JP2003181786A - 真空吸着パッドセッティング装置 - Google Patents
真空吸着パッドセッティング装置Info
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- JP2003181786A JP2003181786A JP2001383547A JP2001383547A JP2003181786A JP 2003181786 A JP2003181786 A JP 2003181786A JP 2001383547 A JP2001383547 A JP 2001383547A JP 2001383547 A JP2001383547 A JP 2001383547A JP 2003181786 A JP2003181786 A JP 2003181786A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空吸着パッドを予め正確に設定できるよう
にすることで使用現場での調節の要をなくし、真空吸着
パッドを搬送装置に短時間で容易にセッティングできる
ようにする。 【解決手段】 門形の支柱２に高さ調節可能に支持され
た取付枠１３と、定置板７８を全方向への傾斜角度調節
可能に支持したジャイロ支持盤７０と、前記取付枠の下
方にて前記ジャイロ支持盤を水平面内で縦横に移動可能
に支持する縦横支持機構５０とからなり、先端に真空吸
着パッド３１が設けられた多関節アーム３０の基部３２
を前記取付枠に固定し、該多関節アームを自在に屈曲し
得るようにして該真空吸着パッドを前記定置板上に載置
したうえで該多関節アームの各関節固定手段３５，３
６，３９，４０を固定することで前記基部に対する該真
空吸着パッドの位置および角度が設定されるようにし
た。
にすることで使用現場での調節の要をなくし、真空吸着
パッドを搬送装置に短時間で容易にセッティングできる
ようにする。 【解決手段】 門形の支柱２に高さ調節可能に支持され
た取付枠１３と、定置板７８を全方向への傾斜角度調節
可能に支持したジャイロ支持盤７０と、前記取付枠の下
方にて前記ジャイロ支持盤を水平面内で縦横に移動可能
に支持する縦横支持機構５０とからなり、先端に真空吸
着パッド３１が設けられた多関節アーム３０の基部３２
を前記取付枠に固定し、該多関節アームを自在に屈曲し
得るようにして該真空吸着パッドを前記定置板上に載置
したうえで該多関節アームの各関節固定手段３５，３
６，３９，４０を固定することで前記基部に対する該真
空吸着パッドの位置および角度が設定されるようにし
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は真空吸引によってワ
ークを保持する真空吸着パッドを該ワーク形状に合う所
定の位置，角度に予め設定しておくためのセッティング
装置に関するものである。
ークを保持する真空吸着パッドを該ワーク形状に合う所
定の位置，角度に予め設定しておくためのセッティング
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図６は、例えば自動車工場における鋼板
プレス成形ラインにおいて、ワークｗをプレス工程間で
搬送するのに従来から使用されている搬送装置を示した
もので、ロボットアームｒに支持された往復動体ａの一
側に複数の取付部ｂが設けられ、先端に真空吸着パッド
ｃを設けた多関節アームｄを基部ｅを該各取付部に差し
込んで固定してなり、ｆは真空吸引ホース、ｇは真空吸
着パッドの位置および角度を固定するために設けられた
締付固定ネジである。この搬送装置では周知のように真
空吸着パッドｃをワークｗの平坦面に吸着させることに
より該ワークが保持されるように構成している。
プレス成形ラインにおいて、ワークｗをプレス工程間で
搬送するのに従来から使用されている搬送装置を示した
もので、ロボットアームｒに支持された往復動体ａの一
側に複数の取付部ｂが設けられ、先端に真空吸着パッド
ｃを設けた多関節アームｄを基部ｅを該各取付部に差し
込んで固定してなり、ｆは真空吸引ホース、ｇは真空吸
着パッドの位置および角度を固定するために設けられた
締付固定ネジである。この搬送装置では周知のように真
