JP2003182823A - Stocker - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a stocker having strength not to be sagged by weight of a storing object and capable of improving storage efficiency by effectively making use of a space between upper and lower shelf boards. <P>SOLUTION: This stocker is constituted of a plurality of supports 2 provided with specified intervals between them and by laying the shelf boards 4 suspended between the supports 2 and to place the storing objects 3 on them in a plurality of stages, at least more than one squeezing work is formed roughly along the overall length in the longitudinal direction of the shelf boards 4 and a positioning means 7 to decide a placing position of the storing object 3 is provided. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、保管対象物を保管
するストッカに関し、特に、クリーンルーム内で半導体
ウェハーキャリア等の保管対象物を保管するストッカに
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stocker for storing a storage object, and more particularly to a stocker for storing a storage object such as a semiconductor wafer carrier in a clean room.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来のストッカ１は、図１に示すよう
に、所定間隔で設けられた複数の柱２と、これら柱２間
に掛け渡らされて保管対象物３が載置される棚板４が上
下に複数段積層されて構成されている。2. Description of the Related Art As shown in FIG. 1, a conventional stocker 1 is a shelf board on which a plurality of pillars 2 are provided at predetermined intervals and an object 3 to be stored is hung between the pillars 2. 4 are vertically stacked in a plurality of layers.

【０００３】この種のストッカ１のうち、例えば、半導
体製造工程に用いられるものは、主にクリーンルーム内
に設置され、保管対象物３としてウェハー等が収容され
た半導体ウェハーキャリア３０が、図６に示すように、
棚板４上に載置される。そして、この棚板４は、クリー
ンルーム内で使用されるため、クリーンルーム内のダウ
ンフローを妨げないように複数の風孔２１が設けられて
いる。さらに、保管対象物３である半導体ウェハーキャ
リア３０の位置決めを行う位置決め部材２０が設けられ
ている。Among the stockers 1 of this type, for example, those used in the semiconductor manufacturing process are semiconductor wafer carriers 30 which are mainly installed in a clean room and in which wafers and the like are stored as storage objects 3 are shown in FIG. As shown
It is placed on the shelf board 4. Since this shelf board 4 is used in a clean room, a plurality of air holes 21 are provided so as not to prevent downflow in the clean room. Further, a positioning member 20 for positioning the semiconductor wafer carrier 30, which is the storage object 3, is provided.

【０００４】また、ストッカ１には、保管対象物３の収
納効率を高めるとともに、作業効率を高めるために、図
１に示すように、ストッカ１に併設されたアーム６を有
したスタッカロボット５によって、保管対象物３の移
載、載置等が自動化されている。In order to improve the storage efficiency of the storage object 3 and the working efficiency, the stocker 1 is provided with a stacker robot 5 having an arm 6 attached to the stocker 1 as shown in FIG. The transfer, placement, etc. of the storage object 3 are automated.

【０００５】そのため、保管対象物３の保管位置をスタ
ッカロボット５が正確に把握するために、ストッカ１の
棚板４は撓んだりすることがないように、図６（ｃ）に
示すように、補強用フレーム２２が設けられると共に、
棚板４の一部が折り曲げられる等して形成される補強部
２３によって、保管対象物３の重量によって撓まないよ
うにされている。Therefore, in order for the stacker robot 5 to accurately grasp the storage position of the storage object 3, the shelf plate 4 of the stocker 1 is prevented from bending, as shown in FIG. 6 (c). , The reinforcing frame 22 is provided,
The reinforcing portion 23 formed by bending a part of the shelf plate 4 prevents the shelf object 4 from being bent by the weight of the storage object 3.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】近年の半導体ウェハー
の大口径化に伴い、保管対象物３の収納効率をより一層
高める必要性が生じている。従来のストッカ１では、図
６（ｂ）に示すように、棚板４の下側には補強用フレー
ム２２や補強部２３が突出しており、その分、上下の棚
板４間のスペースが必要となっていた。With the recent increase in the diameter of semiconductor wafers, it is necessary to further increase the storage efficiency of the objects 3 to be stored. In the conventional stocker 1, as shown in FIG. 6 (b), the reinforcing frame 22 and the reinforcing portion 23 project below the shelf board 4, and the space between the upper and lower shelf boards 4 is required accordingly. It was.

