JP2003156857A - 着色パターンの形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 表面が平滑で凹凸のない着色パターンを安定
的に形成できる着色パターンの形成方法を提供する。 【解決手段】 （Ａ）着色剤、（Ｂ）バインダーポリマ
ー、（Ｃ）光重合性化合物、（Ｄ）光重合開始剤および
（Ｅ）溶剤を混合して着色感光性樹脂組成物を得、得ら
れた着色感光性樹脂組成物を、１５℃を越え３０℃以下
の温度で１２時間以上保存したのちに基板の上に塗布
し、溶剤を除去して着色感光性層を形成し、次いで形成
された着色感光性層を露光し、現像することを特徴とす
る着色パターンの形成方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、着色パターンの形
成方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】着色パターン（２）は、カラーフィルタ
ー（１）を構成する光学素子であり、例えば、基板
（３）上に形成された赤色画素（２Ｒ）、緑色画素（２
Ｇ）、青色画素（２Ｂ）、ブラックマトリックス（２Ｂ
Ｍ）などの色画素である（図１）。ここで、各色画素
は、色素によって着色された透明な層であり、これを透
過する光は、各色画素の色に着色される。各色画素
（２）は互いに線状（図１(a)）または格子状（図２
(b)）に配置されており、それぞれの幅は概ね５〜１０
０μｍの範囲である。該着色パターン（２）の形成方法
としては、フォトリソグラフィーが知られており、具体
的には着色剤、バインダーポリマー、光重合性化合物、
光重合開始剤および溶剤を含有する着色感光性樹脂組成
物を基板（３）の上に塗布し、溶剤を除去して着色感光
性層（４）を形成し（図２(a)）、次いで形成された着
色感光性層（４）を露光し（図２(b)）、現像する方法
が知られている（図２(c)）。上記した方法によれば、
着色感光性層（４）のうちの露光において光線（５）を
照射された光線照射領域（４２）が現像後もそのまま残
って着色パターン（２）を構成する。ここで、着色感光
性樹脂組成物は、着色剤、バインダーポリマー、光重合
性化合物、光重合開始剤および溶剤を混合する方法によ
って製造されており、混合後は光重合性化合物の無用の
重合を防止する為に、混合後は短時間で基板上に塗布さ
れる。

【０００３】しかし、従来の方法で形成された着色パタ
ーンは、表面に２〜３μｍ程度の凹凸が生ずる場合があ
った。このような凹凸は、透過する光を散乱させて、各
色画素を透過する光のコントラストの低下、波長分解能
の低下などの原因となる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、表面
が平滑で凹凸のない着色パターンを安定的に形成できる
着色パターンの形成方法を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明者は、鋭
意検討の結果、着色感光性樹脂組成物を特定の温度範囲
に特定の時間以上保存した後に基板の上に塗布して着色
パターンを形成することにより、上記課題を達成できる
ことを見出した。

【０００６】すなわち本発明は、（Ａ）着色剤、（Ｂ）
バインダーポリマー、（Ｃ）光重合性化合物、（Ｄ）光
重合開始剤および（Ｅ）溶剤を混合して着色感光性樹脂
組成物を得て、該着色感光性樹脂組成物を、１５℃を越
え３０℃以下の温度で１２時間以上保存したのちに基板
の上に塗布し、溶剤を除去して着色感光性層を形成し、
次いで該着色感光性層を露光し、現像することを特徴と
する着色パターンの形成方法を提供するものである。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明における着色感光性樹脂組
成物は、（Ａ）着色剤、（Ｂ）バインダーポリマー、
（Ｃ）光重合性化合物、（Ｄ）光重合開始剤および
（Ｅ）溶剤を含有するものである。

【０００８】（Ａ）着色剤は、有機物である有機着色剤
であってもよいし、無機物である無機着色剤であっても
よい。有機着色剤は、顔料であってもよいし、染料であ
ってもよい。また、着色剤は、天然色素であってもよい
し、合成色素であってもよい。無機着色剤は、金属酸化
物、金属錯塩、硫酸バリウムの無機塩（体質顔料）など
の無機顔料であってもよい。該着色剤の中でも、有機着
色剤、特には有機顔料が好ましく用いられる。

【０００９】有機顔料および無機顔料として具体的に
は、カラーインデックス（The Societyof Dyers and Co
lourists出版）でピグメント（Pigment）に分類されて
いる顔料が挙げられる。具体的には、例えば、Ｃ．Ｉ．
ピグメントイエロー１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー
３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントイエロー１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４、
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメント
イエロー１６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７、Ｃ．
Ｉ．ピグメントイエロー２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエ
ロー２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３１、Ｃ．Ｉ．
ピグメントイエロー５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー
８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８６、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントイエロー９３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９
４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０９、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントイエロー１１０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１
１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２５、Ｃ．Ｉ．ピ
グメントイエロー１２８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー
１３７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．
ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロ
ー１４７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４８、Ｃ．
Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイ
エロー１５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５４、
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメン
トイエロー１７３などの黄色顔料、Ｃ．Ｉ．ピグメント
オレンジ１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３１、Ｃ．
Ｉ．ピグメントオレンジ３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレ
ンジ３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４０、Ｃ．Ｉ．
ピグメントオレンジ４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ
４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５１、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントオレンジ５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５
９、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６１、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントオレンジ６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６５、
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７１、Ｃ．Ｉ．ピグメント
オレンジ７３などのオレンジ色顔料、Ｃ．Ｉ．ピグメン
トレッド９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９７、Ｃ．Ｉ．
ピグメントレッド１０５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１
２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２３、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントレッド１４４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４
９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントレッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７６、
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメント
レッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１９２、Ｃ．
Ｉ．ピグメントレッド２０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッ
ド２１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１６、Ｃ．Ｉ．
ピグメントレッド２２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２
４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグ
メンレッド２６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６５な
どの赤色顔料、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、Ｃ．
Ｉ．ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブ
ルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー６０などの青色顔料、Ｃ．
Ｉ．ピグメントバイオレット１、Ｃ．Ｉ．ピグメントバ
イオレット１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２
３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２９、Ｃ．Ｉ．ピ
グメントバイオレット３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオ
レット３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３８など
のバイオレット色顔料、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン
７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６などの緑色顔料、
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメント
ブラウン２５などのブラウン色顔料、Ｃ．Ｉ．ピグメン
トブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７などの黒
色顔料などが挙げられる。これらの有機顔料および無機
顔料は、それぞれ単独で用いてもよいし、２種以上を混
合して用いてもよい。

