing an electro-optical device according to the present invention is characterized in that a metal wiring is formed using the above-described method and apparatus for forming a metal wiring of the present invention.
[0031]
According to this configuration, since the metal wiring can be finely formed, the electro-optical device itself can be manufactured in a small size. In addition, as the electro-optical device (device), a liquid crystal display device, an organic EL (Electro-Luminescence) device, an electron-emitting device, a PDP (Plasma Display Panel) device, an electrophoretic display device, and the like can be considered. The electron emission device is a concept including a so-called FED (Field Emission Display) device.
[0032]
An electronic apparatus according to the present invention includes the above-described electro-optical device according to the present invention.
[0033]
According to this configuration, an electronic device such as a mobile phone equipped with a so-called flat panel display can be downsized.
[0034]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of a drawing method and a drawing apparatus of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The inkjet head (droplet ejection head) of an inkjet printer is capable of ejecting minute ink droplets (droplets) with high precision in a dot shape, and is applied to circuit formation in surface mounting technology. An attempt has been made to form a metal wiring having electrical conductivity by using a liquid metal material for the liquid. A metal wiring forming apparatus to which the drawing method and the drawing apparatus of the present invention are applied can draw a fine wiring pattern on a substrate by an inkjet method.
[0035]
As shown in FIG. 1, a metal wiring forming apparatus 1 includes an XY moving mechanism 2 including an X-axis table 3 and a Y-axis table 4 installed on a machine stand (not shown), and a Y-axis table 4. And a carriage 5 which is movably mounted on the carriage 5. The carriage 5 is equipped with a droplet discharge head 6 which discharges the functional liquid in a dot shape. The substrate W, which is a work, is made of, for example, a glass substrate or a polyimide substrate, and is mounted on a work table 7 movably attached to the X-axis table 3.
[0036]
As shown in FIG. 2, the metal wiring forming apparatus 1 includes an X / Y moving mechanism 2 and a droplet discharge head 8 in addition to a functional liquid supply mechanism 8 that supplies a liquid metal material as a functional liquid to the droplet discharge head 6. A controller 9 (control means) for integrally controlling various components such as the head 6 is incorporated. The liquid metal material is a material in which a metal material such as gold or silver is uniformly dispersed in a solvent, and functions as a metal wiring after drawing on the substrate W.
[0037]
The droplet discharge head 6 has one nozzle row 11 formed on the lower surface facing the work in parallel. The nozzle array 11 is configured by arranging 180 nozzles 12 (schematically shown in the drawing) at equal pitches in parallel in the Y-axis direction. Further, the droplet discharge head 6 incorporates a pump unit (not shown) for selectively discharging the functional liquid from each nozzle 12 in a dot shape. This type of ink jet type droplet discharge head 6 is configured by using a piezoelectric element (piezo element) as an energy generating element for driving ejection, or using an electrothermal converter.
[0038]
The XY moving mechanism 2 (work moving mechanism) is a so-called XY robot, and the X-axis table 3 is located below the Y-axis table 4. The Y-axis table 4 has a Y-axis slider 22 having a pulse-driven linear motor 21 built therein, and a carriage 5 mounted on the Y-axis slider 22 so as to be movable in the Y-axis direction.
[0039]
The X-axis table 3 has an X-axis slider 24 in which a pulse-driven linear motor 23 is built, and the work table 7 is movably mounted on the X-axis slider 24. The work table 7 includes a suction table 25 on which the substrate W is mounted by suction, and a θ table 26 for rotating the suction table 25 in-plane in the θ axis direction. table 26 uses a .theta. motor 27 capable of forward and reverse rotation as a power source. When .theta. motor 27 rotates forward and backward, .theta. table 26 and suction table 25 rotate substrate W in-plane on the XY plane. That is, the work rotation mechanism 28 for rotating the droplet discharge head 6 relative to the substrate W by the angle is constituted by the θ table 26 and the θ motor 27.
[0040]
The metal wiring forming apparatus 1 of the present embodiment has a configuration in which the droplet discharge head 6 is driven to discharge in synchronization with the movement of the substrate W by the X-axis table 3, and the so-called main scanning of the droplet discharge head 6 is performed in the X-axis direction. The reciprocating motion of the substrate W in the X-axis direction by the table 3 is performed. Correspondingly, so-called sub-scanning is performed by the forward movement of the droplet discharge head 6 in the Y-axis direction by the Y-axis table 4.
[0041]
