JP2003192369A - Method for heating base glass material for optical fiber - Google Patents

Method for heating base glass material for optical fiber

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JP2003192369A
JP2003192369A JP2001390674A JP2001390674A JP2003192369A JP 2003192369 A JP2003192369 A JP 2003192369A JP 2001390674 A JP2001390674 A JP 2001390674A JP 2001390674 A JP2001390674 A JP 2001390674A JP 2003192369 A JP2003192369 A JP 2003192369A
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heating
optical fiber
glass
furnace
induction coil
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Japanese (ja)
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Hideyuki Ijiri
英幸 井尻
Shunichi Anzai
俊一 安西
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Sumitomo Electric Industries Ltd
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Sumitomo Electric Industries Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for heating a base glass material, which is capable of reducing the formation of cracks, has a high heat efficiency, and saves space and energy, and to provide a base glass material for optical fiber having a low eccentricity and a low out of roundness and a high reliability. <P>SOLUTION: The method comprises a step for putting a base glass material into a horizontal induction heating furnace being furnished with an induction coil and a heating medium such as carbon cylinder to be heated by energizing the induction coil, a step for heating the base glass material through a zone heating by scanning the horizontal induction heating furnace along the length of the base glass material and by energizing the induction coil while controlling the degree of the opening and closing of shutters located at the furnace inlet and outlet gates of the horizontal induction heating furnace so as to correspond to the outer diameter of the base glass material, and a step for slow cooling by allowing the heating medium to be cooled down for the required time after having been led to the center of the heating furnace and under the condition of the shutters being closed and the energization to the induction coil being shut off. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ用ガラ
ス母材の加熱方法に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for heating a glass preform for optical fibers.

【０００２】[0002]

【従来の技術】近年、光通信技術の進歩に伴い、光ファ
イバの利用が高まってきている。特にシングルモード用
光ファイバの実用化に伴い大量の光ファイバが利用され
るようになってきたが、量産化、低コスト化を目指して
種々の方法が提案されている。2. Description of the Related Art In recent years, the use of optical fibers has been increasing with the progress of optical communication technology. In particular, a large amount of optical fibers have come to be used with the practical use of single-mode optical fibers, but various methods have been proposed for mass production and cost reduction.

【０００３】通常はプリフォームと呼ばれる成形体を高
速で線引きすることによって所望の口径の光ファイバを
得るという方法がとられている。従って、光ファイバの
形状は、プリフォームの形状および品質をそのまま引き
継いでしまうため、プリフォームとしてのガラス管の形
成に際しては、極めて高精度の形状および品質制御が求
められている。Usually, a method of obtaining an optical fiber having a desired diameter by drawing a molded body called a preform at high speed is adopted. Therefore, since the shape of the optical fiber inherits the shape and quality of the preform as it is, extremely high-precision shape and quality control are required in forming the glass tube as the preform.

【０００４】そこで、クラッド層と、コアロッドとを別
に形成し、クラッド層を構成する外管内に、コアロッド
を挿通して加熱し、溶着一体化する（以下コラプス）い
わゆるロッドインチューブ法が提案されている（特開平
７―１０９１３６）。この方法は光ファイバの高品質化
および低コスト化に大きく寄与するものであるが、更な
る高品質化のためには、非円率および偏心率の向上が極
めて重要な課題となる。Therefore, a so-called rod-in-tube method has been proposed in which a clad layer and a core rod are separately formed, and the core rod is inserted into an outer tube forming the clad layer and heated to be fused and integrated (hereinafter referred to as collapse). (Japanese Patent Laid-Open No. 7-109136). This method greatly contributes to the improvement of the quality and cost of the optical fiber, but the improvement of the non-circularity and the eccentricity is a very important issue for the further improvement of the quality.

【０００５】通常ここで用いられる加熱装置はその一例
を図７に示すようにカーボンヒータなどの加熱材１３２
を内蔵する加熱炉１３０内に、コアロッドとその周囲に
配せられたクラッドとからなるガラス母材１０を挿通
し、有効領域のほぼ全体にわたって一度に加熱するよう
に構成されている。かかる加熱装置を用いた場合、装置
が大型である上、温度コントロールが十分にできず、非
円率および偏心率について十分な値を得ることはできな
かった。A heating device normally used here has a heating member 132 such as a carbon heater as shown in FIG.
The glass base material 10 composed of the core rod and the clads arranged around the core rod is inserted into the heating furnace 130 containing therein, and the whole of the effective area is heated at one time. When such a heating device was used, the device was large-sized, temperature control could not be performed sufficiently, and sufficient values for non-circularity and eccentricity could not be obtained.

【０００６】この非円率および偏心率について種々の実
験を重ねた結果、これらはコラプス工程における加熱の
不均一性に起因するものであることがわかっており、加
熱の均一化を目指して、研究が進められている。As a result of various experiments on the non-circularity and the eccentricity, it has been found that these are due to the non-uniformity of heating in the collapse process. Is being promoted.

【０００７】この均一加熱を行うための方法として、楕
円度の小さい光ファイバ用母材を形成することを目的と
して、高周波加熱法を用いる方法が提案されている（特
開２０００−１２８５５８）。ここではシングルモード
の光ファイバ用母材を得るべく、炉の内径と形成すべき
光ファイバ用母材の外径との比を規定している。そして
横型加熱炉を用い、回転速度を５ｒｐｍ以上として回転
しながら溶融一体化するとしている。しかしながら、こ
のような方法をもってしても十分な温度制御および迅速
な温度の切り替えは困難であり、非円率の増大、偏心率
の増大を抑制するのは困難であった。As a method for performing this uniform heating, a method using a high frequency heating method has been proposed for the purpose of forming an optical fiber preform having a small ellipticity (Japanese Patent Laid-Open No. 2000-128558). Here, in order to obtain a single mode optical fiber preform, the ratio of the inner diameter of the furnace to the outer diameter of the optical fiber preform to be formed is defined. Then, the horizontal heating furnace is used to melt and integrate while rotating at a rotation speed of 5 rpm or more. However, even with such a method, sufficient temperature control and rapid temperature switching are difficult, and it is difficult to suppress an increase in non-circularity and an increase in eccentricity.

