JP2003326708A - Ink jet head - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ink jet head in which a head chip is protected surely against deformation and failure while enhancing the ejection characteristics and ejection stability. <P>SOLUTION: A bonding body 100 and a nozzle supporting plate 31 are bonded through an elastic adhesive 102 allowing a slight elastic deformation. The gap between the nozzle supporting plate 31 communicating from a region bonded through the elastic adhesive 102 to the outside and other members 40 and 60 abutting against the nozzle supporting plate 31 is sealed, at least on the outside thereof, with a protective layer 103 exhibiting a lower reactivity to the gas components in the outer atmosphere and the humidity thereof as compared with the elastic adhesive 102. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、プリン
タ、ファックスなどに適用されるインクジェットヘッド
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inkjet head applied to, for example, a printer or a fax machine.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来より、インクを吐出する複数のノズ
ル開口を有するインクジェットヘッドを用いて被記録媒
体に文字や画像を記録するインクジェット式記録装置が
知られている。かかるインクジェット式記録装置では、
インクジェットヘッドのノズルが被記録媒体に対向する
ようにヘッドホルダに設けられ、このヘッドホルダはキ
ャリッジに搭載され被記録媒体の搬送方向とは直交する
方向に走査されるようになっている。2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known an ink jet type recording apparatus for recording characters and images on a recording medium by using an ink jet head having a plurality of nozzle openings for ejecting ink. In such an inkjet recording device,
Nozzles of an inkjet head are provided on a head holder so as to face the recording medium, and the head holder is mounted on a carriage and is scanned in a direction orthogonal to the transport direction of the recording medium.

【０００３】このようなインクジェットヘッドのヘッド
チップの一例の分解概略を図８に、また、要部断面図を
図９に示す。FIG. 8 shows an exploded schematic view of an example of a head chip of such an ink jet head, and FIG. 9 shows a sectional view of a main part.

【０００４】図８及び図９に示すように、圧電セラミッ
クプレート１６１には、複数の溝１６２が並設され、各
溝１６２は、側壁１６３で分離されている。各溝１６２
の長手方向一端部は圧電セラミックプレート１６１の一
端面まで延設されており、他端部は、他端面までは延び
ておらず、深さが徐々に浅くなっている。また、各溝１
６２内の両側壁１６３の開口側表面には、長手方向に亘
って、駆動電圧印加用の電極１６５が形成されている。As shown in FIGS. 8 and 9, the piezoelectric ceramic plate 161 is provided with a plurality of grooves 162 in parallel, and each groove 162 is separated by a side wall 163. Each groove 162
One end in the longitudinal direction of the piezoelectric ceramic plate 161 extends to one end face of the piezoelectric ceramic plate 161, and the other end does not extend to the other end face, and the depth gradually decreases. Also, each groove 1
An electrode 165 for applying a drive voltage is formed on the opening-side surface of the both side walls 163 in 62 in the longitudinal direction.

【０００５】このような圧電セラミックプレート１６１
の溝１６２の開口側には、インク室プレート１６７が接
着剤１６９を介して接合されている。インク室プレート
１６７には、各溝１６２の浅くなった他端部と連通する
凹部となる共通インク室１７１と、この共通インク室１
７１の底部から溝１６２とは反対方向に貫通するインク
供給口１７２とを有する。Such a piezoelectric ceramic plate 161
An ink chamber plate 167 is bonded to the opening side of the groove 162 with an adhesive 169. In the ink chamber plate 167, a common ink chamber 171 serving as a recess communicating with the shallower other end of each groove 162, and the common ink chamber 1 are provided.
It has an ink supply port 172 penetrating from the bottom of 71 in the direction opposite to the groove 162.

【０００６】また、圧電セラミックプレート１６１とイ
ンク室プレート１６７との接合体の溝１６２が開口して
いる端面には、ノズルプレート１７５が接合されてお
り、ノズルプレート１７５の各溝１６２に対向する位置
にはノズル開口１７７が形成されている。Further, a nozzle plate 175 is joined to the end surface of the joined body of the piezoelectric ceramic plate 161 and the ink chamber plate 167, where the groove 162 is open, and the nozzle plate 175 is located at a position facing each groove 162. A nozzle opening 177 is formed in this.

【０００７】なお、ヘッドチップは、圧電セラミックプ
レート１６１及びインク室プレート１６７からなる接合
体の外周に、ノズルプレート１７５を支持するノズル支
持プレート（図示しない）を接合することによって組立
てられている。The head chip is assembled by joining a nozzle support plate (not shown) for supporting the nozzle plate 175 to the outer periphery of a joined body composed of the piezoelectric ceramic plate 161 and the ink chamber plate 167.

【０００８】さらに、圧電セラミックプレート１６１の
ノズルプレート１７５とは反対側でインク室プレート１
６７とは反対側の面には、配線基板１８０が固着されて
いる。配線基板１８０には、各電極１６５とボンディン
グワイヤ１８１等やフレキシブル基板で接続された配線
パターン１８２が形成され、この配線パターン１８２を
介して電極１６５に駆動電圧を印加できるようになって
いる。Further, the ink chamber plate 1 is provided on the opposite side of the piezoelectric ceramic plate 161 from the nozzle plate 175.
A wiring board 180 is fixed to the surface opposite to 67. A wiring pattern 182 is formed on the wiring board 180, which is connected to each electrode 165 by a bonding wire 181 or the like or a flexible substrate, and a drive voltage can be applied to the electrode 165 via the wiring pattern 182.

【０００９】このようなヘッドチップを具備する従来の
インクジェットヘッドは、図示しないが、例えば、イン
ク室プレート１６７のインク供給口１７２にインクを供
給する流路基板を接合した後に、接合体の圧電セラミッ
クプレート１６１側にヘッドチップ及び配線基板１８０
を保持するベースプレート等を接合することによって製
造されている。Although a conventional ink jet head having such a head chip is not shown, for example, after a flow path substrate for supplying ink to the ink supply port 172 of the ink chamber plate 167 is bonded, a piezoelectric ceramic of a bonded body is formed. A head chip and a wiring board 180 are provided on the plate 161 side.
It is manufactured by joining a base plate and the like holding the.

【００１０】なお、このようなインクジェットヘッドで
は、インク供給口１７２から各溝１６２内にインクを充
填し、所定の溝１６２の両側の側壁１６３に電極１６５
を介して所定の駆動電界を作用させると、側壁１６３が
変形して所定の溝１６２内の容積が変化し、これによ
り、溝１６２内のインクがノズル開口１７７から吐出す
る。In such an ink jet head, each groove 162 is filled with ink from the ink supply port 172, and the electrodes 165 are provided on the side walls 163 on both sides of the predetermined groove 162.
When a predetermined drive electric field is applied through the side wall 163, the side wall 163 is deformed to change the volume in the predetermined groove 162, whereby the ink in the groove 162 is ejected from the nozzle opening 177.

【００１１】例えば、図１０に示すように、溝１６２ａ
に対応するノズル開口１７７からインクを吐出する場合
には、その溝１６２ａ内の電極１６５ａ，１６５ｂに正
の駆動電圧を印加すると共にそれぞれに対向する電極１
６５ｃ，１６５ｄを接地するようにする。これにより、
側壁１６３ａ，１６３ｂには溝１６２ａに向かう方向の
駆動電界が作用し、これが圧電セラミックプレート１６
１の分極方向と直交すれば、圧電厚みすべり効果により
側壁１６３ａ，１６３ｂが溝１６２ａ方向に変形し、溝
１６２ａ内の容積が減少して圧力が増加し、ノズル開口
１７７からインクが吐出する。For example, as shown in FIG. 10, groove 162a
When ink is ejected from the nozzle opening 177 corresponding to, the positive drive voltage is applied to the electrodes 165a and 165b in the groove 162a and the electrodes 1 facing each other are applied.
65c and 165d are grounded. This allows
A driving electric field in the direction toward the groove 162a acts on the side walls 163a and 163b, which causes the piezoelectric ceramic plate 16 to move.
If it is orthogonal to the polarization direction of 1, the side walls 163a and 163b are deformed in the direction of the groove 162a due to the piezoelectric thickness sliding effect, the volume inside the groove 162a is decreased, the pressure is increased, and ink is ejected from the nozzle opening 177.

【００１２】このようなヘッドチップは、圧電セラミッ
クプレート側にベースプレートが接合され、インク室プ
レート側に共通インク室にインクを供給する流路基板が
接合されることによりインクジェットヘッドが形成され
ている。In such a head chip, an ink jet head is formed by joining a base plate to the piezoelectric ceramic plate side and a flow path substrate for supplying ink to a common ink chamber on the ink chamber plate side.

【００１３】このようなインクジェットヘッドでは、ヘ
ッドチップと他の部材とを、高硬度の接着剤を用いて接
合すると、高硬度の接着剤によってヘッドチップの側壁
の変形の妨げとなってしまい、吐出特性の低下や不安定
化が生じてしまう。In such an ink jet head, when the head chip and other members are joined by using a high-hardness adhesive, the high-hardness adhesive hinders the deformation of the side wall of the head chip, and the ejection is performed. The characteristics will be deteriorated and destabilized.

【００１４】また、ヘッドチップと他の部材とを、加熱
硬化型の接着剤を用いて高温で硬化させ固着すると、圧
電セラミックプレートと他の部材との線膨張係数が違う
ため、常温に戻した状態では、線膨張係数の違いによっ
て生じた長さ変位によって圧電セラミックプレートが変
形及び破壊されてしまう。When the head chip and the other member are hardened and fixed at a high temperature using a heat-curable adhesive, the piezoelectric ceramic plate and the other member have different linear expansion coefficients, so that the temperature is returned to room temperature. In the state, the piezoelectric ceramic plate is deformed and destroyed by the length displacement caused by the difference in the linear expansion coefficient.

