JP2003200353A - 固定砥粒式の切断用工具及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 同時に複数枚の切断加工を行うことのできる
切断用工具であって、切断加工に必要かつ充分な剛性を
有しながらも、切断加工時において切り代が少なく、砥
粒の保持力にも優れ、また、高い加工精度をもって好適
な切断加工が行える切断用工具を提供する。 【解決手段】 可撓性の芯材の表面に砥粒を固定し、脆
性材料の切断を行えるように構成した切断用工具であっ
て、当該切断用工具の断面形状が略長方形であることを
特徴としている。切断用工具１は、芯材２と、ダイヤモ
ンド粒からなる多数の砥粒３と、砥粒３を芯材２に固定
させるための結合材４とによって構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、可撓性の芯材の表
面に砥粒を固定し、脆性材料の切断を行えるように構成
した切断用工具、特に、その断面形状が略長方形となる
ように構成したことを特徴とする切断用工具に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、直径が３００ｍｍを超えるよ
うな大型のガラス、セラミックス、半導体等の脆性材料
の切断加工には、ピアノ線等の剛性のある芯材の表面に
ダイヤモンドからなる砥粒を固定した工具、いわゆる
「ワイヤーソー」が使用されている。

【０００３】図１０は、このようなワイヤーソー１０１
の断面斜視図であり、図示されているように、ワイヤー
ソー１０１は、ピアノ線からなる芯材１０２と、多数の
ダイヤモンド砥粒１０３と、レジンボンド、又は、電着
ボンドからなる結合材１０４とによって構成されてい
る。

【０００４】また、図１１は、ワイヤーソー１０１によ
る、シリコンインゴットの切断加工の様子を示したもの
である。この図において、１１０は、ワイヤーソー１０
１を工具として使用する切断装置、１１１は、シリコン
インゴット（被切断材料）、１１２ａ、１１２ｂ及び１
１２ｃは、それぞれワイヤーソーをガイドする溝を有す
る第１、第２及び第３の滑車、１１３ａ及び１１３ｂ
は、それぞれワイヤーソーを巻き出し、或いは、巻き取
るための第１及び第２のボビンである。また、第１のボ
ビン１１３ａ及び第２のボビン１１３ｂには、ここでは
図示されない回転駆動手段が接続されている。

【０００５】ワイヤーソー１０１は、図示されているよ
うに、第１の滑車１１２ａ、第２の滑車１１２ｂ及び第
３の滑車１１２ｃに複数回巻かれており、その一端は第
１のボビン１１３ａに、その他端は第２のボビン１１３
ｂに、それぞれ固定されている。

【０００６】そのため、回転駆動手段によって第２のボ
ビン１１３ｂが回転すると、ワイヤーソー１０１は、順
次、図中の矢印Ｄ１で示される方向へと移動して、第２
のボビン１１３ｂに巻き取られることになる。

【０００７】そして、第１の滑車１１２ａと第２の滑車
１１２ｂとの間を移動するワイヤーソー１０１へと、被
切断材料であるシリコンインゴット１１１を下降させ
（或いは、固定されたシリコンインゴット１１１へと、
切断装置１１０を上昇させ）、ワイヤーソー１０１の表
面に固定されたダイヤモンド砥粒１０３による切削によ
って、シリコンインゴット１１１の切断加工を行ってい
る。

【０００８】また、脆性材料の切断加工には、以上に説
明したようなワイヤーソーによる方法のほか、ドーナツ
状薄板の内周部にダイヤモンド砥粒を電着した内周刃工
具によって、一枚ずつ切断加工を行う方法も従来より知
られている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ワイヤ
ーソーや内周刃工具といった従来の切断用工具には、現
在までのところ、以下に示すような欠点が認められてい
る。

【００１０】まず、ワイヤーソーは、切断時の切り代が
多いという問題を有している。現在、実用化されている
ワイヤーソーの最小径は０．１９ｍｍであり、その切断
時の切り代は０．２２ｍｍにも達し、これは、内周刃工
具による切断加工の切り代と比べても格段に多いものと
なってしまう。

