JP2003222795A - 倍率補正光学系 - Google Patents
倍率補正光学系Info
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- JP2003222795A JP2003222795A JP2002324838A JP2002324838A JP2003222795A JP 2003222795 A JP2003222795 A JP 2003222795A JP 2002324838 A JP2002324838 A JP 2002324838A JP 2002324838 A JP2002324838 A JP 2002324838A JP 2003222795 A JP2003222795 A JP 2003222795A
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- lenses
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- Lenses (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 微少な倍率補正のできる倍率補正光学系を提
供する。 【解決手段】 物体面５側にが平凸レンズである第１レ
ンズ１を設置し、結像面７側にが凸平レンズである第２
レンズ２を設置する。この第１レンズ１と第２レンズ２
の間の中心間隔ｄを調整することにより、拡大或いは縮
小を行う。第１レンズ１の凸面と第２レンズ２の凹面の
曲率半径Ｒ２とＲ３は次の式に示すように設定してあ
る。 Ｒ２＝（1−ｎ１）／φ2 Ｒ３＝（ｎ２−1）／φ3 ここで、φ2、φ3、は各面の光学的パワー、ｎ１とｎ２
はそれぞれ屈折率である。
供する。 【解決手段】 物体面５側にが平凸レンズである第１レ
ンズ１を設置し、結像面７側にが凸平レンズである第２
レンズ２を設置する。この第１レンズ１と第２レンズ２
の間の中心間隔ｄを調整することにより、拡大或いは縮
小を行う。第１レンズ１の凸面と第２レンズ２の凹面の
曲率半径Ｒ２とＲ３は次の式に示すように設定してあ
る。 Ｒ２＝（1−ｎ１）／φ2 Ｒ３＝（ｎ２−1）／φ3 ここで、φ2、φ3、は各面の光学的パワー、ｎ１とｎ２
はそれぞれ屈折率である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、倍率補正光学系
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体や液晶だけにとどまらず、近年は
プリントボードもフォトマスク（レチクル）に描いた回
路パターンなどを対象物に焼き付けるリソグラフィ法に
より製造されるようになってきている。しかし、このよ
うなリソグラフィ法において、シリコンウエーハやガラ
ス、プリント基板などの対象物が、工程中に熱等の影響
を受けて伸縮を起こし、アライメントの誤差を引き起こ
す問題があった。このような基板などの対象物の伸縮に
起因する誤差を解消するために、平行平面ガラスを、フ
ォトマスクより出た主光線が光軸に平行になる所謂テレ
セントリックな位置に設け、該平行平面ガラスを曲げて
主光線を屈折させて倍率の微調整を行う方法が考えられ
る。
プリントボードもフォトマスク（レチクル）に描いた回
路パターンなどを対象物に焼き付けるリソグラフィ法に
より製造されるようになってきている。しかし、このよ
うなリソグラフィ法において、シリコンウエーハやガラ
ス、プリント基板などの対象物が、工程中に熱等の影響
を受けて伸縮を起こし、アライメントの誤差を引き起こ
