JP2004045247A - X線画像検査装置 - Google Patents
X線画像検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004045247A JP2004045247A JP2002203766A JP2002203766A JP2004045247A JP 2004045247 A JP2004045247 A JP 2004045247A JP 2002203766 A JP2002203766 A JP 2002203766A JP 2002203766 A JP2002203766 A JP 2002203766A JP 2004045247 A JP2004045247 A JP 2004045247A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- inspection
- inspection apparatus
- rays
- irradiation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
【課題】被検体内部の検査部位の2次元画像・3次元画像を高分解能で提供し、かつ、検査部位の画像化を短時間またはリアルタイムで提供することを可能にする。
【解決手段】被検体2内部の検査部位3の後方散乱X線情報を得るためのX線検査装置4と、X線検査装置4を作動させる走査装置14と、X線検査装置4から得られる後方散乱X線情報を画像化する画像処理装置13とを有し、X線検査装置4には、X線発生装置としてのX線源5と、X線源5から放射されるX線aをコリメートするために、出射側がライン状に一次元配置される照射側導波管16と、X線照射線19からの後方散乱X線bをコリメートするために、入射側がマトリックス状あるいは行列状に二次元配置された検出側導波管17と、検出側導波管17の出射側に検出器11とを備えたこと。
【選択図】 図3
【解決手段】被検体2内部の検査部位3の後方散乱X線情報を得るためのX線検査装置4と、X線検査装置4を作動させる走査装置14と、X線検査装置4から得られる後方散乱X線情報を画像化する画像処理装置13とを有し、X線検査装置4には、X線発生装置としてのX線源5と、X線源5から放射されるX線aをコリメートするために、出射側がライン状に一次元配置される照射側導波管16と、X線照射線19からの後方散乱X線bをコリメートするために、入射側がマトリックス状あるいは行列状に二次元配置された検出側導波管17と、検出側導波管17の出射側に検出器11とを備えたこと。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査対象に入射したX線のうち特定部位からの散乱X線をとらえることで高コントラストな画像を提供できる放射線検査関連の技術に係り、特に、被検体の高分解能の2次元画像・3次元画像を、短時間またはリアルタイムで提供することを可能にするX線画像検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
被透検体の検査部位の情報を得るには、この検査部位にX線を照射することによって検査部位から透過される透過X線を検出する方法、検査部位から散乱(反射)される散乱X線(反射X線)を検出する方法、検査部位成分中の原子から放出される蛍光X線を検出する方法などがある。
【0003】
被検体内部の検査部位の画像を得る場合、細いビーム状のX線を入射して、その特定部位からの透過X線あるいは散乱X線信号を検出対象とする方法で行われている。これらの場合、検査部位に対し、X線装置自体を2次元的に走査させることにより、検査部位における入射X線を2次元的に入射させ、検出器で得られる2次元情報を画像化する。
【0004】
また、透過X線あるいは散乱X線を信号としてとらえ検出する方法では、被検体に対し、X線検査装置自体を3次元的に走査させることにより、検査部位における入射X線を3次元的に入射させ、検出器で得られる3次元情報を2次元的に画像化する。
【0005】
ただし、散乱X線を検出対象とする方法では、X線コンプトン散乱を用いることから、コンプトン散乱の対象となる電子の密度の大小によってその信号量が比例するので、被検体内部の密度不連続部分を感知することができる。然るに、散乱X線を検出対象とする方法では、透過X線を検出対象とする方法と比較して高コントラストな画像を入手できる等の長所がある。
【0006】
X線を照射する方法において、検査部位の情報を高分解能で得るためには、X線源からの入射X線のエネルギーを大きくする方法、X線源から漏洩するX線(ノイズ)を検出部で感知させない目的でX線源と検出部との間に遮蔽板を備える方法などがある。これらの場合、検出器で感知する情報のS/N比が増加する。
【0007】
同様に、検査部位の情報を高分解能で得るためには、目的とする検査部位以外からの信号量を抑える目的で被検体への入射X線と、被検体からの出射X線とをそれぞれコリメートする方法がある。
【0008】
X線を用いた被検体内部の検査部位の解析装置としては、特開2001−201468号公報のように、検査部位からの出射X線をコリメートする目的で、X線照射点を頂点としX線照射軸を軸芯とする円錐面に導波管が備えられる装置が報告されている。
【0009】
さらに、散乱X線を検出対象とする方法には、検査部位から入射X線側に散乱されるX線を検出対象とする方法と、検査部位から入射X線とは反対側に散乱されるX線を検出対象とする方法とがあり、用途により使い分けられる。
【0010】
後方散乱X線を検出対象とする方法では、X線源と検出器が被検体に対して一方向に配置でき、大型対象物の検査に適用される。
【0011】
一方、前方散乱X線を検出対象とする方法では、例えば被検体のX線吸収率が高く、厚みがある場合には、X線源から照射するX線のエネルギーを高くする必要があり、このエネルギーが例えば100keVを越える場合に適用される。なぜなら、X線源から照射するX線のエネルギーが高い場合、検査部位から前方に散乱するX線の数と比べ、後方に散乱するX線の数は極端に少ないからである。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
被検体の2次元画像・3次元画像を得る方法として散乱X線を検出対象とすることで、高コントラストな画像が入手できる。ただし、2次元画像・3次元画像を得るにはX線装置自体を走査させる必要があり、走査装置のバックラッシュ(がたつき)による機械的な誤差を生じるという点で、検出器への情報の精度が悪化する。
【0013】
さらに、前記走査を行うためには長時間を要する。走査に要する時間にはばらつきこそあるが、例えば、50mm立法の検査部位における走査時間は、最低でも1分程度はかかる。
【0014】
検査部位にX線を照射することによって検査部位から出射される散乱X線を検出する方法では、X線源と検出部との間に遮蔽板を備えることにより、検出器に入射する目的部位以外の散乱X線信号を抑制しノイズの量を抑えることによって検出信号のS/N比を増加できるが、X線源と検出部との配置を遠ざけることでも検出信号のS/N比を増加できる。
【0015】
さらに、目的とする検査部位以外からの信号量を抑える目的で、被検体への入射X線、被検体からの出射X線をコリメータを用いてコリメートすると、このコリメータによってX線量が絞られ、有効なX線量が減少されるに伴って有効な信号量も減少するので、高分解能の情報を得ることは難しい。
【0016】
また、被検体への入射X線、被検体からの出射X線を捉えるためのコリメータを精度良く製作することが困難であること、コリメータを通過するX線成分がリング状となり、検出器ヘッド形状とのマッチングが困難であるとなることなどの弱点もある。
【0017】
この散乱X線検査において、X線吸収率が高く、厚みのある対象物を検査する場合において高分解能の情報を得ようとすると、入射X線のエネルギーを高くする方法がある。この場合、エネルギーの増加に伴って散乱X線の後方成分が減少して前方成分が増加するので、後方成分を捉えることは困難となる。
【0018】
最後に、後方散乱X線検査と前方散乱X線検査にはそれぞれ特性があり、後方散乱X線検査と前方散乱X線検査、双方に適用できる検査装置であれば、双方の特性を充分に生かすことができる。
【0019】
本発明は、このような問題を解決するために提案されたものであり、散乱X線を検査対象とすることで高コントラストな画像を提供することを目的とする。また、いかなるX線吸収率の被検体においても、この被検体内部の検査部位の2次元画像・3次元画像を高分解能で提供し、かつ、検査部位の画像化を短時間またはリアルタイムで提供することを可能にするX線画像検査装置を提供することを目的とする。
【0020】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るX線画像検査装置は、上述した課題を解決するために請求項1に記載したように、被検体内部の検査部位の後方散乱X線情報を得るためのX線検査装置と、前記X線検査装置を作動させる走査装置と、前記X線検査装置から得られる後方散乱X線情報を画像化する画像処理装置とを有し、前記X線検査装置には、X線発生装置としてのX線源と、前記X線源から放射されるX線をコリメートするために、出射側がX線照射点を頂点としX線照射軸を軸芯とする第一円錐面上に備えられる照射側導波管と、前記X線照射点からの後方散乱X線をコリメートするために、入射側がX線照射点を頂点としX線照射軸を軸芯とする第二円錐面上に備えられる検出側導波管と、前記検出側導波管の出射側に検出器とを備えたことを特徴とする。
【0021】
また、本発明のX線画像検査装置は、請求項2に記載したように、被検体内部の検査部位の後方散乱X線情報を得るためのX線検査装置と、前記X線検査装置を作動させる走査装置と、前記X線検査装置から得られる後方散乱X線情報を画像化する画像処理装置とを有し、前記X線検査装置には、X線発生装置としてのX線源と、前記X線源から放射されるX線をコリメートするために、出射側がライン状に一次元配置される照射側導波管と、前記X線照射線からの後方散乱X線をコリメートするために、入射側がライン状に一次元配置される検出側導波管と、前記検出側導波管の出射側に検出器とを備えたことを特徴とする。
【0022】
