JP2003254718A - 画像処理型測定機の照明装置 - Google Patents

画像処理型測定機の照明装置

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JP2003254718A
JP2003254718A JP2002059531A JP2002059531A JP2003254718A JP 2003254718 A JP2003254718 A JP 2003254718A JP 2002059531 A JP2002059531 A JP 2002059531A JP 2002059531 A JP2002059531 A JP 2002059531A JP 2003254718 A JP2003254718 A JP 2003254718A
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light
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image processing
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Shunsaku Tachibana
俊作 立花
Kenji Okabe
憲嗣 岡部
Sadayuki Matsumiya
貞行 松宮
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Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
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Mitutoyo Corp
Mitsutoyo Kiko Co Ltd
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    • G02OPTICS
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/04Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings formed by bundles of fibres
    • G02B6/06Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings formed by bundles of fibres the relative position of the fibres being the same at both ends, e.g. for transporting images

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 被測定物の多様化に対応でき、被測定物の画
像を正確に取り込むことができるとともに、スペース上
の制約も受けることが少ない画像処理型測定機の照明装
置を提供する。 【解決手段】 光を被測定物に照射し、これによって得
られた被測定物の画像から被測定物の寸法や形状などを
測定する画像処理型測定機の照明装置において、光源1
21,122,123,124と、この光源121,1
22,123,124からの光を入射側端から導入し出
射側端から被測定物へ向けて出射するとともに、入射側
端が少なくとも3群以上に分割された複数本の光ファイ
バ13と、この各光ファイバ群13R,13G,13B
の入射側端と光源121,122,123との間に挿入
された赤、緑、青のカラーフィルタ14R,14G,1
4Bとを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光学系によって得られ
た被測定物の画像から被測定物の寸法や形状などを測定
する画像処理型測定機の照明装置に関する。詳しくは、
被測定物に照射する光の色を変えることにより、段差が
ある被測定物のみならず、段差がなく、色が異なる領域
をもった被測定物、たとえば、多色印刷の印刷物などの
測定個所(印刷パターンなど)を鮮明なコントラストで
描写できるようにした画像処理型測定機の照明装置に関
する。
【0002】
【背景技術】光学系によって被測定物の測定部位を光学
的に結像させ、その画像から被測定物の寸法や形状等を
測定する画像処理型測定機、たとえば、顕微鏡、投影
機、三次元画像測定機などでは、被測定物の画像を得る
上で被測定物に対する照明が極めて重要な役割を果た
す。
【0003】画像処理型測定機における照明装置として
は、被測定物に対して略真上から光を被測定物に照射す
る垂直落射照明方式のほかに、光学系の光軸に対して所
定の角度で傾斜した方向から光を被測定物に照射する斜
め照明方式、被測定物に対して略真下から照明光を被測
定物に照射する透過照明方式などが知られている。従
来、これら照明方式の光源としては、ハロゲンランプ
