JP3950009B2 - Ink jet head and method of manufacturing ink jet head - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、プリンタ、ファックスなどに適用されるインクジェットヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、インクを吐出する複数のノズル開口を有するインクジェットヘッドを用いて被記録媒体に文字や画像を記録するインクジェット式記録装置が知られている。かかるインクジェット式記録装置では、インクジェットヘッドのノズルが被記録媒体に対向するようにヘッドホルダに設けられ、このヘッドホルダはキャリッジに搭載され被記録媒体の搬送方向とは直交する方向に走査されるようになっている。
【0003】
このようなインクジェットヘッドのヘッドチップの一例の分解概略を図8に、また、要部断面図を図9に示す。
【0004】
図8及び図9に示すように、圧電セラミックプレート161には、複数の溝162が並設され、各溝162は、側壁163で分離されている。各溝162の長手方向一端部は圧電セラミックプレート161の一端面まで延設されており、他端部は、他端面までは延びておらず、深さが徐々に浅くなっている。また、各溝162内の両側壁163の開口側表面には、長手方向に亘って、駆動電圧印加用の電極165が形成されている。
【0005】
このような圧電セラミックプレート161の溝162の開口側には、インク室プレート167が接着剤169を介して接合されている。インク室プレート167には、各溝162の浅くなった他端部と連通する凹部となる共通インク室171と、この共通インク室171の底部から溝162とは反対方向に貫通するインク供給口172とを有する。
【0006】
また、圧電セラミックプレート161とインク室プレート167との接合体の溝162が開口している端面には、ノズルプレート175が接合されており、ノズルプレート175の各溝162に対向する位置にはノズル開口177が形成されている。
【0007】
なお、ヘッドチップは、圧電セラミックプレート161及びインク室プレート167からなる接合体の外周に、ノズルプレート175を支持するノズル支持プレート(図示しない)を接合することによって組立てられている。
【0008】
さらに、圧電セラミックプレート161のノズルプレート175とは反対側でインク室プレート167とは反対側の面には、配線基板180が固着されている。配線基板180には、各電極165とボンディングワイヤ181等やフレキシブル基板で接続された配線パターン182が形成され、この配線パターン182を介して電極165に駆動電圧を印加できるようになっている。
【0009】
このようなヘッドチップを具備する従来のインクジェットヘッドは、図示しないが、例えば、インク室プレート167のインク供給口172にインクを供給する流路基板を接合した後に、接合体の圧電セラミックプレート161側にヘッドチップ及び配線基板180を保持するベースプレート等を接合することによって製造されている。
【0010】
なお、このようなインクジェットヘッドでは、インク供給口172から各溝162内にインクを充填し、所定の溝162の両側の側壁163に電極165を介して所定の駆動電界を作用させると、側壁163が変形して所定の溝162内の容積が変化し、これにより、溝162内のインクがノズル開口177から吐出する。
【0011】
例えば、図10に示すように、溝162aに対応するノズル開口177からインクを吐出する場合には、その溝162a内の電極165a,165bに正の駆動電圧を印加すると共にそれぞれに対向する電極165c,165dを接地するようにする。これにより、側壁163a,163bには溝162aに向かう方向の駆動電界が作用し、これが圧電セラミックプレート161の分極方向と直交すれば、圧電厚みすべり効果により側壁163a,163bが溝162a方向に変形し、溝162a内の容積が減少して圧力が増加し、ノズル開口177からインクが吐出する。
【0012】
このようなヘッドチップは、圧電セラミックプレート側にベースプレートが接合され、インク室プレート側に共通インク室にインクを供給する流路基板が接合されることによりインクジェットヘッドが形成されている。
【0013】
このようなインクジェットヘッドでは、ヘッドチップと他の部材とを、高硬度の接着剤を用いて接合すると、高硬度の接着剤によってヘッドチップの側壁の変形の妨げとなってしまい、吐出特性の低下や不安定化が生じてしまう。
【0014】
また、ヘッドチップと他の部材とを、加熱硬化型の接着剤を用いて高温で硬化させ固着すると、圧電セラミックプレートと他の部材との線膨張係数が違うため、常温に戻した状態では、線膨張係数の違いによって生じた長さ変位によって圧電セラミックプレートが変形及び破壊されてしまう。
【0015】
このため、ヘッドチップと他の部材との接合に、弾性接着剤を用いて、弾性接着剤が硬化するまで常温、例えば、25±5℃で治具等により固定することで位置ずれが生じないように固着していた。
【0016】
このようにヘッドチップと他の部材とを弾性接着剤を用いて常温で硬化させて固着することで、部材加工時の残留応力や、外気温度や発生熱による両部材間の膨張差及び収縮差等を弾性接着剤の弾性により緩衝させ、ヘッドチップの変形及び破壊を防止して、吐出特性及び吐出安定性を向上することができる。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ヘッドチップと他の部材とを弾性接着剤を用いて常温で硬化させて接合すると、弾性接着剤の架橋が100%完全に進行しなかったり、ガラス転位点が低いなどから、不安定な状態となってしまい、インクジェットヘッドを組み立てた後に外部雰囲気中のガス成分及び湿度と反応して弾性接着剤が膨潤あるいは収縮してヘッドチップの変形及び破壊が生じてしまうという問題がある。
【0018】
このように弾性接着剤が膨潤あるいは収縮すると、特にヘッドチップの外周面のノズルプレート側に接合されるノズル支持プレートと圧電セラミックプレートとの接合領域の弾性接着剤によって、ノズルプレートのノズル開口近傍にこぶ状突起が生じたり、ノズルプレートのノズル開口近傍が凹状に変形したりしてしまう。このようなインクジェットヘッドでは、ノズルプレートのノズル開口近傍のインクやゴミ等を除去するためにゴム等の部材でワイプを行うことでクリーニング動作を行うが、大きな突起や凹みが生じてしまうと正常なクリーニングが実施できないという問題がある。
【0019】
なお、ノズルプレートのノズル開口近傍をワイプ可能な突起及び凹み量は、通常、25μm以下である。
【0020】
また、インクジェットヘッドを構成する各部材を接合する弾性接着剤が膨潤あるいは収縮してしまうと、各部材の位置ずれが生じたり、応力集中が発生し、吐出特性及び吐出安定性が悪化してしまうという問題がある。
【0021】
本発明は、このような事情に鑑み、ヘッドチップの変形及び破壊を確実に防止すると共に吐出特性及び吐出安定性を向上したインクジェットヘッドを提供することを課題とする。
【0022】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の第1の態様は、インクが充填される複数の溝が設けられて当該溝の側壁に電極が形成された圧電セラミックプレートと、当該圧電セラミックプレートに接合されて前記溝のそれぞれが連通する共通インク室が設けられたインク室プレートと、前記圧電セラミックプレート及び前記インク室プレートとからなる接合体の前記溝が開口する端面に接合されて前記溝内に充填された前記インクを吐出させるノズル開口が設けられたノズルプレートと、前記接合体の前記ノズルプレート側の外周に設けられたノズル支持プレートとを具備するインクジェットヘッドにおいて、前記接合体と前記ノズル支持プレートとが若干の弾性変形を許容する弾性接着剤で接合され、前記弾性接着剤で接合された接合領域から外部まで連通する当該ノズル支持プレートと当接する他の部材との隙間の少なくとも外部側が前記弾性接着剤よりも外部雰囲気中のガス成分及び湿度と低反応性を有する保護層により封止されていることを特徴とするインクジェットヘッドにある。
