JP2003512531A - タンタル粉末を陽極酸化する方法 - Google Patents
タンタル粉末を陽極酸化する方法Info
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-
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Abstract
(57)【要約】
約250Ω・cm/80℃以下の抵抗率を有するように、水と、ポリエチレングリコール、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル及びそれらの混合物から選択された有機溶媒と、十分な量の弱い有機酸のアルカリ金属塩とを含む電解質。多孔質バルブ金属本体を特異に陽極酸化する方法であって、陰極面が1インチ以内であるが陽極本体とは接触しない第一の電解質で本体を陽極酸化する工程と、本体を脱イオン水で水洗する工程と、本体を第二の電解質で再陽極酸化する工程とを含み、ここでの第一の電解質が、約250Ω・cm/80℃以下の抵抗率を有するように、水と、ポリエチレングリコール、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル及びそれらの混合物から選択された有機溶媒と、十分な量の弱い有機酸のアルカリ金属塩とを含む、方法。
Description
【0001】発明の分野
本発明は、電解コンデンサーの製造に使用される多孔質バルブ金属陽極本体の
陽極酸化に関し、特に、外面がより厚く、該陽極本体のバルク内ではより薄い陽
極酸化膜を製造する多孔質コンデンサー陽極本体の特異な陽極酸化に関する。
陽極酸化に関し、特に、外面がより厚く、該陽極本体のバルク内ではより薄い陽
極酸化膜を製造する多孔質コンデンサー陽極本体の特異な陽極酸化に関する。
【0002】発明の背景
一枚のコンデンサープレートとしてバルブ金属を使用する多孔質バルブ金属コ
ンデンサーと、誘電体としての陽極酸化物と、第二のコンデンサープレート(い
わゆる「固体」タンタルコンデンサーで代表される)として酸化マンガン等の固
体電解質は、陽極酸化物を介する電界が比較的低い場合に、すなわち、使用して
いる装置に印加された電圧が陽極酸化物誘電膜の製造に使用される場合より著し
く低い場合に、装置短絡防止に関してより確実な助けとなることが長年公知であ
った。この事実の結果として、製造業者は、装置の使用定格電圧より2〜5倍(ま
たは5倍以上)高い陽極酸化用電圧を使用する。
ンデンサーと、誘電体としての陽極酸化物と、第二のコンデンサープレート(い
わゆる「固体」タンタルコンデンサーで代表される)として酸化マンガン等の固
体電解質は、陽極酸化物を介する電界が比較的低い場合に、すなわち、使用して
いる装置に印加された電圧が陽極酸化物誘電膜の製造に使用される場合より著し
く低い場合に、装置短絡防止に関してより確実な助けとなることが長年公知であ
った。この事実の結果として、製造業者は、装置の使用定格電圧より2〜5倍(ま
たは5倍以上)高い陽極酸化用電圧を使用する。
【0003】
タンタルのような高価な陽極材料の使用を少なくするために、または所定の陽
極サイズの装置コンデンサーを最大にするために、陽極本体の内面の陽極酸化膜
厚さを最小にする場合、バルブ金属陽極本体の外面により厚い陽極酸化膜がある
と、装置の短絡から大いに保護されることも長年公知であった。少なくとも以下
の3つの寄与する要因を組み合わせて、内部酸化物の厚みよりも、装置の確実性
に関してより重要な外部酸化物の厚みを作る。 1)陽極におけるコーナーと縁部との曲率半径が領域内の電界を上げ、これに
よって領域が短絡障害になる傾向がある。 2)「固体」電解質(例えば酸化マンガン)両端での電圧降下が陽極の外面で
最も小さく、これにより幾分高い電流が外部陽極面の酸化物のきずへ流れる。 3)粉末冶金の多孔質バルブ金属陽極本体の外部陽極面、特にコーナー及び縁
部が製造過程のバルク取り扱い時に損傷する。陽極は互いに、また供給ボール(
bowl)や振動軌道面で摩耗する。このバルク取り扱い時に生じる摩耗により、受
動酸化膜(passive oxide film)(焼結作業後、雰囲気に接触して形成される)
が外部陽極面内に埋め込まれることが実証された。この摩耗により埋め込まれた
受動膜によって、陽極の摩耗領域の陽極絶縁膜にきずが生じる(米国特許第5,71
6,511号に記載)。酸化物「ブリスター(blister)」は約100ボルト以上の陽極
電圧で容易に明確になるが、初期のきずがすべての膜厚に存在し、電界が増大す
ると共にひどく高い漏れ電流が生じる。
極サイズの装置コンデンサーを最大にするために、陽極本体の内面の陽極酸化膜
厚さを最小にする場合、バルブ金属陽極本体の外面により厚い陽極酸化膜がある
と、装置の短絡から大いに保護されることも長年公知であった。少なくとも以下
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に関してより重要な外部酸化物の厚みを作る。 1)陽極におけるコーナーと縁部との曲率半径が領域内の電界を上げ、これに
よって領域が短絡障害になる傾向がある。 2)「固体」電解質(例えば酸化マンガン)両端での電圧降下が陽極の外面で
最も小さく、これにより幾分高い電流が外部陽極面の酸化物のきずへ流れる。 3)粉末冶金の多孔質バルブ金属陽極本体の外部陽極面、特にコーナー及び縁
部が製造過程のバルク取り扱い時に損傷する。陽極は互いに、また供給ボール(
bowl)や振動軌道面で摩耗する。このバルク取り扱い時に生じる摩耗により、受
動酸化膜(passive oxide film)(焼結作業後、雰囲気に接触して形成される)
が外部陽極面内に埋め込まれることが実証された。この摩耗により埋め込まれた
受動膜によって、陽極の摩耗領域の陽極絶縁膜にきずが生じる(米国特許第5,71
6,511号に記載)。酸化物「ブリスター(blister)」は約100ボルト以上の陽極
電圧で容易に明確になるが、初期のきずがすべての膜厚に存在し、電界が増大す
ると共にひどく高い漏れ電流が生じる。
【0004】
陽極酸化された多孔質陽極本体の外面に、より厚い陽極酸化膜を生成するため
の幾つかの技術が特許文献に記載されている。