In the present embodiment, the substrate W is moved in the main scanning direction with respect to the droplet discharge head 6, but the configuration may be such that the droplet discharge head 6 is moved in the main scanning direction. Alternatively, the substrate W may be fixed, and the droplet discharge head 6 may be moved in the main scanning direction and the sub-scanning direction. Conversely, a configuration may be adopted in which the droplet discharge head 6 is fixed and the substrate W is moved in the main scanning direction and the sub-scanning direction.
[0042]
In addition, the number of nozzles 12, the number of nozzle rows 11 and the extending direction of the nozzle rows 11 of the droplet discharge head 6 are also arbitrary. For example, the droplet discharge head 6 is inclined at a predetermined angle in the same direction. Is also good. Further, the number of the droplet discharge heads 6 is not limited to one, and when there are a plurality of the droplet discharge heads, the arrangement pattern thereof is arbitrary such as a staggered arrangement or a stepwise arrangement. It is preferable that dots formed by all the ejection nozzles 12 are continuous in the sub-scanning direction.
[0043]
As shown in FIG. 2, when the metal wiring forming apparatus 1 is viewed from the control system, the control system of the metal wiring forming apparatus 1 basically includes an external input device 41 such as a personal computer, a droplet discharge head 6, X A drive section 42 having various drivers for driving the Y moving mechanism 2 and the work rotating mechanism 28, and a control section 43 (controller 9) for controlling the metal wiring forming apparatus 1 including the drive section 42 are provided. The external input device 41 transmits (inputs) image data (diagram data) for forming the metal wiring created here to the metal wiring forming apparatus 1 by an operation thereof. It functions as a means.
[0044]
The drive unit 42 includes a head driver 44 and a motor driver 45. The head driver 44 drives the droplet discharge head 6 to discharge according to an instruction from the control unit 43. The motor driver 45 has an X-axis motor driver 45a, a Y-axis motor driver 45b, and a θ motor driver 45c. The two linear motors 21 and 23 and the θ motor 27) are driven.
[0045]
The control unit 43 includes a CPU 51, a ROM 52, a RAM 53, and a P-CON 54, which are connected to each other via a bus 55. The ROM 52 has a control program area for storing control programs and control data processed by the CPU 51, and a control data area for storing control data and the like for performing drawing. The RAM 53 stores, in addition to various register groups, an image data area for temporarily storing image data input from the outside, a drawing data area for storing drawing data for drawing, and angle data for rotating the substrate W by an angle. It has an angle data area and the like, and is used as various work areas for control processing.
[0046]
In the P-CON 54, a logic circuit for supplementing the function of the CPU 51 and handling an interface signal with a peripheral circuit, which is constituted by a gate array, a custom LSI, or the like, is incorporated. Therefore, the P-CON 54 receives various commands and image data from the external input device 41 as they are or processes them and takes them into the bus 55, and in conjunction with the CPU 51, data output from the CPU 51 and the like to the bus 55. The control signal is output to the drive unit 42 as it is or after processing.
[0047]
Then, according to the above configuration, the CPU 51 inputs various detection signals, various commands, various data, and the like via the P-CON 54 according to the control program in the ROM 52, processes various data in the RAM 53, By outputting various control signals to the drive unit 42 via the CON 54, the droplet discharge head 6 and the XY moving mechanism 2 are controlled to draw on the substrate W under predetermined drawing conditions and predetermined moving conditions. Do. Further, if necessary, the work rotating mechanism 28 is controlled to rotate the substrate W to perform drawing, and the entire metal wiring forming apparatus 1 is controlled.
[0048]
Next, a metal wiring forming method for forming a fine metal wiring pattern on the substrate W by the metal wiring forming apparatus 1 will be described. As an example, consider a case where a metal wiring pattern as shown in FIG. 3 is drawn. In this wiring pattern, ten wirings (L1 to L5, R1 to R5) extend substantially radially symmetrically and symmetrically about a chip area 61 set at the center on the substrate W, and each of them extends from the middle thereof. Extend in parallel.
[0049]
The wiring L1 includes an intersecting line segment L1F intersecting the main scanning direction at an angle θ1 on the chip area 61 side, and a horizontal line segment L1B connected to the intersecting line segment L1F and parallel to the main scanning direction. Similarly, the wiring L2 is composed of an intersection L2F intersecting the main scanning direction at an angle θ2 and a horizontal line L2B connected to the intersection L2F, and the interconnection L3 is composed of only horizontal lines. I have. Hereinafter, similarly, a wiring L4, a wiring L5, a wiring R1 to a wiring R5 are configured, and a plurality of horizontal lines and a plurality of cross lines are mixed in the wiring pattern. Although there is no vertical line segment in the drawing, the intersection line segment is a concept including the vertical line segment.