さらに、本発明のX線画像検査装置は、請求項3に記載したように、前記被検体内部の検査部位のX線照射線からの後方散乱X線をコリメートするための検出側導波管の入射側がマトリックス状あるいは行列状に二次元配置されたことを特徴とする。
【0023】
また、本発明のX線画像検査装置は、請求項4に記載したように、被検体内部の検査部位の前方散乱X線情報を得るためのX線検査装置と、前記X線検査装置を作動させる走査装置と、前記X線検査装置から得られる前方散乱X線情報を画像化する画像処理装置とを有し、前記X線検査装置には、X線発生装置としてのX線源と、前記X線源から放射されるX線をコリメートするための照射側コリメータと、前記X線照射点からの前方散乱X線をコリメートするために、前記X線照射点を頂点としX線照射軸を軸芯とする円錐面に備えられる検出側導波管と、前記検出側導波管の出射側に検出器とを備えたことを特徴とする。
【0024】
さらに、本発明のX線画像検査装置は、請求項5に記載したように、前記X線源から放射されるX線をコリメートするための照射側導波管の出射側が、X線照射点を頂点としX線照射軸を軸芯とする第二円錐面に備えたことを特徴とする。
【0025】
また、本発明のX線画像検査装置は、請求項6に記載したように、被検体内部の検査部位の前方散乱X線情報を得るためのX線検査装置と、前記X線検査装置を作動させる走査装置と、前記X線検査装置から得られる前方散乱X線情報を画像化する画像処理装置とを有し、前記X線検査装置には、X線発生装置としてのX線源と、前記X線源から放射されるX線をコリメートするために、出射側がライン状に一次元配置される照射側導波管と、前記X線照射線からの前方散乱X線をコリメートするために、入射側がライン状に一次元配置される検出側導波管と、前記検出側導波管の出射側に検出器とを備えたことを特徴とする。
【0026】
さらに、本発明のX線画像検査装置は、請求項7に記載したように、前記被検体内部の検査部位のX線照射線からの前方散乱X線をコリメートするための検出側導波管の入射側がマトリックス状あるいは行列状に二次元配置されたことを特徴とする。
【0027】
また、本発明のX線画像検査装置は、請求項8に記載したように、前記X線検査装置において、被検体内部の検査部位の360°方向の画像を得るために、前記被検体内部の検査部位を中心にして前記X線検査装置を回動走査させるための走査装置を備えたことを特徴とする。
【0028】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るX線画像検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【0029】
図1はX線画像検査装置の概略的な第1実施形態を示すものである。
【0030】
X線画像検査装置1は、被検体2内部の検査部位3に対してX線検査装置4が備えられる。このX線検査装置4は、X線照射部5と検査ヘッド部6とがそれぞれ備えられ、このX線照射部5にはX線源7と、このX線源7から被検体2内部の検査部位3に入射される入射X線aをコリメートするための複数の照射側導波管16が備えられる。
【0031】
一方、検査ヘッド部6にはX線照射点9からの後方散乱X線bをコリメートするための複数の検出側導波管17と、コリメートされた後方散乱X線bを特定信号に変化する検出器11とが備えられる。なお、検出側導波管17は、前記X線照射部5に備える照射側導波管16と同一性状のものでよい。
【0032】
なお、照射側導波管16の出射側はX線照射点9を頂点としX線照射軸18を軸芯とする第一円錐面上に配置される一方、検出側導波管17の入射側はX線照射点9を頂点としX線照射軸18を軸芯とする第二円錐面上に配置される。
【0033】
X線画像検査装置1において、X線源7から漏洩するX線(ノイズ)を検出器11で感知させないために、X線照射部5に備えるX線源7は、検査ヘッド部6に備える検出器11と間隔を開いて設置され、また、X線源7と検出器11との間に遮蔽板を設けてもよい。
【0034】
さらに、この検出器11から電気配線12を介して画像処理装置13が接続される。
【0035】
また、被検体に対してX線検査装置4を作動させるために、X線検査装置4に走査装置14が備えられる。
【0036】
図1において実線矢印aは入射X線、実線矢印bは後方散乱X線をそれぞれ示す。さらに、実線矢印x、yおよびzはX線検査装置4の走査方向をそれぞれ示す。
【0037】
X線源7から放射された入射X線aは、照射側導波管16を通過することでコリメートされ、検査部位3のX線照射点9に入射される。そして、このX線照射点9からの後方散乱X線bは、検出側導波管17を通して検出器11に伝送され、コリメートされた後方散乱X線bは、検出器11で特定信号に変換される。
【0038】
被検体2内部の検査部位3に対して、X線検査装置4に備わるX線源7から入射X線aを放射する時に、走査装置14を作動させX線検査装置4を例えばx方向、y方向の2方向に移動走査させることで、この走査範囲での検査部位3の2次元信号が検出器11を介して画像処理装置13に伝送され、検査部位3の2次元画像が得られる。
【0039】
さらに、走査装置14を作動させX線検査装置4をx方向、y方向、z方向の3方向に移動走査させることで、検査部位3の3次元画像を得ることも可能である。
【0040】
このX線画像検査装置1では、検出対象X線として散乱X線を使用しているので高コントラストな画像が提供できる。また、検査部位3の高分解能の2次元画像・3次元画像を提供することを可能にする。
【0041】
図2はX線画像検査装置の概略的な第2実施形態を示すものである。
【0042】
X線画像検査装置1Aは、被検体2内部の検査部位3に対してX線検査装置4が備えられる。このX線検査装置4は、X線照射部5と検査ヘッド部6とがそれぞれ備えられ、このX線照射部5にはX線源7と、このX線源7から被検体2内部の検査部位3に入射される入射X線aをコリメートするための複数の照射側導波管16が備えられる。
【0043】
一方、検査ヘッド部6には、後方散乱X線bをコリメートするための複数の検出側導波管17と、コリメートされた後方散乱X線bを特定信号に変化する検出器11とが備えられる。なお、検出側導波管17は、前記X線照射部5に備える照射側導波管16と同一性状のものでよい。
【0044】
なお、検査部位3のX線照射線19に対して入射X線aを一次元入射させるために、照射側導波管16の出射側を複数本ライン状に一次元配列させる一方、X線照射線19からの後方散乱X線bを一次元検出するために、検出側導波管17の入射側を複数本ライン状に一次元配列させる。
【0045】
X線画像検査装置1Aにおいて、X線源7から漏洩するX線(ノイズ)を検出器11で感知させないために、X線照射部5に備えるX線源7は、検査ヘッド部6に備える検出器11と間隔を開いて設置され、また、X線源7と検出器11との間に遮蔽板を設けてもよい。
【0046】
さらに、この検出器11から電気配線12を介して画像処理装置13が接続される。
【0047】
また、被検体に対してX線検査装置4を作動させるために、X線検査装置4に走査装置14が備えられる。
【0048】
図2において実線矢印aは入射X線、実線矢印bは後方散乱X線をそれぞれ示す。さらに、破線矢印x、yおよびzはX線検査装置4の走査方向をそれぞれ示す。
【0049】
X線源7から放射された入射X線aは、照射側導波管16を通過することでコリメートされ、検査部位3のX線照射線19にライン状で一次元入射される。そして、X線照射線19からの後方散乱X線bは、ライン状で一次元の検出側導波管17を通して検出器11に伝送され、コリメートされた後方散乱X線bは、検出器11で特定信号に変換される。
【0050】
被検体2内部の検査部位3に対して、X線検査装置4に備わるX線源7から入射X線aを放射する時に、走査装置14を作動させX線検査装置4を例えばx方向に移動走査させることで、この走査範囲での検査部位3の2次元信号が検出器11を介して画像処理装置13に伝送され、検査部位3の2次元画像が得られる。
【0051】
さらに、走査装置14を作動させX線検査装置4をx方向とz方向の2方向に移動走査させることで、検査部位3の3次元画像を得ることも可能である。
【0052】
このX線画像検査装置1Aでは、検出対象X線として散乱X線を使用しているので高コントラストな画像が提供できる。また、検査部位3の高分解能の2次元画像・3次元画像を短時間で提供することを可能にする。
【0053】
図3はX線画像検査装置の概略的な第3実施形態を示すものである。
【0054】
X線画像検査装置1Bは、検査部位3のX線照射線19に対して入射X線aを一次元入射させるために、照射側導波管16の出射側を複数本ライン状に一次元配列させる一方、X線照射線19からの後方散乱X線bを二次元検出するために、検出側導波管17の入射側を複数本マトリックス状あるいは行列状に二次元配列させる。
【0055】
X線画像検査装置1Bにおいて、X線源7から漏洩するX線(ノイズ)を検出器11で感知させないために、X線照射部5に備えるX線源7は、検査ヘッド部6に備える検出器11と間隔を開いて設置され、また、X線源7と検出器11との間に遮蔽板を設けてもよい。
【0056】
図3において図2に付される部材と同一部材には同じ符号を付して説明を省略する。
【0057】
X線源7から放射された入射X線aは、照射側導波管16を通過することでコリメートされ、検査部位3のX線照射線19にライン状で一次元入射される。そして、X線照射線19からの後方散乱X線bは、マトリックス状あるいは行列状で二次元の検出側導波管17を通して検出器11に伝送され、コリメートされた後方散乱X線bは、検出器11で特定信号に変換される。
【0058】
これにより、X線検査装置4を移動走査することなく、検査部位3の2次元信号が検出器11を介して画像処理装置13に伝送され、検査部位3の2次元画像が得られる。
【0059】
さらに、被検体2内部の検査部位3に対して、X線照射部5に備わるX線源7から入射X線aを放射する時に、走査装置14を作動させX線検査装置4をz方向に移動走査させることで、検査部位3の3次元画像を得ることも可能である。
【0060】
このX線画像検査装置1Bでは、検出対象X線として散乱X線を使用しているので高コントラストな画像が提供できる。また、検査部位3の高分解能の2次元画像をリアルタイムで、高分解能の3次元画像を短時間で提供することを可能にする。