【０００７】しかしながら、従来から使用しているクリ
ーンルーム内でストッカ１の収納効率を高めるために
は、上下の棚板４間のスペースをできるだけ有効に使用
することがストッカ１の収納効率を高めることとなる。However, in order to increase the storage efficiency of the stocker 1 in the conventionally used clean room, it is necessary to use the space between the upper and lower shelves 4 as effectively as possible in order to increase the storage efficiency of the stocker 1. Become.

【０００８】本発明は、保管対象物の重量によって撓ま
ない強度を有し、上下の棚板間のスペースを有効に利用
して収納効率を高めることができるストッカを提供する
ことを目的とする。It is an object of the present invention to provide a stocker which has strength not to be bent by the weight of an object to be stored and which can effectively use the space between the upper and lower shelves to enhance the storage efficiency. .

【０００９】[0009]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の本発明の請求項１に記載のストッカは、所定間隔で設
けられた複数の柱と、前記柱間に掛け渡されて、保管対
象物を載置する棚板が複数段積層されてなるストッカで
あって、前記棚板の長手方向の略全長にわたって、少な
くとも１以上の押し曲げ成形部が形成されるとともに、
前記保管対象物の載置位置を決める位置決め手段が設け
られているものである。このような構成によると、押し
曲げ加工による成形部によって棚板が補強され、補強用
フレーム等を設ける必要がなくなり、上下の棚板間のス
ペースを有効に利用できるようになる。ここで、押し曲
げ加工とは、棚板の面上に切り欠きを設け、一方側から
他方側の面に向って押圧をかけて、その切り欠き部を押
し広げるように加工することをいうものとする。The stocker according to claim 1 of the present invention for solving the above-mentioned problems is a storage object that is hung between a plurality of pillars provided at predetermined intervals and between the pillars. A stocker in which a plurality of shelves on which an object is placed are stacked, and at least one or more push-bend forming portions are formed over substantially the entire length in the longitudinal direction of the shelves,
Positioning means for determining the placement position of the storage object is provided. With such a configuration, the shelf plate is reinforced by the forming portion formed by the push-bending process, and it is not necessary to provide a reinforcing frame or the like, and the space between the upper and lower shelf plates can be effectively used. Here, the push-bending process is a process in which a notch is provided on the surface of the shelf board and pressure is applied from one side toward the other side to expand the notch. And

【００１０】また、請求項２に記載のストッカは、請求
項１において、前記位置決め手段が、前記棚板の幅方向
に形成された押し曲げ加工により形成されているもので
ある。このような構成によると、位置決め部材を別部材
でする必要が無くなり、部材数の低減が可能となる。ま
た、押し曲げ加工によって、棚板の補強を行うことも可
能となる。さらに、製造コストの低減化も可能となる。The stocker according to a second aspect of the present invention is the stocker according to the first aspect, wherein the positioning means is formed by a press bending process formed in the width direction of the shelf board. With such a configuration, it is not necessary to use a separate member as the positioning member, and the number of members can be reduced. Further, it is possible to reinforce the shelf board by the push-bending process. Further, the manufacturing cost can be reduced.

【００１１】また、請求項３に記載のストッカは、請求
項１又は２において、前記棚板に、風孔が形成されてい
るものである。この構成により、クリーンルーム内で使
用した場合であっても、クリーンルーム内のダウンフロ
ーを妨げることがない。The stocker according to a third aspect of the present invention is the stocker according to the first or second aspect of the present invention, in which air holes are formed in the shelf. With this configuration, the downflow in the clean room is not hindered even when used in the clean room.

【００１２】また、請求項４に記載のストッカは、請求
項３において、前記風孔が、押し曲げ加工により形成さ
れているものである。このような構成によると、風孔を
設ける加工数をなくすことが可能なる。このため、製造
コストの低減化が可能となる。The stocker according to a fourth aspect is the stocker according to the third aspect, wherein the air holes are formed by pressing and bending. With such a configuration, it is possible to eliminate the number of processes for forming the air holes. Therefore, the manufacturing cost can be reduced.