す問題があった。このような基板などの対象物の伸縮に
起因する誤差を解消するために、平行平面ガラスを、フ
ォトマスクより出た主光線が光軸に平行になる所謂テレ
セントリックな位置に設け、該平行平面ガラスを曲げて
主光線を屈折させて倍率の微調整を行う方法が考えられ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、平行平面ガラ
スを球面に曲げることは現実的に難しく、例えば平行平
面ガラスの両端を固定して曲げると近似球面か非球面に
しか曲げられず、光学倍率を像面上で一律に変化させる
ことは不可能であり、非線形な誤差が生ずることにな
る。また平行平面ガラスの自重変形による誤差も予想さ
れる。更に、平行平面ガラスを曲げることは曲げる力と
球面の関係を制御することになり、直接倍率制御を行え
ず、間接的な制御方法になる問題もある。本発明は上記
従来技術の問題を解決することを目的とする。
スを球面に曲げることは現実的に難しく、例えば平行平
面ガラスの両端を固定して曲げると近似球面か非球面に
しか曲げられず、光学倍率を像面上で一律に変化させる
ことは不可能であり、非線形な誤差が生ずることにな
る。また平行平面ガラスの自重変形による誤差も予想さ
れる。更に、平行平面ガラスを曲げることは曲げる力と
球面の関係を制御することになり、直接倍率制御を行え
ず、間接的な制御方法になる問題もある。本発明は上記
従来技術の問題を解決することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、露光光学系の物体面側或いは像側のテレセントリッ
クな部所に、下式で定義される光学的パワーφ２を有す
る平凸又は平凹の第１レンズと下式で定義される光学的
パワーφ３を有する凹平又は凸平の第２レンズの２枚の
レンズを挿入し、該レンズの間隔を変化させて、該露光
光学系の全系倍率を微小に変化させる、ことを特徴とす
る。 φ３＝−Φ(Ｓ１+ｅ１)／ｄ０ φ２＝（Φ−φ３）／（１−ｄ０φ３） 但し Φ：倍率補正光学系の光学的パワー Ｓ１：第１レンズの第１面から物体面５(フォトマスク
面)までの距離 ｄ０：倍率β＝１となる２つのレンズの中心間隔 ｅ１=ｔ１／ｎ１（ｔ１：第１レンズ１の中心厚、ｎ
１：第１レンズ１の屈折率） 以上の構成により２つのレンズの中心間隔をｄ０を中心
として増減してやれば、倍率βの調整が可能になり、露
光光学系の微少な拡大或いは縮小の倍率補正を行える。
なお、前記露光光学系が、前記２枚のレンズの中心厚の
合計に等しい平行平面が挿入された条件で、予め各光学
的収差がその目的に合わせて補正されている、ことが望
ましい。また、像の縦或いは横の一方向のみの倍率補正
を行う場合には、前記２枚のレンズをシリンドリカルレ
ンズとすることにより、同様に中心間隔ｄの調整で倍率
補正が可能である。また回動装置によりシリンドリカル
レンズを回動させて、倍率を変化させる方向を変更可能
に構成することも可能である。なお、色消しのために、
前記２枚のレンズの各アッベ数υ1、υ2を下式を満足す
るように設定することが望ましい。 υ1／υ2≒φ2／φ3
に、露光光学系の物体面側或いは像側のテレセントリッ
クな部所に、下式で定義される光学的パワーφ２を有す
る平凸又は平凹の第１レンズと下式で定義される光学的
パワーφ３を有する凹平又は凸平の第２レンズの２枚の
レンズを挿入し、該レンズの間隔を変化させて、該露光
光学系の全系倍率を微小に変化させる、ことを特徴とす
る。 φ３＝−Φ(Ｓ１+ｅ１)／ｄ０ φ２＝（Φ−φ３）／（１−ｄ０φ３） 但し Φ：倍率補正光学系の光学的パワー Ｓ１：第１レンズの第１面から物体面５(フォトマスク