(白色光)が一般的に用いられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、照明光
が白色光であると、被測定物の多様化によって、エッジ
検出が困難な場合が見られる。たとえば、複数の色を用
いた印刷物などの印刷パターンを測定する場合、段差が
なく色のみが異なるため、その色の異なる領域のエッジ
検出が困難な場合がある。これに対して、光源にLED
(発光ダイオード)を用いた照明が使用される場合があ
るが、その場合においても、基本的にLEDデバイス自
体の色が限られているため、対応しきれない状況も発生
している。しかも、LEDデバイス自体が大きいため、
異なる色のLEDを並べて配置し、被測定物に照射する
光の色を変化させても、色むらが発生しやすく、被測定
物の画像を鮮明に描写できない。また、照明輝度につい
ても、スペース上の問題によって、LEDを多数個並べ
ることが困難な場合、明るさが問題となる場合がある。
【0005】本発明の目的は、このような従来の問題を
解消し、被測定物の多様化に対応でき、被測定物の画像
を正確に取り込むことができるとともに、スペース上の
制約も受けることが少ない画像処理型測定機の照明装置
を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の画像処理型測定機の照明装置は、光を被測
定物に照射し、これによって得られた被測定物の画像か
ら被測定物の寸法や形状などを測定する画像処理型測定
機の照明装置において、光源と、この光源からの光を入
射側端から導入し出射側端から前記被測定物へ向けて出
射するとともに、入射側端が少なくとも3群以上に分割
された複数本の光ファイバと、この光ファイバの分割さ
れた各光ファイバ群の入射側端と光源との間に挿入され
た赤、緑、青のカラーフィルタとを備えることを特徴と
する。このような構成であれば、各光ファイバ群の光フ
ァイバから赤、緑、青色の光が被測定物に向けて出射さ
れているから、光源から各光ファイバ群に入射される光
量を変えることにより、被測定物に照射される光の色を
任意の色に変化させることができる。従って、被測定物
の多様化に対応でき、つまり、段差がある被測定物のみ
ならず、段差がなく、色が異なる領域をもった被測定物
にも対応でき、、これら被測定物の画像を正確に取り込
むことができる。しかも、被測定物と光源とは光ファイ
バを介して隔てているから、スペース上の制約も受ける
ことが少ない。
【0007】以上において、前記光源は、前記光ファイ
バ群に対応してそれぞれ別個に設けられ、かつ、それぞ
れの光源は、輝度調節可能に構成されていることが望ま
しい。このようにすれば、各光ファイバ群に対応したそ
れぞれの光源を輝度調節することにより、被測定物に照
射される照明光の色を任意の色に変化させることができ
るから、色の変化を簡単な構造で、しかも、容易に行う
ことができる。
【0008】また、前記光ファイバの出射側端は、リン
グ状に配列され、かつ、光軸が一点に収束するように角
度をもって配列されていることが望ましい。このように
すれば、被測定物の測定部位に対して、その周囲から、
かつ、斜めから照明光が照射されるから、被測定物のエ
ッジを正確に映し出すことができる。
【0009】その際、光ファイバの出射側端は、(a)
色の異なる光を出射する光ファイバが、1または数本ず
つリングに沿って順番に配列されている構成、(b)色
の異なる光を出射する光ファイバが、光ファイバ群毎に
リングを分割した所定区画内に配列されている構成、あ
るいは、(c)色の異なる光を出射する光ファイバが、
光ファイバ群毎に同心リング状に配列されている構成を
採用することができる。(a)の構成を採用すれば、色
の異なる光を出射する光ファイバが、1または数本ずつ
リングに沿って順番に配列されているから、被測定物に
対してはリング全周から赤、緑、青色の光が照射され
る。従って、一方向に障害物があった場合においても、
影となる部分が発生しないから、むらが少ない均一な照
明が実現できる。(b)の構成を採用すれば、色の異な
る光を出射する光ファイバが、光ファイバ群毎にリング
を分割した所定区画内に配列されているから、光ファイ
バをリングに沿って配列する際の作業を容易にでき、製
作費を安くできる。(c)の構成を採用すれば、色の異
なる光を出射する光ファイバが、光ファイバ群毎に同心
リング状に配列されている、つまり、各色の光ファイバ
群が同心状に少なくとも3重に配列されているから、高
輝度の照明を実現できる。
【0010】また、本発明の他の画像処理型測定機の照
明装置は、光を被測定物に照射し、これによって得られ
た被測定物の画像から被測定物の寸法や形状などを測定
する画像処理型測定機の照明装置において、光源と、こ
の光源からの光を入射側端から導入し出射側端から前記
被測定物へ向けて出射する複数本の光ファイバと、この
光ファイバと光源との間に挿入され光ファイバの入射側
端に対向する位置に色の異なるカラーフィルタを切り替