[0050]
FIG. 4 shows a drawing method by the metal wiring forming apparatus 1 of the present embodiment. In the figure, each rectangular area defined by a dotted line corresponds to one pixel. A portion indicated by a black circle “●” indicates a dot formed by a liquid metal material (functional liquid) discharged from the droplet discharge head 6 and landed on the substrate W. In this drawing method, a horizontal line segment and an intersection line segment are drawn separately, and a drawing region on the substrate W composed of the intersection line segment is substantially scanned in the main scanning direction by rotating the substrate W in a plane. The drawing is performed as a horizontal line parallel to the direction.
[0051]
Specifically, as shown in FIG. 2A, when drawing a horizontal line parallel to the main scanning direction, the droplet discharge head 6 is moved in the main scanning direction as it is and a predetermined nozzle 12 At this time, the liquid metal material is discharged. Dots drawn continuously (at the same pitch) in the main scanning direction are connected to each other to form a continuous horizontal line segment. Although the dot diameter is shown small to clearly show the center position of the dots, the dots are actually connected.
[0052]
As described above, since the horizontal line segment can be drawn with the minimum dot diameter that can be configured by the droplet discharge head 6 and its continuity can be ensured, if one line segment is drawn with one predetermined nozzle 12, This is obtained as a line segment having the minimum line width. In the figure, two horizontal line segments are drawn using one nozzle 12 respectively.
[0053]
On the other hand, when drawing an intersecting line segment that intersects the main scanning direction, first, the direction of the intersecting line and the main scanning direction are set to the same direction, and then the droplet discharge head 6 is moved in the main scanning direction. , Dots. For example, as shown in FIG. 2B, when drawing an intersection line connecting two horizontal line segments shown in FIG. 2A, first, the substrate W is moved by the work rotating mechanism 28 to the intersection line segment. Is rotated by an angle θ formed with the main scanning direction to make the extending direction of the drawing area of the intersection line and the main scanning direction parallel. Thereafter, the droplet discharge head 6 is moved in the main scanning direction, and the liquid metal material is discharged from the predetermined nozzle 12 to the drawing area at a predetermined timing.
[0054]
Thus, even if the intersection line segment is drawn with the same dot diameter as that of the horizontal line segment, it can be a line segment having connected continuity between dots. Further, similarly to the case of the horizontal line segment, if drawing is performed using a predetermined one nozzle 12, the intersection line segment can be obtained with the minimum line width equal to the horizontal line segment. With such a drawing method, the metal wiring forming apparatus 1 of the present embodiment can form a line segment having a minimum line width with continuity regardless of the line segment.
[0055]
As shown in FIG. 3C, a head rotation mechanism for rotating the droplet discharge head 6 by an angle on the carriage 5 is separately provided in place of the work rotation mechanism 28, and the head is used when the intersection line is drawn. After rotating the droplet discharge head 6 by the rotation mechanism, the droplet discharge head 6 may be moved in the main scanning direction to form dots.
[0056]
By the way, the metal wiring forming apparatus 1 generates various kinds of data from the image data representing the drawing area of the wiring transmitted by the external input device 41 by drawing as shown in FIGS. Running on Therefore, the flow of data in the metal wiring forming apparatus 1 will be described using the metal wiring pattern shown in FIG. 3 as an example.
[0057]
The image data of each wiring shown in the figure is created by the external input device 41 and the like, and is stored (prepared) here. This type of image data is configured as diagram data, and is configured to indicate two points, a start point and an end point, of the diagram in XY two-dimensional rectangular coordinates. For example, the diagram data of the intersecting line segment L1F of the wiring L1 is composed of a start point (X, Y) = (Xa, Ya) and an end point (X, Y) = (Xb, Yb) (see FIG. 5). . When the image data of the wiring is dot data, the same processing may be performed after conversion into line diagram data by image analysis or the like.
[0058]
In a series of drawing (metal wiring formation) of the metal wiring forming apparatus 1, when the line diagram data of each wiring is input to the metal wiring forming apparatus 1 from the external input device 41, the metal wiring forming apparatus 1 according to a predetermined algorithm. The line diagram data of each wiring is decomposed so as to be separated into line segments, and for each line segment after the decomposition, angle data on an angle formed by the line segment with the main scanning direction, drawing position data on a line drawing position, And ejection data of the droplet ejection head 6. That is, in the case of this wiring pattern, considering that L3 and R3 are composed of only horizontal line segments, angle data and the like are generated for a total of 18 line segments (by the way, eight intersecting line segments).
