JP2004009254A

JP2004009254A - 研磨装置

Info

Publication number: JP2004009254A
Application number: JP2002168949A
Authority: JP
Inventors: Tomihiro Wakayama; 若山　富裕
Original assignee: Nidec Copal Corp
Current assignee: Nidec Precision Corp
Priority date: 2002-06-10
Filing date: 2002-06-10
Publication date: 2004-01-15

Abstract

【課題】センサ類の損傷を防止することのできる研磨装置の提供。
【解決手段】研磨テーブル６と、研磨テーブルを回転駆動するサーボモータ７０と、光ファイバーコネクタを研磨テーブルへ押圧する押圧ユニット１０、３０と、押圧ユニットを駆動するステッピングモータ２２と、押圧ユニットの移動量を検出する非接触のセンサ３５を備え、センサ３５で検出された移動量に基づいて押圧ユニットを駆動することで押圧する。
【選択図】　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、研磨装置に係り、例えば、光ファイバーコネクタの被研磨面の研磨に好適な技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光ファイバーコネクタに代表される被研磨物を回転研磨テーブルで研磨する研磨装置が実用化されているので図面を参照して簡単に述べる。図１１は、研磨装置の概略構成を示した右側面図である。本図に示される研磨装置は、光ファイバーコネクタ１のセットを容易にするために着脱可能な治具２４０を使用している。この治具２４０を簡単に着脱可能に設けるために押圧ユニットが設けられている。この押圧ユニットには、図示の押圧位置と光ファイバーコネクタ１を交換するための退避位置（破線図示）との間で回動可能に設けられた第１押圧部材２３０が設けられている。
【０００３】
また、この第１押圧部材２３０と治具２４０との間には、押圧位置と光ファイバーコネクタ１を交換するための退避位置との間で上下方向に移動可能に設けられた第２押圧部材２１０が設けられており、この第２押圧部材２１０の上端部において一端が回動自在に支持された当接部材２３４に対して、第１押圧部材２３０の下端部に設けられたローラ２３１を当接させ、押圧部材２２０を降下することにより発生する押圧力を伝達する。
【０００４】
一方、光ファイバーコネクタ１を良好に研磨するためには、光ファイバーコネクタ１に対する押圧力を計測し、押圧ユニットによる押圧力を制御する必要がある。このため、代表的には、当接部材２３４の下方に圧力センサ２３５を設け、これにより押圧力を検出することで、研磨を行うときに必要となる押圧力を制御するように構成されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、圧力センサは衝撃力に弱く簡単に破損する。このため、作業者により操作される第２押圧部材２１０が、冶具交換のための退避位置に急激に上昇させるように操作されると、圧力センサを破損してしまうことになる。
【０００６】
したがって、本発明は上記の問題点に鑑みて成されたものであり、センサ類の損傷を防止することのできる研磨装置の提供を目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決し、課題を達成するために、本発明の研磨装置によれば、研磨テーブルと、前記研磨テーブルを回転駆動する第１駆動手段と、被研磨物を前記研磨テーブルへ押圧する押圧ユニットと、前記押圧ユニットを駆動する第２駆動手段と、前記押圧ユニットの位置を非接触にて検出する検出手段と、を備え、前記第２駆動手段は、前記検出手段により検出された移動量に基づいて前記押圧ユニットを駆動することを特徴としている。
【０００８】
また、更に、前記被研磨物を支持する治具を備え、前記押圧ユニットは、前記治具を介して、前記被研磨物を前記研磨テーブルへ押圧することを特徴としている。
【０００９】
