JP2003346500A - 半導体集積回路及びそのテスト方法 - Google Patents
半導体集積回路及びそのテスト方法Info
- Publication number
- JP2003346500A JP2003346500A JP2002155107A JP2002155107A JP2003346500A JP 2003346500 A JP2003346500 A JP 2003346500A JP 2002155107 A JP2002155107 A JP 2002155107A JP 2002155107 A JP2002155107 A JP 2002155107A JP 2003346500 A JP2003346500 A JP 2003346500A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test
- memory
- memories
- information
- address
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/04—Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
- G11C29/08—Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
- G11C29/12—Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
- G11C29/18—Address generation devices; Devices for accessing memories, e.g. details of addressing circuits
- G11C29/26—Accessing multiple arrays
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/04—Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
- G11C29/08—Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
- G11C29/12—Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
- G11C29/18—Address generation devices; Devices for accessing memories, e.g. details of addressing circuits
- G11C2029/1806—Address conversion or mapping, i.e. logical to physical address
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/04—Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
- G11C29/08—Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
- G11C29/12—Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
- G11C29/18—Address generation devices; Devices for accessing memories, e.g. details of addressing circuits
- G11C29/26—Accessing multiple arrays
- G11C2029/2602—Concurrent test
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/04—Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
- G11C29/08—Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
- G11C29/12—Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
- G11C29/18—Address generation devices; Devices for accessing memories, e.g. details of addressing circuits
- G11C29/30—Accessing single arrays
- G11C2029/3202—Scan chain
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
- Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)
Abstract
ーンなどによるメモリテスト効率を向上させる。 【解決手段】 アクセスデータ幅及びアドレスデコード
論理の異なる複数のメモリ(11〜15)に接続される
共通テストバス(31)からのテストデータ情報を各メ
モリに固有のアクセスデータ幅に変換すると共に、共通
テストバスからのテストアドレス情報を各メモリに固有
のビット配列に変換して、対応メモリに供給する複数の
ブリッジ回路(21〜25)を設ける。複数のメモリに
共通テストバスから並列にテストアドレス情報を供給し
て並列テスト可能になる。アクセスデータ幅の異なる複
数のメモリに対してテストデータ情報を並列に供給する
ことができ、テストアドレス情報に対する夫々のメモリ
におけるアドレススキャン方向を固有のビット配列にし
たがって特定方向に統一することが可能になる。
Description
やアドレスデコード論理の相違する複数個のメモリに対
するテスト技術に関し、例えばそのようなメモリを複数
個オンチップで備えるマイクロコンピュータもしくは所
謂システムLSIのような半導体集積回路に適用して有
効な技術に関する。
などの半導体集積回路にオンチップされた複数のメモリ
に対するテスト技術について記載された文献として、特
開2000−111618、特開平11−250698
がある。それら文献では、オンチップメモリの前段でテ
ストデータのビット拡張を行なっている。
スなどを保証するために、メモリセル間干渉、ワード線
ディスターブ、ビット線ディスターブによる影響を考慮
することが必要であり、全ての場合を検証しようとする
と膨大なテスト時間を要し、現実的ではない。そこで、
効率的に検証を行なう為の手法としてマーチパターンや
ウォーキングパターン等の手法が従来から採用されてい
る。この種の検証手法では、メモリセルアレイに対して
アクセス単位のメモリセルを行方向に順次選択しながら
データを所定値に書き換えていったり、列方向に順次選
択しながらデータを所定値に書き換えていったりすると
いう、メモリセルの物理的な配置に対してメモリセルの
選択方向を所定の規則にしたがって変化させることが必
要になる。
術では、アクセスデータ幅の異なる複数のメモリに対し
て並列に固有のアクセスデータ幅に変換することは考慮
されていない。
なる複数のメモリがオンチップされている場合、それら
に対して共通にアドレスを入力しても、アドレスデコー
ド論理の相違により、換言すれば、メモリアドレス空間
におけるメモリセルの物理的なマッピングの相違によ
り、アドレスインクリメントによってメモリセルの選択
を列方向或は行方向に統一して順次更新することができ
ない。このため、オンチップメモリ毎に固有のアドレス
マッピングに応じたアドレス更新を行ないながらマーチ
パターンなどの手法によるメモリテストを行なわなけれ
ばならなかった。これにより、オンチップメモリのテス
ト時間が増大するという問題があった。アクセスデータ
幅の異なる複数のメモリ間においても同様の問題があ
る。
スト時間を短縮することができる半導体集積回路を提供
することにある。
るテスト時間を短縮することが可能なテスト方法を提供
することにある。
特徴は本明細書の記述及び添付図面から明らかになるで
あろう。
