JP2003263851A - ヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ、該アクチュエータを備えたヘッドジンバルアセンブリ及び該ヘッドジンバルアセンブリを備えたディスク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 製造が容易でありかつ充分なストロークを確
保することができしかも良好な共振特性を得ることがで
きるヘッド素子の微小位置決め用アクチュエータ、この
アクチュエータを備えたＨＧＡ及びこのＨＧＡを備えた
ディスク装置を提供する。 【解決手段】 少なくとも１つのヘッド素子を有するヘ
ッドスライダと支持機構とに固着されることによりヘッ
ド素子の微小位置決めを行うためのアクチュエータであ
って、支持機構に固定される基部と、この基部から突出
しており、それらの間にもうけたヘッドスライダを駆動
信号に従って変位させるための１対の可動アーム部とを
備えており、可動アーム部の主要部及び基部が可撓性を
有する１枚の金属板から構成されており、基部にこの基
部の剛性を増大するための補強部材がもうけられてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜磁気ヘッド素
子又は光ヘッド素子等のヘッド素子の微小位置決め用ア
クチュエータ、このアクチュエータを備えたヘッドジン
バルアセンブリ（ＨＧＡ）及びこのＨＧＡを備えたディ
スク装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気ディスク装置では、ＨＧＡのサスペ
ンションの先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダ
を、回転する磁気ディスクの表面から浮上させ、その状
態で、この磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘ
ッド素子により磁気ディスクへの記録及び／又は磁気デ
ィスクからの再生が行われる。

【０００３】近年、磁気ディスク装置の大容量化及び高
密度記録化に伴い、ディスク半径方向（トラック幅方
向）の密度の高密度化が進んできており、従来のごとき
ボイスコイルモータ（以下ＶＣＭと称する）のみによる
制御では、磁気ヘッドの位置を正確に合わせることが難
しくなってきている。

【０００４】磁気ヘッドの精密位置決めを実現する手段
の一つとして提案されているのが、従来のＶＣＭよりさ
らに磁気ヘッドスライダ側にもう１つのアクチュエータ
機構を搭載し、ＶＣＭで追従しきれない微細な精密位置
決めを、そのアクチュエータによって行う技術である
（例えば、特開平６−２５９９０５号公報、特開平６−
３０９８２２号公報、特開平８−１８０６２３号公報参
照）。

【０００５】この種のアクチュエータとして、ロードビ
ーム型アクチュエータ、ピギーバック型アクチュエータ
等の種々の構造のものが存在する。

【０００６】ロードビーム型アクチュエータは、サスペ
ンションのロードビーム上に２つのＰＺＴを搭載し、こ
れらＰＺＴを互いに補助し合うように駆動してロードビ
ームを変位させ磁気ヘッドスライダを微小変位させるも
のである。

【０００７】一方、ピギーバック型アクチュエータは、
サスペンションに固定される一方の端部と、磁気ヘッド
スライダに固定される他方の端部と、これら端部を連結
するピラー状の変位発生部とをＰＺＴによりＩ字形状に
一体形成してなるものであり、ＰＺＴを駆動することに
よって磁気ヘッドスライダを直接的に微小変位させる。
このピギーバック型アクチュエータはサスペンション上
にアクチュエータと磁気ヘッドスライダとが階段状に取
り付けられる。即ち、サスペンションと磁気ヘッドスラ
イダとの間にアクチュエータが挟まれた積上げ式のカン
チレバー（片持ちはり）構造となっている。

【０００８】上述した従来の微小精密位置決め用アクチ
ュエータは、（１）機械的共振が、比較的低い周波数で
発生する、（２）アクチュエータ全体がもろい材質のＰ
ＺＴ等の圧電部材で構成されているので耐衝撃性が非常
に低い、特にピギーバック型アクチュエータは、磁気ヘ
ッドスライダと階段状に積上げたカンチレバー構造とな
るため、モーメントで衝撃が働き耐衝撃性が著しく低
い、（３）磁気ヘッドスライダの寸法によって、微小位
置決め動作時のストロークが変わってしまい、十分なス
トロークを得られない場合がある、（４）ＨＧＡへの組
み立て時の取り扱いが非常に困難である、（５）特にピ
ギーバック型アクチュエータを用いてＨＧＡを構成する
と、積上げた構造であるため、磁気ヘッドスライダ部分
のＨＧＡの厚みがアクチュエータの分だけ増大する、
（６）ピギーバック型アクチュエータを用いてＨＧＡを
構成する場合、立体的で複雑な取り付け構造を有してい
るため、組み立て時の取り扱いが非常に困難であり、従
来のＨＧＡ組み立て装置を適用できず、生産性が非常に
悪い、（７）ピギーバック型アクチュエータを用いてＨ
ＧＡを構成する場合、アクチュエータの動きを阻害しな
いために、磁気ヘッドスライダ及びアクチュエータ間、
並びにアクチュエータ及びサスペンション間に間隙を置
いて組み立てる必要があるが、このような間隙を設ける
ことは、耐衝撃性をさらに悪化させるのみならず、組み
立てにあたって間隙を一定としなければならないので、
組み立て精度が低下する。特に、サスペンション、アク
チュエータ及び磁気ヘッドスライダの平行度が正確に保
つことが難しいので、ヘッド特性が悪化する、等の種々
の問題点を有している。

【０００９】このような問題点を解消するため、本願出
願人は、金属板による１対の可動アーム間に磁気ヘッド
スライダを挟設固定するように構成したアクチュエータ
を提案している（特願２０００−３３２２５５）。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このア
クチュエータは、全体を可撓性を有する金属板で構成し
ているため、可動アームの根元にある固定部の剛性が低
く、ＰＺＴで発生した力が可動アームの先端部に効率良
く伝わらないので充分なストロークを得ることができな
いという問題及び共振特性が良好ではないという問題を
有している。

【００１１】従って本発明は、従来技術の上述した問題
点を解消するものであり、その目的は、製造が容易であ
りかつ充分なストロークを確保することができるヘッド
素子の微小位置決め用アクチュエータ、このアクチュエ
ータを備えたＨＧＡ及びこのＨＧＡを備えたディスク装
置を提供することにある。