面)までの距離 ｄ０：倍率β＝１となる２つのレンズの中心間隔 ｅ１=ｔ１／ｎ１（ｔ１：第１レンズ１の中心厚、ｎ
１：第１レンズ１の屈折率） 以上の構成により２つのレンズの中心間隔をｄ０を中心
として増減してやれば、倍率βの調整が可能になり、露
光光学系の微少な拡大或いは縮小の倍率補正を行える。
なお、前記露光光学系が、前記２枚のレンズの中心厚の
合計に等しい平行平面が挿入された条件で、予め各光学
的収差がその目的に合わせて補正されている、ことが望
ましい。また、像の縦或いは横の一方向のみの倍率補正
を行う場合には、前記２枚のレンズをシリンドリカルレ
ンズとすることにより、同様に中心間隔ｄの調整で倍率
補正が可能である。また回動装置によりシリンドリカル
レンズを回動させて、倍率を変化させる方向を変更可能
に構成することも可能である。なお、色消しのために、
前記２枚のレンズの各アッベ数υ1、υ2を下式を満足す
るように設定することが望ましい。 υ1／υ2≒φ2／φ3
【０００５】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面に
基づいて説明する。図１はプリント配線基板を製造する
ための露光装置に本発明の倍率補正光学系Ａを設置した
例を示すものである。フォトマスクのマスク面である物
体面５を透過した露光波長の光は、倍率補正光学系Ａに
おいて所定の倍率で微細に全方向或いは所定の方向に拡
大或いは縮小され、露光光学系６において通常の投影倍
率で拡大或いは縮小され、プリント基板の結像面７上に
結像するように構成されている。
基づいて説明する。図１はプリント配線基板を製造する
ための露光装置に本発明の倍率補正光学系Ａを設置した
例を示すものである。フォトマスクのマスク面である物
体面５を透過した露光波長の光は、倍率補正光学系Ａに
おいて所定の倍率で微細に全方向或いは所定の方向に拡
大或いは縮小され、露光光学系６において通常の投影倍
率で拡大或いは縮小され、プリント基板の結像面７上に
結像するように構成されている。
【０００６】倍率補正光学系Ａは第１レンズ１と第２レ
ンズ２とを備えており、第１レンズ１と第２レンズ２の
間の距離を調整することにより、その倍率を調整できる
ようになっている。また、後述するように第１レンズ１
と第２レンズ２としてシリンドリカルレンズを用いれ
ば、所定の方向のみに拡大、縮小可能になる。この倍率
は、例えばプリント基板の伸縮等を補償するように設定
することが可能である。倍率補正光学系Ａはテレセント
リックな光学系に設置するものとし、この実施形態では
物体面５と露光光学系６の間に設置してある。
ンズ２とを備えており、第１レンズ１と第２レンズ２の
間の距離を調整することにより、その倍率を調整できる
ようになっている。また、後述するように第１レンズ１
と第２レンズ２としてシリンドリカルレンズを用いれ
ば、所定の方向のみに拡大、縮小可能になる。この倍率
は、例えばプリント基板の伸縮等を補償するように設定
することが可能である。倍率補正光学系Ａはテレセント
リックな光学系に設置するものとし、この実施形態では
物体面５と露光光学系６の間に設置してある。
【０００７】図２に基づいて、倍率補正光学系Ａの構造
を詳細に説明する。この実施形態では、物体面５側の第
１レンズ１が平凸レンズ、結像面７側の第２レンズ２が
凹平レンズとなっている。第１レンズ１を平凹レンズ、
第２レンズ２を凸平レンズとしてもよい。この第１レン
ズ１と第２レンズ２の間の中心間隔ｄを調整することに