空吸着パッドｃをワークｗの平坦面に吸着させることに
より該ワークが保持されるように構成している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで上記真空吸着
パッドはワーク表面の平坦な部分に常に垂直に相対する
ように設定されてないと所期の吸着保持力が得られない
ことから、従来では工場の成形ラインにて該ワークに該
真空吸着パッドを実際に当接させて位置および角度を固
定していたが、ワークが複雑な曲面形状であると工場で
の設定に時間を要するとともに、設計図面に指示された
とおりセットされないと使用中にワークが脱落しプレス
型を損傷させる危険もあった。そこで本発明は、真空吸
着パッドを予め正確に設定できるようにするためのセッ
ティング装置を提供し、上記従来の問題点を解消しよう
とするものである。
パッドはワーク表面の平坦な部分に常に垂直に相対する
ように設定されてないと所期の吸着保持力が得られない
ことから、従来では工場の成形ラインにて該ワークに該
真空吸着パッドを実際に当接させて位置および角度を固
定していたが、ワークが複雑な曲面形状であると工場で
の設定に時間を要するとともに、設計図面に指示された
とおりセットされないと使用中にワークが脱落しプレス
型を損傷させる危険もあった。そこで本発明は、真空吸
着パッドを予め正確に設定できるようにするためのセッ
ティング装置を提供し、上記従来の問題点を解消しよう
とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】そのために本発明の真空
吸着パッドセッティング装置は、門形の支柱に高さ調節
可能に支持された取付枠と、定置板を全方向への傾斜角
度調節可能に支持したジャイロ支持盤と、前記取付枠の
下方にて前記ジャイロ支持盤を水平面内で縦横に移動可
能に支持する縦横支持機構とからなり、先端に真空吸着
パッドが設けられた多関節アームの基部を前記取付枠に
固定し、該多関節アームを自在に屈曲し得るようにして
該真空吸着パッドを前記定置板上に載置したうえで該多
関節アームの各関節固定手段を固定することで前記基部
に対する該真空吸着パッドの位置および角度が設定され
るようにしたことを特徴とする。また本発明は上記セッ
ティング装置において、取付枠の支持高さを数値表示す
る高さ表示手段と、定置板の傾斜角度を数値表示する角
度表示手段と、ジャイロ支持盤の水平面内での移動量を
数値表示する位置表示手段とを備えてなることを特徴と
する。
吸着パッドセッティング装置は、門形の支柱に高さ調節
可能に支持された取付枠と、定置板を全方向への傾斜角
度調節可能に支持したジャイロ支持盤と、前記取付枠の
下方にて前記ジャイロ支持盤を水平面内で縦横に移動可
能に支持する縦横支持機構とからなり、先端に真空吸着
パッドが設けられた多関節アームの基部を前記取付枠に
固定し、該多関節アームを自在に屈曲し得るようにして
該真空吸着パッドを前記定置板上に載置したうえで該多
関節アームの各関節固定手段を固定することで前記基部
に対する該真空吸着パッドの位置および角度が設定され
るようにしたことを特徴とする。また本発明は上記セッ
ティング装置において、取付枠の支持高さを数値表示す
る高さ表示手段と、定置板の傾斜角度を数値表示する角
度表示手段と、ジャイロ支持盤の水平面内での移動量を
数値表示する位置表示手段とを備えてなることを特徴と
する。
【０００５】
【発明の実施の形態】図１は本発明に係る真空吸着パッ
ドセッティング装置の実施形態を示した斜視図、図２は
その縦断面図である。スタンド１上に形成された門形の
支柱２の前面に軸受３によって一対の螺子軸４を回転自
在に支持するとともに、該螺子軸を上端部に設けたスプ
ロケット５に無端チェーン６を巻回することにより該螺
子軸４が同期回転するように連結する。一方、ハンドル
７が上端部に設けられたハンドル軸８をスタンド１上に
回転自在に支持し、該ハンドル軸に設けたスプロケット
９と一方の螺子軸４に設けたスプロケット１０に無端チ
ェーン１１を巻回し、該螺子軸４にボール螺子１２を介
して取付枠１３を水平に支持し、該ハンドル７を回転操
作することにより一対の螺子軸４が同期回転することで