【００１２】本発明の他の目的は、製造が容易でありか
つ良好な共振特性を得ることができるヘッド素子の微小
位置決め用アクチュエータ、このアクチュエータを備え
たＨＧＡ及びこのＨＧＡを備えたディスク装置を提供す
ることにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、少なく
とも１つのヘッド素子を有するヘッドスライダと支持機
構とに固着されることによりヘッド素子の微小位置決め
を行うためのアクチュエータであって、支持機構に固定
される基部と、この基部から突出しており、それらの間
にもうけたヘッドスライダを駆動信号に従って変位させ
るための１対の可動アーム部とを備えており、可動アー
ム部の主要部及び基部が可撓性を有する１枚の金属板か
ら構成されており、基部にこの基部の剛性を増大するた
めの補強部材がもうけられているヘッド素子の微小位置
決め用アクチュエータが提供される。

【００１４】可動アーム部の主要部及び基部が可撓性を
有する１枚の金属板で形成されているため、製造が容易
となりかつ強度が高いアクチュエータが得られる。しか
も、アクチュエータ全体の軽量化を図ることができ、耐
衝撃性向上を図ることができる。特に、その基部に剛性
を増大するための補強部材がもうけられているので、ア
クチュエータ固定部の剛性を高めることができるから、
共振特性を大幅に向上させることができる。また、アク
チュエータ固定部の剛性が増大するので、圧電素子が発
生した力を可動アーム部の先端に効率良く伝えることが
可能となるので、変位特性が向上し、充分なストローク
を得ることができる。

【００１５】さらに、強度の高い金属板を用いることか
ら、ＨＧＡへの組み立て時の取り扱いが非常に容易にな
る。また、金属板を用いれば、その形状や寸法等で設計
上の自由度が向上する。しかも、高精度に加工できる金
属板を用いることによって、アクチュエータ自体の寸法
精度を大幅に高めることが可能となる。

【００１６】また、駆動信号に従って板平面と交差する
方向に変位する１対の可動アーム部間にヘッドスライダ
を挟設するように構成しているため、アクチュエータを
設けてもこの部分でＨＧＡの厚みが増大するような不都
合が生じない。このため、アクチュエータ装着による磁
気ディスク装置の寸法変更等は不要となる。また、アク
チュエータ及びヘッドスライダがカンチレバー構造とは
ならないため、その意味からも耐衝撃性が大幅に向上す
る。しかも、可動アーム部間にヘッドスライダを挟設す
る構造としているため、変位を実際に与える可動アーム
部の先端部がヘッドスライダの先端まで伸ばせることと
なる。このため、ヘッドスライダの寸法が変った場合に
も微小位置決め動作時に同じ大きさのストロークを提供
できるから必要十分なストロークを得ることができる。

【００１７】記基部が、Ｕ字形状の断面を有しているこ
とが好ましい。

【００１８】可動アーム部の主要部及び基部が、可撓性
を有する１枚の形状加工された金属板を折り曲げてなる
構造を有していることが好ましい。

【００１９】補強部材が、基部内に空隙なしの中実に又
は空隙を持って挿入されたブロック部材からなることも
好ましい。この場合、ブロック部材が、エポキシ系接着
剤又は樹脂によるブロックを含んでいるか、又は金属材
料によるブロックを含んでいることガより好ましい。

【００２０】補強部材が、基部にもうけられた板部材で
あることも好ましい。

【００２１】この板部材が、平板形状の板部材であるこ
とがより好ましい。この板部材が、基部の縁端間を連結
する平板部材であるか、基部の少なくとも１つの面上に
平行に固着された平板部材であることがさらに好まし
い。

【００２２】板部材が、Ｕ字形状の板部材であることも
好ましい。

【００２３】板部材が、金属板部材又は樹脂板部材であ
ることも好ましい。

【００２４】可動アーム部の先端部にヘッドスライダの
側面が固着されるスライダ固着部を有することも好まし
い。この場合、スライダ固着部が、金属板を内側に折り
曲げた構造を有していることが好ましい。

【００２５】可動アーム部の先端部を互いに連結する連
結部がもうけられており、この連結部にヘッドスライダ
が固着されるように構成されていることも好ましい。

【００２６】可動アーム部が、可撓性を有する金属板に
よるアーム部材と、アーム部材の面上に積層又は接着さ
れた圧電素子とを備えていることも好ましい。

【００２７】以上述べたヘッド素子が薄膜磁気ヘッド素
子であることも好ましい。

【００２８】本発明によれば、さらに、上述した微小位
置決め用アクチュエータと、アクチュエータの１対の可
動アーム部間に挟設されたヘッドスライダと、アクチュ
エータに固着された支持機構とを備えたＨＧＡが提供さ
れる。

【００２９】本発明によれば、さらにまた、以上述べた
少なくとも１つのＨＧＡを備えたディスク装置が提供さ
れる。

【００３０】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施形態とし
て、磁気ディスク装置の要部の構成を概略的に示す斜視
図であり、図２はヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）
全体を表す斜視図であり、図３及び図４は本実施形態に
おけるＨＧＡの先端部を互いに異なる方向から見た斜視
図である。

【００３１】図１において、１０は軸１１の回りを回転
する複数の磁気ディスク、１２は磁気ヘッドスライダを
トラック上に位置決めするためのアセンブリキャリッジ
装置をそれぞれ示している。アセンブリキャリッジ装置
１２は、軸１３を中心にして角揺動可能なキャリッジ１
４と、このキャリッジ１４を角揺動駆動する例えばボイ
スコイルモータ（ＶＣＭ）からなる主アクチュエータ１
５とから主として構成されている。

【００３２】キャリッジ１４には、軸１３の方向にスタ
ックされた複数の駆動アーム１６の基部が取り付けられ
ており、各駆動アーム１６の先端部にはＨＧＡ１７が固
着されている。各ＨＧＡ１７は、その先端部に設けられ
ている磁気ヘッドスライダが、各磁気ディスク１０の表
面に対して対向するように駆動アーム１６の先端部に設
けられている。

【００３３】図２〜図４に示すように、ＨＧＡは、サス
ペンション２０の先端部に、磁気ヘッド素子２１ａを有
する磁気ヘッドスライダ２１の側面を挟持している精密
位置決めを行うためのアクチュエータ２２を固着して構
成される。