また、前記押圧ユニットは、押圧位置と前記被研磨物を交換するための退避位置との間で回動可能に設けられた第１押圧部材と、前記第１押圧部材と前記治具との間に設けられ、押圧位置と前記被研磨物を交換するための退避位置との間で、押圧方向に移動可能に設けられた第２押圧部材と、を含み、前記第２押圧部材は、前記第１押圧部材の端部が当接し、前記第１押圧部材からの押圧力が付勢されると共に、前記第１押圧部材の回動を案内する当接面を有する当接部材を有し、前記当接面が傾斜していることを特徴としている。
【００１０】
また、研磨テーブルと、前記研磨テーブルを回転駆動する第１駆動手段と、被研磨物を支持する治具と、前記治具を介して、前記被研磨物を前記研磨テーブルへ押圧する押圧ユニットと、前記押圧ユニットによる押圧量を検出する圧力センサと、前記圧力センサにより検出された押圧量に基づいて、前記押圧ユニットを駆動する第２駆動手段と、を備え、前記押圧ユニットは、押圧位置と前記被研磨物を交換するための退避位置との間で回動可能に設けられた第１押圧部材と、前記第１押圧部材と前記治具との間に設けられ、押圧位置と前記被研磨物を交換するための退避位置との間で、押圧方向に移動可能に設けられた第２押圧部材と、を含み、前記第２押圧部材は、前記第１押圧部材の端部が当接し、前記第１押圧部材からの押圧力が付勢されると共に、前記第１押圧部材の回動を案内する当接面を有する当接部材を有し、前記圧力センサは、前記当接部材に押圧されるように配置されており、前記当接面が、傾斜していることを特徴とする研磨装置。
【００１１】
また、前記当接面は、前記第２押圧部材を前記退避位置へ移動する場合に、前記第１押圧部材が前記押圧位置から前記退避位置へ回動するように傾斜していることを特徴としている。
【００１２】
そして、前記押圧ユニットの押圧方向が、鉛直方向であり、前記当接面は、前記第１押圧部材の回動方向のうち、前記押圧位置から前記退避位置へ向かう方向に、水平面よりも下降傾斜していることを特徴としている。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の好適な各実施形態につき、添付図面を参照して説明する。
【００１４】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る研磨装置の要部を破断して側面側から見た概略構成図である。
【００１５】
本図において、研磨装置５は、例えば作業机上に置かれる主基部３を各構成部品の取り付けのための基部としている。この主基部３の上には、第１駆動手段としてのサーボモータ７０で所定の回転速度で回転駆動される研磨テーブル６が、その研磨面６ａを上にした状態で設けられている。また、主基部３の正面側には表示部と操作ボタンを設けた操作パネル７１が設けられており、作業者はこの操作パネル７１の表示部を確認しながら操作ボタンを操作して、研磨のための初期設定と開始、停止などの操作を行なうように構成されている。
【００１６】
この研磨テーブル６は、公転と自転とを行なう不図示の公転自転機構による回転駆動されることにより、研磨テーブル６の同一の研磨面６ａで繰り返し研磨しないようにすることで、光ファイバーコネクタ１の被研磨面を均一に研磨できるようにしている。
【００１７】
また、治具４０は、複数の光ファイバーコネクタ１の被研磨面が下に向くようにして着脱自在に保持するためのものである。この冶具４０は、研磨装置５から簡単に着脱可能に設けられるとともに、研磨テーブル６の研磨面６ａに対して所定の押圧力で押圧されつつ研磨を行うように構成されている。研磨装置５は、このように押圧を行うための押圧ユニットを備え、この押圧ユニットは、第１押圧部材としてのロック部材３０と第２押圧部材としての加圧軸１０とを含む。
【００１８】
この押圧ユニットは、図示のように研磨テーブル６の近くで主基部３上に固定される副基部７と、この副基部７から研磨テーブル６の上方にオーバハングするように固定される支持用基部９を取り付け基部としている。この支持用基部９にはリニアブッシュ１１が内蔵されており、このリニアブッシュ１１により研磨テーブル６の研磨面に対して直交する図示の両矢印方向（押圧方向であり鉛直方向である。）に、加圧軸１０を昇降移動可能に案内している。このような構成により加圧軸１０は、図１の押圧位置から、光ファイバーコネクタ１を交換するための、図示の押圧位置よりも上方の退避位置との間で移動可能にされている。
【００１９】
