JP2003228410A

JP2003228410A - 着工管理システム

Info

Publication number: JP2003228410A
Application number: JP2002028545A
Authority: JP
Inventors: Kiyohisa Kawase; 清久河瀬; Hajime Yuasa; 肇湯浅; Kazuhiko Maeda; 和彦前田; Yoshio Kobayashi; 善夫小林; Osamu Mishima; 修見島; Takashi Honma; 高志本間; Jun Akashi; 潤明石; Hiroshi Yamada; 浩山田; Kenichiro Masunaga; 健一郎益永; Masahiro Koyama; 政宏小山
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 2002-02-05
Filing date: 2002-02-05
Publication date: 2003-08-15
Also published as: US20030149503A1; CN1437151A; US7039481B2

Abstract

(57)【要約】【課題】複数の生産拠点を経て製造される半導体装置
の生産を一元的に管理し、適切な生産計画を指示する。【解決手段】コンピュータ２は、顧客コンピュータ７
や生産管理コンピュータ３などから収集した、製品の需
要予想や注文情報、およびその生産必要数を満足させる
ための各生産拠点・品種・工程ごとの着工・完成数と日
程などの必要情報から企業全体の着工計画を算出する。
その着工計画は、各生産拠点に着工指示として、営業・
顧客などへは入庫回答や請期回答として提供される。ま
た、算出した着工計画（生産可能数）と生産計画（生産
必要数）とがマッチしなければ、生産配分、生産能力、
リードタイム、歩留まりなどを見直したパラメータをパ
ラメータ入力端末５から再入力し、その修正パラメータ
に基づいて、コンピュータ２が着工計画を再計算し、最
適な着工計画を算出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、着工管理システム
に関し、特に、複数の生産拠点を経て生産される半導体
装置の統合的な生産管理に適用して有効な技術に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造においては、半導体ウ
エハに半導体素子や配線パターンなどを形成する前工
程、および該半導体ウエハを個片化して個々の半導体チ
ップに分割し、パッケージを形成して完成品に組み立て
る後工程があり、これら前工程、後工程の処理を行う上
での生産工程、および生産拠点（生産工場）は複数にわ
たり、その生産工程を複数の工場で分担して行うことが
広く知られている。

【０００３】本発明者が検討したところによれば、この
ように生産拠点が数多く存在する半導体装置の生産計画
は、生産拠点を統合する統合センタが、たとえば、月毎
に情報を収集して月別の着工生産計画を作成して各々の
生産拠点に配布し、該生産拠点は、その着工生産計画に
基づいてそれぞれ生産計画を管理しながら半導体装置の
製造を行っている。

【０００４】なお、この種の半導体装置の生産計画につ
いて詳しく述べてある例としては、特開２０００−１０
６０６号公報があり、この文献には、製造可能な複数の
製造拠点への所要時間を配分しながら所要量、所要発生
日を計算して適切な生産計画を得るシステムについて記
載されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
な半導体装置の生産管理技術では、次のような問題点が
あることが本発明者により見い出された。

【０００６】前述した半導体装置の生産管理において
は、着工生産計画が月単位の目標管理のための月トータ
ルの着工生産計画のみに過ぎず、日々変わっていく市況
変化を着工生産計画に速やかに反映することが困難であ
り、かつ、生産現場への需給変動のフィードバックもす
ばやくできないという問題があった。

【０００７】さらに、半導体装置製造の工程フローは、
実際の生産の作業ステップをいくつかにまとめた集約工
程を並べたフローで行っており、個々の作業ごとの計画
は算出できず木目細かい進度管理が難しく、ボトルネッ
ク工程に注目した着工指示・生産管理ができないという
問題がある。

【０００８】また、半導体の製造のみを受託する、いわ
ゆるファウンダリ会社などを取り入れた場合に、該ファ
ウンダリ会社を企業の一部として生産管理に取り入れ、
企業全体で最終製品完成、入庫計画を作ることができな
いという問題がある。これは、ファウンダリ会社の生産
状況・納品予定などのファウンダリ会社内部情報の収集
手段と自社生産管理への取り込み手段がないからであ
る。

【０００９】さらに、半導体装置の生産においては、特
に半導体製造装置の能力が生産進度を大きく左右する
が、これまでは装置能力を個々の装置１つ１つに設定す
るのではなく生産ライン全体の生産可能数として捉えて
いるために、各生産工程ごとの生産能力が着工計画算出
プロセスに取り込まれておらず、ラインのボトルネック
を掴まえることが極めて難しい状況であった。

【００１０】また、作成した着工生産計画を守る仕掛
け、すなわち計画の可視化、共有化、着工指示の仕組み
などが不充分であり、これまでは、計画を作成しても、
その計画通りに作業が進むよう製造現場に対して着工指
示を出したり、あるいは計画通りに作業が行われたかど
うかを検証する遵守状況の情報提供・可視化の機能がな
いという問題がある。

【００１１】さらに、生産管理全体だけではなく、統合
センタ、各生産拠点、半導体装置のメーカとユーザとの
間のユーザインタフェースにおいても以下に述べる問題
点がある。

