JP2004087820A - 検査条件データ管理方法及びシステム並びにプログラム、検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】入力手段より品種名の入力を受付けるステップと、前記入力手段より受付けた品種名と品種間の類似度を定めたテーブルとを照合して、検査条件データを格納する記憶手段において該品種の類似品種を検索するステップと、該類似品種について検査条件データの存在する検査工程を前記記憶手段において認識するステップと、検索した類似品種群から検査工程数の多さに応じて類似品種を編集出力し検査工程ごとの類似品種選定を入力手段から受付けるステップと、検査工程ごとの選定を受け付けた類似品種の検査工程にかかる検査条件データを前記記憶手段より抽出しこの検査条件データに基づき前記入力手段より受け付けた品種の検査条件データを構成するステップと、を含む方法。
【選択図】 図7
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査条件データ管理方法及びシステム並びにプログラム、検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体集積回路の検査を一例として説明する。半導体集積回路は、ホトマスクに形成されたパターンを成膜、リソグラフィー、及びエッチング処理により、半導体ウエハ上に転写する工程を繰り返すことにより製造される。製造工程途中で生じる回路パターンの欠陥や、異物の発生は、半導体集積回路の歩留まりに大きく影響を及ぼす。よって半導体集積回路製造工場では、異物や欠陥を早期に発見し対策するため、製造工程の途中に検査工程を設けている。
【0003】
半導体ウエハのパターン上に存在する異物及び欠陥を検査する装置として、半導体ウエハにレーザー光を照射し、その散乱光の強度の違いにより、異物を発見する異物検査装置がある。また半導体ウエハに可視光、紫外線や電子線を照射して画像を撮影し、隣接したチップの回路パターンの画像と比較し、パターン異常を発見する外観検査装置がある。以下では、異物とパターン異常とを総称して欠陥と呼ぶ。また、異物検査装置および外観検査装置を総称して欠陥検査装置と呼ぶ。この欠陥検査装置を利用するには、回路パターン及び検査工程に対応した検査条件データが必要である。検査条件データは以下の4つの分類に大別できる。半導体の製造過程では、ウエハ表面の材質や回路パターンが、検査工程や品種により異なるため、検査における最適なレーザー光、可視光、紫外線や電子線の強度が異なる。また、散乱光の強度や画像の明るさに対してしきい値を設けて、欠陥を識別するが、このしきい値も品種及び検査工程により異なる。これら欠陥を検出するための条件が第一の分類である。以下ではこの条件のデータを欠陥検出条件データと呼ぶ。
【0004】
また、欠陥検査装置では隣接チップの回路パターンとの比較により欠陥の検出を行っている。隣接チップの回路パターンと比較するためには、ウエハ内でのチップの配置を、あらかじめ検査条件に登録する必要がある。これらが第2の検査条件の分類である。以下ではこの条件のデータを配列情報と呼ぶ。
【0005】
また、欠陥検査装置はウエハ上のアライメントマークを読みとることで、ウエハの位置や方向を正確に把握する。このためのアライメントマークの位置情報と、アライメントマークの画像を登録する。これらの条件が検査条件の第3の分類である。以下ではこの条件を、アライメント条件データと呼ぶ。
【0006】
また、欠陥検査装置では、ウエハ上の色むらや金属配線のグレインなどを欠陥として検出することがある。これらは、半導体集積回路の性能に影響を与えないので疑似欠陥と呼ばれている。疑似欠陥を多く検出する領域を通常は非検査領域に設定する。この非検査領域の設定が第4の分類である。以下ではこの条件を非検査領域データと呼ぶ。
【0007】
ところで、上記配列情報は同一品種であれば、別の検査工程でも共通である。したがって検査条件データの作成時間を短縮するために、例えば特開2001−35893号公報においては、検査条件を品種で共通な配列情報と検査工程ごとに異なる他の条件とに分けて扱うことで設定時間を低減することを意図する記載がなされている。また、特開2000−233345号公報における発明の如く、複数の欠陥検査装置の検査条件データを集中管理する検査条件管理サーバを設け、検査装置間での検査条件の流用を容易にする技術なども提案されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
上述した4分類の条件のうち、欠陥検出条件データの設定は最も時間を要する。なぜなら、欠陥検出条件データの設定には、条件の妥当性を確認するための試検査と条件調整とを数回繰り返して最適な条件設定を行う必要があるからである。一般的には、その作成に数時間を要するとされている。一方で、近年の傾向として多品種少量のシステムLSI生産量が増加しており、各半導体集積回路メーカではこれに対応して多くの品種に逐一対応した検査条件データを作成する必要にかられている。このため、検査条件データの作成時間が増大する傾向にあり、検査条件データの作成時間低減が重要な課題となっているのである。
【0009】
しかしながら、特開2001−35893号公報や特開2000−233345号公報における発明などの従来技術は、検査条件データ作成時における操作性の向上を図るものであり、試検査回数を減らすなどして検査条件データの作成時間を根本的に低減するものではなかった。よって本発明は、試検査回数等を低減し欠陥検出条件データの設定を迅速かつ簡便化することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の検査条件管理方法は、回路パターン付きウエハが有する異物ないしはパターン欠陥を検出する検査装置の検査条件データをコンピュータにより作成する方法であって、前記コンピュータが、入力手段より品種名の入力を受付けるステップと、前記入力手段より受付けた品種名と品種間の類似度を定めたテーブルとを照合して、検査条件データを格納する記憶手段において該品種の類似品種を検索するステップと、該類似品種について検査条件データの存在する検査工程を前記記憶手段において認識するステップと、前記検索した類似品種群から検査工程数の多さに応じて類似品種を編集出力し、検査工程ごとの類似品種選定を入力手段から受付けるステップと、検査工程ごとの選定を受け付けた類似品種の検査工程にかかる検査条件データを前記記憶手段より抽出し、この検査条件データに基づき前記入力手段より受け付けた品種の検査条件データを構成するステップと、を含むことを特徴とする。
【0011】
【発明の実施の形態】
本明細書の記載により、少なくとも次のことが明らかにされる。