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記
の通りである。
モリ及び前記メモリをアクセス制御可能な論理回路を含
む半導体集積回路において、前記複数のメモリに接続さ
れる共通テストバスと、前記共通テストバスからのテス
トデータ情報を各メモリに固有のアクセスデータ幅に変
換して対応するメモリに供給する複数のブリッジ回路を
設け、複数のメモリに共通テストバスから並列にテスト
データ情報を供給して並列テスト可能にする。
なる複数のメモリに対してテストデータ情報を並列に供
給しても、ブリッジ回路がテストデータ情報を対応メモ
リに固有のアクセスデータ幅に変換することができる。
アクセスデータ幅の異なる複数のメモリに対してテスト
データ情報を並列に供給することができるという点にお
いて、オンチップメモリのテスト効率を向上させること
ができる。
リ及び前記メモリをアクセス制御可能な論理回路を含む
半導体集積回路において、前記複数のメモリに接続され
る共通テストバスと、前記共通テストバスからのテスト
アドレス情報を各メモリに固有のビット配列に変換して
対応するメモリに供給する複数のブリッジ回路を設け、
複数のメモリに共通テストバスから並列にテストアドレ
ス情報を供給して並列テスト可能にする。
の異なる複数のメモリに対してテストアドレス情報を並
列に供給しても、ブリッジ回路がテストアドレス情報を
対応メモリに固有のビット配列に変換する。テストアド
レス情報に対する夫々のメモリにおけるアドレススキャ
ン方向を固有のビット配列にしたがって特定方向に統一
することが可能になる。この点において複数のオンチッ
プメモリに対するマーチパターンなどによるメモリテス
ト効率を向上させることができる。
路及びテストアドレス情報に対するブリッジ回路の双方
を採用することも可能である。
て、前記ブリッジ回路は、変換可能なビット配列をテス
ト制御情報に従って選択可能としてよい。マーチパター
ンなどによるアドレススキャン方向は少なくとも行方向
及び列方向の双方とする場合が一般的であり、その何れ
にも簡単に対応できるようになる。
ブリッジ回路はメモリからの読み出し情報と共通テスト
バスからの期待値情報とを比較する比較手段と、前記比
較手段による比較結果に従ってメモリの不良情報を保持
するラッチ手段を有するのがよい。複数のメモリに対す
る並列テスト結果をラッチ手段から順次直列的に得るこ
とが可能になる。
するアドレスラッチ手段と、不良の比較結果をラッチす
る不良フラグ手段とから構成して良い。不良発生の所在
も明らかになる。
力を入力して直列的に出力可能とするスキャンパス用の
シフトレジスタ手段を有してよい。並列テスト結果をラ
ッチ手段から順次直列に得ることが容易になる。
て、前記ブリッジ回路は、メモリからの読み出し情報と
共通テストバスからの期待値情報とを比較する比較手段
と、前記比較手段による比較結果に別のブリッジ回路か
らの比較結果出力との論理和を採り更に別のブリッジ回
路に出力するゲート手段とを有し、複数のゲート手段
を、前段ゲート手段の出力が次段ゲート手段の入力に接
続するように直列形態に接続して構成するとよい。
ストデータ情報を更新しながらテストアドレス情報を更
新して、アドレススキャンを伴う並列テストを逐次進め
ていく途上で、比較不一致によいるエラーを何れかのメ
モリで生ずると、最終段ゲート手段の出力が変化する。
この最終段出力をモニタすることにより、複数メモリに
対する並列テストを行いながら、テストの継続/中止の
判定(Go / No go判定)を行なうことができる。
て、前記複数のメモリの少なくとも一つはマルチポート
メモリであり、前記マルチポートメモリに対応されるブ
リッジ回路は、前記共通テストバスに接続するポートの
選択と、前記共通テストバスに非接続が選択されたポー
トにディスターブ情報を入力可能とするのがよい。ディ
スターブ情報は任意のパターンデータであってよい。こ
れにより、マルチポートを持つ場合にはポート間干渉の
テストを併用でき、マルチポートメモリに対するテスト
の信頼性を向上させることができる。
モリを共通テストバスを介して並列にテストするテスト
方法は、テストデータ情報を前記共通テストバスに供給
する処理と、前記共通テストバスからテストデータ情報
を入力して対応するメモリに固有のアクセスデータ幅に
変換する処理と、変換されたテストデータ情報を対応す
るメモリに並列に書き込む処理と、書き込まれたテスト
データ情報を複数のメモリから読み出す処理と、読み出
されたテストデータ情報と期待値情報とをメモリ単位で
比較してメモリエラー情報を生成する処理と、を含む。
幅の異なる複数のメモリに対してテストデータ情報を並
列に供給しても、テストデータ情報を対応メモリに固有
のアクセスデータ幅に変換することができる。アクセス
データ幅の異なる複数のメモリに対してテストデータ情
報を並列に供給することができるという点において、ア
クセスデータ幅の異なる複数のメモリに対するテスト効
率を向上させることができる。
リを共通テストバスを介して並列にテストするテスト方
法は、テストアドレス情報を前記共通テストバスに供給
する処理と、前記共通テストバスからテストアドレス情
報を入力して対応するメモリに固有のビット配列に変換
する処理と、変換されたテストアドレス情報を用いて対
応するメモリにテストデータを系列に書き込む処理と、
書き込まれたテストデータを複数のメモリから読み出す
処理と、読み出されたテストデータと期待値情報とをメ
モリ単位で比較してメモリエラー情報を生成する処理
と、を含む。
ド論理の異なる複数のメモリに対してテストアドレス情
報を並列に供給しても、テストアドレス情報を対応メモ
リに固有のビット配列に変換することができる。したが
って、テストアドレス情報に対する夫々のメモリにおけ
るアドレススキャン方向を固有のビット配列にしたがっ
て特定方向に統一することが可能になる。この点におい
てアドレスデコード論理の異なる複数のメモリに対する
マーチパターンなどによるメモリテスト効率を向上させ
ることができる。
回路の一例であるマイクロコンピュータの平面的な構成
が例示される。同図に示されるマイクロコンピュータは
例えば単結晶シリコンのような1個の半導体基板にCM
OS集積回路製造技術によって形成される。
周囲に入出力回路(IO)2を有し、その内側に、マイ
クロプロセッサ(MPU)3、第1ロジック回路(LO
G1)4、第2ロジック回路(LOG2)5、第3ロジ
ック回路(LOG3)6及びメモリブロック7を有し、
それら回路ブロックは内部バス8に共通接続される。マ
イクロコンピュータはその他にテスト用回路として代表
的に示されたテストコントローラ9を備える。内部バス
8はアドレス、データ及び制御信号を伝播する。前記ロ
ジック回路3〜5は、特に制限されないが、MPU3の
アクセラレータとして位置付けられる誤り訂正回路、A
TAPIなどのインタフェースコントローラ、符号化復
号論理などとされる。
れる。メモリブロック7は3個のシングルポートメモリ
11〜13と2個のデュアルポートメモリ14,15を
有する。メモリ11は1KW(キロ・ワード)×16ビ
ットの記憶容量を有しアクセスデータ幅は16ビットで
ある。メモリ12は2KW×8ビットの記憶容量を有し
アクセスデータ幅は8ビットである。メモリ13は25
6W×16ビットの記憶容量を有しアクセスデータ幅は
16ビットである。メモリ14は1KW×8ビットの記
憶容量を有しアクセスデータ幅は8ビットである。メモ
リ15は704W×12ビットの記憶容量を有しアクセ
スデータ幅は12ビットである。
3は、特に制限されないが、SRAM(Static Random
Access Memory)から成り、図示は省略するが、スタテ
ィックラッチ形態のメモリセルがマトリクス配置された
メモリセルアレイ、メモリセルの選択端子が接続される
ワード線を駆動するワードドライバ、ワードドライバで
駆動するワード線を選択するロウデコーダ、メモリセル
のデータ入出力端子が接続されたビット線を選択的に共
通データ線に接続するカラムスイッチ回路、カラムスイ
ッチ回路の選択信号を生成するカラムデコーダ、メモリ
セルから共通データ線に読み出された記憶情報を検出し
て増幅するセンスアンプ、共通データ線に対する書き込
