JP2003165892A - 封止用エポキシ樹脂成形材料及び電子部品装置 - Google Patents

封止用エポキシ樹脂成形材料及び電子部品装置

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JP2003165892A
JP2003165892A JP2001365071A JP2001365071A JP2003165892A JP 2003165892 A JP2003165892 A JP 2003165892A JP 2001365071 A JP2001365071 A JP 2001365071A JP 2001365071 A JP2001365071 A JP 2001365071A JP 2003165892 A JP2003165892 A JP 2003165892A
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JP2001365071A
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Mitsuyoshi Hamada
光祥 濱田
Kazuyoshi Tendou
一良 天童
Mitsuo Katayose
光雄 片寄
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Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】流動性が低下せず、チップシフト及びボイドの
発生が少なく、耐半田リフロー性に優れた封止用エポキ
シ樹脂成形材料、及びこれにより封止した素子を備えた
電子部品装置を提供する。 【解決手段】(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、
(C)カップリング剤及び(D)無機充填剤を必須成分
とし、(A)エポキシ樹脂が硫黄原子含有エポキシ樹脂
を含有し、(C)カップリング剤が、骨格中に下記一般
式(I)及び/又は(II)で示される基を含有するシラ
ン化合物を含有する封止用エポキシ樹脂成形材料及びこ
れにより封止した素子を備えた電子部品装置。 【化1】 (ここで、R、Rは水素原子、置換又は非置換の炭
素数1〜6の炭化水素基を示し、R、Rは炭化水素
基以外の2価有機基又は原子を示す。)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、封止用エポキシ樹
脂成形材料、及びこの封止用エポキシ樹脂成形材料によ
り封止した素子を備えた電子部品装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、トランジスタ、IC等の電子
部品封止の分野ではエポキシ樹脂成形材料が広く用いら
れている。この理由としては、エポキシ樹脂が電気特
性、耐湿性、耐熱性、機械特性、インサート品との接着
性等のバランスがとれているためである。特に、オルソ
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂とフェノールノボ
ラック硬化剤の組合せはこれらのバランスに優れてお
り、封止用成形材料のベース樹脂の主流になっている。
近年の電子機器の小型化、軽量化、高性能化に伴い、実
装の高密度化が進み、電子部品装置は従来のピン挿入型
から、表面実装型のパッケージがなされるようになって
きている。半導体装置を配線板に取り付ける場合、従来
のピン挿入型パッケージはピンを配線板に挿入した後、
配線板裏面から半田付けを行うため、パッケージが直接
高温にさらされることはなかった。しかし、表面実装型
パッケージでは半導体装置全体が半田バスやリフロー装
置などで処理されるため、直接半田付け温度にさらされ
る。この結果、パッケージが吸湿した場合、半田付け時
に吸湿水分が急激に膨張し、接着界面の剥離やパッケー
ジクラックが発生し、実装時のパッケージの信頼性を低
下させるという問題があった。またTSOP(ThinSmal
l Outline Package)、TQFP(Thin Quad Flat Pack
age)等の肉厚が非常に薄いパッケージでは、封止用エ
ポキシ樹脂成形材料の流動性が低いと成形時にチップシ
フトが発生し、これらのシフトにより、ボイドが発生し
たり、上下の封止用エポキシ樹脂成形材料の肉厚のバラ
ンスが崩れ、実装時にパッケージクラックが発生すると
いう問題があった。上記の問題を解決するためにICの
防湿梱包や、配線板へ実装する前に予めICを十分乾燥
して使用するなどの方法がとられているが、これらの方
法は手間がかかり、コストも高くなる。また従来流動性
の指標として用いられるスパイラルフローでは評価でき
ない低せん断域における流動性の測定が可能な円板フロ
ーを向上する試みが行われているが、十分な解決に至っ
ていない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、流動性が低
下せず、チップシフト及びボイドの発生が少なく、耐半
田リフロー性に優れた封止用エポキシ樹脂成形材料、及
びその封止用エポキシ成形材料により封止した素子を備
えた電子部品装置を提供しようとするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】発明者らは、上記の課題
を解決するために鋭意検討を重ねた結果、封止用エポキ
シ樹脂成形材料に特定のエポキシ樹脂と特定のカップリ
ング剤を配合することにより、円板フローが優れ、チッ
プシフト並びにボイドの発生が少なく、耐半田リフロー
性を向上し得ることを見い出し、本発明を完成するに至
った。
【0005】すなわち、本発明は、(1)(A)エポキ
シ樹脂、(B)硬化剤、及び(C)カップリング剤を必
須成分とし、(A)エポキシ樹脂が硫黄原子含有エポキ
シ樹脂を含有し、(C)カップリング剤が主鎖骨格に下
記一般式(I)及び/又は(II)で示される基を有する
シラン化合物を含有する封止用エポキシ樹脂成形材料、
【化6】 (ここで、R、Rはそれぞれ独立に水素原子又は置
換又は非置換の炭素数1〜6の炭化水素基を示し、R
は炭化水素基以外の2価の有機基又は原子を示し、R
は2価の有機基又は原子を示す。) (2)(C)カップリング剤が、主鎖骨格に下記一般式
(III)で示される基を有するシラン化合物を含有する
上記(1)記載の封止用エポキシ樹脂成形材料、
【化7】 (ここで、R、Rはそれぞれ独立に水素原子又は置
換又は非置換の炭素数1〜6の炭化水素基を示し、R
は炭化水素基以外の2価の有機基又は原子を示し、R
は2価の有機基又は原子を示す。) (3)(C)カップリング剤が下記一般式(IV)で示さ
れる化合物を含有する上記(1)又は(2)記載の封止
用エポキシ樹脂成形材料、
【化8】 (ここで、R、Rはそれぞれ独立に水素原子又は置
換又は非置換の炭素数1〜6の炭化水素基を示し、R
は炭化水素基以外の2価の有機基又は原子を示し、R
は2価の有機基又は原子を示し、Rは水素原子又は置
換又は非置換の炭素数1〜6の炭化水素基を示し、R
は炭素数1〜6の炭化水素基を示し、Rは水素原子又
は炭素数1〜6の炭素水素基を示し、nは1〜3の整数
を示す。) (4)(C)カップリング剤が下記一般式(V)〜(VI
I)で示される化合物の1種又は2種以上含有する上記
(1)〜(3)のいずれかに記載の封止用エポキシ樹脂
成形材料、
【化9】 (5)(A)エポキシ樹脂が下記一般式(VIII)で示さ
れる硫黄原子含有エポキシ樹脂を含有する上記(1)〜
(4)のいずれかに記載の封止用エポキシ樹脂成形材
料、
【化10】 (ここで、R1〜R8は水素原子、置換又は非置換の炭素
数1〜10のアルキル基及び置換又は非置換の炭素数1
〜10のアルコキシ基から選ばれ、全てが同一でも異な
っていてもよい。nは0〜3の整数を示す。) (6)(B)硬化剤がビフェニル型フェノール樹脂、フ