前記検査条件データ管理方法において、前記検索した類似品種と前記認識した検査工程とを縦横軸とし、その軸交点に検査条件データの属性情報を対応づけたマトリクスデータを生成するステップと、前記マトリクスデータをユーザーインターフェースに出力する手順と、前記ユーザーインターフェイスにおける検査工程ごとの類似品種選定を受付ける手順と、を含むこととできる。これによれば、ユーザーにおける類似品種と検査工程との関係認識と各種指定作業を容易にする。
【0012】
また、前記検査条件データ管理方法の前記マトリクスデータにおいて、類似品種をその類似度に応じて列挙することで縦軸または横軸をなすこととできる。これによれば、ユーザーにおける類似品種と検査工程との関係認識と各種指定作業を更に容易にする。
【0013】
更に、前記検査条件データ管理方法において、品種間の類似度を定めた前記テーブルを、各品種を属性分類したツリー構造として記述したデータ形式となし、前記類似品種の検索ステップにおいて、前記入力手段より受け付けた品種について、前記ツリー構造の階層毎または節毎に類似度を判定するステップと、前記判定の結果に応じて類似品種を選定するステップと、を含むこととできる。これによれば、検査条件データの編集・管理が簡便確実となり、類似品種の選定処理も容易となる。
【0014】
また、前記検査条件データ管理方法において、前記ツリー構造の階層を、回路パターンの最小寸法を表すノード、回路パターンの用途を表すファミリ名、および製造手順を表すプロセスフロー名の少なくともいずれかから構成し、各要素間に優先順位を定めて類似度判定を行うこととできる。これによれば、回路パターン付きウエハの特性に即した検査条件データの作成処理が可能となる。
【0015】
更に、前記検査条件データ管理方法において、前記記憶手段における前記検査条件データを、回路パターン付きウエハに照射する電磁波あるいは電子線の強度を含むものとし、前記入力手段より受け付けた品種の検査条件データを構成する情報として、当該電磁波あるいは電子線の強度の情報を含めることとできる。これによれば、検査条件データとして回路パターン付きウエハに照射する電磁波あるいは電子線の強度を含めることができる。
【0016】
また、前記検査条件データ管理方法において、前記記憶手段における前記検査条件データを、回路パターン付きウエハが散乱あるいは反射した電磁波あるいは電子線の強度による欠陥判定しきい値を含むものとし、前記入力手段より受け付けた品種の検査条件データを構成する情報として、当該電磁波あるいは電子線の強度の情報を含めることを特徴とすることとできる。これによれば、検査条件データとして、回路パターン付きウエハが散乱あるいは反射した電磁波あるいは電子線の強度による欠陥判定しきい値を含めることができる。
【0017】
更に、回路パターン付きウエハが有する異物ないしはパターン欠陥を検出する検査装置の検査条件データを作成するシステムであって、入力手段より品種名の入力を受付ける手段と、前記入力手段より受付けた品種名と品種間の類似度を定めたテーブルとを照合して、検査条件データを格納する記憶手段において該品種の類似品種を検索する手段と、該類似品種について検査条件データの存在する検査工程を前記記憶手段において認識する手段と、前記検索した類似品種群から検査工程数の多さに応じて類似品種を編集出力し、検査工程ごとの類似品種選定を入力手段から受付ける手段と、検査工程ごとの選定を受け付けた類似品種の検査工程にかかる検査条件データを前記記憶手段より抽出し、この検査条件データに基づき前記入力手段より受け付けた品種の検査条件データを構成する手段と、を含むことを特徴とする検査条件データ管理システムをなすこととできる。これによれば、本発明の検査条件データ管理方法を実現するシステムを提供出来る。
【0018】
また、回路パターン付きウエハが有する異物ないしはパターン欠陥を検出する検査装置の検査条件データを作成する方法を、コンピュータに実行させるためのプログラムであって、入力手段より品種名の入力を受付けるステップと、前記入力手段より受付けた品種名と品種間の類似度を定めたテーブルとを照合して、検査条件データを格納する記憶手段において該品種の類似品種を検索するステップと、該類似品種について検査条件データの存在する検査工程を前記記憶手段において認識するステップと、前記検索した類似品種群から検査工程数の多さに応じて類似品種を編集出力し、検査工程ごとの類似品種選定を入力手段から受付けるステップと、検査工程ごとの選定を受け付けた類似品種の検査工程にかかる検査条件データを前記記憶手段より抽出し、この検査条件データに基づき前記入力手段より受け付けた品種の検査条件データを構成するステップと、を含むことを特徴とする検査条件データ管理プログラムをなすこととできる。これによれば、本発明の検査条件データ管理方法をコンピュータに実行させるプログラムを提供できる。
【0019】
更に、前記検査条件データ管理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体をなすこととできる。これによれば、検査条件データ管理プログラムを収めた記録媒体を提供可能となる。
【0020】
また、回路パターン付きウエハが有する異物ないしはパターン欠陥を検出する検査装置であって、異物またはパターン欠陥を検出する検出手段と、前記検査条件管理システムから検査条件データを取得するデータ取得手段と、取得した検査条件データを格納する記憶手段と、検査条件データに即して検査手段を制御する制御手段と、検査結果を出力する出力手段と、を有することを特徴とする検査装置をなすこととできる。これによれば、本発明の検査条件データ管理方法により形成される検査条件データを用いて検査を実行する検査装置を提供できる。
【0021】
一般に半導体集積回路は、その用途により、DRAM、SRAM、マイコンなどの製品ファミリに分類される。また、半導体集積回路は、技術の進歩によりゲート幅や配線間隔が世代ごとに狭くなっている。これらの世代は最小のラインアンドスペースのピッチにより0.35マイクロメータノード、0.25マイクロメータノードと言った形で分類される。また、製造手順を示すフローチャートをプロセスフローと呼ぶ。半導体集積回路は適用されるプロセスフローによる分類もできる。
【0022】
同一の検査工程であれば、品種が異なっても欠陥検出条件データは類似していると考え、品種間の欠陥検出条件データの類似性を分析した結果、製品ファミリとノードが同じ品種間で欠陥検出条件データを比較すると、その差が小さいことが見い出される。特に、同一のプロセスフローを適用した品種間では、値が極めて近い。それに対して製品ファミリが異なる品種間で比較すると、その差が大きく、また同様にノードが異なる品種間でも差が大きい。
【0023】
これらの分析結果より、ノード、製品ファミリ、プロセスフロー等により階層的に分類したツリー構造により、欠陥検出条件データの類似した品種を定義できるのである。そこで本発明では、このツリー構造にもとづき既存品種の同一検査工程の欠陥検出条件データを再利用し新たな欠陥検出条件データを作成することとする。一方で、多品種少量生産のシステムLSIでは既存品種の数も膨大であり、再利用する欠陥検出条件データをツリー構造に従い探しだすことは、大変煩雑な作業となる。そこでこの作業を効率的に行える検査条件データ管理システムを提案する。