みデータの入力及びセンスアンプで検出された読み出し
データの出力を行なうデータ入出力バッファ、前記ロウ
デコーダ及びカラムデコーダに供給するアドレス信号を
受けるアドレスバッファ、及びメモリ選択信号やリード
・ライト信号などのアクセス制御信号を受けてメモリ動
作を制御するタイミングコントローラを有する。
メモリセル毎に、一方のアクセスポート用のワード線及
びビット線と、他方のポート用のワード線及びビット線
を有し、シングルポートメモリにおけるワード線選択系
及びカラム選択選択系をポート毎に備える。
ード論理が相違される。例えば図3にはメモリ13のデ
コード論理とメモリ11のデコード論理が例示される。
メモリ13のデコード論理は図3から明らかなように、
アドレスa[0]〜a[7]を+1ずつインクリメント
するとワード番号は0から順番に255まで昇順で変化
するようになり、X方向スキャンとなる。一方、メモリ
11のデコード論理はアドレスa[0]〜a[9]を+
1ずつインクリメントするとアドレシングされるメモリ
セルのスキャン方向はY方向に最初動き、a[2]より
上位側の変化でX方向スキャンになる。
〜15は対応するブリッジ回路21〜25を介して前記
内部バス8に接続する。ブリッジ回路21〜25はテス
トコントローラ9と共にテスト用の回路、即ちBIST
(Built In Self Test)回路を構成する。ブリッジ回路
21〜25は共通テストバス31を介してテストコント
ローラ9からテストデータ情報、テストアドレス情報及
びテスト制御情報等が与えられて、その動作が制御され
る。ブリッジ回路21〜25は前記共通テストバス31
からのテストデータ情報を各メモリ11〜15に固有の
アクセスデータ幅に変換して対応するメモリ11〜15
に供給し、また、前記共通テストバス31からのテスト
アドレス情報を各メモリ11〜15に固有のビット配列
に変換して対応するメモリ11〜15に供給する。ブリ
ッジ回路21〜25によるアクセスデータ幅の変更とテ
ストアドレス情報のビット配列変更により、複数のメモ
リ11〜15は揃ってX方向スキャンなどを行なってメ
モリテストを並列に行なうことが可能にされる。ブリッ
ジ回路21〜25は状態送受信用信号線32を介して直
列に接続され、メモリ11〜15の並列テストの結果は
状態送受信用信号線32を伝播してテストコントローラ
9に供給される。
けされたブリッジ回路24,25にはデュアルポート共
通テストバス33が接続され、共通テストバス31を介
してデュアルポートメモリ14,15がテストされると
き、テスト非対象ポートにデュアルポート共通テストバ
ス33を介してテスト対象ポートに対するディスターブ
情報を与えたりすることが可能にされる。
スバスABUSとデータバスDBUSが代表的に例示さ
れる。メモリ11〜15とブリッジ回路21〜25は夫
々専用の信号線群(メモリ・ブリッジ間バス)34にて
接続される。
ジ回路21(22,23)に基本的構成が例示される。
メモリテスト時に利用する共通テストバス31からの入
力信号(図に示される■の端子からの入力信号)は以下
の通りである。すなわち、teは通常動作時入力とテス
ト時入力の切替えを行なう切換え信号、t_resbは
メモリリセット信号、t_weは書き込み制御信号、t
_bsはモジュール選択信号である。t_ckはクロッ
ク信号、t_dは4ビットに圧縮したテストデータ入力
信号(テストデータ情報)、t_aはアドレス信号(テ
ストアドレス情報)である。br_smはアドレススキ
ャン方式を選択する信号、br_refはメモリ出力を
判定するための期待値入力信号、br_enはブリッジ
の判定を行うかを制御する信号、br_resbはブリ
ッジ回路のリセット信号、br_sckはスキャンクロ
ック入力信号である。
信号(図に二重の□で示される端子からの入出力信号)
は以下の通りである。br_async_inはエラー
信号を非同期で入力する信号である。br_async
_outはエラー信号を非同期で送信する信号である。
br_sync_inはブリッジ回路の状態を信号br
_sckと同期して受信する入力信号である。br_s
ync_outはブリッジ回路の状態を信号br_sc
kと同期して送信する送信信号である。
力される信号(図の×付き□で示される端子からの入出
力信号)は以下の通りである。メモリ制御信号、例えば
m_resbはリセット信号、m_weは書き込み制御
信号、m_bsはモジュール選択信号である。m_ck
はクロック信号、m_dはメモリへの書き込みデータ、
m_aはアクセスアドレス信号、m_qはメモリからの
読み出しデータである。
時の信号(図の□の端子からの入出力信号)は以下の通
りである。メモリ制御信号、例えばresbはリセット
信号、weは書き込み制御信号、bsはモジュール選択
信号である。ckはクロック信号、dは入力データ、a
はアドレス信号、qはメモリ出力データである。
通テストバス31の何れをブリッジ・メモリ間バス34
に接続するかを信号teにより選択する。セレクタse
lはメモリからの読み出しデータを内部バス8に出力す
るか又はテスト用の後述する比較回路38に供給するか
を信号teにより選択する。
から4ビット単位で供給されるテストデータ情報として
の書き込みデータt_dを対応メモリに固有のデータm
_dの並列ビット数すなわちアクセスデータ幅に展開し
て後段に出力する。例えば4ビットのテストデータ情報
をt_dを16ビットにデータ展開する回路は、テスト
データ情報t_dの各ビットを夫々4ビットに拡張し
て、テストデータ情報t_dを4組並列させて出力する
拡張経路によって構成すればよい。これにより、4ビッ
トのテストデータ情報をt_dのパターンを繰り返す形
態でデータ展開が行なわれる。データ展開を行なうとき
の繰返し数は対応メモリのアクセスデータ幅に応じて固
定的に決定すれば充分である。
バス31からのテストアドレス情報t_aを対応するメ
モリに固有のビット配列に変換して後段に出力する。変
換するビット配列の種別、ここではアドレススキャン方
向に応ずるビット配列は信号br_smで指定可能にな
っている。オーバーフローチェック回路37はアドレス
変換回路36で変換さたアドレスが対応するメモリのア
ドレス範囲を超えたか否かを検出し、越えたことを検出
したときはモジュール選択信号m_bsを非選択レベル
に反転させる。
5で展開されたデータm_dが、アドレス変換回路36
で変換されたアドレスm_aに書き込まれる。書き込ま
れたデータがメモリから読み出されると、戻りデータm
_qとしてブリッジ回路21(22,23)に入力され
る。戻りデータm_qはセレクタselを介して比較回
路38に、期待値データbr_refは展開回路39を
介して前記比較回路38に供給され、両入力データの一
致/不一致が判別される。比較出力は不一致で論理値”
0”から論理値”1”に反転される。要するに、これに
よってテストエラーの発生が検出される。テストエラー
の発生が検出されると、不良情報すなわちエラー情報と
して、エラーに係るテストアドレス情報t_aがアドレ
スラッチ回路40にラッチされ、比較結果ラッチ回路4
1がセット状態にされ、その出力であるエラーフラグE
FLGが論理値”1”にされる。夫々のラッチ動作はテ
スト用のクロック信号t_ckに同期される。
ンパスの一部を構成するシフトレジスタ42及び論理和
ゲート(OR)43によって行う。
較結果と前段ブリッジ回路からの比較回路による比較結
果との論理和を形成して出力する。したがって、複数の
メモリ11〜15に対しテストデータ情報を与えながら
テストアドレス情報を更新して、アドレススキャンを伴
う並列テストを逐次進めていく途上で、比較回路38に
よる比較不一致のエラーを何れかのメモリで生ずると、
その変化は最終段ブリッジ回路25の出力信号br_a
sync_outに反映される。この最終段出力をテス
トコントローラ9を経由して外部のテスタ等でモニタす
ることにより、複数メモリに対する並列テストを行いな
がら、テストの継続/中止の判定(Go/ No go判定)を
行なうことができる。
プフロップが直列配置された直列接続形態の第1FFチ
ェーン42A及び第2FFチェーン42Bによって構成
される。第2FFチェーン42Bはアドレスラッチ回路