この加圧軸１０の下端には円錐形状部１０ａが設けられており、冶具４０の中心部に設けられているピボット軸受４４に対してこの円錐形状部１０ａが入り込むようにしてセットすることで、治具４０が研磨テーブル６の研磨面６ａに対して均一に押圧できるようにしている。また、治具の交換時には、治具４０が破線で図示されるように、研磨テーブル６の研磨面６ａに対して傾斜できるようにして簡単に取り出せるようにしている。
【００２０】
一方、支持用基部９の底面には、冶具４０の回転防止を行うための２本の軸体１２が固定されている。これらの軸体１２の先端部は、治具４０に固定されている溝部材４２に潜入するようにセットされることで、治具４０の回転防止を行なうようにしている。さらに、この治具４０には把持部４５が固定されており、作業者は、上記の加圧軸１０を上方の退避位置に移動した後に、この把持部４５を把持して奥側に移動しながらセットすることで、軸体１２が溝部材４２に簡単に入るようにしている。
【００２１】
加圧軸１０には、自重落下を防止するための落下防止機構が設けられている。この落下防止機構は、加圧軸１０の側面に図示のように固定されるギア部１４ａを形成したラック１４と、上記の支持用基部９の上面にブラケットを用いて固定されるとともに、ギア部１４ａに噛合するギア部１３ａを回転軸に固定したトルクリミッタ１３とから構成されている。このようにして、ラック１４のギア部１４ａにトルクリミッタ１３のギア部１３ａを噛合させることで、トルクリミッタ１３の有する回転負荷をラック１４に伝達可能にすることで、加圧軸１０が自重により落下することを防止するとともに、加圧軸１０を任意の位置で停止できるようにしている。
【００２２】
この加圧軸１０の上端には、当接部材１５ａが設けられており、これに一方の把持部となる第１のレバー部材１５が固定されている。また、この第１のレバー１５には第２のレバー部材１７が回動軸１６廻りに回動自在に設けられるとともに、一端において他方の把持部を形成している。また、この第２のレバー部材１７の他端には、図示のように係止部１７ｂと形状部１７ａとが形成されており、この第２のレバー部材１７は図示の研磨状態において斜め下方に位置する。
【００２３】
次に、上記の副基部７の側面には付勢軸２７の基部１８を矢印方向に昇降自在に案内するリニアガイド８が固定されている。また、この基部１８にはオーバーハング部２０が固定されている。副基部７に固定されたリニアガイド８により昇降自在に設けられた基部１８には、ラック１９が固定されている。このラック１９には、ウォームホイールとピニオンを一体的に設けたギア２１が噛合している。このギア２１をその出力軸にウォーム２２ａを固定したステッピングモータ２２により駆動することで、上センサ２３と下センサ２４との間で付勢軸２７を上下方向に駆動するための第２駆動手段を構成している。このウォームギア駆動により、大きな減速比を得ることができるので小型モータの使用を可能にするとともに、ウォ−ムギア特有の噛合状態によりブレーキ力を発生して、自重で下方に移動することを防止できるようにしている。
【００２４】
次に、図１の部分拡大図である図２（ａ）をさらに参照して、上記のオーバーハング部２０の端部には、上記の加圧軸１０の中心軸ＣＬ１と一致するように昇降案内されるとともに、上記の係止部１７ｂの係止軸３３を設けるとともに、付勢軸２７を固定したブロック２５が圧縮コイルバネ２８を介在して設けられており、さらに軸体２６により廻り止め状態で設けられている。また、このブロック２５には、回動軸２９の廻りに回動自在に設けられたロック部材３０が設けられている。
【００２５】
このロック部材３０の下端には回動自在にローラ３１が設けられ、これが当接部材１５ａの上面に当接している。これにより、付勢軸２７からの押圧力がロック部材３０及び加圧軸１０を介して、治具４０に伝達されるようにしている。
【００２６】
ロック部材３０は、図示の押圧位置から回動軸２９回りに図の右方向へ回動した退避位置との間で回動可能であり、光ファイバーコネクタ１の交換時に加圧軸１０が上方の退避位置へ移動すると、退避位置へ回動することとなる。
【００２７】
一方、ローラ３１は、上記の形状部１７ａ側に向けてトーションバネ３２により付勢されているとともに、図２に図示のようにロック部材３０の回動軸２９の回動中心とローラ３１の回動軸３１ａの回転中心とを結ぶ中心軸ＣＬ２が、中心軸ＣＬ１から角度θ１分さらに形状部１７ａ側に傾斜した状態で、当接部材１５ａに当接して停止できるように構成されている。