[0059]
The angle data is generated as a numerical value 0 when the line segment is a horizontal line segment. On the other hand, the angle data relating to the angle formed by the intersection line segment and the main scanning direction can be easily obtained from the coordinates of the start point and the end point of the diagram data when the intersection line segment L1F is taken as an example. 5).
[0060]
The drawing position data is constituted by data relating to the drawing start coordinates and the drawing end coordinates, or is constituted as data relating to the drawing start coordinates and the length from these coordinates. Then, based on the generated angle data and drawing position data, ejection data for the nozzles 12 forming the dots of the line segment is generated.
[0061]
When performing drawing of each line segment (drawing process), the metal wiring forming apparatus 1 controls the work rotating mechanism 28 based on the angle data, and controls the XY moving mechanism 2 and the ejection drive of the droplet discharge head 6 to perform drawing. The control is performed based on the drawing data including the position data and the ejection data. Thereby, as shown in FIG. 4, the line segment is drawn as having continuity with the minimum line width.
[0062]
FIG. 6 shows a metal wiring in the case where there are a plurality of drawing areas on the substrate W composed of the intersection lines and those having the same angle θ (intersection angle θ) formed by the intersection lines with the main scanning direction and different ones. 2 shows a flow of the entire drawing process of the forming apparatus 1. In this case, drawing is performed in the order in which different intersection angles θ are smaller in the main scanning direction, and a plurality of intersection lines having the same intersection angle θ are drawn collectively.
[0063]
That is, first, when the drawing process is started, various mechanisms are initialized, and the θ table 26 and the like are moved to the initial position (Step 1). In Step 2, the workpiece rotation mechanism 28 rotates the substrate W by an angle corresponding to the minimum intersection angle in order to draw an intersection line having the smallest intersection angle θ with the main scanning direction among the plurality of intersection lines. The XY moving mechanism 2 is driven based on the drawing data of the intersecting line, and the droplet discharge head 6 performs main scanning (moves the substrate W in the main scanning direction). The liquid metal material (functional liquid) is ejected from, so that an intersection line is drawn (Step 3).
[0064]
In this Step 3, if there is another intersecting line segment having the same intersection angle on the relative movement path of the nozzle row 11 with respect to the substrate W, as shown in FIG. Are drawn collectively by the main scanning of. On the other hand, when the intersection line segment having the same intersection angle does not exist on the moving path, the droplet discharge head 6 performs sub-scanning without discharging and then performs main scanning to perform drawing (Step 4: Yes).
[0065]
When all the intersection lines having the same intersection angle have been drawn (Step 5: No), the work rotation mechanism 28 is driven again to draw the intersection line having the next smallest intersection angle after the minimum intersection angle. The substrate W is rotated by an angle corresponding to the intersection angle (Step 2). Hereinafter, similarly, Step 3 to Step 5: No are repeated, and the drawing of all the intersection lines is completed (Step 5: Yes). In addition, although the drawing process is performed in the order in which the intersection angle θ is small from the main scanning direction, the drawing process may be performed in the descending order in some cases.
[0066]
By the way, in the above description, one line segment is formed by using one nozzle 12 of the droplet discharge head 6 because the purpose is to form fine wiring. When it is desired to form a line segment (a band-shaped line segment), the functional liquid may be ejected from a plurality of nozzles 12 adjacent to each other in a dot shape. In this case, the line width can be adjusted independently of the nozzle pitch by mounting the droplet discharge head 6 on the carriage 5 with the nozzle row 11 inclined with respect to the main scanning direction.
[0067]
Further, the metal wiring forming apparatus 1 of the present embodiment can be used for manufacturing various electro-optical devices (devices). That is, fine metal wiring in a liquid crystal display device, an organic EL device, a PDP device, an electrophoretic display device, and the like can be formed. Further, it is possible to provide an electronic device equipped with these electro-optical devices, for example, a mobile phone equipped with a flat panel display.
[0068]