【００１１】切り代を少なくするためには、ワイヤーソ
ーの芯材の径を細くしなければならないが、芯材を細く
すると、当然に剛性が低下することとなり、切断加工時
のたわみによる直進切断性等の加工精度の低下や、ワイ
ヤーソー自身が加工負荷によって切断されるといった問
題が生じる。ワイヤーソーが切断されてしまうと、切断
面に大きなキズが生じてしまい、切断後の研削・研磨工
程において余計な加工工程を必要とすることになってし
まう。

【００１２】また、高い加工精度を確保し、好適な切断
加工が行えるよう、ワイヤーソーには、外径寸法の高い
精度、砥粒の分散状態や突出量の均一性などが要求され
ているが、長さが数ｋｍにも及ぶことがあるため、この
ような要求をすべて満足させることができるワイヤーソ
ーの製造を行うことは、非常に困難である。

【００１３】さらに、ワイヤーソーは、砥粒を芯材に固
定する結合材として、レジンボンド、又は、電着ボンド
を使用することが一般的であるが、前者は、砥粒の保持
力が弱く、１〜２回程度の切削によって砥粒が脱落し使
用できなくなってしまうという欠点を有しており、後者
は、砥粒保持力がレジンボンドに比べて長く、工具寿命
が長いという利点を有してはいるが、反面、電着速度が
遅いため、長尺品の製造に相当の時間が必要になるとい
う欠点を有している。

【００１４】また、内周刃工具は、その加工の特質上、
直径が３００ｍｍを超えるような大型の材料の切断が困
難であるうえ、同時に被切断材料を一枚づつしか切断で
きず、複数枚の切断加工を行うことができないといった
欠点を有している。

【００１５】本発明は、以上に説明したような、ワイヤ
ーソーや内周刃工具といった従来の切断用工具が有する
問題を解決すべくなされたものであり、同時に複数枚の
切断加工を行うことのできる切断用工具であって、断面
形状を略長方形としたことにより、切断加工に必要かつ
充分な剛性を有しながらも、切断加工時において切り代
が少なく、砥粒の保持力にも優れ、また、高い加工精度
をもって好適な切断加工が行える切断用工具を提供する
ことを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明に係る切断用工具
は、可撓性の芯材の表面に砥粒を固定し、脆性材料の切
断を行えるように構成し、当該切断用工具の断面形状が
略長方形であることを特徴としている。

【００１７】また、前記略長方形の短辺部の長さを１５
０μｍ以下、前記略長方形の長辺部の長さを短辺部の長
さの２倍以上とした場合や、前記可撓性の芯材を直径２
０μｍ以下の強化繊維を編み込んでなる織物によって構
成した場合には、切断加工に充分な剛性を有しながら
も、切り代の少ない切断用工具とすることが可能にな
る。

【００１８】さらに、前記砥粒をホットメルト性の接着
剤、又は、ホットメルト性の接着テープによって前記芯
材の表面に固定した場合には、強い保持力をもって砥粒
を固定することができるので、砥粒の脱落による外形の
変化という問題を回避でき、高い精度を持って切断加工
を行うことができるうえ、工具寿命が長く、生産コスト
の低減、工具交換回数の減少による製造作業の簡略化を
図ることができる。

【００１９】尚、前記可撓性の芯材を、繊維を筒状に編
み込んだ織物と、熱により固化するように構成した充填
材とによって構成し、当該充填材に含有される前記砥粒
の一部を、当該織物から突出させた状態で固定するよう
にしても良い。