【００１５】このため、ヘッドチップと他の部材との接
合に、弾性接着剤を用いて、弾性接着剤が硬化するまで
常温、例えば、２５±５℃で治具等により固定すること
で位置ずれが生じないように固着していた。Therefore, an elastic adhesive is used to bond the head chip to other members, and the elastic adhesive is fixed by a jig or the like at room temperature, for example, 25 ± 5 ° C. until the elastic adhesive is hardened. It was firmly attached so that it would not occur.

【００１６】このようにヘッドチップと他の部材とを弾
性接着剤を用いて常温で硬化させて固着することで、部
材加工時の残留応力や、外気温度や発生熱による両部材
間の膨張差及び収縮差等を弾性接着剤の弾性により緩衝
させ、ヘッドチップの変形及び破壊を防止して、吐出特
性及び吐出安定性を向上することができる。As described above, the head chip and the other member are hardened and fixed at room temperature by using the elastic adhesive, so that the residual stress at the time of processing the member and the difference in expansion between the two members due to the outside air temperature and the generated heat. Also, the difference in shrinkage and the like can be buffered by the elasticity of the elastic adhesive to prevent the deformation and breakage of the head chip, thereby improving the ejection characteristics and ejection stability.

【００１７】[0017]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ヘッド
チップと他の部材とを弾性接着剤を用いて常温で硬化さ
せて接合すると、弾性接着剤の架橋が１００％完全に進
行しなかったり、ガラス転位点が低いなどから、不安定
な状態となってしまい、インクジェットヘッドを組み立
てた後に外部雰囲気中のガス成分及び湿度と反応して弾
性接着剤が膨潤あるいは収縮してヘッドチップの変形及
び破壊が生じてしまうという問題がある。However, when the head chip and the other member are cured by using an elastic adhesive at room temperature and bonded, the crosslinking of the elastic adhesive does not proceed completely or the glass transition occurs. Since the point is low, it becomes unstable, and after assembling the inkjet head, the elastic adhesive swells or contracts by reacting with gas components and humidity in the external atmosphere, causing deformation and destruction of the head chip. There is a problem that it will end up.

【００１８】このように弾性接着剤が膨潤あるいは収縮
すると、特にヘッドチップの外周面のノズルプレート側
に接合されるノズル支持プレートと圧電セラミックプレ
ートとの接合領域の弾性接着剤によって、ノズルプレー
トのノズル開口近傍にこぶ状突起が生じたり、ノズルプ
レートのノズル開口近傍が凹状に変形したりしてしま
う。このようなインクジェットヘッドでは、ノズルプレ
ートのノズル開口近傍のインクやゴミ等を除去するため
にゴム等の部材でワイプを行うことでクリーニング動作
を行うが、大きな突起や凹みが生じてしまうと正常なク
リーニングが実施できないという問題がある。When the elastic adhesive swells or contracts in this manner, the nozzle of the nozzle plate is particularly swelled by the elastic adhesive in the joint area between the nozzle support plate and the piezoelectric ceramic plate, which is joined to the nozzle plate side on the outer peripheral surface of the head chip. A hump-shaped protrusion may be formed near the opening, or the vicinity of the nozzle opening of the nozzle plate may be deformed into a concave shape. In such an inkjet head, a cleaning operation is performed by wiping with a member such as rubber in order to remove ink, dust, and the like near the nozzle openings of the nozzle plate, but if a large protrusion or dent is generated, it is normal. There is a problem that cleaning cannot be performed.

【００１９】なお、ノズルプレートのノズル開口近傍を
ワイプ可能な突起及び凹み量は、通常、２５μｍ以下で
ある。The amount of protrusions and depressions capable of wiping the vicinity of the nozzle opening of the nozzle plate is usually 25 μm or less.

【００２０】また、インクジェットヘッドを構成する各
部材を接合する弾性接着剤が膨潤あるいは収縮してしま
うと、各部材の位置ずれが生じたり、応力集中が発生
し、吐出特性及び吐出安定性が悪化してしまうという問
題がある。Further, when the elastic adhesive for joining the respective members constituting the ink jet head swells or contracts, displacement of the respective members occurs, stress concentration occurs, and the ejection characteristics and ejection stability deteriorate. There is a problem of doing.

【００２１】本発明は、このような事情に鑑み、ヘッド
チップの変形及び破壊を確実に防止すると共に吐出特性
及び吐出安定性を向上したインクジェットヘッドを提供
することを課題とする。In view of the above situation, it is an object of the present invention to provide an ink jet head which surely prevents the deformation and breakage of the head chip and has improved ejection characteristics and ejection stability.

【００２２】[0022]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の第１の態様は、インクが充填される複数の溝が設け
られて当該溝の側壁に電極が形成された圧電セラミック
プレートと、当該圧電セラミックプレートに接合されて
前記溝のそれぞれが連通する共通インク室が設けられた
インク室プレートと、前記圧電セラミックプレート及び
前記インク室プレートとからなる接合体の前記溝が開口
する端面に接合されて前記溝内に充填された前記インク
を吐出させるノズル開口が設けられたノズルプレート
と、前記接合体の前記ノズルプレート側の外周に設けら
れたノズル支持プレートとを具備するインクジェットヘ
ッドにおいて、前記接合体と前記ノズル支持プレートと
が若干の弾性変形を許容する弾性接着剤で接合され、前
記弾性接着剤で接合された接合領域から外部まで連通す
る当該ノズル支持プレートと当接する他の部材との隙間
の少なくとも外部側が前記弾性接着剤よりも外部雰囲気
中のガス成分及び湿度と低反応性を有する保護層により
封止されていることを特徴とするインクジェットヘッド
にある。A first aspect of the present invention for solving the above-mentioned problems is to provide a piezoelectric ceramic plate having a plurality of grooves filled with ink and having electrodes formed on side walls of the grooves. An ink chamber plate that is joined to the piezoelectric ceramic plate and is provided with a common ink chamber that communicates with each of the grooves, and an end face where the groove is open of an assembly of the piezoelectric ceramic plate and the ink chamber plate An inkjet head comprising: a nozzle plate provided with a nozzle opening for discharging the ink filled in the groove; and a nozzle support plate provided on an outer periphery of the bonded body on the nozzle plate side, The joined body and the nozzle support plate are joined by an elastic adhesive that allows a slight elastic deformation, and joined by the elastic adhesive. At least the outer side of the gap between the nozzle support plate and the other member that is in contact with the outside that is communicated from the joined region to the outside is sealed with a protective layer that has a low reactivity with the gas component and humidity in the external atmosphere than the elastic adhesive. The inkjet head is characterized by being stopped.

【００２３】本発明の第２の態様は、第１の態様におい
て、前記他の部材が、前記接合体の前記圧電セラミック
プレート側に接合されて当該接合体を保持するベースプ
レートと、前記接合体の前記インク室プレート側に接合
されて前記共通インク室にインクを供給する流路基板と
からなることを特徴とするインクジェットヘッドにあ
る。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the other member is joined to the piezoelectric ceramic plate side of the joined body to hold the joined body, and the joined body is formed. An ink jet head comprising: a flow path substrate joined to the ink chamber plate side to supply ink to the common ink chamber.

【００２４】本発明の第３の態様は、第２の態様におい
て、前記保護層が前記ノズル支持プレートと前記ベース
プレートとの隙間及び前記ノズル支持プレートと前記流
路基板との隙間の外周面の全面に亘って設けられている
ことを特徴とするインクジェットヘッドにある。According to a third aspect of the present invention, in the second aspect, the protective layer covers the entire outer peripheral surface of the gap between the nozzle support plate and the base plate and the gap between the nozzle support plate and the flow path substrate. The inkjet head is characterized in that it is provided over.

【００２５】本発明の第４の態様は、第１〜３の何れか
の態様において、前記接合体と前記他の部材とも前記弾
性接着剤を介して接合されていることを特徴とするイン
クジェットヘッドにある。In a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects, the joint body and the other member are joined together via the elastic adhesive. It is in.

【００２６】本発明の第５の態様は、第１〜４の何れか
の態様において、前記弾性接着剤が常温及び常湿で硬化
されたものであることを特徴とするインクジェットヘッ
ドにある。A fifth aspect of the present invention is the ink jet head according to any one of the first to fourth aspects, characterized in that the elastic adhesive is cured at room temperature and normal humidity.

【００２７】本発明の第６の態様は、第１〜５の何れか
の態様において、前記保護層が常温及び常湿で硬化され
たものであることを特徴とするインクジェットヘッドに
ある。A sixth aspect of the present invention is an ink jet head according to any one of the first to fifth aspects, characterized in that the protective layer is cured at room temperature and normal humidity.

【００２８】本発明の第７の態様は、第５又は６の態様
において、前記常温が、２５±５℃の温度であり、前記
常湿が６０±１０％ＲＨの湿度であることを特徴とする
インクジェットヘッドにある。A seventh aspect of the present invention is characterized in that, in the fifth or sixth aspect, the room temperature is a temperature of 25 ± 5 ° C., and the normal humidity is a humidity of 60 ± 10% RH. It is located in the inkjet head.

【００２９】本発明の第８の態様は、第１〜７の何れか
の態様において、前記弾性接着剤及び前記保護層が、硬
化剤の配合量の異なる同一成分で構成されていることを
特徴とするインクジェットヘッドにある。An eighth aspect of the present invention is characterized in that, in any one of the first to seventh aspects, the elastic adhesive and the protective layer are composed of the same component having different amounts of the curing agent compounded. And in the inkjet head.

【００３０】本発明の第９の態様は、第１〜８の何れか
の態様において、前記保護層が複数層で構成されている
ことを特徴とするインクジェットヘッドにある。A ninth aspect of the present invention is an ink jet head according to any one of the first to eighth aspects, characterized in that the protective layer is composed of a plurality of layers.