【００３４】図１に示す主アクチュエータ１５はＨＧＡ
１７を取り付けた駆動アーム１６を変位させてアセンブ
リ全体を動かすために設けられており、アクチュエータ
２２はそのような主アクチュエータ１５では駆動できな
い微細な変位を可能にするために設けられている。な
お、アクチュエータ２２の固定部、即ち基部内には、後
述するように補強部材３３がもうけられている。

【００３５】サスペンション２０は、図２〜図４に示す
ように、第１及び第２のロードビーム２３及び２４と、
これら第１及び第２のロードビーム２３及び２４を互い
に連結する弾性を有するヒンジ２５と、第２のロードビ
ーム２４及びヒンジ２５上に固着支持された弾性を有す
るフレクシャ２６と、第１のロードビーム２３の取り付
け部２３ａに設けられた円形のベースプレート２７とか
ら主として構成されている。

【００３６】フレクシャ２６は、第２のロードビーム２
４に設けられたディンプル（図示なし）に押圧される適
切なスティフネスを有する舌部２６ａを一方の端部に有
しており、この舌部２６ａ上には、ポリイミド等による
絶縁層２６ｂを介してアクチュエータ２２の基部が固着
されている。このフレクシャ２６は、この舌部２６ａで
アクチュエータ２２を介して磁気ヘッドスライダ２１を
柔軟に支えるような弾性を持っている。フレクシャ２６
は、本実施形態では、厚さ約２０μｍのステンレス鋼板
（例えばＳＵＳ３０４ＴＡ）によって構成されている。
なお、フレクシャ２６と第２のロードビーム２４及びヒ
ンジ２５との固着は、複数の溶接点によるピンポイント
固着によってなされている。

【００３７】ヒンジ２５は、第２のロードビーム２４に
アクチュエータ２２を介してスライダ２１を磁気ディス
ク方向に押えつける力を与えるための弾性を有してい
る。このヒンジ２５は、本実施形態では、厚さ約４０μ
ｍのステンレス鋼板によって構成されている。

【００３８】第１のロードビーム２３は、本実施形態で
は、約１００μｍ厚のステンレス鋼板で構成されてお
り、ヒンジ２５をその全面に渡って支持している。ただ
し、ロードビーム２３とヒンジ２５との固着は、複数の
溶接点によるピンポイント固着によってなされている。
また、第２のロードビーム２４も、本実施形態では、約
１００μｍ厚のステンレス鋼板で構成されており、ヒン
ジ２５にその端部において固着されている。ただし、ロ
ードビーム２４とヒンジ２５との固着も、複数の溶接点
によるピンポイント固着によってなされている。なお、
この第２のロードビーム２４の先端には、非動作時にＨ
ＧＡを磁気ディスク表面から離しておくためのリフトタ
ブ２４ａが設けられている。

【００３９】ベースプレート２７は、本実施形態では、
約１５０μｍ厚のステンレス鋼又は鉄で構成されてお
り、第１のロードビーム２３の基部の取り付け部２３ａ
に溶接によって固着されている。このベースプレート２
７が駆動アーム１６（図１）に取り付けられる。

【００４０】フレクシャ２６上には、積層薄膜パターン
による複数のリード導体を含む可撓性の配線部材２８が
形成又は載置されている。配線部材２８は、フレクシブ
ルプリント回路（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔ Ｃｉ
ｒｃｕｉｔ、ＦＰＣ）のごとく金属薄板上にプリント基
板を作成するのと同じ公知のパターニング方法で形成さ
れている。この配線部材２８は、例えば、厚さ約５μｍ
のポリイミド等の樹脂材料による第１の絶縁性材料層、
パターン化された厚さ約４μｍのＣｕ層（リード導体
層）及び厚さ約５μｍのポリイミド等の樹脂材料による
第２の絶縁性材料層をこの順序でフレクシャ２６側から
順次積層することによって形成される。ただし、磁気ヘ
ッド素子、アクチュエータ及び外部回路と接続するため
の接続パッドの部分は、Ｃｕ層上にＡｕ層が積層形成さ
れており、その上に絶縁性材料層は形成されていない。

【００４１】本実施形態においてこの配線部材２８は、
磁気ヘッド素子に接続される片側２本、両側で計４本の
リード導体を含む第１の配線部材２８ａと、アクチュエ
ータ２２に接続される片側１本、両側で計２本のリード
導体を含む第２の配線部材２８ｂとから構成されてい
る。

【００４２】第１の配線部材２８ａのリード導体の一端
は、フレクシャ２６の先端部において、このフレクシャ
２６から切り離されており自由運動できる分離部２６ｃ
上に設けられた磁気ヘッド素子用接続パッド２９に接続
されている。接続パッド２９は、磁気ヘッドスライダ２
１の端子電極２１ｂに金ボンディング、ワイヤボンディ
ング又はステッチボンディング等により接続されてい
る。第１の配線部材２８ａのリード導体の他端は外部回
路と接続するための外部回路用接続パッド３０に接続さ
れている。

【００４３】第２の配線部材２８ｂのリード導体の一端
は、フレクシャ２６の舌部２６ａの絶縁層２６ｂ上に形
成されたアクチュエータ用接続パッド３１に接続されて
おり、この接続パッド３１はアクチュエータ２２の基部
に設けられたＡチャネル信号端子電極２２ａ及び図示し
ないＢチャネル信号端子電極にそれぞれ接続されてい
る。第２の配線部材２８ｂのリード導体の他端は外部回
路と接続するための外部回路用接続パッド３０に接続さ
れている。

【００４４】本発明のＨＧＡにおけるサスペンションの
構造は、以上述べた構造に限定されるものではないこと
は明らかである。なお、図示されていないが、サスペン
ション２０の途中にヘッド駆動用ＩＣチップを装着して
もよい。

【００４５】図５は本実施形態におけるアクチュエータ
に磁気ヘッドスライダを取付けた構造を示す斜視図であ
り、図６はこのアクチュエータの補強部材の部分を示す
側面図、図７はこのアクチュエータの圧電素子部分の構
造を示す断面図である。なお、図５は、図２〜図４にお
けるアクチュエータを裏返した状態で示しており、その
基部の上側の面がサスペンションに固着される側の面と
なる。

