JP2003303555A - Plasma display panel and adsorption material used for it - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma display panel having the improved picture degradation due to discharge flickering phenomena and an improved aging characteristic. <P>SOLUTION: A first substrate 2 is provided with a pair of discharge sustaining electrodes 4 arranged in parallel, a second substrate 3 is provided with an address electrode 8, and the pair of discharge sustaining electrodes 4 and the address electrode 8 are faced to each other so as to cross each other on both sides of a discharge space. The discharge space is partitioned by a barrier rib 10 to form cells 12 so as to include a crossing part between the pair of discharge sustaining electrodes 4 and the address electrode 8, and adsorption films 11 are disposed in the cells 12. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルおよびそれに用いる吸着材料に関するもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display panel and an adsorbent material used therefor.

【０００２】[0002]

【従来の技術】プラズマディスプレイパネルは、ガス放
電で発生した紫外線を、特定色に発光する蛍光体に照射
して励起発光させることにより、カラー表示（多色およ
びフルカラー）を形成している。以下、ＡＣ型プラズマ
ディスプレイパネルを例に挙げて説明する。プラズマデ
ィスプレイパネルは、周知のように２枚のガラス板の間
に微小な放電セル（画素）を作り込んだ構造で、薄型の
テレビジョンまたはディスプレイモニタとして種々研究
されており、その中の１つにメモリー機能を有するＡＣ
型プラズマディスプレイパネルが知られている。2. Description of the Related Art A plasma display panel forms a color display (multicolor and full color) by irradiating a phosphor that emits a specific color with ultraviolet rays generated by gas discharge to cause excitation and emission. The AC plasma display panel will be described below as an example. As is well known, a plasma display panel has a structure in which minute discharge cells (pixels) are formed between two glass plates and has been variously studied as a thin television or display monitor. One of them is a memory. AC with functions
Type plasma display panels are known.

【０００３】図９は、例えば特開平７−１４０９２２号
公報に開示された面放電型のＡＣ型プラズマディスプレ
イパネルの構造を示す斜視図である。図９において、１
はＡＣ型プラズマディスプレイパネル、２は表示面であ
る前面ガラス基板からなる第１の基板、３は第１の基板
１と放電空間を介して対向する背面ガラス基板からなる
第２の基板、４は放電維持電極対で、第１の基板２に一
対の放電維持電極Ｘ、Ｙがギャップを介して平行に配置
されたものである。５は放電維持電極対４に電圧を供給
するための一対のバス電極、６は放電維持電極対４上を
被覆する誘電体層、７は誘電体層６に蒸着などの方法で
形成されたＭｇＯ（酸化マグネシウム）からなるカソー
ド膜である。８は第２の基板３に形成されたアドレス電
極で、放電維持電極対４と直交する。９Ｒ、９Ｇ、９Ｂ
はアドレス電極８上に形成された蛍光体層で、アドレス
電極８毎に順序よくストライプ状に設けられているそれ
ぞれ赤、緑、青に発光する蛍光体層である。１０はアド
レス電極間に形成された隔壁で、放電維持電極対４とア
ドレス電極８が対向する空間（放電維持電極対４とアド
レス電極８の交差部）を包囲するように設けることによ
り、放電空間を画素となる放電セルとして区画する他
に、プラズマディスプレイパネルをパネル内外の圧力差
によって潰れないようにする支柱の役割もある。また、
第１の基板２と第２の基板３が挟む放電空間にはＮｅ−
Ｘｅ混合ガスやＨｅ−Ｘｅ混合ガスなどの放電用ガスが
大気圧以下で封入されている。FIG. 9 is a perspective view showing the structure of a surface discharge type AC plasma display panel disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-140922. In FIG. 9, 1
Is an AC type plasma display panel, 2 is a first substrate which is a front glass substrate which is a display surface, 3 is a second substrate which is a rear glass substrate which faces the first substrate 1 through a discharge space, and 4 is In the discharge sustaining electrode pair, a pair of discharge sustaining electrodes X and Y are arranged in parallel on the first substrate 2 via a gap. 5 is a pair of bus electrodes for supplying a voltage to the discharge sustaining electrode pair 4, 6 is a dielectric layer covering the discharge sustaining electrode pair 4, and 7 is MgO formed on the dielectric layer 6 by a method such as vapor deposition. It is a cathode film made of (magnesium oxide). Reference numeral 8 is an address electrode formed on the second substrate 3 and is orthogonal to the discharge sustaining electrode pair 4. 9R, 9G, 9B
Is a phosphor layer formed on the address electrode 8 and is a phosphor layer which is provided in order for each address electrode 8 in a striped pattern and emits red, green and blue light, respectively. Reference numeral 10 denotes a partition wall formed between the address electrodes, which is provided so as to surround a space where the discharge sustaining electrode pair 4 and the address electrode 8 face each other (intersection of the discharge sustaining electrode pair 4 and the address electrode 8), thereby providing a discharge space. In addition to partitioning the cells into discharge cells that serve as pixels, they also serve as columns that prevent the plasma display panel from being crushed by the pressure difference between the inside and outside of the panel. Also,
Ne- is provided in the discharge space between the first substrate 2 and the second substrate 3.
A discharge gas such as a Xe mixed gas or a He-Xe mixed gas is enclosed at atmospheric pressure or lower.

【０００４】従来、プラズマディスプレイパネル（以下
ＰＤＰと略すこともある。）は、固定画面表示（ある特
定のセルを放電させ続けること）から異なる画面表示に
切り替えた場合に、固定画面表示で点灯させたセルの動
作電圧（放電開始電圧および放電維持電圧）が上昇して
点灯が不安定になること（セルの放電ちらつき現象）が
問題となっていた。また、長時間点灯を行うと、経時的
に動作電圧が変動していくためにセルの放電ちらつき現
象がパネルの広範囲で起こるようになる。つまり、残留
ガスの影響によってカソード膜のスパッタ速度が速くな
り、連続点灯においては数千時間でカソード膜からの２
次電子放出量が低下して放電異常が起こる等の点灯経時
劣化の問題が発生していた。Conventionally, a plasma display panel (hereinafter sometimes abbreviated as PDP) is turned on in a fixed screen display when switching from a fixed screen display (keeping a certain cell discharged) to a different screen display. Another problem is that the operating voltage of the cell (discharge starting voltage and discharge sustaining voltage) increases and the lighting becomes unstable (flickering phenomenon of cell discharge). In addition, when lighting is performed for a long time, the operating voltage fluctuates over time, so that a cell discharge flicker phenomenon occurs in a wide range of the panel. In other words, the sputtering rate of the cathode film is increased due to the influence of the residual gas, and the continuous discharge from the cathode film takes a few thousand hours for continuous lighting.
There has been a problem of deterioration with time of lighting, such as a decrease in secondary electron emission amount and abnormal discharge.

【０００５】以下、図９を用いてＰＤＰの一般的な製造
方法を説明する。まず、放電維持電極対４、誘電体層６
およびカソード膜７等を設けた第１の基板２と、アドレ
ス電極８、隔壁１０および蛍光体層等を設けた第２の基
板３との周囲に低融点のシールガラスを設けて第１、第
２の基板を組み合わせる。この後、封止用の炉で焼成
し、上記低融点のシールガラスを溶融して１枚のＰＤＰ
とする。この後、ＰＤＰの背面基板３の隅に設けたガラ
ス製の排気管を真空排気装置に接続し、ＰＤＰ全体を高
温焼成炉内に設置し、４００℃程度の高温雰囲気内でパ
ネル内のガスを充分排気した（加熱排気工程）後、放電
用の混合ガス（Ｎｅ、Ｘｅ）を封入し、上記基板に設け
たガラス製排気管を封じ切り、密閉する。なお、上記の
ように製造した後、放電電圧（動作電圧）を安定させる
ために、放電開始電圧よりも高い電圧を上記放電維持電
極対４の電極Ｘ、Ｙ間に加え、長時間放電を行う（エー
ジング工程）。Hereinafter, a general method for manufacturing a PDP will be described with reference to FIG. First, the discharge sustaining electrode pair 4 and the dielectric layer 6
And a first substrate 2 provided with the cathode film 7 and the like, and a second substrate 3 provided with the address electrode 8, the partition wall 10 and the phosphor layer and the like with a low melting point seal glass provided around the first and second substrates. Combine the two substrates. After that, it is fired in a sealing furnace to melt the low-melting-point seal glass to obtain one PDP.
And Then, a glass exhaust pipe provided in a corner of the back substrate 3 of the PDP was connected to a vacuum exhaust device, the entire PDP was placed in a high temperature firing furnace, and gas in the panel was heated in a high temperature atmosphere of about 400 ° C. After exhausting sufficiently (heating and exhausting step), a mixed gas for discharge (Ne, Xe) is sealed in, and the glass exhaust pipe provided on the substrate is sealed off and hermetically sealed. After manufacturing as described above, in order to stabilize the discharge voltage (operating voltage), a voltage higher than the discharge start voltage is applied between the electrodes X and Y of the discharge sustaining electrode pair 4 to perform long-time discharge. (Aging process).