【００１３】また、請求項５に記載のストッカは、所定
間隔で設けられた複数の柱と、前記柱間に掛け渡される
複数の棒材と、で構成されるストッカであって、前記棒
材に、前記柱間を区画して、保管対象物の位置決めとな
る位置決め部材が設けられているものである。このよう
な構成によると、クリーンルーム内で使用した場合であ
っても、クリーンルーム内のダウンフローを妨げること
がない。また、保管対象物は、その重量を各棒材によっ
てそれぞれ分散されて支持されるため、棚板の補強をす
る必要もなくなる。The stocker according to a fifth aspect of the present invention is a stocker comprising a plurality of pillars provided at a predetermined interval and a plurality of rods suspended between the pillars. In addition, a positioning member for positioning the storage object is provided by partitioning the columns. According to such a configuration, even when used in a clean room, downflow in the clean room is not hindered. Further, since the weight of the object to be stored is dispersed and supported by each bar, it is not necessary to reinforce the shelf board.

【００１４】[0014]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
ストッカの第１の実施形態例について説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A first embodiment of a stocker of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【００１５】図１は、本発明に係るストッカの第１の実
施形態例を示した概略斜視図である。本実施形態例に係
るストッカ１は、例えば、半導体製造工程において、保
管対象物３として半導体ウェハーキャリアを保管するク
リーンルーム内で使用される。このストッカ１は、所定
間隔で設けられ、ストッカ１の骨格となる複数の柱２
と、これら柱２間に掛け渡されて、保管対象物３である
半導体ウェハーキャリアが載置される棚板４が上下に複
数段積層されて構成されている。そして、ストッカ１の
前面には、半導体ウェハーキャリア３を運搬し、ストッ
カ１に載置するスタッカロボット５が設置されている。FIG. 1 is a schematic perspective view showing a first embodiment of a stocker according to the present invention. The stocker 1 according to the present embodiment is used, for example, in a clean room in which a semiconductor wafer carrier is stored as a storage object 3 in a semiconductor manufacturing process. This stocker 1 is provided at a predetermined interval and has a plurality of pillars 2 serving as a skeleton of the stocker 1.
A shelf board 4 which is hung between these pillars 2 and on which a semiconductor wafer carrier as a storage object 3 is placed is formed by vertically stacking a plurality of layers. A stacker robot 5 that carries the semiconductor wafer carrier 3 and places it on the stocker 1 is installed on the front surface of the stocker 1.

【００１６】棚板４は、ステンレス等の金属製の一枚の
板材から形成されており、図２（ａ）に示すように、長
手方向の略全長にわたってストッカ１の前面側１０と背
面側１１にそれぞれ開口部１６，１７が形成されるよう
に押し曲げ加工によって押し曲げ成形部１２ａ，１２ｂ
が形成されている。そして、この押し曲げ成形部１２
ａ，１２ｂ間に、棚板４の幅方向に位置決め手段１３
ａ，１３ｂが押し曲げ加工によって形成されている。こ
の押し曲げ成形部１２ａ，１２ｂ及び位置決め手段１３
ａ，１３ｂの間には、クリーンルーム内のダウンフロー
を妨げないように風孔２１が複数設けられている。ここ
で、押し曲げ加工とは、前述したように、棚板の面上に
切り欠きを設け、一方側から他方側の面に向って押圧を
かけて、その切り欠き部を押し広げるように加工するこ
とをいうものとする。本実施形態例においては、棚板４
の下面側から上面側に向って押圧されて、面上に設けら
れた切り欠き部が押し広げられてそれぞれ開口部１６，
１７となっている。The shelf plate 4 is formed of a single plate material made of metal such as stainless steel, and as shown in FIG. 2A, the front side 10 and the rear side 11 of the stocker 1 over substantially the entire length in the longitudinal direction. By pressing and bending so that the openings 16 and 17 are formed in the pressing and bending parts 12a and 12b, respectively.
Are formed. Then, this push-bend forming part 12
Positioning means 13 is provided between a and 12b in the width direction of the shelf board 4.
a and 13b are formed by pressing and bending. The push-bend forming portions 12a and 12b and the positioning means 13
A plurality of air holes 21 are provided between a and 13b so as not to prevent downflow in the clean room. Here, as described above, the push-bending process is performed by forming a notch on the surface of the shelf board, pressing from one side toward the other side, and expanding the notch. It means to do. In the present embodiment example, the shelf board 4
Is pressed from the lower surface side toward the upper surface side, the notch portion provided on the surface is expanded, and the openings 16 and
It is 17.