【0023】
本発明の第2の態様は、第1の態様において、前記他の部材が、前記接合体の前記圧電セラミックプレート側に接合されて当該接合体を保持するベースプレートと、前記接合体の前記インク室プレート側に接合されて前記共通インク室にインクを供給する流路基板とからなることを特徴とするインクジェットヘッドにある。
【0024】
本発明の第3の態様は、第2の態様において、前記保護層が前記ノズル支持プレートと前記ベースプレートとの隙間及び前記ノズル支持プレートと前記流路基板との隙間の外周面の全面に亘って設けられていることを特徴とするインクジェットヘッドにある。
【0025】
本発明の第4の態様は、第1〜3の何れかの態様において、前記接合体と前記他の部材とも前記弾性接着剤を介して接合されていることを特徴とするインクジェットヘッドにある。
【0026】
本発明の第5の態様は、第1〜4の何れかの態様において、前記弾性接着剤が常温及び常湿で硬化されたものであることを特徴とするインクジェットヘッドにある。
【0027】
本発明の第6の態様は、第1〜5の何れかの態様において、前記保護層が常温及び常湿で硬化されたものであることを特徴とするインクジェットヘッドにある。
【0028】
本発明の第7の態様は、第5又は6の態様において、前記常温が、25±5℃の温度であり、前記常湿が60±10%RHの湿度であることを特徴とするインクジェットヘッドにある。
【0029】
本発明の第8の態様は、第1〜7の何れかの態様において、前記弾性接着剤及び前記保護層が、硬化剤の配合量の異なる同一成分で構成されていることを特徴とするインクジェットヘッドにある。
【0030】
本発明の第9の態様は、第1〜8の何れかの態様において、前記保護層が複数層で構成されていることを特徴とするインクジェットヘッドにある。
【0031】
かかる本発明では、インクジェットヘッドと他の部材とを弾性接着剤を用いて接合し、弾性接着剤で接合された接合領域がノズル支持プレートの当接する他の部材との隙間の少なくとも外部側を弾性接着剤よりも外部雰囲気下のガス及び湿度と低反応性の保護層で封止するようにしたため、弾性接着剤が外部雰囲気中のガス及び湿度と反応するのを防止して弾性接着剤の膨潤あるいは収縮を防止することができる。これにより、接合体及び接合体に接合された他の部材の変形を防止することができる。
【0032】
【発明の実施の形態】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
【0033】
(実施形態1)
図1は、実施形態1に係るインクジェットヘッドの斜視図であり、図2は、インクジェットヘッドの要部断面図及びノズルプレート側の平面図であり、図3は、ヘッドチップの分解斜視図及び斜視断面図である。
【0034】
図示するように、本実施形態のインクジェットヘッド10は、ヘッドチップ20と、この一方面側に設けられる流路基板40と、ヘッドチップ20を駆動するための駆動回路等が搭載された配線基板50とを有し、これらの各部材は、それぞれベースプレート60に固定されている。
【0035】
ヘッドチップ20を構成する圧電セラミックプレート21には、ノズル開口29に連通する複数の溝22が並設され、各溝22は、側壁23で隔離されている。各溝22の長手方向の一端部は圧電セラミックプレート21の一端面まで延設されており、他端部は、他端面まで延びておらず、深さが徐々に浅くなっている。また、各溝22の幅方向両側の側壁23には、溝22の開口側に長手方向に亘って駆動電圧印加用の電極24が形成されている。
【0036】
なお、圧電セラミックプレート21に形成される各溝22は、例えば、円盤状のダイスカッターにより形成され、深さが徐々に浅くなった部分は、ダイスカッターの形状により形成されてしまう。また、各溝22内に形成される電極24は、例えば、公知の斜め方向からの蒸着により形成される。
【0037】
このような溝22の両側の側壁23の開口側に設けられた電極24には、フレキシブルプリントケーブル(FPC)等の外部配線51の一端が接合され、外部配線51の他端側は、配線基板50上の図示しない駆動回路に接合されることで、電極24は駆動回路に電気的に接続されている。
【0038】
このような圧電セラミックプレート21の溝22の開口側には、インク室プレート25が接合されている。このインク室プレート25には、各溝22のそれぞれに共通なインク室となる共通インク室26と、この共通インク室26に連通して各溝22内にインクを供給するインク供給口26aとが設けられている。
【0039】
このような圧電セラミックプレート21とインク室プレート25とで接合体100が構成されている。
【0040】
なお、インク室プレート25は、圧電セラミックプレート21との接合後の熱膨張や収縮による変形を防止するため、圧電セラミックプレート21と同等の線膨張係数の部材を用いるのが好ましい。本実施形態では、インク室プレート25にセラミックプレートを用いた。
【0041】
また、圧電セラミックプレート21とインク室プレート25との接合体100の溝22が開口している端面には、ノズルプレート28が接合されており、ノズルプレート28の各溝22に対向する位置にはノズル開口29が形成されている。
【0042】
本実施形態では、ノズルプレート28は、圧電セラミックプレート21とインク室プレート25との接合体の溝22が開口している端面の面積よりも大きくなっている。このノズルプレート28は、ポリイミドフィルムなどに、例えば、エキシマレーザ装置を用いてノズル開口29を形成したものである。
【0043】
また、図示しないが、ノズルプレート28の被印刷物に対向する面には、インクの付着等を防止するための撥水性を有する撥水膜が設けられている。
【0044】
ここで、ノズルプレート28と接合体100との接合に用いられる接着剤101は、本実施形態では、例えば、エポキシ樹脂等の熱硬化型接着剤を挙げることができる。
【0045】
本実施形態では、接着剤101としてショア硬度Dが87度の353ND(エポキシテクノロジー社製)を用いた。
【0046】
さらに、接合体100の各溝22が開口している端面側の外周面には、接合体100が係合する係合孔30が設けられたノズル支持プレート31が接合されている。このノズル支持プレート31の係合孔30には、一方側の開口が漸大するテーパ部30aが設けられている。このようなノズル支持プレート31を形成する部材としては、本実施形態では、アルミニウム(Al)を用いた。
【0047】
また、ノズル支持プレート31の一方面は、ノズルプレート28の接合体100の端面の外側面に嵌合接着される。このため、ノズル支持プレート31は、ノズルプレート28を支持している。
【0048】
これにより、圧電セラミックプレート21、インク室プレート25、ノズルプレート28及びノズル支持プレート31からなるヘッドチップ20が組立てられる。
【0049】
なお、本実施形態では、ノズル支持プレート31にテーパ部30aを設けることにより、詳しくは後述するが、テーパ部30a内が若干の弾性変形を許容する弾性接着剤102で埋められて、接合体100とノズル支持プレート31及びノズル支持プレート31とノズルプレート28とが接合されている。
【0050】
また、ノズル支持プレート31に設けられた係合孔30には、図2(b)に示すように、その角部に接合体100及びノズルプレート28との接合時の余分な弾性接着剤102が充填されるように接合体100の厚さ方向に幅が広くなった幅広部30bが設けられている。