の幾つかの技術が特許文献に記載されている。
【0005】
米国特許第3,415,722号(Scellerら)が、多孔質コンデンサー本体を陽極酸化
処理して陽極本体全体に均一な誘電膜を形成し、該陽極本体を固体の不導体(ワ
ックス、ステアリン、アントラセン等)で含浸し、外部陽極面から絶縁固体を除
去し、その外面の初期電圧より高い電圧で陽極酸化処理して内部陽極酸化物より
厚い酸化膜を外面に形成する方法を記載している。そして、完成コンデンサーに
加工する前に絶縁固体が陽極本体から除去される。
処理して陽極本体全体に均一な誘電膜を形成し、該陽極本体を固体の不導体(ワ
ックス、ステアリン、アントラセン等)で含浸し、外部陽極面から絶縁固体を除
去し、その外面の初期電圧より高い電圧で陽極酸化処理して内部陽極酸化物より
厚い酸化膜を外面に形成する方法を記載している。そして、完成コンデンサーに
加工する前に絶縁固体が陽極本体から除去される。
【0006】
幾分同様の過程が米国特許第5,643,432号(Qiu)に記載されている。この特許
は、陽極酸化された多孔質本体電極を電解質不溶の絶縁液(ベンゼン、キシレン
等)で含浸し、陽極本体の外面から絶縁液を蒸発させ、かつ初期陽極酸化電圧よ
り高い電圧で陽極本体の外面に比較的厚い陽極酸化物層を形成することにより厚
い外部酸化膜を形成することを記載している。溶媒の残りは、陽極を加工して完
成コンデンサーにする前に蒸発させる。
は、陽極酸化された多孔質本体電極を電解質不溶の絶縁液(ベンゼン、キシレン
等)で含浸し、陽極本体の外面から絶縁液を蒸発させ、かつ初期陽極酸化電圧よ
り高い電圧で陽極本体の外面に比較的厚い陽極酸化物層を形成することにより厚
い外部酸化膜を形成することを記載している。溶媒の残りは、陽極を加工して完
成コンデンサーにする前に蒸発させる。
【0007】
特異な陽極酸化過程(すなわち、外部陽極膜に著しく厚い酸化膜を有する均一
な内部陽極酸化物の厚みを生成する多孔質バルブ金属コンデンサー本体の陽極酸
化過程)が米国特許第4,131,520号(Bernardら)に記載されている。この特許は
、弱酸(例えばホウ砂0.1%〜4.0%またはアンモニウムペンタボレート/ホウ酸
)の塩の水溶液からなる電解質を使用することにより、陽極酸化された多孔質陽
極本体に、より厚い外部陽極酸化膜を生成することを記載している。電流の流れ
により、電界質が陽極内部の陰イオンリッチ部分と陽極本体の外部の陽イオンリ
ッチ部分とに分かれる。この陽極本体内部の陰イオンリッチ電解質が再結合して
弱酸を形成する傾向があり、陽極内部で比較的高い電解質抵抗率と外部陽極面に
関連した非常に高速の陽極酸化物形成が行なわれる。また、より高い陽極酸化電
圧が外部陽極酸化膜を形成するために使用される。
な内部陽極酸化物の厚みを生成する多孔質バルブ金属コンデンサー本体の陽極酸
化過程)が米国特許第4,131,520号(Bernardら)に記載されている。この特許は
、弱酸(例えばホウ砂0.1%〜4.0%またはアンモニウムペンタボレート/ホウ酸
)の塩の水溶液からなる電解質を使用することにより、陽極酸化された多孔質陽
極本体に、より厚い外部陽極酸化膜を生成することを記載している。電流の流れ
により、電界質が陽極内部の陰イオンリッチ部分と陽極本体の外部の陽イオンリ
ッチ部分とに分かれる。この陽極本体内部の陰イオンリッチ電解質が再結合して
弱酸を形成する傾向があり、陽極内部で比較的高い電解質抵抗率と外部陽極面に
関連した非常に高速の陽極酸化物形成が行なわれる。また、より高い陽極酸化電
圧が外部陽極酸化膜を形成するために使用される。
【0008】
米国特許第4,131,520号はまた、特異な陽極酸化を達成するさらなる方法、す
なわち、陽極酸化された多孔質バルブ金属陽極を、弱酸塩の陰イオンを多孔質陽
極の本体に容易に送達しない溶媒に浸漬し、次に、その溶媒に浸漬した陽極を初
期陽極酸化電圧より高い電圧で陽極酸化して、より厚い外部陽極酸化物を生成す
る方法に関する。
なわち、陽極酸化された多孔質バルブ金属陽極を、弱酸塩の陰イオンを多孔質陽
極の本体に容易に送達しない溶媒に浸漬し、次に、その溶媒に浸漬した陽極を初
期陽極酸化電圧より高い電圧で陽極酸化して、より厚い外部陽極酸化物を生成す
る方法に関する。
【0009】
ごく最近では、他の特異な陽極酸化法が米国特許第5,837,121号(Kinardら)に
記載されており、この特許では、0.1%未満の水を含有し、約150℃以上で処理さ
れたグリセリン中の二塩基性リン酸カリウム溶液における、厚みが限定されない
(non-thickness-limited)陽極酸化能力を使用して、陽極の外面に陽極酸化物
の比較的厚い層を作り、同時に陽極本体の内面に比較的僅かな酸化物を伸長させ
る(この厚みが限定されない陽極酸化過程はまた、Brian Melody、Tony Kinard
、及びPhilip Lessnerにより、Electrochemical and Solid State Letters、1
巻、No.3、126〜129頁、1998年に発行された、表題「バルブ金属における陽極酸
化膜の厚みが限定されない伸長(The Non-Thickness-Limited Growth of Anodic
Oxide Films on Valve Metals)」の論文で詳細に説明されている。
記載されており、この特許では、0.1%未満の水を含有し、約150℃以上で処理さ
れたグリセリン中の二塩基性リン酸カリウム溶液における、厚みが限定されない
(non-thickness-limited)陽極酸化能力を使用して、陽極の外面に陽極酸化物
の比較的厚い層を作り、同時に陽極本体の内面に比較的僅かな酸化物を伸長させ
る(この厚みが限定されない陽極酸化過程はまた、Brian Melody、Tony Kinard
、及びPhilip Lessnerにより、Electrochemical and Solid State Letters、1
巻、No.3、126〜129頁、1998年に発行された、表題「バルブ金属における陽極酸
化膜の厚みが限定されない伸長(The Non-Thickness-Limited Growth of Anodic
Oxide Films on Valve Metals)」の論文で詳細に説明されている。