【００１０】本発明における顔料のうち有機顔料は、必
要に応じて、ロジン処理、酸性基または塩基性基が導入
された顔料誘導体などを用いた表面処理、高分子化合物
などによる顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法な
どによる微粒化処理、あるいは不純物を除去するための
有機溶剤や水などによる洗浄処理が施されていてもよ
い。該顔料の粒径としては、概ね１０ｎｍ以上１５０ｎ
ｍ以下程度が好ましい。

【００１１】着色剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物
に含まれる揮発成分が揮発した後の固形分に対して質量
分率で通常５質量％以上であり、十分に着色された着色
パターンを形成し得る点で１０質量％以上、さらには２
０質量％以上、特には３０質量％以上であり、通常６０
質量％以下、好ましくは５０質量％以下の範囲である。
また、着色剤として顔料を用いる場合、該顔料の使用量
は着色剤の全量に対して質量分率で通常５０質量％以
上、好ましくは５５質量％以上であって、着色剤の全量
（１００質量％）が顔料であってもよい。

【００１２】（Ｂ）バインダーポリマーとしては、アク
リル系共重合体が使用でき、例えば、カルボキシル基含
有モノマーおよびこれと共重合可能な他のモノマーとの
共重合体などが挙げられる。

【００１３】カルボキシル基含有モノマーとしては、例
えば、不飽和モノカルボン酸や、不飽和ジカルボン酸、
不飽和トリカルボン酸などの不飽和多価カルボン酸など
の分子中に少なくとも１個のカルボキシル基を有する不
飽和カルボン酸が挙げられる。ここで、不飽和モノカル
ボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、
クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸などが挙
げられる。不飽和ジカルボン酸としては、例えば、マレ
イン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコ
ン酸などが挙げられる。不飽和多価カルボン酸は、その
酸無水物、具体的には無水マレイン酸、無水イタコン
酸、無水シトラコン酸などであってもよい。また、不飽
和多価カルボン酸は、そのモノ（２−メタクリロイロキ
シアルキル）エステルであってもよく、具体的には、例
えば、こはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）、
こはく酸モノ（２−メタクリロイロキシエチル）、フタ
ル酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）、フタル酸モ
ノ（２−メタクリロイロキシエチル）などであってもよ
い。不飽和多価カルボン酸は、その両末端ジカルボキシ
ポリマーのモノ（メタ）アクリレートであってもよく、
具体的にはω−カルボキシポリカプロラクトンモノアク
リレート、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノメタ
クリレートなどであってもよい。該カルボキシル基含有
モノマーは、それぞれ単独でまたは２種以上を混合して
用いることができる。

【００１４】該カルボキシル基含有モノマーと共重合可
能な他のモノマーとしては、例えば、スチレン、α−メ
チルスチレン、ｏ−ビニルトルエン、ｍ−ビニルトルエ
ン、ｐ−ビニルトルエン、ｐ−クロルスチレン、ｏ−メ
トキシスチレン、ｍ−メトキシスチレン、ｐ−メトキシ
スチレン、ｏ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｍ−ビ
ニルベンジルメチルエーテル、ｐ−ビニルベンジルメチ
ルエーテル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、
ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベ
ンジルグリシジルエーテル、インデンなどの芳香族ビニ
ル化合物、メチルアクリレート、メチルメタクリレー
ト、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−
プロピルアクリレート、ｎ−プロピルメタクリレート、
ｉ−プロピルアクリレート、ｉ−プロピルメタクリレー
ト、ｎ−ブチルアクリレート、ｎ−ブチルメタクリレー
ト、ｉ−ブチルアクリレート、ｉ−ブチルメタクリレー
ト、ｓｅｃ−ブチルアクリレート、ｓｅｃ−ブチルメタ
クリレート、ｔ−ブチルアクリレート、ｔ−ブチルメタ
クリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−
ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロ
ピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレ
ート、３−ヒドロキシプロピルアクリレート、３−ヒド
ロキシプロピルメタクリレート、２−ヒドロキシブチル
アクリレート、２−ヒドロキシブチルメタクリレート、
３−ヒドロキシブチルアクリレート、３−ヒドロキシブ
チルメタクリレート、４−ヒドロキシブチルアクリレー
ト、４−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアク
リレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレー
ト、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレ
ート、シクロヘキシルメタクリレート、フェニルアクリ
レート、フェニルメタクリレート、２−メトキシエチル
アクリレート、２−メトキシエチルメタクリレート、２
−フェノキシエチルアクリレート、２−フェノキシエチ
ルメタクリレート、メトキシジエチレングリコールアク
リレート、メトキシジエチレングリコールメタクリレー
ト、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、メ
トキシトリエチレングリコールメタクリレート、メトキ
シプロピレングリコールアクリレート、メトキシプロピ
レングリコールメタクリレート、メトキシジプロピレン
グリコールアクリレート、メトキシジプロピレングリコ
ールメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソ
ボルニルメタクリレート、ジシクロペンタジエニルアク
リレート、ジシクロペンタジエニルメタクリレート、２
−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート、
２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルメタクリレー
ト、グリセロールモノアクリレート、グリセロールモノ
メタクリレートなどの不飽和カルボン酸エステル類、２
−アミノエチルアクリレート、２−アミノエチルメタク
リレート、２−ジメチルアミノエチルアクリレート、２
−ジメチルアミノエチルメタクリレート、２−アミノプ
ロピルアクリレート、２−アミノプロピルメタクリレー
ト、２−ジメチルアミノプロピルアクリレート、２−ジ
メチルアミノプロピルメタクリレート、３−アミノプロ
ピルアクリレート、３−アミノプロピルメタクリレー
ト、３−ジメチルアミノプロピルアクリレート、３−ジ
メチルアミノプロピルメタクリレートなどの不飽和カル
ボン酸アミノアルキルエステル類、グリシジルアクリレ
ート、グリシジルメタクリレートなどの不飽和カルボン
酸グリシジルエステル類、酢酸ビニル、プロピオン酸ビ
ニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニルなどのカルボン酸ビ
ニルエステル類、ビニルメチルエーテル、ビニルエチル
エーテル、アリルグリシジルエーテルなどの不飽和エー
テル類、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−
クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンなどのシ
アン化ビニル化合物、アクリルアミド、メタクリルアミ
ド、α−クロロアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエ
チルアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチルメタク
リルアミドなどの不飽和アミド類、マレイミド、Ｎ−フ
ェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドなど
の不飽和イミド類、１，３−ブタジエン、イソプレン、
クロロプレンなどの脂肪族共役ジエン類、ポリスチレ
ン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレー
ト、ポリ−ｎ−ブチルアクリレート、ポリ−ｎ−ブチル
メタクリレート、ポリシロキサンの重合体分子鎖の末端
にモノアクリロイル基あるいはモノメタクリロイル基を
有するマクロモノマー類などを挙げることができる。こ
れらのモノマーは、それぞれ単独でまたは２種以上を混
合して使用することができる。

