JP2003222472A - Crucible - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、有機材料などを熱
して、所定の基板に蒸着させるためのルツボに関し、特に
は、そのルツボの形状に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a crucible for heating an organic material or the like to deposit it on a predetermined substrate, and more particularly to the shape of the crucible.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ある種の有機化合物（以下、有機材料と
いう）は、例えば、２つの電極間にその有機材料を挿入し
電流を流すことで励起・発光する有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔ
ｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ：電界発光）素子を作
る。このような有機ＥＬ素子は、使用される有機材料に
よって、その発光される色を様々な色とすることができ、
液晶素子に代わる表示素子として注目を集めている。2. Description of the Related Art A certain kind of organic compound (hereinafter referred to as an organic material) is, for example, an organic EL (Electron EL) that is excited and emits light by inserting the organic material between two electrodes and applying a current.
A luminescent element is produced. In such an organic EL element, the emitted color can be various colors depending on the organic material used,
It is attracting attention as a display element that replaces liquid crystal elements.
【０００３】例えば、この有機ＥＬ素子は、ガラス基板上
に陽極層、有機材料層、陰極層を真空蒸着法などにより順
次成膜していくことで構成していく方法がある。この真
空蒸着法は、高真空下において、有機材料を熱して昇華又
は気化（以下、単に、昇華という）させることで、有機材
料の上方に配置されるガラス基板に蒸着させるものであ
る。そして、有機材料を基板に蒸着させるために、その有
機材料を入れるルツボと呼ばれる容器が使用されてい
る。For example, there is a method of forming this organic EL element by sequentially forming an anode layer, an organic material layer, and a cathode layer on a glass substrate by a vacuum deposition method or the like. In this vacuum vapor deposition method, an organic material is heated and sublimated or vaporized (hereinafter, simply referred to as sublimation) under high vacuum to deposit on a glass substrate arranged above the organic material. In order to deposit the organic material on the substrate, a container called a crucible for containing the organic material is used.
【０００４】一般に、ルツボは、有底円筒形の容器であっ
て、その材質は、カーボン等である。図５(ａ)は、従来の
ルツボの外観図を示す図である。図５(ａ)に示すよう
に、従来のルツボ５１は、一般的に、ストレートウォール
と呼ばれる円筒形状の側面と、平らな形状の底面を備え
ている。また、ルツボ５１の底面の外側には、有機材料
の昇華又は気化温度を検出するために、ルツボ５１の内
部温度を測定する熱電対５２が設けられている。そし
て、このルツボ５１の外側側面には、電熱線ヒーター
（以下、単に、ヒーターという）５３等が巻かれており、
このヒーター５３によってルツボ５１内に入れられた有
機材料を熱し、昇華させている。Generally, the crucible is a cylindrical container having a bottom and the material thereof is carbon or the like. FIG. 5A is a diagram showing an external view of a conventional crucible. As shown in FIG. 5A, the conventional crucible 51 generally has a cylindrical side surface called a straight wall and a flat bottom surface. A thermocouple 52 for measuring the internal temperature of the crucible 51 is provided outside the bottom surface of the crucible 51 to detect the sublimation or vaporization temperature of the organic material. A heating wire heater (hereinafter, simply referred to as a heater) 53 is wound around the outer side surface of the crucible 51,
The organic material contained in the crucible 51 is heated and sublimated by the heater 53.
【０００５】図５(ｂ)は、有機材料を基板に蒸着させる
様子を示す図である。図５(ｂ)に示すように、複数のル
ツボ５１の上方に、基板５４を配置し、それぞれのルツボ
５１を熱することによって、ルツボ５１内に入れられる
有機材料を昇華させ、基板５４に有機材料を蒸着させて
いる。FIG. 5B is a diagram showing a state in which an organic material is vapor-deposited on a substrate. As shown in FIG. 5 (b), a substrate 54 is arranged above the plurality of crucibles 51, and each crucible 51 is heated to sublimate the organic material contained in the crucible 51, so that the substrate 54 is formed with organic material. The material is vapor deposited.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ルツボ５１においては、次のような問題があった。図５
(ｃ)は、ルツボ５１の断面図を示す図である。図５
（ｃ）において、矢印５５は、有機材料が昇華される度
合いを示しており、矢印５５が長い程、昇華性が高いこと
を示している。すなわち、ルツボ５１の内側側面付近で
は、昇華性が高く、ルツボ５１の中心付近では、昇華性が
低くなっている。However, the conventional crucible 51 has the following problems. Figure 5
(c) is a diagram showing a cross-sectional view of the crucible 51. Figure 5
In (c), the arrow 55 indicates the degree to which the organic material is sublimated, and the longer the arrow 55, the higher the sublimation property. That is, the sublimation property is high near the inner side surface of the crucible 51, and the sublimation property is low near the center of the crucible 51.