【００１２】まず、統合センタにおいては、半導体装置
の生産全体の着工生産計画を作成するに当たり、各生産
拠点の情報を収集する必要があるが、全生産拠点の現実
に則した情報を日々あるいはリアルタイムに近いインタ
ーバルで収集して着工計画を作成することはその情報量
の多さや生産拠点・工場数などにより困難であり、一般
的な標準値を取り決めてそれを代替使用する場合もあ
る。

【００１３】そのため、実際の生産・生産実力と乖離し
た計画値となる恐れがある。また、複数の生産拠点で半
導体装置を製造する場合、拠点間で仕掛かりロットの移
動が発生するため、拠点間の輸送中仕掛かりを把握し着
工計画計算に取り込む必要があるが、生産モデル全体の
情報が集中、一元管理できていないため、この輸送中仕
掛かりを正確に把握することが非常に困難であるという
問題がある。

【００１４】また、各々の生産拠点では、酸化工程、拡
散工程、配線工程、テスト工程、組立工程、選別工程と
いう数多くの工程と長い製造時間とを要する半導体生産
プロセスにおいて、ポイント工程（初工程・最終工程）
の目標生産量管理といくつかの作業ステップを集約した
工程での生産管理であり、予定生産量のフォローに重点
がおかれていた。そして、その予定数量を達成するため
の着工指示機能は充分ではなく、現場への指示は生産管
理部門の経験と勘に頼る属人的方法でなされていた。

【００１５】さらに、ユーザインタフェースにおいて
は、ユーザへの着工計画情報の提供が、紙が主体であっ
たため、ユーザ自らの使用目的に応じた形へのデータ自
由加工を阻害、情報配信・提供範囲の限定（基本的に企
業内の生産管理部門）などの問題がある。

【００１６】インターネットの進展により著しく進んで
いるモバイル環境を利用した情報利用や企業間ボーダレ
ス・コラボレーションの上に成り立つビジネス形態への
追従に支障があったのである。

【００１７】また、提供情報の内容的にも、月トータル
の生産目標値のみであり、オーダとの関連状況や最新の
計画値把握などが不十分であった。

【００１８】本発明の目的は、複数の生産拠点を経て製
造される半導体装置の生産を一元的に管理し、適切な生
産計画を指示することのできる着工管理システムを提供
することにある。

【００１９】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００２０】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。１．本発明は、複数の生産拠点を使って生産を行う半導
体装置の生産着工計画を算出する着工管理システムを提
供するものであり、生産拠点毎に設けられ、複数の生産
拠点の生産管理情報をそれぞれ収集する複数の拠点端末
と、該拠点端末が収集した生産管理情報を集計し、要求
に応じて送信する生産管理コンピュータと、生産拠点を
統合するセンタに設けられ、該生産管理コンピュータか
ら送信された生産管理情報を必要情報として収集し、そ
の必要情報に基づいて一括して各々の生産拠点の着工計
画を算出する着工管理コンピュータとを備えたものであ
る。

【００２１】また、本願のその他の発明の概要を簡単に
示す。２．前記第１項において、生産拠点に、生産受託を行う
ファウンダリ企業を有したものである。３．前記第１項または第２項において、着工管理コンピ
ュータは、収集した必要情報から、生産物流、および生
産制約条件をチェックし、その結果に基づいて着工計画
を算出するものである。４．前記第３項において、生産制約条件が、製造装置、
および設備の能力を定量的に把握した条件よりなるもの
である。５．前記第１項〜第４項のいずれか１項において、着工
管理コンピュータは、各生産拠点の生産配分率を設定し
て生産着工計画を算出するものである。６．前記第１項〜第５項のいずれか１項において、生産
拠点毎に設けられ、着工管理コンピュータが算出した生
産計画を着工指示計画として表示する着工指示端末を備
えたものである。７．前記第１項〜第６項のいずれか１項において、着工
指示端末は、着工管理コンピュータに対してセミカスタ
ム系品種における共通プロセス部分から個別プロセス部
分への切り替え指示を出力するものである。８．前記第１項〜第６項のいずれか１項において、着工
指示端末は、着工管理コンピュータ内のデータベースを
検索し、顧客からのオーダに対する入庫予定日を表示す
るものである。９．前記第１項〜第８項のいずれか１項において、着工
管理コンピュータに接続され、要求に応じて着工管理コ
ンピュータ内のデータベースを検索し、顧客からの需要
に対する生産進捗状況を表示する状況確認端末を備えた
ものである。１０．前記第９項において、状況確認端末は、製品のオ
ーダ納期に対する最新入庫予定日を検索し、表示するも
のである。１１．前記第９項または第１０項において、状況確認端
末は、オーダ納期に対する最新入庫予定日を検索し、表
示するものである。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。