Therefore, a manufacturing method using the metal wiring forming apparatus 1 will be briefly described by taking a manufacturing method of a liquid crystal display device as an example. As shown in the cross-sectional view of the liquid crystal display device in FIG. 5, the liquid crystal display device 100 includes a liquid crystal panel 101 having a backlight 212 on the back surface, a driving IC 102 mounted on the liquid crystal panel 101, and a flexible device connected to the liquid crystal panel 101. And a substrate (FPC) 103.
[0069]
The liquid crystal panel 101 has an upper substrate 201 on which a first electrode 204 and an alignment film 205 are formed mainly on a glass substrate 203a on an opposing surface, and a second electrode 204 and an alignment film 205 formed on an opposite surface mainly using a glass substrate 203b. The lower substrate 202, a number of spacers 206 interposed between the upper and lower substrates 201 and 202, a sealing material 207 for sealing between the upper and lower substrates 201 and 202, and a liquid crystal 208 filled between the upper and lower substrates 201 and 202. In addition, a phase substrate 209 and a polarizing plate 210 are laminated on the back surface of the upper substrate 201, and a polarizing plate 211 and a backlight 212 are laminated on the back surface of the lower substrate 202.
[0070]
In a normal manufacturing process, the upper substrate 201 and the lower substrate 201 are separately manufactured by patterning the first and second electrodes 204 and coating the alignment film 205, respectively, and then forming the spacer 206 and the sealing material 207. The upper substrate 201 is bonded in this state. Next, the liquid crystal 208 is injected from the inlet of the sealing material 202, and the inlet is closed. After that, the phase substrate 209, the two polarizing plates 210 and 211, and the backlight 212 are laminated to obtain the liquid crystal panel 101. Finally, the driving IC 102 is mounted on the liquid crystal panel 101, and the flexible substrate 103 is connected.
[0071]
The lower substrate 202 has a substrate overhanging portion 212 that extends outside the upper substrate 201, and the substrate overhanging portion 212 extends from the second electrode 204 and is electrically connected to an output terminal of the driving IC 102. A wiring 213 and a metal wiring 214 conductively connected to the input terminal of the driving IC 102 and conductively connected to the flexible substrate 103 are formed, and a lead wiring (not shown) that is electrically connected to the first electrode 204 is provided. , Are patterned. Then, the metal wiring 214 on the substrate overhang portion 212 is finely formed by the metal wiring forming apparatus 1 of the present embodiment.
[0072]
【The invention's effect】
According to the drawing method and the drawing apparatus of the present invention, the work is set so that the main scanning direction of the droplet discharge head and the direction of the line segment of the cross line are parallel to the drawing region formed by the cross line on the work. By rotating in the plane, the intersection line is drawn substantially as a horizontal line parallel to the main scanning direction. Accordingly, the dots are connected regardless of the structural variation of the plurality of nozzles, so that a continuous line segment can be appropriately drawn, and the line width can be drawn as small as possible. .
[0073]
According to the metal wiring forming method and the metal wiring forming apparatus of the present invention, a metal wiring can be formed directly on a work by an ink jet method using the above-described drawing method and apparatus, so that continuity that is indispensable as wiring is obtained. It is possible to properly secure the metal wiring and to finely draw the metal wiring.
[0074]
According to the electro-optical device and the method of manufacturing the same of the present invention, the metal wiring in the electro-optical device can be finely formed, so that the electro-optical device itself can be miniaturized.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a view schematically showing a metal wiring forming apparatus provided with a drawing apparatus according to an embodiment of the present invention, in which FIG. 1 (a) is a plan view and FIG. 1 (b) is a front view.
FIG. 2 is a block diagram illustrating a control configuration of the metal wiring forming apparatus according to the embodiment.
FIG. 3 is a plan view showing a wiring pattern of a metal wiring.
FIG. 4 is a diagram schematically showing a drawing method of the metal wiring forming apparatus according to the embodiment.
FIG. 5 is an explanatory diagram for obtaining angle data in the metal wiring forming apparatus according to the embodiment.
FIG. 6 is a flowchart illustrating a flow of a drawing process of the metal wiring forming apparatus according to the embodiment.
FIG. 7 is a sectional view of a liquid crystal display device.
FIG. 8 is a diagram schematically showing a conventional drawing method.
[Explanation of symbols]
1 Metal wiring forming equipment
2 XY moving mechanism (work moving mechanism)
5 carriage
6 droplet ejection head
8 Functional liquid supply mechanism
9 Controller (control means)
11 nozzle row
12 nozzles
28 Work rotation mechanism
W substrate