【００２８】
以上の構成により、上記のステッピングモータ２２への通電にともない、オーバーハング部２０が矢印方向の下方に駆動されると、中心軸のずれにより加圧軸１０に対する押圧力が、圧縮バネ２８の圧縮力を介して伝達されることとなり、治具４０へ所定の押圧力を印加できるようになる。
【００２９】
ここで、オーバーハング部２０には、検出手段であるセンサ３５が設けられている。このセンサ３５はフォトセンサであり、ブロック２５に固定された遮蔽板３４の通過を検出することにより（図２（ｂ）を参照）、ロック部材３０の位置を非接触で検出する。すなわち、本実施形態では、圧力センサにより光ファイバーコネクタ１に対する押圧力を直接測定するのではなく、ロック部材３０の位置を検出することによってその移動量を算出し、光ファイバーコネクタ１に対する押圧力を測定するものである。
【００３０】
詳細には、本実施形態の場合、ロック部材３０が押圧力０の位置（圧縮コイルバネ２８が自然長の位置）にあるときに、センサ３５がオン（又はオフ。以下同じ。）となるようにセンサ３５及び遮蔽板３４を配置している。そして、センサ３５により、この位置が検出されたことを起点として、ステッピングモータ２２の回転角度によりロック部材３０の移動量、換言すれば、光ファイバーコネクタ１に対する押圧力を算出するようにしている。これは、ロック部材３０の移動量と光ファイバーコネクタ１に対する押圧力とが略比例することに基づくものである。
【００３１】
このような非接触による位置検出構成とすることで、そもそも圧力センサが不要となり、従来課題となっていたその損傷を防止できる。なお、センサ３５は必ずしもフォトセンサである必要はなく、ロック部材３０や加圧軸１０といった押圧ユニットの移動位置を非接触で検出できるものであればどのようなセンサでもよい。
【００３２】
再度、図１において、主基部３の上には上記の押圧機構を覆うとともに、第１のレバー部材１５と第２のレバー部材１７の把持部のみが外部に露出するように形成された二点鎖線で示されるカバー６０が固定されている。また、このカバー６０の上面には光ファイバーコネクタのケーブル部を束ねた状態で保持するためのフック部３８が固定されており、操作の邪魔にならないようにしている。
【００３３】
以上の構成において、ローラ３１の回転中心と加圧軸１０の中心軸とが一致するようにローラ３１が位置した状態で、治具４０に押圧力を印加できることとなる。
【００３４】
次に、治具４０の構成について、図３の治具４０の要部を破断して示した要部断面図に基づき説明する。本図において、既に説明済みの構成部品については同様の符号を附して説明を割愛すると、治具４０は６角形の治具基部４１から構成されており、６つの各側面部において６個の光ファイバーコネクタ１を着脱自在に保持するように構成されている。
【００３５】
また、治具基部４１の中心部には上記のピボット軸受４４が固定されている。一方、上記のように回り止め用の為に軸体１２に挿入される溝部材４２は、２部品から構成されており、半径方向に溝が位置するように治具基部４１上に固定されている。
【００３６】
このように構成される治具４０によれば、１個のみを保持する場合に比べて６倍の研磨能力となる。ここで、治具基部４１をより多くの多角形として形成すれば、さらに能力が向上するので、この多角形に応じて研磨テーブルの直径をさらに増加すると良い。
【００３７】
また、この治具基部４１の裏側となる研磨テーブル６に対向する面には、過剰研磨を阻止するための基準部材４３が固定されている。この基準部材４３には、研磨面４３ａが図示のように形成されており、この研磨面４３ａが研磨テーブル６で研磨される状態になると、音が発生して、それ以上の研磨を防止するようにしている。
【００３８】
さらに、図４の治具の外観斜視図を参照して、治具基部４１の側面には、ホルダー部材４７がネジ５０、５０で固定されている。このホルダー部材４７は図示のように左右フランジ部４７ｆ、４７ｆと案内部４７ｃとを一体成形しており、さらに移動ブロック４８を矢印方向に移動自在に内蔵している。
【００３９】