【0051】
ここで、例えば、圧電セラミックプレート21にチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を用いた場合には、PZTの線膨張係数は4〜9×10−6/℃であるが、ノズル支持プレート31は、線膨張係数が24×10×−6/℃のアルミニウム(Al)で形成されているため、線膨張係数の違いから熱による膨張や収縮によって圧電セラミックプレート21及びインク室プレート28からなる接合体100が変形してしまう。例えば、60〜70℃の条件下では、接合体100が撓み方向に30〜70μm程度変形してしまう。
【0052】
このため、接合体100とノズル支持プレート31とを若干の弾性変形を許容する弾性接着剤102を用いて接合した。
【0053】
この弾性接着剤102によれば、熱膨張及び収縮の違いを弾性接着剤102によって緩衝して、両者の熱による変形を防止することができる。
【0054】
なお、弾性接着剤102としては、例えば、エポキシ系接着剤とポリアミドを主成分とする硬化剤とを配合した接着剤を挙げることができる。また、エポキシ系樹脂及びポリアミドを主成分とする硬化剤からなる弾性接着剤102は、常温及び常湿、例えば、25±5℃の温度で60±10%RHの湿度の雰囲気下で硬化させることにより、弾性力を与えることができる。
【0055】
このような弾性接着剤102を用いて接合体100とノズル支持プレート31とを接合することにより、圧電セラミックプレート21の変形が原因で、例えば、圧電セラミックプレート21の割れや、ノズル開口29と溝22との位置のずれ等の不具合が発生することを確実に防止することができる。
【0056】
また、このようなヘッドチップ20のインク室プレート25の一方面には、図2に示すような流路基板40が接合され、共通インク室26の一方面は、この流路基板40によって封止されている。
【0057】
具体的には、この流路基板40は、例えば、Oリング等を介してインク室プレート25の一方面に当接され、図示しないねじ部材等によってベースプレート60に固定されている。
【0058】
このような流路基板40を形成する部材としては、圧電セラミックプレート21の線膨張係数に近似した材料であることが好ましい。これは、接合体100及びインク室プレート25の変形を抑えるためであり、本実施形態では、流路基板40を形成する部材としてポリフェニレンスルフィド(PPS)を用いた。
【0059】
この流路形成基板40も、接合体100のインク室プレート25と上述した弾性接着剤102を介して接合することで、接合体100の変形をより確実に防止することができる。
【0060】
一方、圧電セラミックプレート21のインク室プレート25が接合された側とは反対側の面には、ヘッドチップ20を保持するベースプレート60が接合されている。
【0061】
このベースプレート60の圧電セラミックプレート21が接合される面には、上述した配線基板50の圧電セラミックプレート21に接合された側とは反対側の端部が接合されている。
【0062】
なお、ベースプレート60を形成する部材としては、本実施形態では、アルミニウム(Al)を用いた。
【0063】
また、このようなベースプレート60は、ノズル支持プレート31と同様にアルミニウムで形成されているため、ベースプレート60と接合体100の圧電セラミックプレート21とは上述した弾性接着剤102を介して接合されている。
【0064】
これにより、熱による膨張及び収縮量を弾性接着剤102で緩衝して接合体100の変形を確実に防止することができる。
【0065】
また、流路基板40の上面には、ステンレス管等で形成されたインク連通管90が接続される連結部41が形成されている。この連結部41に一端が接続されたインク連通管90の他端側には、インクカートリッジ等のインクタンクにインク供給管91を介して接続されて所定量のインクを一時的に貯留する負圧調整部80が設けられている。
【0066】
この負圧調整部80は、ヘッドチップ20の共通インク室26及び溝22内のインクの圧力調整を行うものである。詳しくは、インクジェットヘッド10が主走査方向に移動した際に、ヘッドチップ20内の圧力が変化し、ノズル開口29にインクの表面張力によって形成されたメニスカスが破壊されてしまう虞があり、このヘッドチップ20内の圧力変化を負圧調整部80によって調整することで、安定したメニスカスを保持してインクを吐出できるようにするものである。また、負圧調整部80は、その内部に所定量のインクを貯留することで、インク供給管91内の気泡がヘッドチップ20に混入するのを防止する気泡貯留にも寄与している。
【0067】
このように構成されるインクジェットヘッド10の接合体100とノズル支持プレート31とを接合する弾性接着剤102が設けられた接合領域から外部まで連通するノズル支持プレート31と当接する他の部材との隙間の少なくとも外周面が弾性接着剤102よりも外部雰囲気中のガス成分及び湿度と低反応性を有する保護層103によって封止されている。
【0068】
本実施形態では、ノズル支持プレート31と当接する他の部材が、流路基板40とベースプレート60とであるため、ノズル支持プレート31と流路基板40との隙間の外周面及びノズル支持プレート31とベースプレート60との隙間の外周面の全面に亘って保護層103が設けられている。
【0069】
この保護層103は、弾性接着剤102よりも外部雰囲気中のガス成分及び湿度と低反応性を有する材料であれば特に限定されず、例えば、高硬度で且つ低吸水率のエポキシ系接着剤等を挙げることができる。
【0070】
このように、ノズル支持プレート31に当接する他の部材である流路基板40及びベースプレート60との隙間の外周面を弾性接着剤102よりも外部雰囲気中のガス成分及び湿度と低反応性を有する保護層103で封止するようにしたため、弾性接着剤102を常温で硬化させることで架橋が100%完全に進行しなかったり、ガラス転位点が低いなどの不安定な状態となっても、保護層103によって外部雰囲気から封止されるため、弾性接着剤102が外部雰囲気中のガス成分及び湿度と反応することがなく、弾性接着剤102の膨潤あるいは収縮などによる接合体100の変形及び破壊や位置ずれ等を確実に防止することができる。
【0071】
また、接合体100とノズル支持プレート31との接合に若干の弾性変形を許容する弾性接着剤102を用いることにより、接合体100と接合体100に接合される他の部材との線膨張係数が違っても、接合体100の変形を弾性接着剤102で緩衝することができ、変形を防止すると共に位置ずれ等を防止して吐出特性及び吐出安定性が悪化するのを防止することができる。
【0072】
(実施例1)
上述した実施形態1のインクジェットヘッド10に弾性接着剤102として、ECCOBOND45LV(エマーソンアンドカミング社製)からなるエポキシ系樹脂と、主成分がポリアミドのCATALYST15LV(エマーソンアンドカミング社製)からなる硬化剤とを重量比が1対1となるように配合したものを用いた。
【0073】
また、保護層103としては、ECCOBOND45LVからなるエポキシ系樹脂と、CATALYST15LVからなる硬化剤とを重量比が2対1となるように配合したものを用いた。
【0074】
このような弾性接着剤102及び保護層103の特性を下記表1に示す。
【0075】
【表1】
ここで、インクジェットヘッド10の製造方法としては、まず、上述したように353NDからなる接着剤101を用いて接合体100とノズルプレート28とを加熱硬化させて接合する。
【0076】
次いで、常温及び常湿の環境下、本実施形態では、25±5℃の温度で60±10%RHの湿度の雰囲気下で、接合体100とノズル支持プレート31とを弾性接着剤102を用いて15〜16時間乾燥させて接合する。
【0077】