取付枠１３の支持高さが調節できるように構成される。
なお、１４は取付枠１３の支持高さを数値表示するため
の高さ表示手段となるように支柱２に設けた高さ表示用
スケール、１５はそのスケールの目盛を指標するため取
付枠１３に表示した指針である。
ドセッティング装置の実施形態を示した斜視図、図２は
その縦断面図である。スタンド１上に形成された門形の
支柱２の前面に軸受３によって一対の螺子軸４を回転自
在に支持するとともに、該螺子軸を上端部に設けたスプ
ロケット５に無端チェーン６を巻回することにより該螺
子軸４が同期回転するように連結する。一方、ハンドル
７が上端部に設けられたハンドル軸８をスタンド１上に
回転自在に支持し、該ハンドル軸に設けたスプロケット
９と一方の螺子軸４に設けたスプロケット１０に無端チ
ェーン１１を巻回し、該螺子軸４にボール螺子１２を介
して取付枠１３を水平に支持し、該ハンドル７を回転操
作することにより一対の螺子軸４が同期回転することで
取付枠１３の支持高さが調節できるように構成される。
なお、１４は取付枠１３の支持高さを数値表示するため
の高さ表示手段となるように支柱２に設けた高さ表示用
スケール、１５はそのスケールの目盛を指標するため取
付枠１３に表示した指針である。
【０００６】また、取付枠１３の下面には水平レール１
６が設けられ該水平レールに沿って横行可能なるように
スライダ１７を介して取付具１８が設けられている。１
９は該取付具１８の横行をロックするためにスライダ１
７に設けたロックハンドルである。該取付具１８は図３
に示したように前面に嵌合溝２０と取付孔２１が形成さ
れたもので、２２はその一側の突設された取外用プッシ
ュボタンである。また、２３は取付具１８の位置を数値
表示するための表示手段となるように取付枠１３の前面
に設けた表示用スケール、２４はそのスケールの目盛を
指標するため取付具１８に表示した指針である。
６が設けられ該水平レールに沿って横行可能なるように
スライダ１７を介して取付具１８が設けられている。１
９は該取付具１８の横行をロックするためにスライダ１
７に設けたロックハンドルである。該取付具１８は図３
に示したように前面に嵌合溝２０と取付孔２１が形成さ
れたもので、２２はその一側の突設された取外用プッシ
ュボタンである。また、２３は取付具１８の位置を数値
表示するための表示手段となるように取付枠１３の前面
に設けた表示用スケール、２４はそのスケールの目盛を
指標するため取付具１８に表示した指針である。
【０００７】３０は先端にゴム製の真空吸着パッド３１
が設けられた多関節アームで、該多関節アームは基部３
２に開設された垂直孔３３に支軸３４を旋回自在に貫挿
し、固定ネジ３５，３６を締め付けることにより該支軸
３４を固定できるようにするとともに、該支軸３４に直
交状に中空パイプ３７が延設され、該中空パイプ３７中
に伸縮自在なるように軸腕３８を挿入し、該中空パイプ
３７に螺合した固定ネジ３９を緩めることでその伸縮量
を調節し得るようにするとともに、該軸腕の先端部にさ
らに固定ネジ４０を設け、該固定ネジ４０を緩めること
で真空吸着パッド３１が首振り状に上下に自在に屈曲し
その角度が調節し得るように構成している。また、前記
基部３２の後方に水平に固定軸４１が一体に突設され、
該固定軸４１の外周に周溝４２を形成している。このた
め、該固定軸４１を前記取付孔２１に挿入すれば取付具
１８内に設けられた係合片（図示せず）が該周溝４２に
係合し該基部３２を嵌合溝２０に嵌合させた状態にて抜
脱不能，不動に固定される。なお、前記取外用プッシュ
ボタン２２を操作することにより周溝４２への係合は解
除され固定軸４１が取付孔２１から抜脱され、該多関節
アームは基部３２を取付具１８から離脱させることがで
きる。４３は真空吸着パッド３１内の空気を吸引する真
空吸引ホースの接続口を示す。
が設けられた多関節アームで、該多関節アームは基部３
２に開設された垂直孔３３に支軸３４を旋回自在に貫挿
し、固定ネジ３５，３６を締め付けることにより該支軸
３４を固定できるようにするとともに、該支軸３４に直
交状に中空パイプ３７が延設され、該中空パイプ３７中
に伸縮自在なるように軸腕３８を挿入し、該中空パイプ