40がラッチしたアドレス情報を並列にラッチし、第1
FFチェーン42AはエラーフラグEFLGをラッチす
る。シフトレジスタ42にラッチされた不良情報はスキ
ャンクロックbr_sckに同期してブリッジ回路間を
渡って状態送受信用信号線32からテストコントローラ
9に供給される。この不良情報のスキャンパス出力動作
は、例えば、前記最終段ブリッジ回路25の出力信号b
r_async_outによってエラー発生を検出した
とき、テストコントローラ9がテストの継続を停止した
後に行なえばよい。尚、アドレスラッチ回路40及び比
較結果ラッチ回路41からラッチデータがシフトレジス
タ42にロードされるタイミングはスキャンクロックb
r_sckの最初のパルス変化に同期される。それ以降
シフトレジスタ42は信号br_resbでリセットさ
れるまでラッチ回路40,41の出力を取り込まず、ス
キャンクロックbr_sckの変化に同期してデータシ
フト動作を行なうだけとされる。
トコントローラ9の出力を受けるテスタ(図示を省略)
はスキャンクロックbr_sckを計数しながら、br
_async_outからエラーフラグEFLGを監視
し、論理値“1”を検出したときのスキャンクロックb
r_sck計数値からエラー発生元のメモリを識別でき
る。各ブリッジ回路21〜25におけるシフトレジスタ
42のシフト段数は予め分かっているからである。ま
た、前記テスタは、論理値“1”のエラーフラグEFL
G直前のアドレス情報をbr_sync_outから取
得することによりエラー発生に係るメモリアドレスを識
別することができる。
される。このアドレス変換回路36は1KW×16ビッ
トのメモリ11に対応するブリッジ回路21内蔵の回路
構成である。入力アドレス信号t_a[9:0]とm_
a[9:0]の配列変更は敷線論理44で固定的に行な
い、Xスキャン、Cスキャン、Yスキャンの3通りに配
列変更を行なう。3態様の内の出力態様の選択は2ビッ
トの信号br_smに従ってセレクタ45で行なう。図
5の配列変更論理は図3のメモリ11におけるアドレス
デコード論理に則している。この場合、Xスキャンはア
ドレスインクリメントによる基本的なスキャン方向がX
方向、Yスキャンはアドレスインクリメントによる基本
的なスキャン方向がY方向、Cスキャンはアドレスイン
クリメントによるスキャン方向が前のアドレスで参照さ
れたメモリセルと接しない方向であることを意味する。
報が例示される。テストコントローラ9からマイクロコ
ンピュータ1の外部に引き出されている信号は図示を省
略するテスタとインタフェースされる。テストコントロ
ーラ9はテストアドレス情報を順次インクリメントして
生成するアドレスカウンタ47を有する。アドレスカウ
ンタ47の計数初期値はテスト制御信号で与えられる。
24,25の基本的構成が例示される。図4との相違点
はテスト共通バス31を介するテスト対象ポートの選択
機能とデュアルポートテスト共通バス33を介するディ
スターブ情報入力機能を有する点である。
31からの入力情報(図に示される■の端子からの入力
信号)は図4と同じである。前記状態送受信用信号線3
2からの入出力信号(図に二重の□で示される端子から
の入出力信号)は図4と同じである。メモリテスト時に
使用するデュアルポート共通信号線33からの入力信号
(図の斜線付き□で示される端子からの入力信号)は以
下の通りである。メモリ制御信号、例えばtd_res
bはリセット信号、td_weは書き込み制御信号、t
d_bsはモジュール選択信号である。td_ckはク
ロック信号、td_dはディスターブ情報としてのテス
トデータ信号、td_aは1ビットのアドレス信号であ
る。br_chportはデュアルポートのどちらを共
通テストバス31に対応させ、どちらをデュアルポート
共通テストバス33に対応させるかを制御する制御信号
である。
力される信号(図の×印付き□の端子からの入出力信
号)は以下の通りである。m_resbはリセット信号
である。第1のアクセスポートに対応するメモリ制御信
号、例えばm_wep1は書き込み制御信号、m_bs
p1はモジュール選択信号である。更に第1のポートに
対応して、m_ckp1はクロック信号、m_dp1は
データ、m_ap1はアドレス、m_qp1はメモリか
らの読み出しデータである。第2のアクセスポートに対
応するメモリ制御信号、例えばm_wep2は書き込み
制御信号、m_bsp2はモジュール選択信号である。
更に第2のアクセスポートに対応して、m_ckp2は
クロック信号、m_dp2はデータ、m_ap2はアド
レス、m_qp2はメモリからの読み出しデータであ
る。
時の信号(図の□の端子からの入出力信号)は以下の通
りである。resbはリセット信号である。第1のアク
セスポートに対応するメモリ制御信号、例えばwep1
は書き込み制御、bsp1はモジュール選択信号であ
る。更に当該第1のアクセスポートに対応して、ckp
1はクロック信号、dp1は書き込みデータ、ap1は
アドレス信号、qp1は読み出しデータである。第2の
アクセスポートに対応するメモリ制御信号、例えばwe
p2は書き込み制御、bsp2はモジュール選択信号で
ある。更に当該第2のアクセスポートに対応して、ck
p2はクロック信号、dp2は書き込みデータ、ap2
はアドレス信号、qp2は読み出しデータである。
1を第1のアクセスポートと第2のアクセスポートのど
ちらに接続し、デュアルポート共通テストバス33を第
1のアクセスポートと第2のアクセスポートのどちらに
接続するかを、信号br_chportに従って選択す
る。マルチプレクサmuxはアクセスポートをテストに
用いるのか通常動作に用いるのかを信号teに基づいて
選択する。セレクタselはメモリからの読み出しデー
タを内部バス8に出力するか又はテスト用の比較回路3
8に供給するかを信号teにより選択する。ポート選択
回路51はデータm_qp1又はm_p2の何れを比較
回路38に供給するかを信号teにより選択する。
から4ビット単位で供給されるテストデータ情報として
の書き込みデータt_dを対応メモリに固有のデータm
_dp1,m_dp2の並列ビット数すなわちアクセス
データ幅に展開する。更にデータ展開回路52は、td
_dの論理値“1”に応答して展開したデータt_dの
全ビット反転データを生成する。展開されたテストデー
タ情報は信号br_chportによりポート選択回路
で選択された一方のアクセスポートに供給され、反転デ
ータは他方のアクセスポートに供給される。
バス31からのテストアドレス情報t_aを対応するメ
モリに固有のビット配列に変換して後段に出力する。変
換するビット配列の種別、ここではアドレススキャン方
向に応ずるビット配列は信号br_smで指定可能にな
っている。更にアドレス変換回路53は、td_aの論
理値“1”に応答して変換されたアドレスt_aの最下
位ビットを反転して隣接メモリセルのアドレスを生成す
る。ビット配列が変換されたテストアドレス情報は信号
br_chportによりポート選択回路で選択された
一方のアクセスポートに供給され、最下位ビット反転ア
ドレス情報は他方のアクセスポートに供給される。
り、一方のアクセスポートを介してメモリテストが行な
われるとき、他方のアクセスポートからテスト対象メモ
リセルに隣接するメモリセルを指定してディスターブ情
報を与えることができ、デュアルポートメモリにおける
ポート間干渉をテストすることが可能になる。
ードが示される。図8において第1アクセスポートのア
ドレス(ポート1アドレス)はm_ap1、第1アクセ
スポートのデータ(ポート1データ)はm_dp1を意
味する。第2アクセスポートのアドレス(ポート2アド
レス)はm_ap2、第2アクセスポートのデータ(ポ
ート2データ)はm_dp2を意味する。
回路においてもリードデータと期待値データとの比較に
よるエラー判定、エラー判定結果に対するスキャンパス
出力などの機能は図4と同じであり、同一機能を有する
回路ブロックには同じ参照符号を付してその詳細な説明
を省略する。
スト時における一つのシングルポートメモリの動作タイ
ミングチャートが例示される。アドレスa,a1,a2
に対してデータd0,d1,d2が書き込まれ、その
後、アドレスa,a1,a2からデータが読み出され
る。読み出しデータは期待値データd0,dx,d2と