【００１５】該共重合体におけるカルボキシル基含有モ
ノマー単位の含有量は、質量分率で通常１０質量％以上
５０質量％以下程度、好ましくは１５質量％以上４０質
量％以下程度、とりわけ好ましくは２５質量％以上４０
質量％以下程度である。該アクリル系重合体としては、
例えば、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレ
ート共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）
アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒド
ロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）
アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル
（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共
重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレ
ート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合
体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレー
ト／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）ア
クリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリメチル
メタクリレートマクロモノマー共重合体、（メタ）アク
リル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／
ベンジル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモ
ノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシ
エチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリ
レート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重
合体、メタクリル酸／スチレン／ベンジル（メタ）アク
リレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体、（メタ）
アクリル酸／こはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチ
ル）／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ−
フェニルマレイミド共重合体、（メタ）アクリル酸／こ
はく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）／スチレン
／アリル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミ
ド共重合体（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アク
リレート／Ｎ−フェニルマレイミド／スチレン／グリセ
ロールモノ（メタ）アクリレート共重合体などが挙げら
れる。なお、（メタ）アクリレートとは、アクリレート
またはメタクリレートであることを示す。

【００１６】中でも、（メタ）アクリル酸／ベンジル
（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／
ベンジルメタクリレート／スチレン共重合体、メチル
（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体、
メチル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／ス
チレン共重合体などが好ましく、とりわけ（メタ）アク
リル酸／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体が好ま
しい。

【００１７】該アクリル系重合体は、そのポリスチレン
換算重量平均分子量が３，０００〜４００，０００の範
囲であることが好ましく、より好ましくは５，０００〜
１００，０００の範囲であり、とりわけ好ましくは２
０，０００〜４０，０００である。該アクリル系重合体
は、その酸価が３０〜２５０であることが好ましく、よ
り好ましくは６０〜１８０の範囲であり、とりわけ好ま
しくは９０〜１６０の範囲である。ここで酸価とは、ア
クリル系重合体１ｇを中和するに必要な水酸化カリウム
の量（ｍｇ）として測定される値であり、通常は水酸化
カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めること
ができる。該バインダー樹脂は、着色感光性樹脂組成物
の固形分に対して質量分率で通常５質量％以上９０質量
％以下、好ましくは１０質量％以上８０質量％以下、と
りわけ好ましくは２０質量％以上７０質量％以下の範囲
で用いられる。

【００１８】（Ｃ）光重合性化合物は、光を照射される
ことによって光重合開始剤から発生した活性ラジカル、
酸などによって重合しうる化合物であって、例えば、重
合性の炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げ
られる。

【００１９】該光重合性化合物は、４官能以上の多官能
の光重合性化合物であることが好ましい。４官能以上の
多官能の光重合性化合物としては、例えば、ペンタエリ
スリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトール
テトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ
アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリ
レート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、
ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートなどが挙
げられる。

【００２０】着色感光性樹脂組成物における光重合性化
合物の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対し
て質量分率で通常１質量％以上６０質量％以下、好まし
くは３質量％以上５０質量％以下である。

【００２１】（Ｄ）光重合開始剤としては、光を照射さ
れることによって活性ラジカルを発生する活性ラジカル
発生剤、酸を発生する酸発生剤などが挙げられる。活性
ラジカル発生剤としては、例えば、アセトフェノン系化
合物、トリアジン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベン
ゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙
げられる。

【００２２】アセトフェノン系化合物としては、例え
ば、ジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−
メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジ
メチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−
〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン
−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケ
トン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチル
チオフェニル）プロパン−１−オン、２−ベンジル−２
−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブ
タン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−
〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−
オンのオリゴマーなどが挙げられる。

【００２３】トリアジン系化合物としては、例えば、
２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキ
シフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス
（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）
−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロ
メチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジン、
２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキ
シスチリル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス
（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン
−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、
２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラ
ン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、
２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−
ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−
１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメ
チル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エ
テニル〕−１，３，５−トリアジンなどが挙げられる。