【００２３】図１は、本発明の一実施の形態による生産
管理システムの構成を示すブロック図、図２は、図１の
生産管理システムにおけるサプライチェーンの説明図、
図３は、図１の生産管理システムにおける情報処理の説
明図、図４は、図１の生産管理システムにおける半導体
装置の生産管理のフローチャート、図５は、図１の生産
管理システムが対象とする半導体サプライチェーンを構
成するための各種業務システムの関連を示す説明図、図
６は、図１の生産管理システムにおける着工計画の作成
業務の流れを示す説明図、図７は、図１の生産管理シス
テムが対応可能な生産モデルの一例を示す説明図、図８
は、図１の生産管理システムに設けられたセンタコンピ
ュータが取り込む生産能力の一例を示す説明図、図９
は、図８の工程生産能力データを取り込んだ際の表示
例、図１０は、図１の生産管理システムのセンタコンピ
ュータによる整合性チェックの説明図、図１１は、着工
計画情報の基本項目の一例を示した説明図、図１２は、
図１１の着工計画の表示様式を示した説明図、図１３
は、図１の生産管理システムにおけるファウンダリ会社
のサプライチェーンへの取り込みを示す説明図、図１４
は、生産着工計画を作成する際の生産の配分率の設定の
説明図、図１５は、図１４の生産配分率の表示例を示す
説明図、図１６は、図１の生産管理システムに設けられ
た生産管理コンピュータの構成を示すブロック図、図１
７は、図１の生産管理システムに設けられた着工指示検
索端末に表示される着工指示機能メニューの一例を示す
説明図、図１８〜図２０は、図１７の着工指示検索端末
に表示されるベースからセミカスタムへの切り替え指示
の一例を示す説明図、図２１は着工指示検索端末に表
示される工程別着工指示の画面の一例を示した説明図、
図２２は、顧客への着工計画情報提供環境を示す説明
図、図２３は、受注入力端末などに表示される着工計画
検索情報のメニュー画面の一例を示す説明図、図２４〜
図２９は、受注入力端末など表示される提供情報の一例
を示す説明図である。

【００２４】本実施の形態において、生産管理システム
１は、図１に示すように、コンピュータ（着工管理コン
ピュータ）２、生産管理コンピュータ３、着工計画検索
端末（拠点端末）４、パラメータ入力端末（拠点端末）
５、着工指示検索端末（着工指示端末）６、顧客コンピ
ュータ（状況確認端末）７、ならびに受注入力端末８か
ら構成されている。

【００２５】コンピュータ２は、センタコンピュータ２
ａ、および情報提供用コンピュータ（データベース）２
ｂから構成されている。このコンピュータ２は、半導体
装置の生産拠点（生産工場）を統合する統合センタなど
に設けられており、複数の生産工場を経て生産される半
導体装置の着工や生産完成などを一元的に管理する。

【００２６】生産管理コンピュータ３、着工計画検索端
末４、パラメータ入力端末５、ならびに着工指示検索端
末６は、複数の生産工場毎にそれぞれ設けられている。
これら生産管理コンピュータ３、着工計画検索端末４、
およびパラメータ入力端末５は、ＬＡＮやＷＡＮなどの
ネットワークＮＷを介してコンピュータ２に接続されて
いる。

【００２７】着工指示検索端末６は、生産管理コンピュ
ータ３に接続されている。生産管理コンピュータ３は、
生産工場の生産管理情報を集計し、センタコンピュータ
２ａに送信する。

【００２８】着工計画検索端末４は、コンピュータ２か
ら送信された半導体装置製造の着工計画の検索閲覧など
を行う。この着工計画検索端末４は、情報ネットワーク
であるインターネットＮＥＴにも接続されており、該イ
ンターネットＮＥＴを介して着工計画を検索閲覧するこ
とが可能となっている。

【００２９】パラメータ入力端末５は、コンピュータ２
で着工計画を算出するために必要なパラメータの入力・
修正、およびコンピュータ２から送信された半導体装置
製造の着工計画の検索などを行う。着工指示検索端末６
は、コンピュータ２から送信された半導体装置製造の着
工指示を検索する。

【００３０】顧客コンピュータ７は、半導体装置を購入
する顧客が有するコンピュータであり、受注入力端末８
は、顧客から受注した需要情報などを入力する端末であ
る。

【００３１】生産管理システム１は、図２に示すサプラ
イチェーンにおいて、需要（顧客からの受注や需要予想
に基づく生産計画）により、生産管理業務として工場の
着工計画を作成、作成した計画に基づき製造現場に対し
て着工指示を提示、一方で入庫回答を作成、納期情報と
して顧客へ提供していくものである。

【００３２】また、生産管理システム１においては、図
３に示すように、コンピュータ２によって集中的に処理
を行う、いわゆるセンタ集中処理としており、顧客コン
ピュータ７や受注入力端末８などから需要情報が、そし
て、各生産拠点の生産管理コンピュータ３やパラメータ
入力端末５などから生産管理情報が該コンピュータ２に
集められる。

【００３３】コンピュータ２は、企業全体の需要・受注
情報から全体の生産計画を作成する。その生産計画に基
づいて全生産拠点の着工計画をセンタで一括作成し、作
成された着工計画は各生産拠点などユーザへ配信、ある
いはユーザからセンタへ検索アクセスする。

【００３４】次に、生産管理システム１における半導体
装置の生産管理の流れについて図４のフローチャートを
用いて説明する。

【００３５】まず、顧客からの需要予想や注文情報を基
に（ステップＳ１０１）、生産計画（在庫状況、将来需
要などを勘案して、新たにどれだけの追加生産数が必要
かを算出）を作成する（ステップＳ１０２）。