【0010】
上記の特異な陽極酸化(すなわち、多孔質バルブ金属陽極本体の内面上より外
面上に厚い陽極酸化膜を生成する陽極酸化)の方法のすべてが市販のコンデンサ
ー製造において重大な欠点を有する。米国特許第3,415,722号に記載された方法
は、ロウ物質を含有する陽極酸化陽極を形成するが、ロウ物質は完全に取り除く
ことが困難で、除去が不完全であれば固体電解質含浸過程を妨げる可能性がある
。
面上に厚い陽極酸化膜を生成する陽極酸化)の方法のすべてが市販のコンデンサ
ー製造において重大な欠点を有する。米国特許第3,415,722号に記載された方法
は、ロウ物質を含有する陽極酸化陽極を形成するが、ロウ物質は完全に取り除く
ことが困難で、除去が不完全であれば固体電解質含浸過程を妨げる可能性がある
。
【0011】
米国特許第5,643,432号に記載された過程は、第二の陽極酸化工程時に陽極か
ら水不溶性の液体有機物質が浸出する。これにより、処理された電極内部を、第
二陽極酸化工程における電解質から遮蔽することが不確実となり、その結果、予
測不可能なコンデンサー損失と電解質汚染を招く。
ら水不溶性の液体有機物質が浸出する。これにより、処理された電極内部を、第
二陽極酸化工程における電解質から遮蔽することが不確実となり、その結果、予
測不可能なコンデンサー損失と電解質汚染を招く。
【0012】
弱酸の塩の水溶液を使用する米国特許第4,131,520号に記載された最初の過程
は、具体的には、初期陽極酸化工程から陽極本体内に残存しているあらゆるリン
酸塩等の汚染の存在に非常に敏感であり、陽極酸化過程の特異な性質を無効にす
る傾向にあり、結果として装置コンデンサーの損失と共に陽極本体の内面に他の
酸化膜が伸長することになる。米国特許第4,131,520号に記載された第二の過程
は、第二の陽極酸化工程前に脱イオン水又はエチレングリコールに陽極を浸漬す
る過程であり、さらなる液体浸漬工程、および液体浸漬工程と第二の陽極酸化工
程との間の短い時間を必要とし、溶媒の蒸発による不規則な結果を防止する。ま
た、エチレングリコール又は他の有機物質を使用すると、陽極酸化電解質が有機
溶媒で徐々に汚染される。
は、具体的には、初期陽極酸化工程から陽極本体内に残存しているあらゆるリン
酸塩等の汚染の存在に非常に敏感であり、陽極酸化過程の特異な性質を無効にす
る傾向にあり、結果として装置コンデンサーの損失と共に陽極本体の内面に他の
酸化膜が伸長することになる。米国特許第4,131,520号に記載された第二の過程
は、第二の陽極酸化工程前に脱イオン水又はエチレングリコールに陽極を浸漬す
る過程であり、さらなる液体浸漬工程、および液体浸漬工程と第二の陽極酸化工
程との間の短い時間を必要とし、溶媒の蒸発による不規則な結果を防止する。ま
た、エチレングリコール又は他の有機物質を使用すると、陽極酸化電解質が有機
溶媒で徐々に汚染される。
【0013】
厚みが限定されない陽極酸化現象を利用する、米国特許第5,837,121号に記載
された方法は、約150℃以上の温度で電解質の使用が必要であり、この利用目的
のために特に設計されていない製造装置では保守と操作が困難である(ほとんど
の陽極酸化用タンクが100℃以下での使用として設計される)。
された方法は、約150℃以上の温度で電解質の使用が必要であり、この利用目的
のために特に設計されていない製造装置では保守と操作が困難である(ほとんど
の陽極酸化用タンクが100℃以下での使用として設計される)。
【0014】
米国特許第5,837,121号に記載された過程を除いて、より厚い外部酸化物を生
成するように陽極を特異的に陽極酸化する上記方法のすべてが、先ず陽極の陽極
酸化を必要とし、より厚い外部酸化物を生成するために使用される陽極酸化工程
前に、多孔質陽極本体全体で均一に厚い陽極酸化物を形成する。多孔質陽極本体
を陽極酸化するのに使用される電解質は、リン酸塩含有電解質内に形成された陽
極酸化膜の熱安定性を強化するため、殆ど常にオルトリン酸塩イオンを含有して
いる。酸化物を湿潤させる水溶液は、第二陽極酸化過程時に厚い外部酸化膜を生
成するための電解液を含み、残念なことに、同様に含有するリン酸塩は陽極酸化
物の熱安定性を強化するが、酸化物の湿潤性を低下させる傾向がある。リン酸塩
添加陽極酸化物で被覆され、陽極表面の湿潤性が低下すると、多孔質陽極本体の
外面に接触して存在し、より厚い外部陽極酸化膜を生成するために使用される電
解質では置換されない空気/気泡があるために、より厚い外部酸化物が不均一に
生成されることになる。この問題は米国特許第4,278,513号に示された陽極酸化
方法で扱われており、この特許では、陽極湿潤に影響を与え陽極に接触している
すべての空気/気泡を置き換えるために、0.1%〜1.0%の非イオン界面活性剤が
第二段階の電解質に添加される。
成するように陽極を特異的に陽極酸化する上記方法のすべてが、先ず陽極の陽極
酸化を必要とし、より厚い外部酸化物を生成するために使用される陽極酸化工程
前に、多孔質陽極本体全体で均一に厚い陽極酸化物を形成する。多孔質陽極本体
を陽極酸化するのに使用される電解質は、リン酸塩含有電解質内に形成された陽
極酸化膜の熱安定性を強化するため、殆ど常にオルトリン酸塩イオンを含有して
いる。酸化物を湿潤させる水溶液は、第二陽極酸化過程時に厚い外部酸化膜を生
成するための電解液を含み、残念なことに、同様に含有するリン酸塩は陽極酸化
物の熱安定性を強化するが、酸化物の湿潤性を低下させる傾向がある。リン酸塩
添加陽極酸化物で被覆され、陽極表面の湿潤性が低下すると、多孔質陽極本体の
外面に接触して存在し、より厚い外部陽極酸化膜を生成するために使用される電
解質では置換されない空気/気泡があるために、より厚い外部酸化物が不均一に
生成されることになる。この問題は米国特許第4,278,513号に示された陽極酸化
方法で扱われており、この特許では、陽極湿潤に影響を与え陽極に接触している
すべての空気/気泡を置き換えるために、0.1%〜1.0%の非イオン界面活性剤が
第二段階の電解質に添加される。
【0015】
さらに、第一段階の陽極酸化工程(陽極本体全体で均一な厚さの酸化物を生成
する)の一部、一定電圧時にかなり確立されている陽極酸化物の化学量論が、よ