【発明が解決しようとする課題】[Problems to be Solved by the Invention]

【０００８】このように、従来の加熱方法では、大口径
化に際しては十分な熱を得ることができず、また、加熱
時間が長すぎると、溶融ガラスが自重により垂れを生じ
変形を生じ易く、非円率の増大を招き、信頼性の高いコ
ラプスを行うことが出来ないという問題があった。As described above, in the conventional heating method, sufficient heat cannot be obtained when the diameter is increased, and if the heating time is too long, the molten glass tends to sag due to its own weight and deform easily. There has been a problem that the collapse rate cannot be performed with high reliability because the non-circularity rate increases.

【０００９】特にマルチモード用の光ファイバ母材を形
成するには、２層以上の屈折率の異なるクラッド層が必
要であり、繰り返しコラプス工程を実行する必要がある
うえ、中心部の高濃度ドープ層の軟化点が低いために、
変形し、これが偏心率、非円率の増大をもたらす原因と
なっていた。そこで、短時間、効率よく所望の温度で加
熱し、界面を効率よく溶融しコアロッドとクラッドある
いはクラッド同士を融着させる技術が極めて重要となっ
ている。In particular, in order to form an optical fiber preform for multimode, two or more clad layers having different refractive indexes are required, repeated collapse processes must be performed, and high-concentration doping at the center part is required. Due to the low softening point of the layer,
It was deformed, which caused the increase of eccentricity and non-circularity. Therefore, a technique of efficiently heating at a desired temperature for a short time to efficiently melt the interface to fuse the core rod and the clad or the clads to each other is extremely important.

【００１０】本発明は、前記実情に鑑みてなされたもの
で、熱効率が高くかつ、省スペース、省エネルギー化が
可能で歩留まりの高い加熱方法を提供することを目的と
する。また本発明は、偏心率、非円率が低く、信頼性の
高い光ファイバ用ガラス母材を高歩留まりで提供するこ
とを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a heating method having high thermal efficiency, space saving, energy saving, and high yield. Another object of the present invention is to provide a highly reliable glass base material for an optical fiber having a low eccentricity and a non-circularity with a high yield.

【００１１】[0011]

【課題を解決するための手段】そこで本発明では、誘導
加熱炉を通すように、ガラス母材を水平に装着する工程
と、前記ガラス母材の長手方向にそって、前記加熱媒体
を相対的に移動することにより加熱を行う加熱工程と、
前記誘導コイルへの通電をオフにし、前記加熱媒体を前
記加熱炉内で、所定時間放冷する徐冷工程とを含むこと
を特徴とする。Therefore, in the present invention, the step of horizontally mounting the glass base material so as to pass through the induction heating furnace, and the heating medium is relatively arranged along the longitudinal direction of the glass base material. A heating step of heating by moving to
And a slow cooling step of turning off the power supply to the induction coil and allowing the heating medium to cool in the heating furnace for a predetermined time.

【００１２】かかる方法によれば、例えば炉口に設けら
れたシャッタの開閉を制御しつつ、横型誘導加熱炉をガ
ラス母材の長手方向にスキャンすることにより帯域加熱
を行うに際し、通電終了後、加熱媒体をガラス母材の中
心に導き、シャッタを閉じた状態で所定時間保持するよ
うにしているため、ガラス母材の急冷を防ぎ、熱歪によ
るクラックの発生を防止することができる。According to this method, for example, when the horizontal induction heating furnace is scanned in the longitudinal direction of the glass base material while controlling the opening and closing of the shutter provided at the furnace opening, the zone heating is performed, and after the energization is finished, Since the heating medium is guided to the center of the glass base material and is held for a predetermined time with the shutter closed, it is possible to prevent the glass base material from being rapidly cooled and to prevent cracks due to thermal strain.

【００１３】特に、コアロッドが、２．６％程度のＧｅ
添加シリコンなど、前記クラッド層に比べて高濃度ドー
プされたガラスで構成された母材をコラプスするような
場合、溶融していたコアが急冷により、急激に固化し、
熱膨張するため、コアにクラックが生じ易いという問題
がある。しかしながらこのように加熱炉内を徐冷するこ
とにより、コアクラックを防止し、高歩留まりでコラプ
スを行うことが可能となる。Particularly, the core rod has a Ge content of about 2.6%.
In the case of collapsing a base material composed of highly doped glass, such as added silicon, compared to the clad layer, the molten core is rapidly solidified by rapid cooling,
Due to thermal expansion, there is a problem that cracks are likely to occur in the core. However, by gradually cooling the inside of the heating furnace in this way, core cracks can be prevented and collapse can be performed with high yield.

【００１４】また、かかる構成によれば、内部が流動性
の高いものとなるが、クラッド層によって形状が維持で
きるため、変形を抑制することができ、またゾーン加熱
であるため、急峻な温度プロファイルを得ることが可能
であり、信頼性の高いコラプスを行うことが可能とな
る。また、加熱ゾーンが所望の幅の帯状帯域として高精
度に隔離され、高精度でかつ効率よく加熱を行うことが
可能となる。Further, according to this structure, the inside has a high fluidity, but since the shape can be maintained by the cladding layer, the deformation can be suppressed, and since the zone heating is performed, the steep temperature profile is obtained. Can be obtained, and reliable collapse can be performed. Further, the heating zone is highly accurately isolated as a band-shaped zone having a desired width, and heating can be performed with high accuracy and efficiency.