【００２４】ベンゾイン系化合物としては、例えば、ベ
ンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチ
ルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾ
インイソブチルエーテルなどが挙げられる。

【００２５】ベンゾフェノン系化合物としては、例え
ば、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、
４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−
メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−
テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベン
ゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノンな
どが挙げられる。

【００２６】チオキサントン系化合物としては、例え
ば、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピ
ルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、
２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プ
ロポキシチオキサントンなどが挙げられる。

【００２７】活性ラジカル発生剤として、例えば、２，
４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオ
キサイド、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−
４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイ
ミダゾール、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、２
−エチルアントラキノン、ベンジル、９，１０−フェナ
ンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキ
シル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもで
きる。

【００２８】酸発生剤としては、例えば、４−ヒドロキ
シフェニルジメチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナ
ート、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘ
キサフルオロアンチモネート、４−アセトキシフェニル
ジメチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、４−
アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘ
キサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウ
ムｐ−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウ
ムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニ
ウムｐ−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウ
ムヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類
や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレー
ト類などを挙げることができる。

【００２９】また、活性ラジカル発生剤として上記した
化合物の中には、活性ラジカルと同時に酸を発生する化
合物もあり、例えば、トリアジン系光重合開始剤などの
活性ラジカル発生剤は、酸発生剤としても使用される。

【００３０】これらの光重合開始剤は、それぞれ単独で
または２種以上を組み合わせて用いることができる。該
光重合開始剤のなかでも、アセトフェノン系化合物、と
りわけ２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチル
チオフェニル）プロパン−１−オンや、トリアジン系化
合物、とりわけ２，４−ビス（トリクロロメチル）−６
−ピペロニル−１，３，５−トリアジンなどが好ましく
用いられる。

【００３１】着色感光性樹脂組成物における光重合開始
剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して
質量分率で通常１質量％以上２５質量％以下、好ましく
は３質量％以上２０質量％以下である。

【００３２】本発明の着色感光性樹脂組成物は、光重合
開始助剤を含有していてもよい。光重合開始助剤は、光
重合開始剤と組み合わせて用いられ、光重合性化合物の
重合を促進するために含有される化合物である。光重合
開始助剤としては、例えば、アミン系化合物、アルコキ
シアントラセン系化合物などが挙げられる。

【００３３】アミン系化合物としては、例えば、トリエ
タノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソ
プロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチ
ル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチル
アミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミ
ノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキ
シル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビ
ス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズ
ケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフ
ェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾ
フェノンなどが挙げられる。

【００３４】アルコキシアントラセン系化合物として
は、例えば、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−
エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０
−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジ
エトキシアントラセンなどが挙げられる。

【００３５】該光重合開始助剤を用いる場合、その使用
量は、光重合開始剤１モルあたり通常１０モル以下、好
ましくは０．０１モル以上５モル以下である。

【００３６】（Ｅ）溶剤としては、通常の着色感光性樹
脂組成物に用いられるものと同様の溶剤、例えば、エー
テル類、芳香族炭化水素類、ケトン類、アルコール類、
エステル類、アミド類などが挙げられる。

【００３７】エーテル類としては、例えば、テトラヒド
ロフラン、テトラヒドロピラン、１，４−ジオキサン、
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリ
コールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプ
ロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテ
ル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチ
レングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコ
ールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチ
ルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、
ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレン
グリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモ
ノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモ
ノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモ
ノプロピルエーテルアセテート、メチルセロソルブアセ
テート、エチルセロソルブアセテート、エチルカルビト
ールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロ
ピレングリコールメチルエーテルアセテート、メトキシ
ブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、アニ
ソール、フェネトール、メチルアニソールなどが挙げら
れる。芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、
トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。ケ
トン類としては、例えば、アセトン、２−ブタノン、２
−ヘプタノン、３−ヘプタノン、４−ヘプタノン、４−
メチル−２−ペンタノン、シクロヘキサノンなどが挙げ
られる。アルコール類としては、例えば、メタノール、
エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノー
ル、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセ
リンなどが挙げられる。エステル類としては、例えば、
酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸
アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン
酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチ
ル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オ
キシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチ
ル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキ
シ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチ
ル、３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピ
オン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−
メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン
酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキ
シプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチ
ル、２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプ
ロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、
２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロ
ピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２
−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ
−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−
メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチル
プロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エ
チル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト
酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブ
タン酸エチル、３−メトキシブチルアセテート、３−メ
チル−３−メトキシブチルアセテート、γ−ブチロラク
トンなどが挙げられる。アミド類としては、例えば、
Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセ
トアミドなどが挙げられる。その他の溶剤としては、例
えば、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホオキシド
などが挙げられる。

【００３８】該溶剤の中でも、３−メトキシプロピオン
酸メチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エト
キシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテー
ト、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテ
ル、酢酸ブチル、エチルカルビトールアセテート、ブチ
ルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチ
ルエーテルアセテート、２−ヘプタノンなどが好ましく
用いられる。

【００３９】該溶剤は、それぞれ単独でまたは２種類以
上を組み合わせて用いることができ、その使用量は溶剤
で希釈された状態の着色感光性樹脂組成物における含有
量が質量分率で通常５０質量％以上９０質量％以下、好
ましくは６０質量％以上８５質量％以下となる程度であ
る。