【００２０】また、この場合、前記繊維を直径２０μｍ
以下の強化繊維によって構成すれば、高い剛性を有する
切断用工具とすることができる。

【００２１】本発明に係る切断用工具の製造方法は、マ
イナス（又はプラス）に帯電させた砥粒を、プラス（又
はマイナス）に帯電させた芯材に、クーロン力によって
付着させた後、この砥粒が付着した芯材にホットメルト
性の接着剤を塗布し、これを加熱によって溶融させた
後、切断用工具を整形するようにしたことを特徴として
いる。

【００２２】また、本発明に係る切断用工具を、マイナ
ス（又はプラス）に帯電させた砥粒を、プラス（又はマ
イナス）に帯電させた芯材に、クーロン力によって付着
させた後、この砥粒が付着した芯材にホットメルト性の
接着テープを貼り付け、これを加熱によって溶融させた
後、切断用工具を整形するようにしても良い。

【００２３】尚、以上の切断用工具の製造方法におい
て、前記可撓性の芯材を、直径２０μｍ以下の強化繊維
を編み込んでなる織物によって構成し、切断用工具の断
面形状が略長方形となるように構成した場合には、高い
剛性を有する切断用工具を製造することも可能である。

【００２４】また、本発明に係る切断用工具を、織物か
らなる筒体の内側に、熱により固化するように構成され
た充填材を詰めたものを、ダイによって成型するととも
に、加熱手段によって加熱して前記充填材を固化させ、
前記充填材に含有される前記砥粒が、前記織物から突出
するようにして製造することも可能である。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態について説明する。図１は、本発明の第１
の実施形態に係る切断用工具１の断面斜視図、図２は、
図１に示すＡの部分の拡大図である。これらの図に示さ
れているように、切断用工具１は、芯材２と、ダイヤモ
ンド粒からなる多数の砥粒３と、砥粒３を芯材２に固定
させるための結合材４とによって構成されている。

【００２６】芯材２は、直径２０μｍ以下の繊維を編み
込んだ織物からなり、図示されているように、その断面
形状が略長方形となるように構成されている。ここで芯
材２の織物となる繊維としては、カーボン繊維、シリコ
ンカーバイト繊維、アルミナ繊維、シリカ繊維、アラミ
ド繊維、ガラス繊維等といった、切断加工時に受ける負
荷に耐え得るような、いわゆる強化繊維を用いることが
好ましい。

【００２７】尚、芯材２の厚さ寸法ｔ（図２参照）は、
繊維の編み方によって、１５０μｍ以下とすることが可
能である。また、芯材２の幅寸法ｗ（図１参照）は、切
断加工時の負荷に耐え得るようにするため、芯材２の厚
さ寸法ｔの２倍以上とするのが好ましく、厚さ寸法ｔの
５倍以上とするのが更に好ましい。

【００２８】砥粒３は、ここではダイヤモンド粒を使用
しているが、被切断材料の性質に合わせて、ダイヤモン
ド粒以外の砥粒、例えばＣＢＮをはじめとする公知の砥
粒を使用することも可能である。

【００２９】結合材４は、ホットメルト性の接着剤、又
は、ホットメルト性の接着テープからなる結合材であ
り、前述の通り、砥粒３を芯材２に固定させるためのも
のである。

【００３０】次に、以上に説明した切断用工具１の製造
方法について説明する。図３は、切断用工具１の製造方
法の一例を示した図であり、この図において、２０は、
切断用工具１の製造装置である。

【００３１】図示されているように、芯材２は、第１の
ローラー２１に巻かれた状態で製造装置２０に供給さ
れ、陽電極ローラー２２，２２間を通過した後、多数の
砥粒３が収容された砥粒槽２３の上方へと導かれる。

【００３２】このとき、陽電極ローラー２２，２２は、
プラスに荷電された状態となっているため、この間を通
過した芯材２は、プラスの電荷を帯びることになる。一
方、砥粒槽２３は、マイナスに荷電された状態となって
いるため、この砥粒槽２３に収容された砥粒３は、マイ
ナスの電荷を帯びている。

