JP2003185024A - シール構造およびそれを用いた流体制御弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 使用中における高温や、圧力の影響によるク
リープ現象によって、また経時変化によって、塑性変形
が生じて、連結部分のフランジ部に当接する弁体基端部
の当接面に形成したビードのシール性が低下しても、シ
ール性を十分に確保することが可能な流体制御弁におけ
るシール構造を提供する。 【解決手段】ボンネット部材で締結した際に、ロッドガ
イド部材のテーパー面によって、Ｏリングシール部材
が、ロッドガイド部材と、弁本体の連結部分の内周壁と
に対してそれぞれ圧接されて、これらの間でシール性を
付与するように構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体装
置の純水供給ライン、薬液供給ラインなどにおいて純水
などの流体の流量を調整するために用いられる電動比例
弁などの流体制御弁におけるシール構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、図８に示したように、この種の流
体制御弁１００では、例えば、フッ素樹脂などから構成
される弁本体１０２の弁室１０４から、流体が外部に漏
れないようにするために、弁室１０４の弁駆動部１０６
との間の連結部分１０８に形成したフランジ部１１０に
当接するように、同様にフッ素樹脂などから構成される
弁体基端部１１２を弁駆動部１０６のボンネット部材１
１４で締め付けて締結することによって、この連結部分
１０８と弁体基端部１１２との間をシールするように構
成したシール構造を備えている。

【０００３】また、このシール性を向上するために、連
結部分１０８に形成されたフランジ部１１０に当接する
弁体基端部１１２の当接面１１２ａには、断面略三角形
状のビード１１６が突設されている。そして、ボンネッ
ト部材１１４で締め付けて締結した際に、このビード１
１６が押し潰されて、連結部分１０８と弁体基端部１１
２との間をさらにシールするように構成されている

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来の流体制御弁１００では、使用中における高温や、
圧力の影響によるクリープ現象によって、また経時変化
によって、塑性変形が生じて、ビード１１６のシール性
が低下して、図８の矢印で示したように、流体が外部に
漏洩してしまうおそれがある。このような現象は、流体
制御弁１００を組み立てる際にも生じるおそれがある。

【０００５】本発明はこのような実情に鑑み、弁本体の
弁室の弁駆動部との間の連結部分においてシール性を十
分に確保することが可能なシール構造であって、特に、
使用中における高温や、圧力の影響によるクリープ現象
によって、また経時変化によって、塑性変形が生じて、
連結部分のフランジ部に当接する弁体基端部の当接面に
形成したビードのシール性が低下しても、シール性を十
分に確保することが可能な流体制御弁におけるシール構
造を提供することを目的とする。

【０００６】また、本発明は、このような流体制御弁の
弁本体の流入管または流出管の接続部において、このよ
うなシール構造を提供することをも目的とする。さら
に、本発明は、例えば、配管などの継ぎ手部分における
このようなシール構造をも提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、前述したよう
な従来技術における課題及び目的を達成するために発明
なされたものであって、本発明のシール構造は、被シー
ル本体部に形成されたフランジ部に当接するように、被
シール体を締結部材で締め付け締結することによって、
被シール本体部と被シール体との間をシールするように
構成したシール構造であって、前記被シール体と締結部
材との間に配設したシールガイド部材と、前記シールガ
イド部材の外周壁と被シール本体部の内周壁との間に介
装したＯリングシール部材とを備え、前記シールガイド
部材の外周壁が内方に傾斜するテーパー面を備えてお
り、前記締結部材で締め付け締結した際に、シールガイ
ド部材のテーパー面によって、Ｏリングシール部材が、
被シール体と、被シール本体部の内周壁とに対してそれ
ぞれ圧接されて、これらの間でシール性を付与するよう
に構成されていることを特徴とする。

【０００８】このように構成することによって、例え
ば、配管などの継ぎ手部分に使用すれば、締結部材で締
め付け締結した際に、シールガイド部材のテーパー面に
よって、Ｏリングシール部材が、被シール体と、被シー
ル本体部の内周壁とに対してそれぞれ圧接されて、これ
らの間でシール性が付与されるので、二重のシール構造
となり極めて優れたシール性を確保することができる。