Claims

ワークに対しノズル列を有する液滴吐出ヘッドを、主走査方向に相対的に移動させながら、当該液滴吐出ヘッドから機能液をドット状に選択的に吐出することで描画を行う描画方法であって、
前記主走査方向に交差する交差線分から成る前記ワーク上の描画領域に対し、前記描画領域の延在方向と前記主走査方向とが平行になるように、前記液滴吐出ヘッドに対し前記ワークを相対的に角度回転させるワーク回転工程と、
前記ワーク回転工程の後、前記描画領域に描画を行う描画工程と、を備えたことを特徴とする描画方法。This is a drawing method in which drawing is performed by selectively discharging a functional liquid in a dot form from the droplet discharge head while relatively moving a droplet discharge head having a nozzle row to a work in the main scanning direction. hand,
The work is applied to the droplet discharge head so that an extending direction of the drawing area and the main scanning direction are parallel to a drawing area on the work that is formed by intersecting line segments intersecting with the main scanning direction. A work rotation step of relatively rotating the work,
A drawing step of drawing in the drawing area after the work rotation step.

前記描画工程は、前記液滴吐出ヘッドの所定の１つのノズルを用いて行われることを特徴とする請求項１に記載の描画方法。The drawing method according to claim 1, wherein the drawing step is performed by using one predetermined nozzle of the droplet discharge head.

前記液滴吐出ヘッドは、前記ノズル列が前記主走査方向に対し所定の角度傾いていることを特徴とする請求項１または２に記載の描画方法。3. The drawing method according to claim 1, wherein in the droplet discharge head, the nozzle row is inclined at a predetermined angle with respect to the main scanning direction. 4.

前記ワーク回転工程は、前記描画領域を表す画像データから生成した、前記交差線分が前記主走査方向となす角に関する角度データに基づいて為されることを特徴とする請求項１、２または３に記載の描画方法。4. The work rotation step is performed based on angle data on an angle formed by the intersection line with the main scanning direction, generated from image data representing the drawing area. The drawing method described in.