次いで、同様の常温及び常湿の環境下で、接合体100と流路基板40及びベースプレート60とを弾性接着剤102を用いて15〜16時間乾燥させて接合する。
【0078】
その後、同様の常温及び常湿の環境下で、ノズル支持プレート31とノズル支持プレート31に当接する他の部材である流路基板40とベースプレート60との隙間の外周面に保護層103を塗布し、15〜16時間乾燥させて保護層103を形成することにより、実施例1のインクジェットヘッド10を形成した。
【0079】
(比較例1)
比較のため、保護層103を設けずに、実施例1と同様の弾性接着剤102を用いて接合したものを比較例1のインクジェットヘッドとした。
【0080】
なお、比較例1のインクジェットヘッドも、上述した実施例1と同様の条件で形成した。
【0081】
(比較例2)
比較のため、実施形態1と同様の弾性接着剤102を用いて接合したインクジェットヘッドに、保護層が形成される領域に弾性接着剤102からなる封止層を設け、この封止層によってノズル支持プレート31と流路基板40及びベースプレート60とが当接する隙間の外周面を封止したものを比較例2のインクジェットヘッドとした。
【0082】
なお、比較例2のインクジェットヘッドも、上述した実施例1と同様の条件で形成し、封止層も、上述した実施例1の保護層103と同様の条件で形成した。
【0083】
(試験例1)
上述した実施例1、比較例1及び2のインクジェットヘッドを35℃の温度で95%の湿度の雰囲気下で放置し、80〜100倍の加速係数、本試験例では、90倍となるような加速係数で一方の幅広部30bの弾性接着剤102の膨潤量と、この幅広部30bに対向するノズルプレート28の変形量とを測定した。
【0084】
この結果を図4及び図5に示す。なお、図4は、実施例1、比較例1及び2のインクジェットヘッドの試験投入時間と弾性接着剤の膨潤量を示すグラフであり、図5は、実施例1、比較例1及び2のインクジェットヘッドの試験投入時間とノズルプレートの一方の幅広部に対向する領域の変形量を示すグラフである。
【0085】
ここで、上述したインクジェットヘッド10では、ノズル支持プレート31に幅広部30bが設けられているため、テーパ部30aに比べて幅広部30bに弾性接着剤102が多く充填されている。
【0086】
このため、弾性接着剤102の膨潤あるいは収縮によるノズルプレート28の変形は、テーパ部30aに比べて幅広部30bの方が大きくなるため、本試験例では、一方の幅広部30b内の弾性接着剤102の膨潤量あるいは収縮量、及びこの幅広部30bに対向するノズルプレート28の変形量のみを測定結果として例示した。
【0087】
図4に示すように、低反応性の高硬度の保護層103を用いた実施例1のインクジェットヘッド10では、比較例1及び比較例2のインクジェットヘッドに比べて外部雰囲気中の湿度を吸収せず、膨潤量が小さいことが分かる。
【0088】
また、図5に示すように、実施例1のインクジェットヘッド10では、約320時間、すなわち、本試験例では、加速度が90倍のため、常温及び常湿下(22〜23℃、60%)では、約1200日(約40ヶ月)経過しても、弾性接着剤102は最大で17μm膨潤するに留まり、インクジェットヘッド10を問題なく使用することができる。
【0089】
一方、図5に示すように、比較例1のインクジェットヘッドでは、試験投入時間が120時間、すなわち、常温及び常湿下では、約450日(約15ヶ月)経過する前に接合体からノズルプレートが剥がれてしまった。
【0090】
また、図5に示すように、比較例2のインクジェットヘッドでは、約240時間、すなわち、常温及び常湿下では、約900日(約30ヶ月)経過すると、弾性接着剤102が最大で約49μm膨潤してしまい、ノズルプレートの弾性接着剤102に対向する領域を大きく突出させてしまった。
【0091】
このようにノズルプレートのノズル開口近傍の領域を大きく突出させると、ノズルプレートのノズル開口近傍をワイプなどによってクリーニングする際に、ノズル開口近傍をワイプできず、インクやゴミなどを除去することができなくなってしまう。
【0092】
また、弾性接着剤が膨張及び収縮により大きく変形すると、接合体及び接合体に接続された他の部材などの各部材の位置がずれてしまい、吐出特性及び吐出安定性が悪化してしまう。
【0093】
このような試験例1の結果から、実施例1のように接合体100とノズル支持プレート31とを若干の弾性変形を許容する弾性接着剤102を用いて接合し、弾性接着剤102による接合領域から外部に連通する隙間の少なくとも外部側に弾性接着剤102よりも外部雰囲気中のガス成分及び湿度と低反応性を有する保護層103で封止することにより、弾性接着剤102の外部雰囲気中のガス成分及び湿度との反応を防止して弾性接着剤102の膨潤あるいは収縮を防止することができる。
【0094】
これにより、接合体100及び接合体100に接合された他の部材の変形を防止すると共に各部材の位置ずれを防止して吐出特性及び吐出安定性の悪化を防止することができる。
【0095】
なお、接合体100とノズル支持プレート31とを上述した実施例1の保護層103と同様の外部雰囲気中のガス成分及び湿度と低反応性の接着剤を用いて接合すると、接着剤の湿度による膨潤あるいは収縮は抑えられるものの、接合体100とノズル支持プレート31との線膨張係数が違うため、熱による両部材間の膨張差あるいは収縮差を接着剤で緩衝することができず、接合体100及び接合体100に接合された他の部材が変形及び破壊されてしまう。
【0096】
このため、接合体100に接合される他の部材で線膨張係数が違うものを接合する際には、上述した弾性変形を許容する弾性接着剤102を用いる必要がある。
【0097】
(他の実施形態)
以上、実施形態1について説明したが、本発明のインクジェットヘッドの構成は上述したものに限定されるものではない。
【0098】
例えば、上述した実施形態1では、保護層103を一層設けるようにしたが、これに限定されず、例えば、複数層の保護層としてもよい。
【0099】
このように複数層の保護層とすることで、弾性接着剤102の外部雰囲気中のガス成分及び湿度との反応を確実に防止して、より信頼性の高いインクジェットヘッドとすることができる。
【0100】
また、上述した実施例1では、エポキシ系樹脂とポリアミドを主成分とする硬化剤との配合比を変えることにより弾性接着剤102と保護層103とを形成したが、これに限定されず、例えば、弾性接着剤と保護層とを異なる成分で形成するようにしてもよい。
【0101】
さらに、上述した実施形態1では、圧電セラミックプレート21の材料としてPZTを例示したが、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛ランタン(PLZT)を用いてもよく、特に限定されるものではない。このような圧電セラミックプレート21の材料の違いによって、所望の弾性変形量の弾性接着剤を適宜選択すればよい。
【0102】
また、上述した実施形態1では、ノズル支持プレート31及びベースプレート60をアルミニウムで形成し、流路基板40をPPSで形成したが、これに限定されず、ノズル支持プレート31、ベースプレート60及び流路基板40を圧電セラミックプレート21の線膨張係数と略同等の部材、例えば、PPS、LCP(液晶ポリマー)、アルミナ、PZT、PLZT等を用いて形成するようにしてもよい。
【0103】
さらに、上述した実施形態1では、インク室プレート25をセラミックプレート21で形成したが、これに限定されず、インク室プレート25を、例えば、圧電セラミックプレート21の線膨張係数と略同等の部材であるアルミナで形成してもよい。
【0104】
このように接合体100に接合される他の部材に圧電セラミックプレート21と線膨張係数の略同等の部材を用いたとしても、弾性接着剤102を介して接合することにより、圧電セラミックプレート21の変形及び破壊を確実に防止することができる。