【0024】
以下、添付の図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について詳細に説明する。図1に検査条件データ管理システムを含むネットワーク構成例を示す。本ネットワーク構成には、既存の検査条件データを保存する検査条件サーバ101と、検査条件サーバ101にネットワーク104を介して接続し検査条件データの作成を行う端末102と欠陥検査装置103(以下、検査装置103)とが含まれる。
【0025】
前記検査条件サーバ101は、データ通信機能等を発現するネットワークインターフェース105を介して、インターフェイスやLAN等のネットワーク104と接続している。この検査条件サーバ101は、制御部106、演算部107、ユーザインターフェース108、主記憶装置109、および2次記憶装置110(記憶手段)を備えている。なお、ここでのユーザインターフェイス108は、適宜な出力機能を発現するのみならず、ユーザからの各種入力や指示を受付ける入力手段としても機能するものとする。また、検査条件データ管理システムとしては、検査条件サーバ101、端末102、および欠陥検査装置103を全て備えるものとしてもよいし、そのいずれかの装置に検査条件データ管理システムとしての機能を集約させたものとしてもよい。
【0026】
この中で2次記憶装置110には、検査条件データ121と、品種リストデータ122と、検査工程リストデータ123と、品種別検査工程データ125とが格納される。これら2次記憶装置110に格納されているデータ類は品種間の類似度を定めたテーブルとして活用できる。検査条件データ121は各品種ごとに検査工程の数だけ存在する。品種リストデータ122と検査工程リストデータ123は、本ネットワークが含む検査装置103の台数分存在する。品種別検査工程データ125は、検査装置ごとに品種数だけ存在する。
【0027】
一方、端末102は、ネットワークインターフェース115を介して、ネットワーク104と接続している。端末102は、制御部116、演算部117、ユーザインターフェース118、主記憶装置119、2次記憶装置120を備えている。
【0028】
図2に前記検査条件データ121の一例を示す。本例ではXML形式(Extensive MarkupLangage)でデータ記述した例を示している。従って、タグ間におけるデータ記述の内容がデータ構造となる形態をとっている。例えば“product_data”タグと“/product_data”タグの間には、この検査条件データの適用される品種名と検査工程名、および品種番号と検査工程番号を記述する。また、“detective_parameter”タグと“/detective_parameter”タグの間には、欠陥検出条件データを記述する。
【0029】
欠陥検出条件データにはウエハに照射するレーザの入射角度、レーザパワーと、欠陥判定をするための散乱光強度の欠陥判定しきい値と、周辺チップの欠陥判定しきい値と、空間フィルタの間隔を記述する。レーザパワーは入射角度を度で表示する。レーザパワーは、レーザーの最高出力に対する割合をパーセント表示で記述する。
【0030】
欠陥判定しきい値は検出器の検出限界に対する割合をパーセント表示で記述する。周辺チップ欠陥判定しきい値は検出器の検出限界に対する割合をパーセント表示で記述する。空間フィルタの間隔は、nm単位で記述する。この図2のデータ例では、レーザパワーが30パーセントであり、欠陥判定しきい値は50パーセントとしている。
【0031】
また、“array_data”タグと“/array_data”タグの間には、配列情報を記述する。配列情報としては、チップ数とチップサイズを記述する。なお図2の例では、チップ数は、X方向、Y方向に8個づつとしている。また、チップサイズはX方向、Y方向に“200000000nm”である。
【0032】
“alignment_data”タグと“/alignment_data”タグの間にはアライメント情報を記述する。アライメント情報にはアライメントに用いる2つのチップと、アライメントに用いる参照画像の番号とを記述する。図2の例におけるアライメントチップは、左から数えて1つめの下から3番目のチップと、左から数えて10つめの下から3番目のチップとしている。また、ここでのアライメントに用いる参照画像の番号は“001”である。
【0033】
“inhibit_area”タグと“/inhibit_are”タグの間には、非検査領域を記述する。非検査領域は、四角形で定義し四角形の左下と右上の角の座標をnm単位で記述する。図2の例における非検査領域は、チップ左下を基準として、2頂点が、“(0、0)”と“(20000、20000000)”の座標の四角形としている。
【0034】
他方、品種リストデータ122は図3のツリー構造として構築される。図3は半導体製造工場で製造されている品種の分類情報を示したツリー構造の一例である。図3では、ルートより0.13マイクロメータ、0.25マイクロメータのようにノードにより分類される例を示した。さらに、0.13マイクロメータノードでは、DRAM、SRAM、LOGICなどのファミリに分類される。また、ファミリ以下の階層では、プロセスフローとその下位の品種とに更に深く分岐する。例えば、プロセスフローD1であれば、0.13マイクロメータノードのDRAM製品の品種D001及びD002に該当する。このようにツリー構造の階層を、回路パターンの最小寸法を表すノード、回路パターンの用途を表すファミリ名、および製造手順を表すプロセスフロー名の少なくともいずれかから構成し、各要素間に優先順位を定めて類似度判定を行うとする。
【0035】
図4は、図3で示したツリー構造を、XML形式で表した品種リストデータ122の一例である。品種リストデータ122は、検査条件サーバ101が管理する検査装置103の台数分存在する。作成した検査条件データを適用する検査装置103については、この品種リストデータ122内に記述し他の検査装置と区別する。本実施形態では、検査条件サーバ103の2次記憶装置110に蓄積された既存の検査条件データより、利用対象となる類似した検査条件データを選択するさいに、この品種リストデータ122に記述されたノード、ファミリ、プロセスの分類を利用するのである。
【0036】