【００４０】着色感光性樹脂組成物は、着色剤として顔
料を含有する場合には、顔料分散剤を含有していてもよ
い。顔料分散剤を含有することにより、顔料を均一に分
散された状態で含有することができ、均一に着色された
着色パターンを得ることができる。該顔料分散剤として
は、例えば、ポリエステル系高分子分散剤、アクリル系
高分子分散剤、ポリウレタン系高分子分散剤などの分散
剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、ノ
ニオン系界面活性剤などの界面活性剤などが挙げられ、
それぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いられ
る。該顔料分散剤を含有する場合、その含有量は着色剤
１質量部あたり通常０．０１質量部以上、好ましくは
０．０５質量部以上であり、通常１質量部以下、好まし
くは０．５質量部以下である。

【００４１】着色感光性樹脂組成物は、充填剤、バイン
ダーポリマー（Ｂ）以外の高分子化合物、密着促進剤、
酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、有機酸、有機
アミノ化合物、硬化剤などの添加剤を含有していてもよ
い。

【００４２】充填剤としては、例えば、ガラス、アルミ
ナなどの微粒子が挙げられる。

【００４３】高分子化合物としては、例えば、ポリビニ
ルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコー
ルモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレ
ートなどが挙げられる。

【００４４】密着促進剤としては、例えば、ビニルトリ
メトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルト
リス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミ
ノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラ
ン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルト
リメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシ
ラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、
３−グリシドキシメチルジメトキシシラン、２−（３，
４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラ
ン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−
クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキ
シプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピ
ルトリメトキシシランなどが挙げられる。

【００４５】酸化防止剤としては、例えば、４，４’−
チオビス（６−ｔ−ブチル−３−メチルフェノール）、
２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−メチルフェノールなどが
挙げられる。

【００４６】紫外線吸収剤としては、例えば、２−（２
−ヒドロキシ−３−ｔ−ブチル−５−メチルフェニル）
−５−クロロベンゾトリアゾールなどのベンゾトリアゾ
ール系、２−ヒドロキシ−４−オクチルオキシベンゾフ
ェノンなどのベンゾフェノン系、２，４−ジ−ｔ−ブチ
ルフェニル−３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ
ベンゾエートなどのベンゾエート系などが挙げられる。

【００４７】凝集防止剤としては、例えば、ポリアクリ
ル酸ナトリウムなどが挙げられる。

【００４８】有機酸としては、例えば、蟻酸、酢酸、プ
ロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジ
エチル酢酸、エナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノ
カルボン酸類、しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタ
ル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライ
ン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチ
ルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テト
ラメチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタ
コン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコ
ン酸などの脂肪族ジカルボン酸類、トリカルバリル酸、
アコニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカルボン
酸類、安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、
メシチレン酸などの芳香族モノカルボン酸類、フタル
酸、イソフタル酸、テレフタル酸などの芳香族ジカルボ
ン酸類、トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン
酸、ピロメリット酸などの芳香族ポリカルボン酸類など
が挙げられる。

【００４９】有機アミノ化合物としては、例えば、ｎ―
プロピルアミン、ｉ−プロピルアミン、ｎ−ブチルアミ
ン、ｉ−ブチルアミン、ｓｅｃ−ブチルアミン、ｔ−ブ
チルアミン、ｎ−ペンチルアミン、ｎ−ヘキシルアミ
ン、ｎ−ヘプチルアミン、ｎ−オクチルアミン、ｎ−ノ
ニルアミン、ｎ−デシルアミン、ｎ−ウンデシルアミ
ン、ｎ−ドデシルアミンなどのモノアルキルアミン類、
シクロヘキシルアミン、２−メチルシクロヘキシルアミ
ン、３−メチルシクロヘキシルアミン、４−メチルシク
ロヘキシルアミンなどのモノシクロアルキルアミン類、
メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルｎ−プロ
ピルアミン、エチルｎ−プロピルアミン、ジｎ−プロピ
ルアミン、ジｉ−プロピルアミン、ジｎ−ブチルアミ
ン、ジｉ−ブチルアミン、ジｓｅｃ−ブチルアミン、ジ
ｔ−ブチルアミン、ジｎ−ペンチルアミン、ジｎ−ヘキ
シルアミンなどのジアルキルアミン類、メチルシクロヘ
キシルアミン、エチルシクロヘキシルアミンなどのモノ
アルキルモノシクロアルキルアミン類、ジシクロヘキシ
ルアミンなどのジシクロアルキルアミン類、ジメチルエ
チルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミ
ン、ジメチルｎ−プロピルアミン、ジエチルｎ−プロピ
ルアミン、メチルジｎ−プロピルアミン、エチルジｎ−
プロピルアミン、トリｎ−プロピルアミン、トリｉ−プ
ロピルアミン、トリｎ−ブチルアミン、トリｉ−ブチル
アミン、トリｓｅｃ−ブチルアミン、トリｔ−ブチルア
ミン、トリｎ−ペンチルアミン、トリｎ−ヘキシルアミ
ンなどのトリアルキルアミン類、ジメチルシクロヘキシ
ルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミンなどのジアル
キルモノシクロアルキルアミン類、メチルジシクロヘキ
シルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシク
ロヘキシルアミンなどのモノアルキルジシクロアルキル
アミン類、２−アミノエタノール、３−アミノ−１−プ
ロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、４−アミ
ノ−１−ブタノール、５−アミノ−１−ペンタノール、
６−アミノ−１−ヘキサノールなどのモノアルカノール
アミン類、４−アミノ−１−シクロヘキサノールなどの
モノシクロアルカノールアミン類、ジエタノールアミ
ン、ジｎ−プロパノールアミン、ジｉ−プロパノールア
ミン、ジｎ−ブタノールアミン、ジｉ−ブタノールアミ
ン、ジｎ−ペンタノールアミン、ジｎ−ヘキサノールア
ミンなどのジアルカノールアミン類、ジ（４−シクロヘ
キサノール）アミンなどのジシクロアルカノールアミン
類、トリエタノールアミン、トリｎ−プロパノールアミ
ン、トリｉ−プロパノールアミン、トリｎ−ブタノール
アミン、トリｉ−ブタノールアミン、トリｎ−ペンタノ
ールアミン、トリｎ−ヘキサノールアミンなどのトリア
ルカノールアミン類、トリ（４−シクロヘキサノール）
アミンなどのトリシクロアルカノールアミン類、３−ア
ミノ−１，２−プロパンジオール、２−アミノ−１，３
−プロパンジオール、４−アミノ−１，２−ブタンジオ
ール、４−アミノ−１，３−ブタンジオール、３−ジメ
チルアミノ−１，２−プロパンジオール、３−ジエチル
アミノ−１，２−プロパンジオール、２−ジメチルアミ
ノ−１，３−プロパンジオール、２−ジエチルアミノ−
１，３−プロパンジオールなどのアミノアルカンジオー
ル類、４−アミノ−１，２−シクロヘキサンジオール、
４−アミノ−１，３−シクロヘキサンジオールなどのア
ミノシクロアルカンジオール類、１−アミノシクロペン
タノンメタノール、４−アミノシクロペンタノンメタノ
ールなどのアミノ基含有シクロアルカノンメタノール
類、１−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−アミ
ノシクロヘキサノンメタノール、４−ジメチルアミノシ
クロペンタンメタノール、４−ジエチルアミノシクロペ
ンタンメタノール、４−ジメチルアミノシクロヘキサン
メタノール、４−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノ
ールなどのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類、
β−アラニン、２−アミノ酪酸、３−アミノ酪酸、４−
アミノ酪酸、２−アミノイソ酢酸、３−アミノイソ酢
酸、２−アミノ吉草酸、５−アミノ吉草酸、６−アミノ
カプロン酸、１−アミノシクロプロパンカルボン酸、１
−アミノシクロヘキサンカルボン酸、４−アミノシクロ
ヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸類、アニリ
ン、ｏ−メチルアニリン、ｍ−メチルアニリン、ｐ−メ
チルアニリン、ｐ−エチルアニリン、ｐ−ｎ−プロピル
アニリン、ｐ−ｉ−プロピルアニリン、ｐ−ｎ−ブチル
アニリン、ｐ−ｔ−ブチルアニリン、１−ナフチルアミ
ン、２−ナフチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、
Ｎ，Ｎ−ジエチルアニリン、ｐ−メチル−Ｎ，Ｎ−ジメ
チルアニリンなどの芳香族アミン類、ｏ−アミノベンジ
ルアルコール、ｍ−アミノベンジルアルコール、ｐ−ア
ミノベンジルアルコール、ｐ−ジメチルアミノベンジル
アルコール、ｐ−ジエチルアミノベンジルアルコールな
どのアミノベンジルアルコール類、ｏ−アミノフェノー
ル、ｍ−アミノフェノール、ｐ−アミノフェノール、ｐ
−ジメチルアミノフェノール、ｐ−ジエチルアミノフェ
ノールなどのアミノフェノール類、ｍ−アミノ安息香
酸、ｐ−アミノ安息香酸、ｐ−ジメチルアミノ安息香
酸、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸
類などが挙げられる。