ェノール・アラルキル樹脂、ナフトール・アラルキル樹
脂、はジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、トリフ
ェニルメタン型フェノール樹脂及びノボラック型フェノ
ール樹脂の1種又は2種以上を含有する上記(1)〜
(5)のいずれかに記載の封止用エポキシ樹脂成形材
料、(7)(E)硬化促進剤をさらに含有する上記
(1)〜(6)のいずれかに記載の封止用エポキシ樹脂
成形材料、並びに(8)上記(1)〜(8)のいずれか
に記載のエポキシ樹脂により封止された素子を備えた電
子部品装置に関する。
【0006】
【発明の実施の形態】本発明において用いられる(A)
エポキシ樹脂は、硫黄原子含有エポキシ樹脂を含有すれ
ばよく特に制限はないが、硫黄原子含有エポキシ樹脂と
しては、たとえば、ビスフェノールS、2,2’−チオ
ジ(2,6−ジ−t−ブチルフェノール)、4,4’−
チオジ(4−t−オクチルフェノール)、4,4’−チ
オジフェノール、4,4’−チオジ(3,3’,5,
5’−テトラメチルフェノール)とエピクロルヒドリン
の反応により得られるグリシジルエーテル、ノボラック
型エポキシ樹脂とメルカプト化合物との反応生成物、4
−t−ブチルフェノールと硫黄との反応生成物と、エピ
クロルヒドリンの反応により得られるグリシジルエーテ
ル、2,2’−チオジエタノール、3,3’−チオジプ
ロパノール等のアルコール類のグリシジルエーテル等が
挙げられ、これらを単独で用いても2種以上組み合わせ
て用いてもよい。なかでも流動性と耐半田リフロー性の
両立の観点からは下記一般式で示されるエポキシ樹脂が
好ましい。
【0007】
【化11】 (ここで、R1〜R8は水素原子、置換又は非置換の炭素
数1〜10のアルキル基及び置換又は非置換の炭素数1
〜10のアルコキシ基から選ばれ、全てが同一でも異な
っていてもよい。nは0〜3の整数を示す。) 上記一般式(VIII)で示される硫黄原子含有エポキシ樹
脂のなかでも、R〜Rが水素原子、置換又は非置換
の炭素数1〜5のアルキル基及び置換又は非置換の炭素
数1〜5のアルコキシ基から選ばれるエポキシ樹脂が好
ましく、R1、R4、R5及びR8が水素原子で、R2
3、R6及びR7がアルキル基であるエポキシ樹脂がよ
り好ましく、R1、R4、R5及びR8が水素原子で、R2
及びR7がメチル基で、R3及びR6がt−ブチル基であ
るエポキシ樹脂がさらに好ましい。硫黄原子含有エポキ
シ樹脂の配合量は、その性能を発揮するためにエポキシ
全量に対して50重量%以上とすることが好ましく60
重量%以上がより好ましく、80重量%以上がさらに好
ましい。
【0008】また、本発明の封止用エポキシ樹脂成形材
料には、硫黄原子含有エポキシ樹脂以外に従来公知のエ
ポキシ樹脂を併用してもよい。たとえば、1分子中に2
個以上のエポキシ基を持つエポキシ樹脂で、フェノール
ノボラック型エポキシ樹脂、オルソクレゾールノボラッ
ク型エポキシ樹脂をはじめとするフェノール、クレゾー
ル、キシレノール、レゾルシン、カテコール、ビスフェ
ノールA、ビスフェノールF等のフェノール類及び/又
はα−ナフトール、β−ナフトール、ジヒドロキシナフ
タレン等のナフトール類とホルムアルデヒド、アセトア
ルデヒド、プロピオンアルデヒド、ベンズアルデヒド、
サリチルアルデヒド等のアルデヒド基を有する化合物と
を酸性触媒下で縮合又は共縮合させて得られるノボラッ
ク樹脂をエポキシ化したもの、ビスフェノールA、ビス
フェノールF、アルキル置換又は非置換のビフェノール
等のジグリシジルエーテル、スチルベン系フェノール類
のジグリシジルエーテル、フタル酸、ダイマー酸等の多
塩基酸とエピクロルヒドリンの反応により得られるグリ
シジルエステル型エポキシ樹脂、ジアミノジフェニルメ
タン、イソシアヌル酸等のポリアミンとエピクロルヒド
リンの反応により得られるグリシジルアミン型エポキシ
樹脂、ジシクロペンタジエンとフェノール類の共縮合樹
脂のエポキシ化物、ナフタレン環を有するエポキシ樹
脂、フェノール・アラルキル樹脂、ナフトール・アラル
キル樹脂等のアラルキル型フェノール樹脂のエポキシ化
物、トリメチロールプロパン型エポキシ樹脂、テルペン
変性エポキシ樹脂、オレフィン結合を過酢酸等の過酸で
酸化して得られる線状脂肪族エポキシ樹脂、脂環族エポ
キシ樹脂等が挙げられ、これらを単独で用いても2種以
上組み合わせて用いてもよい。なかでも耐半田リフロー
性の観点からはビフェニル型エポキシ樹脂が好ましく、
硬化性の観点からはノボラック型エポキシ樹脂が好まし
く、低吸湿性の観点からはジシクロペンタジエン型エポ
キシ樹脂が好ましい。
【0009】ビフェニル型エポキシ樹脂としては、たと
えば下記一般式(XV)で示されるエポキシ樹脂等が挙げ
られる。
【化12】 (ここで、R〜Rは水素原子及び炭素数1〜10の
置換又は非置換の一価の炭化水素基から選ばれ、これら
は全てが同一でも異なっていてもよい。nは0〜3の整
数を示す。) 上記一般式(XV)で示されるビフェニル型エポキシ樹脂
としては、たとえば、4,4’−ビス(2,3−エポキ
シプロポキシ)ビフェニル又は4,4’−ビス(2,3
−エポキシプロポキシ)−3,3’,5,5’−テトラ
メチルビフェニルを主成分とするエポキシ樹脂、エピク
ロルヒドリンと4,4’−ビフェノール又は4,4’−
(3,3’,5,5’−テトラメチル)ビフェノールと
を反応させて得られるエポキシ樹脂等が挙げられる。な
かでも4,4’−ビス(2,3−エポキシプロポキシ)
−3,3’,5,5’−テトラメチルビフェニルを主成
分とするエポキシ樹脂が好ましい。ビフェニル型エポキ
シ樹脂を使用する場合、その配合量はその性能を発揮す
るためにエポキシ全量に対して20重量%以上とするこ
とが好ましく30重量%以上がより好ましい。
【0010】ノボラック型エポキシ樹脂としては、たと
えば下記一般式(XVI)で示されるエポキシ樹脂等が挙
げられる。
【化13】 (ここで、Rは水素原子、炭素数1〜10の置換又は非
置換の一価の炭化水素基及び置換又は非置換の炭素数1
〜10のアルコキシ基から選ばれ、nは0〜10の整数
を示す。) 上記一般式(XVI)で示されるノボラック型エポキシ樹
脂は、ノボラック型フェノール樹脂にエピクロルヒドリ
ンを反応させることによって容易に得られる。なかで
も、一般式(XVI)中のRとしては、メチル基、エチル
基、プロピル基、ブチル基、イソプロピル基、イソブチ
ル基等の炭素数1〜10のアルキル基、メトキシ基、エ
トキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等の炭素数1〜1
0のアルコキシ基が好ましく、水素原子又はメチル基が
より好ましい。nは0〜3の整数が好ましい。上記一般
式(XVI)で示されるノボラック型エポキシ樹脂のなか
でも、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂が好
ましい。ノボラック型エポキシ樹脂を使用する場合、そ
の配合量はその性能を発揮するためにエポキシ樹脂全量
に対して20重量%以上とすることが好ましく、30重
量%以上がより好ましい。
【0011】ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂とし
ては、たとえば下記一般式(XVII)で示されるエポキシ
樹脂等が挙げられる。
【化14】 (ここで、R及びRは水素原子及び炭素数1〜10
の置換又は非置換の一価の炭化水素基からそれぞれ独立
して選ばれ、nは0〜10の整数を示し、mは0〜6の
整数を示す。) 上記式(XVII)中のRとしては、たとえば、水素原
子、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、イソ
プロピル基、t−ブチル基等のアルキル基、ビニル基、
アリル基、ブテニル基等のアルケニル基、ハロゲン化ア