【００１７】また、棚板４の前面側１０の長手方向に端
部は、図２（ａ）に示すように、折り返されて圧接され
て折り曲げ部１４が形成されている。これによって、こ
の折り曲げ部１４と、前述した押し曲げ成形部１２ａ，
１２ｂとで、強度が補強され、棚板４は保管対象物３が
載置された場合であっても、その重量によって撓むこと
が無くなる。As shown in FIG. 2 (a), an end portion of the front side 10 of the shelf 4 in the longitudinal direction is folded back and pressed to form a bent portion 14. As a result, the bending portion 14 and the above-described push-bending forming portion 12a,
With 12b, the strength is reinforced, and the shelf plate 4 does not bend due to its weight even when the storage object 3 is placed.

【００１８】また、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ
線断面図であるが、この図２（ｂ）に示すように、押し
曲げ成形部１２ａ，１２ｂは、棚板４を補強するととも
に、保管対象物３の棚板４の前後の位置決めをする役割
も果たしている。Further, FIG. 2B is a sectional view taken along the line A--A in FIG.
Although it is a line sectional view, as shown in FIG. 2 (b), the push-bend forming portions 12 a and 12 b serve to reinforce the shelf board 4 and to position the shelf board 4 of the storage object 3 in the front-rear direction. Is also playing.

【００１９】このように、棚板４に押し曲げ加工により
押し曲げ成形部１２ａ，１２ｂ及び位置決め手段１３
ａ，１３ｂを形成することによって、棚板４の補強を行
うと共に、保管対象物３の位置決めも確実に行うことが
可能となる。さらに、従来のように、棚板４を補強する
ために補強用フレーム等を設ける必要がなくなり、棚板
４を上下に積層した場合であっても、棚板４の上下間の
空間を有効に利用することが可能となり、保管対象物３
の収納効率を向上することができる。As described above, the push-bend forming portions 12a and 12b and the positioning means 13 are formed by push-bending the shelf plate 4.
By forming a and 13b, it becomes possible to reinforce the shelf board 4 and to reliably position the storage object 3. Further, unlike the conventional case, it is not necessary to provide a reinforcing frame or the like to reinforce the shelf board 4, and even when the shelf boards 4 are vertically stacked, the space between the upper and lower sides of the shelf board 4 can be effectively made. It becomes possible to use it and the object to be stored 3
The storage efficiency of can be improved.

【００２０】また、押し曲げ加工によって、棚板４に
は、風孔２１以外にも開口部が形成されるため、クリー
ンルーム内のダウンフローを妨げることも無く、ストッ
カ１内で、クリーンルーム内のダウンフローの淀み部が
形成されにくくなるため、保管対象物３や棚板４上にク
リーンルーム内のパーティクルが堆積することもなくな
る。Further, by pressing and bending, an opening is formed in the shelf plate 4 in addition to the air holes 21, so that the downflow in the clean room is not hindered, and the down space in the clean room is prevented in the stocker 1. Since the stagnation part of the flow is less likely to be formed, particles in the clean room are not deposited on the storage object 3 or the shelf plate 4.

【００２１】次に、図３により本発明に係るストッカの
第２の実施形態例を説明する。Next, a second embodiment of the stocker according to the present invention will be described with reference to FIG.

【００２２】本実施形態例に係るストッカ１の棚板４
は、図３（ａ）に示すように、押し曲げ加工によって押
し曲げ成形部１２ａ，１２ｂ，１２ｃが棚板４の長手方
向の略全長にわたって形成されている。そして、棚板４
上に保管対象物３の位置決めを行う位置決め手段１５
ａ，１５ｂが設けられている。Shelf plate 4 of stocker 1 according to the present embodiment
As shown in FIG. 3A, the push-bend forming portions 12a, 12b, 12c are formed by push-bending over substantially the entire length of the shelf plate 4 in the longitudinal direction. And shelf 4
Positioning means 15 for positioning the object 3 to be stored
a and 15b are provided.