【0061】
図4はX線画像検査装置の概略的な第4実施形態を示すものである。
【0062】
X線画像検査装置21は、被検体2内部の検査部位3に対してX線照射部5および検査ヘッド部6とがそれぞれ挟持し、このX線照射部5にはX線源7と、このX線源7から被検体2内部の検査部位3に入射される入射X線aをコリメートするための照射側コリメータ8が備えられる。
【0063】
一方、検査ヘッド部6には前方散乱X線cをコリメートするための検出側コリメータ10と、このコリメートされた前方散乱X線cを特定信号に変化する検出器11とが備えられる。なお、検出側コリメータ10は、前記X線照射部4に備える照射側コリメータ8と同一性状のものでよい。
【0064】
さらに、この検出器11から電気配線12を介して画像処理装置13が接続される。
【0065】
また、被検体2内部の検査部位3に対してX線照射部5および検査ヘッド部6を同調しながら作動させるために、X線照射部5および検査ヘッド部6に走査装置14が備えられる。
【0066】
図4において実線矢印aは入射X線、実線矢印cは前方散乱X線をそれぞれ示す。さらに、実線矢印x、yおよびzはX線照射部5および検査ヘッド部6の走査方向をそれぞれ示す。
【0067】
X線源7から放射された入射X線aは、照射側コリメータ8を通過することでコリメートされ、検査部位3のX線照射点9に入射される。そして、このX線照射点9からの前方散乱X線cは、検出側コリメータ10を通して検出器11に伝送され、このコリメートされた前方散乱X線cは、検出器11で特定信号に変換される。
【0068】
被検体2内部の検査部位3に対して、X線照射部5に備わるX線源7から入射X線aを放射する時に、走査装置14を作動させX線照射部5および検査ヘッド部6を例えばx方向、y方向の2方向に移動走査させることで、この走査範囲での検査部位3の2次元信号が検出器11を介して画像処理装置13に伝送され、検査部位3の2次元画像が得られる。
【0069】
さらに、走査装置14を作動させX線照射部5および検査ヘッド部6をx方向、y方向、z方向の3方向に移動走査させることで、検査部位3の3次元画像を得ることも可能である。
【0070】
このX線画像検査装置21では、検出対象X線として散乱X線を使用しているので高コントラストな画像が提供できる。また、特にX線吸収率の高い被検体2の検査に対して、検査部位3の高分解能の2次元画像・3次元画像を提供することを可能にする。
【0071】
図5はX線画像検査装置の概略的な第5実施形態を示すものである。
【0072】
X線画像検査装置21Aは、被検体2内部の検査部位3に対してX線照射部5と検査ヘッド部6とがそれぞれ挟持し、このX線照射部4にはX線源7と、このX線源7から被検体2内部の検査部位3に入射される入射X線aをコリメートするための照射側コリメータ8が備えられる。
【0073】
一方、検査ヘッド部6には前方散乱X線cをコリメートするための複数の検出側導波管17と、このコリメートされた前方散乱X線cを特定信号に変化する検出器11とが備えられる。
【0074】
なお、この検出側導波管17の入射側はX線照射点9を頂点としX線照射軸18を軸芯とする円錐面上に配置される。
【0075】
X線画像検査装置21Aにおいて、検査部位3のX線照射点9からの透過X線(ノイズ)を検出器11で感知させないために、被検体2は、検査ヘッド部6に備える検出器11と間隔を開いて設置され、また、被検体2と検出器11との間に遮蔽板を設けてもよい。
【0076】
さらに、この検出器11から電気配線12を介して画像処理装置13が接続される。
【0077】
また、被検体2内部の検査部位3に対してX線照射部5および検査ヘッド部6を同調しながら作動させるために、X線照射部5および検査ヘッド部6に走査装置14が備えられる。
【0078】
図5において実線矢印aは入射X線、実線矢印cは前方散乱X線をそれぞれ示す。さらに、破線矢印x、yおよびzはX線検査装置4の走査方向をそれぞれ示す。
【0079】
X線源7から放射された入射X線aは、コリメータ8を通過することでコリメートされ、検査部位3のX線照射点9に入射される。そして、このX線照射点9からの前方散乱X線cは、検出側導波管17を通して検出器11に伝送され、コリメートされた前方散乱X線cは、検出器11で特定信号に変換される。
【0080】
被検体2内部の検査部位3に対して、X線検査装置4に備わるX線源7から入射X線aを放射する時に、走査装置14を作動させX線検査装置4を例えばx方向、y方向の2方向に移動走査させることで、この走査範囲での検査部位3の2次元信号が検出器11を介して画像処理装置13に伝送され、検査部位3の2次元画像が得られる。
【0081】
さらに、走査装置14を作動させX線検査装置4をx方向、y方向、z方向の3方向に移動走査させることで、検査部位3の3次元画像を得ることも可能である。
【0082】
このX線画像検査装置21Aでは、検出対象X線として散乱X線を使用しているので高コントラストな画像が提供できる。また、特にX線吸収率の高い被検体2の検査に対して、検査部位3の高分解能の2次元画像・3次元画像を提供することを可能にする。
【0083】
図6はX線画像検査装置の概略的な第6実施形態を示すものである。
【0084】
X線画像検査装置21Bでは、被検体2内部の検査部位3に対してX線照射部5と検査ヘッド部6とがそれぞれ挟持し、このX線照射部4にはX線源7と、このX線源7から被検体2内部の検査部位3に入射される入射X線aをコリメートするための複数の照射側導波管16が備えられる。
【0085】
一方、検査ヘッド部6には前方散乱X線cをコリメートするための複数の検出側導波管17と、このコリメートされた前方散乱X線cを特定信号に変化する検出器11とが備えられる。なお、この検出側導波管17は、前記X線照射部5に備える照射側導波管16と同一性状のものでよい。
【0086】
なお、照射側導波管16の出射側はX線照射点9を頂点としX線照射軸18を軸芯とする第一円錐面上に配置される一方、検出側導波管17の入射側はX線照射点9を頂点としX線照射軸18を軸芯とする第二円錐面上に配置される。
【0087】
X線画像検査装置21Bにおいて、X線照射点9からの透過X線(ノイズ)を検出器11で感知させないために、被検体3は、検査ヘッド部6に備える検出器11と間隔を開いて設置され、また、被検体3と検出器11との間に遮蔽板を設けてもよい。
【0088】
さらに、この検出器11から電気配線12を介して画像処理装置13が接続される。
【0089】
また、被検体2内部の検査部位3に対してX線照射部5および検査ヘッド部6を同調しながら作動させるために、X線照射部5および検査ヘッド部6に走査装置14が備えられる。
【0090】
図6において実線矢印aは入射X線、実線矢印cは前方散乱X線をそれぞれ示す。さらに、破線矢印x、yおよびzはX線検査装置4の走査方向をそれぞれ示す。
【0091】
X線源7から放射された入射X線aは、照射側導波管16を通過することでコリメートされ、検査部位3のX線照射点9に入射される。そして、このX線照射点9からの前方散乱X線cは、検出側導波管17を通して検出器11に伝送され、コリメートされた前方散乱X線cは、検出器11で特定信号に変換される。
【0092】
被検体2内部の検査部位3に対して、X線照射部5に備わるX線源7から入射X線aを放射する時に、走査装置14を作動させX線検査装置4を例えばx方向、y方向の2方向に移動走査させることで、この走査範囲での検査部位3の2次元信号が検出器11を介して画像処理装置13に伝送され、検査部位3の2次元画像が得られる。
【0093】
さらに、走査装置14を作動させX線検査装置4をx方向、y方向、z方向の3方向に移動走査させることで、検査部位3の3次元画像を得ることも可能である。
【0094】
このX線画像検査装置21Bでは、検出対象X線として散乱X線を使用しているので高コントラストな画像が提供できる。また、特にX線吸収率の高い被検体2の検査に対して、検査部位3の高分解能の2次元画像・3次元画像を提供することを可能にする。
【0095】
図7はX線画像検査装置の概略的な第7実施形態を示すものである。
【0096】
X線画像検査装置21Cは、被検体2内部の検査部位3に対してX線照射部5と検査ヘッド部6とがそれぞれ挟持し、このX線照射部4にはX線源7と、このX線源7から被検体2内部の検査部位3に入射される入射X線aをコリメートするための複数の照射側導波管16が備えられる。
【0097】
一方、検査ヘッド部6には前方散乱X線cをコリメートするための複数の検出側導波管17と、コリメートされた前方散乱X線cを特定信号に変化する検出器11とが備えられる。なお、この検出側導波管17は、前記X線照射部5に備える照射側導波管16と同一性状のものでよい。
【0098】
なお、検査部位3のX線照射線19に対して入射X線aを一次元入射させるために、照射側導波管16の出射側を複数本ライン状に一次元配列させる一方、X線照射線19からの後方散乱X線bを一次元検出するために、検出側導波管17の入射側を複数本ライン状に一次元配列させる。
【0099】
X線画像検査装置21Cにおいて、検査部位3からの透過X線(ノイズ)を検出器11で感知させないために、検査部位3は、検査ヘッド部6に備える検出器11と間隔を開いて設置され、また、検査部位3と検出器11との間に遮蔽板を設けてもよい。
【0100】
さらに、この検出器11から電気配線12を介して画像処理装置13が接続される。
【0101】
また、被検体2内部の検査部位3に対してX線照射部5および検査ヘッド部6を同調しながら作動させるために、X線照射部5および検査ヘッド部6に走査装置14が備えられる。
【0102】
図7において実線矢印aは入射X線、実線矢印cは前方散乱X線をそれぞれ示す。さらに、破線矢印x、yおよびzはX線検査装置4の走査方向をそれぞれ示す。
【0103】
X線源7から放射された入射X線aは、照射側導波管16を通過することでコリメートされ、検査部位3のX線照射線19にライン状で一次元入射される。そして、X線照射線19からの前方散乱X線cは、ライン状で一次元の検出側導波管17を通して検出器11に伝送され、コリメートされた前方散乱X線cは、検出器11で特定信号に変換される。
【0104】