【００１５】またこの方法によれば、コアロッドを構成
するガラスが高濃度にドープされており、軟化点が低
く、流動化し易い場合にも、横型炉を用い、加熱ゾーン
を所望の速度で移動しつつ、誘導加熱を行うことによ
り、高速でコラプスに必要な熱量を界面に付与し、即時
に加熱をやめ、徐冷することにより、コアの自重でコラ
プス前に変形するというような不都合も、またコアクラ
ックが入るというような不都合もなく、非円率も低く信
頼性の高い光ファイバ用母材を形成することが可能とな
る。また、容易に加熱ゾーンを設定でき、狭い領域で加
熱することができるため、加熱ゾーンの調整が容易であ
り熱伝導の影響は受けにくく、コアロッドが流動化して
もクラッド層の変形は防止され、その結果非円率を増大
することなく維持することができる。According to this method, even when the glass constituting the core rod is highly doped, has a low softening point, and is easily fluidized, a horizontal furnace is used to move the heating zone at a desired speed. At the same time, by performing induction heating, the amount of heat necessary for collapse is applied to the interface at a high speed, the heating is immediately stopped, and by slow cooling, the inconvenience that the core deforms before collapse due to its own weight, It is possible to form a highly reliable optical fiber preform having a low non-circularity and no inconvenience such as core cracking. Also, since the heating zone can be easily set and heating can be performed in a narrow area, the heating zone can be easily adjusted and is not easily affected by heat conduction, and the deformation of the clad layer is prevented even when the core rod is fluidized. As a result, the non-circularity can be maintained without increasing.

【００１６】また、横型誘導加熱炉を用いることによ
り、加熱ゾーンを形成する加熱媒体の幅と、搬送速度に
より、急峻な温度勾配を得ることができるため、コアロ
ッドが変形しないようにコラプスを行うことが出来、さ
らに徐冷によりコアクラックを低減することができるた
めであると考えられる。発熱は加熱媒体とコイルとの存
在領域に生起せしめられるため、加熱媒体の幅を微細化
し、高精度にサイズをコントロールすることにより、微
細幅の加熱ゾーンを形成することが可能である。したが
って、搬送速度を調整することにより、極めて容易に高
精度の温度制御を行うことが可能となる。Further, by using the horizontal induction heating furnace, a steep temperature gradient can be obtained depending on the width of the heating medium forming the heating zone and the conveying speed. Therefore, the collapse is performed so that the core rod is not deformed. It is considered that this is because the core cracks can be reduced by slow cooling. Since heat is generated in the region where the heating medium and the coil are present, it is possible to form a heating zone having a fine width by making the width of the heating medium fine and controlling the size with high accuracy. Therefore, by adjusting the transport speed, it becomes possible to perform temperature control with high accuracy extremely easily.

【００１７】また、この方法では、誘導加熱を用いてい
るため、加熱媒体自体には電流を供給する必要がなく、
存在しているだけで加熱され、装置構成が簡単であり、
電気的接続のための端子を外部に接続する必要もないた
め、構造が簡単でかつ保温性の高いものとなる。ここで
ガラス母材に対して加熱媒体が相対的に移動すればよ
く、いずれを搬送してもよいことはいうまでもない。ま
た通常は加熱炉と加熱媒体は一体的に形成されている
が、加熱炉が大きいものでは加熱媒体は加熱炉内で移動
可能に形成されている場合もある。Further, in this method, since induction heating is used, it is not necessary to supply an electric current to the heating medium itself,
It is heated only by being present, the device configuration is simple,
Since it is not necessary to connect a terminal for electrical connection to the outside, the structure is simple and the heat retaining property is high. It goes without saying that the heating medium may move relative to the glass base material, and either one may be conveyed. Further, usually, the heating furnace and the heating medium are integrally formed, but in the case of a large heating furnace, the heating medium may be formed so as to be movable in the heating furnace.

【００１８】望ましくは、徐冷工程は、前記加熱媒体を
前記ガラス母材の中心に導き、前記加熱媒体を静止した
状態で再度所定時間誘導コイルへの通電を行う通電工程
とを含むことを特徴とする。Desirably, the slow cooling step includes an energization step of introducing the heating medium to the center of the glass base material and energizing the induction coil again for a predetermined time while the heating medium is stationary. And

【００１９】かかる構成によれば、前記ガラス母材の中
心で誘導コイルに再度通電し、加熱するようにしている
ため、ガラス母材は徐冷されるため、クラックの恐れも
なく、信頼性が向上する。According to this structure, since the induction coil is re-energized and heated at the center of the glass base material, the glass base material is gradually cooled, so that there is no fear of cracks and reliability is high. improves.

【００２０】望ましくは、前記徐冷工程は、前記加熱炉
内を所定時間８００〜１５００℃に維持する工程を含む
ことを特徴とする。Preferably, the slow cooling step includes a step of maintaining the inside of the heating furnace at 800 to 1500 ° C. for a predetermined time.

【００２１】かかる構成によれば、ガラス母材は徐冷さ
れるため、クラック発生の恐れもなく、信頼性が向上す
る。According to this structure, since the glass base material is gradually cooled, there is no fear of cracks and reliability is improved.

【００２２】望ましくは、前記加熱炉内を冷却速度5℃
／ｍｉｎ〜5０℃／ｍｉｎに維持する工程を含むことを
特徴とする。Preferably, the cooling rate in the heating furnace is 5 ° C.
/ Min to 50 [deg.] C./min is maintained.

【００２３】かかる構成によれば、ガラス母材は徐冷さ
れるため、クラックの恐れもなく、信頼性が向上する。According to this structure, since the glass base material is gradually cooled, there is no fear of cracks and reliability is improved.

【００２４】望ましくは、前記徐冷工程は、前記ガラス
母材の回転を続行しながら徐冷する工程であることを特
徴とする。Preferably, the slow cooling step is a step of slow cooling while continuing the rotation of the glass base material.

【００２５】かかる構成によれば、回転を続行しながら
ガラス母材は徐冷されるため、均一に徐冷され、クラッ
ク発生の恐れもなく、信頼性が向上する。According to this structure, since the glass base material is gradually cooled while continuing to rotate, the glass base material is uniformly cooled, there is no fear of cracks, and the reliability is improved.