ルキル基、アミノ基置換アルキル基、メルカプト基置換
アルキル基などの炭素数1〜10の置換又は非置換の一
価の炭化水素基が挙げられ、なかでもメチル基、エチル
基等のアルキル基及び水素原子が好ましく、メチル基及
び水素原子がより好ましい。Rとしては、たとえば、
水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル
基、イソプロピル基、t−ブチル基等のアルキル基、ビ
ニル基、アリル基、ブテニル基等のアルケニル基、ハロ
ゲン化アルキル基、アミノ基置換アルキル基、メルカプ
ト基置換アルキル基などの炭素数1〜10の置換又は非
置換の一価の炭化水素基が挙げられ、なかでも水素原子
が好ましい。ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂を使
用する場合、その配合量はその性能を発揮するためにエ
ポキシ樹脂全量に対して20重量%以上とすることが好
ましく、30重量%以上がより好ましい。
【0012】本発明において用いられる(B)硬化剤
は、封止用エポキシ樹脂成形材料に一般に使用されてい
るもので特に制限はないが、たとえば、フェノール、ク
レゾール、レゾルシン、カテコール、ビスフェノール
A、ビスフェノールF、フェニルフェノール、アミノフ
ェノール等のフェノール類及び/又はα−ナフトール、
β−ナフトール、ジヒドロキシナフタレン等のナフトー
ル類とホルムアルデヒド、ベンズアルデヒド、サリチル
アルデヒド等のアルデヒド基を有する化合物とを酸性触
媒下で縮合又は共縮合させて得られるノボラック型フェ
ノール樹脂、フェノール類及び/又はナフトール類とジ
メトキシパラキシレン又はビス(メトキシメチル)ビフ
ェニルから合成されるフェノール・アラルキル樹脂、ナ
フトール・アラルキル樹脂等のアラルキル型フェノール
樹脂、フェノール類及び/又はナフトール類とシクロペ
ンタジエンから共重合により合成される、ジクロペンタ
ジエン型フェノールノボラック樹脂、ナフトールノボラ
ック樹脂等のジクロペンタジエン型フェノール樹脂、テ
ルペン変性フェノール樹脂などが挙げられ、これらを単
独で用いても2種以上を組合わせて用いてもよい。なか
でも、難燃性の観点からはビフェニル型フェノール樹脂
が好ましく、耐半田リフロー性及び硬化性の観点からは
フェノール・アラルキル樹脂及びナフトール・アラルキ
ル樹脂が好ましく、低吸湿性の観点からはジシクロペン
タジエン型フェノール樹脂が好ましく、耐熱性、低膨張
率及び低そり性の観点からはトリフェニルメタン型フェ
ノール樹脂が好ましく、硬化性の観点からはノボラック
型フェノール樹脂が好ましく、これらのフェノール樹脂
の1種以上を含有していることが好ましい。
【0013】ビフェニル型フェノール樹脂としては、た
とえば下記一般式(IX)で示されるフェノール樹脂が挙
げられる。
【化15】 (ここで、R〜Rは水素原子、置換又は非置換の炭
素数1〜10のアルキル基、置換又は非置換の炭素数1
〜10のアルコキシ基、置換又は非置換の炭素数6〜1
0のアリール基及び置換又は非置換の炭素数6〜10の
アラルキル基から選ばれ、全てが同一でも異なっていて
もよい。nは0〜10の整数を示す。) 上記式(IX)中のR〜Rとしては、水素原子、メチ
ル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、イソプロピル
基、イソブチル基等の炭素数1〜10のアルキル基、メ
トキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基等の
炭素数1〜10のアルコキシ基、フェニル基、トリル
基、キシリル基等の炭素数6〜10のアリール基及びベ
ンジル基、フェネチル基等の炭素数6〜10のアラルキ
ル基から選ばれ、なかでも水素原子とメチル基が好まし
い。nは0〜10の整数を示す。上記一般式(IX)で示
されるビフェニル型フェノール樹脂としては、たとえば
1〜Rが全て水素原子である化合物等が挙げられ、
なかでも溶融粘度の観点から、nが1以上の縮合体を5
0重量%以上含む縮合体の混合物が好ましい。ビフェニ
ル型フェノール樹脂を使用する場合、その配合量はその
性能を発揮するために硬化剤全量に対して30重量%以
上とすることが好ましく、50重量%以上がより好まし
く、60重量%以上がさらに好ましい。
【0014】フェノール・アラルキル樹脂としては、た
とえば下記一般式(X)で示されるフェノール・アラル
キル樹脂等が挙げられる。
【化16】 (ここで、Rは水素原子及び置換または非置換の炭素数
1〜10の一価の炭化水素基から選ばれ、nは0〜10
の整数を示す。) 上記式(X)中のRとしては、たとえば、水素原子、メ
チル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、イソプロピ
ル基、t−ブチル基等のアルキル基、ビニル基、アリル
基、ブテニル基等のアルケニル基、ハロゲン化アルキル
基、アミノ基置換アルキル基、メルカプト基置換アルキ
ル基などの炭素数1〜10の置換又は非置換の一価の炭
化水素基が挙げられ、なかでも、Rが水素原子で、nの
平均値が0〜8であるフェノール・アラルキル樹脂が好
ましく、具体例としては、p−キシリレン型ザイロッ
ク、m−キシリレン型ザイロック等が挙げられる。この
フェノール・アラルキル樹脂を用いる場合、その配合量
はその性能を発揮するために硬化剤全量に対して30重
量%以上とすることが好ましく、50重量%以上がより
好ましく、60重量%以上がさらに好ましい。
【0015】ナフトール・アラルキル樹脂としては、た
とえば下記一般式(XI)で示されるナフトール・アラル
キル樹脂等が挙げられる。
【化17】 (ここで、R〜Rは全てが同一でも異なっていても
よく、水素原子及び炭素数1〜6のアルキル基を示す。
nは0〜10の整数、jは0〜2の整数、kは0〜4の
整数、rは0〜4の整数を示す。) 上記式(XI)中のR〜Rとしてはたとえば水素原
子、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペン
チル基、ヘキシル基、イソプロピル基、イソブチル基等
の炭素数1〜6のアルキル基から選ばれ、なかでもR
〜R水素原子で1分子中の平均nが0〜4の範囲に設
定されることが好ましい。ナフトール・アラルキル樹脂
を用いる場合、その配合量はその性能を発揮するために
硬化剤全量に対して30重量%以上とすることが好まし
く、50重量%以上がより好ましい。
【0016】ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂と
しては、たとえば下記一般式(XII)で示されるフェノ
ール樹脂等が挙げられる。
【化18】 (ここで、R及びRは水素原子、置換または非置換
の炭素数1〜10の一価の炭化水素基からそれぞれ独立
して選ばれ、nは0〜10の整数を示し、mは0〜6の
整数を示す。) 上記式(XII)中のRとしては、たとえば、水素原
子、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、イソ
プロピル基、t−ブチル基等のアルキル基、ビニル基、
アリル基、ブテニル基等のアルケニル基、ハロゲン化ア
ルキル基、アミノ基置換アルキル基、メルカプト基置換
アルキル基などの炭素数1〜10の置換又は非置換の一
価の炭化水素基が挙げられ、なかでもメチル基、エチル
基等のアルキル基及び水素原子が好ましく、メチル基及
び水素原子がより好ましい。Rとしては、たとえば、
水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル
基、イソプロピル基、t−ブチル基等のアルキル基、ビ
ニル基、アリル基、ブテニル基等のアルケニル基、ハロ
ゲン化アルキル基、アミノ基置換アルキル基、メルカプ
ト基置換アルキル基などの炭素数1〜10の置換又は非
置換の一価の炭化水素基が挙げられ、なかでも水素原子