比較される。このとき、期待値データdxとの比較で不
一致が検出され、信号br_async_outが変化
される。これに応答して、外部のテスタからテスト結果
のスキャンアウトが指示されると、クロックbr_sc
kに同期して不一致アドレス情報などのエラー情報がb
r_sync_outとして出力される。
テスト時における一つのデュアルポートメモリにおける
ポート間干渉動作のタイミングチャートが例示される。
アドレスa,a1,a2に対してポート1からデータd
0,d1,d2が書き込まれ、その後、アドレスa,a
1,a2のデータq0,q1,q2がポート1から読み
出される。読み出しデータは期待値データr0,r1,
r2と比較される。ポート1に対する書き込み及び読み
出し動作に並行して、ポート2にはi0,i1,i2と
いったディスターブ情報が与えられる。
の半導体集積回路に対するテスト方法のフローチャート
が例示される。先ず、ブリッジ回路の外部回路、例えば
テスタからテスト制御情報が与えられる。信号teによ
り共通テストバスから与えられるテスト用信号が選択さ
れ(S1)、書き込みデータがデータ展開され(S
2)、書き込みアドレスに対するビット配列のアドレス
変換が行われる(S3)。アドレス変換結果に対しては
アドレスのオーバーフローチェックが行なわれる。メモ
リにはビット配列が変換されたアドレス信号に基づいて
書き込みデータが書き込まれる(S4)。書き込みの
後、書き込みを行なったアドレスからデータ(戻り値
q)を読み出し、これを期待値br_refと比較する
(S5)。比較結果が一致であれば処理を終了する(正
常終了)。比較結果が不一致であれば、信号br_as
ync_out=1が出力され(S6)、エラーフラグ
EFLGがラッチ回路41にラッチされ(S7)、エラ
ー発生アドレスがラッチ回路40にラッチされる(S
8)。その後、クロックbr_sckが供給され(S
9)、これに同期してエラーフラグとエラー発生アドレ
スがスキャンアウトされる(S10)。最後にスキャン
レジスタ42及びラッチ回路40,41がクリアされて
(S11)、処理が終了される。
れば以下の作用効果を得ることができる。
モリ11〜15に対してテストデータ情報を並列に供給
しても、ブリッジ回路21〜25のデータ展開回路3
5,52がテストデータ情報を対応メモリに固有のアク
セスデータ幅に変換する。また、アドレスデコード論理
の異なる複数のメモリ11〜15に対してテストアドレ
ス情報を並列に供給しても、ブリッジ回路21〜25の
アドレス変換回路36,53がテストアドレス情報を対
応メモリに固有のビット配列に変換する。したがって、
アクセスデータ幅の異なる複数のメモリに対してテスト
データ情報を並列に供給することができるという点、テ
ストアドレス情報に対する夫々のメモリにおけるアドレ
ススキャン方向を固有のビット配列にしたがって特定方
向に統一することが可能になるという点において、複数
のオンチップメモリに対するマーチパターンなどによる
メモリテスト効率を向上させることができる。
リ11〜15からの読み出し情報と共通テストバス31
からの期待値情報とを比較回路38で比較し、その比較
結果に従ってメモリの不良情報をアドレスラッチ回路4
0及び比較結果ラッチ回路41にラッチする。不良アド
レスはアドレスラッチ回路40に、不良の比較結果はエ
ラーフラグEFLGとして比較結果ラッチ回路41にラ
ッチされる。したがって、複数のメモリに対する並列テ
スト結果をラッチ回路40,41から順次直列的に得る
ことが可能である。ラッチ回路40,41のラッチ情報
を外部に出力する手段としてスキャンパス用のシフトレ
ジスタ42を採用すれば並列テスト結果をラッチ回路4
0,41から順次外部出力させることが容易になる。
FLGのラッチ回路41をエラーアドレスラッチ回路4
0よりもスキャンパスの上流側に配置する。従って、エ
ラーフラグEFLGが現れるまでスキャンクロックを計
数していけば、その計数値に基づいてエラー発生メモリ
を特定することができ、その直前のアドレス情報によっ
てエラー発生メモリにおけるエラー発生アドレスを特定
することができる。このように、不良発生の所在を明ら
かにすることが容易である。
較回路38による比較結果に別のブリッジ回路からの比
較結果出力との論理和を採り更に別のブリッジ回路に出
力する論理和ゲート43を有するから、複数のブリッジ
回路21〜25における論理和ゲート43を、前段論理
和ゲートの出力が次段論理和ゲートの入力に接続するよ
うに直列形態に接続して構成すれば、複数のメモリ11
〜15に対しテストデータ情報を更新しながらテストア
ドレス情報を更新して、アドレススキャンを伴う並列テ
ストを逐次進めていく途上で、比較不一致によいるエラ
ーを何れかのメモリで生じたとき、最終段論理和ゲート
43の出力モニタすることにより、複数メモリに対する
並列テストを行いながら、テストの継続/中止の判定
(Go / Nogo判定)を行なうことができる。
応されるブリッジ回路24,25は、前記共通テストバ
ス31に接続するポートに対して共通テストバス31に
非接続が選択されたポートにディスターブ情報を入力可
能であるから、マルチポートを持つ場合にはポート間干
渉のテストを併用でき、マルチポートメモリに対するテ
ストの信頼性を向上させることができる。
形態に基づいて具体的に説明したが、本発明はそれに限
定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲にお
いて種々変更可能であることは言うまでもない。
の数、メモリの記憶容量、データアクセス幅、情報記憶
形式等について適宜変更可能である。メモリはSRAM
に限定されず、DRAMであっても、或は不揮発性メモ
リであってもよい。メモリ以外の回路ブロックは図2に
示されるMPUなどに限定されず適宜変更可能である。
マルチポートメモリはデュアルポートを持つ構成に限定
されず、それよりも多くのポートを備えてもよい。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記
の通りである。
のメモリに対してテストデータ情報を並列に供給して
も、ブリッジ回路がテストデータ情報を対応メモリに固
有のアクセスデータ幅に変換することができる。また、
アドレスデコード論理の異なる複数のメモリに対してテ
ストアドレス情報を並列に供給しても、ブリッジ回路が
テストアドレス情報を対応メモリに固有のビット配列に
変換することができる。したがって、アクセスデータ幅
の異なる複数のメモリに対してテストデータ情報を並列
に供給することができるという点、テストアドレス情報
に対する夫々のメモリにおけるアドレススキャン方向を
固有のビット配列にしたがって特定方向に統一すること
が可能になるという点において、複数のオンチップメモ
リに対するマーチパターンなどによるメモリテスト効率
を向上させることができる。複数のメモリに対するテス
ト時間を短縮することができる。
ロックの詳細を例示するブロック図である。
クロコンピュータの平面的構成説明図である。
である。
的構成を例示するブロック図である。
明図である。
を例示するブロック図である。
明図である。
一つのシングルポートメモリの動作タイミングチャート
である。
る一つのデュアルポートメモリにおけるポート間干渉動
作のタイミングチャートである。
回路に対するテスト方法のフローチャートである。
Claims (14)
- 【請求項1】 アクセスデータ幅の異なる複数のメモリ
及び前記メモリをアクセス制御可能な論理回路を含む半
導体集積回路において、前記複数のメモリに接続される
共通テストバスと、前記共通テストバスからのテストデ
ータ情報を各メモリに固有のアクセスデータ幅に変換し
て対応するメモリに供給する複数のブリッジ回路を設
け、複数のメモリに共通テストバスから並列にテストデ
ータ情報を供給して並列テスト可能にされて成るもので
あることを特徴とする半導体集積回路。 - 【請求項2】 アドレスデコード論理の異なる複数のメ
モリ及び前記メモリをアクセス制御可能な論理回路を含
む半導体集積回路において、前記複数のメモリに接続さ
れる共通テストバスと、前記共通テストバスからのテス
トアドレス情報を各メモリに固有のビット配列に変換し