【００２６】また望ましくは、前記加熱工程は、コア部
材を構成するコアロッドに、クラッド層を構成するガラ
ス管からなる外管を配置し、誘導加熱によりコアロッド
表面に外管を一体化し、母材を形成するコラプス工程で
あることを特徴とする。Further preferably, in the heating step, an outer tube made of a glass tube forming a clad layer is arranged on a core rod forming a core member, and the outer tube is integrated on the surface of the core rod by induction heating to form a base material. It is a collapse process to be formed.

【００２７】かかる構成によれば、非円率および偏心率
を低減し、信頼性の高い光ファイバ用母材を提供するこ
とが可能となる。According to this structure, it is possible to reduce the non-circularity and the eccentricity and provide a highly reliable preform for optical fibers.

【００２８】望ましくは、前記コアロッドは、前記クラ
ッド層に比べて高濃度ドープされたガラスで構成されて
いることを特徴とする。Preferably, the core rod is made of a glass which is more heavily doped than the cladding layer.

【００２９】かかる構成によれば、徐冷されるため、急
冷によるクラックの発生は低減され、信頼性の高いコラ
プスを行うことが可能となる。According to this structure, since the cooling is performed gradually, the occurrence of cracks due to the rapid cooling is reduced, and it is possible to perform the collapse with high reliability.

【００３０】望ましくは、前記コアロッドは、添加剤濃
度が１０〜４０ｍｏｌ％の範囲にあることを特徴とす
る。これは酸化シリコンＳｉＯ2に対する比屈折率差と
しては１．０〜３．５％に相当する。Preferably, the core rod has an additive concentration of 10 to 40 mol%. This corresponds to a relative refractive index difference of 1.0 to 3.5% with respect to silicon oxide SiO 2 .

【００３１】[0031]

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態について
図面を参照しつつ詳細に説明する。 実施の形態１ 本発明の第1の実施の形態の加熱方法は、横型誘導加熱
炉の炉口に設けられたシャッタの開閉度を制御しつつ、
誘導コイルへの通電を行い、ガラス母材の長手方向にそ
って、横型誘導加熱炉をスキャンすることにより帯域加
熱を行うに際し、シャッタを母材との隙間が小さくなる
ように閉めた状態で、誘導コイルへの通電量を徐々に小
さくするかオフにし、前記加熱媒体をガラス母材の中心
に導き、８００〜１５００℃で所定時間放冷することに
より、急冷によるコアクラックを防止するものである。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. Embodiment 1 A heating method according to a first embodiment of the present invention controls the opening / closing degree of a shutter provided at a furnace opening of a horizontal induction heating furnace,
When energizing the induction coil and performing zone heating by scanning the horizontal induction heating furnace along the longitudinal direction of the glass preform, in the state where the shutter is closed so that the gap between the preform and the preform becomes small, The amount of electricity supplied to the induction coil is gradually reduced or turned off, the heating medium is guided to the center of the glass base material, and allowed to cool at 800 to 1500 ° C. for a predetermined time to prevent core cracking due to rapid cooling. .

【００３２】この方法に用いられる加熱装置は、図１お
よび図２に示すように、横型誘導加熱方式の加熱炉３０
と、この加熱炉３０の入口および出口に設けられた第１
および第２のシャッタ３１，３２と、この加熱炉３０の
入口および出口と、第１および第２のシャッタ３１，３
２との間に配設され熱処理をしようとするガラス母材１
０の長手方向に沿って外径を測定する外径検知用センサ
６ｉ、６ｏと、この外径検知用センサ６ｉ、６ｏの測定
値に基いて第１および第２のシャッタ３１，３２の開閉
を制御するシャッタ制御部７とを具備し、これら加熱炉
および外径検知用センサ６ｉ、６ｏは、搬送手段５によ
ってガラス母材の長手方向に沿って往復運動せしめられ
るようになっている。ここでガラス母材１０は支持台２
０によって両端を支持せしめられ、図３に加熱領域の長
さＬFを示すように搬送手段５によって加熱炉３０が所
望の速度で搬送せしめられ、加熱ゾーンとして全長Ｌｗ
の一部づつの、加熱がなされるようになっている。As shown in FIGS. 1 and 2, the heating device used in this method is a horizontal induction heating type heating furnace 30.
And the first and second inlets and outlets of the heating furnace 30.
And the second shutters 31, 32, the inlet and outlet of the heating furnace 30, and the first and second shutters 31, 3
A glass base material 1 which is disposed between the glass base material 1 and the glass base material 1 and is about to be heat-treated.
The outer diameter detecting sensors 6i and 6o for measuring the outer diameter along the longitudinal direction of 0, and the opening and closing of the first and second shutters 31 and 32 based on the measured values of the outer diameter detecting sensors 6i and 6o. The heating furnace and the outer diameter detection sensors 6i, 6o are provided with a shutter control section 7 for controlling, and are reciprocated along the longitudinal direction of the glass preform by the conveying means 5. Here, the glass base material 10 is the support base 2
0 by being caused to support the opposite ends, the heating furnace 30 by the conveying means 5 to show the length L F of the heating zone 3 is made to transport at a desired speed, the total length Lw as a heating zone
It is designed to be heated in parts.

【００３３】そしてこの加熱炉３０は、図１に示すよう
に、支持台２０にコラプスすべきガラス母材１０を水平
に装着し、加熱炉３０を、このガラス母材１０の全長に
わたって所定の速度で往復運動せしめるように搬送する
搬送手段５を具備してなるものである。In this heating furnace 30, as shown in FIG. 1, a glass base material 10 to be collapsed is horizontally mounted on a support 20, and the heating furnace 30 is moved at a predetermined speed over the entire length of the glass base material 10. It is provided with a conveying means 5 that conveys so as to reciprocate.