えるフィルタ切替手段とを備えることを特徴とする。こ
のような構成であれば、フィルタ切替手段を切り替え操
作して、光ファイバの入射側端に対向する位置に色の異
なるカラーフィルタを位置させれば、その色に対応した
照明が得られる。しかも、この構成では、光源が1つで
済むうえ、光ファイバを各群に分割しなくても済むの
で、製作が容易かつ安価にできる。
【0011】
【発明の実施の形態】次に、本発明に係る画像処理型測
定機の照明装置の好適な実施例を挙げ、添付の図面を参
照しながら詳細に説明する。以下の説明において、各実
施例中、同一もしくは同様構成部分については、同一符
号を付して、説明を省略もしくは簡略化する。
【0012】(第1実施形態)図1は第1実施形態に係
る画像処理型測定機を示す正面図である。第1実施形態
の画像処理型測定機は、画像処理型測定機本体1と、照
明装置11とを備えている。画像処理型測定機本体1
は、被測定物を載置するステージ2と、このステージ2
に載置された被測定物の画像を映し出す光学系3とを備
え、光学系3で得られた被測定物の画像から被測定物の
寸法や形状などを測定する。
【0013】照明装置11は、光源ユニット12と、こ
の光源ユニット12からの照明光を入射側端から導入し
出射側端から被測定物へ向けて出射するとともに、入射
側端が少なくとも3群以上、ここでは、4群に分割され
た光ファイバ13と、この光ファイバ13の入射側端の
光ファイバ群13R,13G,13Bと光源ユニット1
2との間に挿入された赤(R)、緑(G)、青あるいは
青紫(B)のカラーフィルタ14R,14G,14Bと
を備える。なお、光ファイバ群13Wと光源ユニット1
2との間にはフィルタが挿入されていない(光源からの
光がそのまま光ファイバ群13Wに入射されるようにな
っている)。
【0014】光源ユニット12は、各光ファイバ群13
R,13G,13B,13Wに対応してそれぞれ設けら
れた光源121,122,123,124を有する。各
光源121,122,123,124は、白色光を出す
ハロゲンランプなどによって構成され、かつ、図示省略
の輝度調整手段によって輝度が調節可能に構成されてい
る。光ファイバ13の出射側端は、図2および図3に示
すように、リング状に、かつ、光軸が一点に収束するよ
うに角度をもって配列されているとともに、色の異なる
光を出射する光ファイバ13が1本ずつリングに沿って
順番に配列されている。つまり、R(赤),G(緑),
B(青あるいは青紫),W(白)を出射する光ファイバ
13(光ファイバ群13R,13G,13B,13Wの
光ファイバ13)が、この順番で1本ずつリングに沿っ
て配列されている。
【0015】このような構成であれば、各光ファイバ群
13R,13G,13B,13Wの光から赤、緑、青あ
るいは青紫、白色の光が被測定物に向けて出射されてい
るから、各光ファイバ群13R,13G,13B,13
Wに対応したそれぞれの光源121,122,123,
124を輝度調節することにより、被測定物に照射され
る光の色を任意の色に変化させることができる。従っ
て、被測定物の多様化、つまり、段差がある被測定物の
みならず、段差がなく、色が異なる領域をもった被測定
物などにも対応でき、これら被測定物の画像を正確に取
り込むことができるとともに、色の変化を簡単な構造
で、しかも、容易に行うことができる。しかも、被測定
物と光源ユニット12とは光ファイバ13を介して隔て
ているから、スペース上の制約も受けることも少ない。
【0016】また、光ファイバ13の出射側端は、リン
グ状に、かつ、光軸が一点に収束するように角度をもっ
て配列されているから、被測定物の測定部位に対して、
その周囲から、かつ、斜めから光が照射されるから、被
測定物のエッジを鮮明に映し出すことができる。また、
色の異なる光を出射する光ファイバ13が、1本ずつリ
ングに沿って順番に配列されているから、被測定物に対
してはリング全周から赤、緑、青色の光が照射される。
従って、一方向に障害物があった場合においても、影と
なる部分が発生しないから、むらが少ない均一な照明が
実現できる。
【0017】なお、前記第1実施形態においては、色の
異なる光を出射する光ファイバ13が、1本ずつリング
に沿って順番に配列されていたが、色の異なる光を出射
する光ファイバ13を数本ずつリングに沿って順番に配
列するようにしてもよい。たとえば、R(赤)を出射す
る光ファイバ13を2本隣接配置し、続いて、G(緑)
色の光を出射する光ファイバ13を隣接配置し、更に続
いて、B(青または青紫)色の光を出射する光ファイバ
13を隣接配置し、……のように配列してもよい。ま
た、前記第1実施形態において、光ファイバ群13Wと
光源124との間に、R(赤),G(緑),B(青ある
いは青紫)以外の色のカラーフィルタを挿入するように
してもよい。
【0018】(第2実施形態)図4は、本発明の第2実
施形態を示す照明装置である。第2実施形態における照
明装置11は、光ファイバ13の出射側端の配列が、第