て対応するメモリに供給する複数のブリッジ回路を設
け、複数のメモリに共通テストバスから並列にテストア
ドレス情報を供給して並列テスト可能にされて成るもの
であることを特徴とする半導体集積回路。 - 【請求項3】 アクセスデータ幅の異なる複数のメモリ
及び前記メモリをアクセス制御可能な論理回路を含む半
導体集積回路において、前記複数のメモリに接続される
共通テストバスと、前記共通テストバスからのテストデ
ータ情報を各メモリに固有のアクセスデータ幅に変換し
て対応するメモリに供給し、また、前記共通テストバス
からのテストアドレス情報を各メモリに固有のビット配
列に変換して対応するメモリに供給する複数のブリッジ
回路を設け、複数のメモリに共通テストバスから並列に
テストデータ情報及びテストアドレス情報を供給して並
列テスト可能にされて成るものであることを特徴とする
半導体集積回路。 - 【請求項4】 前記ブリッジ回路は、変換可能なビット
配列をテスト制御情報に従って選択可能であることを特
徴とする請求項2又は3記載の半導体集積回路。 - 【請求項5】 前記ブリッジ回路はメモリからの読み出
し情報と共通テストバスからの期待値情報とを比較する
比較手段と、前記比較手段による比較結果に従ってメモ
リの不良情報を保持するラッチ手段を有して成るもので
あることを特徴とする請求項2又は3記載の半導体集積
回路。 - 【請求項6】 前記ラッチ手段は、不良アドレスをラッ
チするアドレスラッチ手段と、不良の比較結果をラッチ
する不良フラグ手段とから成るものであることを特徴と
する請求項5記載の半導体集積回路。 - 【請求項7】 前記ブリッジ回路は、前記ラッチ手段の
出力を入力して直列的に出力可能とするスキャンパス用
のシフトレジスタ手段を有して成るものであることを特
徴とする請求項5又は6記載の半導体集積回路。 - 【請求項8】 前記ブリッジ回路は、メモリからの読み
出し情報と共通テストバスからの期待値情報とを比較す
る比較手段と、前記比較手段による比較結果に別のブリ
ッジ回路からの比較結果出力との論理和を採り更に別の
ブリッジ回路に出力するゲート手段とを有し、複数のゲ
ート手段は、前段ゲート手段の出力が次段ゲート手段の
入力に接続する直列形態に接続されて成るものであるこ
とを特徴とする請求項2又は3記載の半導体集積回路。 - 【請求項9】 前記複数のメモリの少なくとも一つはマ
ルチポートメモリであり、前記マルチポートメモリに対
応されるブリッジ回路は、前記共通テストバスに接続す
るポートの選択と、前記共通テストバスに非接続が選択
されたポートにディスターブ情報を入力可能とすること
が可能であることを特徴とする請求項2又は3記載の半
導体集積回路。 - 【請求項10】 アクセスデータ幅の異なる複数のメモ
リを共通テストバスを介して並列にテストするテスト方
法であって、テストデータ情報を前記共通テストバスに
供給する処理と、前記共通テストバスからテストデータ
情報を入力して対応するメモリに固有のアクセスデータ
幅に変換する処理と、変換されたテストデータ情報を対
応するメモリに並列に書き込む処理と、書き込まれたテ
ストデータ情報を複数のメモリから読み出す処理と、読
み出されたテストデータ情報と期待値情報とをメモリ単
位で比較してメモリエラー情報を生成する処理と、を含
むことを特徴とするテスト方法。 - 【請求項11】 アドレスデコード論理の異なる複数の
メモリを共通テストバスを介して並列にテストするテス
ト方法であって、テストアドレス情報を前記共通テスト
バスに供給する処理と、前記共通テストバスからテスト
アドレス情報を入力して対応するメモリに固有のビット
配列に変換する処理と、変換されたテストアドレス情報
を用いて対応するメモリにテストデータを系列に書き込
む処理と、書き込まれたテストデータを複数のメモリか
ら読み出す処理と、読み出されたテストデータと期待値
情報とをメモリ単位で比較してメモリエラー情報を生成
する処理と、を含むことを特徴とするテスト方法。 - 【請求項12】 複数のメモリの夫々について生成され
たメモリエラー情報をラッチし、ラッチした複数のメモ
リのエラー情報をスキャンパスを用いて直列的に読み込
む処理を更に含むことを特徴とする請求項11又は12
記載のテスト方法。 - 【請求項13】 複数のメモリの夫々について生成され
たメモリエラー情報に対し先頭のメモリより順次次段の
メモリのエラー情報と論理和を採って後段に伝達する処
理を更に含むことを特徴とする請求項11又は12記載
のテスト方法。 - 【請求項14】 前記複数のメモリの少なくとも一つは
マルチポートメモリであり、前記マルチポートメモリに
対し、前記共通テストバスに接続するポートとは別のポ
ートにディスターブ情報を入力することを特徴とする請
求項12又は13記載のテスト方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002155107A JP2003346500A (ja) | 2002-05-29 | 2002-05-29 | 半導体集積回路及びそのテスト方法 |
TW092109384A TW200400514A (en) | 2002-05-29 | 2003-04-22 | Semiconductor integrated circuit and its testing method |
US10/430,319 US7222272B2 (en) | 2002-05-29 | 2003-05-07 | Semiconductor integrated circuit and testing method thereof |
KR10-2003-0033559A KR20030093104A (ko) | 2002-05-29 | 2003-05-27 | 반도체집적회로 및 그 테스트방법 |
US11/785,213 US7426663B2 (en) | 2002-05-29 | 2007-04-16 | Semiconductor integrated circuit and testing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002155107A JP2003346500A (ja) | 2002-05-29 | 2002-05-29 | 半導体集積回路及びそのテスト方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003346500A true JP2003346500A (ja) | 2003-12-05 |
Family
ID=29561400
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002155107A Pending JP2003346500A (ja) | 2002-05-29 | 2002-05-29 | 半導体集積回路及びそのテスト方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7222272B2 (ja) |
JP (1) | JP2003346500A (ja) |
KR (1) | KR20030093104A (ja) |
TW (1) | TW200400514A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100794947B1 (ko) | 2005-12-06 | 2008-01-15 | 요코가와 덴키 가부시키가이샤 | 메모리 검사 장치 |
KR100830959B1 (ko) | 2007-04-11 | 2008-05-20 | 주식회사디아이 | 낸드 플래쉬 메모리 소자의 테스트 장치 |
US7386650B2 (en) | 2003-03-14 | 2008-06-10 | Oki Electric Electric Industry Co., Ltd. | Memory test circuit with data expander |
US7457996B2 (en) | 2003-03-18 | 2008-11-25 | Renesas Technology Corp. | Semiconductor integrated circuit capable of testing with small scale circuit configuration |