【００２３】本実施形態例に係るストッカ１の棚板４に
形成されている押し曲げ成形部１２ａ，１２ｂ，１２ｃ
は、ストッカ１の前面側１０からそれぞれ形成されてお
り，前面側の押し曲げ成形部１２ａ及び１２ｂは、棚板
４の上面側から下面側に押圧されて押し曲げ加工されて
いる。そして、背面側１１に形成されている押し曲げ成
形部１２ｃは、開口部１７が背面側を向くように押し曲
げ加工されている。これによって押し曲げ成形部１２ｃ
は、棚板４の前面側１０に設けられた位置決め手段１５
ａ，１５ｂとともに、保管対象物３の位置決めを行うこ
とができる（図３（ｂ）参照）。また、押し曲げ成形部
１２ａ，１２ｂは、棚板４の長手方向の略全長にわたっ
て形成されているため、棚板４の補強を行うと共に、そ
の開口部１６，１８が棚板４の下面側に向って形成され
ているため、風孔２１（図２参照）の代わりも果たし、
クリーンルーム内で使用した場合であっても、クリーン
ルーム内のダウンフローを妨げることがない。さらに、
補強用の補強フレーム等を設けなくても、押し曲げ成形
部１２a，１２b，１２ｃが棚板の長手方向の略全長にわ
たって形成されているため、保管対象物の重量によって
撓むことがない。そのため、棚板間の空間を有効に利用
でき収納効率を向上できるともに、スタッカロボット５
の教示位置等が変化することを少なくでき、作業効率を
も向上できる。Push-bend forming portions 12a, 12b, 12c formed on the shelf plate 4 of the stocker 1 according to this embodiment.
Are formed from the front side 10 of the stocker 1, and the press-bend forming portions 12a and 12b on the front side are pressed and bent from the upper surface side to the lower surface side of the shelf plate 4 to be pressed and bent. The push-bend forming part 12c formed on the back side 11 is press-bent so that the opening 17 faces the back side. As a result, the push-bend forming part 12c
Is a positioning means 15 provided on the front side 10 of the shelf board 4.
The storage object 3 can be positioned together with a and 15b (see FIG. 3B). Further, since the push-bend forming portions 12a and 12b are formed over substantially the entire length in the longitudinal direction of the shelf board 4, the shelf board 4 is reinforced, and the openings 16 and 18 are formed on the lower surface side of the shelf board 4. Since it is formed facing, it also serves as a substitute for the air holes 21 (see FIG. 2),
Even when used in a clean room, it does not interfere with downflow in the clean room. further,
Even if a reinforcing frame or the like for reinforcement is not provided, since the push-bend forming portions 12a, 12b, 12c are formed over substantially the entire length of the shelf in the longitudinal direction, they do not bend due to the weight of the storage object. Therefore, the space between the shelves can be effectively used, the storage efficiency can be improved, and the stacker robot 5 can be used.
It is possible to reduce the change in the teaching position and the like and improve the work efficiency.

【００２４】次に、図４により本発明に係るストッカの
第３の実施形態例を説明する。図４に示す棚板４は、第
１の実施形態に係る棚板４と同様に、棚板の前面側１０
及び背面側１１に向って開口部１６，１７が開口するよ
うに棚板４の長手方向の略全長にわたって押し曲げ成形
部１２ａ，１２ｂが形成されており、これら押し曲げ成
形部１２ａ，１２ｂの間に、棚板４の下面側に向かって
開口する開口部１８を有する押し曲げ成形部１２ｃが形
成されたものである。そして、保護対象物３の棚板４の
長手方向に対する位置決めを行うために、位置決め手段
１９が押し曲げ成形部１２aと１２ｃとの間及び押し曲
げ成形部１２bと１２ｃとの間にそれぞれ設けられてい
る。Next, a third embodiment of the stocker according to the present invention will be described with reference to FIG. The shelf board 4 shown in FIG. 4 is the same as the shelf board 4 according to the first embodiment.
Also, push-bend forming portions 12a, 12b are formed over substantially the entire length in the longitudinal direction of the shelf board 4 so that the opening portions 16, 17 open toward the back side 11 and between the push-bending forming portions 12a, 12b. Further, the push-bend forming portion 12c having the opening portion 18 that opens toward the lower surface side of the shelf board 4 is formed. Positioning means 19 are provided between the push-bend forming portions 12a and 12c and between the push-bend forming portions 12b and 12c to position the protection target 3 in the longitudinal direction of the shelf plate 4. There is.