被検体2内部の検査部位3に対して、X線照射部5に備わるX線源7から入射X線aを放射する時に、走査装置14を作動させX線検査装置4を例えばx方向に移動走査させることで、この走査範囲での検査部位3の2次元信号が検出器11を介して画像処理装置13に伝送され、検査部位3の2次元画像が得られる。
【0105】
さらに、走査装置14を作動させX線検査装置4をx方向、z方向の2方向に移動走査させることで、検査部位3の3次元画像を得ることも可能である。
【0106】
このX線画像検査装置21Cでは、検出対象X線として散乱X線を使用しているので高コントラストな画像が提供できる。また、特にX線吸収率の高い被検体2の検査に対して、検査部位3の高分解能の2次元画像・3次元画像を短時間で提供することを可能にする。
【0107】
図8はX線画像検査装置の概略的な第8実施形態を示すものである。
【0108】
X線画像検査装置21Dは、検査部位3のX線照射線19に対して入射X線aを一次元入射させるために、照射側導波管16の出射側を複数本ライン状に一次元配列させる一方、X線照射線19からの前方散乱X線cを二次元検出するために、検出側導波管17の入射側を複数本マトリックス状あるいは行列状に二次元配列させる。
【0109】
X線画像検査装置21Dにおいて、検査部位3からの透過X線(ノイズ)を検出器11で感知させないために、検査部位3は、検査ヘッド部6に備える検出器11と間隔を開いて設置され、また、検査部位3と検出器11との間に遮蔽板を設けてもよい。
【0110】
図8において図7に付される部材と同一部材には同じ符号を付して説明を省略する。
【0111】
X線源7から放射された入射X線aは、照射側導波管16を通過することでコリメートされ、検査部位3のX線照射線19にライン状で一次元入射される。そして、X線照射線19からの前方散乱X線cは、マトリックス状あるいは行列状で二次元の検出側導波管17を通して検出器11に伝送され、コリメートされた前方散乱X線cは、検出器11で特定信号に変換される。
【0112】
これにより、X線検査装置4を移動走査することなく、検査部位3の2次元信号が検出器11を介して画像処理装置13に伝送され、検査部位3の2次元画像が得られる。
【0113】
さらに、被検体2内部の検査部位3に対して、X線照射部5に備わるX線源7から入射X線aを放射する時に、走査装置14を作動させX線検査装置4をz方向に移動走査させることで、検査部位3の3次元画像を得ることも可能である。
【0114】
このX線画像検査装置21Dでは、検出対象X線として散乱X線を使用しているので高コントラストな画像が提供できる。また、特にX線吸収率の高い被検体2の検査に対して、検査部位3の高分解能の2次元画像をリアルタイムで、高分解能の3次元画像を短時間で提供することを可能にする。
【0115】
図9はX線画像検査装置の概略的な第9実施形態を示すものである。
【0116】
X線画像検査装置21Eは、X線照射部5および検査ヘッド部6を、被検体2を中心として同調しながら回動させる走査装置22が備えられる。
【0117】
図9において図8と同一の部材には同じ部材を付して説明を省略する。なお、実線矢印aは入射X線、実線矢印cは前方散乱X線をそれぞれ示す。さらに、実線矢印x−zはX線照射部5および検査ヘッド部6の走査方向を示す。
【0118】
X線源7から放射された入射X線aは、照射側導波管16を通過することでコリメートされ、検査部位3のX線照射線19にライン状で一次元入射される。そして、X線照射線19からの前方散乱X線cは、マトリックス状あるいは行列状で二次元の検出側導波管17を通して検出器11に伝送され、コリメートされた前方散乱X線cは、検出器11で特定信号に変換される。
【0119】
被検体2内部の検査部位3に対して、X線照射部5に備わるX線源7から入射X線aを放射する時に、走査装置22を回動走査させX線検査装置4をx−z方向に走査させることで、検査部位3の2次元信号・3次元信号を得ることが可能である。
【0120】
さらに、この検出器11から得られた信号を電気配線12を介して画像処理装置13に伝送することによって、被検体2内部の検査部位3の2次元画像・3次元画像が得られる。
【0121】
加えて、このX線画像検査装置21Eでは、検査部位3の360°方向の情報を画像化できる。
【0122】
このX線画像検査装置21Eでは、検出対象X線として散乱X線を使用しているので高コントラストな画像が提供できる。また、特にX線吸収率の高い被検体2の検査に対して、検査部位3の高分解能の2次元画像・3次元画像を提供できる。
【0123】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、散乱X線を検査対象とすることで高コントラストな画像を提供できる。また、被検体内部の検査部位の2次元画像・3次元画像を高分解能で提供し、かつ、検査部位の画像化を短時間またはリアルタイムで提供することを可能にするX線画像検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るX線画像検査装置の第1実施形態を示す概略的なレイアウト図。
【図2】本発明に係るX線画像検査装置の第2実施形態を示す概略的なレイアウト図。
【図3】本発明に係るX線画像検査装置の第3実施形態を示す概略的なレイアウト図。
【図4】本発明に係るX線画像検査装置の第4実施形態を示す概略的なレイアウト図。
【図5】本発明に係るX線画像検査装置の第5実施形態を示す概略的なレイアウト図。
【図6】本発明に係るX線画像検査装置の第6実施形態を示す概略的なレイアウト図。
【図7】本発明に係るX線画像検査装置の第7実施形態を示す概略的なレイアウト図。
【図8】本発明に係るX線画像検査装置の第8実施形態を示す概略的なレイアウト図。
【図9】本発明に係るX線画像検査装置の第9実施形態を示す概略的なレイアウト図。
【符号の説明】
1,1A,1B 第1実施形態におけるX線画像検査装置
2 検査部位
3 被検体
4 X線検査装置
5 X線照射部
6 検出ヘッド部
7 X線源
8 コリメータ
9 X線照射点
10 コリメータ
11 検出器
12 電気配線
13 画像処理装置
14 走査装置
16 導波管
17 導波管
18 X線照射軸
19 X線照射線
21,21A,21B,21C,21D,21E X線画像検査装置
22 走査装置
a 入射X線の方向
b 後方散乱X線の方向
c 前方散乱X線の方向
x,y,z 走査方向
x−z 走査方向
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査対象に入射したX線のうち特定部位からの散乱X線をとらえることで高コントラストな画像を提供できる放射線検査関連の技術に係り、特に、被検体の高分解能の2次元画像・3次元画像を、短時間またはリアルタイムで提供することを可能にするX線画像検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
被透検体の検査部位の情報を得るには、この検査部位にX線を照射することによって検査部位から透過される透過X線を検出する方法、検査部位から散乱(反射)される散乱X線(反射X線)を検出する方法、検査部位成分中の原子から放出される蛍光X線を検出する方法などがある。
【0003】
被検体内部の検査部位の画像を得る場合、細いビーム状のX線を入射して、その特定部位からの透過X線あるいは散乱X線信号を検出対象とする方法で行われている。これらの場合、検査部位に対し、X線装置自体を2次元的に走査させることにより、検査部位における入射X線を2次元的に入射させ、検出器で得られる2次元情報を画像化する。
【0004】
また、透過X線あるいは散乱X線を信号としてとらえ検出する方法では、被検体に対し、X線検査装置自体を3次元的に走査させることにより、検査部位における入射X線を3次元的に入射させ、検出器で得られる3次元情報を2次元的に画像化する。
【0005】
ただし、散乱X線を検出対象とする方法では、X線コンプトン散乱を用いることから、コンプトン散乱の対象となる電子の密度の大小によってその信号量が比例するので、被検体内部の密度不連続部分を感知することができる。然るに、散乱X線を検出対象とする方法では、透過X線を検出対象とする方法と比較して高コントラストな画像を入手できる等の長所がある。
【0006】
X線を照射する方法において、検査部位の情報を高分解能で得るためには、X線源からの入射X線のエネルギーを大きくする方法、X線源から漏洩するX線(ノイズ)を検出部で感知させない目的でX線源と検出部との間に遮蔽板を備える方法などがある。これらの場合、検出器で感知する情報のS/N比が増加する。
【0007】
同様に、検査部位の情報を高分解能で得るためには、目的とする検査部位以外からの信号量を抑える目的で被検体への入射X線と、被検体からの出射X線とをそれぞれコリメートする方法がある。
【0008】
X線を用いた被検体内部の検査部位の解析装置としては、特開2001−201468号公報のように、検査部位からの出射X線をコリメートする目的で、X線照射点を頂点としX線照射軸を軸芯とする円錐面に導波管が備えられる装置が報告されている。
【0009】
さらに、散乱X線を検出対象とする方法には、検査部位から入射X線側に散乱されるX線を検出対象とする方法と、検査部位から入射X線とは反対側に散乱されるX線を検出対象とする方法とがあり、用途により使い分けられる。
【0010】
後方散乱X線を検出対象とする方法では、X線源と検出器が被検体に対して一方向に配置でき、大型対象物の検査に適用される。
【0011】
一方、前方散乱X線を検出対象とする方法では、例えば被検体のX線吸収率が高く、厚みがある場合には、X線源から照射するX線のエネルギーを高くする必要があり、このエネルギーが例えば100keVを越える場合に適用される。なぜなら、X線源から照射するX線のエネルギーが高い場合、検査部位から前方に散乱するX線の数と比べ、後方に散乱するX線の数は極端に少ないからである。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
被検体の2次元画像・3次元画像を得る方法として散乱X線を検出対象とすることで、高コントラストな画像が入手できる。ただし、2次元画像・3次元画像を得るにはX線装置自体を走査させる必要があり、走査装置のバックラッシュ(がたつき)による機械的な誤差を生じるという点で、検出器への情報の精度が悪化する。
【0013】