1実施形態とは異なる。すなわち、光ファイバ13の出
射側端は、色の異なる光を出射する光ファイバ13が、
光ファイバ群13R,13G,13B,13W毎に、リ
ングを4分割した所定区画内(90度角度範囲内)に配
列されている。このような構成であれば、色の異なる光
を出射する光ファイバ13が、光ファイバ群13R,1
3G,13B,13W毎に所定区画内に配列されている
から、光ファイバ13を配列する際の作業が容易で、製
作費を安くできる。
【0019】(第3実施形態)図5は、本発明の第3実
施形態を示す照明装置である。第3実施形態における照
明装置11は、光ファイバ13の出射側端の配列が、第
1実施形態とは異なる。すなわち、光ファイバ13の出
射側端は、色の異なる光を出射する光ファイバ13が、
光ファイバ群13R,13G,13B,13W毎に同心
リング状に配列されている。ここでは、内側のリングか
ら外側に向かって、R(赤)を出射する光ファイバ1
3、G(緑)色の光を出射する光ファイバ13、B(青
または青紫)色の光を出射する光ファイバ13、W
(白)色の光を出射する光ファイバ13が順番に配列さ
れている。このような構成であれば、色の異なる光を出
射する光ファイバ13が、光ファイバ群13R,13
G,13B,13W毎に同心リング状に配列されている
から、高輝度の照明を実現できる。
【0020】(第4実施形態)図6は、本発明の第4実
施形態に係る画像処理型測定機を示している。第4実施
形態の照明装置は、光ファイバ13の入射側端が分割さ
れてなく、光源も1つである点が、第1実施形態と異な
る。すなわち、第4実施形態の照明装置は、1つの光源
16と、この光源16からの光を入射側端から導入し出
射側端から前記被測定物へ向けて出射する複数本の光フ
ァイバ13と、この光ファイバ13と光源16との間に
挿入され光ファイバ13の入射側端に対向する位置に色
の異なる複数種のカラーフィルタ14a,14b,14
c,14dを切り替えるフィルタ切替手段15とを備え
る。ここで、カラーフィルタ14a,14b,14c,
14dとしては、R(赤)、G(緑)、B(青あるいは
青紫)、Y(黄色)のカラーフィルタが装着されてい
る。
【0021】このような構成であれば、フィルタ切替手
段15を切り替え操作して、光ファイバ13の入射側端
に対向する位置に色の異なる複数種のカラーフィルタ1
4a,14b,14c,14dを位置させれば、その色
に対応した照明光が得られる。しかも、この構成では、
光源16が1つで済むうえ、光ファイバ13を各群に分
割しなくても済むので、製作が容易かつ安価にできる。
【0022】なお、前記第4実施形態においては、カラ
ーフィルタ14a,14b,14c,14dの色は、R
(赤),G(緑),B(青あるいは青紫),Y(黄色)
でなくてもよく、任意の色を組み込んでおけばよい。あ
るいは、カラーフィルタを交換可能に構成すれば、ユー
ザが希望する任意の色へ変化させることができる。その
際、いずれか1つについては、カラーフィルタを挿入し
ないようにすれば、白色光を照射できる。
【0023】以上、本発明について好適な実施例を挙げ
て説明したが、本発明はこの実施例に限定されるもので
はなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の
改良並びに設計の変更が可能なことは勿論である。たと
えば、前記実施形態では、光源の輝度調整を行って、任
意の色の照明光を得るようにしたが、光源を1つとし
て、この光源から各光ファイバ群13R,13G,13
B,13Wに入射される光量を変える、たとえば、光量
制限フィルタや絞りなどを設けて、任意の色を得るよう
にしてもよい。
【0024】また、前記実施形態では、光ファイバ13
の入射側端を4つに分割したが、使用目的に応じて、分
割数を更に多く(5以上に)してもよく、逆に、分割数
を少なく(3つに)するようにしてもよい。たとえば、
光ファイバ13の入射側端を5つに分割し、5群のうち
の4群にR(赤),G(緑),B(青あるいは青紫)、
これら以外の色のカラーフィルタを挿入するようにして
もよい。また、前記実施形態では、光ファイバ13の出
射側端が、リング状に、かつ、光軸が一点に収束するよ
うに角度をもって配列されていたが、角度を可変可能に
構成することにより、被測定物に対する照射角度を可変
するようにしてもよい。このようにすれば、被測定物の
凹凸量や形状に最も適した角度で照射することができ
る。
【0025】また、前記実施形態では、光ファイバ13
の出射側端をリング状に配列し、被測定物の周囲からか
つ斜めから照明光が照射されるようにしたが、本発明の
照明装置は、これに限らず、落射照明、あるいは、透過
照明にも応用することができる。落射照明、あるいは、
透過照明においては、出射側端において、色の異なる光
を出射する光ファイバがランダムに配置されていること
が望ましい。また、本発明は、前記実施形態で述べた構
造の画像処理型測定機に限らず、顕微鏡、投影機、三次