【０００７】これは、有機材料の熱伝導率が低いという
ことにより、ヒーターの熱がルツボ５１の中心部まで熱
が伝わりにくくなっていることが原因となっている。そ
して、これより、有機材料が均一に昇華されない場合が生
じていた。すなわち、熱伝導率の低い有機材料が入れら
れたルツボ５１内において、ヒーター５３に近いルツボ
５１内の側面付近の有機材料は、ヒーター５３の熱が伝
わりやすいが、ルツボ５１の中心付近の有機材料は、熱が
伝わりにくいので、ルツボ５１内の温度分布が不均一と
なってしまい、ルツボ５１内の側面付近の有機材料は、た
くさん昇華されるが、中心付近の有機材料は、あまり昇華
されないということが生じていた。これより、有機材料
が均一に昇華されず、基板に均一な厚さの膜を広範囲に
形成させることができないという問題があった。This is because the heat conductivity of the organic material is low, which makes it difficult for the heat of the heater to be transferred to the central portion of the crucible 51. Then, this has caused a case where the organic material is not sublimated uniformly. That is, in the crucible 51 containing an organic material having a low thermal conductivity, the organic material near the side surface of the crucible 51 close to the heater 53 easily transfers the heat of the heater 53, but the organic material near the center of the crucible 51. Since heat is difficult to transfer, the temperature distribution inside the crucible 51 becomes non-uniform, and a large amount of the organic material near the side surface inside the crucible 51 is sublimated, but the organic material near the center is not sublimated so much. Was happening. As a result, there is a problem in that the organic material is not sublimated uniformly and a film having a uniform thickness cannot be formed over a wide range on the substrate.
【０００８】このように、従来のルツボ５１においては、
ルツボ５１内の側面付近と中心付近との温度差が大きい
ので、有機材料を基板に蒸着させる際、ルツボ５１内から
昇華される有機材料が不均一となり、基板に均一に、且
つ、広範囲に蒸着させることができないことがあった。As described above, in the conventional crucible 51,
Since the temperature difference between the vicinity of the side surface and the vicinity of the center in the crucible 51 is large, when the organic material is vapor-deposited on the substrate, the organic material sublimated from the crucible 51 becomes non-uniform, and the vapor is evenly and widely spread on the substrate. There were things I couldn't do.
【０００９】そこで、本発明では、以上の問題を考慮し
て、ルツボ内の側面付近と中心付近との温度差を小さく
することが可能なルツボを提供することを目的とする。In view of the above problems, it is an object of the present invention to provide a crucible capable of reducing the temperature difference between the side surface and the center of the crucible.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに本発明では、以下のような構成を採用した。すなわ
ち、本発明におけるルツボは、有機材料をヒーターで熱し
て所定の基板に蒸着させるための上記有機材料を入れる
ルツボであって、上記有機材料の底面からの厚さが上記
ルツボの内側側面から上記ルツボの中心にいくにつれて
薄くさせる形状の底面を備えることを特徴とする。In order to solve the above problems, the present invention employs the following configurations. That is, the crucible in the present invention is a crucible for heating the organic material with a heater to deposit the organic material for vapor deposition on a predetermined substrate, wherein the thickness from the bottom surface of the organic material is from the inner side surface of the crucible. It is characterized in that it has a bottom surface that is shaped to become thinner toward the center of the crucible.
【００１１】このように、有機材料の厚さをルツボの内
側側面から中心にいくにつれて薄させる形状の底面を備
えることによって、ルツボの中心付近の有機材料も温度
を上昇させやすくし、ルツボ内の側面付近と中心付近と
の温度差を小さくすることができ、有機材料をより効率
良く昇華させ、基板に均一な厚さで且つ広範囲にわたっ
て有機材料の膜を形成させることが可能となる。As described above, by providing the bottom surface having a shape in which the thickness of the organic material decreases from the inner side surface of the crucible toward the center, the temperature of the organic material near the center of the crucible can be easily raised, and the inside of the crucible can be easily heated. The temperature difference between the vicinity of the side surface and the vicinity of the center can be reduced, the organic material can be sublimated more efficiently, and a film of the organic material can be formed on the substrate with a uniform thickness and over a wide range.