【００５０】硬化剤としては、例えば、加熱されること
によってバインダーポリマー（Ｂ）中のカルボキシル基
と反応してバインダーポリマーを架橋することができる
化合物が挙げられる。また、それ単独で重合して着色パ
ターンを硬化させ得る化合物も挙げられる。該化合物と
しては、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物な
どが挙げられる。

【００５１】エポキシ化合物としては、例えば、ビスフ
ェノールＡ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＡ系
エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、水素
化ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、ノボラック型エポ
キシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキ
シ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系
樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポ
キシ樹脂や、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エ
ポキシ樹脂およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環
族または芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの（共）
重合体のエポキシ化物、イソプレンの（共）重合体のエ
ポキシ化物、グリシジル（メタ）アクリレートの（共）
重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げら
れる。

【００５２】オキセタン化合物としては、例えば、カー
ボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、
アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセ
タン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなど
が挙げられる。

【００５３】本発明の着色感光性組成物は、硬化剤とし
てエポキシ化合物、オキセタン化合物などを含有する場
合には、エポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合
物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んで
いてもよい。該化合物としては、例えば、多価カルボン
酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などが挙げら
れる。

【００５４】多価カルボン酸類としては、例えば、フタ
ル酸、３，４−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレ
フタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、１，４，
５，８−ナフタレンテトラカルボン酸、３，３’，４，
４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多
価カルボン酸類、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、
１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸、マレイン
酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸
類、ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒ
ドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒド
ロテレフタル酸、１，２，４−シクロペンタントリカル
ボン酸、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸、
シクロペンタンテトラカルボン酸、１，２，４，５−シ
クロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボ
ン酸類などが挙げられる。

【００５５】多価カルボン酸無水物類としては、例え
ば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリ
ット酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカ
ルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物
類、無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン
酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、
無水マレイン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボ
ン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類、無
水ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒド
ロフタル酸無水物、１，２，４−シクロペンタントリカ
ルボン酸無水物、１，２，４−シクロヘキサントリカル
ボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水
物、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸
二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環
族多価カルボン酸無水物類、エチレングリコールビスト
リメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水
物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げ
られる。

【００５６】カルボン酸無水物類として、エポキシ樹脂
硬化剤として市販されているものを用いてもよい。該エ
ポキシ樹脂硬化剤としては、例えば、商品名「アデカハ
ードナーＥＨ−７００」（旭電化工業(株)製）、商品名
「リカシッドＨＨ」（新日本理化(株)製）、商品名「Ｍ
Ｈ−７００」（新日本理化(株)製）などが挙げられる。