【００３４】この誘導加熱ユニットは、図４に示すよう
に、誘導コイル１と、この誘導コイル１の内方に、配設
され、この誘導コイル１による誘導電流によって加熱せ
しめられる加熱媒体としての内径１２０ｍｍ、幅９２ｍ
ｍの高純度カーボンからなるカーボンシリンダ２とから
構成される。そして、このカーボンシリンダ２の内部空
間に、加熱すべきガラス母材１０を通し、この誘導加熱
ユニットを搬送手段５で水平方向に移動せしめるように
構成されている。ここでカーボンシリンダ２の外側は断
熱材３で、完全に被覆されており、カーボンシリンダは
着脱自在に本体（図示せず）に装着されている。As shown in FIG. 4, this induction heating unit is provided with an induction coil 1 and an inner diameter as a heating medium which is disposed inside the induction coil 1 and is heated by an induction current by the induction coil 1. 120mm, width 92m
m of carbon cylinder 2 made of high-purity carbon. Then, the glass base material 10 to be heated is passed through the inner space of the carbon cylinder 2, and the induction heating unit is horizontally moved by the conveying means 5. Here, the outside of the carbon cylinder 2 is completely covered with a heat insulating material 3, and the carbon cylinder is detachably attached to a main body (not shown).

【００３５】次にこの加熱装置を用いたガラス母材の加
熱方法について説明する。ここでは、コアロッド１１表
面に石英ガラスからなる外管１２を一体化し光ファイバ
用ガラス母材を形成するためのコラプス工程の場合につ
いて説明する。Next, a method of heating the glass base material using this heating device will be described. Here, a case of a collapse process for forming an outer tube 12 made of quartz glass on the surface of the core rod 11 to form a glass preform for an optical fiber will be described.

【００３６】次に、この装置を用いた光ファイバ用ガラ
ス母材の製造方法について説明する。まず、肉付け用パ
イプ内に原料ガスを噴射し、加熱しながら、パイプ内壁
にガラス微粒子を成長させ、いわゆるＭＣＶＤ法（Modi
fied Chemical Vapor phaseDeposition:内付法）を用い
て、酸化シリコンに対する比屈折率差２．６％のゲルマ
ニウムドープの酸化シリコンからなるコアロッド１１を
形成する。Next, a method of manufacturing a glass preform for optical fibers using this apparatus will be described. First, while injecting a raw material gas into the flesh-filling pipe and heating the glass fine particles on the inner wall of the pipe, the so-called MCVD method (Modi
The core rod 11 made of germanium-doped silicon oxide having a relative refractive index difference of 2.6% with respect to silicon oxide is formed by using fied Chemical Vapor phase Deposition (internal addition method).

【００３７】続いて、クラッド層となる比屈折率差０．
３７％のＦ添加ガラス管１２を形成する。Then, the relative refractive index difference of 0.
A 37% F-added glass tube 12 is formed.

【００３８】そしてまず、クラッド層となるガラス管１
２内にコアロッド１を挿通し、図１に示した横型誘導加
熱装置にセットし、誘導コイルに電流を流し、カーボン
シリンダを誘導加熱し内部温度Ｔ１＝２２００℃となる
ようにする。そして搬送手段５を用いて４ｍ／分で往復
運動することによりコラプスを行う。なおこの搬送手段
は３０ｒｐｍで回転しながら搬送するように構成されて
いる。First, the glass tube 1 to be the cladding layer
The core rod 1 is inserted into the coil 2, and the core rod 1 is set in the horizontal induction heating device shown in FIG. Collapse is performed by reciprocating at 4 m / min using the transporting means 5. It should be noted that this conveying means is configured to convey while rotating at 30 rpm.

【００３９】ここでは、まず、誘導コイルを通電するに
先立ち、搬送手段５を駆動し、熱処理をしようとするガ
ラス母材の長手方向にこの加熱炉を走行させることによ
り、外径検出センサ６ｉ、６ｏでスキャンし、ガラス母
材全長にわたってその外径を測定する。Here, first, before the induction coil is energized, the conveying means 5 is driven to move the heating furnace in the longitudinal direction of the glass base material to be heat-treated, whereby the outer diameter detecting sensor 6i, Scan at 6o and measure its outer diameter over the entire length of the glass preform.

【００４０】そしてこの測定値を、外径データとしてシ
ャッタ制御部７のメモリに記憶する。続いて、誘導炉３
０を開始点に導き、誘導コイル３に通電しカーボンシリ
ンダ２を加熱し、順次ガラス母材を加熱する。Then, this measured value is stored in the memory of the shutter controller 7 as outer diameter data. Then, induction furnace 3
0 is introduced to the starting point, the induction coil 3 is energized to heat the carbon cylinder 2, and the glass base material is sequentially heated.

【００４１】このとき、搬送手段５は、制御装置７に移
動経路を示す信号を送信する。そして制御装置７は、メ
モリからその位置における外径データを読み出し、この
値に基いて第１および第２のシャッタ３１，３２の開閉
を制御することにより、加熱炉の内部空間を外気から遮
断し、微小帯域で高精度に温度コントロールを行い２２
００℃に維持するように制御する。At this time, the transport means 5 sends a signal indicating the movement route to the control device 7. Then, the control device 7 reads the outer diameter data at that position from the memory and controls the opening and closing of the first and second shutters 31 and 32 based on this value to shut off the internal space of the heating furnace from the outside air. , Temperature control with high precision in a minute band 22
Control to maintain at 00 ° C.

【００４２】そして通電終了後、シャッターを閉じた状
態で、ガラス母材の回転を続行しながら、加熱媒体2
を、再度誘導コイル3に通電し、また２０℃／ｍｉｎで
冷却した１２００℃で10分間保持したのち放冷する。After the power is turned on, the heating medium 2 is kept closed while the shutter is closed and the glass base material continues to rotate.
Then, the induction coil 3 is again energized, and the temperature is kept at 1200 ° C. for 10 minutes cooled at 20 ° C./min and then allowed to cool.