が好ましい。また1分子中の平均nが0〜4の範囲に設
定されることが好ましい。ジシクロペンタジエン型フェ
ノール樹脂を用いる場合、その配合量はその性能を発揮
するために硬化剤全量に対して30重量%以上とするこ
とが好ましく、50重量%以上がより好ましい。
【0017】トリフェニルメタン型フェノール樹脂とし
ては、たとえば下記一般式(XIII)で示されるフェノー
ル樹脂等が挙げられる。
【化19】 (ここで、Rは水素原子及び置換または非置換の炭素数
1〜10の一価の炭化水素基から選ばれ、nは0〜10
の整数を示す。) 上記式(XIII)中のRとしては、たとえば、水素原子、
メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、イソプロ
ピル基、t−ブチル基等のアルキル基、ビニル基、アリ
ル基、ブテニル基等のアルケニル基、ハロゲン化アルキ
ル基、アミノ基置換アルキル基、メルカプト基置換アル
キル基などの炭素数1〜10の置換又は非置換の一価の
炭化水素基が挙げられ、なかでもメチル基、エチル基等
のアルキル基及び水素原子が好ましく、メチル基及び水
素原子がより好ましい。トリフェニルメタン型フェノー
ル樹脂を用いる場合、その配合量はその性能を発揮する
ために硬化剤全量に対して30重量%以上とすることが
好ましく、50重量%以上がより好ましい。
【0018】ノボラック型フェノール樹脂としては、た
とえば下記一般式(XIV)で示されるフェノール樹脂等
のフェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹
脂等が挙げられ、なかでも下記一般式(XIV)で示され
るフェノールノボラック樹脂が好ましい。
【化20】 (ここで、Rは水素原子及び置換または非置換の炭素数
1〜10の一価の炭化水素基から選ばれ、iは0〜3の
整数を示し、nは0〜10の整数を示す。) 上記式(XIV)中のRとしては、たとえば、水素原子、
メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、イソプロ
ピル基、t−ブチル基等のアルキル基、ビニル基、アリ
ル基、ブテニル基等のアルケニル基、ハロゲン化アルキ
ル基、アミノ基置換アルキル基、メルカプト基置換アル
キル基などの炭素数1〜10の置換又は非置換の一価の
炭化水素基が挙げられ、なかでもメチル基、エチル基等
のアルキル基及び水素原子が好ましく、水素原子がより
好ましく、nの平均値が0〜8であることが好ましい。
ノボラック型フェノール樹脂を用いる場合、その配合量
はその性能を発揮するために硬化剤全量に対して30重
量%以上とすることが好ましく、50重量%以上がより
好ましい。
【0019】本発明において、(A)エポキシ樹脂と
(B)硬化剤との当量比、すなわちエポキシ樹脂中のエ
ポキシ基に対する硬化剤中の水酸基数の比(硬化剤中の
水酸基数/エポキシ樹脂中のエポキシ基数)は、特に制
限はないが、それぞれの未反応分を少なく抑えるために
0.5〜2の範囲に設定されることが好ましく、0.6
〜1.3がより好ましい。成形性、耐半田リフロー性に
優れる封止用エポキシ樹脂成形材料を得るためには0.
8〜1.2の範囲に設定されることがさらに好ましい。
【0020】本発明で用いられる(C)カップリング剤
は、主鎖骨格に下記一般式(I)及び/又は(II)で示
される基を有するシラン化合物を含有すればよく、特に
制限はない。
【化21】 (ここで、R、Rはそれぞれ独立に水素原子又は置
換又は非置換の炭素数1〜6の炭化水素基を示し、R
は炭化水素基以外の2価の有機基又は原子を示し、R
は2価の有機基又は原子を示す。) 上記一般式(I)及び(II)中のR、Rとしては、水
素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、
ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、イソプロ
ピル基、イソブチル基、t−ブチル基などのアルキル
基、フェニル基、トリル基などのアリール基等が挙げら
れ、R、Rは結合して環状構造を形成してもよい。
これらの基は水素原子の一部または全部をハロゲン原子
で置換されていてもよいが、なかでもR、Rが水素
原子、炭素数1〜4のアルキル基又はフェニル基である
ことが好ましい。Rとしては酸素原子、硫黄原子等が
挙げられ、酸素原子が好ましい。Rとしては酸素原
子、硫黄原子、メチレン基、エチレン基、プロピレン
基、ブチレン基、ペンチレン基、へキシレン基、ヘプチ
レン基、オクチレン基、ノニレン基、デシレン基等のア
ルキレン基、酸素原子あるいは硫黄原子を介して結合さ
れたアルキレン基等が挙げられるが、なかでも酸素原子
又は酸素原子を介して結合されたアルキレン基が好まし
い。
【0021】上記一般式(I)で示される基としては、
たとえば、下記式で示される基等が挙げられる。
【化22】
【化23】
【化24】
【化25】
【化26】
【0022】上記一般式(II)で示される基としては、
たとえば、下記式で示される基が挙げられる。
【化27】
【0023】主鎖骨格に上記一般式(I)及び/又は
(II)で示される基を有するシラン化合物を含有するカ
ップリング剤のなかでも、下記一般式(III)で示され
る基を有するシラン化合物を含有するカップリング剤が
好ましい。
【化28】 (ここで、R、Rはそれぞれ独立に水素原子又は置
換又は非置換の炭素数1〜6の炭化水素基を示し、R
は炭化水素基以外の2価の有機基又は原子を示し、R
は2価の有機基又は原子を示す。) 上記一般式(III)において、R、Rとしては水素
原子、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペ
ンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、イソプロピ
ル基、イソブチル基、t−ブチル基などのアルキル基、
フェニル基、トリル基などのアリール基等が挙げられ、
、Rは結合して環状構造を形成してもよい。これ
らの基は水素原子の一部または全部をハロゲン原子で置
換されていてもよいが、なかでもR、Rが水素原
子、炭素数1〜4のアルキル基又はフェニル基であるこ
とが好ましい。Rとしては酸素原子、硫黄原子等が挙
げられ、酸素原子が好ましい。Rとしては酸素原子、
硫黄原子、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブ
チレン基、ペンチレン基、へキシレン基、ヘプチレン
基、オクチレン基、ノニレン基、デシレン基等のアルキ
レン基、酸素原子あるいは硫黄原子を介して結合された
アルキレン基等が挙げられるが、なかでも酸素原子又は
酸素原子を介して結合されたアルキレン基が好ましい。
【0024】上記一般式(III)で示される基として
は、たとえば下記式で示される基等が挙げられる。
【化29】
【化30】
【化31】
【化32】
【化33】
【化34】
【化35】
【化36】
【0025】主鎖骨格に上記一般式(III)で示される
基を有するシラン化合物を含有するカップリング剤のな
かでも、下記一般式(IV)で示される化合物を含有する
カップリング剤がさらに好ましい。
【化37】 (ここで、R、Rはそれぞれ独立に水素原子又は置
換又は非置換の炭素数1〜6の炭化水素基を示し、R
は炭化水素基以外の2価の有機基又は原子を示し、R
は2価の有機基又は原子を示し、Rは水素原子又は置
換又は非置換の炭素数1〜6の炭化水素基を示し、R
は炭素数1〜6の炭化水素基を示し、Rは水素原子又
は炭素数1〜6の炭素水素基を示し、nは1〜3の整数
を示す。) 上記一般式(IV)において、R、R、R、R
しては、水素原子、メチル基、エチル基、プロピル基、
ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル
基、イソプロピル基、イソブチル基、t−ブチル基等の
アルキル基、フェニル基、トリル基等のアリール基など
が挙げられる。これらの基は水素原子の一部または全部
をハロゲン原子で置換されていてもよいが、なかでもR
、R、R、Rが水素原子、炭素数1〜4のアル
キル基又はフェニル基であることが好ましい。Rとし
ては酸素原子、硫黄原子が挙げられ、酸素原子が好まし
い。Rとしては酸素原子、硫黄原子、メチレン基、エ
チレン基、プロピレン基、ブチレン基、ペンチレン基、
へキシレン基、ヘプチレン基、オクチレン基、ノニレン
基、デシレン基等のアルキレン基、酸素原子又は硫黄原
子を介して結合されたアルキレン基等が挙げられるが、
なかでも酸素原子又は酸素原子を介して結合されたアル
キレン基が好ましい。Rとしてはメチル基、エチル
基、プロピル基、ブチル基、イソプロピル基、イソブチ
ル基、t−ブチル基などのアルキル基、ビニル基、アリ
ル基、プロペニル基、ブテニル基等のアルケニル基など
の炭素数1〜6の炭化水素基が挙げられ、なかでも炭素
数1〜6のアルキル基が好ましく、成形性又は接着性の
観点からはメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基
等の炭素数1〜4のアルキル基がより好ましい。また、
nは1〜3の整数を示すが、接着性の観点からは2又は
3が好ましく、3がより好ましい。
【0026】上記一般式(IV)で示される化合物として
は、たとえば、下記一般式(V)〜(VII)、(XVIII)
〜(XXVI)で示される化合物等が挙げられる。接着性、
流動性の観点からは下記一般式(V)〜(VII)で示さ
れる化合物の1種又は2種以上を含有するカップリング
剤を用いることが好ましい。
【化38】
【0027】本発明の封止用エポキシ樹脂成形材料に
は、上記一般式(I)及び/又は(II)で示される基を
有するシラン化合物以外に従来公知のカップリング剤を
併用してもよい。たとえば、ビニルトリクロロシラン、
ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(β−メトキ
シエトキシ)シラン、β−(3,4−エポキシシクロヘ
キシル)エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシ
プロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシ
ラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ
−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−[ビス(β
−ヒドロキシエチル)]アミノプロピルトリエトキシシ
ラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピル
トリエトキシシラン、N−(トリメトキシシリルプロピ
ル)エチレンジアミン、メチルトリメトキシシラン、メ
チルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラ
ン、フェニルトリエトキシシラン、N−β−(N−ビニ
ルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメ
トキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキシシラ
ン、ヘキサメチルジシラン、γ−アニリノプロピルトリ
メトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン等のシラン
系カップリング剤、あるいはイソプロピルトリイソステ
アロイルチタネート、イソプロピルトリス(ジオクチル
パイロホスフェート)チタネート、イソプロピルトリ
(N−アミノエチル−アミノエチル)チタネート、テト
ラオクチルビス(ジトリデシルホスファイト)チタネー
ト、テトラ(2,2−ジアリルオキシメチル−1−ブチ
ル)ビス(ジトリデシル)ホスファイトチタネート、ビ
ス(ジオクチルパイロホスフェート)オキシアセテート
チタネート、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)エ
チレンチタネート、イソプロピルトリオクタノイルチタ
ネート、イソプロピルジメタクリルイソステアロイルチ
タネート、イソプロピルイソステアロイルジアクリルチ
タネート、イソプロピルトリ(ジオクチルホスフェー
ト)チタネート、イソプロピルトリクミルフェニルチタ
ネート、テトライソプロピルビス(ジオクチルホスファ
イト)チタネート等のチタネート系カップリング剤、ア
ルミニウムキレート類、アルミニウム/ジルコニウム系
化合物等の公知のカップリング剤を1種以上併用するこ
とができる。これらのカップリング剤を併用する場合、
上記一般式(I)及び/又は(II)で示される基を有す
るシラン化合物の配合量は、(C)カップリンブ剤全量
に対して30重量%以上が好ましく、40重量%以上が
より好ましく、50重量%以上とすることがさらに好ま
しい。
【0028】(C)カップリング剤の全配合量は、
(D)無機充填剤に対して0.01〜2.0重量%が好
ましく、0.1〜1.6重量%がより好ましい。0.0
1重量%未満では発明の効果が小さくなる傾向があり、
2.0重量%を超えると成形性が低下する傾向がある。
【0029】本発明における(D)無機充填剤として
は、特に制限はないが、溶融シリカ、結晶シリカ、アル
ミナ、ジルコン、珪酸カルシウム、炭酸カルシウム、炭
化珪素、窒化アルミ、窒化ホウ素、ベリリア、ジルコニ
ア等の粉体、又はこれらを求形化したビーズ、チタン酸
カリウム、炭化珪素、窒化珪素、アルミナ等の単結晶繊
維、ガラス繊維等を1種以上配合して用いることができ
る。さらに、難燃効果のある無機充填剤としては水酸化
アルミニウム、水酸化マグネシウム、硼酸亜鉛などが挙
げられ、これらを単独又は併用して用いることもでき
る。上記の無機充填剤の中で、線膨張係数低減の観点か
らは溶融シリカが、高熱伝導性の観点からはアルミナが
好ましい。充填剤形状は成形時の流動性及び金型磨耗性
の点から球形もしくは球状に近い形が好ましい。(D)
無機充填剤の配合量は、成形性、吸湿性、線膨張係数の
低減及び強度向上の観点から封止用エポキシ樹脂成形材
料に対して60重量%以上が好ましく、70〜95重量
%がより好ましく、75〜92重量%がさらに好まし
い。60重量%未満では耐半田リフロー性が低下する傾
向があり、95重量%を超える場合には流動性が不十分
となる傾向がある。
【0030】本発明のエポキシ樹脂成形材料には、必要
に応じて(E)硬化促進剤を配合することができる。硬
化促進剤としては、封止用エポキシ樹脂成形材料で一般
に使用されているもので特に限定はないが、たとえば、
1,8−ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデセン−
7、1,5−ジアザビシクロ[4.3.0]ノネン−
5、5,6−ジブチルアミノ−1,8−ジアザビシクロ
[5.4.0]ウンデセン−7等のシクロアミジン化合
物及びこれらの化合物に無水マレイン酸、1,4−ベン
ゾキノン、2,5−トルキノン、1,4−ナフトキノ
ン、2,3−ジメチルベンゾキノン、2,6−ジメチル
ベンゾキノン、2,3−ジメトキシ−5−メチル−1,
4ベンゾキノン、2,3−ジメトキシ−1,4−ベンゾ
キノン、フェニル−1,4−ベンゾキノン等のキノン化
合物、ジアゾフェニルメタン、フェノール樹脂等のπ結
合をもつ化合物を付加してなる分子内分極を有する化合
物、ベンジルジメチルアミン、トリエタノールアミン、
ジメチルアミノエタノール、トリス(ジメチルアミノメ
チル)フェノール等の三級アミン類及びこれらの誘導
体、2−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾー
ル、2―フェニル−4−メチルイミダゾール、2−ヘプ
タデシルイミダゾール等のイミダゾール類及びこれらの
誘導体、トリブチルホスフィン、メチルジフェニルホス
フィン、トリフェニルホスフィン、トリス(4−メチル
フェニル)ホスフィン、ジフェニルホスフィン、フェニ
ルホスフィン等の有機ホスフィン類及びこれらのホスフ
ィン類に無水マレイン酸、上記キノン化合物、ジアゾフ
ェニルメタン、フェノール樹脂等のπ結合をもつ化合物
を付加してなる分子内分極を有するリン化合物、テトラ
フェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラ
フェニルホスホニウムエチルトリフェニルボレート、テ
トラブチルホスホニウムテトラブチルボレート等のテト
ラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレート、2−エチル
−4−メチルイミダゾール・テトラフェニルボレート、
N−メチルモルホリン・テトラフェニルボレート等のテ
トラフェニルボロン塩及びこれらの誘導体などが挙げら
れ、これらの1種を単独で用いても2種以上組み合わせ
て用いてもよい。なかでも、硬化性及び流動性の観点か
らは第三ホスフィンとキノン化合物との付加物が好まし
く、保存安定性の観点からはシクロアミジン化合物とフ
ェノール樹脂との付加物が好ましく、ジアザビシクロウ
ンデセンのフェノールノボラック樹脂塩がより好まし
い。これらの硬化促進剤の配合量は硬化促進剤全量に対
して合わせて60重量%以上が好ましく、80重量%以
上がより好ましい。
【0031】第三ホスフィンとキノン化合物との付加物
に用いられる第三ホスフィンとしては特に制限はない
が、たとえば、トリブチルホスフィン、ジブチルフェニ
ルホスフィン、ブチルジフェニルホスフィン、エチルジ
フェニルホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリス
(4−メチルフェニル)ホスフィン、トリス(4−エチ
ルフェニル)ホスフィン、トリス(4−プロピルフェニ
ル)ホスフィン、トリス(4−ブチルフェニル)ホスフ
ィン、トリス(イソプロピルフェニル)ホスフィン、ト
リス(t−ブチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,
4−ジメチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,6−
ジメチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,4,6−
トリメチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,6−ジ
メチル−4−エトキシフェニル)ホスフィン、トリス
(4−メトキシフェニル)ホスフィン、トリス(4−エ
トキシフェニル)ホスフィン等が挙げられ、成形性の点
からはトリブチルホスフィン及びトリフェニルホスフィ
ンが好ましい。また、第三ホスフィンとキノン化合物と
の付加物に用いられるキノン化合物としては特に制限は
ないが、たとえば、o−ベンゾキノン、p−ベンゾキノ
ン、ジフェノキノン、1,4−ナフトキノン、アントラ
キノン等が挙げられ、耐湿性又は保存安定性の観点から
はp−ベンゾキノンが好ましい。
【0032】硬化促進剤の配合量は、硬化促進効果が達
成される量であれば特に限定されるものではないが、
(A)エポキシ樹脂と(B)硬化剤の合計量100重量
部に対して0.1〜10重量部が好ましく、0.3〜5
重量部がより好ましい。0.1重量部未満では短時間で
硬化させることが困難となり、10重量部を超えると硬
化速度が早すぎて良好な成形品が得られない傾向があ
る。
【0033】また、本発明の封止用エポキシ樹脂成形材
料には、ICの耐湿性、高温放置特性を向上させる目的
で陰イオン交換体を必要に応じて配合することができ
る。陰イオン交換体としては特に制限はなく、従来公知
のものを用いることができるが、たとえば、ハイドロタ
ルサイト類や、マグネシウム、アルミニウム、チタン、
ジルコニウム、ビスマスから選ばれる元素の含水酸化物
等が挙げられ、これらを単独用いても2種類以上を組み
合わせて用いてもよい。なかでも、下記組成式(XXVI
I)で示されるハイドロタルサイトが好ましい。
【化39】 Mg1−XAl(OH)(COX/2・mHO ……(XXVII ) (0<x≦0.5、mは正の数) 陰イオン交換体の配合量は、ハロゲンイオンなどの陰イ
オンを捕捉できる十分量であれば特に限定されるもので
はないが、(A)エポキシ樹脂100重量部対して、
0.1〜30重量部が好ましく、1〜5重量部がより好
ましい。
【0034】本発明の封止用エポキシ樹脂成形材料に
は、接着性をより向上させるために、必要に応じて接着
促進剤を用いることができる。接着促進剤としては、た
とえば、イミダゾール、トリアゾール、テトラゾール、
トリアジン等の誘導体、アントラニル酸、没食子酸、マ
ロン酸、リンゴ酸、マレイン酸、アミノフェノール、キ
ノリン等及びこれらの誘導体、脂肪族酸アミド化合物、
ジチオカルバミン酸塩、チアジアゾール誘導体などが挙
げられ、これらの1種を単独で用いても2種類以上を組
み合わせて用いてもよい。
【0035】本発明の封止用エポキシ樹脂成形材料に
は、必要に応じて離型剤を用いてもよい。離型剤として
は、酸化型又は非酸化型のポリオレフィンを(A)エポ
キシ樹脂100重量部に対して0.01〜10重量部用
いることが好ましく、0.1〜5重量部用いることがよ
り好ましい。0.01重量部未満では離型性が不十分と
なる傾向があり、10重量部を超えると接着性が低下す
る傾向がある。酸化型又は非酸化型のポリオレフィンと
しては、ヘキスト株式会社製H4やPE、PEDシリー
ズ等の数平均分子量が500〜10000程度の低分子
量ポリエチレンなどが挙げられる。また、これ以外の離
型剤としては、たとえばカルナバワックス、モンタン酸
エステル、モンタン酸、ステアリン酸等が挙げられ、こ
れらの1種を単独で用いても2種以上組み合わせて用い
てもよい。酸化型又は非酸化型のポリオレフィンに加え
てこれら他の離型剤を併用する場合、その配合量は
(A)エポキシ樹脂100重量部に対して0.l〜10
重量部が好ましく、0.5〜3重量部がより好ましい。
【0036】本発明の封止用エポキシ樹脂成形材料には
従来公知の難燃剤を必要に応じて配合することができ
る。たとえば、ブロム化エポキシ樹脂、三酸化アンチモ
ン、赤リン、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウ
ム、酸化亜鉛等の無機物及び/又はフェノール樹脂等の
熱硬化性樹脂等で被覆された赤リン、リン酸エステル等
のリン化合物、メラミン、メラミン誘導体、メラミン変
性フェノール樹脂、トリアジン環を有する化合物、シア
ヌル酸誘導体、イソシアヌル酸誘導体等の窒素含有化合
物、シクロホスファゼン等のリン及び窒素含有化合物、
水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム及び下記組成
式(XXVIII)で示される複合金属水酸化物などが挙げら
れる。
【化40】 p(M1aOb)・q(M2cOd)・r(M3cOd)・mH2O (XXVIII) (ここで、M1、M2及びM3は互いに異なる金属元素を
示し、a、b、c、d、p、q及びmは正の数、rは0又は
正の数を示す。) 上記組成式(XXVIII)中のM1、M2及びM3は互いに異
なる金属元素であれば特に制限はないが、難燃性の観点
からは、M1が第3周期の金属元素、IIA族のアルカリ
土類金属元素、IVB族、IIB族、VIII族、IB族、III
A族及びIVA族に属する金属元素から選ばれ、M2がIII
B〜IIB族の遷移金属元素から選ばれることが好まし
く、M1がマグネシウム、カルシウム、アルミニウム、