【００３１】かかる本発明では、インクジェットヘッド
と他の部材とを弾性接着剤を用いて接合し、弾性接着剤
で接合された接合領域がノズル支持プレートの当接する
他の部材との隙間の少なくとも外部側を弾性接着剤より
も外部雰囲気下のガス及び湿度と低反応性の保護層で封
止するようにしたため、弾性接着剤が外部雰囲気中のガ
ス及び湿度と反応するのを防止して弾性接着剤の膨潤あ
るいは収縮を防止することができる。これにより、接合
体及び接合体に接合された他の部材の変形を防止するこ
とができる。In the present invention, the ink jet head and the other member are joined by using the elastic adhesive, and the joining region joined by the elastic adhesive is at least outside the gap between the nozzle supporting plate and the other member which is in contact. Since the side is sealed with a protective layer that is less reactive with the gas and humidity in the external atmosphere than the elastic adhesive, the elastic adhesive is prevented from reacting with the gas and humidity in the external atmosphere and elastic bonding is performed. It is possible to prevent the agent from swelling or shrinking. Accordingly, it is possible to prevent deformation of the joined body and other members joined to the joined body.

【００３２】[0032]

【発明の実施の形態】以下に本発明を実施形態に基づい
て詳細に説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described in detail below based on embodiments.

【００３３】（実施形態１）図１は、実施形態１に係る
インクジェットヘッドの斜視図であり、図２は、インク
ジェットヘッドの要部断面図及びノズルプレート側の平
面図であり、図３は、ヘッドチップの分解斜視図及び斜
視断面図である。(Embodiment 1) FIG. 1 is a perspective view of an ink jet head according to a first embodiment, FIG. 2 is a sectional view of a main part of the ink jet head and a plan view of a nozzle plate side, and FIG. FIG. 3 is an exploded perspective view and a perspective sectional view of a head chip.

【００３４】図示するように、本実施形態のインクジェ
ットヘッド１０は、ヘッドチップ２０と、この一方面側
に設けられる流路基板４０と、ヘッドチップ２０を駆動
するための駆動回路等が搭載された配線基板５０とを有
し、これらの各部材は、それぞれベースプレート６０に
固定されている。As shown in the figure, the ink jet head 10 of this embodiment is equipped with a head chip 20, a flow path substrate 40 provided on one side of the head chip 20, a drive circuit for driving the head chip 20, and the like. The wiring board 50 is provided, and each of these members is fixed to the base plate 60.

【００３５】ヘッドチップ２０を構成する圧電セラミッ
クプレート２１には、ノズル開口２９に連通する複数の
溝２２が並設され、各溝２２は、側壁２３で隔離されて
いる。各溝２２の長手方向の一端部は圧電セラミックプ
レート２１の一端面まで延設されており、他端部は、他
端面まで延びておらず、深さが徐々に浅くなっている。
また、各溝２２の幅方向両側の側壁２３には、溝２２の
開口側に長手方向に亘って駆動電圧印加用の電極２４が
形成されている。A plurality of grooves 22 communicating with the nozzle openings 29 are arranged in parallel on the piezoelectric ceramic plate 21 constituting the head chip 20, and each groove 22 is isolated by a side wall 23. One end portion of each groove 22 in the longitudinal direction extends to one end surface of the piezoelectric ceramic plate 21, and the other end portion does not extend to the other end surface, and the depth gradually decreases.
Further, on the side walls 23 on both sides in the width direction of each groove 22, electrodes 24 for applying a drive voltage are formed on the opening side of the groove 22 in the longitudinal direction.

【００３６】なお、圧電セラミックプレート２１に形成
される各溝２２は、例えば、円盤状のダイスカッターに
より形成され、深さが徐々に浅くなった部分は、ダイス
カッターの形状により形成されてしまう。また、各溝２
２内に形成される電極２４は、例えば、公知の斜め方向
からの蒸着により形成される。Each groove 22 formed in the piezoelectric ceramic plate 21 is formed by, for example, a disk-shaped die cutter, and the portion where the depth is gradually reduced is formed by the shape of the die cutter. Also, each groove 2
The electrode 24 formed inside 2 is formed, for example, by known vapor deposition from an oblique direction.

【００３７】このような溝２２の両側の側壁２３の開口
側に設けられた電極２４には、フレキシブルプリントケ
ーブル（ＦＰＣ）等の外部配線５１の一端が接合され、
外部配線５１の他端側は、配線基板５０上の図示しない
駆動回路に接合されることで、電極２４は駆動回路に電
気的に接続されている。One end of an external wiring 51 such as a flexible printed cable (FPC) is joined to the electrodes 24 provided on the opening sides of the side walls 23 on both sides of the groove 22.
The other end of the external wiring 51 is joined to a drive circuit (not shown) on the wiring board 50, so that the electrode 24 is electrically connected to the drive circuit.

【００３８】このような圧電セラミックプレート２１の
溝２２の開口側には、インク室プレート２５が接合され
ている。このインク室プレート２５には、各溝２２のそ
れぞれに共通なインク室となる共通インク室２６と、こ
の共通インク室２６に連通して各溝２２内にインクを供
給するインク供給口２６ａとが設けられている。An ink chamber plate 25 is joined to the opening side of the groove 22 of the piezoelectric ceramic plate 21. The ink chamber plate 25 has a common ink chamber 26 that serves as an ink chamber common to each groove 22, and an ink supply port 26a that communicates with the common ink chamber 26 and supplies ink into each groove 22. It is provided.

【００３９】このような圧電セラミックプレート２１と
インク室プレート２５とで接合体１００が構成されてい
る。The piezoelectric ceramic plate 21 and the ink chamber plate 25 as described above constitute a bonded body 100.

【００４０】なお、インク室プレート２５は、圧電セラ
ミックプレート２１との接合後の熱膨張や収縮による変
形を防止するため、圧電セラミックプレート２１と同等
の線膨張係数の部材を用いるのが好ましい。本実施形態
では、インク室プレート２５にセラミックプレートを用
いた。The ink chamber plate 25 is preferably made of a member having a coefficient of linear expansion equivalent to that of the piezoelectric ceramic plate 21 in order to prevent the ink chamber plate 25 from being deformed due to thermal expansion or contraction after being joined to the piezoelectric ceramic plate 21. In this embodiment, a ceramic plate is used as the ink chamber plate 25.

【００４１】また、圧電セラミックプレート２１とイン
ク室プレート２５との接合体１００の溝２２が開口して
いる端面には、ノズルプレート２８が接合されており、
ノズルプレート２８の各溝２２に対向する位置にはノズ
ル開口２９が形成されている。Further, a nozzle plate 28 is joined to the end face of the joined body 100 of the piezoelectric ceramic plate 21 and the ink chamber plate 25 where the groove 22 is open,
A nozzle opening 29 is formed at a position facing each groove 22 of the nozzle plate 28.

【００４２】本実施形態では、ノズルプレート２８は、
圧電セラミックプレート２１とインク室プレート２５と
の接合体の溝２２が開口している端面の面積よりも大き
くなっている。このノズルプレート２８は、ポリイミド
フィルムなどに、例えば、エキシマレーザ装置を用いて
ノズル開口２９を形成したものである。In this embodiment, the nozzle plate 28 is
It is larger than the area of the end face where the groove 22 of the joined body of the piezoelectric ceramic plate 21 and the ink chamber plate 25 is open. The nozzle plate 28 is formed by forming a nozzle opening 29 on a polyimide film or the like by using, for example, an excimer laser device.

【００４３】また、図示しないが、ノズルプレート２８
の被印刷物に対向する面には、インクの付着等を防止す
るための撥水性を有する撥水膜が設けられている。Although not shown, the nozzle plate 28
A water-repellent film having water repellency is provided on the surface facing the printing target to prevent ink adhesion and the like.

【００４４】ここで、ノズルプレート２８と接合体１０
０との接合に用いられる接着剤１０１は、本実施形態で
は、例えば、エポキシ樹脂等の熱硬化型接着剤を挙げる
ことができる。Here, the nozzle plate 28 and the bonded body 10
In the present embodiment, for example, the adhesive 101 used for bonding with 0 may be a thermosetting adhesive such as an epoxy resin.

【００４５】本実施形態では、接着剤１０１としてショ
ア硬度Ｄが８７度の３５３ＮＤ（エポキシテクノロジー
社製）を用いた。In this embodiment, 353ND (made by Epoxy Technology Co., Ltd.) having a Shore hardness D of 87 degrees is used as the adhesive 101.

【００４６】さらに、接合体１００の各溝２２が開口し
ている端面側の外周面には、接合体１００が係合する係
合孔３０が設けられたノズル支持プレート３１が接合さ
れている。このノズル支持プレート３１の係合孔３０に
は、一方側の開口が漸大するテーパ部３０ａが設けられ
ている。このようなノズル支持プレート３１を形成する
部材としては、本実施形態では、アルミニウム（Ａｌ）
を用いた。Further, a nozzle support plate 31 provided with an engagement hole 30 with which the joined body 100 is engaged is joined to the outer peripheral surface on the end face side where each groove 22 of the joined body 100 is open. The engagement hole 30 of the nozzle support plate 31 is provided with a taper portion 30a whose opening on one side gradually increases. In the present embodiment, aluminum (Al) is used as a member that forms such a nozzle support plate 31.
Was used.

【００４７】また、ノズル支持プレート３１の一方面
は、ノズルプレート２８の接合体１００の端面の外側面
に嵌合接着される。このため、ノズル支持プレート３１
は、ノズルプレート２８を支持している。Further, one surface of the nozzle support plate 31 is fitted and adhered to the outer surface of the end surface of the joined body 100 of the nozzle plate 28. Therefore, the nozzle support plate 31
Support the nozzle plate 28.

【００４８】これにより、圧電セラミックプレート２
１、インク室プレート２５、ノズルプレート２８及びノ
ズル支持プレート３１からなるヘッドチップ２０が組立
てられる。As a result, the piezoelectric ceramic plate 2
1, the head chip 20 including the ink chamber plate 25, the nozzle plate 28, and the nozzle support plate 31 is assembled.

