JP2003156323A - 三次元形状測定装置 - Google Patents
三次元形状測定装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 物体の三次元形状を弾性体で支持された接触
式のプローブで走査することで形状を測定する測定装置
において、傾斜面においてもプローブが傾くことなく高
精度な形状測定を行うことを目的とする。 【構成】 複数個の弾性体で支持された接触式プローブ
を持つ三次元形状測定装置において、複数個の弾性体の
弾性率が異なるように構成されている。さらに複数個の
弾性体のうち、ワークに接触するプローブのよりワーク
に近い側に設置された弾性体がワークより遠い側に設置
された弾性体より弾性率が大きくなるように構成されい
る。
式のプローブで走査することで形状を測定する測定装置
において、傾斜面においてもプローブが傾くことなく高
精度な形状測定を行うことを目的とする。 【構成】 複数個の弾性体で支持された接触式プローブ
を持つ三次元形状測定装置において、複数個の弾性体の
弾性率が異なるように構成されている。さらに複数個の
弾性体のうち、ワークに接触するプローブのよりワーク
に近い側に設置された弾性体がワークより遠い側に設置
された弾性体より弾性率が大きくなるように構成されい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は弾性体によって支持
された接触式のプローブで測定対象物を走査すること
で、測定対象物の三次元形状を高精度に測定する三次元
形状測定装置に関する。
された接触式のプローブで測定対象物を走査すること
で、測定対象物の三次元形状を高精度に測定する三次元
形状測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、三次元面形状測定に搭載する接触
式プローブとして特開２０００−２９８０１３が開示さ
れている。前記従来例を第２図に示す。第２図におい
て、２０１は先端にワークと接触する球の付いたプロー
ブ軸、２０２はプローブ２０１が走査する測定対象ワー
ク、２０３はプローブホルダー、２０４と２０５はプロ
ーブ２０１をプローブホルダー２０３に保持するための
板バネである。２０６はプローブ２０１の位置を検出す
る変位計である。プローブホルダー２０３をＺ軸方向
（プローブ上下方向）に駆動し（駆動機構不図示）プロ
ーブ２０１をワーク２０２に接触させる。このときの板
バネ２０４、２０５の変位量が一定になるように、すな
わち、変位センサー２０６の出力が一定になるようにプ
ローブホルダー２０３のプローブ軸方向の位置を制御す
る。この状態でワーク２０２の表面をトレースし、プロ
ーブホルダー２０３及び、プローブ２０１の位置を測定
することで、ワーク２０２の三次元形状を測定すること
ができる。
式プローブとして特開２０００−２９８０１３が開示さ
れている。前記従来例を第２図に示す。第２図におい
て、２０１は先端にワークと接触する球の付いたプロー
ブ軸、２０２はプローブ２０１が走査する測定対象ワー
ク、２０３はプローブホルダー、２０４と２０５はプロ
ーブ２０１をプローブホルダー２０３に保持するための
板バネである。２０６はプローブ２０１の位置を検出す
る変位計である。プローブホルダー２０３をＺ軸方向
（プローブ上下方向）に駆動し（駆動機構不図示）プロ
ーブ２０１をワーク２０２に接触させる。このときの板
バネ２０４、２０５の変位量が一定になるように、すな
わち、変位センサー２０６の出力が一定になるようにプ
ローブホルダー２０３のプローブ軸方向の位置を制御す
る。この状態でワーク２０２の表面をトレースし、プロ
ーブホルダー２０３及び、プローブ２０１の位置を測定
することで、ワーク２０２の三次元形状を測定すること
ができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一般的に前記第二図の
従来例に示すような三次元測定装置における接触式プロ
ーブにおいて、板バネ２０４と２０５はプローブの軸方
向には極弱い力で変位し、プローブ軸と直交する方向に
はほとんど変位しない能力を求められる。すなわち、接
触式の形状測定では、板バネ２０４、２０５の変形量を
一定になるようにプローブホルダー２０３の位置を制御
しながらプローブ２０１をワークにトレースすること
で、ワークの形状を測定するが、このとき、板バネ２０
４、２０５の変形量がワークとプローブ２０１の接触圧
となる。一般に接触圧は小さい方がより好ましいので板
バネ２０４、２０５のプローブ軸方向の力は弱い方がよ
い。一方、第三図に傾斜面を接触式プローブがトレース
する様子を示す。第三図においてｆはプローブの接触点
が斜面から受ける力である。面が水平ならばプローブの
接触点から受ける力はＺ方向のみであるが、斜面の場合
は第三図のｆのようにＸ方向、つまりプローブ軸に直交
する方向にも働くことになる。プローブ２０１が第三図
のｆのようにＸ方向の力を受けたとき、プローブ２０１
のＸ方向の剛性、すなわち板バネ２０４、２０５のＸ方
向の剛性が弱いとプローブ２０１がプローブホルダー２
０３に対して傾いてしまう。このようにプローブ２０１
がプローブホルダー２０３に対して傾くと、変位センサ
ー２０６の出力が同じでもプローブ２０１とワーク２０
２の位置関係が変化し、プローブホルダー２０３とワー
ク２０２の距離も変化してしまい、形状測定が正しく行
われない。そこで、板バネ２０４と２０５には、プロー
ブ軸に直交する方向に変位しない力が求められるのであ
る。
従来例に示すような三次元測定装置における接触式プロ
ーブにおいて、板バネ２０４と２０５はプローブの軸方
向には極弱い力で変位し、プローブ軸と直交する方向に
はほとんど変位しない能力を求められる。すなわち、接
触式の形状測定では、板バネ２０４、２０５の変形量を
一定になるようにプローブホルダー２０３の位置を制御
しながらプローブ２０１をワークにトレースすること
で、ワークの形状を測定するが、このとき、板バネ２０
４、２０５の変形量がワークとプローブ２０１の接触圧
となる。一般に接触圧は小さい方がより好ましいので板
バネ２０４、２０５のプローブ軸方向の力は弱い方がよ
い。一方、第三図に傾斜面を接触式プローブがトレース
する様子を示す。第三図においてｆはプローブの接触点
が斜面から受ける力である。面が水平ならばプローブの
接触点から受ける力はＺ方向のみであるが、斜面の場合
は第三図のｆのようにＸ方向、つまりプローブ軸に直交
する方向にも働くことになる。プローブ２０１が第三図
のｆのようにＸ方向の力を受けたとき、プローブ２０１
のＸ方向の剛性、すなわち板バネ２０４、２０５のＸ方
向の剛性が弱いとプローブ２０１がプローブホルダー２
０３に対して傾いてしまう。このようにプローブ２０１
がプローブホルダー２０３に対して傾くと、変位センサ
ー２０６の出力が同じでもプローブ２０１とワーク２０
２の位置関係が変化し、プローブホルダー２０３とワー
ク２０２の距離も変化してしまい、形状測定が正しく行
われない。そこで、板バネ２０４と２０５には、プロー
ブ軸に直交する方向に変位しない力が求められるのであ
る。
【０００４】しかしながら、接触圧を小さくするために
板バネ２０４、２０５の厚みを薄くしたり、形状を変え
たりすると、プローブ軸に直交する方向も弱くなり、プ
ローブが傾いて測定に誤差が生じ、あるいはプローブが
傾かないようにプローブ軸に直交する方向の剛性を強く
した板バネを用いると接触圧が強くなってしまうといっ
た問題があった。
板バネ２０４、２０５の厚みを薄くしたり、形状を変え
たりすると、プローブ軸に直交する方向も弱くなり、プ
ローブが傾いて測定に誤差が生じ、あるいはプローブが
傾かないようにプローブ軸に直交する方向の剛性を強く