元画像測定機などの他の形式の光学式測定機にも適用で
きる。
【0026】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の画像処理
型測定機の照明装置によれば、被測定物の多様化に対応
でき、被測定物の画像を正確に取り込むことができると
ともに、スペース上の制約も受けることが少ない、とい
う効果が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る画像処理型測定機
を示す正面図である。
【図2】本発明の第1実施形態に係る照明装置の底面図
である。
【図3】本発明の第1実施形態に係る照明装置の正面図
である。
【図4】本発明の第2実施形態に係る照明装置の底面図
である。
【図5】本発明の第3実施形態に係る照明装置の底面図
である。
【図6】本発明の第4実施形態に係る画像処理型測定機
を示す正面図である。
【符号の説明】
1 画像処理型測定機本体 2 ステージ 3 光学系 11 照明装置 12 光源ユニット 121,122,123,124 光源 13 光ファイバ 13R,13G,13B,13W 光ファイバ群 14R,14G,14B カラーフィルタ 14a,14b,14c,14d カラーフィルタ 15 フィルタ切替手段 16 光源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松宮 貞行 神奈川県川崎市高津区坂戸1−20−1 株 式会社ミツトヨ内 Fターム(参考) 2F065 AA21 AA51 DD02 FF04 GG02 GG17 LL02 LL22 QQ24 QQ31 2G051 BA08 BB07 BB17

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光を被測定物に照射し、これによって得
    られた被測定物の画像から被測定物の寸法や形状などを
    測定する画像処理型測定機の照明装置において、 光源と、この光源からの光を入射側端から導入し出射側
    端から前記被測定物へ向けて出射するとともに、入射側
    端が少なくとも3群以上に分割された複数本の光ファイ
    バと、この光ファイバの分割された各光ファイバ群の入
    射側端と光源との間に挿入された赤、緑、青のカラーフ
    ィルタとを備えることを特徴とする画像処理型測定機の
    照明装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の画像処理型測定機の照
    明装置において、 前記光源は、前記光ファイバ群に対応してそれぞれ別個
    に設けられ、かつ、それぞれの光源は、輝度調節可能に
    構成されていることを特徴とする画像処理型測定機の照
    明装置。
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の画像処
    理型測定機の照明装置において、 前記光ファイバの出射側端は、リング状に配列され、か
    つ、光軸が一点に収束するように角度をもって配列され
    ていることを特徴とする画像処理型測定機の照明装置。
  4. 【請求項4】 請求項3に記載の画像処理型測定機の照
    明装置において、 前記光ファイバの出射側端は、色の異なる光を出射する
    光ファイバが、1または数本ずつリングに沿って順番に
    配列されていることを特徴とする画像処理型測定機の照
    明装置。
  5. 【請求項5】 請求項3に記載の画像処理型測定機の照
    明装置において、 前記光ファイバの出射側端は、色の異なる光を出射する
    光ファイバが、光ファイバ群毎にリングを分割した所定
    区画内に配列されていることを特徴とする画像処理型測
    定機の照明装置。
  6. 【請求項6】 請求項3に記載の画像処理型測定機の照
    明装置において、 前記光ファイバの出射側端は、色の異なる光を出射する
    光ファイバが、光ファイバ群毎に同心リング状に配列さ
    れていることを特徴とする画像処理型測定機の照明装
    置。
  7. 【請求項7】 光を被測定物に照射し、これによって得
    られた被測定物の画像から被測定物の寸法や形状などを
    測定する画像処理型測定機の照明装置において、 光源と、この光源からの光を入射側端から導入し出射側
    端から前記被測定物へ向けて出射する複数本の光ファイ
    バと、この光ファイバと光源との間に挿入され光ファイ
    バの入射側端に対向する位置に色の異なるカラーフィル
    タを切り替えるフィルタ切替手段とを備えることを特徴
    とする画像処理型測定機の照明装置。
JP2002059531A 2002-03-05 2002-03-05 画像処理型測定機の照明装置 Pending JP2003254718A (ja)

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