【００４６】図５及び図６に示すように、本実施形態に
おけるアクチュエータ２２の主要部は、１枚の金属板を
コ字状に切り抜いたものを立体的に折り曲げて形成され
ている。即ち、コ字状に切り出した個々のアクチュエー
タ板部材を、図にて上側の面がサスペンションへの固定
面となる平板状の基部５０の両側端で略垂直に折り曲
げ、これにより、基部５０に対して略垂直を保った状態
で、１対の可動アーム部５１及び５２がこの基部５０か
ら前方に伸びるようになされている。これら可動アーム
部５１及び５２は、磁気ヘッドスライダ２１の側面に平
行となるような形状となっている。

【００４７】本実施形態では、Ｕ字状の断面を有する基
部５０内に、補強部材３３として、エポキシ系接着剤又
は樹脂によるブロック５５が隙間なく中実に充填されて
いる。これにより、アクチュエータを金属板で構成した
場合にも、この基部５０の部分の剛性を大幅に高めるこ
とができるから、共振特性を大幅に向上させることがで
きる。また、固定部である基部５０の剛性が増大するの
で、圧電素子が発生した力を可動アーム部５１及び５２
の先端に効率良く伝えることが可能となるので、変位特
性が向上し、充分なストロークを得ることができる。

【００４８】可動アーム部５１及び５２の先端部は、内
側に（磁気ヘッドスライダ２１方向に）クランク状に折
り曲げられて磁気ヘッドスライダ２１の側面に固着され
るスライダ固着部５３及び５４をそれぞれ形成してい
る。スライダ固着部５３及び５４間の間隔は、挟設すべ
き磁気ヘッドスライダの幅よりやや小さくなるように設
定されている。アクチュエータ２２の高さは、アクチュ
エータ実装によりＨＧＡの高さ（厚さ）を増大させない
ように、挟設すべき磁気ヘッドスライダの厚さ以下に設
定されている。逆にいえば、アクチュエータ２２の高さ
を挟設すべき磁気ヘッドスライダの厚さまで大きくする
ことによって、ＨＧＡの厚さを増大させることなくアク
チュエータ自体の強度を上げることができる。

【００４９】スライダ固着部５３及び５４は、磁気ヘッ
ドスライダ２１方向に折り曲げられて突出しており、こ
れによって、この部分のみが磁気ヘッドスライダ２１の
側面と固着され、磁気ヘッドスライダ側面と可動アーム
部５１及び５２との間の残りの部分が空隙となるように
なされている。

【００５０】可動アーム部５１及び５２は、それぞれ、
アーム部材５１ａ及び５２ａとこれらアーム部材５１ａ
及び５２ａの側面に形成された圧電素子５１ｂ及び５２
ｂとから構成されている。

【００５１】基部５０並びにアーム部材５１ａ及び５２
ａは、弾性を有する１枚の金属板、例えばステンレス鋼
板、を折り曲げて一体的に形成されている。このよう
に、アクチュエータの主要部を金属板とすることによ
り、アクチュエータが軽量化されかつアクチュエータ自
体の耐衝撃性が大幅に向上する。金属板としては、ステ
ンレス鋼板等の合金鋼ばねの他に、炭素鋼ばねや、銅チ
タン板、リン青銅板又はベリリウム銅板等の銅合金ばね
や、チタン板等、弾性を有する板ばね部材が用いられ
る。なお、圧電素子を印刷及び焼成によって形成する場
合には、耐熱性の高い板部材を用いることが望ましい。

【００５２】圧電素子５１ｂ及び５２ｂの各々は、図７
に示すように、逆圧電効果又は電歪効果により伸縮する
圧電・電歪材料層７０と信号電極層７１とグランド電極
層７２とが交互に積層された多層構造となっている。信
号電極層７１は図３及び図４に示すＡチャネル信号端子
電極２２ａ又は図示しないＢチャネル信号端子電極に接
続されており、グランド電極層７２はグランド端子に接
続されている。

【００５３】圧電・電歪材料層７０がＰＺＴ等のいわゆ
る圧電材料から構成されており、通常、変位性能向上の
ための分極処理が施されている。この分極処理による分
極方向は、圧電素子の積層方向である。電極層に電圧を
印加したときの電界の向きが分極方向と一致する場合、
両電極間の圧電・電歪材料層はその厚さ方向に伸長（圧
電縦効果）し、その面内方向では収縮（圧電横効果）す
る。一方、電界の向きが分極方向と逆である場合、圧電
・電歪材料層はその厚さ方向に収縮（圧電縦効果）し、
その面内方向では伸長（圧電横効果）する。

【００５４】圧電素子５１ｂ及び５２ｂに、収縮又は伸
長を生じさせる電圧を印加すると、各圧電素子部分がそ
の都度収縮又は伸長し、これによって可動アーム部５１
及び５２の各々は、Ｓ字状に撓みその先端部が横方向に
直線的に揺動する。その結果、磁気ヘッドスライダ２１
も同様に横方向に直線的に揺動する。このように、角揺
動ではなく、直線揺動であるため、磁気ヘッド素子のよ
り精度の高い位置決めが可能となる。

【００５５】両圧電素子に、互いに逆の変位が生じるよ
うな電圧を同時に印加してもよい。即ち、一方の圧電素
子と他方の圧電素子とに、一方が伸長したとき他方が収
縮し、一方が収縮したとき他方が伸長するような交番電
圧を同時に印加してもよい。このときの可動アーム部の
揺動は、電圧無印加時の位置を中央とするものとなる。
この場合、駆動電圧を同じとしたときの揺動の振幅は、
電圧を交互に印加する場合の約２倍となる。ただし、こ
の場合、揺動の一方の側では圧電素子を伸長させること
になり、このときの駆動電圧は分極の向きと逆となる。
このため、印加電圧が高い場合や継続的に電圧印加を行
う場合には、圧電・電歪材料の分極が減衰するおそれが
ある。従って、分極と同じ向きに一定の直流バイアス電
圧を加えておき、このバイアス電圧に上述の交番電圧を
重畳したものを駆動電圧とすることにより、駆動電圧の
向きが分極の向きと逆になることがないようにする。こ
の場合の揺動は、バイアス電圧だけを印加したときの位
置を中央とするものとなる。