り厚い酸化物を外部陽極表面に形成する第二段階陽極酸化工程においては、迅速
な伸長動力学によって覆されるという証拠がある。
する)の一部、一定電圧時にかなり確立されている陽極酸化物の化学量論が、よ
り厚い酸化物を外部陽極表面に形成する第二段階陽極酸化工程においては、迅速
な伸長動力学によって覆されるという証拠がある。
【0016】発明の概要
本発明は、多孔質バルブ金属陽極本体の陽極酸化に関し、特に、外面でより厚
く、陽極本体のバルク内でより薄い陽極酸化膜を形成するように多孔質コンデン
サー陽極本体の特異な陽極酸化に関連している。この特異な陽極酸化過程により
、使用時、陽極本体の外部表面の陽極酸化物に対して供給された電界を下げ(す
なわち、外部陽極表面の酸化物を横断する単位厚み当たりの電圧を下げ)、同時
に陽極本体のバルク全体で理論的に可能な高さにコンデンサーを維持する。
く、陽極本体のバルク内でより薄い陽極酸化膜を形成するように多孔質コンデン
サー陽極本体の特異な陽極酸化に関連している。この特異な陽極酸化過程により
、使用時、陽極本体の外部表面の陽極酸化物に対して供給された電界を下げ(す
なわち、外部陽極表面の酸化物を横断する単位厚み当たりの電圧を下げ)、同時
に陽極本体のバルク全体で理論的に可能な高さにコンデンサーを維持する。
【0017】
本発明は、さらに、多孔質バルブ金属本体の特異な陽極酸化に使用するのに適
した電解質に関し、特に、多孔質陽極本体の内部の電気抵抗率より低い電気抵抗
率を有する電解質に関する。この電解質は、弱酸の少なくとも1種のアルカリ金
属塩と、水と、ポリエチレングリコール、ポリエチレングリコール・モノメチル
エーテルまたはそれらの混合物から選択された1種の有機溶媒とを含む。この弱
酸のアルカリ金属塩は、酢酸、プロピオン酸、酪酸、ヘプタン酸またはこれらの
混合物のアルカリ金属塩を含むがこれには限定されず、弱い液体の有機酸のいか
なる適切な金属塩とすることができる。
した電解質に関し、特に、多孔質陽極本体の内部の電気抵抗率より低い電気抵抗
率を有する電解質に関する。この電解質は、弱酸の少なくとも1種のアルカリ金
属塩と、水と、ポリエチレングリコール、ポリエチレングリコール・モノメチル
エーテルまたはそれらの混合物から選択された1種の有機溶媒とを含む。この弱
酸のアルカリ金属塩は、酢酸、プロピオン酸、酪酸、ヘプタン酸またはこれらの
混合物のアルカリ金属塩を含むがこれには限定されず、弱い液体の有機酸のいか
なる適切な金属塩とすることができる。
【0018】
本発明は、さらに、少なくとも1種のポリエチレングリコール、ポリエチレン
グリコールモノメチルエーテルまたはそれらの混合物と、水と、弱い液体の有機
酸のアルカリ金属塩とを含む電解質で多孔質バルブ金属を陽極酸化して外面に比
較的厚い層を形成し、脱イオン水中で陽極を水洗し、標準的電解質を使用して再
度陽極酸化して陽極本体内で比較的薄い均一層を形成する方法に関する。
グリコールモノメチルエーテルまたはそれらの混合物と、水と、弱い液体の有機
酸のアルカリ金属塩とを含む電解質で多孔質バルブ金属を陽極酸化して外面に比
較的厚い層を形成し、脱イオン水中で陽極を水洗し、標準的電解質を使用して再
度陽極酸化して陽極本体内で比較的薄い均一層を形成する方法に関する。
【0019】
上記一般的な説明と以下の詳細な説明の双方とも例示であって、単なる説明に
過ぎず、本発明の特許請求の範囲を限定するものではない。
過ぎず、本発明の特許請求の範囲を限定するものではない。
【0020】好適な形態の詳細な説明
陽極本体に比較的近い陰極面を離間させ、比較的高い陽極酸化電流を使用し、
かつ適切な陽極酸化溶液/電解質で陽極本体の内面を陽極酸化する前に比較的厚
い外部酸化物を生成してから、内面全体に均一な薄い層を形成することによって
、多孔質バルブ金属コンデンサー本体の特異な陽極酸化が従来の陽極酸化装置で
達成できることが発見された。外部層の厚みは、少くとも20%、通常20%〜100
%、内部層より厚い。この装置定格電圧が低ければ低いほど、内部層の厚みと外
部層の厚みとの間の差の割合が大きくなる。
かつ適切な陽極酸化溶液/電解質で陽極本体の内面を陽極酸化する前に比較的厚
い外部酸化物を生成してから、内面全体に均一な薄い層を形成することによって
、多孔質バルブ金属コンデンサー本体の特異な陽極酸化が従来の陽極酸化装置で
達成できることが発見された。外部層の厚みは、少くとも20%、通常20%〜100
%、内部層より厚い。この装置定格電圧が低ければ低いほど、内部層の厚みと外
部層の厚みとの間の差の割合が大きくなる。
【0021】
固体コンデンサーの商業的製造においては、陽極が一般にキャリヤバーに溶接
され、キャリヤバーは陽極の「プロセスヘッド(process head)」又は「蓋(li
d)」として知られたキャリヤフレーム枠で支持される。本発明の好ましい方法
においては、この陽極のプロセスヘッドが陽極酸化電解質に浸漬された陽極で吊
るされ、本質的に平坦な陰極表面が約1インチより近い、好ましくは約0.5インチ
より近い距離で陽極本体の下で支持され、その部位では製造過程において決して
陽極本体に実際に接しない。陰極表面は、限定されないが、ステンレス鋼シート
、孔開きステンレス鋼シート、ステンレス鋼ワイヤメッシュ、合金20Cb3、白金
、金、またはそれらの組み合わせを含む、いかなる適当な導体及び形態でもよい
。
され、キャリヤバーは陽極の「プロセスヘッド(process head)」又は「蓋(li
d)」として知られたキャリヤフレーム枠で支持される。本発明の好ましい方法
においては、この陽極のプロセスヘッドが陽極酸化電解質に浸漬された陽極で吊
るされ、本質的に平坦な陰極表面が約1インチより近い、好ましくは約0.5インチ
より近い距離で陽極本体の下で支持され、その部位では製造過程において決して
陽極本体に実際に接しない。陰極表面は、限定されないが、ステンレス鋼シート
、孔開きステンレス鋼シート、ステンレス鋼ワイヤメッシュ、合金20Cb3、白金
、金、またはそれらの組み合わせを含む、いかなる適当な導体及び形態でもよい
。
【0022】
外部の厚い層の形成時に、陽極の内面に酸化膜が形成されないように多孔質陽
極本体内部の電解質抵抗率は、陽極周囲のバルク電解質の抵抗率より非常に高く