【０００６】上記点灯の不安定化や点灯経時劣化は、上
記加熱排気工程において、排気だけではパネル内での残
留ガスが避けられず、動作電圧が所定の電圧値よりも高
くなるために起こる。主な残留ガス成分としては、Ｈ_２
Ｏ、ＣＯ、ＣＯ_２、Ｈ_２などが挙げられ、この中で最も
プラズマディスプレイパネル内に多く残留して、放電に
悪影響を及ぼすものはＨ_２Ｏである。なお、プラズマデ
ィスプレイパネルは、２枚のガラス板で挟まれたおよそ
１００μｍの隙間に、隔壁によっておよそ３００μｍ間
隔で分割してセルを設けた構造であるため、そのコンダ
クタンスは非常に小さく、パネル内部の残留ガスを充分
に排除することが困難である。The destabilization of lighting and the deterioration over time of lighting occur because the residual gas in the panel is unavoidable only by evacuation in the heating and evacuation step, and the operating voltage becomes higher than a predetermined voltage value. The main residual gas component is H ₂
O, CO, CO ₂ , H _{2 and the} like can be mentioned. Among these, H ₂ O is the most remaining in the plasma display panel and adversely affects the discharge. Note that the plasma display panel has a structure in which cells are provided in a gap of about 100 μm sandwiched between two glass plates at intervals of about 300 μm by partition walls, so that the conductance is very small and the inside of the panel is small. It is difficult to eliminate residual gas sufficiently.

【０００７】また、上記従来のプラズマディスプレイパ
ネル内部の構成部位の内で、カソード膜７（酸化マグネ
シウム膜）は高い潮解性を持ち、プラズマディスプレイ
パネル製造工程で大気中のＨ_２Ｏが吸着する。このＨ_２
Ｏの大部分（９０％以上）は加熱排気（４００℃で１０
〜２０時間）工程でプラズマディスプレイパネル外へ排
出されるが、放電の動作電圧に悪影響を及ぼすレベルの
量が排気条件では排除しきれずにカソード膜内に残留
し、プラズマディスプレイパネル内にＨ_２Ｏが持ち込ま
れることになる。そして、プラズマディスプレイパネル
点灯でカソード膜が放電空間に曝されることによってカ
ソード膜中のＨ_２Ｏが放電空間に放出される。Further, among the constituent parts inside the conventional plasma display panel, the cathode film 7 (magnesium oxide film) has a high deliquescent property, and H ₂ O in the atmosphere is adsorbed in the plasma display panel manufacturing process. This H ₂
Most of O (90% or more) is heated and exhausted (10 at 400 ° C).
Although 20 hours) step is discharged to the outside of the plasma display panel, the amount of operating voltage adversely affect the level of the discharge remains in the cathode film without being completely eliminated by the exhaust conditions, H ₂ O to the plasma display panel Will be brought in. Then, when the plasma display panel is turned on, the cathode film is exposed to the discharge space, so that H ₂ O in the cathode film is released to the discharge space.

【０００８】上記放電ガスの汚染を防止するための対策
として、表示領域を清浄化するようなプラズマディスプ
レイパネル構造が提案されている。図１０は、特開平５
−３４２９９１号公報に開示された、ＡＣ型プラズマデ
ィスプレイパネルの要部断面図で、放電維持電極対Ｘ、
Ｙとアドレス電極８が誘電体層１５および保護膜１６に
よって被覆され、放電維持電極対Ｘ、Ｙとアドレス電極
８によって画定される表示領域ＥＨと封止ガラス３１と
の間に、残留ガスを吸着する不純物吸着膜７０と不純物
吸着膜７０を放電させて化学的に活性状態にするエージ
ング電極６０を有するもので、不純物吸着膜７０として
は、例えば保護膜に比べて粒界が多く残留ガスの吸着し
やすい酸化マグネシウムが開示されている。As a measure for preventing the discharge gas from being contaminated, a plasma display panel structure for cleaning the display region has been proposed. FIG. 10 shows
FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part of an AC type plasma display panel disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 342991, showing a sustaining electrode pair X,
Y and the address electrode 8 are covered with the dielectric layer 15 and the protective film 16, and residual gas is adsorbed between the display region EH defined by the discharge sustaining electrode pair X and Y and the address electrode 8 and the sealing glass 31. The impurity adsorbing film 70 and the aging electrode 60 that discharges the impurity adsorbing film 70 to chemically activate the impurity adsorbing film 70 are used. Magnesium oxide, which is easy to do, is disclosed.

【０００９】エージング工程では、まず、エージング電
極６０とアドレス電極８とに対して所定の交流電圧を印
加し、表示領域ＥＨの外側でおよそ４８時間にわたって
放電させ、不純物吸着膜７０を化学的に活性状態にす
る。次に、この活性状態を保持しつつ、放電維持電極
Ｘ、Ｙとアドレス電極８により画定される全ての放電セ
ルで放電を生じさせる。これにより保護膜上の残留ガス
が表示領域ＥＨの外側に集まって不純物吸着膜７０に吸
着し、表示領域ＥＨが清浄されるというものである。In the aging step, first, a predetermined AC voltage is applied to the aging electrode 60 and the address electrode 8 to cause discharge outside the display area EH for about 48 hours to chemically activate the impurity adsorption film 70. Put in a state. Next, while maintaining this active state, discharge is generated in all the discharge cells defined by the discharge sustaining electrodes X and Y and the address electrode 8. As a result, the residual gas on the protective film gathers outside the display area EH and is adsorbed to the impurity adsorption film 70, so that the display area EH is cleaned.

【００１０】[0010]

【発明が解決しようとする課題】上記従来のプラズマデ
ィスプレイパネルにおいて、清浄化処理はパネル内部に
放電ガスを封入して封止した後、エージング工程で行わ
れるが、吸着膜をパネルの表示領域の外側に設置するの
で、吸着膜近傍の表示セル内の残留ガスは吸着すること
ができても、吸着膜から遠く離れた中央部およびその周
辺部の残留ガスを充分に吸着することはできず、パネル
内で残留ガス量の分布が生じてしまうので、動作電圧の
分布が生じることになり、セルの放電ちらつき現象とな
る。また、エージング中に放出される残留ガスを吸着さ
せる効果は充分ではなく、パネル内には残留ガスが残留
し、上記パネル内で残留ガス量の分布が見られる。ま
た、従来の吸着膜は表示領域の外側に設けられているの
で、表示領域の外側以外の領域において、放電に曝され
て放電空間へ放出される残留ガスについては吸着効果を
持たないという課題があった。さらに、エージング後長
時間の点灯を行うと、表示領域内のカソード膜より残留
ガス（主にＨ_２Ｏ）が放出されるが、この残留ガスにつ
いては吸着効果を発揮できないので、点灯経時劣化が起
こる。In the conventional plasma display panel described above, the cleaning process is performed in the aging process after the discharge gas is sealed and sealed inside the panel. Since it is installed outside, the residual gas in the display cell near the adsorption film can be adsorbed, but the residual gas in the central portion and its peripheral portion far from the adsorption film cannot be adsorbed sufficiently, Since the distribution of the residual gas amount is generated in the panel, the distribution of the operating voltage is generated, which causes the phenomenon of cell discharge flicker. In addition, the effect of adsorbing the residual gas released during aging is not sufficient, the residual gas remains in the panel, and the distribution of the residual gas amount is observed in the panel. Further, since the conventional adsorption film is provided outside the display area, there is a problem that the residual gas exposed to the discharge and released to the discharge space does not have an adsorption effect in the area other than the outside of the display area. there were. Further, when lighting is performed for a long time after aging, residual gas (mainly H ₂ O) is released from the cathode film in the display area, but since this residual gas cannot exert an adsorption effect, deterioration with lighting is deteriorated. Occur.