【０００９】また、本発明のシール構造は、前記被シー
ル本体部に形成されたフランジ部に当接する被シール体
の当接面には、断面略三角形状のビードが突設されてお
り、前記締結部材で締め付け締結した際に、ビードが押
し潰されて、被シール本体部と被シール体との間をシー
ルするように構成されていることを特徴とする。このよ
うに構成することによって、このビードによるシール性
が確保されるとともに、使用中における高温や、圧力の
影響によるクリープ現象によって、また経時変化によっ
て、ビードの塑性変形が生じても、上記の二重のシール
構造によってシール性が十分確保されているので、流体
が外部に漏洩することがない。

【００１０】また、本発明の流体制御弁は、両端部に流
体の流入管と流出管への各接続部が形成されるととも
に、内部に弁室を備えた弁本体と、前記弁本体の弁室に
配設されるとともに、流入管と流出管の間を連通する弁
座と、前記弁本体の弁室に配設されるとともに、弁座に
対して上方から当接離反することによって、流体の流量
制御を行う弁体と、前記弁本体の上方に取り付けられる
とともに、弁体に連結されるとともに、弁体を上下に駆
動する弁駆動部とを備えた流体制御弁において、前記弁
本体の弁室の弁駆動部との間の連結部分に形成したフラ
ンジ部に当接するように、弁体基端部を弁本体のボンネ
ット部材で締結することによって、前記連結部分と弁体
基端部との間をシールするように構成したシール構造を
備え、前記シール構造が、前記弁体基端部とボンネット
部材との間に配設したロッドガイド部材と、前記ロッド
ガイド部材の外周壁と弁体基端部の内周壁との間に介装
したＯリングシール部材とを備えるとともに、前記ロッ
ドガイド部材の外周壁が内方に傾斜するテーパー面を備
えており、前記ボンネット部材で締結した際に、ロッド
ガイド部材のテーパー面によって、Ｏリングシール部材
が、弁体基端部と、前記弁本体の連結部分の内周壁とに
対してそれぞれ圧接されて、これらの間でシール性を付
与するように構成されていることを特徴とする。

【００１１】このように構成することによって、ボンネ
ット部材で締結した際に、ロッドガイド部材のテーパー
面によって、Ｏリングシール部材が、弁体基端部と、弁
本体の連結部分の内周壁とに対してそれぞれ圧接され
て、これらの間でシール性を付与するので、二重のシー
ル構造となり、連結部分と弁体基端部との間において、
極めて優れたシール性を確保することができる。

【００１２】また、本発明の流体制御弁は、前記連結部
分に形成されたフランジ部に当接する弁体基端部の当接
面には、断面略三角形状のビードが突設されており、前
記ボンネット部材で締結した際に、ビードが押し潰され
て、前記連結部分と弁体基端部との間をシールするよう
に構成されていることを特徴とする。このように構成す
ることによって、このビードによるシール性が確保され
るとともに、使用中における高温や、圧力の影響による
クリープ現象によって、また経時変化によって、ビード
の塑性変形が生じても、上記の二重のシール構造によっ
てシール性が十分確保されているので、流体が外部に漏
洩することがない。

【００１３】また、本発明の流体制御弁は、前記弁本体
の流入管または流出管の接続部に形成したフランジ部に
当接するように、前記流入管または流出管の接続フラン
ジを締結部材で締め付け締結することによって、前記弁
本体の接続部と流入管または流出管の接続フランジとの
間をシールするように構成したシール構造を備え、前記
シール構造が、前記流入管または流出管の接続フランジ
と締結部材との間に配設したシールガイド部材と、前記
シールガイド部材の外周壁と弁本体の接続部の内周壁と
の間に介装したＯリングシール部材とを備え、前記シー
ルガイド部材の外周壁が内方に傾斜するテーパー面を備
えており、前記締結部材で締め付け締結した際に、シー
ルガイド部材のテーパー面によって、Ｏリングシール部
材が、シールガイド部材と、弁本体の接続部の内周壁と
に対してそれぞれ圧接されて、これらの間でシール性を
付与するように構成されていることを特徴とする。

【００１４】このように構成することによって、締結部
材で締め付け締結した際に、シールガイド部材のテーパ
ー面によって、Ｏリングシール部材が、シールガイド部
材と、弁本体の接続部の内周壁とに対してそれぞれ圧接
されて、これらの間でシール性を付与するので、二重の
シール構造となり、弁本体の接続部と流入管または流出
管の接続フランジとの間において、極めて優れたシール
性を確保することができる。