Ｘ−Ｙ二次元直交座標におけるＸ軸方向が前記主走査方向となっており、
前記描画工程は、前記描画領域を表す画像データから生成した、前記交差線分の描画開始座標に関するデータを含む描画位置データ、および前記液滴吐出ヘッドの吐出データに基づいて為されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の描画方法。The X-axis direction in XY two-dimensional rectangular coordinates is the main scanning direction,
The drawing step is performed based on drawing position data including data on drawing start coordinates of the intersection line, generated from image data representing the drawing area, and discharge data of the droplet discharge head. The drawing method according to any one of claims 1 to 4, wherein

前記描画領域には、前記交差線分が前記主走査方向となす角が異なる複数のものが存在しており、
前記ワーク回転工程および前記描画工程は、前記主走査方向に対し前記異なる交角が小さい順または大きい順に行われることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の描画方法。In the drawing area, there are a plurality of different angles formed by the intersection line segment with the main scanning direction,
The drawing method according to any one of claims 1 to 5, wherein the workpiece rotation step and the drawing step are performed in the order of the different intersection angles with respect to the main scanning direction in a small order or a large order.

前記描画領域には、前記交差線分が前記主走査方向となす角が等しい複数のものが存在しており、
前記描画工程は、前記交角の等しい複数の描画領域を一括して描画することを特徴とする請求項６に記載の描画方法。In the drawing area, there are a plurality of the same angle that the intersection line segment forms with the main scanning direction,
7. The drawing method according to claim 6, wherein in the drawing step, the plurality of drawing areas having the same intersection angle are drawn collectively.

請求項１ないし７のいずれかに記載の描画方法を用い、前記液滴吐出ヘッドに液状金属材料を導入して、前記ワークとなる基板上に金属配線を描画することを特徴とする金属配線形成方法。A metal wiring is formed by introducing a liquid metal material into the droplet discharge head using the drawing method according to any one of claims 1 to 7, and drawing a metal wiring on the substrate to be the work. Method.

ワークに対しノズル列を有する液滴吐出ヘッドを、主走査方向に相対的に移動させながら、当該液滴吐出ヘッドから機能液をドット状に選択的に吐出することで描画を行う描画装置であって、
前記液滴吐出ヘッドに対し前記ワークを相対的に移動させるワーク移動機構と、
前記液滴吐出ヘッドに対し前記ワークを相対的に角度回転させるワーク回転機構と、
前記ワーク移動機構、前記ワーク回転機構および前記液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記主走査方向に交差する交差線分から成る前記ワーク上の描画領域に対し、前記ワーク回転機構を制御し、前記ワークを相対的に角度回転させて前記描画領域の延在方向と前記主走査方向とを平行にした後、前記ワーク移動機構および前記液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御し、前記描画領域に描画を行うことを特徴とする描画装置。A drawing apparatus that performs drawing by selectively discharging a functional liquid from the droplet discharge head in the form of dots while relatively moving a droplet discharge head having a nozzle row with respect to a work in a main scanning direction. hand,
A work moving mechanism for moving the work relative to the droplet discharge head,
A work rotation mechanism that rotates the work relative to the droplet discharge head by an angle,
Control means for controlling the discharge movement of the work moving mechanism, the work rotation mechanism and the droplet discharge head,
The control means controls the work rotating mechanism with respect to a drawing area on the work composed of intersecting line segments intersecting with the main scanning direction, and relatively rotates the work by an angle to extend the drawing area. And rendering the main scanning direction parallel to the workpiece moving mechanism and the droplet discharge head to perform drawing in the drawing area.

前記制御手段は、前記液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御し、その所定の１つのノズルを用いて前記描画領域に描画を行うことを特徴とする請求項９に記載の描画装置。10. The drawing apparatus according to claim 9, wherein the control unit controls the ejection drive of the droplet ejection head, and performs drawing in the drawing area using one predetermined nozzle.

前記ワーク移動機構は、前記液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジを備え、
前記キャリッジは、前記液滴吐出ヘッドを、前記ノズル列が前記主走査方向に対し所定の角度傾いた状態で搭載していることを特徴とする請求項９または１０に記載の描画装置。The work moving mechanism includes a carriage on which the droplet discharge head is mounted,
11. The drawing apparatus according to claim 9, wherein the carriage mounts the droplet discharge head in a state where the nozzle row is inclined at a predetermined angle with respect to the main scanning direction.

前記制御手段は、前記描画領域を表す画像データから生成した、前記交差線分が前記主走査方向となす角に関する角度データに基づいて前記ワーク回転機構を制御することを特徴とする請求項９、１０または１１に記載の描画装置。10. The work rotating mechanism according to claim 9, wherein the control unit controls the work rotating mechanism based on angle data generated from image data representing the drawing area and relating to an angle formed by the intersection line with the main scanning direction. 12. The drawing apparatus according to 10 or 11.

