JP2004063664A - キャビティ付き多層セラミック基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の積層されたセラミック層23をもって構成される積層体24を備え、積層体24には、その一方主面25上に開口26を位置させたキャビティ27が設けられ、キャビティ27の底面30上には、底面導体膜31が設けられている、キャビティ付き多層セラミック基板21において、静電容量を形成するように、セラミック層23を介して底面導体膜31に対向する容量形成用導体膜32を積層体24の内部に設ける。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、キャビティ付き多層セラミック基板に関するもので、特に、キャビティ付き多層セラミック基板の薄型化を図るための改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図8は、この発明にとって興味ある従来のキャビティ付き多層セラミック基板1を示す断面図である。
【0003】
キャビティ付き多層セラミック基板1は、想像線で示す実装基板2上に実装されるもので、複数の積層されたセラミック層3をもって構成される積層体4を備えている。積層体4には、その少なくとも一方の主面、たとえば実装基板2側に向く主面5上に開口6を位置させたキャビティ7が設けられ、キャビティ7内には、たとえばICチップや弾性表面波フィルタ等のチップ状の電子部品8が搭載されている。
【0004】
積層体4の内部には、詳細には図示しないが、いくつかの内部導体膜およびいくつかのビアホール導体が設けられ、このキャビティ付き多層セラミック基板1において必要な配線を与えている。また、これら内部導体膜およびビアホール導体は、コンデンサ、インダクタ、遅延線および/またはフィルタ等を構成するように配置されることもある。積層体4の内部には、上述した内部導体膜のほか、抵抗器を与える抵抗体膜が設けられることもある。
【0005】
図8には、上述したコンデンサを構成する1対の容量形成用導体膜9および10が特定のセラミック層3を介して対向するように配置されている状態が図示されている。
【0006】
図8には図示しないが、積層体4の、キャビティ7が設けられた主面5とは逆の主面11上に、いくつかの外部導体膜が設けられ、この外部導体膜を用いて、コンデンサ、インダクタ、抵抗器、ダイオード、IC、メモリ等の他の電子部品が搭載されることもある。
【0007】
キャビティ7の底面12上には、底面導体膜13が設けられることが多い。底面導体膜13は、金属を主成分とするものであるので、セラミック層3あるいは電子部品8とは異なる色調を与え得る。したがって、キャビティ7内に電子部品8を搭載しようとするときの電子部品8の位置を光学的に認識することが容易になる。このことから、底面導体膜13は、まず、電子部品8の位置認識を容易にする機能を有している。
【0008】
また、底面導体膜13には、グラウンド電位が与えられることが多い。このような場合であって、電子部品8がグラウンド接続される必要がある場合には、底面導体膜13は、電子部品8と電気的に接続され、電子部品8に対するグラウンドを確保するために用いられる。
【0009】
なお、底面導体膜13にグラウンド電位が与えられるか否かに関わらず、電子部品8が底面導体膜13に電気的に接続される必要がない場合には、電子部品8は、非導電性接着剤を介して底面導体膜13に接合される。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
電子機器の小型化に対する要望を満たすため、そこに用いられる種々の電子部品についての小型化が進んでいる。したがって、上述したようなキャビティ付き多層セラミック基板1においても、小型化、特に薄型化を進めることが、これが用いられる電子機器の小型化にとって有利である。
【0011】
しかしながら、図8に示したようなキャビティ付き多層セラミック基板1にあっては、さらなる薄型化の余地が残されている。
【0012】
そこで、この発明の目的は、一層の薄型化を図り得るキャビティ付き多層セラミック基板の構造を提供しようとすることである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
この発明は、複数の積層されたセラミック層をもって構成される積層体を備え、この積層体には、少なくとも一方の主面上に開口を位置させたキャビティが設けられ、キャビティの底面上には、底面導体膜が設けられ、キャビティ内には、電子部品が収容されている、キャビティ付き多層セラミック基板に向けられるものであって、上述した技術的課題を解決するため、静電容量を形成するように、特定のセラミック層を介して上述の底面導体膜に対向する容量形成用導体膜が積層体の内部に設けられていることを特徴としている。