さらに、前記走査を行うためには長時間を要する。走査に要する時間にはばらつきこそあるが、例えば、50mm立法の検査部位における走査時間は、最低でも1分程度はかかる。
【0014】
検査部位にX線を照射することによって検査部位から出射される散乱X線を検出する方法では、X線源と検出部との間に遮蔽板を備えることにより、検出器に入射する目的部位以外の散乱X線信号を抑制しノイズの量を抑えることによって検出信号のS/N比を増加できるが、X線源と検出部との配置を遠ざけることでも検出信号のS/N比を増加できる。
【0015】
さらに、目的とする検査部位以外からの信号量を抑える目的で、被検体への入射X線、被検体からの出射X線をコリメータを用いてコリメートすると、このコリメータによってX線量が絞られ、有効なX線量が減少されるに伴って有効な信号量も減少するので、高分解能の情報を得ることは難しい。
【0016】
また、被検体への入射X線、被検体からの出射X線を捉えるためのコリメータを精度良く製作することが困難であること、コリメータを通過するX線成分がリング状となり、検出器ヘッド形状とのマッチングが困難であるとなることなどの弱点もある。
【0017】
この散乱X線検査において、X線吸収率が高く、厚みのある対象物を検査する場合において高分解能の情報を得ようとすると、入射X線のエネルギーを高くする方法がある。この場合、エネルギーの増加に伴って散乱X線の後方成分が減少して前方成分が増加するので、後方成分を捉えることは困難となる。
【0018】
最後に、後方散乱X線検査と前方散乱X線検査にはそれぞれ特性があり、後方散乱X線検査と前方散乱X線検査、双方に適用できる検査装置であれば、双方の特性を充分に生かすことができる。
【0019】
本発明は、このような問題を解決するために提案されたものであり、散乱X線を検査対象とすることで高コントラストな画像を提供することを目的とする。また、いかなるX線吸収率の被検体においても、この被検体内部の検査部位の2次元画像・3次元画像を高分解能で提供し、かつ、検査部位の画像化を短時間またはリアルタイムで提供することを可能にするX線画像検査装置を提供することを目的とする。
【0020】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るX線画像検査装置は、上述した課題を解決するために請求項1に記載したように、被検体内部の検査部位の後方散乱X線情報を得るためのX線検査装置と、前記X線検査装置を作動させる走査装置と、前記X線検査装置から得られる後方散乱X線情報を画像化する画像処理装置とを有し、前記X線検査装置には、X線発生装置としてのX線源と、前記X線源から放射されるX線をコリメートするために、出射側がX線照射点を頂点としX線照射軸を軸芯とする第一円錐面上に備えられる照射側導波管と、前記X線照射点からの後方散乱X線をコリメートするために、入射側がX線照射点を頂点としX線照射軸を軸芯とする第二円錐面上に備えられる検出側導波管と、前記検出側導波管の出射側に検出器とを備えたことを特徴とする。
【0021】
また、本発明のX線画像検査装置は、請求項2に記載したように、被検体内部の検査部位の後方散乱X線情報を得るためのX線検査装置と、前記X線検査装置を作動させる走査装置と、前記X線検査装置から得られる後方散乱X線情報を画像化する画像処理装置とを有し、前記X線検査装置には、X線発生装置としてのX線源と、前記X線源から放射されるX線をコリメートするために、出射側がライン状に一次元配置される照射側導波管と、前記X線照射線からの後方散乱X線をコリメートするために、入射側がライン状に一次元配置される検出側導波管と、前記検出側導波管の出射側に検出器とを備えたことを特徴とする。
【0022】
さらに、本発明のX線画像検査装置は、請求項3に記載したように、前記被検体内部の検査部位のX線照射線からの後方散乱X線をコリメートするための検出側導波管の入射側がマトリックス状あるいは行列状に二次元配置されたことを特徴とする。
【0023】
また、本発明のX線画像検査装置は、請求項4に記載したように、被検体内部の検査部位の前方散乱X線情報を得るためのX線検査装置と、前記X線検査装置を作動させる走査装置と、前記X線検査装置から得られる前方散乱X線情報を画像化する画像処理装置とを有し、前記X線検査装置には、X線発生装置としてのX線源と、前記X線源から放射されるX線をコリメートするための照射側コリメータと、前記X線照射点からの前方散乱X線をコリメートするために、前記X線照射点を頂点としX線照射軸を軸芯とする円錐面に備えられる検出側導波管と、前記検出側導波管の出射側に検出器とを備えたことを特徴とする。
【0024】
さらに、本発明のX線画像検査装置は、請求項5に記載したように、前記X線源から放射されるX線をコリメートするための照射側導波管の出射側が、X線照射点を頂点としX線照射軸を軸芯とする第二円錐面に備えたことを特徴とする。
【0025】
また、本発明のX線画像検査装置は、請求項6に記載したように、被検体内部の検査部位の前方散乱X線情報を得るためのX線検査装置と、前記X線検査装置を作動させる走査装置と、前記X線検査装置から得られる前方散乱X線情報を画像化する画像処理装置とを有し、前記X線検査装置には、X線発生装置としてのX線源と、前記X線源から放射されるX線をコリメートするために、出射側がライン状に一次元配置される照射側導波管と、前記X線照射線からの前方散乱X線をコリメートするために、入射側がライン状に一次元配置される検出側導波管と、前記検出側導波管の出射側に検出器とを備えたことを特徴とする。
【0026】
さらに、本発明のX線画像検査装置は、請求項7に記載したように、前記被検体内部の検査部位のX線照射線からの前方散乱X線をコリメートするための検出側導波管の入射側がマトリックス状あるいは行列状に二次元配置されたことを特徴とする。
【0027】
また、本発明のX線画像検査装置は、請求項8に記載したように、前記X線検査装置において、被検体内部の検査部位の360°方向の画像を得るために、前記被検体内部の検査部位を中心にして前記X線検査装置を回動走査させるための走査装置を備えたことを特徴とする。
【0028】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るX線画像検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【0029】
図1はX線画像検査装置の概略的な第1実施形態を示すものである。
【0030】
X線画像検査装置1は、被検体2内部の検査部位3に対してX線検査装置4が備えられる。このX線検査装置4は、X線照射部5と検査ヘッド部6とがそれぞれ備えられ、このX線照射部5にはX線源7と、このX線源7から被検体2内部の検査部位3に入射される入射X線aをコリメートするための複数の照射側導波管16が備えられる。
【0031】
一方、検査ヘッド部6にはX線照射点9からの後方散乱X線bをコリメートするための複数の検出側導波管17と、コリメートされた後方散乱X線bを特定信号に変化する検出器11とが備えられる。なお、検出側導波管17は、前記X線照射部5に備える照射側導波管16と同一性状のものでよい。
【0032】
なお、照射側導波管16の出射側はX線照射点9を頂点としX線照射軸18を軸芯とする第一円錐面上に配置される一方、検出側導波管17の入射側はX線照射点9を頂点としX線照射軸18を軸芯とする第二円錐面上に配置される。
【0033】
X線画像検査装置1において、X線源7から漏洩するX線(ノイズ)を検出器11で感知させないために、X線照射部5に備えるX線源7は、検査ヘッド部6に備える検出器11と間隔を開いて設置され、また、X線源7と検出器11との間に遮蔽板を設けてもよい。
【0034】
さらに、この検出器11から電気配線12を介して画像処理装置13が接続される。
【0035】
また、被検体に対してX線検査装置4を作動させるために、X線検査装置4に走査装置14が備えられる。
【0036】
図1において実線矢印aは入射X線、実線矢印bは後方散乱X線をそれぞれ示す。さらに、実線矢印x、yおよびzはX線検査装置4の走査方向をそれぞれ示す。
【0037】
X線源7から放射された入射X線aは、照射側導波管16を通過することでコリメートされ、検査部位3のX線照射点9に入射される。そして、このX線照射点9からの後方散乱X線bは、検出側導波管17を通して検出器11に伝送され、コリメートされた後方散乱X線bは、検出器11で特定信号に変換される。
【0038】
被検体2内部の検査部位3に対して、X線検査装置4に備わるX線源7から入射X線aを放射する時に、走査装置14を作動させX線検査装置4を例えばx方向、y方向の2方向に移動走査させることで、この走査範囲での検査部位3の2次元信号が検出器11を介して画像処理装置13に伝送され、検査部位3の2次元画像が得られる。
【0039】
さらに、走査装置14を作動させX線検査装置4をx方向、y方向、z方向の3方向に移動走査させることで、検査部位3の3次元画像を得ることも可能である。
【0040】
このX線画像検査装置1では、検出対象X線として散乱X線を使用しているので高コントラストな画像が提供できる。また、検査部位3の高分解能の2次元画像・3次元画像を提供することを可能にする。
【0041】
図2はX線画像検査装置の概略的な第2実施形態を示すものである。
【0042】
X線画像検査装置1Aは、被検体2内部の検査部位3に対してX線検査装置4が備えられる。このX線検査装置4は、X線照射部5と検査ヘッド部6とがそれぞれ備えられ、このX線照射部5にはX線源7と、このX線源7から被検体2内部の検査部位3に入射される入射X線aをコリメートするための複数の照射側導波管16が備えられる。
【0043】
一方、検査ヘッド部6には、後方散乱X線bをコリメートするための複数の検出側導波管17と、コリメートされた後方散乱X線bを特定信号に変化する検出器11とが備えられる。なお、検出側導波管17は、前記X線照射部5に備える照射側導波管16と同一性状のものでよい。
【0044】
なお、検査部位3のX線照射線19に対して入射X線aを一次元入射させるために、照射側導波管16の出射側を複数本ライン状に一次元配列させる一方、X線照射線19からの後方散乱X線bを一次元検出するために、検出側導波管17の入射側を複数本ライン状に一次元配列させる。
【0045】