した板バネを用いると接触圧が強くなってしまうといっ
た問題があった。
【０００５】本発明はこうした問題を解決するために考
案された、弾性体によって支持された接触式のプローブ
で測定対象物を走査する三次元形状測定を高精度に測定
することを目的とした三次元形状測定装置である。
案された、弾性体によって支持された接触式のプローブ
で測定対象物を走査する三次元形状測定を高精度に測定
することを目的とした三次元形状測定装置である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】物体の三次元形状を２個
以上の弾性体で支持する接触式のプローブにて走査して
形状を測定する三次元形状測定装置において、前記接触
式プローブを支持する２個以上の弾性体の弾性率が異な
っていることを特徴とする。さらに、プローブ軸を支持
する２個以上の弾性体のうち、ワークに接触するプロー
ブのよりワークに近い側に設置された弾性体の弾性率の
方がよりワークより遠い所に設置された弾性体の弾性率
より大きいことを特徴とする。
以上の弾性体で支持する接触式のプローブにて走査して
形状を測定する三次元形状測定装置において、前記接触
式プローブを支持する２個以上の弾性体の弾性率が異な
っていることを特徴とする。さらに、プローブ軸を支持
する２個以上の弾性体のうち、ワークに接触するプロー
ブのよりワークに近い側に設置された弾性体の弾性率の
方がよりワークより遠い所に設置された弾性体の弾性率
より大きいことを特徴とする。
【０００７】プローブ軸を支持する２個以上の弾性体の
弾性率が異なり、さらに、プローブ軸を支持する２個以
上の弾性体のうち、ワークに接触するプローブのよりワ
ークに近い側に設置された弾性体の弾性率の方がよりワ
ークより遠い所に設置された弾性体の弾性率より大きく
することによって、プローブ軸の軸方向の弾性率を小さ
く押さえつつ、プローブ軸の軸と直交する方向には相対
的に弾性率を大きくすることが可能となる。これによっ
て、プローブの測定ワークへの接触圧を小さくしなが
ら、プローブが傾くことによって生じる形状測定誤差を
発生させることがない。
弾性率が異なり、さらに、プローブ軸を支持する２個以
上の弾性体のうち、ワークに接触するプローブのよりワ
ークに近い側に設置された弾性体の弾性率の方がよりワ
ークより遠い所に設置された弾性体の弾性率より大きく
することによって、プローブ軸の軸方向の弾性率を小さ
く押さえつつ、プローブ軸の軸と直交する方向には相対
的に弾性率を大きくすることが可能となる。これによっ
て、プローブの測定ワークへの接触圧を小さくしなが
ら、プローブが傾くことによって生じる形状測定誤差を
発生させることがない。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【０００９】
【実施例】第一図は本発明によるプローブ軸及びプロー
ブホルダーを合わせたプローブユニットの断面を表した
図である。
ブホルダーを合わせたプローブユニットの断面を表した
図である。
【００１０】第一図において、１０１はプローブで先端
に鋼球やルビー等の球が接着或いはバキューム等で１０
１に固定されている。１０２は被測定物でプローブ１０
１の先端球がこのワークの表面をトレースする。１０３
はプローブホルダー、１０４と１０５は板バネである。
プローブ１０１はプローブホルダー１０３に板バネ１０
４及び１０５を介して固定されており、板バネ１０４、
１０５が変形することによってプローブ１０１はＺ方向
に変位することが可能なように取り付けられている。本
実施例では、プローブ１０１をプローブホルダー１０３
に固定している板バネ１０４と板バネ１０５のうちのう
ちプローブ先端球、いいかえればワーク１０２に近い側
の板バネ１０４の厚みをワーク１０２より遠い側の板バ
ネ１０５よりも厚くしている。具体的には板バネ１０４