【００３６】その生産必要数を満足させるための各生産
拠点・品種・工程ごとの着工・完成数と日程などの着工
計画を算出する（ステップＳ１０３）。このステップＳ
１０３の処理では、企業全体の最適着工計画を算出すべ
く、各生産拠点の情報をセンタに収集して着工計画を実
行する。

【００３７】そして、着工計画（生産可能数）と生産計
画（生産必要数）がマッチしなければ（ステップＳ１０
４）、生産配分、生産能力、リードタイム、歩留まりな
どを見直して修正したパラメータに基づいて（ステップ
Ｓ１０５）、着工計画を再実行する（ステップＳ１０
３）。

【００３８】ステップＳ１０４の処理において、満足い
く計画となると（ステップＳ１０６）、その着工計画が
各生産拠点へは着工指示として、営業・顧客などへは入
庫回答や請期回答として提供される（ステップＳ１０
７）。

【００３９】また、計画通りに生産されたかどうかを、
週、および月のサイクルで計画と実績を比較検証して計
画遵守状況を評価し（ステップＳ１０８）、遵守率が芳
しくない場合は生産管理部門に対してその旨を定期会議
を通じてフィードバックし計画遵守率を高めていくため
のフォローアップに利用する。

【００４０】この生産管理のフローは、大きく３つのサ
イクルで回っており、月サイクルで生産計画・生産指示
と着工計画・生産可能数のギャップを調整し、週サイク
ルで着工計画を基にした製造現場への着工指示と予実績
比較・遵守状況評価、日サイクルで日々の環境変化（需
要増減、生産能力増減）に基づく対オーダ入庫回答・請
期回答の提供である。

【００４１】また、生産管理システム１が対象とする半
導体サプライチェーンを構成するための各種業務システ
ムの関連を図５に示す。この図５に示すように、生産管
理システム１は、主に網掛け部分の業務とシステムをカ
バーするものである。

【００４２】さらに、前述した着工計画の作成業務の流
れについて、図６を用いて説明する。

【００４３】各生産拠点から必要情報を収集し、それを
システムで必要とする情報にモデル化する。そのモデル
を使い、着工計画を算出し、計画値や日程を検証する。
生産指示数や納期を満足していなければ各種のパラメー
タ（生産配分率、装置能力、歩留まりなど）を見直して
再度、計画を算出する。

【００４４】満足していれば、それを各拠点に着工指示
としてフィードバックするとともに、営業・顧客サイド
にはオーダ・需要に対する入庫回答・請期回答として情
報提供していく。

【００４５】また、生産管理システム１が対応可能な生
産モデルについて図７に示す。

【００４６】生産管理システム１では、図７に示すよう
に、複数の前工程拠点・工場と複数の後工程拠点・工
場、および複数の倉庫群からなる半導体装置の生産管理
をサポートする。

【００４７】また、図７に示す生産モデル以外に、たと
えば、複数の前工程と１つの後工程、あるいは１つの前
工程と複数の後工程という生産物流も対応可能であり、
各拠点・工場は自社や関連子会社のみならずファウンダ
リ会社もサプライチェーンへの取り込める。

【００４８】次に、本実施の形態における生産管理シス
テム１の動作について詳細に説明する。

【００４９】まず、コンピュータ２における動作につい
て説明する。

【００５０】コンピュータ２には、生産管理コンピュー
タ３、顧客コンピュータ７、および受注入力端末８か
ら、ある期間毎（たとえば、１日毎）に必要情報が入力
される。

【００５１】この必要情報は、生産指示、ロット仕掛か
り、品名マスタ、工程マスタ、プロセスフロー、マスタ
スライス、配分率、歩留まり、装置情報、工程／装置関
連情報、装置処理時間、Ｋｐ倍率、工完、カレンダ、ロ
ットサイズ、オーダ纏め期間などの情報からなる。

【００５２】生産指示は、重要に基づく生産指示、顧客
からのオーダなどであり、ロット仕掛かりは、生産工程
内に仕掛かっている半製品のロット数である。品名マス
タは生産品名であり、工程マスタは品名毎の集約的生産
工程の情報である。

【００５３】プロセスフローは生産プロセス毎の詳細な
生産工程の情報であり、マスタスライスは生産品名間の
親子関係を示す情報であり、配分率は品名毎の生産拠点
と各拠点での生産比率を表す情報である。

【００５４】また、歩留まりは品名、工程毎の予測の良
品取得率であり、装置情報は、ここの生産装置における
装置タイプや処理可能枚数などの情報である。工程／装
置関連情報は、各製造工程で使用される装置の情報であ
る。

【００５５】さらに、装置処理時間は、あるプロセス、
工程で当該装置が使用される際の処理時間の情報であ
り、工完は、品名毎の生産工程のリードタイムである。

【００５６】Ｋｐ倍率は、実際の処理時間を算出するた
めの係数（実際時間＝物理時間×係数）であり、カレン
ダは、各生産拠点の休日、出勤のカレンダ情報である。

【００５７】また、ロットサイズは生産単位であるロッ
トに格納できる数量（前工程：枚数、後工程：個数）の
情報である。オーダ纏め期間は、いくつかのオーダを纏
めて生産着手する際のオーダを纏める期間の情報であ
る。