【００５６】なお、圧電・電歪材料とは、逆圧電効果ま
たは電歪効果により伸縮する材料を意味する。圧電・電
歪材料は、上述したようなアクチュエータの変位発生部
に適用可能な材料であれば何であってもよいが、剛性が
高いことから、通常、ＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）
Ｏ_３］、ＰＴ（ＰｂＴｉＯ_３）、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ，Ｌ
ａ）（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ_３］、チタン酸バリウム（ＢａＴ
ｉＯ_３）等のセラミックス圧電・電歪材料が好ましい。

【００５７】圧電素子の各々を圧電・電歪材料層と信号
電極層とグランド電極層との単層構造とすることも可能
である。

【００５８】このように、本実施形態におけるアクチュ
エータ２２は、可動アーム部５１及び５２の主要部並び
に基部５０が金属板で形成されているため、アクチュエ
ータ全体の軽量化を図ることができ、その結果、機械的
振動周波数を高めることができる。特に、基部５０内
に、補強部材として、エポキシ系接着剤又は樹脂による
ブロック５５が隙間なく中実に充填されているので、ア
クチュエータの主要部を金属板で構成した場合にも、こ
の基部５０の部分の剛性を大幅に高めることができるか
ら、共振特性を大幅に向上させることができる。また、
固定部である基部５０の剛性が増大するので、圧電素子
が発生した力を可動アーム部５１及び５２の先端に効率
良く伝えることが可能となるので、変位特性が向上し、
充分なストロークを得ることができる。

【００５９】また、強度があり軽量である金属板を基材
として用いることにより、特に衝撃に弱い可動アーム部
５１及び５２の耐衝撃性を大幅に向上させることができ
る。しかも、強度の高い金属板を用いることから、ＨＧ
Ａへの組み立て時の取り扱いが非常に容易になる。

【００６０】さらに、金属板を用いれば、その形状や寸
法等で設計上の自由度が向上するので、充分なストロー
クを確保することが可能となる。また、アクチュエータ
形状や寸法等の設計上の自由度が増すことによって、ア
クチュエータ２２の中心位置に磁気ヘッドスライダ２１
の中心及び荷重点（ディンプル位置）を合わせることが
可能となり、その結果、磁気ヘッドスライダ２１の浮上
特性が著しく安定化する。

【００６１】しかも、高精度に加工できる金属板を用い
ることによって、アクチュエータ２２自体の寸法精度を
大幅に高めることが可能となる。

【００６２】さらに、可動アーム部５１及び５２間に磁
気ヘッドスライダ２１の側面を挟み込むように構成して
いるため、アクチュエータ２２を設けてもその部分でＨ
ＧＡの厚みが増大しない。このため、アクチュエータ装
着による磁気ディスク装置の寸法変更等は不要となる。

【００６３】また、アクチュエータ２２及び磁気ヘッド
スライダ２１の複合体がカンチレバー構造とはなってい
ないため、耐衝撃性が大幅に向上する。

【００６４】しかも、可動アーム部５１及び５２間に磁
気ヘッドスライダ２１を挟設する構造としているため、
変位を実際に与える可動アーム部５１及び５２の先端部
が磁気ヘッドスライダ２１の先端まで伸ばせることとな
る。このため、磁気ヘッドスライダ２１の寸法が変った
場合にも微小位置決め動作時に同じ大きさのストローク
を提供できるから必要十分なストロークを得ることがで
きる。

【００６５】図８は、本発明の他の実施形態におけるア
クチュエータに磁気ヘッドスライダを取付けた構造を示
す斜視図である。

【００６６】同図に示すように、本実施形態におけるア
クチュエータ２２の主要部は、１枚の金属板部材を梯子
形状に切り抜いたものを立体的に折り曲げて形成されて
いる。即ち、梯子形状に切り出した個々のアクチュエー
タ部材を、図にて上側の面がサスペンションへの固着面
となる帯板形状の基部８０及び図にて下側の面に磁気ヘ
ッドスライダ２１が固着されている帯板形状の連結部８
６の両側端より内側の部分で略垂直に折り曲げ、基部８
０及び連結部８６に対して略垂直を保った状態で１対の
可動アーム部８１及び８２が互いに平行に前後に伸長す
るように形成している。連結部８６の両側端より内側の
部分で折り曲げられているため、可動アーム部８１及び
８２の各々はストリップ形状を有する平板状態に形成さ
れている。可動アーム部が低い駆動力で大きく変位する
ためには、可動アーム部全体がこのように平板状態に形
成されていることが非常に重要である。

【００６７】ただし、連結部８６は可動アーム部８１及
び８２の先端の少し手前の部分でこれら可動アーム部８
１及び８２間を連結している。連結部が可動アーム部の
先端部でこれら可動アーム部間を連結しても良いことは
もちろんである。可動アーム部８１及び８２は磁気ヘッ
ドスライダ２１の側面に平行となるように形成されてお
り、基部８０及び連結部８６は磁気ヘッドスライダ２１
のＡＢＳとは反対側の面に平行となるように形成されて
いる。

【００６８】本実施形態では、Ｕ字状の断面を有する基
部８０内に、補強部材として、エポキシ系接着剤又は樹
脂によるブロック８５が隙間なく中実に充填されてい
る。これにより、アクチュエータを金属板で構成した場
合にも、この基部８０の部分の剛性を大幅に高めること
ができるから、共振特性を大幅に向上させることができ
る。また、固定部である基部８０の剛性が増大するの
で、圧電素子が発生した力を可動アーム部８１及び８２
の先端に効率良く伝えることが可能となるので、変位特
性が向上し、充分なストロークを得ることができる。

【００６９】可動アーム部８１及び８２は、それぞれ、
アーム部材８１ａ及び８２ａとこれらアーム部材８１ａ
及び８２ａの側面に形成された圧電素子８１ｂ及び８２
ｂとから構成されている。

【００７０】アクチュエータの連結部８６には、磁気ヘ
ッドスライダ２１のＡＢＳとは反対側の面が例えば樹脂
系の接着剤により接着される。連結部８６に磁気ヘッド
スライダ２１を固着するように構成されているため、磁
気ヘッドスライダ２１を充分な強度を持って接着固定す
ることができ、しかも、上下方向の耐衝撃性を大幅に向
上することができる。さらに、異なる幅を有する磁気ヘ
ッドスライダについても容易に装着することが可能とな
る。