品種リストデータ122の“products_list”タグの属性には、本ファイルを適用する検査装置103の装置名を記述する。ここでは、“inspection1”が検査装置103の名前である。“node”タグと、“/node”タグの間に記述した品種は、nodeタグの属性に記されたノードに属する品種である。“family”タグと、”/family”タグの間に記述した品種は、familyタグの属性に記された製品ファミリーに属する品種である。”process_flow”タグと、“/process_flow”タグの間に記述した品種は、process_flowタグの属性に記されたプロセスフローで製造される品種である。
【0037】
品種名は“products”タグと“/product”タグの間に記述する。なおproductタグには品種番号を記述する。この品種番号は、品種ごとに一意に与える。例えば、図4において“D001”は、0.13マイクロメータノードのDRAMであり、プロセスフロー“D1”で製造される品種である。また、品種“D001”の品種番号は“1”である。
【0038】
図5は検査工程リストデータ123の一例である。検査工程リストデータ123では、同一検査工程を品種に関わらず一意に認識する工程番号を検査工程に設定している。例えば、“inspection_steps_list”タグに本ファイルを適用する検査装置103の装置名を記述する。ここでは、“inspection1”が検査装置103の名前である。“steps_data“タグと、“/steps_data”タグの間に、検査装置103で検査する品種の検査工程名を記述する。また、“STEP”タグと“/STEP”タグの間に検査工程名を記述する。例えば、”Locus Si3N4”などが検査工程名となる。なおSTEPタグの属性には、工程番号を記述する。
【0039】
図6に品種別検査工程データ125の一例を示す。品種別検査工程データ125は、品種毎に存在し対象品種の検査工程を記述した形態となっている。品種別検査工程データ125では、例えば“steps”タグと、“/steps”タグの間に当該品種の検査工程を記述する。なお、stepタグの属性には、工程番号及び検査条件データの状態を表示する。この工程番号は、検査工程リストデータ123に記された工程番号と同じである。また、“state”は検査条件データの状態を表している。例えば、state=”3”は使用実績のある検査条件データを意味し、他方、state=”2”は使用実績のない検査条件データを意味する。また、state=”1”は、検査条件データがないことを意味している。
【0040】
図7は各品種ごとに品種の分類情報を記述した品種情報データ126である。図7で、“inspection_condition”タグには、属性に検査装置103の名前を記述する。ここで検査装置名は、“inspection1”である。“product”タグには、品種名を記述する。ここでの品種名は“D004”である。“node”タグには、品種“D004”のノードを記述する。”family”タグには“D004”のファミリ名を記述する。“process_flow”タグには“D004”を製造したプロセスフロー名を記述する。この品種情報データ126は、検査条件サーバ101の2次記憶装置110に格納し、既存の検査条件データを再利用する際の品種選択に用いても良い。また、品種情報データ126と品種別検査工程データ125は同一ファイルに記述しても良い。
【0041】
図8は、本実施形態における検査条件データの作成手順例を示す流れ図である。以下、本実施形態の検査条件データ管理方法の実際手順を説明する。なお、新規に作成する検査条件データを検査条件データ121aとする。また、再利用する検査条件データを検査条件データ121bとする。
【0042】
まず入力手段としての端末102のユーザインターフェイス118(または検査条件サーバ101のユーザインターフェイス108)が、ユーザが新規に作成したい検査条件データ121aの品種名(及び検査工程名)の入力を受付ける(ステップ1)。端末102は、検査条件サーバ101に宛てて、前記受け付けた品種名等に応じて品種リストデータ122の参照リクエストを発する。そしてノード名、ファミリ名、プロセスフロー名に基づいた検索処理を行って(ステップ2)、再利用する検査条件データの品種を選択する。
【0043】
ここで選択した品種が無い場合には処理を終了する一方(ステップ3)、選択した品種がある場合には、再利用する検査条件データ121bを検査条件サーバ101の2次記憶装置110より読み込む(ステップ4)。そして、読み込んだ検査条件データ121bより、新規に検査する品種・検査工程の検査条件データ121aを作成する(ステップ5)。作成した検査条件データ121aはネットワーク104を介して検査装置103に出力する(ステップ6)。検査装置103ではこの検査条件データ121aを用いて検査処理を実行することとなる。以上が新規の検査条件データの作成手順例の概要である。
【0044】
なお、上記した各ステップの処理は、上記したように適宜な情報を検査条件サーバ101から取得した端末102が行うとしてもよいし、全て検査条件サーバ101で行うとしてもよい。以下、本実施形態においては、端末104が既存の検査条件データを検査条件サーバ101より取得して適宜な処理を行う状況を想定して説明を行うこととする。
【0045】
次に、上記で説明した主要なステップ毎の詳細な説明を以下に行う。図9は、図8のステップ2の詳細を説明した手順の一例である。端末104は品種リストデータ122を検査条件サーバ101の2次記憶装置110より読み込む(ステップ11)。読み込んだ品種リストデータ122に記述された対象品種(検査条件データの作成対象:ここでは入力手段より受け付けている品種)の品種番号を読みとり、例えば主記憶装置119などにおいて定めた変数xに代入し記憶する(ステップ12)。
【0046】
次に、検査工程リストデータ123を同じく2次記憶装置110より読み込む(ステップ13)。読み込んだ検査工程リストデータ123に記述された対象検査工程(検査条件データの作成対象:ここでは入力手段より受け付けている工程)の工程番号を読みとり、例えば主記憶装置119などにおいて定めた変数yに代入し記憶する(ステップ14)。
【0047】
上記ステップ11〜14において認識された該当検査工程で既検査の品種の数を上記同様に変数jに代入する(ステップ15)。ここで、「既検査」とは該当品種・該当検査工程の検査条件データで検査を行った実績がある旨を意味する。例えば図6の品種別検査工程データ125では、“Cont W Depo”工程でSTATE=”3”になっており、検査実績がある。よって、“Cont WDepo”工程において、品種“D004”は既検査品種と認識できる。なお、ステップ15については、図11を参照して詳細を後述するものとする。
【0048】
上記変数jがj>0であると判定すれば(ステップ16)、既検査品種の品種番号をユーザインターフェイス118に出力する。あるいは主記憶装置119や2次記憶装置120などの適宜な記憶手段に格納する(ステップ23)。この出力時には、例えば複数ある既検査品種(の品種番号)を、その検査工程データの多さに応じて列挙表示し、ユーザに提示するとすれば、類似品種の選択を容易にし好適である。このような表示形態は以下の処理でも同様に行うとして勿論よい。他方、j=0であると判定すれば、該当検査工程で既検査の同一ノード、同一ファミリ品種の数を上記同様に変数jに代入する(ステップ17)。