【0105】
また、上述した実施形態1では、保護層103をノズル支持プレート31と当接する他の部材である流路基板40及びベースプレート60との隙間の外周面に亘って設けるようにしたが、保護層103によって弾性接着剤102を外部雰囲気から封止することができれば、これに限定されず、例えば、隙間の全領域に保護層を設けるようにしてもよい。このような場合、ノズル支持プレート31と、これに当接する他の部材との線膨張係数が略同等でないと、ノズル支持プレート31及び他の部材が熱膨張及び収縮する虞がある。
【0106】
さらに、上述したインクジェットヘッド10は、インクジェット式記録装置に設置されて被記録媒体に印刷を行うことができる。
【0107】
ここでインクジェット式記録装置について説明する。なお、図6は、インクジェットヘッドを搭載したキャリッジの斜視図であり、図7は、インクジェット式記録装置の概略斜視図である。
【0108】
図示するように、色毎に設けられた複数のインクジェットヘッド10と、このインクジェットヘッド10が主走査方向に複数並設されて搭載されたキャリッジ92と、フレキシブルチューブからなるインク供給管91を介してインクを供給するインクカートリッジ93とを具備し、キャリッジ92は、一対のガイドレール152a、152b上に軸方向に移動自在に搭載されている。また、ガイドレール152a、152bの一端側には駆動モータ153が設けられており、この駆動モータ153による駆動力が、当該駆動モータ153に連結されたプーリ154aと、ガイドレール152a、152bの他端側に設けられたプーリ154bとの間に掛け渡されたタイミングベルト155に沿って移動されるようになっている。
【0109】
また、キャリッジ92の搬送方向と直交する方向の両端部側には、ガイドレール152a、152bに沿ってそれぞれ一対の搬送ローラ156、157が設けられている。これらの搬送ローラ156、157は、キャリッジ92の下方に当該キャリッジ92の搬送方向とは直交する方向に被記録媒体Sを搬送するものである。
【0110】
そして、これら搬送ローラ156、157によって被記録媒体Sを送りつつキャリッジ92をその送り方向とは直交方向に走査することにより、インクジェットヘッド10によって被記録媒体S上に文字及び画像等が記録される。
【0111】
このキャリッジ92の移動によりインクジェットヘッド10のヘッドチップ20内のインクの圧力が変動するが、インクジェットヘッド10に負圧調整部80を設けることによって圧力調整を容易に行うことができ、良好なインクの吐出を実行することができる。
【0112】
なお、本実施形態のインクジェットヘッド10は、単色のインクを吐出するものであり、本実施形態では、黒色(B)、イエロー(Y)、マゼンダ(M)、シアン(C)の4色に対応して4つ並設されてキャリッジ92に搭載されている。
【0113】
また、インクカートリッジ93は、各インクジェットヘッド10に対応して各色毎に4つ設けられている。このようなインクカートリッジ93は、キャリッジ92の主走査方向の移動や、被記録媒体Sの移動の邪魔にならない位置で、且つインクジェットヘッド10内に負圧を与えるように、インクジェットヘッド10のノズル開口よりも所定量低い位置に設けられている。
【0114】
このようなインクジェット式記録装置によって、被記録媒体Sを副走査方向に移動すると共にインクジェットヘッド10を主走査方向に移動することにより、被記録媒体Sの全面に印刷を行うことができる。
【0115】
なお、本実施形態では、4色型のインクジェットヘッドを搭載したインクジェット式記録装置を例示して説明したが、これに限定されず、5〜8色型のインクジェットヘッドを搭載したインクジェット式記録装置であってもよい。
【0116】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のインクジェットヘッドでは、接合体とノズル支持プレートとを弾性接着剤を用いて接合することで、接合体とノズル支持プレートとの熱による膨張及び収縮を弾性接着剤で緩衝して接合体の変形を防止することができる。また、弾性接着剤で接合された接合領域の外部に連通する隙間を弾性接着剤よりも外部雰囲気中のガス成分及び湿度と低反応性を有する保護層で封止するようにしたため、弾性接着剤が外部雰囲気中のガス成分及び湿度と反応するのを防止して弾性接着剤の膨潤あるいは収縮を防止することができる。これにより、インクジェットヘッドを構成する各部材の変形及び位置ずれを防止して吐出特性及び吐出安定性の悪化を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1に係るインクジェットヘッドの斜視図である。
【図2】本発明の実施形態1に係るインクジェットヘッドの要部断面図及びノズルプレート側の平面図である。
【図3】本発明の実施形態1に係るヘッドチップの分解斜視図及び斜視断面図である。
【図4】本発明の試験例1に係る実施例1、比較例1及び2のインクジェットヘッドの試験投入時間と弾性接着剤の膨潤量を示すグラフである。
【図5】本発明の試験例1に係る実施例1、比較例1及び2のインクジェットヘッドの試験投入時間とノズルプレートの一方の幅広部に対向する領域の変形量を示すグラフである。
【図6】本発明の一実施形態に係るキャリッジの斜視図である。
【図7】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略斜視図である。
【図8】従来技術に係るヘッドチップの概要を示す斜視図である。
【図9】従来技術に係るヘッドチップの概要を示す断面図である。
【図10】従来技術に係るヘッドチップの概要を示す断面図である。
【符号の説明】
10 インクジェットヘッド
20 ヘッドチップ
21 圧電セラミックプレート
22 溝
23 側壁
24 電極
25 インク室プレート
26 共通インク室
28 ノズルプレート
29 ノズル開口
31 ノズル支持プレート
40 流路基板
50 配線基板
60 ベースプレート
80 負圧調整部
90 インク連通管
91 インク供給管
92 キャリッジ
93 インクカートリッジ
100 接合体
101 接着剤
102 弾性接着剤
103 保護層[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an inkjet head applied to, for example, a printer and a fax machine.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, an ink jet recording apparatus that records characters and images on a recording medium using an ink jet head having a plurality of nozzle openings for discharging ink is known. In such an ink jet recording apparatus, the nozzle of the ink jet head is provided in the head holder so as to face the recording medium, and this head holder is mounted on the carriage so as to be scanned in a direction orthogonal to the transport direction of the recording medium. It has become.
[0003]