の厚みは１００μｍ、板バネ１０５の厚みは５０μｍで
ある。板バネ１０４の厚みを板バネ１０５よりも厚くす
ることによって板バネ１０４の方が弾性率の大きいバネ
となる。こうすることによって、ワーク１０２に近い板
バネ１０４は横方向の剛性すなわちＸ軸方向の剛性も強
くなる。しかし、Ｚ方向の剛性は板バネ１０４と１０５
の弾性率の合成なので板バネ１０４の厚みと同等のもの
を板バネ１０５に用いる場合よりも低くすることができ
る。本実施例の場合板バネ１０４と板バネ１０５の相違
は厚みだけでその他の形状は同じである。第４図は板バ
ネ１０４、板バネ１０５を上下方向すなわち、図１のＺ
方向から見た形状である。第４図において４０１の孔は
プローブ軸１０１を固定する部分、４０２の孔は板バネ
をワークホルダー１０３に固定する部分で、ワークホル
ダー１０３には３カ所で固定している。
に鋼球やルビー等の球が接着或いはバキューム等で１０
１に固定されている。１０２は被測定物でプローブ１０
１の先端球がこのワークの表面をトレースする。１０３
はプローブホルダー、１０４と１０５は板バネである。
プローブ１０１はプローブホルダー１０３に板バネ１０
４及び１０５を介して固定されており、板バネ１０４、
１０５が変形することによってプローブ１０１はＺ方向
に変位することが可能なように取り付けられている。本
実施例では、プローブ１０１をプローブホルダー１０３
に固定している板バネ１０４と板バネ１０５のうちのう
ちプローブ先端球、いいかえればワーク１０２に近い側
の板バネ１０４の厚みをワーク１０２より遠い側の板バ
ネ１０５よりも厚くしている。具体的には板バネ１０４
の厚みは１００μｍ、板バネ１０５の厚みは５０μｍで
ある。板バネ１０４の厚みを板バネ１０５よりも厚くす
ることによって板バネ１０４の方が弾性率の大きいバネ
となる。こうすることによって、ワーク１０２に近い板
バネ１０４は横方向の剛性すなわちＸ軸方向の剛性も強
くなる。しかし、Ｚ方向の剛性は板バネ１０４と１０５
の弾性率の合成なので板バネ１０４の厚みと同等のもの
を板バネ１０５に用いる場合よりも低くすることができ
る。本実施例の場合板バネ１０４と板バネ１０５の相違
は厚みだけでその他の形状は同じである。第４図は板バ
ネ１０４、板バネ１０５を上下方向すなわち、図１のＺ
方向から見た形状である。第４図において４０１の孔は
プローブ軸１０１を固定する部分、４０２の孔は板バネ
をワークホルダー１０３に固定する部分で、ワークホル
ダー１０３には３カ所で固定している。
【００１１】次に、１０６はレーザ測長器用の反射ミラ
ーである。１０７はプローブ軸のベースで、プローブホ
ルダー１０３が固定されている。プローブ軸ベース１０
７は、図には示していないが、上下方向すなわちＺ軸方
向に移動可能なようにＸＹ方向移動テーブル（不図示）
に支持されている。前記反射ミラー１０６は測定の基準
（不図示）からプローブ軸１０１及びプローブホルダー
１０３が固定されているプローブ軸ベース１０７のＺ方
向の移動距離をレーザ測長機で計測可能なように取り付
けられている。
ーである。１０７はプローブ軸のベースで、プローブホ
ルダー１０３が固定されている。プローブ軸ベース１０
７は、図には示していないが、上下方向すなわちＺ軸方
向に移動可能なようにＸＹ方向移動テーブル（不図示）
に支持されている。前記反射ミラー１０６は測定の基準
（不図示）からプローブ軸１０１及びプローブホルダー
１０３が固定されているプローブ軸ベース１０７のＺ方
向の移動距離をレーザ測長機で計測可能なように取り付
けられている。
【００１２】１０８はスケールでプローブ１０１に取り
付けられている。１０９はスケール１０８の位置を読み
とるセンサーでプローブホルダー１０３に固定されてい
る。スケール１０８は光学スケールであり、センサー１
０９によってプローブ軸１０１のプローブホルダー１０