【００５８】これら必要情報のうち、生産指示は、顧客
コンピュータ７や受注入力端末８などからセンタコンピ
ュータ２ａに入力され、その他の情報は生産管理コンピ
ュータ３を介して同じくセンタコンピュータ２ａに入力
される。

【００５９】センタコンピュータ２ａは、たとえば、生
産する品名、工程プロセスフロー、装置情報、工程／装
置関連情報、および装置処理時間から、図８に示すよう
に、工程生産能力データを作り込む。図９は、作り込ん
だ工程生産能力データの表示例である。

【００６０】センタコンピュータ２ａは、この工程生産
能力データから、そのプロセスフローの各工程で使用す
る製造装置コードと装置情報データにある処理時間・装
置台数・装置タイプ情報をマッチングさせることで当該
工程の生産能力を掴むことができる。

【００６１】その後、センタコンピュータ２ａは、各生
産拠点などから入力された必要情報の整合性をチェック
する。

【００６２】まず、品名マスタ、プロセスフロー、マス
タスライスなどを基に品名別の品名工程フローデータを
作成する。そして、センタコンピュータ２ａは、図１０
に示すように、この品名工程フローデータと歩留まり、
配分率、仕掛かりロット、および前述した工程生産能力
データを突き合わせて収集情報の整合性をチェックす
る。

【００６３】整合性をチェックした後、センタコンピュ
ータ２ａは、工程生産能力データを生産着工計画を算出
する際の制約条件とするとともに、残りの必要情報を用
いて着工計画を算出し、着工計画情報の基本的内容を生
成する。

【００６４】センタコンピュータ２ａは、着工計画情報
における計画値や日程を検証し、生産指示数や納期など
を満足している場合、この着工計画情報を情報提供用コ
ンピュータ２ｂのデータベースに格納する。

【００６５】着工計画情報は、たとえば、図１１に示す
ように、工場、品名、原価工程（工程マスタ）、作業ス
テップ、仕掛かり、実績、着工計画などからなる。

【００６６】また、センタコンピュータ２ａによる整合
状況は、着工計画検索端末４などによって検索すること
ができる。この情報を検索することにより、品名間のつ
ながりや拠点への生産配分率などを一目で把握でき、生
産フロー、配分率などの妥当性確認に有効である。

【００６７】この着工計画の表示様式は、図１２に示す
ように、拠点を表す工坦コード、フロー上の複数工程を
まとめたステージを表すコード、品名と品名コード、原
価部門、理論的な装置の処理時間を現実の処理時間に変
換する係数、先行５カ月の生産配分率、各ステージ内の
工程数（ＯＰ），計画用の予定歩留、最初のロットやウ
エハの処理時間（Ｆ）、２ロット・２枚目以降の処理時
間（Ｉ）、現時点の当該ステージの仕掛かり数、および
仕掛かりロット数などである。

【００６８】図１２においては、生産の上流から下流に
向かってのフローを示した例であるが、逆に下流から上
流に溯る検索も可能である。

【００６９】そして、コンピュータ２ａが生成した着工
計画情報は、各生産拠点に設けられている着工計画検索
端末４などの配信され、それぞれの生産拠点毎に着工計
画情報の数値や日程などが検証される。

【００７０】この検証の結果、生産指示数や納期などを
満足していなければ、再度、パラメータ入力端末５から
再度入力された生産配分率、装置能力、歩留などの各種
のパラメータに基づいて着工計画を算出する。

【００７１】ここで、ファウンダリ会社のサプライチェ
ーンへの取り込み方法を示す。

【００７２】図１３に示すように、ファウンダリ会社か
ら生産委託した製品の納入予定を入手し、生産管理シス
テム１にファウンダリ会社に委託した以降の生産工程へ
のインプット情報として取り込むことにより、企業全体
の生産の入庫回答や着工計画が作成することができる。

【００７３】図７に示したように、半導体生産モデルに
おいては、着工計画を作成するための重要な要素の１つ
に生産の配分がある。すなわち、１つの品種を複数の工
場で生産する場合に目標生産予定数の何％ずつ生産する
かを決める必要がある。

【００７４】この場合、図１４に示すように、その生産
の配分率をパラメータとして設定可能であり、その率は
品名単位に前工程工場の配分率と後工程工場の配分率の
２段階で設定可能である。

【００７５】また、半導体生産において、その生産配分
率は、製造設備の更新、需要の変動、生産品種の戦略的
入れ替えなどの理由により変更されるのが常であるの
で、その生産配分は、図１５に示すように、固定ではな
く１ヶ月単位で変更できるようになっている。

【００７６】次に、各生産拠点に設けられた生産管理コ
ンピュータ３、着工計画検索端末４、およびパラメータ
入力端末５などの動作について説明する。

【００７７】まず、生産管理コンピュータ３の構成につ
いて、図１６に示す。生産管理コンピュータ３には、着
工指示検索端末６の他に、メンテナンス端末３ａが接続
されている。