An outline of an example of a head chip of such an ink jet head is shown in FIG. 8, and a cross-sectional view of the main part is shown in FIG.
[0004]
As shown in FIGS. 8 and 9, a plurality of
[0005]
An
[0006]
In addition, a
[0007]
The head chip is assembled by joining a nozzle support plate (not shown) that supports the
[0008]
Further, a
[0009]
Although a conventional inkjet head having such a head chip is not shown, for example, after joining a flow path substrate for supplying ink to the
[0010]
In such an ink jet head, when each
[0011]
For example, as shown in FIG. 10, when ink is ejected from a
[0012]
In such a head chip, an ink jet head is formed by joining a base plate to the piezoelectric ceramic plate side and joining a flow path substrate for supplying ink to the common ink chamber on the ink chamber plate side.
[0013]
In such an ink jet head, if the head chip and another member are bonded using a high-hardness adhesive, the high-hardness adhesive hinders deformation of the side wall of the head chip, resulting in a decrease in ejection characteristics. Or destabilization.
[0014]
In addition, when the head chip and other members are cured and fixed at a high temperature using a thermosetting adhesive, the linear expansion coefficients of the piezoelectric ceramic plate and the other members are different, The piezoelectric ceramic plate is deformed and broken due to the length displacement caused by the difference in linear expansion coefficient.
[0015]
For this reason, an elastic adhesive is used for joining the head chip to another member, and no misalignment occurs by fixing with a jig at room temperature, for example, 25 ± 5 ° C., until the elastic adhesive is cured. It was so stuck.
[0016]
In this way, the head chip and other members are cured and fixed at room temperature using an elastic adhesive, so that the residual stress during processing of the member, the difference in expansion and contraction between both members due to the outside air temperature and generated heat Etc. can be buffered by the elasticity of the elastic adhesive to prevent the deformation and destruction of the head chip and improve the ejection characteristics and ejection stability.
[0017]
[Problems to be solved by the invention]
However, if the head chip and other members are cured and bonded at room temperature using an elastic adhesive, the elastic adhesive is not stable because the crosslinking of the elastic adhesive does not progress 100% completely or the glass transition point is low. There is a problem that after the ink jet head is assembled, the elastic adhesive swells or contracts by reacting with gas components and humidity in the external atmosphere, and the head chip is deformed and broken.
[0018]
When the elastic adhesive swells or contracts in this manner, the elastic adhesive in the bonding area between the nozzle support plate and the piezoelectric ceramic plate that is bonded to the nozzle plate side of the outer peripheral surface of the head chip in particular near the nozzle opening of the nozzle plate. A hump-like projection is generated, or the vicinity of the nozzle opening of the nozzle plate is deformed into a concave shape. In such an ink jet head, a cleaning operation is performed by wiping with a member such as rubber in order to remove ink or dust in the vicinity of the nozzle opening of the nozzle plate, but it is normal if a large protrusion or dent is generated. There is a problem that cleaning cannot be performed.