【００４３】このようにして、コラプス工程を実行し、
比屈折率差２．６％のコアロッドの外側に比屈折率差―
０．３７％のクラッド層を備えたシングルモード光ファ
イバ用ガラス母材が形成される。In this way, the collapse process is executed,
The relative refractive index difference is 2.6% outside the core rod.
A glass base material for a single mode optical fiber having a cladding layer of 0.37% is formed.

【００４４】このようにして、回転を続行しながらガラ
ス母材は徐冷されるため、均一に徐冷され、クラックの
恐れもなく、コラプスが完了しシングルモード光ファイ
バ用ガラス母材が形成される。In this way, the glass preform is gradually cooled while continuing to rotate, so that the glass preform is uniformly slowly cooled, and there is no fear of cracks, and the collapse is completed and the glass preform for a single mode optical fiber is formed. It

【００４５】なおこのときの、ガラス母材上の点の時間
と温度との関係を測定した結果を図5に曲線ａで示す。
一方、従来のようにそのまま冷却した場合は曲線ｂに示
すように、急冷されるため、クラックが生じることが多
かった。The result of measurement of the relationship between time and temperature at a point on the glass base material at this time is shown by a curve a in FIG.
On the other hand, when it is cooled as it is as in the conventional case, as shown by the curve b, it is rapidly cooled, so that cracks often occur.

【００４６】このようにして形成された光ファイバ用ガ
ラス母材は、非円率、偏心率も低く、特性が良好で信頼
性の高いものとなっている。The glass base material for an optical fiber thus formed has a low non-circularity and a low eccentricity, has good characteristics and is highly reliable.

【００４７】続いてこのマルチモード光ファイバ用ガラ
ス母材を加熱しながら延伸することにより光ファイバが
形成される。Subsequently, the glass base material for a multimode optical fiber is stretched while being heated to form an optical fiber.

【００４８】また、外径検出センサ６ｉ、６ｏにより、
ガラス母材の外径を常に測定しながら、シャッタの開閉
を制御し、コラプス終了後、冷却に際し、ガラス母材の
中央部に加熱媒体を戻すことで、余熱を利用して効率よ
く、炉内の徐冷を行うことが可能となる。Further, by the outer diameter detection sensors 6i and 6o,
While constantly measuring the outer diameter of the glass base material, controlling the opening and closing of the shutter, and after cooling, after cooling, by returning the heating medium to the center of the glass base material, the residual heat can be used efficiently in the furnace. It becomes possible to perform gradual cooling.

【００４９】従ってコアクラックが低減され、歩留まり
の大幅な向上をはかることができる。また、消費エネル
ギーの低減をはかることができ、またゾーン加熱による
ものであるため、炉自体もコンパクトにすることができ
る。また、加熱される帯域を微小領域に絞り込むことが
容易となり、加熱温度および加熱時間を高精度に制御で
きることから、極めて信頼性の高い加熱が可能となる。
したがってコラプスに際しコアロッドの軟化に起因する
非円率の増大や、偏心率の増大を防ぐことが可能とな
る。Therefore, core cracks are reduced and the yield can be greatly improved. Further, energy consumption can be reduced, and since the heating is performed by zone heating, the furnace itself can be made compact. Further, it becomes easy to narrow down the zone to be heated to a minute area, and the heating temperature and the heating time can be controlled with high accuracy, so that the heating with extremely high reliability becomes possible.
Therefore, it is possible to prevent an increase in non-circularity and an increase in eccentricity due to softening of the core rod during collapse.

【００５０】なお、このような構成では、コアロッドを
構成するガラスが高濃度にドープされており、軟化点が
低いため、変形し易いが、横型炉を用い、シャッタを用
いて加熱ゾーンを隔離し、母材を回転しながら誘導加熱
を行うことにより、帯域加熱を行い、最後に徐冷期間を
設けているため、コアクラックが生じたり、コアの自重
でコラプス前に変形するというような不都合もなくな
り、非円率も低く信頼性の高い光ファイバ用ガラス母材
を形成することが可能となる。In such a structure, the glass forming the core rod is highly doped and has a low softening point, so that it is easily deformed. However, a horizontal furnace is used and a heating zone is isolated by using a shutter. By performing induction heating while rotating the base material, the zone heating is performed, and the slow cooling period is provided at the end, so core cracks may occur and the core may be deformed before collapse due to its own weight. Therefore, it becomes possible to form a glass base material for an optical fiber having a low non-circularity and a high reliability.

【００５１】これは上述した、ヒータの加熱ゾーンを構
成するカーボンシリンダの幅と、搬送速度により、３０
℃／ｃｍ程度の急峻な温度勾配を得ることができるた
め、コアロッドが変形しないようにコラプスを行うこと
が出来るためであると考えられる。This is 30 depending on the width of the carbon cylinder forming the heating zone of the heater and the conveying speed.
It is considered that this is because a steep temperature gradient of about ° C / cm can be obtained, so that the collapse can be performed so that the core rod is not deformed.

【００５２】また、この装置では、加熱媒体自体には電
流を供給する必要がなく、誘導コイル内に存在している
だけで加熱される。従って装置構成が簡単であり、電気
的接続のための端子を外部に接続する必要もないため、
構造が簡単でかつ保温性の高いものとなる。Further, in this device, it is not necessary to supply an electric current to the heating medium itself, and the heating medium is heated only by being present in the induction coil. Therefore, the device configuration is simple and it is not necessary to connect the terminals for electrical connection to the outside.
It has a simple structure and high heat retention.

【００５３】従って熱効率が良好で、低コストでのコラ
プスが可能となる。また、この装置は、加熱媒体が高純
度カーボンで構成されているため、炉内部雰囲気はクリ
ーンな状態に維持されており、コラプスの施されるガラ
ス管が汚染されたりすることもない。さらに、汚染され
たとしても、着脱自在でかつ、構造もシンプルであるた
め、洗浄も容易である。従って、メンテナンスが容易で
ある。Therefore, the thermal efficiency is good, and the collapse can be achieved at a low cost. Further, in this apparatus, since the heating medium is made of high-purity carbon, the atmosphere inside the furnace is maintained in a clean state, and the glass tube to which the collapse is applied is not contaminated. Further, even if it is contaminated, it is detachable and its structure is simple, so cleaning is easy. Therefore, maintenance is easy.