【００１５】また、本発明の流体制御弁は、前記弁本体
の接続部に形成されたフランジ部に当接する流入管また
は流出管の接続フランジの当接面には、断面略三角形状
のビードが突設されており、前記締結部材で締め付け締
結した際に、ビードが押し潰されて、前記弁本体の接続
部と流入管または流出管の接続フランジとの間をシール
するように構成されていることを特徴とする。

【００１６】このように構成することによって、このビ
ードによるシール性が確保されるとともに、使用中にお
ける高温や、圧力の影響によるクリープ現象によって、
また経時変化によって、ビードの塑性変形が生じても、
上記の二重のシール構造によってシール性が十分確保さ
れているので、流体が外部に漏洩することがない。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態（実施例）について説明する。図１は、本
発明の流体制御弁の縦断面図、図２は、右側半分は弁閉
状態を左側半分は弁開状態を示している図１の部分拡大
断面図で、図３は、図１の部分拡大断面図、図４は、図
１のＡ−Ａ線での断面図、図５は、本発明の流体制御弁
の弁閉状態の縦断面図、図６は、本発明の流体制御弁の
弁開状態の縦断面図である。

【００１８】図１に示したように、この流体制御弁１
は、弁本体２と、弁本体２の上部に一体的に固着され弁
駆動部４の一部を構成するステッピングモータＭとから
構成されている。そして、弁本体２の内部に、弁座６を
備えた弁室８が設けられている。また、弁本体２の左右
両端側には、流体の流入管１０と流出管１２をそれぞれ
接続する接続部１４、１６が設けられている。

【００１９】また、弁本体２の上部の弁駆動部４との間
の連結部分１１の開口部１８に形成されたフランジ部２
０には、ベローズ弁２２が嵌着されている。このベロー
ズ弁２２は、弁体基端部２４と、この弁体基端部２４の
下方に一体的に連結された伸縮自在に構成された弁室と
外部とを遮断するためのベローズ２６と、このベローズ
２６の下端に一定的に連結され弁座６に対して離接可能
な弁体２８とから構成されている。

【００２０】ベローズ弁２２の弁体基端部２４の上縁部
２４ａは、フランジ部２０の上面２０ａに当接するとと
もに、図２および図３に示したように、連結部分１１に
形成されたフランジ部２０に当接する弁体基端部２４の
当接面２４ｂには、断面略三角形状の環状のビード３０
が突設されている。このベローズ弁２２の弁体基端部２
４の中央の開口部２４ｃには、ロッドガイド部材３２の
円筒形状のロッド案内部３４が挿通されている。ロッド
ガイド部材３２の基端部３６には、その外周壁が内方に
傾斜するテーパー面３８を備えている。

【００２１】また、ロッドガイド部材３２の基端部３６
には、ベローズ２６の内部の空気を逃すための逃し孔４
０が、ロッド案内部３４の外周に沿って複数個形成され
ている。また、ロッドガイド部材３２の中央の開口部３
２ａには、上下に摺動可能にステム４４が挿通されると
ともに、その下端部４４ａがベローズ弁２２の弁体２８
に螺着されて、抜け止め防止用ナット４６で固定されて
いる。

【００２２】このロッドガイド部材３２の外周壁のテー
パー面３８と、弁本体２の上部の弁駆動部４との間の連
結部分１１の開口部１８の内周壁１８ｂとの間には、Ｏ
リングシール部材４２が介装されている。そして、弁本
体２の上部の弁駆動部４との間の連結部分１１の開口部
１８の上端部１８ａには、弁駆動部４の一部を構成する
ボンネット部材４８が固定されるようになっている。こ
のボンネット部材４８の下端部４８ｃには、側方フラン
ジ４８ｄが形成されているとともに、開口部１８の上端
部１８ａよりも下方に位置するように押圧部５４が形成
されている。

【００２３】このように構成することによって、図３に
示したように、側方フランジ４８ｄに形成された螺子孔
に螺子ボルトを締め付けて、ボンネット部材４８を開口
部１８の上端部１８ａに固定した際に、ボンネット部材
４８の下端部４８ｃの押圧部５４によって、ロッドガイ
ド部材３２が下方に押圧されることになる。これによっ
て、ロッドガイド部材３２を介して、ベローズ２６の弁
体基端部２４の上縁部２４ａの当接面２４ｂが、連結部
分１１の開口部１８のフランジ部２０の上面２０ａに押
圧されることになる。そして、弁体基端部２４の当接面
２４ｂに突設されたビード３０が押し潰されて、図３の
矢印Ｂで示したように、連結部分１１の開口部１８のフ
ランジ部２０と弁体基端部２４との間をシールするよう
に構成されている。