【００７８】生産管理コンピュータ３のデータベースに
は、生産モデルを構築する上で必要情報が格納されてい
る。新製品生産、新プロセス開発、装置改善・新装置搬
入などの各情報の更新が必要な際には、メンテナンス端
末３ａから情報更新を行う。

【００７９】さらに、着工指示検索端末６に表示される
着工指示機能メニューについて説明する。

【００８０】着工指示は、半導体生産において特に重点
管理すべきポイント工程で実施する。それらは、前後工
程の初工程投入指示、前工程においてその途中までは生
産プロセスが共通だが、ある工程以降が顧客仕様により
作業が変わるセミカスタム系品種における共通プロセス
部分（ウエハ処理及び配線が共通であるプロセス部分、
以下、ベースという）から個別プロセス部分（顧客の要
求仕様に応じて配線を行うプロセス部分、以下、セミカ
スタムという）への切り替え指示、ある品種から別の品
種に仕掛かりを流用する品名切り替え（マスタスライ
ス）指示、前工程においてその作業や装置の特徴からボ
トルネックとなりやすいホト工程着工指示、前工程のウ
エハ検査工程着工指示、前工程拠点から後工程拠点への
ウエハ払い出し指示、後工程の最終工程の完成・製品入
庫指示である。

【００８１】以下、ベースからセミカスタムへの切り替
え指示を例にとって、着工指示機能を説明する。

【００８２】着工指示検索端末６に表示される着工指示
機能メニューは、図１７に示すように、前述した生産管
理コンピュータ３のデータベースのメンテナンスのメニ
ューと同じものであり、拠点生産管理に必要な情報アク
セスは１つのメニュー画面から行うようになっている。

【００８３】たとえば、セミカスタムへの切り替え指示
者が、メニューの中のＲＯＭ切替指示書発行ボタンをク
リックすると、図１８に示すように、セミカスタムへの
切り替え指示用の画面であるＲＯＭ切替指示データ検索
画面が表示される。

【００８４】そして、所定の項目を入力後、検索ボタン
をクリックすると、図１９に示すように、指定した期間
に切り替え指示を行うべきデータの一覧が表示される。
このデータを確認の上、切り替えると判断したデータに
ついては、図２０に示すように、判定欄をチェックして
発行ボタンをクリックすることで切替指示書が発行さ
れ、この切替指示書を製造現場へ送付して切替作業を行
わせる。

【００８５】また、図２１は、着工指示検索端末に表示
される工程別着工指示の画面の一例を示したものであ
る。図２１において、原価工程コード欄に着工指示を行
う工程コードを入力し、検索ボタンをクリックすること
で当該工程における着工計画情報が表示される。

【００８６】品名、プロセス、および各品名ごとの当週
の完成予定数と実績・達成率、先行２週間の日別完成予
定数とが表示される。この情報を利用することにより、
週の生産目標管理及び将来の日別目標が把握でき、納期
遅延の抑止、ならびに生産事前準備による生産効率化が
図れる。

【００８７】次に、顧客への着工計画情報の提供につい
て説明する。

【００８８】顧客や営業マンなどが所有するウェブ端末
ＷＰ、およびモバイル端末ＭＢは、図２２に示すよう
に、ネットワークＮＷを介してイントラネット／インタ
ーネットコンピュータＰＣに接続される。

【００８９】このイントラネット／インターネットコン
ピュータＰＣは、情報提供用コンピュータ２ｂに接続さ
れており、着工計画情報検索プログラム顧客やユーザの
要求により、着工計画情報検索プログラムが起動し、情
報提供用コンピュータ２ｂの着工計画情報データベース
の内容が顧客・ユーザに提供される。

【００９０】この場合、顧客・ユーザは、顧客が所有す
るウェブ端末ＷＰや受注入力端末８などから、ネットワ
ークＮＷを介してイントラネット／インターネットコン
ピュータＰＣにアクセスし、該当するホームページを表
示し、そのコンテンツの中から着工計画検索システムを
選択する。

【００９１】ウェブ端末ＷＰや受注入力端末８には、図
２３に示すように、検索情報のメニュー画面が表示さ
れ、検索したい内容に応じてメニューから該当情報を選
択しながら検索を実行する。

【００９２】ここで、ウェブ端末ＷＰや受注入力端末８
など表示される提供情報の一例を以下に示す。

【００９３】図２４は、顧客・ユーザからの注文や生産
指示に対応している仕掛かりロットの位置、引き当て状
況、入庫予定日などを提示する画面である。顧客など
に、オーダに対して最初に提示した当初の入庫回答とそ
れが今現在どのような状況にあるかを把握できる最新の
入庫回答と引き当てられた仕掛かりロットの進捗・現在
仕掛かり位置などを提示している。

【００９４】図２５は、請期回答を提示するにあたり、
顧客からの引き合い情報を表示した画面である。顧客か
ら引き合いのあった品名、数量、要求納期に対し、納入
可能な数量と日付が表示されている。

【００９５】これにより、営業などユーザは、顧客に対
して即座に請期を回答できるようになり、顧客はその請
期回答を知ることで満足する内容であれば正式注文を入
れることになる。