【００４９】なお、本実施形態では、ノズル支持プレー
ト３１にテーパ部３０ａを設けることにより、詳しくは
後述するが、テーパ部３０ａ内が若干の弾性変形を許容
する弾性接着剤１０２で埋められて、接合体１００とノ
ズル支持プレート３１及びノズル支持プレート３１とノ
ズルプレート２８とが接合されている。In this embodiment, the nozzle support plate 31 is provided with the tapered portion 30a, and the inside of the tapered portion 30a is filled with the elastic adhesive 102 that allows a slight elastic deformation, which will be described in detail later. The joined body 100 and the nozzle support plate 31 and the nozzle support plate 31 and the nozzle plate 28 are joined together.

【００５０】また、ノズル支持プレート３１に設けられ
た係合孔３０には、図２（ｂ）に示すように、その角部
に接合体１００及びノズルプレート２８との接合時の余
分な弾性接着剤１０２が充填されるように接合体１００
の厚さ方向に幅が広くなった幅広部３０ｂが設けられて
いる。As shown in FIG. 2B, the engaging holes 30 provided in the nozzle support plate 31 have extra elastic adhesion at the corners when the joined body 100 and the nozzle plate 28 are joined. The joined body 100 is filled with the agent 102.
A wide portion 30b having a wider width in the thickness direction is provided.

【００５１】ここで、例えば、圧電セラミックプレート
２１にチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を用いた場合に
は、ＰＺＴの線膨張係数は４〜９×１０^−６／℃である
が、ノズル支持プレート３１は、線膨張係数が２４×１
０×^−６／℃のアルミニウム（Ａｌ）で形成されている
ため、線膨張係数の違いから熱による膨張や収縮によっ
て圧電セラミックプレート２１及びインク室プレート２
８からなる接合体１００が変形してしまう。例えば、６
０〜７０℃の条件下では、接合体１００が撓み方向に３
０〜７０μｍ程度変形してしまう。Here, for example, when lead zirconate titanate (PZT) is used for the piezoelectric ceramic plate 21, the coefficient of linear expansion of PZT is 4 to 9 × 10 ⁻⁶ / ° C. No. 31 has a linear expansion coefficient of 24 × 1
Since it is made of aluminum (Al) of 0 × ⁻⁶ / ° C., the piezoelectric ceramic plate 21 and the ink chamber plate 2 are expanded or contracted by heat due to the difference in linear expansion coefficient.
The bonded body 100 made of 8 is deformed. For example, 6
Under the condition of 0 to 70 ° C., the bonded body 100 is bent in the bending direction by 3
It is deformed by about 0 to 70 μm.

【００５２】このため、接合体１００とノズル支持プレ
ート３１とを若干の弾性変形を許容する弾性接着剤１０
２を用いて接合した。Therefore, the elastic adhesive 10 which allows the joint body 100 and the nozzle support plate 31 to be slightly elastically deformed.
2 was used for joining.

【００５３】この弾性接着剤１０２によれば、熱膨張及
び収縮の違いを弾性接着剤１０２によって緩衝して、両
者の熱による変形を防止することができる。According to this elastic adhesive 102, the difference between thermal expansion and contraction can be buffered by the elastic adhesive 102, and deformation of both due to heat can be prevented.

【００５４】なお、弾性接着剤１０２としては、例え
ば、エポキシ系接着剤とポリアミドを主成分とする硬化
剤とを配合した接着剤を挙げることができる。また、エ
ポキシ系樹脂及びポリアミドを主成分とする硬化剤から
なる弾性接着剤１０２は、常温及び常湿、例えば、２５
±５℃の温度で６０±１０％ＲＨの湿度の雰囲気下で硬
化させることにより、弾性力を与えることができる。The elastic adhesive 102 may be, for example, an adhesive containing an epoxy adhesive and a curing agent containing polyamide as a main component. Further, the elastic adhesive 102 composed of a curing agent containing epoxy resin and polyamide as a main component is used at room temperature and normal humidity, for example, 25
Elasticity can be imparted by curing at a temperature of ± 5 ° C. in an atmosphere of a humidity of 60 ± 10% RH.

【００５５】このような弾性接着剤１０２を用いて接合
体１００とノズル支持プレート３１とを接合することに
より、圧電セラミックプレート２１の変形が原因で、例
えば、圧電セラミックプレート２１の割れや、ノズル開
口２９と溝２２との位置のずれ等の不具合が発生するこ
とを確実に防止することができる。By joining the joined body 100 and the nozzle support plate 31 using such an elastic adhesive 102, for example, the piezoelectric ceramic plate 21 is cracked or the nozzle opening is caused due to the deformation of the piezoelectric ceramic plate 21. It is possible to reliably prevent the occurrence of a defect such as a positional shift between the groove 29 and the groove 22.

【００５６】また、このようなヘッドチップ２０のイン
ク室プレート２５の一方面には、図２に示すような流路
基板４０が接合され、共通インク室２６の一方面は、こ
の流路基板４０によって封止されている。A flow path substrate 40 as shown in FIG. 2 is bonded to one surface of the ink chamber plate 25 of the head chip 20 as described above, and one surface of the common ink chamber 26 is connected to the flow path substrate 40. It is sealed by.

【００５７】具体的には、この流路基板４０は、例え
ば、Ｏリング等を介してインク室プレート２５の一方面
に当接され、図示しないねじ部材等によってベースプレ
ート６０に固定されている。Specifically, the flow path substrate 40 is in contact with one surface of the ink chamber plate 25 via, for example, an O-ring, and is fixed to the base plate 60 by a screw member or the like (not shown).

【００５８】このような流路基板４０を形成する部材と
しては、圧電セラミックプレート２１の線膨張係数に近
似した材料であることが好ましい。これは、接合体１０
０及びインク室プレート２５の変形を抑えるためであ
り、本実施形態では、流路基板４０を形成する部材とし
てポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）を用いた。The member forming such a flow path substrate 40 is preferably made of a material having a linear expansion coefficient close to that of the piezoelectric ceramic plate 21. This is the bonded body 10.
This is because 0 and the deformation of the ink chamber plate 25 are suppressed. In this embodiment, polyphenylene sulfide (PPS) is used as a member forming the flow path substrate 40.

【００５９】この流路形成基板４０も、接合体１００の
インク室プレート２５と上述した弾性接着剤１０２を介
して接合することで、接合体１００の変形をより確実に
防止することができる。The flow path forming substrate 40 is also bonded to the ink chamber plate 25 of the bonded body 100 via the elastic adhesive 102 described above, whereby the deformation of the bonded body 100 can be prevented more reliably.

【００６０】一方、圧電セラミックプレート２１のイン
ク室プレート２５が接合された側とは反対側の面には、
ヘッドチップ２０を保持するベースプレート６０が接合
されている。On the other hand, on the surface of the piezoelectric ceramic plate 21 opposite to the side where the ink chamber plate 25 is joined,
A base plate 60 holding the head chip 20 is joined.

【００６１】このベースプレート６０の圧電セラミック
プレート２１が接合される面には、上述した配線基板５
０の圧電セラミックプレート２１に接合された側とは反
対側の端部が接合されている。On the surface of the base plate 60 to which the piezoelectric ceramic plate 21 is joined, the above-mentioned wiring board 5 is formed.
The end portion on the side opposite to the side of the No. 0 piezoelectric ceramic plate 21 is joined.

【００６２】なお、ベースプレート６０を形成する部材
としては、本実施形態では、アルミニウム（Ａｌ）を用
いた。As the member forming the base plate 60, aluminum (Al) is used in this embodiment.

【００６３】また、このようなベースプレート６０は、
ノズル支持プレート３１と同様にアルミニウムで形成さ
れているため、ベースプレート６０と接合体１００の圧
電セラミックプレート２１とは上述した弾性接着剤１０
２を介して接合されている。Further, such a base plate 60 is
Since the base plate 60 and the piezoelectric ceramic plate 21 of the bonded body 100 are made of aluminum similarly to the nozzle support plate 31, the elastic adhesive 10 described above is used.
It is joined via 2.

【００６４】これにより、熱による膨張及び収縮量を弾
性接着剤１０２で緩衝して接合体１００の変形を確実に
防止することができる。As a result, the amount of expansion and contraction due to heat is buffered by the elastic adhesive 102, and the deformation of the bonded body 100 can be reliably prevented.

【００６５】また、流路基板４０の上面には、ステンレ
ス管等で形成されたインク連通管９０が接続される連結
部４１が形成されている。この連結部４１に一端が接続
されたインク連通管９０の他端側には、インクカートリ
ッジ等のインクタンクにインク供給管９１を介して接続
されて所定量のインクを一時的に貯留する負圧調整部８
０が設けられている。On the upper surface of the flow path substrate 40, there is formed a connecting portion 41 to which the ink communication tube 90 formed of a stainless tube or the like is connected. At the other end of the ink communication tube 90, one end of which is connected to the connecting portion 41, a negative pressure that is connected to an ink tank such as an ink cartridge through an ink supply tube 91 and temporarily stores a predetermined amount of ink. Adjustment unit 8
0 is provided.

【００６６】この負圧調整部８０は、ヘッドチップ２０
の共通インク室２６及び溝２２内のインクの圧力調整を
行うものである。詳しくは、インクジェットヘッド１０
が主走査方向に移動した際に、ヘッドチップ２０内の圧
力が変化し、ノズル開口２９にインクの表面張力によっ
て形成されたメニスカスが破壊されてしまう虞があり、
このヘッドチップ２０内の圧力変化を負圧調整部８０に
よって調整することで、安定したメニスカスを保持して
インクを吐出できるようにするものである。また、負圧
調整部８０は、その内部に所定量のインクを貯留するこ
とで、インク供給管９１内の気泡がヘッドチップ２０に
混入するのを防止する気泡貯留にも寄与している。The negative pressure adjusting section 80 is provided in the head chip 20.
The pressure of the ink in the common ink chamber 26 and the groove 22 is adjusted. Specifically, the inkjet head 10
Is moved in the main scanning direction, the pressure in the head chip 20 may change, and the meniscus formed in the nozzle openings 29 by the surface tension of the ink may be destroyed.
By adjusting the pressure change in the head chip 20 by the negative pressure adjusting section 80, stable meniscus can be held and ink can be ejected. Further, the negative pressure adjusting section 80 stores a predetermined amount of ink therein, and thus contributes to bubble storage for preventing bubbles in the ink supply tube 91 from mixing into the head chip 20.