Ｘ−Ｙ二次元直交座標におけるＸ軸方向が前記主走査方向となっており、
前記制御手段は、前記描画領域を表す画像データから生成した、前記交差線分の描画開始座標に関するデータを含む描画位置データ、および前記液滴吐出ヘッドの吐出データに基づいて、前記ワーク移動機構および前記液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御することを特徴とする請求項９ないし１２のいずれかに記載の描画装置。The X-axis direction in XY two-dimensional rectangular coordinates is the main scanning direction,
The control unit generates the work moving mechanism based on drawing position data generated from image data representing the drawing region, the drawing position data including data on drawing start coordinates of the intersection line, and discharge data of the droplet discharge head. 13. The drawing apparatus according to claim 9, wherein a discharge drive of the droplet discharge head is controlled.

前記描画領域には、前記交差線分が前記主走査方向となす角が異なる複数のものが存在しており、
前記制御手段は、前記ワーク回転機構によるワーク回転工程と、前記ワーク移動機構および前記液滴吐出ヘッドの吐出駆動による描画工程とを、前記主走査方向に対し前記異なる交角が小さい順または大きい順に行うことを特徴とする請求項９ないし１３のいずれかに記載の描画装置。In the drawing area, there are a plurality of different angles formed by the intersection line segment with the main scanning direction,
The control unit performs a work rotation step by the work rotation mechanism and a drawing step by ejection drive of the work movement mechanism and the droplet ejection head in the order of the different intersection angles with respect to the main scanning direction in the order of small or large. The drawing apparatus according to any one of claims 9 to 13, wherein:

前記描画領域には、前記交差線分が前記主走査方向となす角が等しい複数のものが存在しており、
前記制御手段は、前記ワーク移動機構および前記液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御し、前記交角の等しい複数の描画領域を一括して描画させることを特徴とする請求項１４に記載の描画装置。In the drawing area, there are a plurality of the same angle that the intersection line segment forms with the main scanning direction,
15. The drawing apparatus according to claim 14, wherein the control unit controls the ejection driving of the work moving mechanism and the droplet discharge head to collectively draw the plurality of drawing areas having the same intersection angle.

請求項９ないし１５のいずれかに記載の描画装置を用い、前記液滴吐出ヘッドに液状金属材料を導入して、前記ワークとなる基板上に金属配線を描画することを特徴とする金属配線形成方法。A metal wiring is formed by introducing a liquid metal material into the droplet discharge head using the drawing apparatus according to any one of claims 9 to 15, and drawing metal wiring on the substrate to be the work. Method.

前記ワークとなる基板上に金属配線を形成する金属配線形成装置であって、
請求項９ないし１５のいずれかに記載の描画装置と、
前記機能液として、液状金属材料を前記液滴吐出ヘッドに供給する機能液供給機構と、を備えたことを特徴とする金属配線形成装置。A metal wiring forming apparatus for forming metal wiring on a substrate serving as the work,
A drawing apparatus according to any one of claims 9 to 15,
A functional liquid supply mechanism for supplying a liquid metal material to the droplet discharge head as the functional liquid.

請求項８または１６に記載の金属配線形成方法を用いて形成された金属配線を有することを特徴とする電気光学装置。An electro-optical device comprising a metal wiring formed by using the metal wiring forming method according to claim 8.

請求項１７に記載の金属配線形成装置を用いて形成された金属配線を有することを特徴とする電気光学装置。An electro-optical device having a metal wiring formed by using the metal wiring forming apparatus according to claim 17.

請求項８または１６に記載の金属配線形成方法を用いて、金属配線を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。A method for manufacturing an electro-optical device, comprising forming a metal wiring using the metal wiring forming method according to claim 8.

請求項１７に記載の金属配線形成装置を用いて、金属配線を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。A method for manufacturing an electro-optical device, comprising forming a metal wiring using the metal wiring forming apparatus according to claim 17.

請求項１８または１９に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 18.