【００１１】本発明は、かかる課題を解決するためにな
されたものであり、従来例に比較して、各セルの放電電
圧を安定化させてセルの放電ちらつき現象による画質低
下の改善および経時劣化特性を改善したプラズマディス
プレイパネルを得ることを目的とする。The present invention has been made in order to solve the above problems, and, as compared with the conventional example, the discharge voltage of each cell is stabilized and the deterioration of the image quality due to the discharge flicker phenomenon of the cell is improved and the deterioration with time. The purpose is to obtain a plasma display panel with improved characteristics.

【００１２】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明に係る第１のプラ
ズマディスプレイパネルは、平行に配置された放電維持
電極対を有する第１の基板と、上記放電維持電極対と交
差するように放電空間を挟んで対向配置されたアドレス
電極を有する第２の基板と、上記放電維持電極対とアド
レス電極との交差部を含むように、隔壁によって仕切ら
れてなるセルとを備えたプラズマディスプレイパネルに
おいて、上記セル内に配設された吸着膜を有することを
特徴とするものである。A first plasma display panel according to the present invention comprises a first substrate having discharge sustaining electrode pairs arranged in parallel, and a discharge space so as to intersect the discharge sustaining electrode pair. A plasma display panel comprising: a second substrate having address electrodes arranged to face each other with a cell sandwiched therebetween; and a cell partitioned by partition walls so as to include an intersection of the discharge sustaining electrode pair and the address electrode. It is characterized in that it has an adsorption film arranged in the cell.

【００１３】本発明に係る第２のプラズマディスプレイ
パネルは、上記第１のプラズマディスプレイパネルにお
いて、吸着膜が、結晶性アルミノケイ酸塩からなること
を特徴とするものである。A second plasma display panel according to the present invention is characterized in that, in the first plasma display panel, the adsorption film is made of crystalline aluminosilicate.

【００１４】本発明に係る第３のプラズマディスプレイ
パネルは、上記第１のプラズマディスプレイパネルにお
いて、吸着膜が、γ-活性Ａｌ_２Ｏ_３または非晶質活性
シリカからなることを特徴とするものである。A third plasma display panel according to the present invention is characterized in that, in the first plasma display panel, the adsorption film is made of γ-active Al ₂ O ₃ or amorphous active silica. is there.

【００１５】本発明に係る第４のプラズマディスプレイ
パネルは、上記第１のプラズマディスプレイパネルにお
いて、吸着膜が、放電維持電極対上に形成されたカソー
ド膜に設けられていることを特徴とするものである。A fourth plasma display panel according to the present invention is characterized in that, in the above-mentioned first plasma display panel, an adsorption film is provided on a cathode film formed on a pair of discharge sustaining electrodes. Is.

【００１６】本発明に係る第１の吸着材料は、結晶性ア
ルミノケイ酸塩からなり、上記第１のプラズマディスプ
レイパネルの吸着膜に用いるものである。The first adsorbent material according to the present invention is made of crystalline aluminosilicate and is used for the adsorption film of the first plasma display panel.

【００１７】[0017]

【発明の実施の形態】実施の形態１．図１は、本発明の
第１の実施の形態のプラズマディスプレイパネルの斜視
図、図２（ａ）は図１におけるＡ‐Ａ線断面図、（ｂ）
は図１におけるＢ‐Ｂ線断面図である。図中、１はプラ
ズマディスプレイパネル、２は前面ガラス基板の第１の
基板、３は背面ガラス基板の第２の基板、４_ｎ、４
_ｎ−１および４_ｎ−１は、各々前面ガラス基板２上に配
置された透明導電膜からなる、ｎ、ｎ−１およびｎ＋１
番目の放電維持電極対（ｘ_ｎ、ｙ_ｎ）、（ｘ_ｎ−１、ｙ
_ｎ−１）および（ｘ_ｎ＋１、ｙ_ｎ＋１）、５はそれぞれ
の放電維持電極対に電圧を供給するためのバス電極、６
は放電維持電極対上に形成された誘電体層、７は誘電体
層６上に形成されたカソード膜（ＭｇＯ膜）、８は背面
ガラス基板３上に放電維持電極対と直交するように設け
られたアドレス電極、９Ｒ、９Ｇ、９Ｂはアドレス電極
８上に形成された赤、緑、青の蛍光体層、１０はそれぞ
れの間にアドレス電極８を配置する隔壁、１２は放電維
持電極対４とアドレス電極８とが交差して対向する空間
を含むように放電空間を隔壁１０で仕切ることによって
なるセル、１３は残留ガス、１１は上記セル内の残留ガ
スを吸着する吸着膜で上記セル１０内に設けられてい
る。なお、前面ガラス基板２と背面ガラス基板３の間の
放電空間にはＮｅ−Ｘｅ混合ガスまたはＨｅ−Ｘｅ混合
ガスなどの放電用ガスが封入されている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiment 1. FIG. 1 is a perspective view of a plasma display panel according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2A is a sectional view taken along the line AA in FIG. 1, and FIG.
FIG. 2 is a sectional view taken along line BB in FIG. In the figure, 1 is a plasma display panel, 2 is a first substrate of a front glass substrate, 3 is a second substrate of a rear glass substrate, 4 _n , 4
_n−1 and 4 _n−1 are n, n−1, and n + 1, which are transparent conductive films arranged on the front glass substrate 2, respectively.
Th discharge sustaining electrode pair (x _n , y _n ), (x _n−1 , y
_n-1 ) and ( _{xn + 1} , yn _{+ 1} ), 5 are bus electrodes for supplying a voltage to the respective discharge sustaining electrode pairs, 6
Is a dielectric layer formed on the discharge sustaining electrode pair, 7 is a cathode film (MgO film) formed on the dielectric layer 6, and 8 is provided on the rear glass substrate 3 so as to be orthogonal to the discharge sustaining electrode pair. Address electrodes 9R, 9G and 9B are red, green and blue phosphor layers formed on the address electrodes 8, 10 are barrier ribs between which the address electrodes 8 are arranged, and 12 are sustaining electrode pairs 4 A cell formed by partitioning a discharge space so as to include a space where the address electrode 8 and the address electrode 8 intersect and face each other, 13 is a residual gas, and 11 is an adsorption film that adsorbs the residual gas in the cell. It is provided inside. The discharge space between the front glass substrate 2 and the rear glass substrate 3 is filled with a discharge gas such as a Ne—Xe mixed gas or a He—Xe mixed gas.

【００１８】なお、本実施の形態においては、図２に示
すように、ＰＤＰの各セル内に吸着膜１１を設けている
ので、加熱排気工程において各セル内の残留ガスを効率
的に吸着することができ、またカソード膜７中に吸蔵さ
れていた残留ガス（主にＨ_２Ｏ）がセル内の放電の刺激
によって放電空間に放出されても、この吸着膜１１によ
り効率的に吸着され、セル内の放電空間を効率良く清浄
化することができる。つまり、本実施の形態において
は、吸着膜を各セル毎に設けているので、パネル内でエ
ージング中に放出される残留ガスの吸着能力が向上する
のでパネル内の真空度が向上し、しかもＰＤＰ内で均一
に吸着させることができるので、パネル内での残留ガス
残留量の分布が生じることが防止され、セルの放電ちら
つき現象が防止できる。なお、吸着膜１１はＨ_２Ｏに対
する吸着性が特に高い性質を持つ材料で構成されるのが
望ましい。In this embodiment, as shown in FIG. 2, since the adsorption film 11 is provided in each cell of the PDP, the residual gas in each cell is efficiently adsorbed in the heating / exhausting step. Further, even if the residual gas (mainly H ₂ O) stored in the cathode film 7 is released to the discharge space by the stimulation of the discharge in the cell, it is efficiently adsorbed by the adsorption film 11. The discharge space in the cell can be efficiently cleaned. That is, in the present embodiment, since the adsorption film is provided for each cell, the adsorption capacity of the residual gas released during aging in the panel is improved, so that the vacuum degree in the panel is improved and the PDP is also improved. Since it can be uniformly adsorbed within the panel, the distribution of the residual gas residual amount in the panel is prevented from occurring, and the discharge flicker phenomenon of the cell can be prevented. In addition, it is desirable that the adsorption film 11 is made of a material having a particularly high adsorption property for H ₂ O.