【0014】
簡単に言えば、この発明では、上述のように、底面導体膜を、静電容量形成のためにも用いるようにし、積層体に関連して設けられる導体膜の効率的な利用を図ることにより、必要な導体膜の数を減らし、それによるセラミック層の数の減少を図り、その結果として、キャビティ付き多層セラミック基板の薄型化を図ろうとするものである。
【0015】
この発明をなすに至った背景には、キャビティの底面上に設けられる底面導体膜は、比較的広い面積を有し、静電容量形成に適していることに着目したことに加えて、近年のキャビティ付き多層セラミック基板の製造技術の発展がある。
【0016】
すなわち、キャビティ付き多層セラミック基板を製造するには、複数のセラミックグリーンシートを積層してなるもので、そこにキャビティが設けられた生の積層体を作製し、これを積層方向にプレスした後、焼成する工程が実施される。この場合において、キャビティの底面にまで均一にプレス作用を及ぼすことが困難であり、また、生の積層体を焼成するとき、特にそこにキャビティが設けられている場合には、積層体全体で均一に収縮を生じさせることが困難である。このようなことから、従来は、キャビティの底面において、高い精度をもって平坦な面を得ることが困難であり、したがって、この底面上に設けられた底面導体膜を静電容量を形成するための導体膜として利用したとしても、静電容量のばらつきが大き過ぎ、実用に供し得ないものであった。
【0017】
これに対して、近年では、たとえば、プレス工程においてキャビティの内面に沿って変形し得る弾性体を用いたり、あるいは、焼成工程において、収縮抑制用無機材料粉末を含む拘束層を生の積層体とともに積層した状態で焼成工程を実施するいわゆる無収縮プロセスを適用したりすることによって、キャビティの底面において良好な平坦性が得られるようになってきている。そのため、キャビティの底面上に設けられた底面導体膜は、静電容量を形成するための導体膜として実用できるレベルにまで達してきている。このことが、前述したように、この発明をなすに至った背景の1つである。
【0018】
この発明に係るキャビティ付き多層セラミック基板において、底面導体膜は、グラウンド電位が与えられるものであることが好ましい。
【0019】
また、キャビティ内に収容される電子部品は、非導電性接着剤を介して底面導体膜に接合されても、底面導体膜に電気的に接続されてもよい。
【0020】
また、底面導体膜は、キャビティの底面を越えて積層体の内部にまで延びるように設けられても、キャビティの底面の範囲内で延びるように設けられてもよい。
【0021】
容量形成用導体膜は、1層のセラミック層を介して底面導体膜に対向するように設けられることが好ましい。
【0022】
容量形成用導体膜は、底面導体膜との間で分布定数型の静電容量を形成するストリップラインを構成していてもよい。
【0023】
この発明に係るキャビティ付き多層セラミック基板が適宜の実装基板上に実装されるものである場合、この実装基板上に実装される際に実装基板に対して電気的に接続される外部端子電極が積層体の外表面上に設けられるが、底面導体膜は、このような外部端子電極に電気的に接続されていてもよい。
【0024】
【発明の実施の形態】
図1は、この発明の第1の実施形態によるキャビティ付き多層セラミック基板21を示す断面図である。
【0025】
キャビティ付き多層セラミック基板21は、想像線で示す実装基板22上に実装されるものであり、複数の積層されたセラミック層23をもって構成される積層体24を備えている。積層体24には、その少なくとも一方の主面、たとえば、実装基板22側に向く主面25上に開口26を位置させたキャビティ27が設けられている。キャビティ27内には、ICチップや弾性表面波フィルタ等のチップ状の電子部品28が収容されて搭載されている。
【0026】
図1では図示されないが、積層体24のキャビティ27が設けられた主面25とは反対側の主面29上には、いくつかの外部導体膜が設けられ、これら外部導体膜を用いて、コンデンサ、インダクタ、抵抗器、ダイオード、IC、メモリ等の他の電子部品が搭載されることがある。
【0027】
キャビティ27の底面30上には、底面導体膜31が設けられている。この実施形態では、底面導体膜31は、キャビティ27の底面30を越えて積層体24の内部にまで延びるように設けられている。
【0028】
図1において詳細には図示しないが、積層体24の内部には、セラミック層23間の界面に沿っていくつかの内部導体膜が設けられ、また、特定のセラミック層23を貫通するようにいくつかのビアホール導体が設けられている。