する必要がある。電解質は、意図しない陽極酸化物が多孔質陽極本体の内面に形
成するのを防止するため、イオン物質による汚染にも耐える必要がある。電解質
はまた、米国特許第4,131,520号に記載されたホウ酸塩含有電解質によく見られ
るが、空気/電解質界面上の陽極ワイヤに導電固体析出物を形成するため、容易
に乾燥されてはならない。陽極ワイヤに付いたホウ酸析出物は、特に陽極酸化電
圧及び電流によって、ワイヤ表面に導電結晶酸化タンタルまたは「グレイアウト
(gray out)」を形成することになる。
極本体内部の電解質抵抗率は、陽極周囲のバルク電解質の抵抗率より非常に高く
する必要がある。電解質は、意図しない陽極酸化物が多孔質陽極本体の内面に形
成するのを防止するため、イオン物質による汚染にも耐える必要がある。電解質
はまた、米国特許第4,131,520号に記載されたホウ酸塩含有電解質によく見られ
るが、空気/電解質界面上の陽極ワイヤに導電固体析出物を形成するため、容易
に乾燥されてはならない。陽極ワイヤに付いたホウ酸析出物は、特に陽極酸化電
圧及び電流によって、ワイヤ表面に導電結晶酸化タンタルまたは「グレイアウト
(gray out)」を形成することになる。
【0023】
上記種々の望ましい電解質特性は、弱い有機酸の1種又は2種以上のアルカリ金
属塩と、水と、ポリエチレングリコール、ポリエチレングリコールモノメチルエ
ーテル及びこれらの混合物から選択された1種又は2種以上の有機溶媒とを含有す
る電解質によって得ることができることが発見された。電解質は二段階工程又は
特異な陽極酸化過程における最初の陽極酸化工程で使用され、標準的な電解質が
第二の工程で使用される。
属塩と、水と、ポリエチレングリコール、ポリエチレングリコールモノメチルエ
ーテル及びこれらの混合物から選択された1種又は2種以上の有機溶媒とを含有す
る電解質によって得ることができることが発見された。電解質は二段階工程又は
特異な陽極酸化過程における最初の陽極酸化工程で使用され、標準的な電解質が
第二の工程で使用される。
【0024】
従って本発明は、少なくとも1種のポリエチレングリコール、ポリエチレング
リコールモノメチルエーテル又はこれらの混合物と、水と、弱い液体有機酸のア
ルカリ金属塩とを含む電解質で多孔質バルブ金属を陽極酸化して外面に比較的厚
い層を形成し、脱イオン水で陽極を水洗し、かつ標準的な電解質を使用して再度
陽極を陽極酸化して陽極本体内に比較的薄い層を形成する方法に関する。
リコールモノメチルエーテル又はこれらの混合物と、水と、弱い液体有機酸のア
ルカリ金属塩とを含む電解質で多孔質バルブ金属を陽極酸化して外面に比較的厚
い層を形成し、脱イオン水で陽極を水洗し、かつ標準的な電解質を使用して再度
陽極を陽極酸化して陽極本体内に比較的薄い層を形成する方法に関する。
【0025】
適切なポリエチレングリコールはポリエチレングリコール300を含み、適切な
ポリエチレングリコールモノメチルエーテルはポリエチレングリコールモノメチ
ルエーテル350を含み、これらは、カーボワックス(Carbowax)PEG300及びカー
ボワックスMPEG350 のブランド名でユニオン・カーバイド社からそれぞれ販売さ
れている。これらの溶媒は高い耐熱性及び高い耐電気化学崩壊性、低コスト、低
毒性、入手容易性、及び高い水溶性を有し、約80%以上の濃度の電解質で伝導度
が低い(高抵抗率)。
ポリエチレングリコールモノメチルエーテルはポリエチレングリコールモノメチ
ルエーテル350を含み、これらは、カーボワックス(Carbowax)PEG300及びカー
ボワックスMPEG350 のブランド名でユニオン・カーバイド社からそれぞれ販売さ
れている。これらの溶媒は高い耐熱性及び高い耐電気化学崩壊性、低コスト、低
毒性、入手容易性、及び高い水溶性を有し、約80%以上の濃度の電解質で伝導度
が低い(高抵抗率)。
【0026】
弱い有機酸のアルカリ金属塩は酢酸、プロピオン酸、酪酸又はヘプタン酸又は
それらの混合物等の適切な有機酸から得られる。弱い有機酸のアルカリ金属塩は
、高電流密度の特異な陽極酸化工程の間、多孔質陽極本体の孔内で比較的解離し
ていない酸の生成を容易にする。この有機酸は、特異な陽極酸化時に多孔質陽極
本体内で生じる幾分乾燥状態において陽極本体内で固体の析出を最小化する。
それらの混合物等の適切な有機酸から得られる。弱い有機酸のアルカリ金属塩は
、高電流密度の特異な陽極酸化工程の間、多孔質陽極本体の孔内で比較的解離し
ていない酸の生成を容易にする。この有機酸は、特異な陽極酸化時に多孔質陽極
本体内で生じる幾分乾燥状態において陽極本体内で固体の析出を最小化する。
【0027】
アルカリ金属イオンは、多孔質バルブ金属陽極本体の孔内に存在するあらゆる
不純物で、リン酸塩を含むがこれには限定されない比較的溶解性のある化合物を
形成する。従って、陽極酸化電解質を除去するために行う陽極酸化後の水洗過程
時に、特異に陽極酸化された陽極本体からこれらの物質が容易に除去される。カ
リウム塩は特に溶解することが見出されていて、本発明の電解質で使用される好
ましい塩である。特に酢酸カリウムが好ましい。
不純物で、リン酸塩を含むがこれには限定されない比較的溶解性のある化合物を
形成する。従って、陽極酸化電解質を除去するために行う陽極酸化後の水洗過程
時に、特異に陽極酸化された陽極本体からこれらの物質が容易に除去される。カ
リウム塩は特に溶解することが見出されていて、本発明の電解質で使用される好
ましい塩である。特に酢酸カリウムが好ましい。
【0028】
本発明の電解質は、特異な陽極酸化過程中に陽極本体の孔内で乾燥する傾向が
あり、結果として、電解質抵抗率が増大して比較的高い値になり、従って、特に
高い電流密度におけるこれらの電解質では、陽極の内面に比較的少量の陽極酸化
物が生成される。
あり、結果として、電解質抵抗率が増大して比較的高い値になり、従って、特に
高い電流密度におけるこれらの電解質では、陽極の内面に比較的少量の陽極酸化
物が生成される。
【0029】
電解質は、重量で約50%〜約80%、好ましくは約55%〜約75%の有機溶媒の水
溶液と十分な量の酢酸カリウム(又は弱い液体有機酸の他のアルカリ金属塩)を
含み、約500Ω・cm/80℃、好ましくは300Ω・cm/80℃、さらに好ましくは約200〜2