【００１２】また、上記ルツボにおいて、底面に熱伝導率
の高い物質を設けることが望ましい。これより、ルツボ
の中心付近にヒーターの熱を更に伝えやすくすることが
可能となる。In the crucible, it is desirable to provide a substance having a high thermal conductivity on the bottom surface. As a result, it becomes possible to more easily transfer the heat of the heater to the vicinity of the center of the crucible.
【００１３】また、本発明におけるルツボは、有機材料を
ヒーターで熱して所定の基板に蒸着させるための上記有
機材料を入れるルツボであって、該ルツボの内側側面又
は内側底面の少なくともいずれか一方から内部方向に伸
びる熱伝導率の高い部材を備えることを特徴とする。The crucible according to the present invention is a crucible in which the organic material is heated by a heater to be deposited on a predetermined substrate, and the organic material is put into the crucible from at least one of an inner side surface and an inner bottom surface of the crucible. It is characterized by comprising a member having a high thermal conductivity and extending inward.
【００１４】このように、熱伝導率の高い部材がルツボ
の内側面に接合され、その部材が内部方向に伸びている
ので、ルツボの中心付近にまでヒーターの熱を伝えるこ
とが可能となり、ルツボ内の側面付近と中心付近との温
度差を小さくすることが可能となる。As described above, since the member having high thermal conductivity is joined to the inner surface of the crucible and the member extends inward, it becomes possible to transfer the heat of the heater to the vicinity of the center of the crucible. It is possible to reduce the temperature difference between the vicinity of the inner side surface and the vicinity of the center.
【００１５】すなわち、ルツボ側面付近とルツボ中心付
近との温度差を小さくすることが可能となる。また、上
記ルツボにおいて、上記部材が、平面状又は曲面状で、且
つ、上記ルツボの内側側面又は内側底面に連続的に接合
されていることが望ましい。That is, the temperature difference between the vicinity of the crucible side surface and the vicinity of the crucible center can be reduced. Further, in the crucible, it is desirable that the member is flat or curved and is continuously joined to an inner side surface or an inner bottom surface of the crucible.
【００１６】また、上記ルツボにおいて、上記部材に、上
記有機材料を通す孔が設けられていることが望ましい。Further, in the crucible, it is desirable that the member is provided with a hole through which the organic material passes.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を用いて説明する。図１は、本発明に係るルツボの断面
図を示す図である。図１に示すように、ルツボ１１は、上
述した従来のルツボ５１のように、側面が円筒形状とな
っている。なお、従来のルツボ５１と同様に底面の外側
には、熱電対が設けられているが、図１では省略してい
る。また、ルツボ１１の側面の外側には、ヒーター１２が
ルツボ１１を囲むように巻きつけられている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a cross-sectional view of a crucible according to the present invention. As shown in FIG. 1, the crucible 11 has a cylindrical side surface like the conventional crucible 51 described above. A thermocouple is provided outside the bottom surface as in the conventional crucible 51, but it is omitted in FIG. Further, a heater 12 is wound around the outer side surface of the crucible 11 so as to surround the crucible 11.
【００１８】図１のルツボ１１が図５の従来のルツボ５
１と異なる点は、ルツボ１１の内側底面の形状がルツボ
１１の内部方向にくびれている点である。すなわち、ル
ツボ１１の内側底面の形状がルツボ１１の側面から中心
に向かって高くなっている点であり、図１に示される底
面の形状は、円錐状となっている。The crucible 11 of FIG. 1 is the conventional crucible 5 of FIG.
The difference from 1 is that the shape of the inner bottom surface of the crucible 11 is constricted in the inner direction of the crucible 11. That is, the shape of the inner bottom surface of the crucible 11 increases from the side surface of the crucible 11 toward the center, and the shape of the bottom surface shown in FIG. 1 is a conical shape.