【0049】
ここでの変数jが、j>0であると判定すれば(ステップ18)、既検査品種の品種番号をユーザインターフェイス118に出力する。あるいは主記憶装置119や2次記憶装置120などの適宜な記憶手段に格納する(ステップ24)。他方、j=0であると判定すれば、該当検査工程で既検査の同一ノード品種の数を上記同様に変数jに代入する(ステップ19)。
【0050】
ここでの変数jが、j>0であると判定すれば(ステップ20)、既検査品種の品種番号をユーザインターフェイス118に出力する。あるいは主記憶装置119や2次記憶装置120などの適宜な記憶手段に格納する(ステップ25)。他方、j=0であると判定すれば、該当検査工程で既検査の品種の数を上記同様に変数jに代入する(ステップ21)。
【0051】
ここでの変数jが、j>0であると判定すれば(ステップ22)、既検査品種の品種番号をユーザインターフェイス118に出力する。あるいは主記憶装置119や2次記憶装置120などの適宜な記憶手段に格納する(ステップ26)。他方、j=0であると判定すれば、図8のフローにおけるステップ3の処理に制御を戻す。
【0052】
端末104は、上記ステップ23〜26において出力した品種番号よりユーザが選択した、例えばその品種が備える検査工程数の一番多いものを、変数zに代入する(ステップ27)。また、検査工程数の一番多いものをユーザが選択するという処理を端末104が代わって行うとしてもよい。なお、ステップ27における処理については、図11を用いて詳細を後述するものとする。ステップ27の処理を完了すると図8のフローにおけるステップ3の処理に制御を戻す。
【0053】
図10は図9のステップ15の詳細を示した図である。このステップにおいて端末104は、まず品種リストデータ122に記述された“process_flow”タグのうち、該当品種の直前の“process_flow”タグを検索する(ステップ41)。続いて、検索されたタグの直後に記述された“product”タグの品種番号を変数psに代入する(ステップ42)。
【0054】
次に、前記のステップ41で検索されたタグと対になる“/process_flow”タグの直前の“product”タグの品種番号を変数peに代入する(ステップ43)とともに、前記変数psを変数iに代入する(ステップ44)。また、品種番号=iの品種別検査工程データ125を呼び出す(ステップ45)。ここで、工程番号=yの検査工程のstate=”3”であると判定すれば(ステップ46)、配列p(j)に変数iを代入する処理を行い(ステップ47)、変数jにj+1を代入する(ステップ48)。
【0055】
他方、前記ステップ46においてstate≠”3”と判定すれば、品種番号=iの品種別検査工程データを閉じ(ステップ49)、前記iに1を加える(ステップ50)。この変数iが変数peより大きいと判定されるならば(ステップ51)、図9のフローにおけるステップ6に戻る。一方、変数iが変数pe以下と判定されるならば前記のステップ45に処理を戻す。
【0056】
なお、図9のステップ15、ステップ17、ステップ19、ステップ21における処理はほぼ同じ内容となる。例えば、図10のフローにおける手順で、“process_flow”タグを“family”タグに“/process_flow”タグを“/family”タグに記述するとステップ17の処理内容となる。また、図10のフローにおける手順で、“process_flow”タグを“node”タグに“/process_flow”タグを“/node”タグにするとステップ19の処理内容となる。また、図10のフローにおける手順で、“process_flow”タグを“products”タグに“/process_flow”タグを“/products”タグに変更するとステップ21の処理内容となるのである。
【0057】
図11は図9のフローにおけるステップ27の処理詳細を示した図である。ここでの端末104は、図9のフローにおけるステップ23〜26で出力された品種番号の数を変数nに代入する(ステップ61)。この変数nが、n=1と判定されれば(ステップ62)、該当する品種番号をユーザインターフェイス118に出力する(ステップ67)。また、主記憶装置119や2次記憶装置120などの適宜な記憶手段に格納する。
【0058】
他方、変数nが、n>1と判定されれば、検査工程数の多さに応じて列挙してユーザインターフェイスに出力する。あるいは、該当検査工程の品種番号に一番近い品種番号の数を変数nに代入する(ステップ63)。続いて、ここで変数nが、n=1と判定されたならば(ステップ64)、前記同様に一番近い品種番号をユーザインターフェイスに出力等行う(ステップ68)。一方、変数nが、n>1と判定されれば、前記同様に一番近い品種番号二つをユーザインターフェイス等に出力する(ステップ65)。また、そのうち一番小さい品種番号を出力し(ステップ66)、図7のフローにおけるステップ3に処理を戻す。
【0059】
図12は、本実施形態におけるGUI(Graphical User Interface)の一例である。このGUIは、検査条件データの作成対象となる品種の類似品種とそれらの検査工程とを縦横軸とし、その軸交点に検査条件データの属性情報(例:データの有無や過去の使用実績など)を対応づけたマトリクスデータの形態をとる。以下、図12を用いて、品種リストデータ122、検査工程リストデータ123、品種別検査工程データ125の作成方法を述べる。図12における品種名記述欄201には半導体集積回路の品種名を、プロセスフロー名記述欄202にはプロセスフロー名を、ファミリー名記述欄203には半導体集積回路のファミリー名を、ノード名記述欄204には各品種のノードを、検査工程名記述欄205は工程名を、それぞれ表示する。
【0060】
検査条件データ状態表示欄206は、該当品種及び工程の検査条件データの状態を表示し、一つのセルが一品種、一工程に相当する。同一検出条件適用品種ボタン217はユーザが同一検出条件を適用する品種の定義に用いる。検査条件データ作成ボタン218はユーザが検査条件データを作成するのに用いる。
【0061】
この図において、例えば検査条件データ状態表示欄206での二重丸“◎”表示は「検査条件データが作成されており、検査に適用された実績を持つ」ことを示すものとしている。丸“○”表示は、「検査条件データは存在するが、検査に適用されていない」ことを示すものとしている。ドット“・”表示は、「該当品種該当工程の検査条件データが存在しない」ことを示すものとしている。表示なしの状態は「該当品種では該当検査工程が検査対象でない」ことを示すものとしている。