より、拡大或いは縮小が可能なように設定されている。
即ち中心間隔ｄ０の時に倍率を等倍とし、中心間隔ｄを
ｄ０を中心に変化させることにより、倍率を拡大したり
縮小したりすることができるように構成されている。
を詳細に説明する。この実施形態では、物体面５側の第
１レンズ１が平凸レンズ、結像面７側の第２レンズ２が
凹平レンズとなっている。第１レンズ１を平凹レンズ、
第２レンズ２を凸平レンズとしてもよい。この第１レン
ズ１と第２レンズ２の間の中心間隔ｄを調整することに
より、拡大或いは縮小が可能なように設定されている。
即ち中心間隔ｄ０の時に倍率を等倍とし、中心間隔ｄを
ｄ０を中心に変化させることにより、倍率を拡大したり
縮小したりすることができるように構成されている。
【０００８】そのため、第１レンズ１の凸面と第２レン
ズ２の凹面の曲率半径Ｒ２とＲ３を次の式に示すように
設定してある。この式は、第１レンズ１が平凸レンズ、
第２レンズ２が凹平レンズの場合だけでなく、第１レン
ズ１を平凹レンズ、第２レンズ２を凸平レンズとした場
合にも有効である。 Ｒ２＝（1−ｎ１）／φ2 ……式１ Ｒ３＝（ｎ２−1）／φ3 ……式２ ここで、φ2、φ3、は各面の光学的パワー、ｎ１とｎ２
はそれぞれ屈折率である。
ズ２の凹面の曲率半径Ｒ２とＲ３を次の式に示すように
設定してある。この式は、第１レンズ１が平凸レンズ、
第２レンズ２が凹平レンズの場合だけでなく、第１レン
ズ１を平凹レンズ、第２レンズ２を凸平レンズとした場
合にも有効である。 Ｒ２＝（1−ｎ１）／φ2 ……式１ Ｒ３＝（ｎ２−1）／φ3 ……式２ ここで、φ2、φ3、は各面の光学的パワー、ｎ１とｎ２
はそれぞれ屈折率である。
【０００９】上記式１と２は次のように導かれる。いま
図２に示すように、R1、R2を第１レンズ１の両面の曲率
半径、R3、R4を第２レンズ２の両面の曲率半径とし、各
面の光学的パワー（焦点距離の逆数）をφ1、φ2、φ
3、φ4、とする。更に第１レンズ１の中心厚をｔ１、屈
折率をｎ１、第２レンズ２の中心厚をｔ２、屈折率をｎ
２とし、第１レンズ１と第２レンズ２の中心間隔をｄと
する。第１レンズ１の第１面R1から物体面５(フォトマ
スク面)までの距離をS1とし、第２レンズ２の第２面Ｒ
４から、その像面５０（フォトマスク面の虚像）までの
距離をＳｋとする。
図２に示すように、R1、R2を第１レンズ１の両面の曲率
半径、R3、R4を第２レンズ２の両面の曲率半径とし、各
面の光学的パワー（焦点距離の逆数）をφ1、φ2、φ
3、φ4、とする。更に第１レンズ１の中心厚をｔ１、屈
折率をｎ１、第２レンズ２の中心厚をｔ２、屈折率をｎ
２とし、第１レンズ１と第２レンズ２の中心間隔をｄと
する。第１レンズ１の第１面R1から物体面５(フォトマ
スク面)までの距離をS1とし、第２レンズ２の第２面Ｒ
４から、その像面５０（フォトマスク面の虚像）までの
距離をＳｋとする。
【００１０】この倍率補正光学系全系のトータルパワー
をΦ(焦点距離の逆数)とすると、Ｒ１、Ｒ４は平面であ
るから、パワーφ1、φ4は０となり、Φは Φ＝φ2＋φ3−dφ2φ3 ……式３ で表される。
をΦ(焦点距離の逆数)とすると、Ｒ１、Ｒ４は平面であ
るから、パワーφ1、φ4は０となり、Φは Φ＝φ2＋φ3−dφ2φ3 ……式３ で表される。
【００１１】この時、倍率補正光学系の倍率βは、光学
的近軸関係により次の通りである。 β＝−１／〔Φ(S1＋e1)＋ｄφ3−1〕 ……式４ 但しｅ１=ｔ１／ｎ１ Ｓ１は図２で物体面が第１レンズの左にある時は、Ｓ１
＞０とする。