【００２４】また、前述したようにボンネット部材４８
で締結した際に、ロッドガイド部材３２の外周壁のテー
パー面３８によって、Ｏリングシール部材４２が、ベロ
ーズ２６の弁体基端部２４と、連結部分１１の開口部１
８の内周壁１８ｂとに対してそれぞれ圧接されて、これ
らの間でシール性を付与するように構成されている（図
３の矢印Ｃ、Ｄ参照）。

【００２５】従って、これらの間でシール性を付与する
ので、二重のシール構造となり、連結部分１１と弁体基
端部２４との間において、極めて優れたシール性を確保
することができる。また、このビード３０によるシール
性が確保されるとともに、使用中における高温や、圧力
の影響によるクリープ現象によって、また経時変化によ
って、ビード３０の塑性変形が生じても、上記の二重の
シール構造によってシール性が十分確保されているの
で、流体が外部に漏洩することがないようになってい
る。

【００２６】この場合、テーパー面３８のテーパー角度
αとしては、このようなシール効果を考慮すれば、Ｏリ
ングシール部材４２をシール性及び耐久性の点より均一
につぶす必要があり、そのためほぼ４５°に設定するの
が望ましい。また、弁本体２、ベローズ２６、ロッドガ
イド部材３２、およびボンネット部材４８としては、半
導体装置のための純水、薬液などに使用される場合を考
慮すれば、合成樹脂、特に、例えば、ポリテトラフルオ
ロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−パ
ーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）
などのフッ素樹脂や、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰ
Ｓ）ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）などのエ
ンジニアリングプラスチックを使用するのが好ましい
が、特に限定されるものではない。

【００２７】一方、弁駆動部４のボンネット部材４８の
上方には、ステッピングモータＭが配置されており、こ
のステッピングモータＭの回転軸５０には、雌のセレー
ション５１が形成されており、このセレーション５１
に、弁駆動部４のスピンドル５２の上端の雄のセレーシ
ョン５３が嵌合されるようになっている。スピンドル５
２は、止輪部材５５によって、ボンネット部材４８の上
端の固定部材５７の開口部５９に装着された軸受け６０
に回転可能に挿着固定されている。そして、スピンドル
５２の軸受け部５２ａと止輪部材５５によって、スピン
ドル５２は上下方向には移動できないように構成されて
いる。

【００２８】また、スピンドル５２の下方部の外周に
は、雄螺子５２ｂが形成されており、この雄螺子５２ｂ
が、スピンドルの外周に挿着されたガイド５６の内周に
形成された雌螺子５８と螺合するようになっている。図
３および図４に示したように、ガイド５６の下端部に
は、ピン連結孔６０が形成されており、このピン連結孔
６０と、ステム４４の上端部のピン連結孔４４ｂとの間
に、連結ピン６２を挿通するようになっている。そし
て、図４に示したように、連結ピン６２の両端６４を、
ボンネット部材４８の下方に形成された縦方向の案内溝
６６に沿って、上下動可能に摺動するように装着されて
いる。これによって、ガイド５６とステム４４とが連動
して、案内溝６６に沿って上下動可能なようにされてい
る。

【００２９】なお、この場合、ガイド５６のピン連結孔
６０と、ステム４４の上端部のピン連結孔４４ｂと、連
結ピン６２との間には、クリアランスが設けられてい
る。さらに、ボンネット部材４８の壁部４８ａおよび固
定部材５７にはそれぞれ、ロッドガイド部材３２の基端
部３６に形成された、ベローズ２６の内部の空気を逃す
ための逃し孔４０と案内溝６６を介して連通する、縦方
向に貫通する逃し孔４８ｂ、５６ｂが形成されている。
これらの逃し孔４０、４８ｂ、５６ｂによって、ベロー
ズ弁２２が上下動した際に、ベローズ２６内の空気が外
部から導入、排出されることによって、ベローズ弁２２
の作動がスムーズに行えるように構成されている。