【００７１】磁気ヘッドスライダ２１の連結部８６への
固着が部分的固着であるため、雰囲気温度変化によって
接着剤に変形が生じたとしても、磁気ヘッドスライダ２
１のＡＢＳの形状変化（クラウン、キャンバーの発生）
を防止することができる。さらにまた、磁気ヘッドスラ
イダ２１の側面にも接着剤が回り込むようにすれば、接
着強度をより高めることができる。接着剤として導電性
接着剤を用いれば、磁気ヘッドスライダ２１のボディー
をアクチュエータを介して容易に接地することができ
る。

【００７２】本実施形態におけるその他の構成、作用効
果及び変更態様等は図１の実施形態の場合と同様であ
る。

【００７３】以下、上述の実施形態に適用される補強部
材の変更態様について説明する。なお、以下の図におい
ては、説明を簡単にするため、アクチュエータは基部及
び可動アーム部のみを示すものとする。

【００７４】図９は基部補強の第１の変更態様を説明す
る斜視図であり、この変更態様では、Ｕ字状に折り曲げ
られた金属板部材９５がアクチュエータの基部９０内に
後方から差し込まれ、基部９０の内壁に固着されてい
る。

【００７５】この金属板部材９５としては、アクチュエ
ータのフレームと同じ材質の金属板、ステンレス合金
板、アルミ板、アルミ合金板、銅板、銅合金板、又はマ
グネシウム合金板等が用いられる。

【００７６】金属板部材９５の基部９０の内壁への固着
は、接着剤による接着、溶接による固着、超音波を用い
たボンディング等が考えられる。

【００７７】図１０は基部補強の第２の変更態様を説明
する斜視図であり、この変更態様では、Ｕ字状に折り曲
げられた金属板部材１０５がアクチュエータの基部１０
０内に上方から差し込まれ、基部１００の内壁に固着さ
れている。

【００７８】この金属板部材１０５としては、アクチュ
エータのフレームと同じ材質の金属板、ステンレス合金
板、アルミ板、アルミ合金板、銅板、銅合金板、又はマ
グネシウム合金板等が用いられる。

【００７９】金属板部材１０５の基部１００の内壁への
固着は、接着剤による接着、溶接による固着、超音波を
用いたボンディング等が考えられる。

【００８０】図１１は基部補強の第３の変更態様を説明
する斜視図、図１２はその側面図であり、この変更態様
では、平らな金属板部材１１５がアクチュエータの基部
１１０の上端に固着されている。

【００８１】この金属板部材１１５としては、アクチュ
エータのフレームと同じ材質の金属板、ステンレス合金
板、アルミ板、アルミ合金板、銅板、銅合金板、又はマ
グネシウム合金板等が用いられる。

【００８２】金属板部材１１５の基部１１０の上端への
固着は、接着剤による接着、溶接による固着、超音波を
用いたボンディング等が考えられる。

【００８３】図１３は基部補強の第４の変更態様を説明
する斜視図、図１４はその側面図であり、この変更態様
では、直方体形状のブロック１３５がアクチュエータの
基部１３０内に挿入され、その側壁に固着されている。
図１３及び図１４では、基部１３０内のブロック１３５
の下方に空隙が残されているが、図１５の側面図に示す
ように、この部分に樹脂や接着剤等の充填材１３６を埋
め込むようにしても良い。

【００８４】ブロック１３５としては、アクチュエータ
のフレームと同じ材質の金属、ステンレス合金、アル
ミ、アルミ合金、銅、銅合金、又はマグネシウム合金等
であっても良いし、金属以外の例えば樹脂、セラミック
等であっても良い。

【００８５】ブロック１３５の基部１３０の側壁への固
着は、接着剤による接着が考えられる。ブロック１３５
が金属の場合は、さらに、溶接による固着、超音波を用
いたボンディング等が考えられる。

【００８６】図１６は基部補強の第５の変更態様を説明
する斜視図、図１７はその側面図であり、この変更態様
では、直方体形状のブロック１６５がアクチュエータの
基部１６０内に挿入され、その内壁底面に固着されてい
る。図１６及び図１７では、基部１６０内のブロック１
６５の側方に空隙が残されているが、図１８の側面図に
示すように、この部分に樹脂や接着剤等の充填材１６６
を埋め込むようにしても良い。

【００８７】ブロック１６５としては、アクチュエータ
のフレームと同じ材質の金属、ステンレス合金、アル
ミ、アルミ合金、銅、銅合金、又はマグネシウム合金等
であっても良いし、金属以外の例えば樹脂、セラミック
等であっても良い。

【００８８】ブロック１６５の基部１６０の内壁底面へ
の固着は、接着剤による接着が考えられる。ブロック１
６５が金属の場合は、さらに、溶接による固着、超音波
を用いたボンディング等が考えられる。

【００８９】図１９は基部補強の第６の変更態様を説明
する斜視図、図２０はその側面図であり、この変更態様
では、平らな板部材１９５がアクチュエータの基部１９
０の内壁底面に固着されている。

【００９０】この板部材１９５としては、アクチュエー
タのフレームと同じ材質の金属板、ステンレス合金板、
アルミ板、アルミ合金板、銅板、銅合金板、マグネシウ
ム合金板、又は樹脂板等が用いられる。

【００９１】板部材１９５の基部１９０の内壁底面への
固着は、接着剤による接着が考えられる。板部材１９５
が金属の場合は、さらに、溶接による固着、超音波を用
いたボンディング等が考えられる。

【００９２】板部材の代わりにポリイミド等の樹脂によ
る層を基部１９０の内壁底面上に形成しても良い。

【００９３】図２１は基部補強の第７の変更態様を説明
する斜視図、図２２はその側面図であり、この変更態様
では、平らな板部材２１５がアクチュエータの基部２１
０の外壁底面に固着されている。

【００９４】この板部材２１５としては、アクチュエー
タのフレームと同じ材質の金属板、ステンレス合金板、
アルミ板、アルミ合金板、銅板、銅合金板、マグネシウ
ム合金板、又は樹脂板等が用いられる。

【００９５】板部材２１５の基部２１０の外壁底面への
固着は、接着剤による接着が考えられる。板部材２１５
が金属の場合は、さらに、溶接による固着、超音波を用
いたボンディング等が考えられる。