３７に螺合した固定ネジ３９を緩めることでその伸縮量
を調節し得るようにするとともに、該軸腕の先端部にさ
らに固定ネジ４０を設け、該固定ネジ４０を緩めること
で真空吸着パッド３１が首振り状に上下に自在に屈曲し
その角度が調節し得るように構成している。また、前記
基部３２の後方に水平に固定軸４１が一体に突設され、
該固定軸４１の外周に周溝４２を形成している。このた
め、該固定軸４１を前記取付孔２１に挿入すれば取付具
１８内に設けられた係合片（図示せず）が該周溝４２に
係合し該基部３２を嵌合溝２０に嵌合させた状態にて抜
脱不能，不動に固定される。なお、前記取外用プッシュ
ボタン２２を操作することにより周溝４２への係合は解
除され固定軸４１が取付孔２１から抜脱され、該多関節
アームは基部３２を取付具１８から離脱させることがで
きる。４３は真空吸着パッド３１内の空気を吸引する真
空吸引ホースの接続口を示す。
【０００８】一方、取付枠１３の下方には縦横支持機構
（ＸＹテーブル）５０が設けられ、該縦横支持機構にジ
ャイロ支持盤７０を水平面内で縦横に移動可能に支持し
ている。即ち、縦横支持機構５０は、機台５１上に水平
に一対の縦方向レール５２を設け、該縦方向レール上に
スライダ５３を介して摺動自在なるように横桟５４を水
平に架し、該横桟上に横方向レール５５を設け、該横方
向レール上にスライダ５６を介して摺動自在なるように
移動台５７を支持し、該移動台上にジャイロ支持盤７０
を設けている。なお、５８は横桟５４の移動量を数値表
示するため縦方向レール５２に沿って設けた縦位置表示
用スケール、５９は移動台５７の移動量を数値表示する
ため横方向レール５５に沿って設けた横位置表示用スケ
ールである。また、６０は横桟５４の移動をロックする
ためにスライダ５３に設けたロックハンドル、６１は移
動台５７の移動をロックするためにスライダ５６に設け
たロックハンドルである。
（ＸＹテーブル）５０が設けられ、該縦横支持機構にジ
ャイロ支持盤７０を水平面内で縦横に移動可能に支持し
ている。即ち、縦横支持機構５０は、機台５１上に水平
に一対の縦方向レール５２を設け、該縦方向レール上に
スライダ５３を介して摺動自在なるように横桟５４を水
平に架し、該横桟上に横方向レール５５を設け、該横方
向レール上にスライダ５６を介して摺動自在なるように
移動台５７を支持し、該移動台上にジャイロ支持盤７０
を設けている。なお、５８は横桟５４の移動量を数値表
示するため縦方向レール５２に沿って設けた縦位置表示
用スケール、５９は移動台５７の移動量を数値表示する
ため横方向レール５５に沿って設けた横位置表示用スケ
ールである。また、６０は横桟５４の移動をロックする
ためにスライダ５３に設けたロックハンドル、６１は移
動台５７の移動をロックするためにスライダ５６に設け
たロックハンドルである。
【０００９】ジャイロ支持盤７０は、移動台５７上に一
対の支柱７１を適宜間隔を置いて樹立し、図４に拡大し
て示したように、該支柱７１に支点軸７２と締付軸７３
を設けて環状枠７４を傾動自在に支持し、該締付軸７３
には締付摘子７５を設けその締付により該環状枠７４の
傾動角度が固定できるようにし、該環状枠７４内の前記
支点軸７２と締付軸７３とは直交する位置にさらに支点
軸７６と締付軸７７を設け、円形の定置板７８を該支点
軸７６と締付軸７７によって傾動自在に支持し、該締付
軸７７に設けた締付摘子７９を締付ることにより該定置
板７８の傾動角度を固定できるように構成している。こ
のため該定置板７８はこのジャイロ支持機構７０により
全方向への傾斜角度調節可能に支持される。なお、８０
は環状枠７４の傾斜角度を数値表示する角度表示手段と
するため環状枠７４の下面に設けた分度器、８１はその
指標、８２は定置板７８の傾斜角度を数値表示する角度
表示手段とするため該定置板７８の下面に設けた分度器
である。また、定置板７８の上面には同心円８３が表記
されている。
対の支柱７１を適宜間隔を置いて樹立し、図４に拡大し
て示したように、該支柱７１に支点軸７２と締付軸７３
を設けて環状枠７４を傾動自在に支持し、該締付軸７３
には締付摘子７５を設けその締付により該環状枠７４の
傾動角度が固定できるようにし、該環状枠７４内の前記