【００３０】このように構成することによって、ステッ
ピングモータＭの回転軸５０の回転が、回転軸５０に形
成された雌のセレーション５１とスピンドル５２の上端
の雄のセレーション５３との間の嵌合によって、直接ス
ピンドル５２に伝達される。そして、スピンドル５２に
伝達された回転は、スピンドル５２は上下方向には移動
できないように構成されているので、スピンドル５２の
下方部の外周の雄螺子５２ｂとガイド５６の内周に形成
された雌螺子５８と螺合によって、ガイド５６の上下方
向の移動に変換される。

【００３１】そして、ガイド５６の上下方向の移動は、
連結ピン６２を介して、ステム４４に伝達され、連結ピ
ン６２の両端６４が、ボンネット部材４８の下方に形成
された縦方向の案内溝６６に沿って、上下動可能に摺動
することによって、ガイド５６とステム４４とが連動し
て、案内溝６６に沿って上下動可能なようにされてい
る。

【００３２】これによって、ステム４４が下方に移動し
た際には、図５に示したように、ステム４４の下端部４
４ａに固定されたベローズ弁２２の弁体２８が下方に移
動して、弁室８の弁座６に着座して弁閉状態となるよう
になっている。また、逆に、ステム４４が上方に移動し
た際には、図６に示したように、ステム４４の下端部４
４ａに固定されたベローズ弁２２の弁体２８が下方に移
動して、弁室８の弁座６に着座して弁閉状態となるよう
になっている。

【００３３】このように、ステッピングモータＭの回転
軸５０の回転が、回転軸５０に形成された雌のセレーシ
ョン５１とスピンドル５２の上端の雄のセレーション５
３との間の嵌合によって、直接スピンドル５２に伝達さ
れるとともに、スピンドル５２は上下方向には移動でき
ないように構成されているので、セレーションの同士の
嵌合長さが変化しない、すなわちセレーションの接触面
積が常に同じであるので、安定した回転伝達力を得るこ
とができる。

【００３４】また、このようにセレーションが上下に移
動しないので、セレーションの間の磨耗損傷がなく、耐
磨耗性が向上することになる。また、セレーションが上
下に移動しないので、弁のストロークを大きくすること
ができ、流体の流量の制御範囲を拡大することができ
る。さらに、スピンドル５２が上下に移動しないので、
スピンドル５２の下方部の外周の雄螺子５２ｂとガイド
５６の内周に形成された雌螺子５８から形成される送り
螺子部にゴミが侵入するおそれがない。

【００３５】また、ガイド５６のピン連結孔６０と、ス
テム４４の上端部のピン連結孔４４ｂと、連結ピン６２
との間には、クリアランスが設けられているので、作動
時に、スピンドル５２、ガイド５６、ステム４４などの
嵌合により、芯ずれが発生したとしても、ステム４４が
Ｘ−Ｙ方向に自由に移動できる、すなわち、首振り機構
として機能するので、Ｘ−Ｙ方向にガイド５６を介して
上下にスムーズに移動することができ、ガイド５６、ス
テム４４などが磨耗損傷することなく、円滑な弁の作動
を確保することができる。

【００３６】また、ガイド５６、ステム４４が一体では
ないので、これらの材質を別々に選定でき、ガイド５
６、ステム４４を異なる材質で選択でき、耐久寿命を向
上することが可能である。また、図１に示したように、
弁室８の流体の流出口８ｂが、弁室８の上部側方に形成
されている。これによって、図２の矢印Ｅに示したよう
に、弁閉時から弁開した際に、流入管１０から導入され
た流体が、弁室８の弁座６の流入口８ａを介して、ベロ
ーズ弁２２のベローズ２６側を流れて、流出口８ｂから
流出管１２へと流れるようになっている。

【００３７】従って、ベローズ弁２２のベローズ２６の
周囲の流体に含まれるガスなどを外部に排出することが
できるので、流体の流量調整が不安定となるのを防止す
ることができる。また、本発明の流体制御弁１では、図
７の他の実施例に示したように、流体の流入管１０と流
出管１２をそれぞれ接続する接続部１４、１６にも、上
記したような弁本体２の上部の弁駆動部４との間の連結
部分１１と同様なシール構造が配置されていても良い。

【００３８】すなわち、弁本体２の流入管１０の接続部
１４では、接続部１４に形成したフランジ部１４ａに当
接するように、流入管１０の接続フランジ１０ａを締結
部材７０の螺子７２で締め付け締結することによって、
弁本体２の接続部１４と流入管１０の接続フランジ１０
ａとの間をシールするように構成したシール構造を備え
ている。