【００９６】また、図２６は、オーダごとの入庫回答を
表示する画面である。

【００９７】部課名と部課コード相当の受注元、顧客名
と顧客コード相当の注文主、各品種を分類する分類コー
ド相当の管理コード、品名、オーダＮｏ．、オーダの納
期、入庫予定枠を勘案して再設定した納期である入庫指
示日、オーダ残数、オーダに対して既に引き当て済みの
在庫数である在庫引当、オーダがコンピュータに入力さ
れた日である手配日、オーダ納期に対する最新入庫予定
日との日数差である遅延、現時点での入庫予定日である
最新入庫予定日、および当該オーダに対して一番最初に
提示した入庫予定日である当初入庫予定日を画面上にそ
れぞれ表示している。

【００９８】この画面情報から顧客などユーザは自分の
発注したオーダに対する納品が何時ころになるかを把握
できる。半導体装置は種々の要因で生産変動が大きいた
め、この情報においても現時点での状況を加味した最新
の入庫予定日が表示されている。

【００９９】さらに、市販表計算ソフトを利用して情報
ダウンロード機能での情報提供も行う。個々の品種の情
報のみではなく、全品種・全工程の情報のような大量の
情報を必要とするような部署や業務のためには当該機能
が有効である。

【０１００】この場合、図２７に示すような画面から、
ユーザはダウンロードする情報を選択する。選択された
情報により、図２８に示すように、必要とする情報範囲
（拠点・工場・ライン）を選択する。

【０１０１】そして、図２８の必要情報範囲選択画面か
ら範囲を示すアイコンをクリックすると、図２９に示す
ように、表計算ソフトに情報が貼り付けられて端末にダ
ウンロードされる。本データは、生産拠点別に、品名・
工程ごとに日別の完成予定数を表示している。ユーザは
その予定数を目指して生産を行う。

【０１０２】それにより、本実施の形態によれば、生産
管理システム１により、生産サプライチェーン全体の生
産リードタイムを短縮し、適切な着工指示により仕掛か
り量最適化を図ることができる。

【０１０３】また、実態に則した納期情報である、入庫
予定日回答・請期回答を顧客などに提示することができ
るのＣＳ（顧客満足度）を向上することができる。

【０１０４】以上、本発明者によってなされた発明を発
明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を
逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでも
ない。

【０１０５】

【発明の効果】本願によって開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【０１０６】（１）高精度な着工指示計画を短時間で効
率的に算出することができるので、生産サプライチェー
ン全体の生産リードタイムを短縮するとともに、適切な
着工指示により仕掛かり量最適化を図ることができる。

【０１０７】（２）また、上記（１）により、半導体装
置の製造コストを低減することができる。

【０１０８】（３）さらに、実態に則した納期情報を顧
客などに提示することにより、顧客満足度を向上するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態による生産管理システム
の構成を示すブロック図である。