【００１９】このように、ルツボ１１の内側底面の形状
を中心にいくほど高くすることにより、有機材料をルツ
ボ１１に入れた際、ルツボ１１の中心付近に存在する有
機材料の量は少なくなる。熱伝導率の低い有機材料が中
心に向かって少なくなっていくので、ルツボ１１の中心
も温度が上昇しやすくすることができ、ルツボ１１内の
側面付近と中心付近との温度差を小さくすることが可能
となる。そして、ルツボ１１内の側面部と中心部との温
度差を小さくすることにより有機材料の昇華性が良くな
り有機材料を基板に均一に且つ広範囲に蒸着させること
が可能となる。By thus increasing the shape of the inner bottom surface of the crucible 11 toward the center, when the organic material is put into the crucible 11, the amount of the organic material existing near the center of the crucible 11 is reduced. Since the amount of the organic material having low thermal conductivity decreases toward the center, the temperature of the center of the crucible 11 can be easily increased, and the temperature difference between the side surface and the center of the crucible 11 can be reduced. Is possible. Then, by reducing the temperature difference between the side surface portion and the central portion in the crucible 11, the sublimation property of the organic material is improved, and the organic material can be uniformly and widely deposited on the substrate.
【００２０】図２は、ルツボ１１における底面の他の形
状を示す図である。図２（ａ）に示すルツボ１１の底面
の形状は、内部方向に曲面が膨らむように、ルツボ１１の
側面から中心に向かって徐々に高くなっている形状であ
り、すなわち、ドーム状となっている。FIG. 2 is a view showing another shape of the bottom surface of the crucible 11. The shape of the bottom surface of the crucible 11 shown in FIG. 2A is a shape that gradually increases from the side surface of the crucible 11 toward the center so that the curved surface swells inward, that is, becomes a dome shape. There is.
【００２１】このように、ルツボ１１の底面の形状をド
ーム状としても、ルツボ１１の側面付近と中心付近との
温度差を小さくすることができ、有機材料の昇華性を上
げて、基板に対して均一に且つ広範囲に有機材料を蒸着
させることが可能となる。また、図２(ｂ)に示すような
ルツボ１１の底面の形状を構成しても同様な効果を得る
ことが可能となる。As described above, even if the bottom surface of the crucible 11 has a dome shape, the temperature difference between the side surface and the center of the crucible 11 can be made small, and the sublimability of the organic material can be improved, and the crucible 11 with respect to the substrate. The organic material can be uniformly and widely deposited. Further, it is possible to obtain the same effect by forming the shape of the bottom surface of the crucible 11 as shown in FIG. 2 (b).
【００２２】また、図２(ｃ)に示すように、底面の形状を
中心ほど高くした階段状にしても、ルツボ１１の側面付
近と中心付近との温度差を小さくすることができ、有機
材料の昇華性を上げて、基板に対して均一に且つ広範囲
に有機材料を蒸着させることが可能となる。Further, as shown in FIG. 2 (c), even if the shape of the bottom surface is made higher toward the center, the temperature difference between the side surface of the crucible 11 and the center thereof can be reduced, and the organic material It is possible to increase the sublimability of the organic compound and to deposit the organic material uniformly and in a wide range on the substrate.
【００２３】なお、ルツボ１１の底面の形状は、上記形状
に限らず、ルツボ１１内の側面付近の有機材料の量が中
心付近にいくにつれて少なくなるような形状であれば、
そのくぼみの形状は特に限定されない。また、図２
（ｄ）に示すように、ルツボの底面にくぼみを設けるか
わりに、中心に向かって厚さが厚くなる熱伝導率の高い
部材２１を、ルツボの底に設置してもよい。The shape of the bottom surface of the crucible 11 is not limited to the above shape, and any shape may be used as long as the amount of the organic material near the side surface inside the crucible 11 decreases toward the center.
The shape of the depression is not particularly limited. Also, FIG.
As shown in (d), instead of providing a depression on the bottom surface of the crucible, a member 21 having a high thermal conductivity, the thickness of which increases toward the center, may be installed on the bottom of the crucible.
【００２４】次に、本発明に係るルツボの他の実施形態
について説明する。図３は、他の実施形態におけるルツ
ボを示す図である。図３(ａ)は、ルツボ３１の断面図を
示し、図３(ｂ)は、ルツボ３１を真上から見た図であ
る。Next, another embodiment of the crucible according to the present invention will be described. FIG. 3 is a diagram showing a crucible according to another embodiment. FIG. 3A shows a cross-sectional view of the crucible 31, and FIG. 3B is a view of the crucible 31 seen from directly above.