【0062】
また、検査装置名表示欄221には検査装置103の検査装置名が表示される。品種追加ボタン222は、ユーザが品種名記述欄201に新たに品種を追加するのに用いる。検査工程追加ボタン223は、ユーザが検査工程表示欄205に新たに検査工程を追加するのに用いる。検査対象ボタン224は、ユーザが非検査対象を検査対象に変更する。非検査対象ボタン225は、ユーザが検査対象を非検査対象に変更する場合に用いる。
【0063】
図13に、新規品種を追加する方法の一例を示す。図13のGUI200a、GUI200b、GUI200cは、図12示したGUI200の一部である。図13(a)、(b)、(c)はそれぞれ前記GUI200の遷移する様子を示す。例えば、ユーザは図13(a)のGUI200aの品種追加行231をマウス250でドラッグして選択する。続いて、図12で示した前記品種追加ボタン222をマウス250でクリックする。
【0064】
するとこれらの選択事象等を端末104が受け付けて、図13(b)に示すように、品種追加行231の下に、新規品種欄232、新規品種プロセスフロー欄233、新規品種製品ファミリ欄234、新規品種ノード欄235を追加したGUI200bを生成・表示する。
【0065】
ユーザは、ここでの新規品種欄232をマウス250でクリックしたのちキーボードより例えば“L007”を入力するとする。また、新規品種プロセスフロー欄233をマウス250でクリックしたのち“L2”をキーボードより入力する。さらに新規品種製品ファミリ欄233をマウスでクリックしたのち、“LOGIC”をキーボードより入力する。そして新規品種ノード欄234をマウス250でクリックしたのち、“0.13”をキーボードより入力する。すると、これらの事象を受けた端末104は、図13(c)のように新たな品種が追加され構成を変更させたGUI200cを生成・表示する。なお、検査工程の追加も同様な手順により行う。
【0066】
上記したように新たに品種を追加した時点では該当品種の検査工程は登録されていない。次に図14を用いて、品種“L007”の“LocusSiN”工程を検査工程に登録する方法の例をしめす。図14のGUI200d、GUI200eは、図12のGUI200の一部である。図14(a)において新規追加検査工程欄241は空欄である。ユーザは例えばマウス250で新規追加検査工程欄241を選択し、マウス250で図12の前記検査対象ボタン224をクリックする。するとこれを受けた端末104は、図14(b)のGUI200eに示すように新規追加検査工程欄241をドット表示に変更する。また、ユーザがここでリスト保存ボタンをマウス250でクリックすると、端末104が品種リストデータ121及び検査工程リストデータ及び品種別検査工程ファイルを生成する。
【0067】
ここで、他の実施例についても説明する。図15は本実施形態におけるGUIの別の一例である。また、図16は検査条件データを再利用する優先順位を示す再利用優先順位表の一例である。この実施例では、複数の類似品種を選択したならばこれを類似度の高い順にマトリクスデータにおいて表示し、ユーザーが検査工程ごとにどの類似品種の検査条件データを利用するか指示する状況を想定した。 図15のGUI300の画面構成をまずは説明する。品種登録欄310は品種名登録欄311と、ノード登録欄312と、ファミリ名登録欄313と、プロセスフロー名登録欄314と、品種登録ボタン315とにより構成される。また、類似品種表示欄320は、工程数しきい値欄321と類似品種表示ボタン322とにより構成される。この工程数しきい値欄321は、例えば1〜20までの数字(つまり工程数のしきい値)を選択するプルダウンメニューの形態をとる。
【0068】
検査工程追加欄330には、検査工程追加ボタン331、検査工程上移動ボタン332、検査工程下移動ボタン333、検査工程消去ボタン334、検査工程確定ボタン335、およびリスト保存ボタンより構成される。検査条件選択領域340には、検査工程名表示領域341、類似品種名表示領域342、類似品種プロセスフロー名表示領域343、類似品種ファミリ名表示領域345、類似品種ノード名表示領域346、および検査条件データ表示領域347より構成される。また、GUI300には検査条件データ作成を指示する検査条件データ作成ボタン370が設けてある。
【0069】
次に、前記GUI300を用いて、検査条件データを作成する手順を説明する。ユーザは品種名登録欄311に品種名を、ノード登録欄312にノードを、プロセスフロー登録欄313にプロセスフロー名を記述する。次に工程数しきい値欄330のプルダウンメニューより、検査工程数しきい値を選択する。検査工程数しきい値は、類似品種名表示領域342に表示する品種を制限するためのしきい値である。そこで端末104は、前記受け付けた品種名、ノード、プロセスフロー名より検索した品種のうち、検査工程数しきい値を超える品種のみ表示処理を行う。
【0070】
次にユーザが類似品種表示ボタン322を押すと、これを受けた端末104が類似品種表示領域342に類似度に従い類似品種名を表示する。ここでの類似度は図16の再利用優先順位表360に示す通りである。これは、前記したツリー構造の階層を、回路パターンの最小寸法を表すノード、回路パターンの用途を表すファミリ名、および製造手順を表すプロセスフロー名から構成し、各要素間に優先順位を定めて類似度判定を行うための根拠となる。このとき、工程数しきい値欄321で指定したしきい値よりも、検査工程数が多い品種のみ表示する。検査工程表示領域341には、選出された類似品種の検査工程の論理和を表示する。検査条件データ表示領域には該当品種・検査工程の検査条件データが存在する場合には上記実施例と同様に二重丸“◎”表示348が、検査条件データがない場合には空欄349が表示される。また、選択検査条件欄360は網掛け表示する。各検査工程で、検査条件データが存在する最も類似度の高い品種のセルに網掛け表示349をし、再利用検査条件データであることを表す。
【0071】
続いて、ユーザーは検査品種(この場合は、“L004”)の検査工程を指定する。検査工程表示領域340に表示された検査工程で“L004”の検査工程ではない検査工程については、ユーザがマウス360で検査工程名をクリックして選択したのち、検査工程消去ボタン340をクリックし消去する。
【0072】
新たに検査工程をユーザが追加するには、マウス360で検査工程追加ボタン335をクリックする。また、検査工程上移動ボタン332あるいは、検査工程下移動ボタン333により、検査工程を移動させ、検査工程確定ボタン335により位置を確定する。位置が確定したならば、リスト保存ボタンにより、検査工程表示領域341に表示された検査工程名を“L004”の品種別検査工程データ125に保存する。
【0073】