【図２】図１の生産管理システムにおけるサプライチェ
ーンの説明図である。

【図３】図１の生産管理システムにおける情報処理の説
明図である。

【図４】図１の生産管理システムにおける半導体装置の
生産管理のフローチャートである。

【図５】図１の生産管理システムが対象とする半導体サ
プライチェーンを構成するための各種業務システムの関
連を示す説明図である。

【図６】図１の生産管理システムにおける着工計画の作
成業務の流れを示す説明図である。

【図７】図１の生産管理システムが対応可能な生産モデ
ルの一例を示す説明図である。

【図８】図１の生産管理システムに設けられたセンタコ
ンピュータが取り込む生産能力の一例を示す説明図であ
る。

【図９】図８の工程生産能力データを取り込んだ際の表
示例である。

【図１０】図１の生産管理システムのセンタコンピュー
タによる整合性チェックの説明図である。

【図１１】着工計画情報の基本項目の一例を示した説明
図である。

【図１２】図１１の着工計画における生産モデルのデー
タ内容を示した説明図である。

【図１３】図１の生産管理システムにおけるファウンダ
リ会社のサプライチェーンへの取り込みを示す説明図で
ある。

【図１４】生産着工計画を作成する際の生産の配分率の
設定の説明図である。

【図１５】図１４の生産配分率の表示例を示す説明図で
ある。

【図１６】図１の生産管理システムに設けられた生産管
理コンピュータの構成を示すブロック図である。

【図１７】図１の生産管理システムに設けられた着工指
示検索端末に表示される着工指示機能メニューの一例を
示す説明図である。

【図１８】図１７の着工指示検索端末に表示されるベー
スからセミカスタムへの切り替え指示の一例を示す説明
図である。

【図１９】図１９に続く切り替え指示の一例を示す説明
図である。

【図２０】図２０に続く切り替え指示の一例を示す説明
図である。

【図２１】着工指示検索端末に表示される工程別着工指
示の画面の一例を示した説明図である。

【図２２】顧客への着工計画情報提供環境を示す説明図
である。

【図２３】受注入力端末などに表示される着工計画検索
情報のメニュー画面の一例を示す説明図である。

【図２４】受注入力端末など表示される提供情報の一例
を示す説明図である。

【図２５】図２４に続く提供情報の一例を示す説明図で
ある。

【図２６】図２５に続く提供情報の一例を示す説明図で
ある。

【図２７】図２６に続く提供情報の一例を示す説明図で
ある。

【図２８】図２７に続く提供情報の一例を示す説明図で
ある。

【図２９】図２８に続く提供情報の一例を示す説明図で
ある。

【符号の説明】

１生産管理システム２コンピュータ（着工管理コンピュータ）２ａセンタコンピュータ２ｂ情報提供用コンピュータ（データベース）３生産管理コンピュータ３ａメンテナンス端末４着工計画検索端末（拠点端末）５パラメータ入力端末（拠点端末）６着工指示検索端末（着工指示端末）７顧客コンピュータ８受注入力端末７顧客コンピュータ（状況確認端末）８受注入力端末ＮＥＴインターネットＮＷネットワークＰＣイントラネット／インターネットコンピュータＷＰウェブ端末ＭＢモバイル端末

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者前田和彦東京都小平市上水本町五丁目20番１号株式会社日立製作所半導体グループ内 (72)発明者小林善夫東京都小平市上水本町五丁目20番１号株式会社日立製作所半導体グループ内 (72)発明者見島修東京都小平市上水本町五丁目20番１号株式会社日立製作所半導体グループ内 (72)発明者本間高志東京都小平市上水本町五丁目20番１号株式会社日立製作所半導体グループ内 (72)発明者明石潤東京都小平市上水本町五丁目20番１号株式会社日立製作所半導体グループ内 (72)発明者山田浩東京都小平市上水本町五丁目20番１号株式会社日立製作所半導体グループ内 (72)発明者益永健一郎東京都小平市上水本町五丁目20番１号株式会社日立製作所半導体グループ内 (72)発明者小山政宏東京都小平市上水本町五丁目20番１号株式会社日立製作所半導体グループ内 (72)発明者船木謙一神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式会社日立製作所生産技術研究所内Ｆターム(参考） 3C100 AA05 AA16 AA45 BB02 BB04 BB05 BB13 BB14 BB36 BB39 CC02 CC04 CC05 CC11 EE06

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の生産拠点を使って生産を行う半導
体装置の生産着工計画を算出する着工管理システムであ
って、前記生産拠点毎に設けられ、前記複数の生産拠点の生産
管理情報をそれぞれ収集する複数の拠点端末と、前記拠点端末が収集した生産管理情報を集計し、要求に
応じて送信する生産管理コンピュータと、前記生産拠点を統合するセンタに設けられ、前記生産管
理コンピュータから送信された生産管理情報を必要情報
として収集し、前記必要情報に基づいて一括して各々の
前記生産拠点の着工計画を算出する着工管理コンピュー
タとを備えたことを特徴とする着工管理システム。
【請求項２】請求項１記載の着工管理システムにおい
て、前記生産拠点に、生産受託を行うファウンダリ企業
を有したことを特徴とする着工管理システム。
【請求項３】請求項１または２記載の着工管理システ
ムにおいて、前記着工管理コンピュータは、収集した必
要情報から、生産物流、および生産制約条件をチェック
し、そのチェック結果に基づいて着工計画を算出するこ
とを特徴とする着工管理システム。
【請求項４】請求項３記載の着工管理システムにおい
て、前記生産制約条件が、製造装置、および設備の能力
を定量的に把握した条件であることを特徴とする着工管
理システム。
【請求項５】請求項１〜４のいずれか１項に記載の着
工管理システムにおいて、前記着工管理コンピュータ
は、各生産拠点の生産配分率を設定して生産着工計画を
算出することを特徴とする着工管理システム。
【請求項６】請求項１〜５のいずれか１項に記載の着
工管理システムにおいて、前記生産拠点毎に設けられ、前記着工管理コンピュータ
が算出した生産計画を着工指示計画として表示する着工
指示端末を備えたことを特徴とする着工管理システム。
【請求項７】請求項１〜６のいずれか１項に記載の着
工管理システムにおいて、前記着工指示端末は、前記着
工管理コンピュータに対してセミカスタム系品種におけ
る共通プロセス部分から個別プロセス部分への切り替え
指示を出力することを特徴とする着工管理システム。
【請求項８】請求項１〜６のいずれか１項に記載の着
工管理システムにおいて、前記着工指示端末は、前記着
工管理コンピュータ内のデータベースを検索し、顧客か
らのオーダに対する入庫予定日を表示することを特徴と
する着工管理システム。
【請求項９】請求項１〜８のいずれか１項に記載の着
工管理システムにおいて、前記着工管理コンピュータに
接続され、要求に応じて前記着工管理コンピュータ内の
データベースを検索し、顧客からの需要に対する生産進
捗状況を表示する状況確認端末を備えたことを特徴とす
る着工管理システム。
【請求項１０】請求項９記載の着工管理システムにお
いて、前記状況確認端末は、製品のオーダ納期に対する
最新入庫予定日を検索し、表示することを特徴とする着
工管理システム。
【請求項１１】請求項９または１０記載の着工管理シ
ステムにおいて、前記状況確認端末は、オーダ納期に対
する最新入庫予定日を検索し、表示することを特徴とす
る着工管理システム。