【００１９】また、パネル内の上記残留ガスは、特に青
色蛍光体（ＢａＭｇＡｌ_１０Ｏ_１７：Ｅｕ^２＋）の発光
色度に悪影響を及ぼす。図３は、加熱排気工程のパネル
内圧力と青色蛍光体（ＢａＭｇＡｌ_１０Ｏ_１７：Ｅｕ
^２＋）の発光色度ｙ値との関係を示した特性図で、上記
青色蛍光体を０．０５〜５００Ｔｏｒｒの条件で加熱排
気（３７０℃／１０時間）を行ったパネルから採取し
て、発光色度ｙ値の特性評価（１４７ｎｍ励起、粉体反
射評価）を行ったもので、横軸には圧力を、縦軸には色
純度を表すｙ値を示す。Further, the above-mentioned residual gas in the panel adversely affects the emission chromaticity of the blue phosphor (BaMgAl ₁₀ O ₁₇ : Eu ²⁺ ). FIG. 3 shows the panel pressure in the heating and exhausting process and the blue phosphor (BaMgAl ₁₀ O ₁₇ : Eu).
²⁺ ) is a characteristic diagram showing a relationship with the emission chromaticity y value, and the blue phosphor is sampled from a panel which is heated and exhausted (370 ° C./10 hours) under the condition of 0.05 to 500 Torr to emit light. Characteristic evaluation of chromaticity y value (excitation at 147 nm, evaluation of powder reflection) was performed. The horizontal axis represents pressure and the vertical axis represents y value representing color purity.

【００２０】図３から、大気圧から１．０×１０^−３Ｔ
ｏｒｒまでの圧力範囲において、ｙ値に大きな変化が起
こっていることが示される。従来の加熱排気時における
プラズマディスプレイパネル内圧力は、ｙ値の変動領域
となる１０^−２〜１０^−１Ｔｏｒｒの範囲にあり、この
圧力範囲は、青色蛍光体（ＢａＭｇＡｌ_１０Ｏ_１７：Ｅ
ｕ^２＋）の色度の変化が大きな領域にあたり、プラズマ
ディスプレイパネル内における排気用チップ管の近傍の
排気状態が良い領域の圧力と、排気用チップ管から遠い
プラズマディスプレイパネル中央部付近の排気状態の悪
い領域の圧力との差が１桁以上あるため、図３に示す特
性に準じて発光色度ｙ値に差が生じ、これによりプラズ
マディスプレイパネル内の表示特性を悪化させることに
なる。また、排気状態が不充分で、真空度が充分ではな
いと良好なｙ値（発光色度）が得られないことになる。From FIG. 3, from the atmospheric pressure, 1.0 × 10 ⁻³ T
It is shown that a large change occurs in the y value in the pressure range up to orr. The pressure in the plasma display panel during conventional heating and exhausting is in the range of 10 ⁻² to 10 ⁻¹ Torr, which is the variation range of the y value, and this pressure range is a blue phosphor (BaMgAl ₁₀ O ₁₇ : E).
u ²⁺ ) in the region where the change in chromaticity is large, the pressure in a region in the plasma display panel near the exhaust tip tube where the exhaust condition is good, and the exhaust state near the center of the plasma display panel far from the exhaust tip pipe Since the difference from the pressure in the bad region is one digit or more, a difference occurs in the emission chromaticity y value according to the characteristic shown in FIG. 3, which deteriorates the display characteristic in the plasma display panel. Further, if the exhaust condition is insufficient and the degree of vacuum is not sufficient, a good y value (emission chromaticity) cannot be obtained.

【００２１】つまり、図９に示す従来のプラズマディス
プレイパネルにおいては、排気状態が不充分で良好なｙ
値（発光色度）が得られないが、本実施の形態のプラズ
マディスプレイパネルにおいては、各セルに設けた吸着
膜１１が、残留ガスを吸着することにより、真空度が良
くなるので、青色蛍光体（ＢａＭｇＡｌ_１０Ｏ_１７：Ｅ
ｕ^２＋）の発光色度改善により色純度を改善する効果も
ある。つまり、吸着膜１１は、プラズマディスプレイパ
ネルの加熱排気時に、プラズマディスプレイパネル内の
カソード膜７および蛍光体層９および隔壁１０から放出
される大量の残留ガスを吸着し、到達真空度を１桁以上
向上させることができる。表１は吸着膜を設けていない
プラズマディスプレイパネルと、本実施の形態の、各セ
ルに吸着膜１１を設けたプラズマディスプレイパネル
（図１）の青色発光の色度を比較したものであり、青色
発光の色度ｙ値が０．０１５以上改善し、色再現領域が
拡張された。また青色純度が改善されたため白色色温度
が６００Ｋ以上改善し、白色バランスが大きく改善され
た。That is, in the conventional plasma display panel shown in FIG. 9, the exhaust condition is insufficient and the y
Although the value (emission chromaticity) cannot be obtained, in the plasma display panel of the present embodiment, since the adsorption film 11 provided in each cell adsorbs the residual gas, the degree of vacuum is improved, so that blue fluorescence is increased. Body (BaMgAl ₁₀ O ₁₇ : E
There is also an effect of improving the color purity by improving the emission chromaticity of u ²⁺ ). That is, the adsorbing film 11 adsorbs a large amount of residual gas released from the cathode film 7, the phosphor layer 9 and the partition walls 10 in the plasma display panel when the plasma display panel is heated and exhausted, and achieves an ultimate vacuum of one digit or more. Can be improved. Table 1 compares the chromaticity of blue light emission of the plasma display panel without the adsorption film and the plasma display panel (FIG. 1) of the present embodiment in which the adsorption film 11 is provided in each cell. The chromaticity y value of light emission was improved by 0.015 or more, and the color reproduction region was expanded. Further, since the blue purity was improved, the white color temperature was improved by 600 K or more, and the white balance was greatly improved.

【００２２】[0022]

【表１】 [Table 1]

【００２３】さらに、連続点灯１０００時間においても
動作電圧の変動は非常に小さく、安定な画像表示を行う
ことができた。また、本実施の形態のように吸着膜１１
を設けることにより、加熱排気工程において排気時間の
短縮が図れ、従来よりも製造コストを低くすることがで
きた。Further, the fluctuation of the operating voltage was very small even after 1000 hours of continuous lighting, and stable image display could be performed. Further, as in the present embodiment, the adsorption film 11
By providing the above, it is possible to shorten the exhaust time in the heating and exhaust step, and it is possible to reduce the manufacturing cost as compared with the conventional case.

【００２４】実施の形態２．特開平９‐１０２２８０号
公報に開示された面放電型プラズマディスプレイパネル
は、動作電圧が所定の電圧値よりも高くなるために起こ
る動作電圧の変動を防止するために、放電領域を限定す
るために放電不活性材料からなる絶縁膜を放電維持電極
対上に設けたもので、上記放電不活性材料として、例え
ばＭｇＯより仕事関数が高く、ＭｇＯに近い線膨張率を
有し、熱履歴に対して化学的に安定であるものとして、
Ａｌ_２Ｏ_３、ＴｉＯ_２等が開示されている。なお、上記
放電不活性材料として設けたＡｌ_２Ｏ_３膜は真空蒸着法
により形成されており、α-Ａｌ_２Ｏ_３とみなせるが、
α-Ａｌ_２Ｏ_３は表面が不活性であり吸着剤としての吸
着能力は不充分である。Embodiment 2. The surface discharge type plasma display panel disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 9-102280 is intended to limit the discharge area in order to prevent the fluctuation of the operating voltage caused by the operating voltage becoming higher than a predetermined voltage value. An insulating film made of a discharge inactive material is provided on a pair of discharge sustaining electrodes. The discharge inactive material has, for example, a work function higher than that of MgO and a linear expansion coefficient close to that of MgO. As being chemically stable,
Al ₂ O ₃ , TiO _{2 and the} like are disclosed. The Al ₂ O ₃ film provided as the discharge inert material is formed by the vacuum evaporation method and can be regarded as α-Al ₂ O ₃ , but
The surface of α-Al ₂ O ₃ is inactive, and the adsorption ability as an adsorbent is insufficient.