【００３３】そのため、砥粒槽２３に収容された砥粒３
は、砥粒槽２３の上方を芯材２が通過する際に、プラス
に帯電している芯材２にクーロン力によって引きつけら
れ、図示されているように、芯材２の表面に付着するこ
とになる。

【００３４】そして、この砥粒３が付着した芯材２に、
ホットメルト性の接着剤をスプレー２４によって塗布
し、これを、加熱機構が備えられた加熱ローラー２５，
２５の間を通過させて接着剤を溶融させた後、接着剤が
固化する前に複数の厚さ矯正ローラー２６の間を通過さ
せる。こうして、所望する厚さの切断用工具１を得るこ
とができる。２７は、このようにして得た切断用工具１
を巻きとるための、第２のローラーである。

【００３５】尚、厚さ矯正ローラー２６は、砥粒３にダ
イヤモンド等の硬い砥粒を使用した場合であっても、好
適に厚さを矯正することができるよう、テフロン（登録
商標）等の丈夫な材料によって構成することが望まし
い。

【００３６】また、切断用工具１は、以上に説明したよ
うな方法の他、以下に示すような方法によって製造する
ことも可能である。図４は、切断用工具１の製造方法の
その他の例を示した図であり、この図において、２８
は、切断用工具１の製造装置２８である。

【００３７】この図において、２９は、芯材２とほぼ同
等の幅に形成されたホットメルト性の接着テープ、３０
は、接着テープ２９が巻かれている第３のローラーであ
る。尚、先に説明した製造装置２０と同一の構成品につ
いては、同符号で示し、それらの説明については省略す
る。

【００３８】図示されているように、本製造方法におい
ては、表面に砥粒３が付着した後の芯材２の両側面に、
接着剤ではなく、ガイドローラー３１によって導かれる
二つのホットメルト性の接着テープ２９，２９を貼り付
ける。そして、接着テープ２９，２９が両側面に貼り付
けられた芯材２を、加熱ローラー２５，２５の間を通過
させて溶融させた後、接着剤が固化する前に複数の厚さ
矯正ローラー２６の間を通過させる。こうして、所望す
る厚さの切断用工具１を得ることができる。

【００３９】尚、以上に説明した切断用工具１の製造過
程において、陽電極ローラー２２、又は、砥粒槽２３に
与える電圧を変化させ、芯材２又は砥粒３に帯電させる
電荷の量を変化させることによって、芯材２に付着する
砥粒３の分量をコントロールすることができる。

【００４０】次に、切断用工具１を用いた切断加工の方
法について説明する。図５は、切断用工具１を用いた切
断加工の様子を示した図であり、この図において、４０
は、切断用工具１を工具として使用する切断装置、４１
は、被切断材料、４２ａ及び４２ｂは、切断用工具１用
のガイドローラー、４３ａ及び４３ｂは、それぞれ切断
用工具１を巻き出し、或いは、巻き取るための第１及び
第２のボビンである。また、第１のボビン４３ａ及び第
２のボビン４３ｂには、ここでは図示されない回転駆動
手段が接続されている。

【００４１】切断用工具１は、図示されているように、
被切断材料４１の図中左側に配設された複数のガイドロ
ーラー４２ａと、被切断材料４１の図中右側に配設され
た複数のガイドローラー４２ｂとの間に、順次架け渡さ
れ、その一端が第１のボビン４３ａに、その他端が第２
のボビン４３ｂに、それぞれ固定されている。

【００４２】そのため、回転駆動手段によって第２のボ
ビン４３ｂが回転すると、切断用工具１は、順次、図中
Ｄ２で示される方向へと移動し、第２のボビン４３ｂに
巻き取られることになる。

【００４３】そして、ガイドローラー４２ａとガイドロ
ーラー４２ｂとの間を移動する切断用工具１へと、被切
断材料４１を下降させ（或いは、固定された被切断材料
４１へと、切断装置４０を上昇させ）、切断用工具１の
表面に固定された砥粒３による切削により、被切断材料
４１の切断加工を行う。