【００６７】このように構成されるインクジェットヘッ
ド１０の接合体１００とノズル支持プレート３１とを接
合する弾性接着剤１０２が設けられた接合領域から外部
まで連通するノズル支持プレート３１と当接する他の部
材との隙間の少なくとも外周面が弾性接着剤１０２より
も外部雰囲気中のガス成分及び湿度と低反応性を有する
保護層１０３によって封止されている。Another member that abuts the nozzle support plate 31 that communicates from the joint area where the elastic adhesive 102 for joining the joined body 100 of the ink jet head 10 thus constructed and the nozzle support plate 31 is provided to the outside. At least the outer peripheral surface of the gap between and is sealed by the protective layer 103 having a lower reactivity with the gas component and humidity in the external atmosphere than the elastic adhesive 102.

【００６８】本実施形態では、ノズル支持プレート３１
と当接する他の部材が、流路基板４０とベースプレート
６０とであるため、ノズル支持プレート３１と流路基板
４０との隙間の外周面及びノズル支持プレート３１とベ
ースプレート６０との隙間の外周面の全面に亘って保護
層１０３が設けられている。In this embodiment, the nozzle support plate 31
Since the other members that come into contact with the flow channel substrate 40 and the base plate 60 are the outer peripheral surface of the gap between the nozzle support plate 31 and the flow channel substrate 40 and the outer peripheral surface of the gap between the nozzle support plate 31 and the base plate 60. The protective layer 103 is provided over the entire surface.

【００６９】この保護層１０３は、弾性接着剤１０２よ
りも外部雰囲気中のガス成分及び湿度と低反応性を有す
る材料であれば特に限定されず、例えば、高硬度で且つ
低吸水率のエポキシ系接着剤等を挙げることができる。The protective layer 103 is not particularly limited as long as it is a material that has a lower reactivity with the gas component and humidity in the external atmosphere than the elastic adhesive 102, and is, for example, an epoxy-based material having high hardness and low water absorption. An adhesive or the like may be used.

【００７０】このように、ノズル支持プレート３１に当
接する他の部材である流路基板４０及びベースプレート
６０との隙間の外周面を弾性接着剤１０２よりも外部雰
囲気中のガス成分及び湿度と低反応性を有する保護層１
０３で封止するようにしたため、弾性接着剤１０２を常
温で硬化させることで架橋が１００％完全に進行しなか
ったり、ガラス転位点が低いなどの不安定な状態となっ
ても、保護層１０３によって外部雰囲気から封止される
ため、弾性接着剤１０２が外部雰囲気中のガス成分及び
湿度と反応することがなく、弾性接着剤１０２の膨潤あ
るいは収縮などによる接合体１００の変形及び破壊や位
置ずれ等を確実に防止することができる。As described above, the outer peripheral surface of the gap between the flow path substrate 40 and the base plate 60, which are other members abutting on the nozzle support plate 31, has a lower reaction with the gas component and humidity in the external atmosphere than the elastic adhesive 102. Protective layer 1
Since it is sealed with 03, even if the elastic adhesive 102 is hardened at room temperature, crosslinking does not completely proceed or the glass transition point becomes low, and the protective layer 103 becomes unstable. The elastic adhesive 102 does not react with gas components and humidity in the external atmosphere because it is sealed from the external atmosphere by the elastic adhesive 102, and the bonded body 100 is deformed and broken or displaced due to swelling or contraction of the elastic adhesive 102. And the like can be reliably prevented.

【００７１】また、接合体１００とノズル支持プレート
３１との接合に若干の弾性変形を許容する弾性接着剤１
０２を用いることにより、接合体１００と接合体１００
に接合される他の部材との線膨張係数が違っても、接合
体１００の変形を弾性接着剤１０２で緩衝することがで
き、変形を防止すると共に位置ずれ等を防止して吐出特
性及び吐出安定性が悪化するのを防止することができ
る。Further, the elastic adhesive 1 which allows a slight elastic deformation in the joining between the joined body 100 and the nozzle support plate 31.
By using 02, the joined body 100 and the joined body 100
Even if the linear expansion coefficient is different from that of other members to be joined to, the deformation of the joined body 100 can be buffered by the elastic adhesive 102, and the deformation and the displacement can be prevented and the ejection characteristics and the ejection can be prevented. It is possible to prevent the stability from deteriorating.

【００７２】（実施例１）上述した実施形態１のインク
ジェットヘッド１０に弾性接着剤１０２として、ＥＣＣ
ＯＢＯＮＤ４５ＬＶ（エマーソンアンドカミング社製）
からなるエポキシ系樹脂と、主成分がポリアミドのＣＡ
ＴＡＬＹＳＴ１５ＬＶ（エマーソンアンドカミング社
製）からなる硬化剤とを重量比が１対１となるように配
合したものを用いた。Example 1 An ECC was used as the elastic adhesive 102 in the ink jet head 10 of the first embodiment described above.
OBOND45LV (made by Emerson and Cumming)
CA made of epoxy resin and a main component of polyamide
A mixture of a curing agent made of TALYST15LV (manufactured by Emerson and Cumming) in a weight ratio of 1: 1 was used.

【００７３】また、保護層１０３としては、ＥＣＣＯＢ
ＯＮＤ４５ＬＶからなるエポキシ系樹脂と、ＣＡＴＡＬ
ＹＳＴ１５ＬＶからなる硬化剤とを重量比が２対１とな
るように配合したものを用いた。As the protective layer 103, ECCOB is used.
Epoxy resin consisting of OND45LV and CATAL
A YST15LV curing agent was used in a weight ratio of 2: 1.

【００７４】このような弾性接着剤１０２及び保護層１
０３の特性を下記表１に示す。Such elastic adhesive 102 and protective layer 1
The properties of No. 03 are shown in Table 1 below.

【００７５】[0075]

【表１】 ここで、インクジェットヘッド１０の製造方法として
は、まず、上述したように３５３ＮＤからなる接着剤１
０１を用いて接合体１００とノズルプレート２８とを加
熱硬化させて接合する。[Table 1] Here, as a method of manufacturing the inkjet head 10, first, as described above, the adhesive 1 made of 353ND is used.
01, the bonded body 100 and the nozzle plate 28 are heat-cured and bonded.

【００７６】次いで、常温及び常湿の環境下、本実施形
態では、２５±５℃の温度で６０±１０％ＲＨの湿度の
雰囲気下で、接合体１００とノズル支持プレート３１と
を弾性接着剤１０２を用いて１５〜１６時間乾燥させて
接合する。Next, in a normal temperature and normal humidity environment, in this embodiment, in an atmosphere of a temperature of 25 ± 5 ° C. and a humidity of 60 ± 10% RH, the bonded body 100 and the nozzle support plate 31 are elastically bonded together. Drying is performed for 15 to 16 hours using 102, and it joins.

【００７７】次いで、同様の常温及び常湿の環境下で、
接合体１００と流路基板４０及びベースプレート６０と
を弾性接着剤１０２を用いて１５〜１６時間乾燥させて
接合する。Then, under the same normal temperature and normal humidity environment,
The bonded body 100, the flow path substrate 40, and the base plate 60 are dried and bonded for 15 to 16 hours using the elastic adhesive 102.

【００７８】その後、同様の常温及び常湿の環境下で、
ノズル支持プレート３１とノズル支持プレート３１に当
接する他の部材である流路基板４０とベースプレート６
０との隙間の外周面に保護層１０３を塗布し、１５〜１
６時間乾燥させて保護層１０３を形成することにより、
実施例１のインクジェットヘッド１０を形成した。Thereafter, under the same normal temperature and normal humidity environment,
Nozzle support plate 31, flow path substrate 40, which is another member that abuts nozzle support plate 31, and base plate 6
The protective layer 103 is applied to the outer peripheral surface of the gap between 0 and 15 to 15
By forming the protective layer 103 by drying for 6 hours,
The inkjet head 10 of Example 1 was formed.

【００７９】（比較例１）比較のため、保護層１０３を
設けずに、実施例１と同様の弾性接着剤１０２を用いて
接合したものを比較例１のインクジェットヘッドとし
た。(Comparative Example 1) For comparison, an ink jet head of Comparative Example 1 was prepared by bonding the same elastic adhesive 102 as in Example 1 without providing the protective layer 103.

【００８０】なお、比較例１のインクジェットヘッド
も、上述した実施例１と同様の条件で形成した。The ink jet head of Comparative Example 1 was also formed under the same conditions as in Example 1 described above.

【００８１】（比較例２）比較のため、実施形態１と同
様の弾性接着剤１０２を用いて接合したインクジェット
ヘッドに、保護層が形成される領域に弾性接着剤１０２
からなる封止層を設け、この封止層によってノズル支持
プレート３１と流路基板４０及びベースプレート６０と
が当接する隙間の外周面を封止したものを比較例２のイ
ンクジェットヘッドとした。(Comparative Example 2) For comparison, an ink jet head bonded by using the same elastic adhesive 102 as in Embodiment 1 was used in the region where the protective layer was formed.
An ink jet head of Comparative Example 2 was obtained by providing a sealing layer made of, and sealing the outer peripheral surface of the gap where the nozzle support plate 31, the flow path substrate 40, and the base plate 60 abut with this sealing layer.

【００８２】なお、比較例２のインクジェットヘッド
も、上述した実施例１と同様の条件で形成し、封止層
も、上述した実施例１の保護層１０３と同様の条件で形
成した。The ink jet head of Comparative Example 2 was also formed under the same conditions as those of Example 1 described above, and the sealing layer was also formed under the same conditions as the protective layer 103 of Example 1 described above.