【００２５】本発明の第２の実施の形態のプラズマディ
スプレイパネルは、上記第１の実施の形態において、吸
着膜１１としてγ‐活性Ａｌ_２Ｏ_３を用いたものであ
る。γ‐活性Ａｌ_２Ｏ_３はＡｌ_２Ｏ_３水和物を加熱脱水
して得られる結晶性の低い中間Ａｌ_２Ｏ_３のことで、こ
の中間Ａｌ_２Ｏ_３は微結晶中の結晶水の脱水により生じ
る細孔が吸着の中心（活性点）となり、これが極性物質
を選択的に吸着する特性を有する。また、その組成は、
Ａｌ_２Ｏ_３・ａＨ_２Ｏ（ａ＝約０．１〜０．６）で示さ
れ、水分子は極性を持ち、γ‐活性Ａｌ_２Ｏ_３表面のＯ
Ｈ基に１つづつＨ_２Ｏ分子が結合する。なお、γ‐活性
Ａｌ_２Ｏ_３を、本実施の形態のＰＤＰの吸着膜１１とし
て用いるためには、Ａｌ_２Ｏ_３水和物の膜に、例えば４
５０℃で１時間程度の加熱プロセルを施すことが必要と
なる。表２は、各種吸着材料の比表面積を比較して示し
たもので、結晶性のα−Ａｌ _２Ｏ_３やルチル型ＴｉＯ_２
には上記吸着中心（活性点）が非常に少ないため、水分
吸着はγ‐活性Ａｌ_２Ｏ_３に比べて非常に小さいことが
わかる。The plasma display of the second embodiment of the present invention
The spray panel is the same as the spray panel in the first embodiment.
Γ-active Al as the deposition film 11_TwoO_ThreeUsing
It γ-active Al_TwoO_ThreeIs Al_TwoO_ThreeDehydration by heating hydrate
Intermediate Al with low crystallinity obtained by_TwoO_ThreeThis
Intermediate Al_TwoO_ThreeIs caused by dehydration of water of crystallization in microcrystals
The pores that form the center of adsorption (active sites) are polar substances.
Has a property of selectively adsorbing. Also, its composition is
Al_TwoO_Three・ AH_TwoO (a = about 0.1 to 0.6)
Water molecules have polarity and γ-active Al_TwoO_ThreeSurface O
H for each H group_TwoO molecules bond. Γ-activity
Al_TwoO_ThreeIs the adsorption film 11 of the PDP of the present embodiment.
To use_TwoO_ThreeA hydrate film, for example 4
It is necessary to apply a heating process at 50 ° C for about 1 hour.
Become. Table 2 shows a comparison of the specific surface areas of various adsorption materials.
And crystalline α-Al _TwoO_ThreeAnd rutile TiO_Two
Has very few adsorption centers (active sites),
Adsorption is γ-active Al_TwoO_ThreeCan be much smaller than
Recognize.

【００２６】[0026]

【表２】 [Table 2]

【００２７】ガス吸着量は比表面積と比例関係にあるこ
とから、本実施の形態に用いて吸着膜材料である平均粒
径０．５μｍのγ‐活性Ａｌ_２Ｏ_３において、平均粒径
１．０μｍおよび０．０３μｍのα−Ａｌ_２Ｏ_３の８０
倍および８倍、また、平均粒径０．３μｍのルチル型Ｔ
ｉＯ_２と比較して２０倍以上のガス吸着能を持つことを
示している。本実施の形態において、γ‐活性Ａｌ_２Ｏ
_３による吸着膜をプラズマディスプレイパネル内に設け
た場合の、プラズマディスプレイパネルの各特性を表３
に示す。表中、従来パネル１は吸着膜を設けないＰＤ
Ｐ、従来パネル２は特開平９‐１０２２８０号公報に開
示されたα‐Ａｌ_２Ｏ_３を設けたＰＤＰである。Since the amount of gas adsorbed is proportional to the specific surface area, the average particle size of γ-active Al ₂ O ₃ having an average particle size of 0.5 μm, which is an adsorbent film material used in the present embodiment, is 1. 80 of 0 μm and 0.03 μm α-Al ₂ O ₃
Rutile type T with double and eight times the average particle size 0.3 μm
It shows that it has a gas adsorption capacity of 20 times or more as compared with iO ₂ . In the present embodiment, γ-active Al ₂ O
Table 3 shows the characteristics of the plasma display panel when the adsorption film of No. ₃ is provided in the plasma display panel.
Shown in. In the table, the conventional panel 1 is a PD without an adsorption film.
P, the conventional panel 2 is a PDP provided with α-Al ₂ O ₃ disclosed in JP-A-9-102280.

【００２８】なお、各特性の評価基準を下記に示す。青色ｙ値 ×：ｙ＞０．１ △：０．０９＜ｙ≦０．１ ○：０．０８＜ｙ≦０．０９ ◎：ｙ≦０．０８白色温度 ×：白色温度＜６，０００Ｋ △：６，０００Ｋ≦白色温度≦７，０００Ｋ ○：７０００Ｋ＜白色温度≦７，５００Ｋ ◎：白色温度＞７，５００ＫThe evaluation criteria for each characteristic are shown below. Blue y value x: y> 0.1 Δ: 0.09 <y ≦ 0.1 ○: 0.08 <y ≦ 0.09 ◎: y ≦ 0.08 White temperature x: White temperature <6,000K Δ : 6,000K ≤ white temperature ≤ 7,000K ○: 7000K <white temperature ≤ 7,500K ◎: white temperature> 7,500K

【００２９】駆動安定性（ちらつき） 駆動特性のちらつきは、セルを電圧印加して発光させる
時に生じる点灯不良のセル数や視覚的な印象で決定する
ので、厳密に数による優劣の判断は困難であるが、本実
施の形態においては、下記のようにして判定した。 ×：ちらつき、書き込み不良のセル１０個以上 △：ちらつき、書き込み不良のセル５個以上１０個以下 ○：ちらつき、書き込み不良のセル５個以下 ◎：ちらつき、書き込み不良のセル０個 Driving stability (flicker) Since the flicker of the driving characteristics is determined by the number of cells with lighting failure and the visual impression that occur when cells are made to emit light by applying a voltage, it is difficult to strictly judge the superiority or inferiority based on the number. However, in the present embodiment, the determination is made as follows. ×: Flicker or defective writing 10 or more Δ: Flicker or defective writing 5 to 10 or less ○: Flicker or defective writing 5 or less ◎: Flicker or defective writing 0 cells

【００３０】寿命特性 ×：1000時間点灯後、ちらつきセル１０個以上 △：1000時間点灯後、ちらつきセル５個以上１０個以下 ○：1000時間点灯後、ちらつきセル５個以下 Life characteristics x: After illuminating for 1000 hours, 10 or more flicker cells △: After illuminating for 1000 hours, 5 to 10 flicker cells ○: After illuminating for 1000 hours, 5 or less flicker cells

【００３１】[0031]

【表３】 [Table 3]

【００３２】表３から、本実施の形態のプラズマディス
プレイパネルは極めて高いパネル内洗浄効果を得ること
ができるので、従来例に比較して、各セルの放電電圧を
安定化させてセルの放電ちらつき現象による画質低下の
改善および経時劣化特性を著しく改善したことが示され
る。From Table 3, since the plasma display panel of the present embodiment can obtain an extremely high in-panel cleaning effect, the discharge voltage of each cell is stabilized and the discharge flicker of the cell is stabilized as compared with the conventional example. It is shown that the image quality deterioration due to the phenomenon and the deterioration characteristics over time are significantly improved.

【００３３】実施の形態３．本発明の第３の実施の形態
のプラズマディスプレイパネルは、上記第１の実施の形
態において、吸着膜１１として非晶質活性シリカを用い
たものである。非晶質活性シリカはシリカゲルを例えば
３００℃で１時間程度焼成して活性化したもので、細孔
による海綿状をなしており、水蒸気をはじめ、アンモニ
アなどの種々の極性基を持つガスに対して強い吸着力を
示す。この吸着機構は、表面のシラノール（Ｓｉ−Ｏ
Ｈ）基のＯＨ基に１つづつ極性分子が結合するものであ
る。なお、結晶構造中に結晶水を含まない非晶質シリカ
を粉砕したシリカフィラー、ルチル型チタニア、アナタ
ース型チタニアも合わせて表２に示す。表２より、吸着
量は比表面積に比例することから、非晶質活性シリカは
α−Ａｌ_２Ｏ_３やルチル型チタニアと比較して１８倍お
よび６倍相当のガス吸着能を持つことを示している。Embodiment 3. The plasma display panel of the third embodiment of the present invention uses the amorphous activated silica as the adsorption film 11 in the first embodiment. Amorphous activated silica is activated by burning silica gel at, for example, 300 ° C. for about 1 hour, and has a sponge-like shape due to pores. It is suitable for gases such as water vapor and various polar groups such as ammonia. Exhibits a strong adsorption force. This adsorption mechanism is based on the surface silanol (Si-O
One polar molecule is bonded to each OH group of the H) group. Table 2 also shows silica filler, rutile-type titania, and anatase-type titania obtained by pulverizing amorphous silica having no crystal water in the crystal structure. From Table 2, since the adsorption amount is proportional to the specific surface area, it is shown that the amorphous activated silica has a gas adsorption capacity equivalent to 18 times and 6 times that of α-Al ₂ O ₃ and rutile type titania. ing.