的近軸関係により次の通りである。 β＝−１／〔Φ(S1＋e1)＋ｄφ3−1〕 ……式４ 但しｅ１=ｔ１／ｎ１ Ｓ１は図２で物体面が第１レンズの左にある時は、Ｓ１
＞０とする。
【００１２】次に倍率βが等倍(β＝1)になる時のｄを
基準間隔ｄ０として式４よりφ3を求めると、 φ3＝−Φ(S1+ｅ１)／ｄ０ ……式５ となる。
基準間隔ｄ０として式４よりφ3を求めると、 φ3＝−Φ(S1+ｅ１)／ｄ０ ……式５ となる。
【００１３】式５を式３に代入すれば、次のようにφ2
が求まる。 φ2＝（Φ−φ3）／（1−ｄ０φ3） ……式６
が求まる。 φ2＝（Φ−φ3）／（1−ｄ０φ3） ……式６
【００１４】φ2、φ3が決まれば、二枚のレンズの屈折
率からＲ２,Ｒ３の曲率半径は、上記した式１と式２と
なる。 Ｒ２＝（1−ｎ１）／φ2 ……式１ Ｒ３＝（ｎ２−1）／φ3 ……式２
率からＲ２,Ｒ３の曲率半径は、上記した式１と式２と
なる。 Ｒ２＝（1−ｎ１）／φ2 ……式１ Ｒ３＝（ｎ２−1）／φ3 ……式２
【００１５】この時の倍率補正光学系のトータルパワー
Φは、露光光学系のテレセントリック度の許容出来る範
囲の値にする。言い換えれば、倍率補正光学系の焦点距
離は、露光光学系の使用条件によって決まるテレセント
リック性の許容範囲に入る長い焦点距離を与える。この
焦点距離を負（−）で長い値を与えれば、平凸＋平凹の
組み合わせになり、正（＋）の長い値を与えれば、平凹
＋平凸レンズの組み合わせになる。
Φは、露光光学系のテレセントリック度の許容出来る範
囲の値にする。言い換えれば、倍率補正光学系の焦点距
離は、露光光学系の使用条件によって決まるテレセント
リック性の許容範囲に入る長い焦点距離を与える。この
焦点距離を負（−）で長い値を与えれば、平凸＋平凹の
組み合わせになり、正（＋）の長い値を与えれば、平凹
＋平凸レンズの組み合わせになる。
【００１６】上記で求められた、φ２とφ３からΦを求
め、このΦとφ３を式４に代入すれば、 β＝−１／〔（φ2＋φ3−dφ2φ3）(S1＋e1)＋ｄφ3−1〕 ……式４’ 但しｅ１=ｔ１／ｎ１ となる。この式からわかるように、倍率βは第１レンズ
１と第２レンズ２の間隔ｄにより変化し、このｄを変化
させることにより、倍率βの補正が行える。しかも間隔
ｄの調整により露光光学系を含めた全系の倍率βの補正
が行える。
め、このΦとφ３を式４に代入すれば、 β＝−１／〔（φ2＋φ3−dφ2φ3）(S1＋e1)＋ｄφ3−1〕 ……式４’ 但しｅ１=ｔ１／ｎ１ となる。この式からわかるように、倍率βは第１レンズ
１と第２レンズ２の間隔ｄにより変化し、このｄを変化
させることにより、倍率βの補正が行える。しかも間隔
ｄの調整により露光光学系を含めた全系の倍率βの補正
が行える。
【００１７】この時、倍率補正光学系の限界補正倍率
は、第１、第２レンズの間隔ｄ＝０となった時であり、
倍率(β＝β０)は、上記式４’から、 β０=−１／〔(φ２+φ３)(Ｓ１+ｅ１)−１〕 ……式４” で求められる。
は、第１、第２レンズの間隔ｄ＝０となった時であり、
倍率(β＝β０)は、上記式４’から、 β０=−１／〔(φ２+φ３)(Ｓ１+ｅ１)−１〕 ……式４” で求められる。
【００１８】上記実施形態では、第１レンズ１と第２レ
ンズ２のＲ２,Ｒ３面を球面としているため、縦横の倍
率補正がレンズ間隔dを変化させると同じ比率で変化す
る。露光光学系の倍率が、例えば、温度変化によるよう
な、一様の倍率変化を補正する場合には、この構成が有
効である。
ンズ２のＲ２,Ｒ３面を球面としているため、縦横の倍
率補正がレンズ間隔dを変化させると同じ比率で変化す
る。露光光学系の倍率が、例えば、温度変化によるよう