【００２５】図３(ａ)及び図３(ｂ)におけるルツボ３１
は、図１のルツボ１１と同様に底面の形状が側面から中
心に向かって高くなるような形状となっている。図１の
ルツボ１１と異なる点は、底面に上方に伸びる筒状の熱
導電性の高い部材３２が接合されている点である。ルツ
ボの底面にくぼみと、部材３２とを設けることによって、
上記ルツボ１１より更に、中心の温度を上昇しやすくし
ている。また、当然ながら、くぼみを設けずに、部材３２
だけ設ける構成としてもよい。そして、この部材３２の
材質としては、銅、鉄、チタン、又はそれらの合金等が考え
られる。また、部材３２には、部材３２の間を自由に行き
来することが可能な複数の孔３３が設けられている。な
お、孔３３は、有機材料が部材３２の間を自由に行き来す
ることが可能であれば、その孔３３の大きさ、数、及び位
置等は特には限定されない。これより、部材３２で仕切
られたルツボ３１に有機材料を入れた際でも、有機材料
をルツボ３１に均一に、且つ、混ざりやすくすることが可
能となる。The crucible 31 shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b)
Is similar to the crucible 11 of FIG. 1, the shape of the bottom surface increases from the side surface toward the center. The difference from the crucible 11 of FIG. 1 is that a cylindrical member 32 having a high thermal conductivity extending upward is joined to the bottom surface. By providing the depression and the member 32 on the bottom surface of the crucible,
The temperature at the center is more easily raised than the crucible 11. Also, as a matter of course, the member 32 is not provided with the recess.
Only the configuration may be provided. The material of the member 32 may be copper, iron, titanium, alloys thereof, or the like. Further, the member 32 is provided with a plurality of holes 33 that can freely move between the members 32. The size, number, position, etc. of the holes 33 are not particularly limited as long as the organic material can freely move between the members 32. As a result, even when the organic material is put in the crucible 31 partitioned by the member 32, the organic material can be uniformly and easily mixed in the crucible 31.
【００２６】このように、熱導電性の高い部材３２をル
ツボ３２の内部に備えることによって、ヒーターの熱を
中心付近まで伝えやすくし、ルツボ３１内の側面付近と
中心付近との温度差を小さくすることができるので、有
機材料の昇華性を向上させることが可能となる。As described above, by providing the member 32 having high thermal conductivity inside the crucible 32, the heat of the heater can be easily transmitted to the vicinity of the center and the temperature difference between the side surface and the vicinity of the center in the crucible 31 can be reduced. Therefore, the sublimation property of the organic material can be improved.
【００２７】図４は、ルツボ３１内に備えられる熱伝導
率の高い部材の他の形状を示す図である。なお、図４に
おける(ａ１)、（ａ２）、（ａ３）、（ａ４）、及び(ａ５)
は、ルツボ３１の断面図を示しており、図４における(ｂ
１)、（ｂ２）、（ｂ３）、(ｂ４)、及び(ｂ５)は、ルツボ３
１を真上から見た図である。FIG. 4 is a view showing another shape of a member having a high thermal conductivity provided in the crucible 31. Note that (a1), (a2), (a3), (a4), and (a5) in FIG.
Shows a cross-sectional view of the crucible 31, which is indicated by (b) in FIG.
1), (b2), (b3), (b4), and (b5) are crucible 3
It is the figure which looked at 1 from directly above.
【００２８】図４(ａ１)及び(ｂ１)に示すルツボ３１
は、熱伝導率の高い板状の部材４１をルツボ３１の中心
で交差するように設けられている。このとき、図４（ａ
１）及び(ｂ１)に示すようにルツボ３１の内側面（ルツ
ボ３１の内側側面及び内側底面）と２枚の部材４１とが
互いに連続的に接合されており、ヒーターの熱を中心ま
で伝えている。Crucible 31 shown in FIGS. 4 (a1) and 4 (b1)
Are provided so that plate-shaped members 41 having high thermal conductivity intersect at the center of the crucible 31. At this time, FIG.
As shown in 1) and (b1), the inner surface of the crucible 31 (the inner side surface and the inner bottom surface of the crucible 31) and the two members 41 are continuously joined to each other, and the heat of the heater is transmitted to the center. There is.