【００３９】そして、流入管１０の接続フランジ１０ａ
と締結部材７０との間にシールガイド部材７４が配設さ
れている。このシールガイド部材７４と、シールガイド
部材７４の外周壁７４ａと弁本体２の接続部１４の内周
壁１４ｂとの間にＯリングシール部材７６が介装されて
いる。また、シールガイド部材７４の外周壁７４ａが内
方に傾斜するテーパー面７８を備えており、締結部材７
０で締め付け締結した際に、シールガイド部材７４のテ
ーパー面７８によって、Ｏリングシール部材７６が、流
入管１０の接続フランジ１０ａと、弁本体２の接続部１
４の内周壁１４ｂとに対してそれぞれ圧接されて、これ
らの間でシール性を付与するように構成されている。

【００４０】また、弁本体２の接続部１４に形成された
フランジ部１４ａに当接する流入管１０の接続フランジ
１０ａの当接面１０ｂには、断面略三角形状のビード８
０が突設されている。これによって、締結部材７０で締
め付け締結した際に、ビード８０が押し潰されて、弁本
体２の接続部１４と流入管１０の接続フランジ１０ａと
の間をシールするように構成されている。

【００４１】また、同様に、弁本体２の流出管１２の接
続部１６でも、接続部１６に形成したフランジ部１６ａ
に当接するように、流出管１２の接続フランジ１２ａを
締結部材７０の螺子７２で締め付け締結することによっ
て、弁本体２の接続部１６と流出管１２の接続フランジ
１２ａとの間をシールするように構成したシール構造を
備えている。

【００４２】そして、流出管１２の接続フランジ１２ａ
と締結部材７０との間にシールガイド部材７４が配設さ
れている。このシールガイド部材７４と、シールガイド
部材７４の外周壁７４ａと弁本体２の接続部１６の内周
壁１６ｂとの間にＯリングシール部材７６が介装されて
いる。また、シールガイド部材７４の外周壁７４ａが内
方に傾斜するテーパー面７８を備えており、締結部材７
０で締め付け締結した際に、シールガイド部材７４のテ
ーパー面７８によって、Ｏリングシール部材７６が、流
出管１２の接続フランジ１２ａと、弁本体２の接続部１
６の内周壁１６ｂとに対してそれぞれ圧接されて、これ
らの間でシール性を付与するように構成されている。

【００４３】また、弁本体２の接続部１６に形成された
フランジ部１６ａに当接する流出管１２の接続フランジ
１２ａの当接面１２ｂには、断面略三角形状のビード８
０が突設されている。これによって、締結部材７０で締
め付け締結した際に、ビード８０が押し潰されて、弁本
体２の接続部１６と流出管１２の接続フランジ１２ａと
の間をシールするように構成されている。

【００４４】さらに、図１および図７に示した実施例の
弁本体２の流出経路１３の下端には、弁本体２が切削加
工で製作される場合の縦穴加工のための切削孔１５が形
成されているが、この切削孔１５を閉塞部材１７で閉塞
する部分にも、説明を省略するが同様なシール構造が設
けれらている。なお、上記実施例では、流体制御弁につ
いて、本発明のシール構造を適用した場合について説明
したが、本発明のシール構造は、何らこれに限定される
ものではなく、例えば、配管の継ぎ手部分のシール構造
などにも適用できる。

【００４５】また、上記実施例では、弁駆動源としてス
テッピングモータを備えた流体制御弁に適用した場合を
示したが、本発明は、何らこれに限定されるものではな
く、例えば、弁駆動源としてプランジャを吸引する電磁
コイルを備えた流体制御弁などその他の流体制御弁にも
適用できるなど本発明を逸脱しない範囲で種々の変更が
可能である。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のシール構
造によれば、例えば、配管などの継ぎ手部分に使用すれ
ば、締結部材で締め付け締結した際に、シールガイド部
材のテーパー面によって、Ｏリングシール部材が、被シ
ール体と、被シール本体部の内周壁とに対してそれぞれ
圧接されて、これらの間でシール性が付与されるので、
二重のシール構造となり極めて優れたシール性を確保す
ることができる。