【００３４】本実施の形態において、非晶質活性シリカ
による吸着膜をプラズマディスプレイパネル内に設けた
場合の、プラズマディスプレイパネルの各特性を表３に
示す。表３から、本実施の形態のプラズマディスプレイ
パネルは極めて高いパネル内洗浄効果を得ることができ
るので、従来例に比較して、各セルの放電電圧を安定化
させてセルの放電ちらつき現象による画質低下の改善お
よび経時劣化特性を著しく改善したことが示される。In this embodiment, Table 3 shows the characteristics of the plasma display panel when the adsorption film made of amorphous activated silica is provided in the plasma display panel. From Table 3, since the plasma display panel of the present embodiment can obtain an extremely high cleaning effect in the panel, compared with the conventional example, the discharge voltage of each cell is stabilized and the image quality due to the discharge flicker phenomenon of the cell is improved. It is shown that the degradation is improved and the deterioration characteristics over time are significantly improved.

【００３５】実施の形態４．本発明の第４の実施の形態
のプラズマディスプレイパネルは、上記第１の実施の形
態において、吸着膜１１として結晶性アルミノケイ酸塩
〔化学式Ｍ_２／ｎ・Ａｌ_２Ｏ_３・ｂＳｉＯ_２・ｃＨ_２Ｏ
（ｎは陽イオンＭの価数、２≦ｂ≦２００、ｃ≧０）〕
を用いたものである。上記ｂはシリカ／アルミナ比と呼
ばれ、ｂが小さい程水分吸着能は高く、大きい程耐熱性
が優れる。また、ｂが２未満ではゼオライト構造を構築
することができず、２００を越えたものは製造困難であ
る。上記結晶性アルミノケイ酸塩の構造は、Ｓｉ（また
はＡｌ）を中心とするＳｉＯ_４（ＡｌＯ_４）四面体が三
次元的に規則正しく配列したものであり、その配列の仕
方によって３〜１０Åの大きさの均一な細孔が形成され
る。頂点は、ＳｉまたはＡｌ原子の位置となる。Fourth Embodiment Fourth embodiment of the plasma display panel according to the present invention, in the above-mentioned first embodiment, the crystalline aluminosilicate _{[Formula M 2 / n · Al 2 O} 3 · bSiO 2 · cH 2 as an adsorption film 11 O
(N is the valence of the cation M, 2 ≦ b ≦ 200, c ≧ 0)]
Is used. The above b is called a silica / alumina ratio. The smaller the b, the higher the water adsorption capacity, and the larger the b, the better the heat resistance. Further, if b is less than 2, a zeolite structure cannot be constructed, and if b exceeds 200, it is difficult to manufacture. The crystalline aluminosilicate has a structure in which SiO ₄ (AlO ₄ ) tetrahedrons centering on Si (or Al) are three-dimensionally regularly arranged, and have a size of 3 to 10 Å depending on the arrangement. Uniform pores are formed. The apex is the position of Si or Al atom.

【００３６】結晶性アルミノケイ酸塩へのガス吸着は、
上記細孔内に存在する陽イオン（Ｍイオン）により生じ
る局所的な強い静電場によって起こる。また、細孔径は
交換される陽イオン種によって２〜５Åの範囲で変化さ
せることができ、細孔径よりも小さな分子のみを吸着す
ることができる。今回の実験においてはＭがＮａである
Ｎａ_２・Ａｌ_２Ｏ_３・ｄＳｉＯ_２・ｃＨ_２Ｏ（２≦ｄ≦
５、ｃ≧０）を用いた結果について述べる。Ｎａイオン
の場合の細孔径は４Åであり、水分子やアンモニア分子
などの小さい分子のみを選択的に吸着する。Gas adsorption on the crystalline aluminosilicate is
It is caused by a strong local electrostatic field generated by cations (M ions) existing in the pores. Further, the pore diameter can be changed within the range of 2 to 5Å depending on the cation species to be exchanged, and only molecules smaller than the pore diameter can be adsorbed. In this experiment, Na is Na ₂ · Al ₂ O ₃ · dSiO ₂ · cH ₂ O (2 ≦ d ≦
5, the result using c ≧ 0) will be described. In the case of Na ions, the pore diameter is 4Å, and only small molecules such as water molecules and ammonia molecules are selectively adsorbed.

【００３７】図４は、本実施の形態における吸着剤の水
の吸着等温線（２５℃）を示す特性図で、図中イはγ‐
活性Ａｌ_２Ｏ_３、ロは非晶質活性シリカ、ハはアナター
スＴｉＯ_２、ニは結晶性アルミノケイ酸塩の吸着等温線
である。図から、結晶性アルミノケイ酸塩はγ‐活性Ａ
ｌ_２Ｏ_３、非晶質活性シリカと比較して低分圧領域では
数倍〜数十倍の吸着容量を有することが示される。つま
り、プラズマディスプレイパネルの排気工程の圧力範囲
１０^−３〜１０^{− １}Ｔｏｒｒにおいて、結晶性アルミノ
ケイ酸塩はγ‐活性Ａｌ_２Ｏ_３、シリカゲル（Ｓｉ
Ｏ_２）、アナタースＴｉＯ_２に比較して１０倍以上の水
分吸着能を持つことを示し、プラズマディスプレイパネ
ルでの使用環境において、より有効に吸着効果を発揮で
きることができる。FIG. 4 is a characteristic diagram showing the adsorption isotherm (25 ° C.) of water of the adsorbent in the present embodiment, where a is γ-
Active Al ₂ O ₃ , b is amorphous activated silica, c is anatase TiO ₂ , and d is an adsorption isotherm of crystalline aluminosilicate. From the figure, it can be seen that crystalline aluminosilicate has γ-activity A
It is shown that the adsorption capacity in the low partial pressure region is several to several tens of times higher than that of l ₂ O ₃ and amorphous activated silica. That is, the pressure range ^{10-3 to} the plasma display panel of the exhaust process ^- in 1 Torr, crystalline aluminosilicate γ- active _Al 2 _{O 3,} silica gel (Si
O ₂ ), and anatase TiO ₂ are shown to have a water adsorption capacity 10 times or more higher than that of anatase TiO ₂ , and the adsorption effect can be more effectively exhibited in a use environment in a plasma display panel.

【００３８】図５は、本実施の形態における吸着剤の水
の吸着等温線（１０Ｔｏｒｒ）を示す特性図で、図中イ
はγ‐活性Ａｌ_２Ｏ_３、ロは非晶質活性シリカ、ニは結
晶性アルミノケイ酸塩の吸着等温線である。図から、結
晶性アルミノケイ酸塩は、γ‐活性Ａｌ_２Ｏ_３や非晶質
活性シリカに比較して高い温度においても大きな吸着容
量を持っていることを示しており、プラズマディスプレ
イパネル内の放電時の温度範囲（５０〜１００℃）にお
いては５倍以上の水分吸着能を持つことを示し、プラズ
マディスプレイパネルでの使用環境において、より有効
に吸着効果を発揮できることができる。FIG. 5 is a characteristic diagram showing the water adsorption isotherm (10 Torr) of the adsorbent in the present embodiment. In the figure, a is γ-active Al ₂ O ₃ , B is amorphous active silica, and Is the adsorption isotherm of crystalline aluminosilicate. From the figure, it is shown that crystalline aluminosilicate has a large adsorption capacity even at a high temperature compared to γ-active Al ₂ O ₃ and amorphous active silica, and the discharge in the plasma display panel is shown. In the temperature range of time (50 to 100 ° C.), it is shown to have a water adsorption capacity of 5 times or more, and the adsorption effect can be more effectively exhibited in the environment of use in the plasma display panel.

【００３９】また、本実施の形態においては、上記化学
式中のＭがＮａである場合について記述したが、Ｎａ以
外にＫ、Ｃａ、Ｃｓを用いた場合においても、結晶性ア
ルミノケイ酸塩のガス吸着は細孔内に存在する陽イオン
と被吸着物との間の静電的な相互作用に依存し、本実施
の形態と同様の上記効果を得ることができる。さらに分
子径の大きい極性・分極性分子または不飽和炭化水素を
吸着する場合は、結晶構造や陽イオン種を選択して細孔
径をさらに大きくすることにより、プラズマディスプレ
イパネル内の放電空間に存在するＨ_２Ｏ以外のＣＯ、Ｃ
Ｏ_２、Ｃ_ｘＨ_ｙガス等も選択的に吸着することができ
る。Further, although the case where M in the above chemical formula is Na has been described in the present embodiment, the gas adsorption of crystalline aluminosilicate is also possible when K, Ca or Cs other than Na is used. Depends on the electrostatic interaction between the cations existing in the pores and the substance to be adsorbed, and the same effect as in the present embodiment can be obtained. When adsorbing polar / polarizable molecules or unsaturated hydrocarbons with a larger molecular diameter, they exist in the discharge space in the plasma display panel by increasing the pore diameter by selecting the crystal structure or cation species. CO and C other than H ₂ O
O ₂ , C _x H _y gas and the like can also be selectively adsorbed.