US7876633B2 (en) | 2008-03-18 | 2011-01-25 | Renesas Electronics Corporation | Integrated circuit including built-in self test circuit to test memory and memory test method |
JP2013065375A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Toshiba Corp | 半導体集積回路 |
JP2013097861A (ja) * | 2011-10-27 | 2013-05-20 | Maici Electronic (Shanghai) Ltd | メモリを試験するためのシステムおよび方法 |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003346500A (ja) * | 2002-05-29 | 2003-12-05 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路及びそのテスト方法 |
US20040196060A1 (en) * | 2003-04-03 | 2004-10-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method of identifying physical mapping of IC products |
JP4514028B2 (ja) * | 2004-05-20 | 2010-07-28 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 故障診断回路及び故障診断方法 |
US7617425B2 (en) * | 2005-06-27 | 2009-11-10 | Logicvision, Inc. | Method for at-speed testing of memory interface using scan |
KR20080069778A (ko) * | 2007-01-24 | 2008-07-29 | 삼성전자주식회사 | 멀티칩 테스트를 위한 반도체 메모리 장치의 테스트 회로및 그의 테스트 방법 |
US7954020B2 (en) * | 2007-06-06 | 2011-05-31 | Sony Computer Entertainment Inc. | Method and apparatus for testing a circuit |
JP2009238256A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-15 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
JP2009259329A (ja) * | 2008-04-16 | 2009-11-05 | Toshiba Corp | 半導体集積回路装置 |
JP5314684B2 (ja) * | 2008-06-02 | 2013-10-16 | 株式会社アドバンテスト | 試験用ウエハ、および、試験システム |
US8694845B2 (en) * | 2010-04-25 | 2014-04-08 | Ssu-Pin Ma | Methods and systems for testing electronic circuits |
US8711645B2 (en) | 2012-03-27 | 2014-04-29 | Lsi Corporation | Victim port-based design for test area overhead reduction in multiport latch-based memories |
KR20170023439A (ko) | 2015-08-24 | 2017-03-06 | 삼성전자주식회사 | 메모리 테스트 시스템 및 메모리 시스템 |
FR3042049A1 (ja) * | 2015-10-01 | 2017-04-07 | Upmem | |
JP6605359B2 (ja) * | 2016-03-02 | 2019-11-13 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置及びメモリアクセス制御方法 |
KR102647419B1 (ko) * | 2016-09-28 | 2024-03-14 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체장치 |
US10408876B2 (en) * | 2018-01-29 | 2019-09-10 | Oracle International Corporation | Memory circuit march testing |
US20230229338A1 (en) * | 2022-01-18 | 2023-07-20 | Texas Instruments Incorporated | Methods and apparatus to characterize memory |
WO2023141013A1 (en) * | 2022-01-18 | 2023-07-27 | Texas Instruments Incorporated | Methods and apparatus to characterize memory |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4484303A (en) * | 1979-06-19 | 1984-11-20 | Gould Inc. | Programmable controller |
EP0403821B1 (en) * | 1989-05-31 | 1995-02-01 | Fujitsu Limited | Semiconductor integrated circuit device incorporating a test circuit |
JP3550295B2 (ja) | 1998-03-06 | 2004-08-04 | 松下電器産業株式会社 | 半導体記憶装置の並列テスト回路装置およびテスト回路装置 |
JP2974313B1 (ja) | 1998-09-30 | 1999-11-10 | 日本電気アイシーマイコンシステム株式会社 | Bist回路および半導体集積回路 |
US6336088B1 (en) * | 1998-12-22 | 2002-01-01 | Unisys Corporation | Method and apparatus for synchronizing independently executing test lists for design verification |
US6587979B1 (en) * | 1999-10-18 | 2003-07-01 | Credence Systems Corporation | Partitionable embedded circuit test system for integrated circuit |
JP2003346500A (ja) * | 2002-05-29 | 2003-12-05 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路及びそのテスト方法 |
-
2002
- 2002-05-29 JP JP2002155107A patent/JP2003346500A/ja active Pending
-
2003
- 2003-04-22 TW TW092109384A patent/TW200400514A/zh unknown
- 2003-05-07 US US10/430,319 patent/US7222272B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-05-27 KR KR10-2003-0033559A patent/KR20030093104A/ko not_active Application Discontinuation