この移動ブロック４８はホルダー部材４７のネジ孔４７ａに螺合したネジ４９の回転により移動する。この移動ブロック４８は図示のような面取り部４８ａを形成した当接部により光ファイバーコネクタ１の雄コネクタ８３の鍔部８３ｂを抑えるようにしており、光ファイバーコネクタ１が溝部４１ａにセットされた後に、フェルールと光ファイバーとからなる被研磨面である端部８３ａを不動状態で保持できるようにしている。
【００４０】
また、ケーブル２に対して機械的に干渉しないようにするためにバネ板４６には凹部４６ａが形成されている。さらに、ホルダー部材４７にはＵ溝部４７ｂが形成されており、一方のネジ５０を固定した状態で、他方のネジ５０を緩めることで図示のように回動して光ファイバーコネクタ１のセットをさらに容易にできるようにしている。
【００４１】
次に、図５（ａ）は研磨装置５のブロック図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）のブロック図の制御部に接続された記憶部の保存内容を示した図表である。
【００４２】
先ず、図５（ａ）において、制御手段である制御部７７には１チップマイクロプロセッサが使用されており、電源部８０からの所定電圧の供給を受けて動作する。この制御部７７は、上記の操作パネル７１に接続されており、後述の操作に応じて研磨を行う。制御部７７には、さらに記憶部７６が接続されている。この記憶部７６は、図５（ｂ）に示すタイムテーブルが多数記憶されており、操作パネル７１を使用して設定される初期条件に応じて自動的に最適なタイムテーブルに切換えることができるように構成されている。
【００４３】
一方、上記のステッピングモータ２２には制御部７７に接続されているモータドライバ７２が接続されており、制御部７７からの指示をモータドライバ７２を介してステッピングモータ２２に通電することで正逆方向に所定ステップ分の駆動を行うようにしている。
【００４４】
また、センサ３５は遮蔽板３４の通過で得られた出力を増幅するアンプが内蔵されており、デジタル出力値に変換した後に、制御部７７に送るようにしている。そして、サーボモータ７０には制御部７７に接続されているモータドライバ７５が接続されており、制御部７７からの指示をモータドライバ７５を介してサーボモータ７０に通電することで研磨テーブル６を所定の回転速度で回転駆動するようにしている。このサーボモータ７０には回転計７９がその出力軸に固定されており、回転計７９からの出力を制御部７７に送ることで、サーボモータ７０のクローズドループ制御を行うようにしている。
【００４５】
このサーボモータ７０としてステッピングモータを使用すれば回転計７９は不要となり、制御部７７からの指示に基づくオープンループ制御が可能となることは言うまでもない。
【００４６】
次に、図５（ｂ）のタイムテーブルは、横軸に時間軸をまた縦軸にサーボモータ７０により駆動される研磨テーブル６の回転速度と、ステッピングモータ２２の通電により印加される押圧力をとり、回転速度曲線Ａを破線で、また押圧力曲線Ｂを実線で示している。
【００４７】
また、回転速度曲線Ａの傾斜角度は加速度として示されおり、押圧力曲線Ｂの傾斜角度は加速度で示されており、時間経過とともに図示のように増減するように設定されている。
【００４８】
より詳しくは、最初の研磨段階では各曲線Ａ、Ｂはゼロから略リニアに上昇され、最初の研磨が終了すると各曲線Ａ、Ｂは図示のように平坦になり、終わりに近づくと、各曲線Ａ、Ｂは図示のようになだらかに下降して、仕上研磨に備え、仕上研磨において終了時間になるまで各曲線Ａ、Ｂは図示のように降下されて、終了時間となると回転速度と押圧力とがゼロになる。
【００４９】
以上説明したタイムテーブルに基づく研磨を行うことで、無人の自動運転が可能となる。さらに、上記のように最大で６個の光ファイバーコネクタ１を同時に研磨する場合に、研磨量のばらつきに起因する損傷を防止できることになる。
【００５０】
このように、各曲線Ａ、Ｂを設定する理由について以下に述べる。
【００５１】
図６は、光ファイバーコネクタ１を保持した治具４０を研磨テーブル６の上に置いた様子を示した図であって、（ａ）は研磨前を示し、（ｂ）は研磨終了後の様子を示している。
【００５２】