な、一様の倍率変化を補正する場合には、この構成が有
効である。
【００１９】上記実施形態の他に、第１レンズ１と第２
レンズ２のＲ２,Ｒ３面をシリンドリカル面とすること
が可能である。この場合、Ｒ２、Ｒ３面はシリンドリカ
ル面の母線方向には平行平面になり、第１レンズ１と第
２レンズ２の間隔dに無関係に母線方向の倍率は等倍に
なる。従って、母線方向の倍率は変化しない。一方、シ
リンドリカル面の母線に直交する方向では、上記実施形
態の理論式はそのまま成立する。そのため、シリンドリ
カル面の母線方向と直交の方向のみの倍率を、変化させ
ることができる。即ち第１レンズ１と第２レンズ２の間
隔dを変化させた時には、基準間隔d0（β＝１）をはさ
んで、縮小と拡大の補正が可能になる。プリント基板等
は露光以後の工程で、一方向にのみ基板に伸縮が生ずる
ことがあり、このような方向性のある伸縮を補償する場
合には、シリンドリカル面を採用するのが有効である。
更に回動装置を設けて、これによりシリンドリカルレン
ズを回動させて、倍率を変化させる方向を変更可能に構
成することも可能である。この構成によりθ方向に回転
させた方向に拡大縮小することが可能になる。これによ
り倍率補正の方向を微細に調整可能になる。
レンズ２のＲ２,Ｒ３面をシリンドリカル面とすること
が可能である。この場合、Ｒ２、Ｒ３面はシリンドリカ
ル面の母線方向には平行平面になり、第１レンズ１と第
２レンズ２の間隔dに無関係に母線方向の倍率は等倍に
なる。従って、母線方向の倍率は変化しない。一方、シ
リンドリカル面の母線に直交する方向では、上記実施形
態の理論式はそのまま成立する。そのため、シリンドリ
カル面の母線方向と直交の方向のみの倍率を、変化させ
ることができる。即ち第１レンズ１と第２レンズ２の間
隔dを変化させた時には、基準間隔d0（β＝１）をはさ
んで、縮小と拡大の補正が可能になる。プリント基板等
は露光以後の工程で、一方向にのみ基板に伸縮が生ずる
ことがあり、このような方向性のある伸縮を補償する場
合には、シリンドリカル面を採用するのが有効である。
更に回動装置を設けて、これによりシリンドリカルレン
ズを回動させて、倍率を変化させる方向を変更可能に構
成することも可能である。この構成によりθ方向に回転
させた方向に拡大縮小することが可能になる。これによ
り倍率補正の方向を微細に調整可能になる。
【００２０】次に倍率補正光学系を介した後、物体の像
面５０(虚像)のR4面からの距離Ｓｋの変化は、近軸関係
から Ｓｋ=〔(1−ｄφ３)Ｓ１+ｄ〕／〔ΦＳ１−(1−ｄφ３)〕 ……式７ として表される。この関係式から、基準間隔d0を基準に
した時の距離Ｓｋとの差を、露光系に許される焦点深度
内に入るように、基準間隔ｄの移動範囲を決めることが
出来る。
面５０(虚像)のR4面からの距離Ｓｋの変化は、近軸関係
から Ｓｋ=〔(1−ｄφ３)Ｓ１+ｄ〕／〔ΦＳ１−(1−ｄφ３)〕 ……式７ として表される。この関係式から、基準間隔d0を基準に
した時の距離Ｓｋとの差を、露光系に許される焦点深度
内に入るように、基準間隔ｄの移動範囲を決めることが
出来る。
【００２１】また本発明の倍率補正光学系は、凸、凹関
係になっている為、一種のフラウンホーファータイプに
なっていることから倍率補正光学系の色消しも可能にな
る。例えば色消しをしたい波長ａ、ｂの屈折率を（ｎ１
ａ、ｎ１ｂ）、（ｎ２ａ、ｎ２ｂ）とした時、第１レン
ズ１と第２レンズ２のアッベ数υを υ１＝（ｎ１−１）／（ｎ１ａ−ｎ１ｂ） ……式８ υ２＝（ｎ２−１）／（ｎ２ａ−ｎ２ｂ） ……式９ と定義すると、 υ1／υ2≒φ2／φ3 ……式１０ の関係でυ1, υ2を選択すれば、色消しが可能になる。