スズ、チタン、鉄、コバルト、ニッケル、銅及び亜鉛か
ら選ばれ、M2が鉄、コバルト、ニッケル、銅及び亜鉛
から選ばれることがより好ましい。流動性の観点から
は、M 1がマグネシウム、M2が亜鉛又はニッケルで、r
=0のものが好ましい。p、q及びrのモル比は特に制
限はないが、r=0で、p/qが1/99〜1/1であ
ることが好ましい。なお、金属元素の分類は、典型元素
をA亜族、遷移元素をB亜族とする長周期型の周期率表
(出典:共立出版株式会社発行「化学大辞典4」198
7年2月15日縮刷版第30刷)に基づいて行った。ま
た、酸化亜鉛、錫酸亜鉛、硼酸亜鉛、酸化鉄、酸化モリ
ブデン、モリブデン酸亜鉛、ジシクロペンタジエニル鉄
等の金属元素を含む化合物などが挙げられ、これらの1
種を単独で用いても2種以上を組合わせて用いてもよ
い。難燃剤の配合量は特に制限はないが、(A)エポキ
シ樹脂100重量部に対して1〜30重量部が好まし
く、2〜15重量部がより好ましい。また、本発明の封
止用エポキシ樹脂成形材料には、カーボンブラック、有
機染料、有機顔料、酸化チタン、鉛丹、ベンガラ等の着
色剤を用いても良い。さらに、その他の添加剤として、
シリコーンオイルやシリコーンゴム粉末等の応力緩和剤
等を必要に応じて配合することができる。
【0037】本発明の封止用エポキシ樹脂成形材料は、
各種成分を均一に分散混合できるのであれば、いかなる
手法を用いても調製できるが、一般的な手法として、所
定の配合量の成分をミキサー等によって十分混合した
後、ミキシングロール、押出機等によって溶融混練した
後、冷却、粉砕する方法を挙げることができる。たとえ
ば、上述した成分の所定量を均一に撹拌、混合し、予め
70〜140℃に加熱してあるニーダー、ロール、エク
ストルーダーなどで混練、冷却し、粉砕するなどの方法
で得ることができる。成形条件に合うような寸法及び重
量でタブレット化すると使いやすい。
【0038】本発明で得られる封止用エポキシ樹脂成形
材料により封止した素子を備えた電子部品装置として
は、リードフレーム、配線済みのテープキャリア、配線
板、ガラス、シリコンウエハ等の支持部材に、半導体チ
ップ、トランジスタ、ダイオード、サイリスタ等の能動
素子、コンデンサ、抵抗体、コイル等の受動素子等の素
子を搭載し、必要な部分を本発明の封止用エポキシ樹脂
成形材料で封止した、電子部品装置などが挙げられる。
このような電子部品装置としては、たとえば、リードフ
レーム上に半導体素子を固定し、ボンディングパッド等
の素子の端子部とリード部をワイヤボンディングやバン
プで接続した後、本発明の封止用エポキシ樹脂成形材料
を用いてトランスファ成形等により封止してなる、DI
P(Dual Inline Package)、PLCC(Plastic Leade
d Chip Carrier)、QFP(Quad Flat Package)、S
OP(Small Outline Package)、SOJ(Small Outli
ne J-lead package)、TSOP(Thin Small Outline
Package)、TQFP(Thin Quad Flat Package)等の
一般的な樹脂封止型IC、テープキャリアにバンプで接
続した半導体チップを、本発明の封止用エポキシ樹脂成
形材料で封止したTCP(Tape Carrier Package)、配
線板やガラス上に形成した配線に、ワイヤボンディン
グ、フリップチップボンディング、はんだ等で接続した
半導体チップ、トランジスタ、ダイオード、サイリスタ
等の能動素子及び/又はコンデンサ、抵抗体、コイル等
の受動素子を、本発明の封止用エポキシ樹脂成形材料で
封止したCOB(Chip On Board)モジュール、ハイブ
リッドIC、マルチチップモジュール、マザーボード接
続用の端子を形成したインターポーザ基板に半導体チッ
プを搭載し、バンプまたはワイヤボンディングにより半
導体チップとインターポーザ基板に形成された配線を接
続した後、本発明の封止用エポキシ樹脂成形材料で半導
体チップ搭載側を封止したBGA(Ball Grid Arra
y)、CSP(Chip Size Package)、MCP(Multi Ch
ip Package)などが挙げられる。また、プリント回路板
にも本発明の封止用エポキシ樹脂成形材料は有効に使用
できる。
【0039】本発明の封止用エポキシ樹脂成形材料を用
いて素子を封止する方法としては、低圧トランスファ成
形法が最も一般的であるが、インジェクション成形法、
圧縮成形法等を用いてもよい。
【0040】
【実施例】次に実施例により本発明を説明するが、本発
明の範囲はこれらの実施例に限定されるものではない。
【0041】実施例1〜34、比較例1〜12 エポキシ樹脂としてはエポキシ当量242、融点118
℃のフェニルスルフィド型の硫黄原子含有エポキシ樹脂
(エポキシ樹脂1、新日本製鐵化学株式会社製商品名Y
SLV−120TE)、エポキシ当量196、融点10
6℃のビフェニル型エポキシ樹脂(エポキシ樹脂2、ジ
ャパンエポキシレジン株式会社製商品名YX−4000
H)、エポキシ当量264、軟化点64℃のジシクロペ
ンタジエン型エポキシ樹脂(エポキシ樹脂3、大日本イ
ンキ化学工業株式会社製商品名HP−7200)、エポ
キシ当量200、軟化点67℃のオルソクレゾールノボ
ラック型エポキシ樹脂(エポキシ樹脂4、住友化学工業
株式会社製商品名ESCN−190)、エポキシ当量3
75、軟化点80℃、臭素含有量48重量%のビスフェ
ノールA型ブロム化エポキシ樹脂(エポキシ樹脂5)、
硬化剤としては水酸基当量199、軟化点89℃のビフ
ェニル型フェノール樹脂(硬化剤1、明和化成株式会社
製商品名MEH−7851)、水酸基当量176、軟化
点70℃のフェノール・アラルキル樹脂(硬化剤2、三
井化学株式会社製商品名ミレックスXLC)、水酸基当
量183、軟化点79℃のナフトール・アラルキル樹脂
(硬化剤3、新日本製鐵化学株式会社製商品名SN−1
70)、水酸基当量170、軟化点93℃のジシクロペ
ンタジエン型フェノール樹脂(硬化剤4、日本石油化学
株式会社製商品名DPP)、水酸基当量104、軟化点
83℃のトリフェニルメタン型フェノール樹脂(硬化剤
5、明和化成株式会社製商品名MEH−7500)、水
酸基当量106、軟化点64℃のフェノールノボラック
樹脂(硬化剤6、明和化成株式会社製商品名H−4)、
カップリング剤としてはγ−アクリロキシプロピルトリ
メトキシシラン(カップリング剤1)、γ−メタクリロ
キシプロピルトリメトキシシラン(カップリング剤
2)、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン
(カップリング剤3)、γ−グリシドキシプロピルトリ
メトキシシラン(カップリング剤4)、硬化促進剤とし
てはトリフェニルホスフィンとp−ベンゾキノンとの付
加物(硬化促進剤1)及びトリブチルホスフィンとp−
ベンゾキノンとの付加物(硬化促進剤2)、無機充填剤
としては平均粒径17.5μm、比表面積3.8m
gの球状溶融シリカ、その他の添加成分としてはカルナ
バワックス(クラリアント社製)、三酸化アンチモン、
カーボンブラック(三菱化学株式会社製商品名MA−1
00)を、表1〜4に示す重量比で配合し、混練温度8
0〜90℃、混練時間15分の条件でロール混練を行
い、実施例1〜34及び比較例1〜12の封止用エポキ
シ樹脂成形材料を作製した。
【0042】
【表1】
【0043】
【表2】
【0044】
【表3】
【0045】
【表4】
【0046】実施例及び比較例の封止用エポキシ樹脂成
形材料を、次の(1)〜(5)の各種特性試験により評
価した。評価結果を表5〜8に示す。なお、封止用エポ
キシ樹脂成形材料の成形は、トランスファ成形機によ
り、金型温度180℃、成形圧力6.9MPa、硬化時
間90秒の条件で行った。また、後硬化は180℃で5