図６（ａ）に示すように、研磨前はフェルールと光ファイバーの被研磨面となる端部８３ａは一定していない。つまり、図示のように１つの光ファイバーコネクタ１が研磨テーブル６の研磨面６ａに対して当接した状態において、他の光ファイバーコネクタ１の端部８３ａが研磨テーブル６の研磨面６ａから隙間Ｇ分離れている場合がある。また、端部８３ａの形状も傾斜または円形になっているなど様々である。
【００５３】
したがって、この初期状態から、たとえ小さい押圧力と回転速度であっても、いきなり研磨を行うと、研磨テーブル６の研磨面６ａに対して当接した状態になっている状態の光ファイバーコネクタ１に対してのみに集中的な研磨が行われることなる。このために、最悪の場合には破損させてしまうことになる。このために、従来は作業員の経験から、手動操作により押圧力と回転速度を次第に増加させて研磨を行うようにして、最終的に、図６（ｂ）に示されるように全ての端部８３ａが揃うようにする研磨を行うようにしていた。したがって、作業者は、研磨装置による初期段階から終了段階までは、研磨装置から離れることはできず、他の作業をできないとされていた。
【００５４】
しかし、本実施形態による研磨装置によれば、初期段階から終了段階まで自動運転できるので、図７、図８の動作説明のフローチャートに基づき説明する。
【００５５】
図７は、研磨を行う下準備までの動作説明のフローチャートである。先ず、下準備が開始され、電源への接続等を作業者が終えると、ステップＳ１で治具４０の対向位置に少なくとも４個または最大で６個の光ファイバーコネクタ１を保持する。これに続き、一対のレバー部材を把持して、押圧ユニットを上方に移動させた後に、ステップＳ３において治具４０を研磨テーブル６上にセットし、続いて、ステップＳ４で押圧ユニットの第２押圧部材１０を降下させることで、図１に図示のようにする。
【００５６】
次に、操作パネル７１から押圧力、回転速度の設定が行われることで、タイムテーブルが自動選択される。これに続き、操作パネル７１の所定のスイッチが押圧されることで、ステップＳ７に進みステッピングモータ２２への通電が行われることで、ブロック２５が降下され、ブロック２５に固定された遮蔽板３４によるセンサ３５での検出がステップＳ８で行われる。そして、ステップＳ９でセンサ３５がオンされたことが検出されたか否かの判断がされて、オンであると判断されるとステップＳ１０に進みステッピングモータ２２への通電が一旦停止される。以上で、押圧準備が整う。
【００５７】
次に、図８の押圧研磨のための動作説明のフローチャートにおいて、ステップＳ１１において、研磨テーブルを駆動するサーボモータ７０の起動が行われて、図５（ｂ）に示す曲線Ａによる回転が開始される。続いて、ステップＳ１２において、ステッピングモータ２２への通電により、図５（ｂ）に示す曲線Ｂによる押圧力の印加が開始されて、ステップＳ１３で所定ステップの通電により、所定時間経過毎の判断が行われる。この結果、ステップＳ１４において、圧縮コイルバネ２８が圧縮される状態となることで押圧力が治具に印加される。そして、仕上研磨になるとステップＳ１５でステッピングモータ２２の通電が停止されて研磨を終了する。
【００５８】
この後に、ステッピングモータ２２への通電が行われ、オーバーハング部２０が上昇されることで、治具４０の取り出しを可能な状態にして自動停止し、アラームで作業者に仕上研磨まで終了したことを知らせる。これに続き、作業者は治具４０の取り出しを行い、研磨された光ファイバーコネクタを取り外すことで作業を終了する。
【００５９】
以上のように、センサ３５を通過する遮蔽板３４で初期位置を検出した後に、タイムテーブルに従ってステッピングモータ２２を制御することで、直接押圧力を測定しなくとも非接触センサにより好適な押圧力による研磨が実現でき、圧力センサを不要にできることとなる。すなわち、圧力センサは衝撃力に弱く簡単に破損するため、作業者により操作される押圧ユニットが、研磨位置から冶具交換のための退避位置に急激に移動されるように操作されても、圧力センサを破損することがなくなる。このために、特に治具の交換作業時における耐久性を大幅に向上することができる。
【００６０】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る研磨装置について説明する。本実施形態では、圧力センサを用いて光ファイバーコネクタ１に対する押圧力を計測するが、その破損を防止する仕組みを提供するものである。
【００６１】