【００４７】また、本発明の流体制御弁によれば、ボン
ネット部材で締結した際に、ロッドガイド部材のテーパ
ー面によって、Ｏリングシール部材が、弁体基端部と、
弁本体の連結部分の内周壁とに対してそれぞれ圧接され
て、これらの間でシール性を付与するので、二重のシー
ル構造となり、連結部分と弁体基端部との間において、
極めて優れたシール性を確保することができる。

【００４８】また、本発明の流体制御弁によれば、締結
部材で締め付け締結した際に、シールガイド部材のテー
パー面によって、Ｏリングシール部材が、流入管または
流出管の接続フランジと、弁本体の接続部の内周壁とに
対してそれぞれ圧接されて、これらの間でシール性を付
与するので、二重のシール構造となり、弁本体の接続部
と流入管または流出管の接続フランジとの間において、
極めて優れたシール性を確保することができる。

【００４９】さらに、本発明によれば、ビードによるシ
ール性が確保されるとともに、使用中における高温や、
圧力の影響によるクリープ現象によって、また経時変化
によって、ビードの塑性変形が生じても、上記の二重の
シール構造によってシール性が十分確保されているの
で、流体が外部に漏洩することがないなど幾多の顕著で
特有な作用効果を奏する極めて優れた発明である。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の流体制御弁の縦断面図であ
る。

【図２】図２は、右側半分は弁閉状態を左側半分は弁開
状態を示している図１の部分拡大断面図である。

【図３】図３は、図１の部分拡大断面図である。

【図４】図４は、図１のＡ−Ａ線での断面図である。

【図５】図５は、本発明の流体制御弁の弁閉状態の縦断
面図である。

【図６】図６は、本発明の流体制御弁の弁開状態の縦断
面図である。

【図７】図７は、本発明の流体制御弁の別の実施例の縦
断面図である。

【図８】図８は、従来の流体制御弁の部分拡大断面図で
ある。

【符号の説明】

１ 流体制御弁 ２ 弁本体 ４ 弁駆動部 ６ 弁座 ８ 弁室 ８ａ 流入口 ８ｂ 流出口 １０ 流入管 １０ａ 接続フランジ １０ｂ 当接面 １１ 連結部分 １２ 流出管 １２ａ 接続フランジ １２ｂ 当接面 １３ 流出経路 １４ 接続部 １４ａ フランジ部 １４ｂ 内周壁 １５ 切削孔 １６ 接続部 １６ａ フランジ部 １６ｂ 内周壁 １７ 閉塞部材 １８ 開口部 １８ａ 上端部 １８ｂ 内周壁 ２０ フランジ部 ２０ａ 上面 ２２ ベローズ弁 ２４ 弁体基端部 ２４ａ 上縁部 ２４ｂ 当接面 ２４ｃ 開口部 ２６ ベローズ ２８ 弁体 ３０ ビード ３２ ロッドガイド部材 ３２ａ 開口部 ３４ ロッド案内部 ３６ 基端部 ３８ テーパー面 ４０ 逃し孔 ４２ リングシール部材 ４４ ステム ４４ａ 下端部 ４４ｂ ピン連結孔 ４６ 防止用ナット ４８ ボンネット部材 ４８ａ 壁部 ４８ｂ 逃し孔 ４８ｃ 下端部 ４８ｄ 側方フランジ ５０ 回転軸 ５１ セレーション ５２ スピンドル ５２ａ 軸受け部 ５２ｂ 雄螺子 ５３ セレーション ５４ 押圧部 ５５ 止輪部材 ５６ ガイド ５７ 固定部材 ５８ 雌螺子 ５９ 開口部 ６０ ピン連結孔 ６２ 連結ピン ６４ 両端 ６６ 案内溝 ６８ ビード ７０ 締結部材 ７２ 螺子 ７４ シールガイド部材 ７４ａ 外周壁 ７６ リングシール部材 ７８ テーパー面 ８０ ビード １００ 流体制御弁 １０２ 弁本体 １０４ 弁室 １０６ 弁駆動部 １０８ 連結部分 １１０ フランジ部 １１２ 弁体基端部 １１２ａ 当接面 １１４ ボンネット部材 １１６ ビード Ｍ ステッピングモータ α テーパー角度

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H051 AA01 BB10 CC16 FF09 FF15 3H062 AA02 AA15 BB28 CC02 DD01 EE06 GG04 GG06 HH03 HH06 3J040 BA02 EA16 HA04