【００４４】尚、上述した切断加工の際に、第１のボビ
ン４３ａに巻かれた切断用工具１のすべてが巻き出され
た場合、今度は、第１のボビン４３ａに接続された回転
駆動手段によって、切断用工具１が第１のボビン４３ａ
に巻き取られ、切断用工具１は、矢印Ｄ２で示される方
向と反対の方向に移動するようになる。このようにし
て、切断装置４０は、切断用工具１を往復移動運動させ
ることにより、被切断材料４１を連続的に切断加工でき
るように構成されている。

【００４５】また、図６は、切断用工具１によって被切
断材料４１を切断する様子を示した拡大図である。図示
されているように、切断用工具１は、その頂端部１ａに
固定れている砥粒３ａによって、被切断材料４１を切削
し、切断加工を行っている。

【００４６】このとき、切断用工具１は、その両側面１
ｂ，１ｂに固定されている砥粒３ｂによって、切削され
た被切断材料４１の内側面（切断面）を研磨する。その
ため、切断用工具１によって切断加工を行った場合に
は、仕上がりの良い加工面を得ることができ、また、切
断後に必要となる研削・研磨の工程を短縮することがで
きる。

【００４７】次に、本発明の第２の実施形態について説
明する。本実施形態に係る切断用工具５１は、第１の実
施形態に係る切断用工具１と同様に、断面形状が略長方
形となっているものであるが、その製造を、ダイを通し
た成型によって行うことを特徴としている。

【００４８】図７は、本実施形態に係る切断用工具５１
の製造方法ついて示した図、図８は、図７のＰ−Ｐ線に
よる断面拡大図である。これらの図において、５５は、
ダイ、５５ａは、ダイ５５の成型口部、５６は、繊維を
筒状に編み込んで構成した織物、５７は、所定量の砥粒
３を含有する充填材である。尚、成型口部５５ａは、加
熱手段（図示せず）によって加熱されるようになってい
る。

【００４９】まず、充填材５７を織物５６によって形成
される筒体の内側に詰めた後、織物５６を、ここでは図
示されない引っ張り手段によって図中Ｄ３で示される方
向に引っ張り、成型口部５５ａより、織物５６及び充填
材５７を引き出す。この際、充填材５７に、適当な手段
によって圧力を与え、充填材５７が織物５６と好適に成
型口部５５ａより引き出されるようにする。

【００５０】尚、織物５６は、好適に繊維を編み込むこ
とにより、引っ張られる力が加えられた際に、繊維間の
隙間から砥粒３の一部が突出するように構成されてい
る。従って、図８で示されるように、充填材５７に含有
される砥粒３の一部は、成型口部５５ａより引き出され
た際に、この繊維間の隙間から突出することになる。

【００５１】また、充填材５７は、円滑に成型されるよ
う、好適な柔らかさを有するペースト状又はゲル状であ
って、加熱により固化するように構成されている。従っ
て、充填材５７は、成型口部５５ａを通過する際に、成
型口部５５ａの加熱手段によって加熱され固化すること
になる。

【００５２】さらに、ダイ５５の成型口部５５ａは、長
方形をしているので、織物５６と充填材５７とを成型口
部５５ａより引き出すだけで、略長方形をした切断用工
具５１を得ることができる。

【００５３】ここで、織物５６を構成する繊維として
は、第１の実施形態において挙げたような、強化繊維を
用いることが好ましく、また、この繊維を直径２０μｍ
以下の強化繊維とすれば、厚さが１５０μｍ以下の切断
用工具を製造することも可能である。

【００５４】また、織物５６を構成する繊維にガラス繊
維を使用した場合には、ダイ５５を通る加熱成形によっ
て、ガラスチューブを延ばすように繊維自体の直径を小
さくし、微小径の切断用工具を製造することが可能であ
る。また、この製造方法は、切断用工具の成型と同時
に、充填材５７を固化させることができるので、少ない
工程で切断用工具を製造することができる。