50Ω・cm/80℃の範囲の電解質抵抗率を、望ましい特異な陽極酸化法を生み出すの
に十分な電流密度(一般に、陽極本体当たり約25ミリアンペア以上)で生じる。
通常、弱い液体有機酸のアルカリ金属塩の量が、溶液全体の約1%〜約10%、好
ましくは溶液全体の約3%〜約7%、より好ましくは溶液全体の約5%である。
溶液と十分な量の酢酸カリウム(又は弱い液体有機酸の他のアルカリ金属塩)を
含み、約500Ω・cm/80℃、好ましくは300Ω・cm/80℃、さらに好ましくは約200〜2
50Ω・cm/80℃の範囲の電解質抵抗率を、望ましい特異な陽極酸化法を生み出すの
に十分な電流密度(一般に、陽極本体当たり約25ミリアンペア以上)で生じる。
通常、弱い液体有機酸のアルカリ金属塩の量が、溶液全体の約1%〜約10%、好
ましくは溶液全体の約3%〜約7%、より好ましくは溶液全体の約5%である。
【0030】
過程が均一な外部陽極酸化膜の厚みを形成するために、各陽極周囲の電界をか
なり均一にしなければならない。そのような均一性は比較的低い電解質抵抗率で
達成される。
なり均一にしなければならない。そのような均一性は比較的低い電解質抵抗率で
達成される。
【0031】
電解質の温度は当業者に公知であり、通常約80℃〜約90℃である。
【0032】
前もって設定された電圧に達するまで一定電流(陽極本体当たり約25ミリアン
ペア以上)を与え、それからある設定時間一定電圧で陽極本体を保持することに
よって、一定電流と一定電圧双方を維持できる電源のような、陽極への電圧/電
流を印加するあらゆる適切な手段を本発明の方法で使用することができる。
ペア以上)を与え、それからある設定時間一定電圧で陽極本体を保持することに
よって、一定電流と一定電圧双方を維持できる電源のような、陽極への電圧/電
流を印加するあらゆる適切な手段を本発明の方法で使用することができる。
【0033】
最良の結果を与える特異な陽極酸化法が、陽極サイズや陽極電圧定格等を幾分
変えることで見出される。しかし、特異的な陽極酸化の電圧を計算するために使
用しうる一般に有効な公式は次のとおりである:特異的な陽極酸化電圧(D.A.V
)=(1.3)(標準陽極酸化電圧)+35ボルト。40ボルトで陽極酸化される陽極
の場合は、特異的な陽極酸化電圧、すなわち(D.A.V)=(1.3)(40ボルト)+
35ボルト=87ボルトにかけられる。約0〜約20分、好ましくは約0〜約10分、より
好ましくは約1〜約5分、最も好ましくは約5分の保持時間で、本発明の特異な陽
極酸化過程により、従来の陽極酸化で約55〜65ボルトで得られる厚みに等しいか
、または40ボルト/80℃〜90℃の標準陽極酸化電圧で得られる厚みより約50%厚
い外部酸化層が各陽極本体周囲に成長する。
変えることで見出される。しかし、特異的な陽極酸化の電圧を計算するために使
用しうる一般に有効な公式は次のとおりである:特異的な陽極酸化電圧(D.A.V
)=(1.3)(標準陽極酸化電圧)+35ボルト。40ボルトで陽極酸化される陽極
の場合は、特異的な陽極酸化電圧、すなわち(D.A.V)=(1.3)(40ボルト)+
35ボルト=87ボルトにかけられる。約0〜約20分、好ましくは約0〜約10分、より
好ましくは約1〜約5分、最も好ましくは約5分の保持時間で、本発明の特異な陽
極酸化過程により、従来の陽極酸化で約55〜65ボルトで得られる厚みに等しいか
、または40ボルト/80℃〜90℃の標準陽極酸化電圧で得られる厚みより約50%厚
い外部酸化層が各陽極本体周囲に成長する。
【0034】
多孔質陽極本体は、本発明の電解質で陽極酸化され、水洗され、その後、通常
どおりに陽極酸化されて、当業者に周知の標準的な電解質を使用して多孔質陽極
本体の孔構造全体にわたり陽極酸化膜を形成する。そのような標準的な電解質に
は水性エチレングリコールとリン酸との組み合わせを含むが、これには限定され
ない。脱イオン水での水洗工程で、使用された電解質が除去され、より厚い外部
陽極膜が形成される。適切な電解質の例としては、水性ポリエチレングリコール
とリン酸、水性ポリエチレングリコールモノメチルエーテルとリン酸、水性ポリ
エチレングリコールジメチルエーテルとリン酸、水性リン酸、または水性グリセ
リンとリン酸が含まれる。
どおりに陽極酸化されて、当業者に周知の標準的な電解質を使用して多孔質陽極
本体の孔構造全体にわたり陽極酸化膜を形成する。そのような標準的な電解質に
は水性エチレングリコールとリン酸との組み合わせを含むが、これには限定され
ない。脱イオン水での水洗工程で、使用された電解質が除去され、より厚い外部
陽極膜が形成される。適切な電解質の例としては、水性ポリエチレングリコール
とリン酸、水性ポリエチレングリコールモノメチルエーテルとリン酸、水性ポリ
エチレングリコールジメチルエーテルとリン酸、水性リン酸、または水性グリセ
リンとリン酸が含まれる。
【0035】
以下の実施例は本発明の陽極酸化法及び電解質が「固体」電解質コンデンサー
の製造においていかに有利に使用できるかを例示している。
の製造においていかに有利に使用できるかを例示している。
【0036】実施例
本発明を以下の実施例を参照してさらに説明する。これらの実施例はいかなる
場合も本発明を限定するものとして解釈すべきではない。
場合も本発明を限定するものとして解釈すべきではない。
【0037】実施例1
本発明の方法と電解質とを使用するコンデンサーの改善性能を示すため、330
マイクロファラッド/10ボルト定格の1バッチの陽極をプレスし、ショーワ(Sho
wa)タンタル粉末番号S506から焼結した。陽極を陽極酸化のために以下の3つの
群に分けた。 群1) エチレングリコールとリン酸とを含有する水性電解質で従来どおり陽
極酸化した。 群2) 本発明の電解質(55%ポリエチレングリコール300及び1%酢酸カリウ
ム)で陽極酸化してより厚い外部酸化膜を形成し、その後、群1の電極を陽極酸
化するために使用した電解質と同じ電解質で陽極酸化した。 群3) 群1の陽極と同じ電解質で陽極酸化し、その後、陽極の外面により厚
い陽極酸化膜を形成するために群2の陽極と同様の本発明の電解質で陽極酸化し
た。
マイクロファラッド/10ボルト定格の1バッチの陽極をプレスし、ショーワ(Sho