X線画像検査装置1Aにおいて、X線源7から漏洩するX線(ノイズ)を検出器11で感知させないために、X線照射部5に備えるX線源7は、検査ヘッド部6に備える検出器11と間隔を開いて設置され、また、X線源7と検出器11との間に遮蔽板を設けてもよい。
【0046】
さらに、この検出器11から電気配線12を介して画像処理装置13が接続される。
【0047】
また、被検体に対してX線検査装置4を作動させるために、X線検査装置4に走査装置14が備えられる。
【0048】
図2において実線矢印aは入射X線、実線矢印bは後方散乱X線をそれぞれ示す。さらに、破線矢印x、yおよびzはX線検査装置4の走査方向をそれぞれ示す。
【0049】
X線源7から放射された入射X線aは、照射側導波管16を通過することでコリメートされ、検査部位3のX線照射線19にライン状で一次元入射される。そして、X線照射線19からの後方散乱X線bは、ライン状で一次元の検出側導波管17を通して検出器11に伝送され、コリメートされた後方散乱X線bは、検出器11で特定信号に変換される。
【0050】
被検体2内部の検査部位3に対して、X線検査装置4に備わるX線源7から入射X線aを放射する時に、走査装置14を作動させX線検査装置4を例えばx方向に移動走査させることで、この走査範囲での検査部位3の2次元信号が検出器11を介して画像処理装置13に伝送され、検査部位3の2次元画像が得られる。
【0051】
さらに、走査装置14を作動させX線検査装置4をx方向とz方向の2方向に移動走査させることで、検査部位3の3次元画像を得ることも可能である。
【0052】
このX線画像検査装置1Aでは、検出対象X線として散乱X線を使用しているので高コントラストな画像が提供できる。また、検査部位3の高分解能の2次元画像・3次元画像を短時間で提供することを可能にする。
【0053】
図3はX線画像検査装置の概略的な第3実施形態を示すものである。
【0054】
X線画像検査装置1Bは、検査部位3のX線照射線19に対して入射X線aを一次元入射させるために、照射側導波管16の出射側を複数本ライン状に一次元配列させる一方、X線照射線19からの後方散乱X線bを二次元検出するために、検出側導波管17の入射側を複数本マトリックス状あるいは行列状に二次元配列させる。
【0055】
X線画像検査装置1Bにおいて、X線源7から漏洩するX線(ノイズ)を検出器11で感知させないために、X線照射部5に備えるX線源7は、検査ヘッド部6に備える検出器11と間隔を開いて設置され、また、X線源7と検出器11との間に遮蔽板を設けてもよい。
【0056】
図3において図2に付される部材と同一部材には同じ符号を付して説明を省略する。
【0057】
X線源7から放射された入射X線aは、照射側導波管16を通過することでコリメートされ、検査部位3のX線照射線19にライン状で一次元入射される。そして、X線照射線19からの後方散乱X線bは、マトリックス状あるいは行列状で二次元の検出側導波管17を通して検出器11に伝送され、コリメートされた後方散乱X線bは、検出器11で特定信号に変換される。
【0058】
これにより、X線検査装置4を移動走査することなく、検査部位3の2次元信号が検出器11を介して画像処理装置13に伝送され、検査部位3の2次元画像が得られる。
【0059】
さらに、被検体2内部の検査部位3に対して、X線照射部5に備わるX線源7から入射X線aを放射する時に、走査装置14を作動させX線検査装置4をz方向に移動走査させることで、検査部位3の3次元画像を得ることも可能である。
【0060】
このX線画像検査装置1Bでは、検出対象X線として散乱X線を使用しているので高コントラストな画像が提供できる。また、検査部位3の高分解能の2次元画像をリアルタイムで、高分解能の3次元画像を短時間で提供することを可能にする。
【0061】
図4はX線画像検査装置の概略的な第4実施形態を示すものである。
【0062】
X線画像検査装置21は、被検体2内部の検査部位3に対してX線照射部5および検査ヘッド部6とがそれぞれ挟持し、このX線照射部5にはX線源7と、このX線源7から被検体2内部の検査部位3に入射される入射X線aをコリメートするための照射側コリメータ8が備えられる。
【0063】
一方、検査ヘッド部6には前方散乱X線cをコリメートするための検出側コリメータ10と、このコリメートされた前方散乱X線cを特定信号に変化する検出器11とが備えられる。なお、検出側コリメータ10は、前記X線照射部4に備える照射側コリメータ8と同一性状のものでよい。
【0064】
さらに、この検出器11から電気配線12を介して画像処理装置13が接続される。
【0065】
また、被検体2内部の検査部位3に対してX線照射部5および検査ヘッド部6を同調しながら作動させるために、X線照射部5および検査ヘッド部6に走査装置14が備えられる。
【0066】
図4において実線矢印aは入射X線、実線矢印cは前方散乱X線をそれぞれ示す。さらに、実線矢印x、yおよびzはX線照射部5および検査ヘッド部6の走査方向をそれぞれ示す。
【0067】
X線源7から放射された入射X線aは、照射側コリメータ8を通過することでコリメートされ、検査部位3のX線照射点9に入射される。そして、このX線照射点9からの前方散乱X線cは、検出側コリメータ10を通して検出器11に伝送され、このコリメートされた前方散乱X線cは、検出器11で特定信号に変換される。
【0068】
被検体2内部の検査部位3に対して、X線照射部5に備わるX線源7から入射X線aを放射する時に、走査装置14を作動させX線照射部5および検査ヘッド部6を例えばx方向、y方向の2方向に移動走査させることで、この走査範囲での検査部位3の2次元信号が検出器11を介して画像処理装置13に伝送され、検査部位3の2次元画像が得られる。
【0069】
さらに、走査装置14を作動させX線照射部5および検査ヘッド部6をx方向、y方向、z方向の3方向に移動走査させることで、検査部位3の3次元画像を得ることも可能である。
【0070】
このX線画像検査装置21では、検出対象X線として散乱X線を使用しているので高コントラストな画像が提供できる。また、特にX線吸収率の高い被検体2の検査に対して、検査部位3の高分解能の2次元画像・3次元画像を提供することを可能にする。
【0071】
図5はX線画像検査装置の概略的な第5実施形態を示すものである。
【0072】
X線画像検査装置21Aは、被検体2内部の検査部位3に対してX線照射部5と検査ヘッド部6とがそれぞれ挟持し、このX線照射部4にはX線源7と、このX線源7から被検体2内部の検査部位3に入射される入射X線aをコリメートするための照射側コリメータ8が備えられる。
【0073】
一方、検査ヘッド部6には前方散乱X線cをコリメートするための複数の検出側導波管17と、このコリメートされた前方散乱X線cを特定信号に変化する検出器11とが備えられる。
【0074】
なお、この検出側導波管17の入射側はX線照射点9を頂点としX線照射軸18を軸芯とする円錐面上に配置される。
【0075】
X線画像検査装置21Aにおいて、検査部位3のX線照射点9からの透過X線(ノイズ)を検出器11で感知させないために、被検体2は、検査ヘッド部6に備える検出器11と間隔を開いて設置され、また、被検体2と検出器11との間に遮蔽板を設けてもよい。
【0076】
さらに、この検出器11から電気配線12を介して画像処理装置13が接続される。
【0077】
また、被検体2内部の検査部位3に対してX線照射部5および検査ヘッド部6を同調しながら作動させるために、X線照射部5および検査ヘッド部6に走査装置14が備えられる。
【0078】
図5において実線矢印aは入射X線、実線矢印cは前方散乱X線をそれぞれ示す。さらに、破線矢印x、yおよびzはX線検査装置4の走査方向をそれぞれ示す。
【0079】
X線源7から放射された入射X線aは、コリメータ8を通過することでコリメートされ、検査部位3のX線照射点9に入射される。そして、このX線照射点9からの前方散乱X線cは、検出側導波管17を通して検出器11に伝送され、コリメートされた前方散乱X線cは、検出器11で特定信号に変換される。
【0080】
被検体2内部の検査部位3に対して、X線検査装置4に備わるX線源7から入射X線aを放射する時に、走査装置14を作動させX線検査装置4を例えばx方向、y方向の2方向に移動走査させることで、この走査範囲での検査部位3の2次元信号が検出器11を介して画像処理装置13に伝送され、検査部位3の2次元画像が得られる。
【0081】
さらに、走査装置14を作動させX線検査装置4をx方向、y方向、z方向の3方向に移動走査させることで、検査部位3の3次元画像を得ることも可能である。
【0082】
このX線画像検査装置21Aでは、検出対象X線として散乱X線を使用しているので高コントラストな画像が提供できる。また、特にX線吸収率の高い被検体2の検査に対して、検査部位3の高分解能の2次元画像・3次元画像を提供することを可能にする。
【0083】
図6はX線画像検査装置の概略的な第6実施形態を示すものである。
【0084】
X線画像検査装置21Bでは、被検体2内部の検査部位3に対してX線照射部5と検査ヘッド部6とがそれぞれ挟持し、このX線照射部4にはX線源7と、このX線源7から被検体2内部の検査部位3に入射される入射X線aをコリメートするための複数の照射側導波管16が備えられる。
【0085】
一方、検査ヘッド部6には前方散乱X線cをコリメートするための複数の検出側導波管17と、このコリメートされた前方散乱X線cを特定信号に変化する検出器11とが備えられる。なお、この検出側導波管17は、前記X線照射部5に備える照射側導波管16と同一性状のものでよい。
【0086】
なお、照射側導波管16の出射側はX線照射点9を頂点としX線照射軸18を軸芯とする第一円錐面上に配置される一方、検出側導波管17の入射側はX線照射点9を頂点としX線照射軸18を軸芯とする第二円錐面上に配置される。
【0087】
X線画像検査装置21Bにおいて、X線照射点9からの透過X線(ノイズ)を検出器11で感知させないために、被検体3は、検査ヘッド部6に備える検出器11と間隔を開いて設置され、また、被検体3と検出器11との間に遮蔽板を設けてもよい。
【0088】
さらに、この検出器11から電気配線12を介して画像処理装置13が接続される。
【0089】
また、被検体2内部の検査部位3に対してX線照射部5および検査ヘッド部6を同調しながら作動させるために、X線照射部5および検査ヘッド部6に走査装置14が備えられる。