【００５７】該硬化剤は、それぞれ単独でまたは２種以
上を組み合わせて用いることができる。

【００５８】本発明における着色感光性樹脂組成物にお
いて、（Ａ）着色剤として顔料を用いた場合には、顔料
は通常、組成物中に分散されている。また、（Ａ）着色
剤として染料を用いた場合には、該染料は組成物中に分
散されていてもよいし、（Ｅ）溶剤に溶解されていても
よい。（Ｂ）バインダーポリマー、（Ｃ）光重合性化合
物および（Ｄ）光重合開始剤は、（Ｅ）溶剤に溶解され
ている。

【００５９】本発明の着色パターンの形成方法では、先
ず上記着色剤、バインダーポリマー、光重合性化合物、
光重合開始剤および溶剤を混合して着色感光性樹脂組成
物を得る。混合は、例えば、溶剤に着色剤、バインダー
ポリマー、光重合性化合物および光重合開始剤を加えれ
ばよい。

【００６０】また、着色剤を溶剤に分散または溶解させ
た着色剤液と、バインダーポリマー、光重合性化合物お
よび光重合開始剤を溶剤に溶解させた溶液とを混合して
もよい。着色剤液は、着色剤として顔料を用いる場合に
は、界面活性剤などを含有していてもよい。またバイン
ダーポリマーを含有していてもよい。

【００６１】このようにして着色感光性樹脂組成物を得
て、該着色感光性樹脂組成物を保存する。保存温度は１
５℃を越え３０℃以下であり、好ましくは１５℃を越え
２５℃以下である。保存温度が１５℃以下であったり、
３０℃を超えたりすると、保存中にゲル化物を生じてし
まう可能性がある。

【００６２】保存時間としては、通常１２時間以上であ
り、好ましくは２４時間以上である。１２時間未満で
は、表面が平滑な着色パターンを安定的に形成すること
が困難となる傾向にある。また、保存時間は長いほど表
面が平滑な着色パターンを安定的に形成できる点でよい
が、一方１月を超えるとゲル化物を生じ易い傾向があ
る。該保存時間は、工業的には、生産性の観点から、好
ましくは７日以内、さらに好ましくは３日以内である。
保存されている間、着色感光性樹脂組成物は、空気と接
触していることが好ましい。空気と接触した状態で着色
感光性樹脂組成物を保存するには、開放された容器、例
えば、ビーカー、栓を開けた状態のガラス瓶などの中で
保存すればよい。また、内容物を密閉し得る容器の中に
着色感光性樹脂組成物を充填してもよい。このとき、充
填率（容器の内容積に対する着色感光性樹脂組成物の容
積）を９０％以下として、着色感光性樹脂組成物が１０
０容量部あたり１０容量部以上の空気と接触した状態で
保存してもよい。

【００６３】保存後の着色感光性樹脂組成物から着色パ
ターンを形成するには、例えば、通常と同様に保存後の
着色感光性樹脂組成物をパターンニングすればよい。具
体的には、保存後の着色感光性樹脂組成物を基板（３）
の上に塗布し、（Ｅ）溶剤を除去して、着色感光性層
（４）を形成し（図２(a)）、該着色感光性層(４)を露
光したのち（図２(b)）、現像する方法によって形成さ
れる（図２(c)）。

【００６４】基板（３）としては、例えば、ガラス基
板、シリコン基板、ポリカーボネート基板、ポリエステ
ル基板、芳香族ポリアミド基板、ポリアミドイミド基
板、ポリイミド基板などの表面が平坦な基板が挙げられ
る。該基板は、シランカップリング剤などの薬品による
薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング処理、
スパッタリング処理、気相反応処理、真空蒸着処理など
の前処理が施されていてもよい。基板としてシリコン基
板などを用いる場合、該シリコンウェハーなどの表面に
は電荷結合素子（ＣＣＤ）、薄膜トランジスタ（ＴＦ
Ｔ、Thin Film Transistor）などが形成されていてもよ
い。

【００６５】着色感光性樹脂組成物を塗布するには、着
色感光性樹脂組成物を均一な厚みで基板上に塗布し得る
方法、例えば、回転塗布法（スピンコート法）、流延塗
布法、ロール塗布法、スリット＆スピンコート法などの
通常の方法で塗布すればよい。塗布後、（Ｅ）溶剤を除
去するには、例えば、加熱すればよい。こうして形成さ
れる着色感光性層（４）は、着色感光性樹脂組成物から
（Ｅ）溶剤などの揮発成分を除いた固形分からなる層で
ある。

【００６６】次いで、着色感光性層（４）を露光する
（図２(b)）。露光するには、例えば、フォトマスク
（５）を介して光線（６）を照射すればよい。光線
（６）としては通常、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線
（波長３６５ｎｍ）と呼ばれる紫外線などが用いられ
る。光線はフォトマスクを介して照射されるが、ここで
フォトマスク（５）は、例えば、ガラス板（５１）の表
面に光線を遮蔽する遮光層（５２）が設けられたもので
ある。ガラス板のうちの遮光層が設けられていない部分
は光線が透過する透光部（５３）であって、この透光部
のパターンに従ったパターンで着色感光性層（４）が露
光されて、光線が照射されなかった未照射領域（４１）
と、光線が照射された照射領域（４２）とが生ずる。照
射領域（４２）における光線の照射量は、用いた（Ａ）
着色剤の種類や含有量、（Ｂ）バインダーポリマーの重
量平均分子量、含有量、単量体単位組成、（Ｃ）光重合
性化合物の種類、含有量、（Ｄ）光重合開始剤の種類、
含有量などによって適宜選択される。

【００６７】露光後、現像する（図２(c)）。現像する
には、例えば、露光後の着色感光性層（４）を現像液と
接触させればよく、具体的にはその表面上に着色感光性
層（４）が形成された状態の基板（３）を現像液に浸漬
すればよい。現像液としては通常、アルカリ性水溶液が
用いられる。アルカリ性水溶液としては、例えば、炭酸
ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化
カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイ
ドなどのアルカリ性化合物の水溶液などが挙げられる。
現像によって、着色感光性層のうちの光線が照射されな
かった未照射領域（４１）は除去される。その一方で、
光線照射領域（４２）はそのまま残って着色パターン
（２）を構成する。