【００８３】（試験例１）上述した実施例１、比較例１
及び２のインクジェットヘッドを３５℃の温度で９５％
の湿度の雰囲気下で放置し、８０〜１００倍の加速係
数、本試験例では、９０倍となるような加速係数で一方
の幅広部３０ｂの弾性接着剤１０２の膨潤量と、この幅
広部３０ｂに対向するノズルプレート２８の変形量とを
測定した。Test Example 1 Example 1 and Comparative Example 1 described above
Inkjet heads No. 2 and 95% at 35 ° C
The swelling amount of the elastic adhesive 102 in one wide portion 30b and the wide portion 30b with an acceleration coefficient of 80 to 100 times, in this test example, an acceleration coefficient of 90 times And the amount of deformation of the nozzle plate 28 facing each other was measured.

【００８４】この結果を図４及び図５に示す。なお、図
４は、実施例１、比較例１及び２のインクジェットヘッ
ドの試験投入時間と弾性接着剤の膨潤量を示すグラフで
あり、図５は、実施例１、比較例１及び２のインクジェ
ットヘッドの試験投入時間とノズルプレートの一方の幅
広部に対向する領域の変形量を示すグラフである。The results are shown in FIGS. 4 and 5. 4 is a graph showing the test charging time of the inkjet heads of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2 and the swelling amount of the elastic adhesive, and FIG. 5 is the inkjet of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2. 6 is a graph showing a test injection time of the head and a deformation amount of a region facing one wide portion of the nozzle plate.

【００８５】ここで、上述したインクジェットヘッド１
０では、ノズル支持プレート３１に幅広部３０ｂが設け
られているため、テーパ部３０ａに比べて幅広部３０ｂ
に弾性接着剤１０２が多く充填されている。Here, the above-mentioned ink jet head 1
At 0, since the wide portion 30b is provided on the nozzle support plate 31, the wide portion 30b is larger than that of the tapered portion 30a.
A large amount of elastic adhesive 102 is filled in.

【００８６】このため、弾性接着剤１０２の膨潤あるい
は収縮によるノズルプレート２８の変形は、テーパ部３
０ａに比べて幅広部３０ｂの方が大きくなるため、本試
験例では、一方の幅広部３０ｂ内の弾性接着剤１０２の
膨潤量あるいは収縮量、及びこの幅広部３０ｂに対向す
るノズルプレート２８の変形量のみを測定結果として例
示した。Therefore, the deformation of the nozzle plate 28 due to the swelling or contraction of the elastic adhesive 102 is not affected by the taper portion 3.
Since the wide portion 30b is larger than 0a, in this test example, the amount of swelling or contraction of the elastic adhesive 102 in one wide portion 30b and the deformation of the nozzle plate 28 facing the wide portion 30b. Only the amount is exemplified as the measurement result.

【００８７】図４に示すように、低反応性の高硬度の保
護層１０３を用いた実施例１のインクジェットヘッド１
０では、比較例１及び比較例２のインクジェットヘッド
に比べて外部雰囲気中の湿度を吸収せず、膨潤量が小さ
いことが分かる。As shown in FIG. 4, the ink jet head 1 of Example 1 using the protective layer 103 of low reactivity and high hardness.
It can be seen that when 0, the amount of swelling is smaller than that of the inkjet heads of Comparative Examples 1 and 2, which does not absorb humidity in the external atmosphere.

【００８８】また、図５に示すように、実施例１のイン
クジェットヘッド１０では、約３２０時間、すなわち、
本試験例では、加速度が９０倍のため、常温及び常湿下
（２２〜２３℃、６０％）では、約１２００日（約４０
ヶ月）経過しても、弾性接着剤１０２は最大で１７μｍ
膨潤するに留まり、インクジェットヘッド１０を問題な
く使用することができる。Further, as shown in FIG. 5, in the ink jet head 10 of Example 1, about 320 hours, that is,
In this test example, since the acceleration is 90 times, about 1200 days (about 40 days) at room temperature and normal humidity (22 to 23 ° C., 60%).
The maximum thickness of elastic adhesive 102 is 17 μm
The inkjet head 10 can be used without any problem as long as it swells.

【００８９】一方、図５に示すように、比較例１のイン
クジェットヘッドでは、試験投入時間が１２０時間、す
なわち、常温及び常湿下では、約４５０日（約１５ヶ
月）経過する前に接合体からノズルプレートが剥がれて
しまった。On the other hand, as shown in FIG. 5, in the ink jet head of Comparative Example 1, the bonding time was 120 hours, that is, at room temperature and normal humidity, about 450 days (about 15 months) before the bonded body was joined. The nozzle plate has come off.

【００９０】また、図５に示すように、比較例２のイン
クジェットヘッドでは、約２４０時間、すなわち、常温
及び常湿下では、約９００日（約３０ヶ月）経過する
と、弾性接着剤１０２が最大で約４９μｍ膨潤してしま
い、ノズルプレートの弾性接着剤１０２に対向する領域
を大きく突出させてしまった。Further, as shown in FIG. 5, in the ink jet head of Comparative Example 2, the elastic adhesive 102 reaches the maximum after about 240 hours, that is, after about 900 days (about 30 months) at room temperature and normal humidity. Swelled by about 49 μm, and the region of the nozzle plate facing the elastic adhesive 102 was largely projected.

【００９１】このようにノズルプレートのノズル開口近
傍の領域を大きく突出させると、ノズルプレートのノズ
ル開口近傍をワイプなどによってクリーニングする際
に、ノズル開口近傍をワイプできず、インクやゴミなど
を除去することができなくなってしまう。When the region near the nozzle opening of the nozzle plate is largely projected in this way, when cleaning the vicinity of the nozzle opening of the nozzle plate by wiping or the like, the vicinity of the nozzle opening cannot be wiped and ink or dust is removed. I will not be able to.

【００９２】また、弾性接着剤が膨張及び収縮により大
きく変形すると、接合体及び接合体に接続された他の部
材などの各部材の位置がずれてしまい、吐出特性及び吐
出安定性が悪化してしまう。Further, when the elastic adhesive is largely deformed due to expansion and contraction, the position of each member such as the bonded body and other members connected to the bonded body is displaced, and the ejection characteristics and the ejection stability are deteriorated. I will end up.

【００９３】このような試験例１の結果から、実施例１
のように接合体１００とノズル支持プレート３１とを若
干の弾性変形を許容する弾性接着剤１０２を用いて接合
し、弾性接着剤１０２による接合領域から外部に連通す
る隙間の少なくとも外部側に弾性接着剤１０２よりも外
部雰囲気中のガス成分及び湿度と低反応性を有する保護
層１０３で封止することにより、弾性接着剤１０２の外
部雰囲気中のガス成分及び湿度との反応を防止して弾性
接着剤１０２の膨潤あるいは収縮を防止することができ
る。From the results of Test Example 1 as described above, Example 1
As described above, the joined body 100 and the nozzle support plate 31 are joined using the elastic adhesive 102 that allows a slight elastic deformation, and the elastic adhesive 102 is elastically adhered to at least the outer side of the gap communicating with the outside. By sealing with the protective layer 103, which has a lower reactivity with the gas component and humidity in the external atmosphere than the agent 102, the elastic adhesive 102 is prevented from reacting with the gas component and humidity in the external atmosphere and elastically bonded. It is possible to prevent the agent 102 from swelling or shrinking.

【００９４】これにより、接合体１００及び接合体１０
０に接合された他の部材の変形を防止すると共に各部材
の位置ずれを防止して吐出特性及び吐出安定性の悪化を
防止することができる。As a result, the bonded body 100 and the bonded body 10 are joined together.
It is possible to prevent the deformation of the other members joined to 0 and prevent the displacement of each member, thereby preventing the deterioration of the ejection characteristics and the ejection stability.

【００９５】なお、接合体１００とノズル支持プレート
３１とを上述した実施例１の保護層１０３と同様の外部
雰囲気中のガス成分及び湿度と低反応性の接着剤を用い
て接合すると、接着剤の湿度による膨潤あるいは収縮は
抑えられるものの、接合体１００とノズル支持プレート
３１との線膨張係数が違うため、熱による両部材間の膨
張差あるいは収縮差を接着剤で緩衝することができず、
接合体１００及び接合体１００に接合された他の部材が
変形及び破壊されてしまう。When the bonded body 100 and the nozzle support plate 31 are bonded together by using an adhesive having a low reactivity with gas components and humidity in the external atmosphere similar to the protective layer 103 of the first embodiment, the adhesive is Although the swelling or shrinking due to humidity can be suppressed, since the linear expansion coefficient of the bonded body 100 and the nozzle support plate 31 are different, the difference in expansion or contraction between the two members due to heat cannot be buffered by the adhesive.
The bonded body 100 and other members bonded to the bonded body 100 are deformed and destroyed.

【００９６】このため、接合体１００に接合される他の
部材で線膨張係数が違うものを接合する際には、上述し
た弾性変形を許容する弾性接着剤１０２を用いる必要が
ある。Therefore, when other members to be joined to the joined body 100 having different linear expansion coefficients are joined, it is necessary to use the elastic adhesive 102 which allows the above-mentioned elastic deformation.

【００９７】（他の実施形態）以上、実施形態１につい
て説明したが、本発明のインクジェットヘッドの構成は
上述したものに限定されるものではない。(Other Embodiments) The first embodiment has been described above, but the structure of the ink jet head of the present invention is not limited to the above.

【００９８】例えば、上述した実施形態１では、保護層
１０３を一層設けるようにしたが、これに限定されず、
例えば、複数層の保護層としてもよい。For example, although the protective layer 103 is provided in one layer in the above-described first embodiment, the present invention is not limited to this.
For example, a plurality of protective layers may be used.

【００９９】このように複数層の保護層とすることで、
弾性接着剤１０２の外部雰囲気中のガス成分及び湿度と
の反応を確実に防止して、より信頼性の高いインクジェ
ットヘッドとすることができる。By thus forming a plurality of protective layers,
It is possible to reliably prevent the reaction of the elastic adhesive 102 with the gas components and the humidity in the external atmosphere, and to provide a more reliable inkjet head.