【0090】
図6において実線矢印aは入射X線、実線矢印cは前方散乱X線をそれぞれ示す。さらに、破線矢印x、yおよびzはX線検査装置4の走査方向をそれぞれ示す。
【0091】
X線源7から放射された入射X線aは、照射側導波管16を通過することでコリメートされ、検査部位3のX線照射点9に入射される。そして、このX線照射点9からの前方散乱X線cは、検出側導波管17を通して検出器11に伝送され、コリメートされた前方散乱X線cは、検出器11で特定信号に変換される。
【0092】
被検体2内部の検査部位3に対して、X線照射部5に備わるX線源7から入射X線aを放射する時に、走査装置14を作動させX線検査装置4を例えばx方向、y方向の2方向に移動走査させることで、この走査範囲での検査部位3の2次元信号が検出器11を介して画像処理装置13に伝送され、検査部位3の2次元画像が得られる。
【0093】
さらに、走査装置14を作動させX線検査装置4をx方向、y方向、z方向の3方向に移動走査させることで、検査部位3の3次元画像を得ることも可能である。
【0094】
このX線画像検査装置21Bでは、検出対象X線として散乱X線を使用しているので高コントラストな画像が提供できる。また、特にX線吸収率の高い被検体2の検査に対して、検査部位3の高分解能の2次元画像・3次元画像を提供することを可能にする。
【0095】
図7はX線画像検査装置の概略的な第7実施形態を示すものである。
【0096】
X線画像検査装置21Cは、被検体2内部の検査部位3に対してX線照射部5と検査ヘッド部6とがそれぞれ挟持し、このX線照射部4にはX線源7と、このX線源7から被検体2内部の検査部位3に入射される入射X線aをコリメートするための複数の照射側導波管16が備えられる。
【0097】
一方、検査ヘッド部6には前方散乱X線cをコリメートするための複数の検出側導波管17と、コリメートされた前方散乱X線cを特定信号に変化する検出器11とが備えられる。なお、この検出側導波管17は、前記X線照射部5に備える照射側導波管16と同一性状のものでよい。
【0098】
なお、検査部位3のX線照射線19に対して入射X線aを一次元入射させるために、照射側導波管16の出射側を複数本ライン状に一次元配列させる一方、X線照射線19からの後方散乱X線bを一次元検出するために、検出側導波管17の入射側を複数本ライン状に一次元配列させる。
【0099】
X線画像検査装置21Cにおいて、検査部位3からの透過X線(ノイズ)を検出器11で感知させないために、検査部位3は、検査ヘッド部6に備える検出器11と間隔を開いて設置され、また、検査部位3と検出器11との間に遮蔽板を設けてもよい。
【0100】
さらに、この検出器11から電気配線12を介して画像処理装置13が接続される。
【0101】
また、被検体2内部の検査部位3に対してX線照射部5および検査ヘッド部6を同調しながら作動させるために、X線照射部5および検査ヘッド部6に走査装置14が備えられる。
【0102】
図7において実線矢印aは入射X線、実線矢印cは前方散乱X線をそれぞれ示す。さらに、破線矢印x、yおよびzはX線検査装置4の走査方向をそれぞれ示す。
【0103】
X線源7から放射された入射X線aは、照射側導波管16を通過することでコリメートされ、検査部位3のX線照射線19にライン状で一次元入射される。そして、X線照射線19からの前方散乱X線cは、ライン状で一次元の検出側導波管17を通して検出器11に伝送され、コリメートされた前方散乱X線cは、検出器11で特定信号に変換される。
【0104】
被検体2内部の検査部位3に対して、X線照射部5に備わるX線源7から入射X線aを放射する時に、走査装置14を作動させX線検査装置4を例えばx方向に移動走査させることで、この走査範囲での検査部位3の2次元信号が検出器11を介して画像処理装置13に伝送され、検査部位3の2次元画像が得られる。
【0105】
さらに、走査装置14を作動させX線検査装置4をx方向、z方向の2方向に移動走査させることで、検査部位3の3次元画像を得ることも可能である。
【0106】
このX線画像検査装置21Cでは、検出対象X線として散乱X線を使用しているので高コントラストな画像が提供できる。また、特にX線吸収率の高い被検体2の検査に対して、検査部位3の高分解能の2次元画像・3次元画像を短時間で提供することを可能にする。
【0107】
図8はX線画像検査装置の概略的な第8実施形態を示すものである。
【0108】
X線画像検査装置21Dは、検査部位3のX線照射線19に対して入射X線aを一次元入射させるために、照射側導波管16の出射側を複数本ライン状に一次元配列させる一方、X線照射線19からの前方散乱X線cを二次元検出するために、検出側導波管17の入射側を複数本マトリックス状あるいは行列状に二次元配列させる。
【0109】
X線画像検査装置21Dにおいて、検査部位3からの透過X線(ノイズ)を検出器11で感知させないために、検査部位3は、検査ヘッド部6に備える検出器11と間隔を開いて設置され、また、検査部位3と検出器11との間に遮蔽板を設けてもよい。
【0110】
図8において図7に付される部材と同一部材には同じ符号を付して説明を省略する。
【0111】
X線源7から放射された入射X線aは、照射側導波管16を通過することでコリメートされ、検査部位3のX線照射線19にライン状で一次元入射される。そして、X線照射線19からの前方散乱X線cは、マトリックス状あるいは行列状で二次元の検出側導波管17を通して検出器11に伝送され、コリメートされた前方散乱X線cは、検出器11で特定信号に変換される。
【0112】
これにより、X線検査装置4を移動走査することなく、検査部位3の2次元信号が検出器11を介して画像処理装置13に伝送され、検査部位3の2次元画像が得られる。
【0113】
さらに、被検体2内部の検査部位3に対して、X線照射部5に備わるX線源7から入射X線aを放射する時に、走査装置14を作動させX線検査装置4をz方向に移動走査させることで、検査部位3の3次元画像を得ることも可能である。
【0114】
このX線画像検査装置21Dでは、検出対象X線として散乱X線を使用しているので高コントラストな画像が提供できる。また、特にX線吸収率の高い被検体2の検査に対して、検査部位3の高分解能の2次元画像をリアルタイムで、高分解能の3次元画像を短時間で提供することを可能にする。
【0115】
図9はX線画像検査装置の概略的な第9実施形態を示すものである。
【0116】
X線画像検査装置21Eは、X線照射部5および検査ヘッド部6を、被検体2を中心として同調しながら回動させる走査装置22が備えられる。
【0117】
図9において図8と同一の部材には同じ部材を付して説明を省略する。なお、実線矢印aは入射X線、実線矢印cは前方散乱X線をそれぞれ示す。さらに、実線矢印x−zはX線照射部5および検査ヘッド部6の走査方向を示す。
【0118】
X線源7から放射された入射X線aは、照射側導波管16を通過することでコリメートされ、検査部位3のX線照射線19にライン状で一次元入射される。そして、X線照射線19からの前方散乱X線cは、マトリックス状あるいは行列状で二次元の検出側導波管17を通して検出器11に伝送され、コリメートされた前方散乱X線cは、検出器11で特定信号に変換される。
【0119】
被検体2内部の検査部位3に対して、X線照射部5に備わるX線源7から入射X線aを放射する時に、走査装置22を回動走査させX線検査装置4をx−z方向に走査させることで、検査部位3の2次元信号・3次元信号を得ることが可能である。
【0120】
さらに、この検出器11から得られた信号を電気配線12を介して画像処理装置13に伝送することによって、被検体2内部の検査部位3の2次元画像・3次元画像が得られる。
【0121】
加えて、このX線画像検査装置21Eでは、検査部位3の360°方向の情報を画像化できる。
【0122】
このX線画像検査装置21Eでは、検出対象X線として散乱X線を使用しているので高コントラストな画像が提供できる。また、特にX線吸収率の高い被検体2の検査に対して、検査部位3の高分解能の2次元画像・3次元画像を提供できる。
【0123】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、散乱X線を検査対象とすることで高コントラストな画像を提供できる。また、被検体内部の検査部位の2次元画像・3次元画像を高分解能で提供し、かつ、検査部位の画像化を短時間またはリアルタイムで提供することを可能にするX線画像検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るX線画像検査装置の第1実施形態を示す概略的なレイアウト図。
【図2】本発明に係るX線画像検査装置の第2実施形態を示す概略的なレイアウト図。
【図3】本発明に係るX線画像検査装置の第3実施形態を示す概略的なレイアウト図。
【図4】本発明に係るX線画像検査装置の第4実施形態を示す概略的なレイアウト図。
【図5】本発明に係るX線画像検査装置の第5実施形態を示す概略的なレイアウト図。
【図6】本発明に係るX線画像検査装置の第6実施形態を示す概略的なレイアウト図。
【図7】本発明に係るX線画像検査装置の第7実施形態を示す概略的なレイアウト図。
【図8】本発明に係るX線画像検査装置の第8実施形態を示す概略的なレイアウト図。
【図9】本発明に係るX線画像検査装置の第9実施形態を示す概略的なレイアウト図。
【符号の説明】
1,1A,1B 第1実施形態におけるX線画像検査装置
2 検査部位
3 被検体
4 X線検査装置
5 X線照射部
6 検出ヘッド部
7 X線源
8 コリメータ
9 X線照射点
10 コリメータ
11 検出器
12 電気配線
13 画像処理装置
14 走査装置
16 導波管
17 導波管
18 X線照射軸
19 X線照射線
21,21A,21B,21C,21D,21E X線画像検査装置
22 走査装置
a 入射X線の方向
b 後方散乱X線の方向
c 前方散乱X線の方向
x,y,z 走査方向
x−z 走査方向
Claims (8)
- 被検体内部の検査部位の後方散乱X線情報を得るためのX線検査装置と、
前記X線検査装置を作動させる走査装置と、
前記X線検査装置から得られる後方散乱X線情報を画像化する画像処理装置とを有し、
前記X線検査装置には、X線発生装置としてのX線源と、