図９は、第２実施形態の研磨装置の一部を破断して側面側から見た概略構成図である。本図において、既に説明済みの構成部品については同様の符号を附して説明を割愛すると、第１のレバー部材１５は、当接部材２３４の一端を回動自在して設けている。また、当接部材２３４の底面には、圧力センサ２３５が設けられている。この圧力センサ２３５は、上記の第２押圧部材１０から延設された部材２３９上に固定されている。
【００６２】
当接部材２３４の当接面２３４ａは、押圧ユニットの押圧方向が鉛直方向であるのに対して、第１押圧部材であるロック部材３０が押圧位置から退避位置へ回動し易いように、水平面よりも下降するように角度θ２傾斜している。
【００６３】
図１０は、治具４０の交換のために押圧ユニットを移動する様子を示した動作説明図であって、（ａ）は、最初の段階を、また（ｂ）は待機位置に移動した様子を示した図において、既に説明済みの構成部品については同様の符号を附して説明を割愛すると、先ず、図１０（ａ）において、図１に図示の状態において所定の研磨加工が終了し、治具４０を交換するために、操作パネル７１のスイッチが押されると、ステッピングモータ２２への通電により、オーバーハング部２０が上方に移動され、停止される。
【００６４】
これに続き、先ず第２のレバー部材１７と第１のレバー部材１５を図示のように把持することで、第２のレバー部材１７の形状部１７ａが矢印方向に回動されることになり、上記のように当接していたローラ３１が矢印方向に移動される結果、ロック部材３０の中心軸ＣＬ２が加圧軸１０の中心軸ＣＬ１の外側に外れた状態になる。
【００６５】
これに続き、図１０（ｂ）に図示のようにそのまま把持状態を維持して上方に移動する。すると、ロック部材３０の端部で回転自在に設けられたローラ３１がトーションバネ３２の付勢力に抗して第１のレバー部材１５上を回転しつつ移動されるが、このとき当接部材２３４の当接面２３４ａは傾斜しているので、ロック部材３０は無理なく移動できるようになるために、圧力センサ２３５に対して衝撃力が作用しなくなる。また、このように上方に移動するときに、途中で把持状態を解除しても、上記のトルクリミッタ１３により自重落下を防止できる。以上のように上方に移動させると、図示のようにブロック２５の係止軸３３に対して第２のレバー部材１７の係止部１７ｂとが係止可能な位置となる。
【００６６】
この後に、治具交換のために、第２のレバー部材１７の把持を解除すると、係止部１７ｂが係止軸３３に対して係止される状態になる。以上で、加圧軸１０は待機位置で保持されることになり、治具４０の交換作業を行なえる。
【００６７】
また、治具４０を交換した後に、図１０（ｂ）に図示のように把持し、そのまま下方に移動して加圧軸１０の先端を治具４０のピボット軸受に対して挿入し、図１０（ａ）に図示の状態から、図１に図示のようにする。以上のようにすることで、治具の交換作業を熟練者のみならず誰でも簡単に行なうことができる。
【００６８】
なお、本実施形態では、単に圧力センサ２３５の破損を防止するのみならず、光ファイバーコネクタ１の交換作業時において、操作性を向上するという利点も有する。従って、上述した第１実施形態の構成において、当接部材１５ａの当接面（上面）を、この第２実施形態の当接部材２３４の当接面２３４ａのように傾斜する構成も採用することができる。また、ここまで、被研磨物として光ファイバーコネクタを用いた例について説明したが、光学素子や、半導体ウェファー等の研磨にも治具４０を交換することで、適宜可能であることは勿論である。
【００６９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、センサ類の損傷を防止することのできる研磨装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態の研磨装置の要部を破断して示した概略構成図である。
【図２】（ａ）は、図１の研磨装置の部分拡大図、（ｂ）はセンサとアクチエータの外観斜視図である。
【図３】治具交換の様子を示した図である。
【図４】治具４０の一部を示した外観斜視図である。
【図５】（ａ）は研磨装置のブロック図、（ｂ）は、（ａ）のブロック図の制御部に接続された記憶部のタイムテーブルの保存内容を示した図である。
【図６】光ファイバーコネクタ１を保持した治具４０を研磨テーブル６の上に置いた様子を示した図であって、（ａ）は研磨前を示し、（ｂ）は研磨終了後の様子を示している。