支点軸７２と締付軸７３とは直交する位置にさらに支点
軸７６と締付軸７７を設け、円形の定置板７８を該支点
軸７６と締付軸７７によって傾動自在に支持し、該締付
軸７７に設けた締付摘子７９を締付ることにより該定置
板７８の傾動角度を固定できるように構成している。こ
のため該定置板７８はこのジャイロ支持機構７０により
全方向への傾斜角度調節可能に支持される。なお、８０
は環状枠７４の傾斜角度を数値表示する角度表示手段と
するため環状枠７４の下面に設けた分度器、８１はその
指標、８２は定置板７８の傾斜角度を数値表示する角度
表示手段とするため該定置板７８の下面に設けた分度器
である。また、定置板７８の上面には同心円８３が表記
されている。
【００１０】このように構成した真空吸着パッドセッテ
ィング装置では、多関節アーム３０の基部３２を上記の
ように取付具１８に固定する一方、定置板７８の位置お
よび角度を設計図面に指示された真空吸着パッド３１の
位置および角度に従って設定する。即ち、移動台５７を
縦横に移動させロックハンドル６０，６１により定置板
７８をこの指示位置にて固定するとともに、該定置板７
８を自在方向に傾動させ締付摘子７５，７９を締めるこ
とにより該定置板７８を設計図面の指示角度に固定す
る。そして、図５に示したように、ハンドル７を回して
取付枠１３に支持された多関節アーム３０を下降させる
とともに、該多関節アームの固定ネジ３５，３６，３
９，４０をいったん緩め各関節が自在に屈曲し得るよう
にして該真空吸着パッド３１を定置板７８の上面中心に
載置し該真空吸着パッド３１を該定置板７８の真正面に
対向させ、その状態で該各固定ネジ３５，３６，３９，
４０を締付け、該真空吸着パッド３１の位置および角度
を固定する。これにより基部３２に対する真空吸着パッ
ド３１の位置および角度が設計図の指定通りに設定でき
る。なお、定置板７８上に真空吸着パッド３１を対向さ
せるに際しては該真空吸着パッド３１の外形が同心円８
３に合致するようにすると合せ易い。
ィング装置では、多関節アーム３０の基部３２を上記の
ように取付具１８に固定する一方、定置板７８の位置お
よび角度を設計図面に指示された真空吸着パッド３１の
位置および角度に従って設定する。即ち、移動台５７を
縦横に移動させロックハンドル６０，６１により定置板
７８をこの指示位置にて固定するとともに、該定置板７
８を自在方向に傾動させ締付摘子７５，７９を締めるこ
とにより該定置板７８を設計図面の指示角度に固定す
る。そして、図５に示したように、ハンドル７を回して
取付枠１３に支持された多関節アーム３０を下降させる
とともに、該多関節アームの固定ネジ３５，３６，３
９，４０をいったん緩め各関節が自在に屈曲し得るよう
にして該真空吸着パッド３１を定置板７８の上面中心に
載置し該真空吸着パッド３１を該定置板７８の真正面に
対向させ、その状態で該各固定ネジ３５，３６，３９，
４０を締付け、該真空吸着パッド３１の位置および角度
を固定する。これにより基部３２に対する真空吸着パッ
ド３１の位置および角度が設計図の指定通りに設定でき
る。なお、定置板７８上に真空吸着パッド３１を対向さ
せるに際しては該真空吸着パッド３１の外形が同心円８
３に合致するようにすると合せ易い。
【００１１】こうして設定された真空吸着パッド３１
は、取外用プッシュボタン２２を操作し基部３２を離脱
させて、自動車工場等に搬入し、図６に例示したような
搬送装置の取付部に取付けて使用される。その取付けに
際しては真空吸着パッド３１の位置および角度が上記の
ように設計図の指定通りに予めセッティングされている
ことから、調整の必要がなく短時間で正確にセッティン
グでき、ワークを確実に真空吸着できる。
は、取外用プッシュボタン２２を操作し基部３２を離脱
させて、自動車工場等に搬入し、図６に例示したような
搬送装置の取付部に取付けて使用される。その取付けに
際しては真空吸着パッド３１の位置および角度が上記の
ように設計図の指定通りに予めセッティングされている
ことから、調整の必要がなく短時間で正確にセッティン
グでき、ワークを確実に真空吸着できる。
【００１２】
【発明の効果】このように本発明の真空吸着パッドセッ
ティング装置は、門形の支柱に高さ調節可能に支持され