【００９６】板部材の代わりにポリイミド等の樹脂によ
る層を基部２１０の外壁底面上に形成しても良い。

【００９７】図２３は基部補強の第８の変更態様を説明
する斜視図、図２４はその側面図であり、この変更態様
では、２つの平らな板部材２３５がアクチュエータの基
部２３０の２つの側面の内壁に固着されている。

【００９８】これら板部材２３５としては、アクチュエ
ータのフレームと同じ材質の金属板、ステンレス合金
板、アルミ板、アルミ合金板、銅板、銅合金板、マグネ
シウム合金板、又は樹脂板等が用いられる。

【００９９】板部材２３５の基部２３０の側面内壁への
固着は、接着剤による接着が考えられる。板部材２３５
が金属の場合は、さらに、溶接による固着、超音波を用
いたボンディング等が考えられる。

【０１００】図２５は基部補強の第９の変更態様を説明
する斜視図、図２６はその側面図であり、この変更態様
では、２つの平らな板部材２５５がアクチュエータの基
部２５０の２つの側面の外壁に固着されている。ただ
し、この場合、板部材２５５は、圧電素子の取り付けの
邪魔にならないように設ける。

【０１０１】これら板部材２５５としては、アクチュエ
ータのフレームと同じ材質の金属板、ステンレス合金
板、アルミ板、アルミ合金板、銅板、銅合金板、マグネ
シウム合金板、又は樹脂板等が用いられる。

【０１０２】板部材２５５の基部２５０の側面外壁への
固着は、接着剤による接着が考えられる。板部材２５５
が金属の場合は、さらに、溶接による固着、超音波を用
いたボンディング等が考えられる。

【０１０３】以上、薄膜磁気ヘッド素子の微小位置決め
用アクチュエータ及びこのアクチュエータを備えたＨＧ
Ａを用いて本発明を説明したが、本発明は、このような
アクチュエータにのみ限定されるものではなく、薄膜磁
気ヘッド素子以外の例えば光ヘッド素子等のヘッド素子
の微小位置決め用アクチュエータ及びこのアクチュエー
タを備えたＨＧＡにも適用可能である。

【０１０４】以上述べた実施形態は全て本発明を例示的
に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明
は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することがで
きる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均
等範囲によってのみ規定されるものである。

【０１０５】

【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、可動アーム部の主要部及び基部が可撓性を有する１
枚の金属板で形成されているため、製造が容易となりか
つ強度が高いアクチュエータが得られる。しかも、アク
チュエータ全体の軽量化を図ることができ、耐衝撃性向
上を図ることができる。特に、その基部に剛性を増大す
るための補強部材がもうけられているので、アクチュエ
ータ固定部の剛性を高めることができるから、共振特性
を大幅に向上させることができる。また、アクチュエー
タ固定部の剛性が増大するので、圧電素子が発生した力
を可動アーム部の先端に効率良く伝えることが可能とな
るので、変位特性が向上し、充分なストロークを得るこ
とができる。

【０１０６】さらに、強度の高い金属板を用いることか
ら、ＨＧＡへの組み立て時の取り扱いが非常に容易にな
る。また、金属板を用いれば、その形状や寸法等で設計
上の自由度が向上する。しかも、高精度に加工できる金
属板を用いることによって、アクチュエータ自体の寸法
精度を大幅に高めることが可能となる。

【０１０７】また、駆動信号に従って板平面と交差する
方向に変位する１対の可動アーム部間にヘッドスライダ
を挟設するように構成しているため、アクチュエータを
設けてもこの部分でＨＧＡの厚みが増大するような不都
合が生じない。このため、アクチュエータ装着による磁
気ディスク装置の寸法変更等は不要となる。また、アク
チュエータ及びヘッドスライダがカンチレバー構造とは
ならないため、その意味からも耐衝撃性が大幅に向上す
る。しかも、可動アーム部間にヘッドスライダを挟設す
る構造としているため、変位を実際に与える可動アーム
部の先端部がヘッドスライダの先端まで伸ばせることと
なる。このため、ヘッドスライダの寸法が変った場合に
も微小位置決め動作時に同じ大きさのストロークを提供
できるから必要十分なストロークを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態として、磁気ディスク装置
の要部の構成を概略的に示す斜視図である。