【００５５】図９は、以上に説明したような方法によっ
て製造した切断用工具５１の拡大断面図である。図示さ
れているように、切断用工具５１は、繊維５６と、充填
材５７と、砥粒３とからなり、充填材５７に含有されて
いる砥粒３が織物５６から突出するように構成されてい
る。

【００５６】尚、本実施形態において、ダイ５５の成型
口部５５ａを円形状とすることによって、従来より知ら
れるワイヤーソーと同様に、断面形状が円形の切断用工
具を得ることもできる。

【００５７】

【発明の効果】本発明に係る切断用工具は、断面形状が
略長方形をしているため、切断加工に十分な剛性を持つ
ことができ、切断加工時におけるたわみが少なく、高い
直進精度をもって切断加工を行うことができる。また、
切断用工具の厚さを薄くすることが可能となっているの
で、従来の切断用工具と比べて少ない切り代で切断加工
を行うことができる。

【００５８】さらに、砥粒の固定にホットメルト性の接
着剤や接着テープを使用しているので、レジンボンドや
電着ボンドによる砥粒の固定方法より、格段強い保持力
をもって砥粒を固定することができるので、砥粒の脱落
による外形の変化という問題を回避でき、高い精度を持
って切断加工を行うことができるうえ、工具寿命が長
く、生産コストの低減、工具交換回数の減少による製造
作業の簡略化を図ることができる。

【００５９】また、本実施形態に係る切断用工具は、そ
の側面にも砥粒を保持しているので、切断と同時に、切
断面を研磨することができ、その後に必要となる研削・
研磨の工程を短縮することが可能である。

【００６０】加えて、本発明に係る切断用工具によれ
ば、同時に複数枚の切断加工を、直径が３００ｍｍを超
えるような大型の材料に対しても行うことができる。

【００６１】本発明に係る切断用工具の製造方法は、そ
の過程において、帯電によるクーロン力によって芯材に
砥粒を付着させる方法を採用しているので、砥粒にダイ
ヤモンド粒を使用した場合には、ダイヤモンド粒の鋭利
な部分が芯材に付着することになる。これにより、ダイ
ヤモンド粒の特性として鋭利な部分の反対側にも同様に
鋭利な部分を有する確率が高いことから、被切断材料の
切断に有利となる鋭利な部分を表面に有する切断用工具
を製造することができる。

【００６２】また、製造過程において、工具の厚さを矯
正する工程を設けているので、高い精度を持って、工具
の厚さに均一性を持たせることが可能で、高い加工精度
に応えうる切断用工具を製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施形態に係る切断用工具１
の断面斜視図。