【００５４】なお、前記第1の実施の形態では、炉口と
シャッタ手段との間に設けられた外径検出センサによっ
て加熱炉駆動中も測定するようにしているが、加熱炉と
は離間して独立した位置に外径測定器８を設けておくよ
うにし、あらかじめこの外径測定器８によって外径を測
定するようにしてもよい。In the first embodiment, the outer diameter detecting sensor provided between the furnace opening and the shutter means is used to measure even while the heating furnace is being driven, but it is separated from the heating furnace. Alternatively, the outer diameter measuring device 8 may be provided at an independent position, and the outer diameter may be measured by the outer diameter measuring device 8 in advance.

【００５５】また前記第1の実施の形態では、加熱炉と
加熱媒体２とは固定されている場合について説明した
が、本発明の第2の実施形態として、図6に示すように、
加熱炉３０を大きく形成し、加熱炉内で加熱媒体2が移
動可能に形成されるようにしてもよい。In the first embodiment described above, the case where the heating furnace and the heating medium 2 are fixed has been described, but as a second embodiment of the present invention, as shown in FIG.
The heating furnace 30 may be formed in a large size so that the heating medium 2 can be moved in the heating furnace.

【００５６】ここでは加熱炉３０が大きく形成され、加
熱炉内で加熱媒体２が移動可能に形成され、加熱工程の
終了時に、加熱炉を移動することなく固定したまま、加
熱媒体２のみを加熱炉の中央に戻し、徐冷させる。この
場合は、再度通電しないが、加熱炉内に加熱媒体2の余
熱が包み込まれた状態で維持されるため良好に徐冷され
る。Here, the heating furnace 30 is formed large, the heating medium 2 is formed so as to be movable in the heating furnace, and at the end of the heating process, only the heating medium 2 is heated while the heating furnace is fixed without moving. Return to the center of the furnace and slowly cool. In this case, electricity is not supplied again, but the residual heat of the heating medium 2 is maintained in a state of being enclosed in the heating furnace, so that the heating medium 2 is cooled gradually.

【００５７】さらにまた、前記第1および第2の実施の形
態では誘導加熱炉を用いた場合について説明したが、こ
れに限定されることなく、酸水素炎を用いたバーナによ
る加熱の場合にも適用可能であり、この場合はバーナを
ガラス母材などの被加熱体の中心に戻し、徐冷する。Furthermore, although the case where the induction heating furnace is used has been described in the first and second embodiments, the present invention is not limited to this, and is also applicable to the case of heating with a burner using an oxyhydrogen flame. It is applicable, and in this case, the burner is returned to the center of the object to be heated such as the glass base material and gradually cooled.

【００５８】加えて、前記実施の形態では、加熱炉など
の加熱手段を被加熱体に対して移動するようにしたが、
被加熱体を移動する場合にも適用可能であることはいう
までもない。In addition, in the above embodiment, the heating means such as the heating furnace is moved with respect to the object to be heated.
It goes without saying that the present invention can also be applied to the case where the object to be heated is moved.

【００５９】また、コアロッドあるいはクラッド層を構
成するガラス管の製造に際してはＭＣＶＤ法に限定され
ることなく、ＶＡＤ法（Vapor phase Axial Depositio
n:気相軸付法）、ＯＶＤ法（Outer Vapor phase Deposi
tion：外付け法）のうちのいずれの方法を用いてもよ
い。The glass tube for forming the core rod or the clad layer is not limited to the MCVD method but can be manufactured by the VAD method (Vapor phase Axial Depositio).
n: vapor phase axis method, OVD method (Outer Vapor phase Deposi)
tion: external method).

【００６０】これらのうち、ＶＡＤ法は、石英ロッドの
周りにガス噴射機能を備えたバーナを用いて原料ガスを
吹き付け、石英ロッドまたはバーナを移動しながら、ガ
ラス微粒子を成長させる方法である。Among these, the VAD method is a method in which a raw material gas is blown around a quartz rod using a burner having a gas injection function, and glass fine particles are grown while moving the quartz rod or the burner.

【００６１】また、ＯＶＤ法は、石英ロッドの周りにガ
ス噴射機能を備えたバーナを用いて原料ガスを吹き付け
ながら、石英ロッドまたはバーナを往復運動させなが
ら、ガラス微粒子を成長させる方法であり、ＶＡＤ法に
比べてやや高速形成が可能であるが、若干膜質が疎であ
るという問題がある。The OVD method is a method for growing fine glass particles while reciprocating the quartz rod or the burner while blowing the raw material gas around the quartz rod using a burner having a gas injection function. Although the film can be formed at a slightly higher speed than the method, there is a problem in that the film quality is slightly poor.

【００６２】前記実施の形態では、光ファイバ母材のコ
ラプス工程にこの加熱装置を用いる場合について説明し
たが、この他、クリーニング工程、成膜工程など他の加
熱工程にも適用可能であることはいうまでもない。In the above embodiment, the case where this heating device is used in the collapse process of the optical fiber preform has been described, but in addition to this, it is also applicable to other heating processes such as a cleaning process and a film forming process. Needless to say.