た取付枠と、定置板を全方向への傾斜角度調節可能に支
持したジャイロ支持盤と、前記取付枠の下方にて前記ジ
ャイロ支持盤を水平面内で縦横に移動可能に支持する縦
横支持機構とからなり、先端に真空吸着パッドが設けら
れた多関節アームの基部を前記取付枠に固定し、該多関
節アームを自在に屈曲し得るようにして該真空吸着パッ
ドを前記定置板上に載置したうえで該多関節アームの各
関節固定手段を固定することで前記基部に対する該真空
吸着パッドの位置および角度が設定できるようにしたも
のであるので、使用現場での調節の要をなくし、真空吸
着パッドを短時間で容易にセッティングできるようにす
る有益な効果がある。
ティング装置は、門形の支柱に高さ調節可能に支持され
た取付枠と、定置板を全方向への傾斜角度調節可能に支
持したジャイロ支持盤と、前記取付枠の下方にて前記ジ
ャイロ支持盤を水平面内で縦横に移動可能に支持する縦
横支持機構とからなり、先端に真空吸着パッドが設けら
れた多関節アームの基部を前記取付枠に固定し、該多関
節アームを自在に屈曲し得るようにして該真空吸着パッ
ドを前記定置板上に載置したうえで該多関節アームの各
関節固定手段を固定することで前記基部に対する該真空
吸着パッドの位置および角度が設定できるようにしたも
のであるので、使用現場での調節の要をなくし、真空吸
着パッドを短時間で容易にセッティングできるようにす
る有益な効果がある。
【図１】本発明に係る真空吸着パッドセッティング装置
の実施形態を示した斜視図。
の実施形態を示した斜視図。
【図２】図１の真空吸着パッドセッティング装置の縦断
面図。
面図。
【図３】図１の真空吸着パッドの取付部の分解拡大図。
【図４】図１の真空吸着パッドセッティング装置のジャ
イロ支持盤の拡大斜視図。
イロ支持盤の拡大斜視図。
【図５】図１の作動状態図。
【図６】真空吸着パッドの使用状態を示した斜視図。
２ 支柱
１３ 取付枠
１４ 高さ表示用スケール
１８ 取付具
３０ 多関節アーム
３１ 真空吸着パッド
３２ 基部
３４ 支軸３４
３５，３６ 固定ネジ
３７ 中空パイプ
３８ 軸腕
３９，４０ 固定ネジ
５０ 縦横支持機構
５２ 縦方向レール
５５ 横方向レール
５７ 移動台
５８ 縦位置表示用スケール
５９ 横位置表示用スケール
６０，６１ ロックハンドル
７０ ジャイロ支持盤
７１ 支柱
７２，７６ 支点軸
７３，７７ 締付軸
７４ 環状枠
７５，７９ 締付摘子
７８ 定置板
８０，８２ 分度器
Claims (2)
- 【請求項１】 門形の支柱に高さ調節可能に支持された
取付枠と、定置板を全方向への傾斜角度調節可能に支持
したジャイロ支持盤と、前記取付枠の下方にて前記ジャ
イロ支持盤を水平面内で縦横に移動可能に支持する縦横
支持機構とからなり、先端に真空吸着パッドが設けられ
た多関節アームの基部を前記取付枠に固定し、該多関節
アームを自在に屈曲し得るようにして該真空吸着パッド
を前記定置板上に載置したうえで該多関節アームの各関
節固定手段を固定することで前記基部に対する該真空吸
着パッドの位置および角度が設定されるようにしたこと
を特徴とする真空吸着パッドセッティング装置。 - 【請求項２】 取付枠の支持高さを数値表示する高さ表
示手段と、定置板の傾斜角度を数値表示する角度表示手
段と、ジャイロ支持盤の水平面内での移動量を数値表示
する位置表示手段とを備えてなる請求項１に記載の真空
吸着パッドセッティング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001383547A JP3801498B2 (ja) | 2001-12-17 | 2001-12-17 | 真空吸着パッドセッティング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001383547A JP3801498B2 (ja) | 2001-12-17 | 2001-12-17 | 真空吸着パッドセッティング装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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