続いて、ユーザーは検査工程ごとに再利用する検査条件データを選択する。ユーザーはマウス360で網掛け表示349をGUI300上を横に移動させることにより、検査工程ごとに再利用する検査条件データを選択することが可能である。ユーザーは検査条件データ作成ボタン370をクリックして、検査条件データ121を作成する。
【0074】
以上、説明したように、本発明の検査条件データ管理方法においては、検査条件サーバに蓄積した既存の検査条件データの欠陥検出条件を再利用し、新規の検査条件データを作成する。既存の条件を用いることで、人手による調整を行わずとも最適な欠陥検出条件を設定することが可能となる。本例では、品種を分類する情報を記した品種リストデータ122を用いて類似品種の検索を実行した。類似品種の検索方法はこの例に限るものではない。また、ユーザによりGUI上での各種指示や選択を受け付けて、検査条件データ管理方法の処理を進行させる例を記載したが、ユーザによる指示や選択によらず、同様の指示・選択内容をアルゴリズム化して端末104または検査条件サーバ101のみで検査条件データの作成処理を完結させるとしても勿論よい。
【0075】
また本実施形態において、端末102、検査装置103を1つだけ示しているが、端末102、検査装置103は複数あってもよい。加えて、検査条件サーバ101と端末102を別々のハードウェアとして示しているが、両者を1つのハードウェアで構成しても良い。勿論同様に、端末102を検査装置103と一体にした構成としても良い。
【0076】
また、品種を分類する情報を示したツリー構造の階層として、ノード、ファミリ、プロセスフローを用いたが、ツリー構造の階層はこれらに限定するものではなく、品種を分類できる要素であればいずれのものでもよい。
【0077】
また、前記検査条件データ121、品種リストデータ122、検査工程リストデータ123、および品種別検査工程データ125は、それぞれ別々の記憶装置に設けられて各個独立のデータベースとして機能するとしてもよいし、ネットワークを通じて適宜組み合わせたり或いは1つの記憶装置に集約して設けてもよい。
【0078】
また、検査条件サーバ101および端末104なる装置としては、サーバコンピュータは勿論のこと、本発明の検査条件データ管理方法において担うべき処理を実現できる演算機能および入出力機能を備えている装置であればいずれのものでもよい。更に、検査条件サーバ101、端末104、および欠陥検査装置103らをつなぐネットワークに関しては、インターネットやLANの他に、WAN(Wide Area Network)、専用線、電灯線ネットワーク、無線ネットワークなど様々なネットワークを採用することも出来る。また、VPNなど仮想専用ネットワーク技術を用いれば、インターネットにおいてセキュリティ性を高めた通信が確立され好適である。
【0079】
本発明の実施の形態によれば、次の効果を奏する。
本発明によれば、実績のある既存検査条件データから最適な検査条件データを抽出し、それに基づいて検査条件データを作成することで、試検査なしもしくは少ない試検査で新規の検査条件データを作成することが可能となる。したがって、検査条件データの作成時間を短縮し、検査装置の稼働時間増加、検査頻度向上を図ることができる。
【0080】
以上、本発明の実施の形態について、その実施の形態に基づき具体的に説明したが、これに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【0081】
【発明の効果】
本発明によれば、検査条件データ管理方法及びシステム並びにプログラム、検査装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】検査条件データ管理システムを含むネットワーク構成例を示した図である。
【図2】検査条件データの一例の図である。
【図3】半導体製造製造工場で製造されている品種の分類情報を示したツリー構造の一例である。
【図4】半導体製造製造工場で製造されている品種を階層的に管理する品種リストデータの一例を示した図である。
【図5】検査工程を管理する品種リストデータの一例を示した図である。
【図6】品種別に検査工程を記述した品種別検査工程ファイルの一例の図である。
【図7】品種分類情報を記述した品種情報データの一例を示した図である。
【図8】本実施形態における検査条件データの作成手順例を示す流れ図である。
【図9】図8のステップ2の詳細を示した手順の一例である。
【図10】図9のステップ15の詳細を示した手順の一例である。
【図11】図9のステップ27の詳細を示した手順の一例である。
【図12】本実施形態におけるGUIの一例を示した図である。
【図13】新規に検査品種を登録する手順の一例を示した図である。
【図14】検査工程を登録する手順の一例を示した図である。
【図15】本実施形態におけるGUIの別の一例である。
【図16】検査条件データを再利用する優先順位を示す再利用優先順位表の一例である。
【符号の説明】
1 新規作成検査条件データ品種名・工程名入力ステップ
2 検査条件データを再利用する品種を選択するステップ
3 ステップ2で選択した品種の有無を確認するステップ
4 再利用検査条件データを読み込むステップ
5 検査条件データ作成ステップ
6 検査条件データを検査装置に出力するステップ
11 品種リスト読込ステップ
12 変数Xに該当品種の品種番号を代入するステップ
13 検査工程リスト読込ステップ
14 変数Yに該当工程の工程番号を代入するステップ
15 変数Jに条件にあう品種数を代入するステップ
16 変数Jによる条件分岐ステップ
17 変数Jに条件にあう品種数を代入するステップ
18 変数Jによる条件分岐ステップ
19 変数Jに条件にある品種数を代入するステップ
20 変数Jによる条件分岐
21 変数Jに条件にあう品種数を代入するステップ
22 変数Jによる条件分岐
23〜26 条件にあう品種の品種番号を出力するステップ、変数Zに再利用検査条件の品種番号を代入するステップ
31 該当検査工程の同一検出条件適用品種ファイルを読み込むステップ
32 変数RXに品種番号を代入するステップ
33 変数RYに品種番号を代入するステップ
34 変数XとYの比較による条件分岐
35 メッセージ出力ステップ
41 プロセスフロータグ検索ステップ
42 変数PSに品種番号を代入するステップ
43 変数PEに品種番号を代入するステップ
44 変数IにPSを代入するステップ
45 品種別検査工程ファイル読込ステップ
46 検査条件データの状態を判断するステップ
47 配列P(J)に品種番号を代入するステップ
48 変数Jに1を加えるステップ
49 品種別検査工程ファイルを閉じるステップ
50 変数Iに1を加えるステップ
51 変数Iによる条件分岐
61 変数Nに品種番号数を代入するステップ
62 変数Nにより条件分岐するステップ
63 変数Nに品種番号数を代入するステップ
64 変数Nで条件分岐するステップ
65 品種番号を出力するステップ