【００４０】本実施の形態において、結晶性アルミノケ
イ酸塩による吸着膜をプラズマディスプレイパネル内に
設けた場合の、プラズマディスプレイパネルの各特性を
表３に示す。表３から、本実施の形態のプラズマディス
プレイパネルは極めて高いパネル内洗浄効果を得ること
ができるので、従来例に比較して、各セルの放電電圧を
安定化させてセルの放電ちらつき現象による画質低下の
改善および経時劣化特性を著しく改善したことが示され
る。Table 3 shows the characteristics of the plasma display panel in the case where the adsorption film made of crystalline aluminosilicate is provided in the plasma display panel in the present embodiment. From Table 3, since the plasma display panel of the present embodiment can obtain an extremely high cleaning effect in the panel, compared with the conventional example, the discharge voltage of each cell is stabilized and the image quality due to the discharge flicker phenomenon of the cell is improved. It is shown that the degradation is improved and the deterioration characteristics over time are significantly improved.

【００４１】以上、γ-活性Ａｌ_２Ｏ_３、非晶質活性シ
リカ、結晶性アルミノケイ酸塩の単一物質を残留ガス吸
着膜に用いた場合について述べたが、それぞれを混合し
た場合においても同様の効果が得られた。The case where a single substance of γ-active Al ₂ O ₃ , amorphous active silica, and crystalline aluminosilicate is used for the residual gas adsorption film has been described above. The effect of was obtained.

【００４２】実施の形態５．図６〜８は本発明の第５の
実施の形態のプラズマディスプレイパネル内の一部を示
す構造図で、吸着膜を設ける具体例を示す。図６は、吸
着膜１１が誘電体層６上に形成したベタ膜のカソード膜
７上に、対を成さない組み合わせの隣接するＸ電極とＹ
電極（例えば、Ｘ_ｎとＹ_ｎ−１）のギャップ部の上方を
通り、Ｘ電極およびＹ電極と平行な帯状のパターンに形
成されているものを示す。なお、図６において、吸着膜
１１は、Ｘ電極とＹ電極のギャップ部の上方を通り、Ｘ
電極およびＹ電極と直交するように設けても良い。Embodiment 5. 6 to 8 are structural views showing a part of the inside of the plasma display panel according to the fifth embodiment of the present invention, showing a specific example in which an adsorption film is provided. In FIG. 6, the adsorbed film 11 is formed on the dielectric layer 6 and is formed on the solid cathode film 7.
It shows that the electrodes (for example, X _n and Y _n-1 ) are formed in a band-shaped pattern that passes over the gap portion and is parallel to the X electrode and the Y electrode. In FIG. 6, the adsorption film 11 passes above the gap between the X electrode and the Y electrode, and
It may be provided so as to be orthogonal to the electrodes and the Y electrodes.

【００４３】吸着膜１１は、吸着膜用粉末３０ｗｔ％、
エチルセルロース樹脂３０ｗｔ％およびテルピネオール
４０ｗｔ％を混練して、ペーストの粘度を３０〜１００
Ｐａ・ｓの範囲になるように調整して印刷ペーストを製
造し、スクリーン印刷法によって幅３００μｍ、厚さ
１．５〜２μｍに形成したものである。The adsorption film 11 is composed of an adsorption film powder of 30 wt%,
Ethyl cellulose resin 30 wt% and terpineol 40 wt% were kneaded to obtain a paste having a viscosity of 30 to 100.
A printing paste is manufactured by adjusting it so that it falls within the range of Pa · s, and is formed into a width of 300 μm and a thickness of 1.5 to 2 μm by a screen printing method.

【００４４】なお、吸着膜１１の形成方法は、スクリー
ン印刷法以外の方法、例えば、フォトリソグラフィ法、
ディスペンサ法、ドライフィルム化して粘着させる方法
またはスピンコータ法によって形成したベタ膜を、リフ
トオフ法によりパターニングすることによっても得るこ
とができる。The method of forming the adsorption film 11 is not limited to the screen printing method, for example, the photolithography method,
It can also be obtained by patterning a solid film formed by a dispenser method, a method of forming a dry film for adhesion, or a spin coater method by a lift-off method.

【００４５】また、図６において、吸着膜１１は、残留
ガスを吸着する他に、画像表示の放電に寄与しないカソ
ード膜部分（例えば、隔壁真上部分およびその近傍部
分）を覆うように形成しているため、カソード膜の露出
面積を小さくしてカソード膜からの残留ガスの放出量を
低減する効果を備えている。Further, in FIG. 6, the adsorption film 11 is formed so as to cover the cathode film portion (for example, the portion immediately above the partition wall and the portion in the vicinity thereof) which does not contribute to the discharge of the image display in addition to adsorbing the residual gas. Therefore, the exposed area of the cathode film is reduced to reduce the amount of residual gas released from the cathode film.

【００４６】図７は、カソード膜パターン７はベタ膜の
吸着膜１１上にパターン状に形成されている場合を示
す。即ち、カソード膜７は誘電体層６上に形成したベタ
膜の吸着膜１１上に、対を成さない組み合わせの隣接す
るＸ電極とＹ電極（例えば、Ｘ _ｎとＹ_ｎ−１）のギャッ
プ部の上方を通り、Ｘ電極およびＹ電極と平行な帯状の
パターンに形成されている。なお、図７において、吸着
膜１１は、Ｘ電極とＹ電極のギャップ部の上方を通り、
Ｘ電極およびＹ電極と直交するように設けても良い。In FIG. 7, the cathode film pattern 7 is a solid film.
The case where it is formed in a pattern on the adsorption film 11 is shown.
You That is, the cathode film 7 is a solid layer formed on the dielectric layer 6.
On the adsorbing membrane 11 of the membrane, adjacent pairs of unpaired combinations are provided.
X and Y electrodes (for example, X _nAnd Y_n-1) Gat
A strip-shaped strip that passes over the upper part and is parallel to the X and Y electrodes.
It is formed in a pattern. In addition, in FIG.
The film 11 passes above the gap between the X and Y electrodes,
It may be provided so as to be orthogonal to the X electrode and the Y electrode.

【００４７】放電空間に位置するように設けられた帯状
のカソード膜パターン７は幅１００μｍであり、蒸着成
膜法によって形成したベタ膜をリフトオフ法によりパタ
ーニングしたものである。図８は、図７において、カソ
ード膜９を島状パターンに、隣り合う隔壁１０の間の放
電空間に設けたものである。The strip-shaped cathode film pattern 7 provided so as to be located in the discharge space has a width of 100 μm, and is formed by patterning the solid film formed by the vapor deposition method by the lift-off method. In FIG. 8, the cathode film 9 is provided in an island pattern in FIG. 7 in the discharge space between the adjacent barrier ribs 10.

【００４８】上記のように、吸着膜を設けたプラズマデ
ィスプレイパネルは、上記実施の形態と同様のプラズマ
ディスプレイパネル特性を得ることができ、従来のプラ
ズマディスプレイパネルに比べて、画像表示の安定性
や、発光特性、寿命特性が大きく改善した。As described above, the plasma display panel provided with the adsorption film can obtain the same plasma display panel characteristics as those of the above-mentioned embodiments, and the stability of image display and the stability of image display can be improved as compared with the conventional plasma display panel. , The emission characteristics and life characteristics were greatly improved.

【００４９】なお、本実施の形態において、図６〜８に
示す他、放電に有効なカソード膜領域を確保することが
できる構造であれば、吸着膜をどのように設けても同一
の効果を得ることができる。In the present embodiment, in addition to the structure shown in FIGS. 6 to 8, the same effect can be obtained regardless of how the adsorption film is provided as long as it has a structure capable of ensuring an effective cathode film region for discharge. Obtainable.