【００６３】[0063]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の方法によ
れば、誘導加熱炉をガラス母材の長手方向にスキャンす
ることにより加熱を行い、加熱終了後、加熱媒体をその
ままあるいは炉内の中心に導き、シャッタを閉状態にし
て徐冷するようにしているため、加熱ゾーンが所望の幅
の帯状帯域として高精度に隔離され、Ｇｅドープ濃度の
高いコアを用いた場合にもコアクラックの発生もなく、
高精度でかつ効率よく加熱を行うことが可能となる。As described above, according to the method of the present invention, heating is performed by scanning the induction heating furnace in the longitudinal direction of the glass base material, and after heating is completed, the heating medium is left as it is or in the furnace. Since it is led to the center and the shutter is closed and gradually cooled, the heating zone is highly accurately isolated as a band-shaped zone having a desired width, and even when a core with a high Ge-doping concentration is used, core cracks are not generated. Without occurrence,
It becomes possible to perform heating with high accuracy and efficiency.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明の第1の実施の形態の加熱装置を示す
図。FIG. 1 is a diagram showing a heating device according to a first embodiment of the present invention.

【図２】本発明の第1の実施の形態の加熱装置を示す
図。FIG. 2 is a diagram showing a heating device according to the first embodiment of the present invention.

【図３】本発明の第1の実施の形態の加熱装置を示す
図。FIG. 3 is a diagram showing a heating device according to a first embodiment of the present invention.

【図４】本発明の第1の実施の形態の横型誘導加熱装置
を示す要部図。FIG. 4 is a main part diagram showing a horizontal induction heating device according to a first embodiment of the present invention.

【図５】本発明の第1の実施の形態においてガラス母材
上のある点における温度プロファイルを示す図。FIG. 5 is a diagram showing a temperature profile at a certain point on the glass base material according to the first embodiment of the present invention.

【図６】本発明の第２の実施の形態の加熱装置を示す
図。FIG. 6 is a diagram showing a heating device according to a second embodiment of the present invention.

【図７】従来例の加熱装置を示す図。FIG. 7 is a diagram showing a conventional heating device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 誘導コイル ２ カーボンシリンダ ３ 断熱材 ４ ガラス母材 ５ 搬送手段 １０ ガラス母材 １１ コアロッド １２ 外管 ２０ 支持台 ３０ 誘導加熱ユニット 1 induction coil 2 carbon cylinder 3 insulation 4 glass base material 5 Transport means 10 glass base material 11 core rod 12 outer tube 20 Support 30 induction heating unit

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 誘導コイルと、前記誘導コイルへの通電
によって加熱せしめられる加熱媒体とを具備した誘導加
熱炉を通し、ガラス母材を水平に装着する工程と、 前記ガラス母材の長手方向にそって、前記加熱媒体を相
対的に移動することにより加熱を行う加熱工程と、 前記誘導コイルへの通電をオフにし、前記加熱媒体を前
記加熱炉内で、所定時間放冷する徐冷工程とを含むこと
を特徴とする光ファイバ用ガラス母材の加熱方法。1. A step of horizontally mounting a glass preform through an induction heating furnace equipped with an induction coil and a heating medium which is heated by energizing the induction coil, and in a longitudinal direction of the glass preform. Therefore, a heating step of performing heating by relatively moving the heating medium, and a slow cooling step of turning off the power supply to the induction coil and allowing the heating medium to cool in the heating furnace for a predetermined time. A method for heating a glass preform for an optical fiber, comprising: 【請求項２】 前記徐冷工程は、前記加熱媒体を前記ガ
ラス母材の中心に導き、前記加熱媒体を静止した状態で
再度所定時間誘導コイルへの通電を行う通電工程とを含
むことを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ用ガラ
ス母材の加熱方法。2. The gradual cooling step includes an energization step of introducing the heating medium to the center of the glass base material and energizing the induction coil again for a predetermined time while the heating medium is stationary. The method for heating a glass preform for an optical fiber according to claim 1. 【請求項３】 前記徐冷工程は、前記加熱炉内を所定時
間８００〜１５００℃に維持する工程を含むことを特徴
とする請求項2に記載の光ファイバ用ガラス母材の加熱
方法。3. The method for heating a glass preform for an optical fiber according to claim 2, wherein the slow cooling step includes a step of maintaining the inside of the heating furnace at 800 to 1500 ° C. for a predetermined time. 【請求項４】 前記徐冷工程は、前記加熱炉内を冷却速
度5℃／ｍｉｎ〜5０℃／ｍｉｎに維持する工程を含むこ
とを特徴とする請求項2に記載の光ファイバ用ガラス母
材の加熱方法。4. The glass preform for an optical fiber according to claim 2, wherein the slow cooling step includes a step of maintaining the inside of the heating furnace at a cooling rate of 5 ° C./min to 50 ° C./min. Heating method. 【請求項５】 前記徐冷工程は、前記ガラス母材の回転
を続行しながら徐冷する工程であることを特徴とする請
求項１乃至4のいずれかに記載の光ファイバ用ガラス母
材の加熱方法。5. The glass preform for an optical fiber according to claim 1, wherein the gradual cooling step is a step of gradual cooling while continuing rotation of the glass preform. Heating method. 【請求項６】 前記加熱工程は、コア部材を構成するコ
アロッドに、クラッド層を構成するガラス管からなる外
管を配置し、誘導加熱によりコアロッド表面に外管を一
体化し、ガラス母材を形成するコラプス工程であること
を特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の光ファ
イバ用ガラス母材の加熱方法。6. In the heating step, an outer tube made of a glass tube forming a cladding layer is arranged on a core rod forming a core member, and the outer tube is integrated on the surface of the core rod by induction heating to form a glass base material. The method for heating a glass preform for an optical fiber according to any one of claims 1 to 5, which is a collapse process.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JP2010173933A (en) * 2010-03-26 2010-08-12 Furukawa Electric Co Ltd:The Optical fiber preform and method for encapsulating gas

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006027924A (en) * 2004-07-13 2006-02-02 Furukawa Electric Co Ltd:The Optical fiber preform, and its manufacturing method and apparatus
JP4728605B2 (en) * 2004-07-13 2011-07-20 古河電気工業株式会社 Optical fiber preform and manufacturing method thereof
JP2010173933A (en) * 2010-03-26 2010-08-12 Furukawa Electric Co Ltd:The Optical fiber preform and method for encapsulating gas

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