【０１００】また、上述した実施例１では、エポキシ系
樹脂とポリアミドを主成分とする硬化剤との配合比を変
えることにより弾性接着剤１０２と保護層１０３とを形
成したが、これに限定されず、例えば、弾性接着剤と保
護層とを異なる成分で形成するようにしてもよい。In Example 1 described above, the elastic adhesive 102 and the protective layer 103 were formed by changing the compounding ratio of the epoxy resin and the curing agent containing polyamide as the main component, but the present invention is not limited to this. Alternatively, for example, the elastic adhesive and the protective layer may be formed of different components.

【０１０１】さらに、上述した実施形態１では、圧電セ
ラミックプレート２１の材料としてＰＺＴを例示した
が、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛ランタン（ＰＬＺ
Ｔ）を用いてもよく、特に限定されるものではない。こ
のような圧電セラミックプレート２１の材料の違いによ
って、所望の弾性変形量の弾性接着剤を適宜選択すれば
よい。Further, although PZT is exemplified as the material of the piezoelectric ceramic plate 21 in the above-described first embodiment, for example, lead lanthanum zirconate titanate (PLZ) is used.
T) may be used and is not particularly limited. An elastic adhesive having a desired elastic deformation amount may be appropriately selected depending on such a material difference of the piezoelectric ceramic plate 21.

【０１０２】また、上述した実施形態１では、ノズル支
持プレート３１及びベースプレート６０をアルミニウム
で形成し、流路基板４０をＰＰＳで形成したが、これに
限定されず、ノズル支持プレート３１、ベースプレート
６０及び流路基板４０を圧電セラミックプレート２１の
線膨張係数と略同等の部材、例えば、ＰＰＳ、ＬＣＰ
（液晶ポリマー）、アルミナ、ＰＺＴ、ＰＬＺＴ等を用
いて形成するようにしてもよい。Further, although the nozzle support plate 31 and the base plate 60 are formed of aluminum and the flow path substrate 40 is formed of PPS in the above-described first embodiment, the present invention is not limited to this, and the nozzle support plate 31, the base plate 60, and The flow path substrate 40 is made of a member having a coefficient of linear expansion substantially equal to that of the piezoelectric ceramic plate 21, such as PPS or LCP.
It may be formed using (liquid crystal polymer), alumina, PZT, PLZT, or the like.

【０１０３】さらに、上述した実施形態１では、インク
室プレート２５をセラミックプレート２１で形成した
が、これに限定されず、インク室プレート２５を、例え
ば、圧電セラミックプレート２１の線膨張係数と略同等
の部材であるアルミナで形成してもよい。Further, although the ink chamber plate 25 is formed of the ceramic plate 21 in the above-described first embodiment, the present invention is not limited to this, and the ink chamber plate 25 is approximately equal to the linear expansion coefficient of the piezoelectric ceramic plate 21, for example. You may form with the alumina which is a member of.

【０１０４】このように接合体１００に接合される他の
部材に圧電セラミックプレート２１と線膨張係数の略同
等の部材を用いたとしても、弾性接着剤１０２を介して
接合することにより、圧電セラミックプレート２１の変
形及び破壊を確実に防止することができる。Even if a member having a coefficient of linear expansion substantially equal to that of the piezoelectric ceramic plate 21 is used as the other member to be bonded to the bonded body 100 as described above, by bonding through the elastic adhesive 102, the piezoelectric ceramic It is possible to reliably prevent deformation and breakage of the plate 21.

【０１０５】また、上述した実施形態１では、保護層１
０３をノズル支持プレート３１と当接する他の部材であ
る流路基板４０及びベースプレート６０との隙間の外周
面に亘って設けるようにしたが、保護層１０３によって
弾性接着剤１０２を外部雰囲気から封止することができ
れば、これに限定されず、例えば、隙間の全領域に保護
層を設けるようにしてもよい。このような場合、ノズル
支持プレート３１と、これに当接する他の部材との線膨
張係数が略同等でないと、ノズル支持プレート３１及び
他の部材が熱膨張及び収縮する虞がある。In the first embodiment described above, the protective layer 1
03 is provided over the outer peripheral surface of the gap between the flow path substrate 40 and the base plate 60, which are other members in contact with the nozzle support plate 31, but the elastic adhesive 102 is sealed from the external atmosphere by the protective layer 103. If possible, the invention is not limited to this, and for example, a protective layer may be provided in the entire region of the gap. In such a case, if the linear expansion coefficient of the nozzle support plate 31 and the other member that is in contact with the nozzle support plate 31 are not substantially equal, the nozzle support plate 31 and the other members may thermally expand and contract.

【０１０６】さらに、上述したインクジェットヘッド１
０は、インクジェット式記録装置に設置されて被記録媒
体に印刷を行うことができる。Furthermore, the ink jet head 1 described above
0 is installed in an ink jet recording apparatus and can print on a recording medium.

【０１０７】ここでインクジェット式記録装置について
説明する。なお、図６は、インクジェットヘッドを搭載
したキャリッジの斜視図であり、図７は、インクジェッ
ト式記録装置の概略斜視図である。The ink jet recording apparatus will be described here. 6. FIG. 6 is a perspective view of a carriage equipped with an inkjet head, and FIG. 7 is a schematic perspective view of an inkjet recording apparatus.

【０１０８】図示するように、色毎に設けられた複数の
インクジェットヘッド１０と、このインクジェットヘッ
ド１０が主走査方向に複数並設されて搭載されたキャリ
ッジ９２と、フレキシブルチューブからなるインク供給
管９１を介してインクを供給するインクカートリッジ９
３とを具備し、キャリッジ９２は、一対のガイドレール
１５２ａ、１５２ｂ上に軸方向に移動自在に搭載されて
いる。また、ガイドレール１５２ａ、１５２ｂの一端側
には駆動モータ１５３が設けられており、この駆動モー
タ１５３による駆動力が、当該駆動モータ１５３に連結
されたプーリ１５４ａと、ガイドレール１５２ａ、１５
２ｂの他端側に設けられたプーリ１５４ｂとの間に掛け
渡されたタイミングベルト１５５に沿って移動されるよ
うになっている。As shown in the figure, a plurality of ink jet heads 10 provided for each color, a plurality of carriages 92 in which the plurality of ink jet heads 10 are arranged side by side in the main scanning direction, and an ink supply pipe 91 composed of a flexible tube. Ink cartridge 9 for supplying ink via
The carriage 92 is mounted on the pair of guide rails 152a and 152b so as to be movable in the axial direction. Further, a drive motor 153 is provided on one end side of the guide rails 152a, 152b, and the driving force of the drive motor 153 causes the pulley 154a connected to the drive motor 153 and the guide rails 152a, 15b.
It is configured to be moved along a timing belt 155 that is hung between a pulley 154b provided on the other end side of 2b.

【０１０９】また、キャリッジ９２の搬送方向と直交す
る方向の両端部側には、ガイドレール１５２ａ、１５２
ｂに沿ってそれぞれ一対の搬送ローラ１５６、１５７が
設けられている。これらの搬送ローラ１５６、１５７
は、キャリッジ９２の下方に当該キャリッジ９２の搬送
方向とは直交する方向に被記録媒体Ｓを搬送するもので
ある。The guide rails 152a, 152 are provided on both end sides of the carriage 92 in the direction orthogonal to the carrying direction.
A pair of transport rollers 156 and 157 are provided along b. These transport rollers 156, 157
Is to convey the recording medium S below the carriage 92 in a direction orthogonal to the conveying direction of the carriage 92.

【０１１０】そして、これら搬送ローラ１５６、１５７
によって被記録媒体Ｓを送りつつキャリッジ９２をその
送り方向とは直交方向に走査することにより、インクジ
ェットヘッド１０によって被記録媒体Ｓ上に文字及び画
像等が記録される。Then, these conveying rollers 156, 157.
Characters, images and the like are recorded on the recording medium S by the inkjet head 10 by scanning the carriage 92 in a direction orthogonal to the feeding direction while feeding the recording medium S.

【０１１１】このキャリッジ９２の移動によりインクジ
ェットヘッド１０のヘッドチップ２０内のインクの圧力
が変動するが、インクジェットヘッド１０に負圧調整部
８０を設けることによって圧力調整を容易に行うことが
でき、良好なインクの吐出を実行することができる。Although the pressure of the ink in the head chip 20 of the ink jet head 10 fluctuates due to the movement of the carriage 92, the pressure adjustment can be easily performed by providing the negative pressure adjusting section 80 in the ink jet head 10, which is favorable. It is possible to perform various ink ejections.

【０１１２】なお、本実施形態のインクジェットヘッド
１０は、単色のインクを吐出するものであり、本実施形
態では、黒色（Ｂ）、イエロー（Ｙ）、マゼンダ
（Ｍ）、シアン（Ｃ）の４色に対応して４つ並設されて
キャリッジ９２に搭載されている。The ink jet head 10 of the present embodiment is for ejecting a single color ink, and in the present embodiment, four colors of black (B), yellow (Y), magenta (M) and cyan (C) are used. Four of them are installed in parallel according to the color and mounted on the carriage 92.

【０１１３】また、インクカートリッジ９３は、各イン
クジェットヘッド１０に対応して各色毎に４つ設けられ
ている。このようなインクカートリッジ９３は、キャリ
ッジ９２の主走査方向の移動や、被記録媒体Ｓの移動の
邪魔にならない位置で、且つインクジェットヘッド１０
内に負圧を与えるように、インクジェットヘッド１０の
ノズル開口よりも所定量低い位置に設けられている。Four ink cartridges 93 are provided for each color corresponding to each ink jet head 10. Such an ink cartridge 93 is at a position that does not interfere with the movement of the carriage 92 in the main scanning direction and the movement of the recording medium S, and at the same time, with the inkjet head 10.
It is provided at a position lower than the nozzle opening of the inkjet head 10 by a predetermined amount so as to apply a negative pressure therein.