[0019]
In addition, the protrusion and dent amount that can wipe the vicinity of the nozzle opening of the nozzle plate are usually 25 μm or less.
[0020]
In addition, if the elastic adhesive that joins each member constituting the ink jet head swells or shrinks, the displacement of each member occurs, stress concentration occurs, and the discharge characteristics and discharge stability deteriorate. There is a problem.
[0021]
In view of such circumstances, it is an object of the present invention to provide an ink jet head that reliably prevents deformation and destruction of a head chip and has improved ejection characteristics and ejection stability.
[0022]
[Means for Solving the Problems]
According to a first aspect of the present invention for solving the above problems, a piezoelectric ceramic plate having a plurality of grooves filled with ink and having electrodes formed on the side walls of the grooves, and the piezoelectric ceramic plate joined to the piezoelectric ceramic plate An ink chamber plate provided with a common ink chamber that communicates with each of the grooves, and the groove of the joined body composed of the piezoelectric ceramic plate and the ink chamber plate are bonded to the opening end surface to fill the groove. An inkjet head comprising a nozzle plate provided with a nozzle opening for discharging the ink and a nozzle support plate provided on an outer periphery of the bonded body on the nozzle plate side, wherein the bonded body and the nozzle support plate are Bonded with an elastic adhesive that allows slight elastic deformation, and connected from the bonded area bonded with the elastic adhesive to the outside. At least the outer side of the gap between the nozzle support plate and the other member in contact with the nozzle support plate is sealed with a protective layer having a low reactivity with gas components and humidity in the external atmosphere than the elastic adhesive. In the inkjet head.
[0023]
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the other member is bonded to the piezoelectric ceramic plate side of the bonded body to hold the bonded body, and the ink chamber of the bonded body. An ink-jet head comprising: a flow path substrate which is bonded to the plate side and supplies ink to the common ink chamber.
[0024]
According to a third aspect of the present invention, in the second aspect, the protective layer covers the entire outer peripheral surface of the gap between the nozzle support plate and the base plate and the gap between the nozzle support plate and the flow path substrate. An inkjet head is provided.
[0025]
A fourth aspect of the present invention is an ink jet head according to any one of the first to third aspects, wherein the joined body and the other member are joined together via the elastic adhesive.
[0026]
A fifth aspect of the present invention is the ink jet head according to any one of the first to fourth aspects, wherein the elastic adhesive is cured at normal temperature and normal humidity.
[0027]
A sixth aspect of the present invention is the ink jet head according to any one of the first to fifth aspects, wherein the protective layer is cured at normal temperature and normal humidity.
[0028]
According to a seventh aspect of the present invention, in the fifth or sixth aspect, the normal temperature is a temperature of 25 ± 5 ° C., and the normal humidity is a humidity of 60 ± 10% RH. It is in.
[0029]
According to an eighth aspect of the present invention, in any one of the first to seventh aspects, the elastic adhesive and the protective layer are composed of the same components with different blending amounts of the curing agent. In the head.
[0030]
A ninth aspect of the present invention is the ink jet head according to any one of the first to eighth aspects, wherein the protective layer is composed of a plurality of layers.
[0031]
In the present invention, the inkjet head and the other member are joined using the elastic adhesive, and the joining region joined by the elastic adhesive elastically at least the outer side of the gap with the other member with which the nozzle support plate abuts. Sealing with a protective layer that is less reactive with gas and humidity in the external atmosphere than the adhesive prevents the elastic adhesive from reacting with the gas and humidity in the external atmosphere and swells the elastic adhesive Or contraction can be prevented. Thereby, deformation of the joined body and other members joined to the joined body can be prevented.
[0032]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
[0033]
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a perspective view of an inkjet head according to the first embodiment, FIG. 2 is a cross-sectional view of main parts of the inkjet head and a plan view on the nozzle plate side, and FIG. 3 is an exploded perspective view and perspective view of a head chip. It is sectional drawing.
[0034]
As shown in the figure, the
[0035]
The piezoelectric
[0036]
Each
[0037]
One end of an
[0038]
An
[0039]
The bonded
[0040]
The
[0041]
In addition, a
[0042]
In the present embodiment, the
[0043]
Although not shown, a water repellent film having water repellency for preventing ink adhesion and the like is provided on the surface of the
[0044]
Here, the adhesive 101 used for joining the
[0045]
In the present embodiment, 353ND (manufactured by Epoxy Technology) having a Shore hardness D of 87 degrees was used as the adhesive 101.
[0046]
Furthermore, a
[0047]
Further, one surface of the
[0048]
Thus, the
[0049]
In the present embodiment, the tapered
[0050]
Further, as shown in FIG. 2 (b), the
[0051]
Here, for example, when lead zirconate titanate (PZT) is used for the piezoelectric
[0052]
For this reason, the joined
[0053]
According to this
[0054]
Examples of the
[0055]
By joining the joined
[0056]
Further, a
[0057]
Specifically, the
[0058]
The member forming the
[0059]
The flow
[0060]
On the other hand, a
[0061]
On the surface of the
[0062]
In this embodiment, aluminum (Al) is used as a member that forms the
[0063]
Further, since the
[0064]
Accordingly, the amount of expansion and contraction due to heat can be buffered by the
[0065]
In addition, on the upper surface of the
[0066]
The negative
[0067]
The gap between the bonded
[0068]
In the present embodiment, since the other members that come into contact with the
[0069]
The
[0070]
As described above, the outer peripheral surface of the gap between the
[0071]
Further, by using the
[0072]
Example 1
As the
[0073]
Further, as the
[0074]
The characteristics of the
[0075]
[Table 1]
Here, as a method for manufacturing the
[0076]
Next, the
[0077]
Next, the bonded
[0078]
Thereafter, the
[0079]
(Comparative Example 1)
For comparison, an ink jet head of Comparative Example 1 was formed by bonding with the same
[0080]
The ink jet head of Comparative Example 1 was also formed under the same conditions as in Example 1 described above.