前記X線源から放射されるX線をコリメートするために、出射側がX線照射点を頂点としX線照射軸を軸芯とする第一円錐面上に備えられる照射側導波管と、前記X線照射点からの後方散乱X線をコリメートするために、入射側がX線照射点を頂点としX線照射軸を軸芯とする第二円錐面上に備えられる検出側導波管と、
前記検出側導波管の出射側に検出器とを備えたことを特徴とするX線画像検査装置。 - 被検体内部の検査部位の後方散乱X線情報を得るためのX線検査装置と、
前記X線検査装置を作動させる走査装置と、
前記X線検査装置から得られる後方散乱X線情報を画像化する画像処理装置とを有し、
前記X線検査装置には、X線発生装置としてのX線源と、
前記X線源から放射されるX線をコリメートするために、出射側がライン状に一次元配置される照射側導波管と、
前記X線照射線からの後方散乱X線をコリメートするために、入射側がライン状に一次元配置される検出側導波管と、
前記検出側導波管の出射側に検出器とを備えたことを特徴とするX線画像検査装置。 - 前記被検体内部の検査部位のX線照射線からの後方散乱X線をコリメートするための検出側導波管の入射側がマトリックス状あるいは行列状に二次元配置されたことを特徴とする請求項2記載のX線画像検査装置。
- 被検体内部の検査部位の前方散乱X線情報を得るためのX線検査装置と、
前記X線検査装置を作動させる走査装置と、
前記X線検査装置から得られる前方散乱X線情報を画像化する画像処理装置とを有し、
前記X線検査装置には、X線発生装置としてのX線源と、
前記X線源から放射されるX線をコリメートするための照射側コリメータと、前記X線照射点からの前方散乱X線をコリメートするために、前記X線照射点を頂点としX線照射軸を軸芯とする円錐面に備えられる検出側導波管と、
前記検出側導波管の出射側に検出器とを備えたことを特徴とするX線画像検査装置。 - 前記X線源から放射されるX線をコリメートするための照射側導波管の出射側が、X線照射点を頂点としX線照射軸を軸芯とする第二円錐面に備えたことを特徴とする請求項4記載のX線画像検査装置。
- 被検体内部の検査部位の前方散乱X線情報を得るためのX線検査装置と、
前記X線検査装置を作動させる走査装置と、
前記X線検査装置から得られる前方散乱X線情報を画像化する画像処理装置とを有し、
前記X線検査装置には、X線発生装置としてのX線源と、
前記X線源から放射されるX線をコリメートするために、出射側がライン状に一次元配置される照射側導波管と、
前記X線照射線からの前方散乱X線をコリメートするために、入射側がライン状に一次元配置される検出側導波管と、
前記検出側導波管の出射側に検出器とを備えたことを特徴とするX線画像検査装置。 - 前記被検体内部の検査部位のX線照射線からの前方散乱X線をコリメートするための検出側導波管の入射側がマトリックス状あるいは行列状に二次元配置されたことを特徴とする請求項6記載のX線画像検査装置。
- 前記X線検査装置において、被検体内部の検査部位の360°方向の画像を得るために、前記被検体内部の検査部位を中心にして前記X線検査装置を回動走査させるための走査装置を備えたことを特徴とする請求項7記載のX線画像検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002203766A JP2004045247A (ja) | 2002-07-12 | 2002-07-12 | X線画像検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002203766A JP2004045247A (ja) | 2002-07-12 | 2002-07-12 | X線画像検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004045247A true JP2004045247A (ja) | 2004-02-12 |
Family
ID=31709547
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002203766A Pending JP2004045247A (ja) | 2002-07-12 | 2002-07-12 | X線画像検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004045247A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009526326A (ja) * | 2006-02-10 | 2009-07-16 | ザ・ボーイング・カンパニー | 構造およびシステムの変更のための非ラインオブサイトリバースエンジニアリング |
JP2012513023A (ja) * | 2008-12-19 | 2012-06-07 | クロメック リミテッド | 材料の特性評価のための装置及び方法 |
CN103076350A (zh) * | 2013-01-04 | 2013-05-01 | 公安部第一研究所 | 一种移动背散射x射线安全检查方法及装置 |
JP2013174587A (ja) * | 2012-02-14 | 2013-09-05 | Aribex Inc | 三次元後方散乱撮像システム |
-
2002
- 2002-07-12 JP JP2002203766A patent/JP2004045247A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009526326A (ja) * | 2006-02-10 | 2009-07-16 | ザ・ボーイング・カンパニー | 構造およびシステムの変更のための非ラインオブサイトリバースエンジニアリング |
JP2013030170A (ja) * | 2006-02-10 | 2013-02-07 | Boeing Co:The | 構造およびシステムの変更のための非ラインオブサイトリバースエンジニアリング |
JP2012513023A (ja) * | 2008-12-19 | 2012-06-07 | クロメック リミテッド | 材料の特性評価のための装置及び方法 |
JP2013174587A (ja) * | 2012-02-14 | 2013-09-05 | Aribex Inc | 三次元後方散乱撮像システム |
CN103076350A (zh) * | 2013-01-04 | 2013-05-01 | 公安部第一研究所 | 一种移动背散射x射线安全检查方法及装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10466185B2 (en) | X-ray interrogation system using multiple x-ray beams | |
JP5127249B2 (ja) | X線装置の焦点‐検出器装置のx線光学透過格子 | |
KR20190015531A (ko) | 엑스선 현미경 관찰을 위한 방법 및 장치 | |
RU2507507C1 (ru) | Сканирующее устройство с использованием пучка излучения для формирования изображения в режиме обратного рассеяния и способ его осуществления | |
US8483352B2 (en) | Stacked x-ray detector assembly and method of making same | |
RU2468392C2 (ru) | Детектор с частично прозрачной подложкой сцинтиллятора | |
KR20060069310A (ko) | Ct 장치 | |
JP2009530018A (ja) | 電離放射線の二重線源走査式検出 | |
JP3847134B2 (ja) | 放射線検出装置 | |
US5742660A (en) | Dual energy scanning beam laminographic x-radiography | |
JP3850711B2 (ja) | 放射線利用検査装置 | |
US20070189460A1 (en) | Precise x-ray inspection system | |
JP4732341B2 (ja) | トモシンセシス用電離放射線の走査ベース検出装置及びその方法 | |
JP2010540063A (ja) | コンピュータ断層撮影装置 | |
JPH10197456A (ja) | 非破壊検査装置 | |
US11604152B2 (en) | Fast industrial computed tomography for large objects | |
JP5177236B2 (ja) | X線検査方法およびx線検査装置 | |
JP5487519B2 (ja) | 産業用x線ct装置および撮像方法 | |
JP2004045247A (ja) | X線画像検査装置 | |
JP2018530748A (ja) | 内部に方向性構造を有する材料における欠陥検出方法及びその装置 | |
JP2009175065A (ja) | 中性子即発ガンマ線分析による複数元素の同時3次元分布・可視化観察・計測方法及びその装置 | |
KR100781393B1 (ko) | 결정격자를 갖는 피검체의 방사선 촬영 제어 | |
CN113960086A (zh) | 一种补偿式背散射探测器栅格准直成像***及方法 | |
US20090080613A1 (en) | Arrangement for the taking of X-ray scatter images and/or gamma ray scatter images | |
JP2012083277A (ja) | X線検出器及びそれを用いたx線ct装置並びにx線ct撮像方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071106 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080107 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080304 |