【０１１４】このようなインクジェット式記録装置によ
って、被記録媒体Ｓを副走査方向に移動すると共にイン
クジェットヘッド１０を主走査方向に移動することによ
り、被記録媒体Ｓの全面に印刷を行うことができる。By moving the recording medium S in the sub-scanning direction and moving the inkjet head 10 in the main scanning direction by such an ink jet recording apparatus, printing can be performed on the entire surface of the recording medium S. .

【０１１５】なお、本実施形態では、４色型のインクジ
ェットヘッドを搭載したインクジェット式記録装置を例
示して説明したが、これに限定されず、５〜８色型のイ
ンクジェットヘッドを搭載したインクジェット式記録装
置であってもよい。In this embodiment, the ink jet type recording apparatus equipped with the four color type ink jet head has been described as an example. However, the present invention is not limited to this, and the ink jet type apparatus equipped with the five to eight color type ink jet heads. It may be a recording device.

【０１１６】[0116]

【発明の効果】以上説明したように、本発明のインクジ
ェットヘッドでは、接合体とノズル支持プレートとを弾
性接着剤を用いて接合することで、接合体とノズル支持
プレートとの熱による膨張及び収縮を弾性接着剤で緩衝
して接合体の変形を防止することができる。また、弾性
接着剤で接合された接合領域の外部に連通する隙間を弾
性接着剤よりも外部雰囲気中のガス成分及び湿度と低反
応性を有する保護層で封止するようにしたため、弾性接
着剤が外部雰囲気中のガス成分及び湿度と反応するのを
防止して弾性接着剤の膨潤あるいは収縮を防止すること
ができる。これにより、インクジェットヘッドを構成す
る各部材の変形及び位置ずれを防止して吐出特性及び吐
出安定性の悪化を防止することができる。As described above, in the ink jet head of the present invention, the bonded body and the nozzle support plate are bonded using the elastic adhesive, so that the bonded body and the nozzle support plate are expanded and contracted by heat. Can be buffered with an elastic adhesive to prevent deformation of the bonded body. In addition, since the gap communicating with the outside of the joining region joined by the elastic adhesive is sealed with the protective layer having a lower reactivity with the gas component and humidity in the external atmosphere than the elastic adhesive, the elastic adhesive Can be prevented from reacting with gas components and humidity in the external atmosphere, and swelling or shrinkage of the elastic adhesive can be prevented. As a result, it is possible to prevent the deformation and positional displacement of each member forming the inkjet head and prevent the deterioration of the ejection characteristics and ejection stability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明の実施形態１に係るインクジェットヘッ
ドの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of an inkjet head according to a first embodiment of the present invention.

【図２】本発明の実施形態１に係るインクジェットヘッ
ドの要部断面図及びノズルプレート側の平面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a main part of an inkjet head according to a first embodiment of the present invention and a plan view of a nozzle plate side.

【図３】本発明の実施形態１に係るヘッドチップの分解
斜視図及び斜視断面図である。FIG. 3 is an exploded perspective view and a perspective sectional view of the head chip according to the first embodiment of the invention.

【図４】本発明の試験例１に係る実施例１、比較例１及
び２のインクジェットヘッドの試験投入時間と弾性接着
剤の膨潤量を示すグラフである。FIG. 4 is a graph showing the test charging time and the swelling amount of the elastic adhesive of the inkjet heads of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2 according to Test Example 1 of the present invention.

【図５】本発明の試験例１に係る実施例１、比較例１及
び２のインクジェットヘッドの試験投入時間とノズルプ
レートの一方の幅広部に対向する領域の変形量を示すグ
ラフである。FIG. 5 is a graph showing a test injection time of the inkjet heads of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2 according to Test Example 1 of the present invention and a deformation amount of a region facing one wide portion of the nozzle plate.

【図６】本発明の一実施形態に係るキャリッジの斜視図
である。FIG. 6 is a perspective view of a carriage according to an exemplary embodiment of the present invention.

【図７】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記
録装置の概略斜視図である。FIG. 7 is a schematic perspective view of an ink jet recording apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図８】従来技術に係るヘッドチップの概要を示す斜視
図である。FIG. 8 is a perspective view showing an outline of a head chip according to a conventional technique.

【図９】従来技術に係るヘッドチップの概要を示す断面
図である。FIG. 9 is a cross-sectional view showing an outline of a head chip according to a conventional technique.

【図１０】従来技術に係るヘッドチップの概要を示す断
面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view showing an outline of a head chip according to a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０ インクジェットヘッド ２０ ヘッドチップ ２１ 圧電セラミックプレート ２２ 溝 ２３ 側壁 ２４ 電極 ２５ インク室プレート ２６ 共通インク室 ２８ ノズルプレート ２９ ノズル開口 ３１ ノズル支持プレート ４０ 流路基板 ５０ 配線基板 ６０ ベースプレート ８０ 負圧調整部 ９０ インク連通管 ９１ インク供給管 ９２ キャリッジ ９３ インクカートリッジ １００ 接合体 １０１ 接着剤 １０２ 弾性接着剤 １０３ 保護層 10 inkjet head 20 head chips 21 Piezoelectric ceramic plate 22 groove 23 Side wall 24 electrodes 25 ink chamber plate 26 common ink chamber 28 nozzle plate 29 nozzle opening 31 nozzle support plate 40 flow path substrate 50 wiring board 60 base plate 80 Negative pressure adjustment unit 90 Ink communication pipe 91 ink supply pipe 92 carriage 93 ink cartridge 100 zygote 101 adhesive 102 Elastic adhesive 103 protective layer

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 インクが充填される複数の溝が設けられ
て当該溝の側壁に電極が形成された圧電セラミックプレ
ートと、当該圧電セラミックプレートに接合されて前記
溝のそれぞれが連通する共通インク室が設けられたイン
ク室プレートと、前記圧電セラミックプレート及び前記
インク室プレートとからなる接合体の前記溝が開口する
端面に接合されて前記溝内に充填された前記インクを吐
出させるノズル開口が設けられたノズルプレートと、前
記接合体の前記ノズルプレート側の外周に設けられたノ
ズル支持プレートとを具備するインクジェットヘッドに
おいて、 前記接合体と前記ノズル支持プレートとが若干の弾性変
形を許容する弾性接着剤で接合され、前記弾性接着剤で
接合された接合領域から外部まで連通する当該ノズル支
持プレートと当接する他の部材との隙間の少なくとも外
部側が前記弾性接着剤よりも外部雰囲気中のガス成分及
び湿度と低反応性を有する保護層により封止されている
ことを特徴とするインクジェットヘッド。1. A piezoelectric ceramic plate provided with a plurality of grooves filled with ink and having electrodes formed on sidewalls of the grooves, and a common ink chamber joined to the piezoelectric ceramic plate and communicating with each of the grooves. And a nozzle opening for ejecting the ink filled in the groove, which is joined to an end face of the joint of the piezoelectric ceramic plate and the ink chamber plate where the groove is opened. An ink jet head having a nozzle plate provided on the nozzle plate side outer periphery of the bonded body, wherein the bonded body and the nozzle support plate are elastically bonded to allow a slight elastic deformation. Of the nozzle supporting plate that is joined with an agent and communicates from the joining region joined with the elastic adhesive to the outside. Ink jet head, characterized in that is sealed with a protective layer at least the outer side of the gap between the other members of abutment having a gas component and a humidity and low reactivity in ambient atmosphere than the elastic adhesive. 【請求項２】 請求項１において、前記他の部材が、前
記接合体の前記圧電セラミックプレート側に接合されて
当該接合体を保持するベースプレートと、前記接合体の
前記インク室プレート側に接合されて前記共通インク室
にインクを供給する流路基板とからなることを特徴とす
るインクジェットヘッド。2. The base member according to claim 1, wherein the other member is joined to the piezoelectric ceramic plate side of the joined body and holds the joined body, and is joined to the ink chamber plate side of the joined body. And a flow path substrate for supplying ink to the common ink chamber. 【請求項３】 請求項２において、前記保護層が前記ノ
ズル支持プレートと前記ベースプレートとの隙間及び前
記ノズル支持プレートと前記流路基板との隙間の外周面
の全面に亘って設けられていることを特徴とするインク
ジェットヘッド。3. The protective layer according to claim 2, wherein the protective layer is provided over the entire outer peripheral surface of the gap between the nozzle support plate and the base plate and the gap between the nozzle support plate and the flow path substrate. Inkjet head characterized by. 【請求項４】 請求項１〜３の何れかにおいて、前記接
合体と前記他の部材とも前記弾性接着剤を介して接合さ
れていることを特徴とするインクジェットヘッド。4. The ink jet head according to claim 1, wherein the bonded body and the other member are also bonded via the elastic adhesive. 【請求項５】 請求項１〜４の何れかにおいて、前記弾
性接着剤が常温及び常湿で硬化されたものであることを
特徴とするインクジェットヘッド。5. The inkjet head according to claim 1, wherein the elastic adhesive is cured at normal temperature and normal humidity. 【請求項６】 請求項１〜５の何れかにおいて、前記保
護層が常温及び常湿で硬化されたものであることを特徴
とするインクジェットヘッド。6. The inkjet head according to claim 1, wherein the protective layer is cured at room temperature and normal humidity. 【請求項７】 請求項５又は６において、前記常温が、
２５±５℃の温度であり、前記常湿が６０±１０％ＲＨ
の湿度であることを特徴とするインクジェットヘッド。7. The room temperature according to claim 5 or 6,
The temperature is 25 ± 5 ° C., and the normal humidity is 60 ± 10% RH.
Inkjet head characterized by the humidity of. 【請求項８】 請求項１〜７の何れかにおいて、前記弾
性接着剤及び前記保護層が、硬化剤の配合量の異なる同
一成分で構成されていることを特徴とするインクジェッ
トヘッド。8. The ink jet head according to claim 1, wherein the elastic adhesive and the protective layer are composed of the same component having a different compounding amount of a curing agent. 【請求項９】 請求項１〜８の何れかにおいて、前記保
護層が複数層で構成されていることを特徴とするインク
ジェットヘッド。9. The inkjet head according to claim 1, wherein the protective layer is composed of a plurality of layers.