【００５０】[0050]

【発明の効果】本発明の第１のプラズマディスプレイパ
ネルは、平行に配置された放電維持電極対を有する第１
の基板と、上記放電維持電極対と交差するように放電空
間を挟んで対向配置されたアドレス電極を有する第２の
基板と、上記放電維持電極対とアドレス電極との交差部
を含むように、隔壁によって仕切られてなるセルとを備
えたプラズマディスプレイパネルにおいて、上記セル内
に配設された吸着膜を有すること特徴とするもので、放
電ちらつき現象による画質低下の改善および経時劣化特
性を改善したという効果がある。The first plasma display panel of the present invention has the first pair of discharge sustaining electrodes arranged in parallel.
A second substrate having address electrodes arranged so as to face the discharge sustaining electrode pair with a discharge space in between so as to cross the discharge sustaining electrode pair, and an intersection of the discharge sustaining electrode pair and the address electrode, A plasma display panel having cells partitioned by partition walls, characterized in that it has an adsorption film disposed in the cells, improved image quality deterioration due to discharge flicker phenomenon and improved deterioration characteristics over time. There is an effect.

【００５１】本発明の第２のプラズマディスプレイパネ
ルは、上記第１のプラズマディスプレイパネルにおい
て、吸着膜が、結晶性アルミノケイ酸塩からなることを
特徴とするもので、放電ちらつき現象による画質低下の
改善および経時劣化特性をさらに改善したという効果が
ある。A second plasma display panel according to the present invention is characterized in that, in the first plasma display panel, the adsorbing film is made of crystalline aluminosilicate, and the deterioration of the image quality due to the discharge flicker phenomenon is improved. Further, there is an effect that the deterioration characteristics over time are further improved.

【００５２】本発明の第３のプラズマディスプレイパネ
ルは、上記第１のプラズマディスプレイパネルにおい
て、吸着膜が、γ-活性Ａｌ_２Ｏ_３または非晶質活性シ
リカからなることを特徴とするもので、放電ちらつき現
象による画質低下の改善および経時劣化特性を改善した
という効果がある。A third plasma display panel of the present invention is characterized in that, in the first plasma display panel, the adsorption film is made of γ-active Al ₂ O ₃ or amorphous active silica. This has the effect of improving the deterioration of image quality due to the phenomenon of discharge flicker and improving the deterioration characteristics over time.

【００５３】本発明の第４のプラズマディスプレイパネ
ルは、上記第１のプラズマディスプレイパネルにおい
て、吸着膜が、放電維持電極対上に形成されたカソード
膜に設けられていることを特徴とするもので、特にカソ
ード膜の露出面積を小さくしてカソード膜からの残留ガ
スの放出量を低減する効果ある。A fourth plasma display panel of the present invention is characterized in that, in the above-mentioned first plasma display panel, the adsorption film is provided on the cathode film formed on the discharge sustaining electrode pair. In particular, the exposed area of the cathode film is reduced to reduce the amount of residual gas released from the cathode film.

【００５４】本発明の第１の吸着材料は、結晶性アルミ
ノケイ酸塩からなり、上記第１のプラズマディスプレイ
パネルの吸着膜に用いるもので、ＰＤＰの使用雰囲気で
の吸着能に優れるという効果がある。The first adsorbent material of the present invention is made of crystalline aluminosilicate and is used for the adsorbent film of the first plasma display panel, and has an effect of excellent adsorbability in the atmosphere in which the PDP is used. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】 本発明の第１の実施の形態のプラズマディス
プレイパネルの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a plasma display panel according to a first embodiment of the present invention.

【図２】 図１における断面図である。FIG. 2 is a sectional view of FIG.

【図３】 一般的は、パネル内圧力と青色蛍光体（Ｂａ
ＭｇＡｌ_１０Ｏ_１７：Ｅｕ^２＋）の発光色度ｙ値との関
係を示した特性図である。[Fig. 3] Generally, panel pressure and blue phosphor (Ba
It is a characteristic view showing the relationship with the emission chromaticity y value of MgAl ₁₀ O ₁₇ : Eu ²⁺ ).

【図４】 本実施の形態における吸着剤の水の吸着等温
線（２５℃）を示す特性図である。FIG. 4 is a characteristic diagram showing an adsorption isotherm (25 ° C.) of water of an adsorbent in the present embodiment.

【図５】 本実施の形態における吸着剤の水の吸着等温
線（１０Ｔｏｒｒ）を示す特性図である。FIG. 5 is a characteristic diagram showing an adsorption isotherm (10 Torr) of water of the adsorbent in the present embodiment.

【図６】 本発明の第５の実施の形態のプラズマディス
プレイパネル内の一部を示す構造図である。FIG. 6 is a structural diagram showing a part of a plasma display panel according to a fifth embodiment of the present invention.

【図７】 本発明の第５の実施の形態のプラズマディス
プレイパネル内の一部を示す構造図である。FIG. 7 is a structural diagram showing a part inside a plasma display panel according to a fifth embodiment of the present invention.

【図８】 本発明の第５の実施の形態のプラズマディス
プレイパネル内の一部を示す構造図である。FIG. 8 is a structural diagram showing a part of a plasma display panel according to a fifth embodiment of the present invention.

【図９】 従来の面放電型のＡＣ型プラズマディスプレ
イパネルの構造を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing a structure of a conventional surface discharge type AC plasma display panel.

【図１０】 従来のＡＣ型プラズマディスプレイパネル
の要部断面図である。FIG. 10 is a sectional view of a main part of a conventional AC type plasma display panel.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ プラズマディスプレイパネル、２ 第１の基板、３
第２の基板、４ 放電維持電極対、６ 誘電体層、７
カソード膜、８ アドレス電極、９Ｒ、９Ｇ、９Ｂ
赤、緑、青の蛍光体層、１０ 隔壁、１１ 吸着膜、１
２ セル、１３は残留ガス。1 plasma display panel, 2 first substrate, 3
Second substrate, 4 Discharge sustaining electrode pair, 6 Dielectric layer, 7
Cathode film, 8 address electrodes, 9R, 9G, 9B
Red, green and blue phosphor layers, 10 partition walls, 11 adsorption films, 1
2 cells, 13 is residual gas.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ０１Ｊ 20/16 Ｂ０１Ｊ 20/16 (72)発明者 永野 眞一郎 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 松野 繁 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 4D052 AA00 CA02 HA01 HA02 HB02 4G066 AA20B AA22B AA30B BA03 CA35 CA38 CA43 DA01 5C040 FA01 FA04 GB03 GB14 HA08 MA10 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. ⁷ Identification code FI theme code (reference) B01J 20/16 B01J 20/16 (72) Inventor Shinichiro Nagano 2-3-3 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Ryoden Co., Ltd. (72) Inventor Shigeru Matsuno 2-3-3 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Sanryo Denki Co., Ltd. F-term (reference) 4D052 AA00 CA02 HA01 HA02 HB02 4G066 AA20B AA22B AA30B BA03 CA35 CA38 CA43 DA01 5C040 FA01 FA04 GB03 GB14 HA08 MA10

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 平行に配置された放電維持電極対を有す
る第１の基板と、上記放電維持電極対と交差するように
放電空間を挟んで対向配置されたアドレス電極を有する
第２の基板と、上記放電維持電極対とアドレス電極との
交差部を含むように、隔壁によって仕切られてなるセル
とを備えたプラズマディスプレイパネルにおいて、上記
セル内に配設された吸着膜を有することを特徴とするプ
ラズマディスプレイパネル。1. A first substrate having a pair of discharge sustaining electrodes arranged in parallel, and a second substrate having an address electrode facing each other across a discharge space so as to intersect the pair of discharge sustaining electrodes. A plasma display panel including a cell partitioned by a partition wall so as to include an intersection of the discharge sustaining electrode pair and the address electrode, wherein the plasma display panel has an adsorption film disposed in the cell. Plasma display panel. 【請求項２】 吸着膜が、結晶性アルミノケイ酸塩から
なることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディス
プレイパネル。2. The plasma display panel according to claim 1, wherein the adsorption film is made of crystalline aluminosilicate. 【請求項３】 吸着膜が、γ-活性Ａｌ_２Ｏ_３または非
晶質活性シリカからなることを特徴とする請求項１に記
載のプラズマディスプレイパネル。3. The plasma display panel according to claim 1, wherein the adsorption film is made of γ-active Al ₂ O ₃ or amorphous active silica. 【請求項４】 吸着膜が、放電維持電極対上に形成され
たカソード膜に設けられていることを特徴とする請求項
１に記載のプラズマディスプレイパネル。4. The plasma display panel according to claim 1, wherein the adsorption film is provided on the cathode film formed on the discharge sustaining electrode pair. 【請求項５】 結晶性アルミノケイ酸塩からなり、請求
項１に記載のプラズマディスプレイパネルの吸着膜に用
いることを特徴とする吸着材料。5. An adsorbent material comprising a crystalline aluminosilicate and used for an adsorbent film of the plasma display panel according to claim 1.