【0029】
これら内部導体膜のうちの1つは、図示された容量形成用導体膜32であり、この容量形成用導体膜32は、特定のセラミック層23を介して底面導体膜31に対向するように設けられていて、ここに静電容量が形成される。図示のように、容量形成用導体膜32が、単に1層のセラミック層23を介して底面導体膜31に対向するように設けられていると、比較的大きい静電容量を得ることができる。また、内部導体膜のうちの他の1つとしての内部導体膜33も図示されている。
【0030】
また、ビアホール導体のうちの1つが、図示されたビアホール導体34であり、このビアホール導体34は、底面導体膜31と内部導体膜33とを電気的に接続している。
【0031】
また、詳細には図示しないが、積層体24の外表面上には、このキャビティ付き多層セラミック基板21を実装基板22上に実装する際に実装基板22に対して電気的に接続されるいくつかの外部端子電極が設けられている。これら外部端子電極のうちの1つが、図示された外部端子電極35であり、この外部端子電極35は、内部導体膜33と電気的に接続されることによって、ビアホール導体34を介して底面導体膜31に電気的に接続されている。
【0032】
この実施形態では、外部端子電極35は、ビアホール導体と同様の方法によって形成され、通常のビアホール導体を形成した後、これをローラーブレイク等で分割することによって形成することができる。
【0033】
外部端子電極35が実装基板22のグラウンド電位に電気的に接続される場合には、底面導体膜31には、グラウンド電位が与えられる。電子部品28がグラウンド接続を必要とする場合、この底面導体膜31への電気的接続が利用され、グラウンドが確保される。
【0034】
また、外部端子電極35は、実装基板22のグラウンド電位に電気的に接続されるものでない場合もあり得る。この場合、電子部品28において必要なグラウンド接続は、たとえばワイヤボンディング等の他の方法によって、積層体24に備えるグラウンド電位を有する導体と電気的に接続される。
【0035】
また、電子部品28は、底面導体膜31に対して電気的に接続される必要がない場合もある。この場合には、電子部品28は、非導電性接着剤(図示せず。)を介して底面導体膜31に接合される。
【0036】
図1において、積層体24の内部に設けられる内部導体膜およびビアホール導体は、その代表的なもののみが図示されている。これら内部導体膜およびビアホール導体は、このキャビティ付き多層セラミック基板21において必要な配線を与えるとともに、必要に応じて、前述した底面導体膜31と容量形成用導体膜32とによって構成されたコンデンサ以外のコンデンサ、インダクタ、遅延線および/またはフィルタ等の素子を構成するようにされる。また、積層体24の内部には、抵抗体膜が設けられることもある。
【0037】
また、キャビティ付き多層セラミック基板21は、図示しないが、携帯電話機等で用いられる高周波スイッチやブルートゥース(Bluetooth)のような無線通信で用いられる高周波モジュールにおいて必要な素子を備える構成とされることもある。この場合には、上述の高周波スイッチや高周波モジュールにおいて必要な素子は、積層体24に内蔵されたり、積層体24上に搭載されたりする。
【0038】
前述した底面導体膜31と容量形成用導体膜32とによって構成されたコンデンサが与える静電容量を調整する必要が生じる場合がある。この場合、底面導体膜31の少なくとも一部は、キャビティ27内において露出しているので、トリミングすることが容易であり、したがって、静電容量の調整を容易に行なうことができる。
【0039】
トリミングにあたっては、この実施形態のように、底面導体膜31がキャビティ27の底面30を越えて積層体24の内部にまで延びるように設けられている場合には、底面導体膜31を、そのキャビティ27の底面30上にある部分において、除去することが行われる。この場合、ある領域の全域を除去しても、ある領域の輪郭のみを除去してもよい。
【0040】
他方、後述する図2、図4または図7に示した実施形態のように、底面導体膜31、31aまたは31bの端縁がキャビティ27の底面30上に位置している場合には、上述の除去態様と同様の除去態様を採用することもできるが、底面導体膜31、31aまたは31bの端部をカットするようにトリミングが実施されてもよい。
【0041】
図2ないし図7は、それぞれ、この発明の第2ないし第7の実施形態を説明するための図1に対応する図である。図2ないし図7においても、図1の場合と同様、特徴的構成のみが図示されている。図2ないし図7において、図1に示した要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