【図２】図１の実施形態におけるＨＧＡ全体を表す斜視
図である。

【図３】図１の実施形態におけるＨＧＡの先端部の斜視
図である。

【図４】図１の実施形態におけるＨＧＡの先端部を図３
とは異なる方向から見た斜視図である。

【図５】図１の実施形態におけるアクチュエータに磁気
ヘッドスライダを取付けた構造を示す斜視図である。

【図６】図５のアクチュエータの補強部材の部分を示す
側面図である。

【図７】図５のアクチュエータの圧電素子部分の構造を
示す断面図である。

【図８】本発明の他の実施形態におけるアクチュエータ
に磁気ヘッドスライダを取付けた構造を示す斜視図であ
る。

【図９】基部補強の第１の変更態様を説明する斜視図で
ある。

【図１０】基部補強の第２の変更態様を説明する斜視図
である。

【図１１】基部補強の第３の変更態様を説明する斜視図
である。

【図１２】図１１の変更態様の側面図である。

【図１３】基部補強の第４の変更態様を説明する斜視図
である。

【図１４】図１３の変更態様の側面図である。

【図１５】図１３の変更態様の変更例を示す側面図であ
る。

【図１６】基部補強の第５の変更態様を説明する斜視図
である。

【図１７】図１４の変更態様の側面図である。

【図１８】図１４の変更態様の変更例を示す側面図であ
る。

【図１９】基部補強の第６の変更態様を説明する斜視図
である。

【図２０】図１９の変更態様の側面図である。

【図２１】基部補強の第７の変更態様を説明する斜視図
である。

【図２２】図２１の変更態様の側面図である。

【図２３】基部補強の第８の変更態様を説明する斜視図
である。

【図２４】図２３の変更態様の側面図である。

【図２５】基部補強の第９の変更態様を説明する斜視図
である。

【図２６】図２５の変更態様の側面図である。

【符号の説明】

１０ 磁気ディスク １１、１３ 軸 １２ アセンブリキャリッジ装置 １４ キャリッジ １５ 主アクチュエータ １６ 駆動アーム １７ ＨＧＡ ２０ サスペンション ２１ 磁気ヘッドスライダ ２１ａ 磁気ヘッド素子 ２１ｂ 端子電極 ２２ アクチュエータ ２２ａ 信号端子電極 ２３ 第１のロードビーム ２３ａ 取り付け部 ２４ 第２のロードビーム ２４ａ リフトタブ ２５ ヒンジ ２６ フレクシャ ２６ａ 舌部 ２６ｂ 絶縁層 ２６ｃ 分離部 ２７ ベースプレート ２８ 配線部材 ２８ａ 第１の配線部材 ２８ｂ 第２の配線部材 ２９ 磁気ヘッド素子用接続パッド ３０ 外部回路用接続パッド ３１ アクチュエータ用接続パッド ３３ 補強部材 ５０、９０、１００、１１０、１３０、１６０、１９
０、２１０、２３０、２５０ 基部 ５１、５２ 可動アーム部 ５１ａ、５２ａ アーム部材 ５１ｂ、５２ｂ 圧電素子 ５３、５４ スライダ固着部 ５５、１３５、１６５ ブロック ７０ 圧電・電歪材料層 ７１ 信号電極層 ７２ グランド電極層 ９５、１０５、１１５ 金属板部材 １３６、１６６ 充填材 １９５、２１５、２３５、２５５ 板部材

フロントページの続き (72)発明者 和田 健 東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティー ディーケイ株式会社内 Ｆターム(参考） 5D042 LA01 MA15 5D059 AA01 BA01 CA01 CA18 CA23 DA19 DA26 EA02 EA03 5D096 NN03 NN07

Claims (21)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも１つのヘッド素子を有するヘ
   ッドスライダと支持機構とに固着されることにより前記
   ヘッド素子の微小位置決めを行うためのアクチュエータ
   であって、前記支持機構に固定される基部と、該基部か
   ら突出しており、それらの間にもうけた前記ヘッドスラ
   イダを駆動信号に従って変位させるための１対の可動ア
   ーム部とを備えており、前記可動アーム部の主要部及び
   前記基部が可撓性を有する１枚の金属板から構成されて
   おり、前記基部に該基部の剛性を増大するための補強部
   材がもうけられていることを特徴とするヘッド素子の微
   小位置決め用アクチュエータ。
2. 【請求項２】 前記基部が、Ｕ字形状の断面を有してい
   ることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 【請求項３】 前記可動アーム部の主要部及び前記基部
   が、可撓性を有する１枚の形状加工された金属板を折り
   曲げてなる構造を有していることを特徴とする請求項１
   又は２に記載のアクチュエータ。
4. 【請求項４】 前記補強部材が、前記基部内に中実に挿
   入されたブロック部材からなることを特徴とする請求項
   １から３のいずれか１項に記載のアクチュエータ。
5. 【請求項５】 前記補強部材が、前記基部内に空隙を持
   って挿入されたブロック部材からなることを特徴とする
   請求項１から３のいずれか１項に記載のアクチュエー
   タ。
6. 【請求項６】 前記ブロック部材が、エポキシ系接着剤
   又は樹脂によるブロックを含んでいることを特徴とする
   請求項４又は５に記載のアクチュエータ。
7. 【請求項７】 前記ブロック部材が、金属材料によるブ
   ロックを含んでいることを特徴とする請求項４又は５に
   記載のアクチュエータ。
8. 【請求項８】 前記補強部材が、前記基部にもうけられ
   た板部材であることを特徴とする請求項１から３のいず
   れか１項に記載のアクチュエータ。
9. 【請求項９】 前記板部材が、平板形状の板部材である
   ことを特徴とする請求項８に記載のアクチュエータ。
10. 【請求項１０】 前記板部材が、前記基部の縁端間を連
    結する平板部材であることを特徴とする請求項９に記載
    のアクチュエータ。
11. 【請求項１１】 前記板部材が、前記基部の少なくとも
    １つの面上に平行に固着された平板部材であることを特
    徴とする請求項９に記載のアクチュエータ。
12. 【請求項１２】 前記板部材が、Ｕ字形状の板部材であ
    ることを特徴とする請求項８に記載のアクチュエータ。
13. 【請求項１３】 前記板部材が、金属板部材であること
    を特徴とする請求項８から１２のいずれか１項に記載の
    アクチュエータ。
14. 【請求項１４】 前記板部材が、樹脂板部材であること
    を特徴とする請求項８から１２のいずれか１項に記載の
    アクチュエータ。
15. 【請求項１５】 前記可動アーム部の先端部に前記ヘッ
    ドスライダの側面が固着されるスライダ固着部を有する
    ことを特徴とする請求項１から１４のいずれか１項に記
    載のアクチュエータ。
16. 【請求項１６】 前記スライダ固着部が、前記金属板を
    内側に折り曲げた構造を有していることを特徴とする請
    求項１５に記載のアクチュエータ。
17. 【請求項１７】 前記可動アーム部の先端部を互いに連
    結する連結部がもうけられており、該連結部に前記ヘッ
    ドスライダが固着されるように構成されていることを特
    徴とする請求項１から１４のいずれか１項に記載のアク
    チュエータ。
18. 【請求項１８】 前記可動アーム部が、可撓性を有する
    金属板によるアーム部材と、該アーム部材の面上に積層
    又は接着された圧電素子とを備えていることを特徴とす
    る請求項１から１７のいずれか１項に記載のアクチュエ
    ータ。
19. 【請求項１９】 前記ヘッド素子が薄膜磁気ヘッド素子
    であることを特徴とする請求項１から１８のいずれか１
    項に記載のアクチュエータ。
20. 【請求項２０】 請求項１から１９のいずれか１項に記
    載の微小位置決め用アクチュエータと、該アクチュエー
    タの前記１対の可動アーム部間に位置している前記ヘッ
    ドスライダと、前記アクチュエータに固着された前記支
    持機構とを備えたことを特徴とするヘッドジンバルアセ
    ンブリ。
21. 【請求項２１】 請求項２０に記載のヘッドジンバルア
    センブリを少なくとも１つ備えたことを特徴とするディ
    スク装置。