【００６８】現像後、通常は水洗し、乾燥することによ
り、目的とする着色パターン（２）を得ることができる
ができる。乾燥後、加熱してもよい。着色パターンを加
熱することによって硬度が増して、その機械的強度が向
上する傾向にあり、着色感光性樹脂組成物として硬化剤
を含有するものを用いた場合には、機械的強度をより向
上することができる。加熱温度は通常１８０℃以上、好
ましくは２００℃以上であり、通常２５０℃以下であ
る。

【００６９】このようにして着色パターン（２）が形成
された基板（３）の上に、さらに異なる色の着色剤を含
有して異なる色に着色された着色感光性樹脂組成物を塗
布し、溶剤を除去して、着色感光性層（４'）を形成し
（図３(a)）、該層（４'）を露光したのち（図３
(b)）、現像することによって（図３(c)）、さらに着色
パターン（２'）を形成することができる。さらに、異
なる色に着色された着色感光性樹脂組成物を用いて上記
操作を繰り返し行なうことによって、順次着色パターン
（２"）を形成することができ（図４）、着色パターン
（２）を有するカラーフィルター（１）を製造すること
ができる（図１）。

【００７０】

【実施例】以下、実施例によって本発明をより詳細に説
明するが、本発明は該実施例によって限定されるもので
はない。

【００７１】なお、各実施例および比較例で形成された
着色パターンの表面は、反射型光学顕微鏡により観察倍
率５００倍で観察して評価した。 実施例１ （赤色の着色感光性樹脂組成物）（Ｂ）メタクリル酸と
ベンジルメタクリレートとの共重合体〔メタクリル酸単
位とベンジルメタクリレート単位との比は物質量比（モ
ル比）で２７：７３、重量平均分子量は３０，０００、
酸価は１０２〕０．８６０質量部、（Ｃ）ジペンタエリ
スリトールヘキサアクリレート０．５４６質量部、
（Ｄ）光重合開始剤〔２−メチル−２−モルホリノ−１
−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン〕
０．０８２質量部、（Ｄ）光重合開始剤〔２，４−ビス
（トリクロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−
トリアジン〕０．０８２質量部、光重合開始助剤〔２，
４−ジエチルチオキサントン〕０．０８２質量部、
（Ｅ）プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテ
ート約６．０質量部を混合し完全に溶解させた後、
（Ａ）顔料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、粒径は
約３０〜４０ｎｍの範囲〕０．７９４質量部、（Ａ）顔
料〔Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、粒径は約３０
〜８０ｎｍの範囲〕０．２１１質量部、およびノニオン
系界面活性剤０．３５２質量部、及び、（Ｅ）プロピレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテート約６．０質
量部の混合液を加えることによりできた着色感光性樹脂
組成物をポア径１．５umのフィルターにて０．０２９４
ＭＰａ（０．３ｋｇｆ／ｃｍ²）のろ過圧にてろ過した
後、２３℃でガラス瓶に充填率７５％で充填し、封をし
て、同温度で１８時間静置した。 （赤色画素の形成）１８時間静置後の着色感光性樹脂組
成物を、ガラス基板（３）の上に塗布し、１００℃に３
分間加熱して溶剤を揮発させて、着色感光性層を形成し
た。形成された赤色画素の表面は平滑であった。 比較例１ （赤色画素の形成）実施例１で得た着色感光性樹脂組成
物を混合し、実施例１と同様にろ過した後、直ちにガラ
ス基板（３）の上に塗布し、１００℃に３分間加熱して
溶剤を揮発させて、着色感光性層を形成した。形成され
た赤色画素の表面は深さが２〜３μｍ程度の凹凸のある
ものであった。

【００７２】

【発明の効果】本発明のパターン形成方法によれば、表
面が平滑な着色パターンを安定的に形成することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】カラーフィルターの一例を示す模式図である。

【図２】着色パターンの形成工程を示す模式図である。

【図３】着色パターンの形成工程を示す模式図である。

【図４】着色パターンの形成工程を示す模式図である。

【符号の説明】

１：カラーフィルター ２ ：着色パターン ２ＢＭ：ブラ
ックマトリックス ２Ｒ ：赤色画素 ２’：着色パターン ２Ｇ ：緑色
画素 ２”：着色パターン ２Ｂ ：青色
画素 ３ ：基板 ３１：基板の
表面 ４ ：着色感光性樹脂組成物層 ４’：着色感光性樹脂組成物層 ４”：着色感光性樹脂組成物層 ５ ：フォトマスク ５１：ガラス
板 ５２：遮光層 ５３：透光部 ６：光線

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H025 AB13 AC01 AD01 BC14 BC42 CA01 CA28 CA48 CB13 CB14 CB43 CC03 CC11 FA01 FA03 FA17 2H048 BA11 BA45 BA47 BA48 BB02 2H096 AA28 BA05 BA20 CA20 EA02 GA08 JA02

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】（Ａ）着色剤、（Ｂ）バインダーポリマ
   ー、（Ｃ）光重合性化合物、（Ｄ）光重合開始剤および
   （Ｅ）溶剤を混合して着色感光性樹脂組成物を得て、該
   着色感光性樹脂組成物を、１５℃を越え３０℃以下の温
   度で１２時間以上保存したのちに基板の上に塗布し、溶
   剤を除去して着色感光性層を形成し、次いで該着色感光
   性層を露光し、現像することを特徴とする着色パターン
   の形成方法。
2. 【請求項２】着色感光性樹脂組成物１００容量部あたり
   １０容量部以上の空気と接触させた状態で着色感光性樹
   脂組成物を保存する請求項１に記載の形成方法。