【００２５】このように、本実施形態例に係るストッカ
１の棚板４においては、保護対象物３は、押し曲げ成形
部１２a，１２b及び位置決め手段１９によって位置決め
される。また、棚板４の略中央部に設けられた押し上げ
成形部１２ｃは、棚板４の下面側に向って開口している
ため、風孔２１の代わりとなり、クリーンルーム内での
ダウンフローを妨げることがない。さらに、補強用の補
強フレーム等を設けなくても、押し曲げ成形部１２a，
１２b，１２ｃが棚板の長手方向の略全長にわたって形
成されているため、保管対象物の重量によって撓むこと
がない。そのため、棚板間の空間を有効に利用でき収納
効率を向上できるともに、スタッカロボットの教示位置
等が変化することを少なくでき、作業効率をも向上でき
る。As described above, in the shelf board 4 of the stocker 1 according to the present embodiment, the protection object 3 is positioned by the push-bend molding portions 12a and 12b and the positioning means 19. Further, since the push-up molding portion 12c provided in the substantially central portion of the shelf board 4 is opened toward the lower surface side of the shelf board 4, it serves as a substitute for the air hole 21 and prevents downflow in the clean room. There is no. Further, even without providing a reinforcing frame or the like for reinforcement, the push-bend molding portion 12a,
Since 12b and 12c are formed over substantially the entire length of the shelf in the longitudinal direction, they do not bend due to the weight of the storage object. Therefore, the space between the shelves can be effectively used, the storage efficiency can be improved, and the teaching position of the stacker robot can be less changed, and the work efficiency can be improved.

【００２６】次に、図５により本発明に係るストッカの
第４の実施形態例を説明する。本実施形態例に係るスト
ッカ１は、図５に示すように，棚板４に代わり、複数の
棒材９が、ストッカ１の柱２間に掛け渡されたものであ
る。そして、この棒材９は、図５（ｂ）に示すように、
直線状に配置されるものでなく、ストッカ１の前面側１
０及び背面側１１に位置する棒材９を他の棒材９よりも
上方に位置するように配して保管対象物３をストッカ１
の前後方向に対して安定して載置できるようになってい
る。また、保護対象物３のストッカ１の左右方向の位置
決めを行う一対の位置決め手段７が、棒材９に設けられ
ている。この一対の位置決め手段７は、図５（ａ）に示
すように１本の棒材９に設けるようにすることで、位置
決めすることができるが、この一対のみでなく、複数個
の位置決め手段７を他の棒材９に設けるようにしてもよ
い。また、棒材９は、図５に示すように断面が円形の丸
棒に限定されるものではなく、断面が四角形状の角材で
あってもよい。Next, a fourth embodiment of the stocker according to the present invention will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 5, the stocker 1 according to the present embodiment has a plurality of bar members 9 suspended between columns 2 of the stocker 1 instead of the shelf plate 4. Then, as shown in FIG.
The front side 1 of the stocker 1 is not arranged in a straight line
0 and the bar members 9 located on the back side 11 are arranged so as to be positioned higher than the other bar members 9 and the storage object 3 is stored.
It can be placed stably in the front-back direction. A pair of positioning means 7 for positioning the protection target 3 in the left-right direction of the stocker 1 is provided on the bar 9. The pair of positioning means 7 can be positioned by being provided on one rod 9 as shown in FIG. 5A, but the positioning means 7 is not limited to this pair, but a plurality of positioning means 7 are also provided. May be provided on another rod 9. Further, the bar 9 is not limited to a round bar having a circular cross section as shown in FIG. 5, and may be a square bar having a quadrangular cross section.

【００２７】本実施形態例に係るストッカでは、複数の
棒材によって保管対象物を載置するため、保管対象物の
重量がこれら複数の棒材に分散されて支持されるため、
保管対象物の重量によって撓んだりすることがなくな
る。また、クリーンルーム内で使用した場合であって
も、クリーンルーム内のダウンフローを妨げることがな
い。In the stocker according to this embodiment, since the object to be stored is placed by the plurality of rods, the weight of the object to be stored is dispersed and supported by the plurality of rods.
It does not bend due to the weight of the object to be stored. Further, even when used in a clean room, the downflow in the clean room is not hindered.

【００２８】[0028]