66〜68 選択した品種番号を出力するステップ
101 検査条件サーバ
102 端末
103 検査装置
104 ネットワーク
105 ネットワークインターフェース
106 制御部
107 演算部
108 ユーザインターフェース
109 主記憶装置
110 2次記憶装置
115 ネットワークインターフェース
116 制御部
117 演算部
118 ユーザインターフェース
119 主記憶装置
120 2次記憶装置
121 検査条件データ
122 品種リストデータ
123 検査工程リストデータ
125 品種別検査工程データ
123 品種情報データ
200 本システムのGUI
201 品種名記述欄
202 プロセスフロー名記述欄
203 ファミリー名記述欄
204 ノード名記述欄
205 検査工程名記述欄
206 検査条件データ状態表示欄
216 選択領域
217 同一検出条件設定ボタン
218 検査条件データ作成ボタン
221 検査装置名表示欄
224 検査対象ボタン
225 非検査対象ボタン
231 品種追加業
232 新規品種欄
233 新規品種プロセスフロー欄
235 新規品種ノード欄
241 新規追加検査工程欄
250 マウス
Claims (11)
- 回路パターン付きウエハが有する異物ないしはパターン欠陥を検出する検査装置の検査条件データをコンピュータにより作成する方法であって、
前記コンピュータが、入力手段より品種名の入力を受付けるステップと、
前記入力手段より受付けた品種名と品種間の類似度を定めたテーブルとを照合して、検査条件データを格納する記憶手段において該品種の類似品種を検索するステップと、
該類似品種について検査条件データの存在する検査工程を前記記憶手段において認識するステップと、
前記検索した類似品種群から検査工程数の多さに応じて類似品種を編集出力し、検査工程ごとの類似品種選定を入力手段から受付けるステップと、
検査工程ごとの選定を受け付けた類似品種の検査工程にかかる検査条件データを前記記憶手段より抽出し、この検査条件データに基づき前記入力手段より受け付けた品種の検査条件データを構成するステップと、
を含むことを特徴とする検査条件データ管理方法。 - 前記検索した類似品種と前記認識した検査工程とを縦横軸とし、その軸交点に検査条件データの属性情報を対応づけたマトリクスデータを生成するステップと、
前記マトリクスデータをユーザーインターフェースに出力する手順と、
前記ユーザーインターフェイスにおける検査工程ごとの類似品種選定を受付ける手順と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の検査条件データ管理方法。 - 前記マトリクスデータにおいて、類似品種をその類似度に応じて列挙することで縦軸または横軸をなすことを特徴とする請求項2に記載の検査条件データ管理方法。
- 品種間の類似度を定めた前記テーブルを、各品種を属性分類したツリー構造として記述したデータ形式となし、
前記類似品種の検索ステップにおいて、
前記入力手段より受け付けた品種について、前記ツリー構造の階層毎または節毎に類似度を判定するステップと、
前記判定の結果に応じて類似品種を選定するステップと、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の検査条件データ管理方法。 - 前記ツリー構造の階層を、回路パターンの最小寸法を表すノード、回路パターンの用途を表すファミリ名、および製造手順を表すプロセスフロー名の少なくともいずれかから構成し、各要素間に優先順位を定めて類似度判定を行うことを特徴とする請求項4に記載の検査条件データ管理方法。
- 前記記憶手段における前記検査条件データを、回路パターン付きウエハに照射する電磁波あるいは電子線の強度を含むものとし、
前記入力手段より受け付けた品種の検査条件データを構成する情報として、当該電磁波あるいは電子線の強度の情報を含めることを特徴とする請求項1に記載の検査条件データ管理方法。 - 前記記憶手段における前記検査条件データを、回路パターン付きウエハが散乱あるいは反射した電磁波あるいは電子線の強度による欠陥判定しきい値を含むものとし、
前記入力手段より受け付けた品種の検査条件データを構成する情報として、当該電磁波あるいは電子線の強度の情報を含めることを特徴とすることを特徴とする請求項1に記載の検査条件データ管理方法。 - 回路パターン付きウエハが有する異物ないしはパターン欠陥を検出する検査装置の検査条件データを作成するシステムであって、
入力手段より品種名の入力を受付ける手段と、
前記入力手段より受付けた品種名と品種間の類似度を定めたテーブルとを照合して、検査条件データを格納する記憶手段において該品種の類似品種を検索する手段と、
該類似品種について検査条件データの存在する検査工程を前記記憶手段において認識する手段と、
前記検索した類似品種群から検査工程数の多さに応じて類似品種を編集出力し、検査工程ごとの類似品種選定を入力手段から受付ける手段、
検査工程ごとの選定を受け付けた類似品種の検査工程にかかる検査条件データを前記記憶手段より抽出し、この検査条件データに基づき前記入力手段より受け付けた品種の検査条件データを構成する手段と、
を含むことを特徴とする検査条件データ管理システム。 - 回路パターン付きウエハが有する異物ないしはパターン欠陥を検出する検査装置の検査条件データを作成する方法を、コンピュータに実行させるためのプログラムであって、
入力手段より品種名の入力を受付けるステップと、
前記入力手段より受付けた品種名と品種間の類似度を定めたテーブルとを照合して、検査条件データを格納する記憶手段において該品種の類似品種を検索するステップと、
該類似品種について検査条件データの存在する検査工程を前記記憶手段において認識するステップと、
前記検索した類似品種群から検査工程数の多さに応じて類似品種を編集出力し、検査工程ごとの類似品種選定を入力手段から受付けるステップと、
検査工程ごとの選定を受け付けた類似品種の検査工程にかかる検査条件データを前記記憶手段より抽出し、この検査条件データに基づき前記入力手段より受け付けた品種の検査条件データを構成するステップと、
を含むことを特徴とする検査条件データ管理プログラム。 - 請求項9に記載の検査条件データ管理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
- 回路パターン付きウエハが有する異物ないしはパターン欠陥を検出する検査装置であって、
異物またはパターン欠陥を検出する検出手段と、
前記検査条件管理システムから検査条件データを取得するデータ取得手段と、
取得した検査条件データを格納する記憶手段と、
検査条件データに即して検査手段を制御する制御手段と、
検査結果を出力する出力手段と、
を有することを特徴とする検査装置。
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