【００２９】また、図４（ａ２）及び(ｂ２)に示すルツ
ボ３１は、図３における筒型の部材３２と図４(ａ１)及
び(ｂ１)における部材４１とを組み合わせたように入り
組んだ形状の部材４２がルツボ３１の内側面に接合され
ている。このように、入り組んだ形状の部材４２をルツ
ボ３１内に備えても同様にしてルツボ３１の中心付近ま
でヒーターの熱を伝えることが可能となる。Further, the crucible 31 shown in FIGS. 4 (a2) and 4 (b2) has a complicated shape such that the tubular member 32 in FIG. 3 and the member 41 in FIGS. 4 (a1) and 4 (b1) are combined. The member 42 is joined to the inner surface of the crucible 31. In this way, even if the intricately-shaped member 42 is provided inside the crucible 31, it is possible to similarly transfer the heat of the heater to the vicinity of the center of the crucible 31.
【００３０】また、図４（ａ３）及び(ｂ３)のルツボ３
１が備える部材４３においても同様にして、ルツボ３１
の中心付近までヒーターの熱を伝えることが可能とな
る。また、図４（ａ４）及び(ｂ４)に示すように、ルツボ
３１の内側底面から上方に伸びる複数の棒状の熱伝導率
の高い部材４４においても上述と同様な効果を得ること
が可能となる。Further, the crucible 3 shown in FIGS. 4 (a3) and 4 (b3) is used.
Similarly, in the member 43 of the crucible 1, the crucible 31
It is possible to transfer the heat of the heater to near the center of the. Further, as shown in FIGS. 4 (a4) and 4 (b4), it is possible to obtain the same effect as the above with a plurality of rod-shaped members 44 having a high thermal conductivity and extending upward from the inner bottom surface of the crucible 31. .
【００３１】また、図４（ａ５）及び(ｂ５)に示すよう
に、ルツボ３１の内側側面から中心方向に伸びる複数の
棒状の熱伝導率の高い部材４５においても上述と同様な
効果を得ることが可能となる。このように、熱伝導率の
高い部材をルツボ３１の内側面から内部方向に向かって
設けることにより、ヒーターの熱をルツボ３１の中心付
近にまで更に伝えやすくすることが可能となる。Further, as shown in FIGS. 4 (a5) and 4 (b5), the same effect as described above can be obtained in a plurality of rod-shaped members 45 having a high thermal conductivity and extending from the inner side surface of the crucible 31 toward the center. Is possible. As described above, by providing the member having high thermal conductivity from the inner side surface of the crucible 31 toward the inner side, it becomes possible to further easily transfer the heat of the heater to the vicinity of the center of the crucible 31.
【００３２】なお、ルツボ１１の内部に備えられる熱伝
導率の高い部材は、上述の形状に限らず、ヒーターの熱
をルツボ１１の中心付近に伝えられるような形状であれ
ば、その部材の形状は特には限定されない。また、上記ル
ツボの底面の外側のくぼみ部分に銅、鉄、チタン又はそれ
らの合金等の導電性の高い物質を入れることによって、
ルツボの中心付近にヒーターの熱を更に伝えやすくする
ことが可能となる。The member having a high thermal conductivity provided inside the crucible 11 is not limited to the above-mentioned shape, but may be any shape as long as it can transfer the heat of the heater to the vicinity of the center of the crucible 11. Is not particularly limited. Further, by inserting a highly conductive substance such as copper, iron, titanium or alloys thereof into the recessed portion on the outer side of the bottom surface of the crucible,
It is possible to make it easier to transfer the heat of the heater to the vicinity of the center of the crucible.
【００３３】[0033]
【発明の効果】このように、本発明のルツボによれば、底
面に有機材料の量を側面付近から中心に向かうにつれて
少なくさせる底面を備えることで、ヒーターの熱が中心
付近まで伝わりやすくなり、ルツボ内の側面付近と中心
付近との温度差を小さくすることが可能となる。これよ
り、有機材料の昇華性を向上させることができ、基板に均
一に広範囲に有機材料を蒸着することが可能となる。As described above, according to the crucible of the present invention, since the bottom surface is provided with the bottom surface which reduces the amount of the organic material from the side surface toward the center, the heat of the heater is easily transferred to the vicinity of the center, It is possible to reduce the temperature difference between the side surface and the center of the crucible. As a result, the sublimability of the organic material can be improved, and the organic material can be uniformly vapor-deposited on the substrate in a wide range.
【図１】本発明に係るルツボの断面図を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a cross-sectional view of a crucible according to the present invention.