【発明の効果】以上のように、本発明に係るストッカ
は、棚板に押し曲げ加工することによって押し曲げ成形
部を棚板の長手方向の略全長にわたって形成することに
よって棚板の強度を向上させ、あるいは、複数の棒材に
よって保管対象物を支持するため、補強用の補強フレー
ム等を設けることなく載置される保管対象物の重量によ
って撓むことがなくなる。このため、棚板間のラックピ
ッチを広げると共に、棚板間の空間を有効に利用するこ
とができ、保管対象物の収納効率を向上することができ
る。また、例えば、クリーンルーム等で使用された場合
であっても、クリーンルーム内のダウンフローを妨げる
ことがないため、半導体製造工程において、半導体ウェ
ハーキャリア等のストッカとして使用することが可能と
なる。As described above, in the stocker according to the present invention, the strength of the shelf board is improved by forming the push-bend forming portion over the entire length of the shelf board by pressing and bending the shelf board. Alternatively, since the object to be stored is supported by a plurality of rods, the object to be stored does not bend due to the weight of the object to be stored without providing a reinforcing frame or the like for reinforcement. Therefore, the rack pitch between the shelves can be widened, the space between the shelves can be effectively used, and the storage efficiency of the storage object can be improved. Further, for example, even when it is used in a clean room or the like, it does not hinder the downflow in the clean room, so that it can be used as a stocker for a semiconductor wafer carrier or the like in a semiconductor manufacturing process.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】本発明に係るストッカの実施の形態例の一例を
示す概略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view showing an example of an embodiment of a stocker according to the present invention.

【図２】本発明に係るストッカの第１の実施形態例の棚
板を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a shelf board of the first embodiment of the stocker according to the present invention.

【図３】本発明に係るストッカの第２の実施形態例の棚
板を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a shelf board of a second embodiment of the stocker according to the present invention.

【図４】本発明に係るストッカの第３の実施形態例の棚
板を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a shelf board of a third embodiment of the stocker according to the present invention.

【図５】本発明に係るストッカの第４の実施形態例の棚
板を示す図である。FIG. 5 is a view showing a shelf board of a fourth embodiment of the stocker according to the present invention.

【図６】従来のストッカの形態例を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing an example of the configuration of a conventional stocker.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ ストッカ ２ 柱 ３ 保護対象物 ４ 棚板 ５ スタッカロボット ６ アーム ７ 位置決め手段 ９ 棒材 １０ 前面側 １１ 背面側 １２ａ，１２ｂ 押し曲げ成形部 １３ａ，１３ｂ 位置決め手段 １４ 折り曲げ部 １５ 位置決め手段 １６，１７，１８ 開口部 １９ 位置決め手段 ２０ 位置決め部材 ２１ 風孔 ２２ 補強用フレーム ２３ 補強部 ３０ 半導体ウェハーキャリア 1 stocker Two pillars 3 protected objects 4 shelves 5 Stacker robot 6 arms 7 Positioning means 9 bars 10 front side 11 back side 12a, 12b Push-bend forming part 13a, 13b Positioning means 14 Bent section 15 Positioning means 16, 17, 18 openings 19 Positioning means 20 Positioning member 21 Vent 22 Reinforcing frame 23 Reinforcement part 30 Semiconductor wafer carrier

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 所定間隔で設けられた複数の柱と、前記
柱間に掛け渡されて、保管対象物を載置する棚板が複数
段積層されてなるストッカであって、 前記棚板の長手方向の略全長にわたって、少なくとも1
以上の押し曲げ成形部が形成されるとともに、前記保管
対象物の載置位置を決める位置決め手段が設けられてい
るストッカ。1. A stocker comprising a plurality of pillars provided at predetermined intervals, and a plurality of shelves that are placed between the pillars and on which the objects to be stored are placed are stacked. At least 1 over substantially the entire length in the longitudinal direction
A stocker provided with the above-mentioned push-bend forming part and a positioning means for determining a mounting position of the storage object. 【請求項２】 前記位置決め手段が、前記棚板の幅方向
に形成された押し曲げ加工により形成されている請求項
１に記載のストッカ。2. The stocker according to claim 1, wherein the positioning means is formed by pressing and bending formed in the width direction of the shelf board. 【請求項３】 前記棚板に、風孔が形成されている請求
項１又は２に記載のストッカ。3. The stocker according to claim 1, wherein the shelf plate has air holes formed therein. 【請求項４】 前記風孔が、押し曲げ加工により形成さ
れている請求項３に記載のストッカ。4. The stocker according to claim 3, wherein the air holes are formed by press bending. 【請求項５】 所定間隔で設けられた複数の柱と、前記
柱間に掛け渡される複数の棒材と、で構成されるストッ
カであって、 前記棒材に、前記柱間を区画して、保管対象物の位置決
めとなる位置決め部材が設けられているストッカ。5. A stocker composed of a plurality of pillars provided at predetermined intervals and a plurality of rods suspended between the pillars, wherein the rods divide the pillars from each other. A stocker provided with a positioning member for positioning a storage object.