wa)タンタル粉末番号S506から焼結した。陽極を陽極酸化のために以下の3つの
群に分けた。 群1) エチレングリコールとリン酸とを含有する水性電解質で従来どおり陽
極酸化した。 群2) 本発明の電解質(55%ポリエチレングリコール300及び1%酢酸カリウ
ム)で陽極酸化してより厚い外部酸化膜を形成し、その後、群1の電極を陽極酸
化するために使用した電解質と同じ電解質で陽極酸化した。 群3) 群1の陽極と同じ電解質で陽極酸化し、その後、陽極の外面により厚
い陽極酸化膜を形成するために群2の陽極と同様の本発明の電解質で陽極酸化し
た。
【0038】
この3つの群を、その後一緒に加工して炭素及び銀塗料をコーティングしたコ
ンデンサーにした。表1は3つの群の平均キャパシタンス及び漏れ電流を示す。
ンデンサーにした。表1は3つの群の平均キャパシタンス及び漏れ電流を示す。
【0039】
【表1】
【0040】
本発明によれば、標準的な陽極酸化工程の前に特異な陽極酸化工程を実施する
ことにより、漏れ電流が約46%低減した一方で、キャパシタンスは約4.5%だけ
減少した。対照的に、標準的な陽極酸化工程の後に特異な陽極酸化工程を実施す
ると、漏れ電流は約5.5%だけ低下し、しかしキャパシタンスが約10.5%低下し
た。このようにして、本発明の電解質を用いると、特異な工程(すなわち、比較
的厚い外部酸化膜を形成した陽極酸化工程)は、多孔質陽極本体の孔全体に陽極
酸化物を形成した標準的な陽極酸化工程前に、最適に実施される。
ことにより、漏れ電流が約46%低減した一方で、キャパシタンスは約4.5%だけ
減少した。対照的に、標準的な陽極酸化工程の後に特異な陽極酸化工程を実施す
ると、漏れ電流は約5.5%だけ低下し、しかしキャパシタンスが約10.5%低下し
た。このようにして、本発明の電解質を用いると、特異な工程(すなわち、比較
的厚い外部酸化膜を形成した陽極酸化工程)は、多孔質陽極本体の孔全体に陽極
酸化物を形成した標準的な陽極酸化工程前に、最適に実施される。
【0041】実施例2
本発明の特異な陽極酸化方法及び電解質の有用性を示すために、3つの群の陽
極を50,000マイクロファラッド/グラムのタンタル粉末から製造した。これらの
陽極の群のすべての定格を470マイクロファラッド/10ボルトにした。各群の陽極
のサイズを、第1群の陽極が35ボルトの公称陽極酸化電圧を有し、第2群の陽極が
30ボルトの公称標準陽極酸化電圧を有し、第3群の陽極が20ボルトの公称陽極酸
化電圧を有するように設計した。各群の半分が陽極当たり30ミリアンペアで特異
に陽極酸化され、75%ポリエチレングリコール300及び4〜5重量%酢酸カリウム
からなる本発明の電解質(80℃で1kHz抵抗率=240Ω・cm)で80ボルトの電圧にな
った(電圧で5分の保持時間)。
極を50,000マイクロファラッド/グラムのタンタル粉末から製造した。これらの
陽極の群のすべての定格を470マイクロファラッド/10ボルトにした。各群の陽極
のサイズを、第1群の陽極が35ボルトの公称陽極酸化電圧を有し、第2群の陽極が
30ボルトの公称標準陽極酸化電圧を有し、第3群の陽極が20ボルトの公称陽極酸
化電圧を有するように設計した。各群の半分が陽極当たり30ミリアンペアで特異
に陽極酸化され、75%ポリエチレングリコール300及び4〜5重量%酢酸カリウム
からなる本発明の電解質(80℃で1kHz抵抗率=240Ω・cm)で80ボルトの電圧にな
った(電圧で5分の保持時間)。
【0042】
特異な陽極酸化工程及び陽極の水洗後、各群の陽極すべてを標準的な製造電解
質中で陽極酸化して上記のように35ボルト、30ボルトまたは20ボルトにした。こ
れらの陽極を次に炭素及び銀塗料をコーティングしたコンデンサーに加工し、封
入の準備とした。各群のキャパシタンスと漏れを電流処理中のこの時点で読み取
った。その平均値を表2に示す。
質中で陽極酸化して上記のように35ボルト、30ボルトまたは20ボルトにした。こ
れらの陽極を次に炭素及び銀塗料をコーティングしたコンデンサーに加工し、封
入の準備とした。各群のキャパシタンスと漏れを電流処理中のこの時点で読み取
った。その平均値を表2に示す。
【0043】
【表2】
MFD=マイクロファラッド、μA=マイクロアンペア
【0044】
このようにして、本発明の特異な陽極酸化方法及び電解質を使用することによ
って、キャパシタンスの低下率(%)は、装置の漏れ電流の低下に比べて比較的
小さい。これは比較的低い陽極酸化電圧(例えばコンデンサーの定格電流の2〜3
倍)に特に当てはまる。パッケージサイズ当たりのキャパシタンスを最大にする
か、またはタンタル粉末のような高価なバルブ金属の使用を少なくするために設
計されたコンデンサーで直面するような陽極酸化電圧を下げた状態において、多
孔質本体のバルブ金属「固体」コンデンサーの漏れ電流を下げるように、本発明
の特異な陽極酸化方法及び電解質を使用することができる。
って、キャパシタンスの低下率(%)は、装置の漏れ電流の低下に比べて比較的
小さい。これは比較的低い陽極酸化電圧(例えばコンデンサーの定格電流の2〜3
倍)に特に当てはまる。パッケージサイズ当たりのキャパシタンスを最大にする
か、またはタンタル粉末のような高価なバルブ金属の使用を少なくするために設
計されたコンデンサーで直面するような陽極酸化電圧を下げた状態において、多
孔質本体のバルブ金属「固体」コンデンサーの漏れ電流を下げるように、本発明
の特異な陽極酸化方法及び電解質を使用することができる。
【0045】
当業者には種々の改良及び変形を、本発明の精神又は特許請求の範囲から逸脱
せずに本発明の組成物と方法とで実施できることが明かであろう。従って、本発
明は、添付の特許請求の範囲及びその等価物の範囲に入るならば、この発明の改
良及び変形を含むことが意図されている。
せずに本発明の組成物と方法とで実施できることが明かであろう。従って、本発
明は、添付の特許請求の範囲及びその等価物の範囲に入るならば、この発明の改
良及び変形を含むことが意図されている。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(81)指定国 EP(AT,BE,CH,CY,
DE,DK,ES,FI,FR,GB,GR,IE,I
T,LU,MC,NL,PT,SE),OA(BF,BJ