[0081]
(Comparative Example 2)
For comparison, an ink jet head bonded using the same
[0082]
The inkjet head of Comparative Example 2 was also formed under the same conditions as in Example 1 described above, and the sealing layer was formed under the same conditions as those of the
[0083]
(Test Example 1)
The ink jet heads of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2 described above are left in an atmosphere of 95% humidity at a temperature of 35 ° C., and the acceleration coefficient is 80 to 100 times. In this test example, 90 times is obtained. The amount of swelling of the
[0084]
The results are shown in FIGS. 4 is a graph showing the test charging time and the swelling amount of the elastic adhesive of the ink jet heads of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2, and FIG. 5 is the ink jet of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2. It is a graph which shows the test input time of a head, and the deformation amount of the area | region facing one wide part of a nozzle plate.
[0085]
Here, in the
[0086]
For this reason, the deformation of the
[0087]
As shown in FIG. 4, the
[0088]
As shown in FIG. 5, in the
[0089]
On the other hand, as shown in FIG. 5, in the ink jet head of Comparative Example 1, the test charging time was 120 hours, that is, at room temperature and normal humidity, about 450 days (about 15 months) passed before the joined body moved from the joined body to the nozzle plate. Has come off.
[0090]
Further, as shown in FIG. 5, in the ink jet head of Comparative Example 2, the
[0091]
If the area in the vicinity of the nozzle opening of the nozzle plate protrudes greatly in this way, when the vicinity of the nozzle opening of the nozzle plate is cleaned by wiping or the like, the vicinity of the nozzle opening cannot be wiped, and ink or dust can be removed. It will disappear.
[0092]
Further, when the elastic adhesive is greatly deformed by expansion and contraction, the position of each member such as the bonded body and other members connected to the bonded body is shifted, and the discharge characteristics and the discharge stability are deteriorated.
[0093]
From the results of Test Example 1 as described above, the joined
[0094]
Accordingly, it is possible to prevent deformation of the bonded
[0095]
Note that when the bonded
[0096]
For this reason, it is necessary to use the
[0097]
(Other embodiments)
Although the first embodiment has been described above, the configuration of the inkjet head of the present invention is not limited to the above-described one.
[0098]
For example, in Embodiment 1 described above, the
[0099]
By using a plurality of protective layers in this way, the reaction with the gas component and humidity in the external atmosphere of the
[0100]
In Example 1 described above, the
[0101]
Furthermore, in Embodiment 1 mentioned above, although PZT was illustrated as a material of the piezoelectric
[0102]
In Embodiment 1 described above, the
[0103]
Furthermore, in Embodiment 1 described above, the
[0104]
Even if a member having substantially the same coefficient of linear expansion as that of the piezoelectric
[0105]
In the first embodiment described above, the
[0106]
Further, the above-described
[0107]
Here, the ink jet recording apparatus will be described. FIG. 6 is a perspective view of a carriage on which an inkjet head is mounted, and FIG. 7 is a schematic perspective view of the inkjet recording apparatus.
[0108]
As shown in the drawing, a plurality of ink jet heads 10 provided for each color, a
[0109]
A pair of
[0110]
The
[0111]
Although the pressure of the ink in the
[0112]
Note that the
[0113]
Further, four
[0114]
With such an ink jet recording apparatus, printing can be performed on the entire surface of the recording medium S by moving the recording medium S in the sub scanning direction and moving the
[0115]
In the present embodiment, the ink jet recording apparatus equipped with a four-color ink jet head has been described as an example. However, the present invention is not limited to this, and an ink jet recording apparatus equipped with a five to eight color ink jet head is used. There may be.
[0116]
【The invention's effect】
As described above, in the inkjet head of the present invention, the bonded body and the nozzle support plate are bonded using an elastic adhesive, so that expansion and contraction of the bonded body and the nozzle support plate due to heat can be performed with the elastic adhesive. The deformation can be prevented by buffering. In addition, since the gap communicating with the outside of the joining region joined by the elastic adhesive is sealed with a protective layer having a low reactivity with the gas component and humidity in the external atmosphere than the elastic adhesive, the elastic adhesive Can be prevented from reacting with gas components and humidity in the external atmosphere to prevent swelling or shrinkage of the elastic adhesive. As a result, it is possible to prevent deformation and displacement of each member constituting the ink jet head and prevent deterioration of the discharge characteristics and discharge stability.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of an ink jet head according to a first embodiment of the invention.
FIGS. 2A and 2B are a cross-sectional view of a principal part and a plan view of the nozzle plate side of the inkjet head according to the first embodiment of the invention.
FIGS. 3A and 3B are an exploded perspective view and a perspective sectional view of the head chip according to the first embodiment of the invention. FIGS.
4 is a graph showing the test charging time and the swelling amount of the elastic adhesive of the inkjet heads of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2 according to Test Example 1 of the present invention. FIG.
FIG. 5 is a graph showing the test charging time of the inkjet heads of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2 according to Test Example 1 of the present invention and the amount of deformation in a region facing one wide portion of the nozzle plate.
FIG. 6 is a perspective view of a carriage according to an embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a schematic perspective view of an ink jet recording apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a perspective view showing an outline of a head chip according to a conventional technique.
FIG. 9 is a cross-sectional view showing an outline of a head chip according to a conventional technique.
FIG. 10 is a cross-sectional view showing an outline of a head chip according to a conventional technique.
[Explanation of symbols]
10 Inkjet head
20 Head chip
21 Piezoelectric ceramic plate
22 groove
23 Side wall
24 electrodes
25 Ink chamber plate
26 Common ink chamber
28 Nozzle plate
29 Nozzle opening
31 Nozzle support plate
40 Channel substrate
50 Wiring board
60 Base plate
80 Negative pressure adjuster
90 Ink communication pipe
91 Ink supply pipe
92 Carriage
93 Ink cartridge
100 joints
101 Adhesive
102 Elastic adhesive
103 protective layer
Claims (12)
前記接合体と前記ノズル支持プレートとを弾性接着剤を用いて接合し、 The bonded body and the nozzle support plate are bonded using an elastic adhesive,
その後、前記ノズル支持プレートと前記ノズル支持プレートに当接する前記流路基板及び前記ベースプレートとの隙間の外周面に、外部側が前記弾性接着剤よりも外部雰囲気中のガス成分及び水分と低反応性を有する保護層を塗布することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 Thereafter, on the outer peripheral surface of the gap between the nozzle support plate and the flow path substrate and the base plate in contact with the nozzle support plate, the external side has a low reactivity with gas components and moisture in the external atmosphere than the elastic adhesive A method for producing an ink-jet head, comprising applying a protective layer.
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