-
2007
- 2007-04-16 US US11/785,213 patent/US7426663B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7386650B2 (en) | 2003-03-14 | 2008-06-10 | Oki Electric Electric Industry Co., Ltd. | Memory test circuit with data expander |
US7457996B2 (en) | 2003-03-18 | 2008-11-25 | Renesas Technology Corp. | Semiconductor integrated circuit capable of testing with small scale circuit configuration |
KR100794947B1 (ko) | 2005-12-06 | 2008-01-15 | 요코가와 덴키 가부시키가이샤 | 메모리 검사 장치 |
KR100830959B1 (ko) | 2007-04-11 | 2008-05-20 | 주식회사디아이 | 낸드 플래쉬 메모리 소자의 테스트 장치 |
US7876633B2 (en) | 2008-03-18 | 2011-01-25 | Renesas Electronics Corporation | Integrated circuit including built-in self test circuit to test memory and memory test method |
JP2013065375A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Toshiba Corp | 半導体集積回路 |
JP2013097861A (ja) * | 2011-10-27 | 2013-05-20 | Maici Electronic (Shanghai) Ltd | メモリを試験するためのシステムおよび方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20030222283A1 (en) | 2003-12-04 |
US20070198880A1 (en) | 2007-08-23 |
KR20030093104A (ko) | 2003-12-06 |
US7426663B2 (en) | 2008-09-16 |
TW200400514A (en) | 2004-01-01 |
US7222272B2 (en) | 2007-05-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2003346500A (ja) | 半導体集積回路及びそのテスト方法 | |
US6546503B2 (en) | Synchronous semiconductor memory device capable of reducing test cost and method of testing the same | |
US7721174B2 (en) | Full-speed BIST controller for testing embedded synchronous memories | |
TWI462108B (zh) | 用於測試多裝置系統的方法及電路 | |
US7724574B2 (en) | Semiconductor memory device and data write and read method thereof | |
US5016220A (en) | Semiconductor memory device with logic level responsive testing circuit and method therefor | |
US7911861B2 (en) | Semiconductor memory device and method of testing semiconductor memory device | |
US7047461B2 (en) | Semiconductor integrated circuit device with test data output nodes for parallel test results output | |
US6807116B2 (en) | Semiconductor circuit device capable of accurately testing embedded memory | |
US7246279B2 (en) | Static random access memory (SRAM) unit and method for operating the same | |
US20220084621A1 (en) | Defect repair circuit and defect repair method | |
US5848016A (en) | Merged Memory and Logic (MML) integrated circuits and methods including serial data path comparing | |
US7149944B2 (en) | Semiconductor integrated circuit device equipped with read sequencer and write sequencer | |
US20030110424A1 (en) | System and method for testing a column redundancy of an integrated circuit memory | |
JP2000331499A (ja) | メモリテスト回路および半導体集積回路 | |
US6611929B1 (en) | Test circuit for memory | |
US4873686A (en) | Test assist circuit for a semiconductor device providing fault isolation | |
JPH0512900A (ja) | テスト機能を有する半導体記憶装置及びそのテスト方法 | |
US6721233B2 (en) | Circuit and method for reducing memory idle cycles | |
US7085974B2 (en) | Semiconductor device, method of testing the same and electronic instrument | |
US6795943B2 (en) | Semiconductor device with test mode | |
JP2003503813A (ja) | ランダムアクセスメモリ用の組込形自動試験回路機構および試験用アルゴリズム | |
JP3654013B2 (ja) | 半導体装置及びそのテスト方法 | |
US7881127B2 (en) | Nonvolatile memory device and method of testing the same | |
JPH05101699A (ja) | メモリ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20050315 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050412 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050525 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080729 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20081125 |