【図２】ルツボの底面の他の形状を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing another shape of the bottom surface of the crucible.
【図３】他の実施形態のルツボを示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a crucible of another embodiment.
【図４】ルツボ内に設けられる部材の他の形状を示す図
である。FIG. 4 is a diagram showing another shape of a member provided in the crucible.
【図５】従来のルツボを説明する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a conventional crucible.
１１ ルツボ １２ ヒーター ２１ 部材 ３１ ルツボ ３２ 部材 ３３ 孔 ４１〜４５ 部材 11 crucibles 12 heater 21 members 31 crucibles 32 members 33 holes 41-45 members
Claims (10)
るための該有機材料を入れるルツボであって、 上記有機材料の上記ルツボの底面からの厚さを上記ルツ
ボの内側側面から上記ルツボの中心にいくにつれて薄く
させる形状の底面を備えることを特徴とするルツボ。1. A crucible containing an organic material for heating the organic material to deposit it on a predetermined substrate, the thickness of the organic material from a bottom surface of the crucible being measured from an inner side surface of the crucible to a thickness of the crucible. A crucible characterized by having a bottom surface shaped to be thinner toward the center.
底面に熱伝導率の高い物質を設けることを特徴とするル
ツボ。2. The crucible according to claim 1, wherein the bottom surface is provided with a substance having a high thermal conductivity.
に蒸着させるための該有機材料を入れるルツボであっ
て、上記ルツボの内側側面又は内側底面の少なくともい
ずれか一方から内部方向に伸びる熱伝導率の高い部材を
備えることを特徴とするルツボ。3. A crucible for heating an organic material with a heater to deposit the organic material on a predetermined substrate, the thermal conduction extending inward from at least one of an inner side surface and an inner bottom surface of the crucible. A crucible characterized by comprising a member having a high rate.
部材は、平面状又は曲面状で、且つ、上記ルツボの内側側
面又は内側底面の少なくともいずれか一方に連続的に接
合されていることを特徴とするルツボ。4. The crucible according to claim 3, wherein the member is flat or curved, and is continuously joined to at least one of an inner side surface and an inner bottom surface of the crucible. A crucible characterized by that.
て、上記部材に、上記有機材料を通す孔が設けられている
ことを特徴とするルツボ。5. The crucible according to claim 3, wherein the member is provided with a hole through which the organic material passes.
に蒸着させるための該有機材料を入れるルツボであっ
て、上記有機材料の上記ルツボの底面からの厚さを上記
ルツボの内側側面から上記ルツボの中心にいくにつれて
薄くさせる形状の底面と、上記ルツボの内側側面又は内
側底面の少なくともいずれか一方から内部方向に伸びる
熱伝導率の高い部材と、を備えることを特徴とするルツ
ボ。6. A crucible containing an organic material for heating the organic material with a heater to deposit it on a predetermined substrate, wherein the thickness of the organic material from the bottom surface of the crucible is measured from the inner side surface of the crucible. A crucible comprising: a bottom having a shape that becomes thinner toward the center of the crucible; and a member having a high thermal conductivity that extends inward from at least one of an inner side surface and an inner bottom surface of the crucible.
るルツボ。7. The crucible according to claim 6, wherein the bottom surface is provided with a substance having a high thermal conductivity.
記載のルツボであって、上記部材は、平面状又は曲面状
で、且つ、上記ルツボの内側側面又は内側底面の少なくと
もいずれか一方に連続的に接合されていることを特徴と
するルツボ。8. The crucible according to claim 6 or 7, wherein the member is flat or curved, and at least one of an inner side surface and an inner bottom surface of the crucible. A crucible characterized by being continuously joined to one side.
部材に、上記有機材料を通す孔が設けられていることを
特徴とするルツボ。9. The crucible according to claim 8, wherein the member is provided with a hole through which the organic material passes.
せるための該有機材料を入れるルツボであって、上記ル
ツボの底面は、上記ルツボの内側側面から上記ルツボの
中心に向かって上記ルツボの内部方向に高くなる形状で
あることを特徴とするルツボ。10. A crucible containing an organic material for heating the organic material to deposit it on a predetermined substrate, wherein a bottom surface of the crucible is formed from an inner side surface of the crucible toward a center of the crucible. A crucible characterized by a shape that rises inward.
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- 2002-01-30 JP JP2002022358A patent/JP2003222472A/en active Pending
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