,CF,CG,CI,CM,GA,GN,GW,ML,
MR,NE,SN,TD,TG),AP(GH,GM,K
E,LS,MW,MZ,SD,SL,SZ,TZ,UG
,ZW),EA(AM,AZ,BY,KG,KZ,MD,
RU,TJ,TM),AE,AG,AL,AM,AT,
AU,AZ,BA,BB,BG,BR,BY,BZ,C
A,CH,CN,CR,CU,CZ,DE,DK,DM
,DZ,EE,ES,FI,GB,GD,GE,GH,
GM,HR,HU,ID,IL,IN,IS,JP,K
E,KG,KP,KR,KZ,LC,LK,LR,LS
,LT,LU,LV,MA,MD,MG,MK,MN,
MW,MX,MZ,NO,NZ,PL,PT,RO,R
U,SD,SE,SG,SI,SK,SL,TJ,TM
,TR,TT,TZ,UA,UG,US,UZ,VN,
YU,ZA,ZW
(71)出願人 P.O. Box 5928,Highway
385,S.E.,Greenville,
South Carolina 29606,
United States of Am
erica
(72)発明者 メロディー ブライアン ジェイ.
アメリカ合衆国 サウスカロライナ州 グ
リアー ウッディ クリーク ロード
124
(72)発明者 キナード ジョン ティー.
アメリカ合衆国 サウスカロライナ州 シ
ンプソンビル フェアビュー ロード
#219 630
(72)発明者 レスナー フィリップ エム.
アメリカ合衆国 サウスカロライナ州 シ
ンプソンビル サークル スロープ ドラ
イブ 140
Claims (18)
- 【請求項1】 約250Ω・cm/80℃以下の抵抗率を有するように、水と、ポリ
エチレングリコール、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル及びそれらの
混合物から成る群より選択された有機溶媒と、十分な量の弱い有機酸のアルカリ
金属塩とを含む電解質。 - 【請求項2】 約50%〜約80%の有機溶媒を含む、請求項1記載の電解質。
- 【請求項3】 約55%〜約75%の有機溶媒を含む、請求項2記載の電解質。
- 【請求項4】 有機溶媒がポリエチレングリコール300である、請求項1記載
の電解質。 - 【請求項5】 有機溶媒がポリエチレングリコールモノメチルエーテル350
である、請求項1記載の電解質。 - 【請求項6】 弱い有機酸が、酢酸、プロピオン酸、酪酸またはヘプタン酸
またはそれらの混合物である、請求項1記載の電解質。 - 【請求項7】 弱い有機酸のアルカリ金属塩が酢酸カリウムである、請求項
1記載の電解質。 - 【請求項8】 約1%〜約10%の弱い有機酸のアルカリ金属塩を含む、請求
項1記載の電解質。 - 【請求項9】 多孔質バルブ金属本体を特異に陽極酸化する方法であって、 a)該本体を第一の電解質で陽極酸化する工程 b)該本体を脱イオン水で水洗する工程、および c)該本体を第二の電解質で再陽極酸化する工程を含み、 該第一の電解質が約250Ω・cm/80℃以下の抵抗率を有するように、水と、ポリ
エチレングリコール、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル及びそれらの
混合物からなる群より選択された有機溶媒と、十分な量の弱い有機酸のアルカリ
金属塩とを該第一の電解質が含む、方法。 - 【請求項10】 第一の電解質が、電解質の総重量に基づいて約50%〜約80
%の有機溶媒を含有する請求項9記載の方法。 - 【請求項11】 第一の電解質が、電解質の総重量に基づいて約55%〜約75
%の有機溶媒を含有する、請求項10記載の方法。 - 【請求項12】 陰極面が陽極本体との接触が1インチ以内にある、請求項9
記載の方法。 - 【請求項13】 有機溶媒がポリエチレングリコール300である、請求項9記
載の方法。 - 【請求項14】 有機溶媒がポリエチレングリコールモノメチルエーテル35
0である、請求項9記載の方法。 - 【請求項15】 弱い有機酸が、酢酸、プロピオン酸、酪酸またはヘプタン
酸またはそれらの混合物である、請求項9記載の方法。 - 【請求項16】 弱い有機酸のアルカリ金属塩が酢酸カリウムである、請求
項9記載の方法。 - 【請求項17】 バルブ金属がタンタルである、請求項9記載の方法。
- 【請求項18】 約1%〜約10%の弱い有機酸のアルカリ金属塩を含む、請
求項9記載の方法。
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US09/420,489 | 1999-10-19 | ||
PCT/US2000/026296 WO2001029291A1 (en) | 1999-10-19 | 2000-09-25 | Method of anodizing tantalum powder |
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Publication Number | Publication Date |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JPWO2011013375A1 (ja) * | 2009-07-29 | 2013-01-07 | 昭和電工株式会社 | 固体電解コンデンサの製造方法 |
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US6687117B2 (en) | 2002-01-31 | 2004-02-03 | Wilson Greatbatch Technologies, Inc. | Electrolytes for capacitors |
US20050218005A1 (en) * | 2004-04-01 | 2005-10-06 | Yanming Liu | Anodizing electrolytes for high voltage capacitor anodes |
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-
2000
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