【0042】
図2に示したキャビティ付き多層セラミック基板21aにおいては、底面導体膜31は、キャビティ27の底面30の範囲内で延びるように設けられている。
【0043】
この底面導体膜31に対する電気的接続については図示されないが、たとえば、ビアホール導体を介して、容量形成用導体膜32以外の内部導体膜に電気的に接続されたり、底面導体膜31と同一面上に位置するライン状の導体膜に電気的に接続されたりしている。また、底面導体膜31は電子部品28と電気的に接続され、それによって、底面導体膜31と容量形成用導体膜32とによって形成されたコンデンサが電子部品28と電気的に接続されるようにしてもよい。
【0044】
図3に示したキャビティ付き多層セラミック基板21bにおいては、底面導体膜31が、キャビティ27の底面30を越えて積層体24の内部にまで延びるように設けられていながら、このような底面導体膜31に共通に対向するように、2つの容量形成用導体膜32aおよび32bが横に並んで配置されている。
【0045】
また、底面導体膜31は、ビアホール導体38を介して外部端子電極39に電気的に接続されている。外部端子電極39は、ランドグリッドアレイタイプのもので、たとえば、印刷や転写等により付与された導電性ペーストからなる膜を焼き付けることによって形成される。
【0046】
図4に示したキャビティ付き多層セラミック基板21cにおいては、キャビティ27の底面30上に、2つの底面導体膜31aおよび31bが横に並んで配置されている。また、底面導体膜31aおよび31bは、キャビティ27の底面30を越えて積層体24の内部にまで延び、さらに積層体24の側面にまで延びるように設けられている。
【0047】
積層体24の側面には、外部端子電極42および43が設けられ、上述した2つの底面導体膜31aおよび31bは、それぞれ、外部端子電極42および43に電気的に接続される。外部端子電極42および43は、図1に示した外部端子電極35と同様の方法によって形成されることができる。
【0048】
また、積層体24の内部には、底面導体膜31aおよび31bの各々に対して、1層のセラミック層を介してそれぞれ対向する2つの容量形成用導体膜32aおよび32bが横に並んで配置されている。
【0049】
図5に示したキャビティ付き多層セラミック基板21dにおいては、底面導体膜31に対向するように設けられる容量形成用導体膜32cおよび32dは、底面導体膜31との間で分布定数型の静電容量を形成するストリップラインを形成している。この場合、図示しないが、底面導体膜31は、グラウンド電位とされ、このようにグラウンド電位とされた底面導体膜31とストリップラインを構成する容量形成用導体膜32cおよび32dとの間には、必要なトリプレート厚を得るため、底面導体膜31と容量形成用導体膜32cおよび32dとの間には、複数層のセラミック層23が介在される。
【0050】
図6に示したキャビティ付き多層セラミック基板21eにおいては、容量形成用導体膜32には、ビアホール導体46を介してライン状の内部導体膜47が電気的に接続される。内部導体膜47は、たとえばインダクタを構成する内部導体膜の一部である。底面導体膜31は、図示しないが、グラウンド電位に接続される。この実施形態によれば、インダクタおよびコンデンサが直列に接続された共振回路を、底面導体膜31、容量形成用導体膜32、ビアホール導体46および内部導体膜47によって与えることができる。
【0051】
図7に示したキャビティ付き多層セラミック基板21fは、以上説明したキャビティ付き多層セラミック基板21a〜21eの場合とは異なり、積層体24のキャビティ27が設けられた側の主面25とは反対側の主面29が実装基板22に対向するように実装されることを特徴としている。
【0052】
図7に示したキャビティ付き多層セラミック基板21fにおいては、図4に示したキャビティ付き多層セラミック基板21cの場合と同様、2つの底面導体膜31aおよび31bならびに2つの容量形成用導体膜32aおよび32bが設けられている。また、底面導体膜31aおよび31bは、それぞれ、外部端子電極50および51に電気的に接続されている。
【0053】
なお、上述したような底面導体膜31aおよび31b、容量形成用導体膜32aおよび32bならびに外部端子電極50および51のそれぞれの設け方については、本質的な特徴ではなく、図7に示した実施形態は、あくまでも、キャビティ27が上向きの状態で実装基板22上に実装されるキャビティ付き多層セラミック基板21fに対しても、この発明が適用されることを明示するためのものである。