【図７】研磨を行う下準備までの動作説明のフローチャートである。
【図８】研磨装置の研磨動作説明のフローチャートである。
【図９】第２実施形態の研磨装置の一部を示した概略構成図である。
【図１０】治具４０の交換のために押圧ユニットを上方に移動する様子を示した動作説明図であって、（ａ）は、最初の段階を、また（ｂ）は待機位置に移動した様子を示した図である。
【図１１】従来の研磨装置の概略構成図である。
【符号の説明】
１　光ファイバーコネクタ
３　基部
５　研磨装置
６　研磨テーブル
７　副基部
８　リニアガイド
９　支持用基部
１０　加圧軸（第２押圧部材）
１１　リニアブッシュ
１２　回転防止軸体
１３　トルクリミッタ
１４　ラック
１５　第１のレバー部材
１６　回動軸
１７　第２のレバー部材
１８　基部
１９　ラック
２０　オーバーハング部
２１　ギア
２２　ステッピングモータ（第２駆動手段）
２３　上センサ
２４　下センサ
２５　ブロック
２６　軸体
２７　付勢軸
２８　圧縮コイルバネ
２９　回動軸
３０　ロック部材（第１押圧部材）
３１　ローラ
３２　トーションバネ
３３　係止軸
３４　遮蔽板
３５　センサ
３８　フック部
４０　治具
４１　治具基部
４２　溝部材
４３　基準部材
４４　ピボット軸受
４５　把持部
４６　バネ板
４７　ホルダ部材
４８　移動ブロック
４９、５０　ネジ
６０　カバー
７０　サーボモータ（第１駆動手段）
７１　操作パネル
８３ａ　端部（被研磨面）
２３４　当接部材
２３４ａ　当接面

Claims

研磨テーブルと、
前記研磨テーブルを回転駆動する第１駆動手段と、
被研磨物を前記研磨テーブルへ押圧する押圧ユニットと、
前記押圧ユニットを駆動する第２駆動手段と、
前記押圧ユニットの位置を非接触にて検出する検出手段と、を備え、
前記第２駆動手段は、前記検出手段により検出された移動量に基づいて前記押圧ユニットを駆動することを特徴とする研磨装置。
更に、
前記被研磨物を支持する治具を備え、
前記押圧ユニットは、前記治具を介して、前記被研磨物を前記研磨テーブルへ押圧することを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
前記押圧ユニットは、
押圧位置と前記被研磨物を交換するための退避位置との間で回動可能に設けられた第１押圧部材と、
前記第１押圧部材と前記治具との間に設けられ、押圧位置と前記被研磨物を交換するための退避位置との間で、押圧方向に移動可能に設けられた第２押圧部材と、を含み、
前記第２押圧部材は、
前記第１押圧部材の端部が当接し、前記第１押圧部材からの押圧力が付勢されると共に、前記第１押圧部材の回動を案内する当接面を有する当接部材を有し、
前記当接面が、傾斜していることを特徴とする請求項２に記載の研磨装置。
研磨テーブルと、
前記研磨テーブルを回転駆動する第１駆動手段と、
被研磨物を支持する治具と、
前記治具を介して、前記被研磨物を前記研磨テーブルへ押圧する押圧ユニットと、
前記押圧ユニットによる押圧量を検出する圧力センサと、
前記圧力センサにより検出された押圧量に基づいて、前記押圧ユニットを駆動する第２駆動手段と、を備え、
前記押圧ユニットは、
押圧位置と前記被研磨物を交換するための退避位置との間で回動可能に設けられた第１押圧部材と、
前記第１押圧部材と前記治具との間に設けられ、押圧位置と前記被研磨物を交換するための退避位置との間で、押圧方向に移動可能に設けられた第２押圧部材と、を含み、
前記第２押圧部材は、
前記第１押圧部材の端部が当接し、前記第１押圧部材からの押圧力が付勢されると共に、前記第１押圧部材の回動を案内する当接面を有する当接部材を有し、
前記圧力センサは、前記当接部材に押圧されるように配置されており、
前記当接面が、傾斜していることを特徴とする研磨装置。
前記当接面は、
前記第２押圧部材を前記退避位置へ移動する場合に、前記第１押圧部材が前記押圧位置から前記退避位置へ回動するように傾斜していることを特徴とする請求項４に記載の研磨装置。
前記押圧ユニットの押圧方向が、鉛直方向であり、
前記当接面は、
前記第１押圧部材の回動方向のうち、前記押圧位置から前記退避位置へ向かう方向に、水平面よりも下降傾斜していることを特徴とする請求項４に記載の研磨装置。