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被シール本体部に形成されたフランジ部
   に当接するように、被シール体を締結部材で締め付け締
   結することによって、被シール本体部と被シール体との
   間をシールするように構成したシール構造であって、 前記被シール体と締結部材との間に配設したシールガイ
   ド部材と、 前記シールガイド部材の外周壁と被シール本体部の内周
   壁との間に介装したＯリングシール部材とを備え、 前記シールガイド部材の外周壁が内方に傾斜するテーパ
   ー面を備えており、 前記締結部材で締め付け締結した際に、シールガイド部
   材のテーパー面によって、Ｏリングシール部材が、被シ
   ール体と、被シール本体部の内周壁とに対してそれぞれ
   圧接されて、これらの間でシール性を付与するように構
   成されていることを特徴とするシール構造。
2. 【請求項２】 前記被シール本体部に形成されたフラン
   ジ部に当接する被シール体の当接面には、断面略三角形
   状のビードが突設されており、 前記締結部材で締め付け締結した際に、ビードが押し潰
   されて、被シール本体部と被シール体との間をシールす
   るように構成されていることを特徴とする請求項１に記
   載のシール構造。
3. 【請求項３】 両端部に流体の流入管と流出管への各接
   続部が形成されるとともに、内部に弁室を備えた弁本体
   と、 前記弁本体の弁室に配設されるとともに、流入管と流出
   管の間を連通する弁座と、 前記弁本体の弁室に配設されるとともに、弁座に対して
   上方から当接離反することによって、流体の流量制御を
   行う弁体と、 前記弁本体の上方に取り付けられるとともに、弁体に連
   結されるとともに、弁体を上下に駆動する弁駆動部とを
   備えた流体制御弁において、 前記弁本体の弁室の弁駆動部との間の連結部分に形成し
   たフランジ部に当接するように、弁体基端部を弁本体の
   ボンネット部材で締結することによって、前記連結部分
   と弁体基端部との間をシールするように構成したシール
   構造を備え、 前記シール構造が、 前記弁体基端部とボンネット部材との間に配設したロッ
   ドガイド部材と、 前記ロッドガイド部材の外周壁と弁体基端部の内周壁と
   の間に介装したＯリングシール部材とを備えるととも
   に、 前記ロッドガイド部材の外周壁が内方に傾斜するテーパ
   ー面を備えており、 前記ボンネット部材で締結した際に、ロッドガイド部材
   のテーパー面によって、Ｏリングシール部材が、弁体基
   端部と、前記弁本体の連結部分の内周壁とに対してそれ
   ぞれ圧接されて、これらの間でシール性を付与するよう
   に構成されていることを特徴とする流体制御弁。
4. 【請求項４】 前記連結部分に形成されたフランジ部に
   当接する弁体基端部の当接面には、断面略三角形状のビ
   ードが突設されており、 前記ボンネット部材で締結した際に、ビードが押し潰さ
   れて、前記連結部分と弁体基端部との間をシールするよ
   うに構成されていることを特徴とする請求項３に記載の
   流体制御弁。
5. 【請求項５】 前記弁本体の流入管または流出管の接続
   部に形成したフランジ部に当接するように、前記流入管
   または流出管の接続フランジを締結部材で締め付け締結
   することによって、前記弁本体の接続部と流入管または
   流出管の接続フランジとの間をシールするように構成し
   たシール構造を備え、 前記シール構造が、 前記前記流入管または流出管の接続フランジと締結部材
   との間に配設したシールガイド部材と、 前記シールガイド部材の外周壁と弁本体の接続部の内周
   壁との間に介装したＯリングシール部材とを備え、 前記シールガイド部材の外周壁が内方に傾斜するテーパ
   ー面を備えており、 前記締結部材で締め付け締結した際に、シールガイド部
   材のテーパー面によって、Ｏリングシール部材が、流入
   管または流出管の接続フランジと、弁本体の接続部の内
   周壁とに対してそれぞれ圧接されて、これらの間でシー
   ル性を付与するように構成されていることを特徴とする
   請求項３から４のいずれかに記載の流体制御弁。
6. 【請求項６】 前記弁本体の接続部に形成されたフラン
   ジ部に当接する流入管または流出管の接続フランジの当
   接面には、断面略三角形状のビードが突設されており、 前記締結部材で締め付け締結した際に、ビードが押し潰
   されて、前記弁本体の接続部と流入管または流出管の接
   続フランジとの間をシールするように構成されているこ
   とを特徴とする請求項５に記載の流体制御弁。