【0054】
以上、この発明を図示したいくつかの実施形態について説明したが、この発明の範囲内において、その他、種々の変形例が可能である。
【0055】
たとえば、図示した積層体24におけるセラミック層23の積層数や、キャビティ27の位置、形状、大きさおよび数、あるいは、積層体24に関連して設けられる内部導体膜、ビアホール導体、外部端子電極等の配置については、得ようとするキャビティ付き多層セラミック基板の設計に応じて任意に変更することができる。
【0056】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、キャビティの底面上に設けられた底面導体膜に対向して静電容量を形成するように、容量形成用導体膜が積層体の内部に設けられているので、底面導体膜を静電容量形成のための導体膜として効率的に利用できるので、静電容量を形成するための対をなす容量形成用導体膜を別に設ける場合に比べて、セラミック層の積層数を少なくすることができ、その結果、キャビティ付き多層セラミック基板の薄型化を有利に図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施形態によるキャビティ付き多層セラミック基板21を示す断面図である。
【図2】この発明の第2の実施形態によるキャビティ付き多層セラミック基板21aを示す断面図である。
【図3】この発明の第3の実施形態によるキャビティ付き多層セラミック基板21bを示す断面図である。
【図4】この発明の第4の実施形態によるキャビティ付き多層セラミック基板21cを示す断面図である。
【図5】この発明の第5の実施形態によるキャビティ付き多層セラミック基板21dを示す断面図である。
【図6】この発明の第6の実施形態によるキャビティ付き多層セラミック基板21eを示す断面図である。
【図7】この発明の第7の実施形態によるキャビティ付き多層セラミック基板21fを示す断面図である。
【図8】この発明にとって興味ある従来のキャビティ付き多層セラミック基板1を示す断面図である。
【符号の説明】
21,21a,21b,21c,21d,21e,21f キャビティ付き多層セラミック基板
22 実装基板
23 セラミック層
24 積層体
25,29 主面
26 開口
27 キャビティ
28 電子部品
30 底面
31,31a,31b 底面導体膜
32,32a,32b,32c,32d 容量形成用導体膜
33 内部導体膜
34,38,46 ビアホール導体
35,39,42,43,50,51 外部端子電極
Claims (9)
- 複数の積層されたセラミック層をもって構成される積層体を備え、前記積層体には、その少なくとも一方の主面上に開口を位置させたキャビティが設けられ、前記キャビティの底面上には、底面導体膜が設けられ、前記キャビティ内には、電子部品が収容されている、キャビティ付き多層セラミック基板であって、
静電容量を形成するように、特定の前記セラミック層を介して前記底面導体膜に対向する容量形成用導体膜が前記積層体の内部に設けられていることを特徴とする、キャビティ付き多層セラミック基板。 - 前記底面導体膜は、グラウンド電位が与えられるものである、請求項1に記載のキャビティ付き多層セラミック基板。
- 前記電子部品は、非導電性接着剤を介して前記底面導体膜に接合されている、請求項1または2に記載のキャビティ付き多層セラミック基板。
- 前記電子部品は、前記底面導体膜に電気的に接続されている、請求項1または2に記載のキャビティ付き多層セラミック基板。
- 前記底面導体膜は、前記キャビティの底面を越えて前記積層体の内部にまで延びるように設けられている、請求項1ないし4のいずれかに記載のキャビティ付き多層セラミック基板。
- 前記底面導体膜は、前記キャビティの底面の範囲内で延びるように設けられている、請求項1ないし4のいずれかに記載のキャビティ付き多層セラミック基板。
- 前記容量形成用導体膜は、1層の前記セラミック層を介して前記底面導体膜に対向するように設けられている、請求項1ないし6のいずれかに記載のキャビティ付き多層セラミック基板。
- 前記容量形成用導体膜は、前記底面導体膜との間で分布定数型の静電容量を形成するストリップラインを構成している、請求項1ないし6のいずれかに記載のキャビティ付き多層セラミック基板。
- 適宜の実装基板上に実装される際に実装基板に対して電気的に接続される外部端子電極が前記積層体の外表面上に設けられ、前記底面導体膜は、前記外部端子電極に電気的に接続される、請求項1ないし8のいずれかに記載のキャビティ付き多層セラミック基板。
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