係になっている為、一種のフラウンホーファータイプに
なっていることから倍率補正光学系の色消しも可能にな
る。例えば色消しをしたい波長ａ、ｂの屈折率を（ｎ１
ａ、ｎ１ｂ）、（ｎ２ａ、ｎ２ｂ）とした時、第１レン
ズ１と第２レンズ２のアッベ数υを υ１＝（ｎ１−１）／（ｎ１ａ−ｎ１ｂ） ……式８ υ２＝（ｎ２−１）／（ｎ２ａ−ｎ２ｂ） ……式９ と定義すると、 υ1／υ2≒φ2／φ3 ……式１０ の関係でυ1, υ2を選択すれば、色消しが可能になる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように本発明の倍率補正光
学系によれば、微少な倍率補正がレンズ間隔を調整する
ことにより実現できる効果がある。
学系によれば、微少な倍率補正がレンズ間隔を調整する
ことにより実現できる効果がある。
【図１】本発明の一実施形態を示す概略図。
【図２】本発明の一実施形態の動作を示す説明図。
１：第１レンズ、２：第２レンズ、５：物体面、６：露
光光学系、７：結像面、５０：像面。
光光学系、７：結像面、５０：像面。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 平 林 洋 一
東京都港区芝公園３丁目４番30号 株式会
社アドテックエンジニアリング内
Ｆターム(参考） 2H087 KA21 LA01 LA28 LA30 NA00
NA02 PA02 PA17 PB02 QA01
QA05 QA13 QA18 QA21 QA22
QA33 QA38 QA41 QA42 RA07
SA87 SA89
5F046 BA03 CB12 CB24 DA13
Claims (5)
- 【請求項１】 露光光学系の物体面側或いは像側のテレ
セントリックな部所に、下式で定義される光学的パワー
φ２を有する平凸又は平凹の第１レンズと下式で定義さ
れる光学的パワーφ３を有する凹平又は凸平の第２レン
ズの２枚のレンズを挿入し、該レンズの間隔を変化させ
て、該露光光学系の全系倍率を微小に変化させる、こと
を特徴とする倍率補正光学系。 φ３＝−Φ(Ｓ１+ｅ１)／ｄ０ φ２＝（Φ−φ３）／（１−ｄ０φ３） 但し Φ：倍率補正光学系のトータル光学的パワー Ｓ１：第１レンズの第１面から物体面(フォトマスク面)
までの距離 ｄ０：倍率β＝１となる２つのレンズの中心間隔 ｅ１=ｔ１／ｎ１（ｔ１：第１レンズ１の中心厚、ｎ
１：第１レンズ１の屈折率） - 【請求項２】 前記露光光学系が、前記２枚のレンズの
中心厚の合計に等しい平行平面が挿入された条件で、予
め各光学的収差がその目的に合わせて補正されている、
請求項１に記載の倍率補正光学系。 - 【請求項３】 前記２枚のレンズがシリンドリカルレン
ズである、請求項１又は２に記載の倍率補正光学系。 - 【請求項４】 前記シリンドリカルレンズを回動させ
て、倍率を変化させる方向を変更させる回動装置を更に
設けた、請求項３に記載の倍率補正光学系。 - 【請求項５】 前記２枚のレンズの各アッベ数υ1、υ2
を下式を満足するように設定した、 請求項１又は２又は３又は４に記載の倍率補正光学系。 υ1／υ2≒φ2／φ3
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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-
2002
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