【図２】 図１に示すＡの部分の拡大図。

【図３】 切断用工具１の製造方法の一例を示した図。

【図４】 切断用工具１の製造方法のその他の例を示し
た図。

【図５】 切断用工具１を用いた切断加工の様子を示し
た図。

【図６】 切断用工具１によって被切断材料４１を切断
する様子を示した拡大図。

【図７】 切断用工具５１の製造方法について示した
図。

【図８】 図７のＰ−Ｐ線における拡大断面図。

【図９】 切断用工具５１の拡大断面図。

【図１０】 ワイヤーソー１０１の断面斜視図。

【図１１】 ワイヤーソー１０１による、シリコンイン
ゴットの切断加工の様子を示した図。

【符号の説明】

１：切断用工具、 １ａ：切断用工具１の頂端部、 １ｂ：切断用工具１の側面、 ２：芯材、 ３：砥粒、 ４：結合材、 ２０：製造装置、 ２１：第１のローラー、 ２２：陽電極ローラー、 ２３：砥粒槽、 ２４：スプレー、 ２５：加熱ローラー、 ２６：厚さ矯正ローラー、 ２７：第２のローラー、 ２８：製造装置、 ２９：接着テープ、 ３０：第３のローラー、 ３１：ガイドローラー、 ４０：切断装置、 ４１：被切断材料、 ４２ａ：ガイドローラー ４２ｂ：ガイドローラー ４３ａ：第１のボビン、 ４３ｂ：第２のボビン、 ５１：切断用工具、 ５５：ダイ、 ５５ａ：ダイ５５の成型口部、 ５６：織物、 ５７：充填材、 １０１：ワイヤーソー、 １０２：芯材、 １０３：ダイヤモンド砥粒、 １０４：結合材、 １１１：シリコンインゴット（被切断材料）、 １１２ａ：第１の滑車、 １１２ｂ：第２の滑車、 １１２ｃ：第３の滑車、 １１３ａ：第１のボビン、 １１３ｂ：第２のボビン、

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 可撓性の芯材の表面に砥粒を固定し、脆
   性材料の切断を行えるように構成した切断用工具におい
   て、当該切断用工具の断面形状が略長方形であることを
   特徴とする切断用工具。
2. 【請求項２】 前記略長方形の短辺部の長さが１５０μ
   ｍ以下、前記略長方形の長辺部の長さが短辺部の長さの
   ２倍以上となっていることを特徴とする請求項１に記載
   の切断用工具。
3. 【請求項３】 前記可撓性の芯材が、直径２０μｍ以下
   の強化繊維を編み込んでなる織物によって構成されてい
   ることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の切断
   用工具。
4. 【請求項４】 前記砥粒が、ホットメルト性の接着剤、
   又は、ホットメルト性の接着テープによって前記芯材の
   表面に固定されていることを特徴とする請求項１〜請求
   項３のいずれかに記載の切断用工具。
5. 【請求項５】 前記可撓性の芯材が、繊維を筒状に編み
   込んだ織物と、熱により固化するように構成された充填
   材とからなり、当該充填材に含有される前記砥粒の一部
   が、当該織物から突出するように固定されていることを
   特徴とする請求項１又は請求項２に記載の切断用工具。
6. 【請求項６】 前記織物を編むための繊維が、直径２０
   μｍ以下の強化繊維によって構成されていることを特徴
   とする請求項５に記載の切断用工具。
7. 【請求項７】 マイナスに帯電させた砥粒を、プラスに
   帯電させた芯材にクーロン力によって付着させた後、又
   は、プラスに帯電させた砥粒を、マイナスに帯電させた
   芯材にクーロン力によって付着させた後、前記砥粒が付
   着した芯材にホットメルト性の接着剤を塗布し、これを
   加熱によって溶融させた後、切断用工具を整形するよう
   にしたことを特徴とする切断用工具の製造方法。
8. 【請求項８】 マイナスに帯電させた砥粒を、プラスに
   帯電させた芯材にクーロン力によって付着させた後、又
   は、プラスに帯電させた砥粒を、マイナスに帯電させた
   芯材にクーロン力によって付着させた後、前記砥粒が付
   着した芯材にホットメルト性の接着テープを貼り付け、
   これを加熱によって溶融させた後、切断用工具を整形す
   るようにしたことを特徴とする切断用工具の製造方法。
9. 【請求項９】 前記可撓性の芯材が、直径２０μｍ以下
   の強化繊維を編み込んでなる織物によって構成されてい
   ることを特徴とする請求項７又は請求項８に記載の切断
   用工具の製造方法。
10. 【請求項１０】 前記可撓性の芯材が、直径２０μｍ以
    下の強化繊維を編み込んでなる織物によって、その断面
    形状が略長方形となるように構成されていることを特徴
    とする請求項７又は請求項８に記載の切断用工具の製造
    方法。
11. 【請求項１１】 織物からなる筒体の内側に、熱により
    固化するように構成された充填材を詰めたものを、ダイ
    によって成型するとともに、加熱手段によって加熱して
    前記充填材を固化させ、前記充填材に含有される前記砥
    粒が、前記織物から突出するようになっていることを特
    徴とする切断用工具の製造方法。