時間行った。 (1)スパイラルフロー EMMI−1−66に準じたスパイラルフロー測定用金
型を用いて、封止用エポキシ成形材料を上記条件で成形
し、流動距離(cm)を求めた。 (2)円板フロー 200mm(W)×200mm(D)×25mm(H)
の上型と200mm(W)×200mm(D)×15m
m(H)の下型を有する円板フロー測定用平板金型を用
いて、上皿天秤にて秤量した封止用エポキシ樹脂成形材
料5gを180℃に加熱した下型の中心部にのせ、5秒
後に、180℃に加熱した上型を閉じて、荷重78N、
硬化時間90秒の条件で圧縮成形し、ノギスで成形品の
長径(mm)及び短径(mm)を測定して、その平均値
(mm)を円板フローとした。 (3)チップシフト LOC(Lead On Chip)構造の42アロイリードフレー
ム上に8.6mm×15.0mm×0.28mm厚のシ
リコーンチップを搭載した、リードフレーム上面からパ
ッケージ上面までの厚みが0.22mm、チップ下面か
らパッケージ下面までの厚みが0.28mmのTSOP
(Thin Small Outline Package)を、封止用エポキシ樹
脂成形材料を用いて上記条件で成形して作製し、チップ
シフトを観察し、シフト量20μm未満を良好、20μ
m以上を不良とした。 (4)ボイド発生量 ソフトX線測定装置(ソフテックス社製PRO-TEST 100
型)を用いて、電圧100kV、電流1.5mAの条件
で、上記(3)で作製したパッケージの透視観察を行っ
て、直径0.1mm以上のボイドの発生の有無を観察
し、試験パッケージ数(20)に対するボイド発生パッ
ケージ数で評価した。 (5)耐半田リフロー性 42アロイリードフレーム上に8×10mmのシリコー
ンチップを搭載した外形寸法20×14×2mmの80
ピンフラットパッケージ(QFP)を、封止用エポキシ
樹脂成形材料を用いて上記条件で成形、後硬化して作製
し、85℃/85%RHで、72〜168hの所定時間
吸湿させ、ベーパーフェーズリフロー装置により215
℃、90秒の条件でリフロー処理を行って、クラックの
発生の有無を観察し、試験パッケージ数(10)に対す
るクラック発生パッケージ数で評価した。
【0047】
【表5】
【0048】
【表6】
【0049】
【表7】
【0050】
【表8】
【0051】実施例の封止用エポキシ樹脂成形材料は、
スパイラルフロー、円板フローにおいて良好な流動性を
示すとともに、チップシフト及びボイドの発生が少な
く、耐半田リフロー性に優れている。同一組成で比較し
た場合、特にカップリング剤3を使用した実施例13〜
18、25〜31及び34では流動性に著しく優れる。
一方、本発明の硫黄原子含有エポキシ樹脂及び(C)カ
ップリング剤を含まない比較例では本発明の目的を満足
しない。すなわち、硫黄原子含有エポキシ樹脂を含まな
い比較例10〜12では耐半田リフロー性に劣り、
(C)カップリング剤を含まない比較例1〜9では流動
性に劣る。
【0052】
【発明の効果】本発明によって得られる封止用エポキシ
樹脂成形材料は、スパイラルフロー、円板フローにおい
て良好な流動性を示し、実施例に示したようにTSOP
のような薄型の表面実装パッケージにおいてもチップシ
フト及びボイドの発生が少なく、優れた耐半田リフロー
性が得られたことから、信頼性の高い電子部品装置を得
ることができ、その工業的価値は大である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 23/29 H01L 23/30 R 23/31 Fターム(参考) 4H017 AA04 AA20 AB08 AC16 AD06 AE05 4J002 CC042 CC052 CC062 CD111 CD202 DE077 DE097 DE147 DE187 DE237 DF017 DJ007 DJ017 DK007 EE057 EL148 EN027 EN107 EQ037 EU098 EU117 EW017 EW127 EX016 EX036 EY017 FA047 FA087 FD017 FD090 FD130 FD142 FD158 FD160 FD200 4J036 AD20 AD21 DB15 DB28 DC04 DC05 DC12 DC34 DC38 DC40 DD07 DD09 EA01 FB07 FB08 GA06 JA07 4M109 AA01 BA01 CA21 EA02 EB03 EB04 EB06 EB12 EC05

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、
    (C)カップリング剤及び(D)無機充填剤を必須成分
    とし、(A)エポキシ樹脂が硫黄原子含有エポキシ樹脂
    を含有し、(C)カップリング剤が主鎖骨格に下記一般
    式(I)及び/又は(II)で示される基を有するシラン
    化合物を含有する封止用エポキシ樹脂成形材料。 【化1】 (ここで、R、Rはそれぞれ独立に水素原子、置換
    又は非置換の炭素数1〜6の炭化水素基を示し、R
    炭化水素基以外の2価の有機基又は原子を示し、R
    2価の有機基又は原子を示す。)
  2. 【請求項2】(C)カップリング剤が、主鎖骨格に下記
    一般式(III)で示される基を有するシラン化合物を含
    有する請求項1記載の封止用エポキシ樹脂成形材料。 【化2】 (ここで、R、Rはそれぞれ独立に水素原子又は置
    換又は非置換の炭素数1〜6の炭化水素基を示し、R
    は炭化水素基以外の2価の有機基又は原子を示し、R
    は2価の有機基又は原子を示す。)
  3. 【請求項3】(C)カップリング剤が下記一般式(IV)
    で示される化合物を含有する請求2記載の封止用エポキ
    シ樹脂成形材料。 【化3】 (ここで、R、Rはそれぞれ独立に水素原子又は置
    換又は非置換の炭素数1〜6の炭化水素基を示し、R
    は炭化水素基以外の2価の有機基又は原子を示し、R
    は2価の有機基又は原子を示し、Rは水素原子又は置
    換又は非置換の炭素数1〜6の炭化水素基を示し、R
    は炭素数1〜6の炭化水素基を示し、Rは水素原子又
    は炭素数1〜6の炭素水素基を示し、nは1〜3の整数
    を示す。)
  4. 【請求項4】(C)カップリング剤が下記一般式(V)
    〜(VII)で示される化合物の1種又は2種以上含有す
    る請求項1〜3のいずれかに記載の封止用エポキシ樹脂
    成形材料。 【化4】
  5. 【請求項5】(A)エポキシ樹脂が下記一般式(VIII)で
    示される硫黄原子含有エポキシ樹脂を含有する請求項1
    〜4のいずれかに記載の封止用エポキシ樹脂成形材料。 【化5】 (ここで、R1〜R8は水素原子、置換又は非置換の炭素
    数1〜10のアルキル基及び置換又は非置換の炭素数1
    〜10のアルコキシ基から選ばれ、全てが同一でも異な
    っていてもよい。nは0〜3の整数を示す。)
  6. 【請求項6】(B)硬化剤がビフェニル型フェノール樹
    脂、フェノール・アラルキル樹脂、ナフトール・アラル
    キル樹脂、はジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、
    トリフェニルメタン型フェノール樹脂及びノボラック型
    フェノール樹脂の1種又は2種以上を含有する請求項1
    〜5のいずれかに記載の封止用エポキシ樹脂成形材料。
  7. 【請求項7】(E)硬化促進剤をさらに含有する請求項
    1〜6のいずれかに記載の封止用エポキシ樹脂成形材
    料。
  8. 【請求項8】請求項1〜8記載のいずれかに記載の封止
    用エポキシ樹脂成形材料により封止された素子を備えた
    電子部品装置。
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