３に対する位置を非接触で読みとることが可能である。
付けられている。１０９はスケール１０８の位置を読み
とるセンサーでプローブホルダー１０３に固定されてい
る。スケール１０８は光学スケールであり、センサー１
０９によってプローブ軸１０１のプローブホルダー１０
３に対する位置を非接触で読みとることが可能である。
【００１３】次に動作を説明する。ワーク１０２とプロ
ーブ１０１は始め離れており、不図示のコンピュータ或
いは制御装置からの指令でプローブ軸ベース１０７に設
けられているＺ軸方向の移動機構を駆動してワーク１０
２にプローブ１０１を接触させる。このとき板バネ１０
４と１０５がたわみ、プローブ軸１０１がプローブホル
ダー１０３に対して位置が変化する。この変化量をスケ
ール１０８とセンサー１０９からの信号で読みとり、あ
らかじめ決められた変化量のところでプローブ軸ベース
１０７のＺ軸方向の移動を停止させる。このときのセン
サー１０９の変化量が板バネ１０４と１０５をたわませ
たことによる接触圧となる。センサー１０９の出力が決
められた値になったところでプローブベース１０７を支
持しているＸＹ駆動機構（不図示）に指令を出し、ワー
ク１０２の形状を測定したい範囲を移動させる。このと
きプローブベース１０７のＺ軸方向の移動機構はセンサ
ー１０９からの出力があらかじめ決められた値のままに
なるようにＺ軸方向に制御する。この間、プローブ軸１
０１に取り付けられている反射ミラー１０６によってプ
ローブ軸１０１及びプローブベース１０７の測定基準に
対する位置をレーザ測長器によって随時測定していく。
このようにＸＹ方向に移動しながらプローブベース１０
７をＺ軸方向に制御し、反射ミラー１０６の位置をレー
ザ測長器で読みとっていくことによってワーク１０２の
３次元形状を測定することが出来る。
ーブ１０１は始め離れており、不図示のコンピュータ或
いは制御装置からの指令でプローブ軸ベース１０７に設
けられているＺ軸方向の移動機構を駆動してワーク１０
２にプローブ１０１を接触させる。このとき板バネ１０
４と１０５がたわみ、プローブ軸１０１がプローブホル
ダー１０３に対して位置が変化する。この変化量をスケ
ール１０８とセンサー１０９からの信号で読みとり、あ
らかじめ決められた変化量のところでプローブ軸ベース
１０７のＺ軸方向の移動を停止させる。このときのセン
サー１０９の変化量が板バネ１０４と１０５をたわませ
たことによる接触圧となる。センサー１０９の出力が決
められた値になったところでプローブベース１０７を支
持しているＸＹ駆動機構（不図示）に指令を出し、ワー
ク１０２の形状を測定したい範囲を移動させる。このと
きプローブベース１０７のＺ軸方向の移動機構はセンサ
ー１０９からの出力があらかじめ決められた値のままに
なるようにＺ軸方向に制御する。この間、プローブ軸１
０１に取り付けられている反射ミラー１０６によってプ
ローブ軸１０１及びプローブベース１０７の測定基準に
対する位置をレーザ測長器によって随時測定していく。
このようにＸＹ方向に移動しながらプローブベース１０
７をＺ軸方向に制御し、反射ミラー１０６の位置をレー
ザ測長器で読みとっていくことによってワーク１０２の
３次元形状を測定することが出来る。
【００１４】以上が、接触式プローブによる三次元形状
測定装置の動作である。
測定装置の動作である。
【００１５】本発明では板バネ１０４と板バネ１０５の
形状は厚み以外同じであるが、形状を変更することによ
って弾性率を変更しても良い。この場合も、板バネ１０
４の剛性を板バネ１０５よりも大きくする方が望まし
い。また、板バネの厚みは、板バネ１０４の厚みをｔ
１、板バネ１０５の厚みをｔ２としたとき、ほぼｔ１＝
２×ｔ２の関係になるように設定するのが望ましい。
形状は厚み以外同じであるが、形状を変更することによ
って弾性率を変更しても良い。この場合も、板バネ１０
４の剛性を板バネ１０５よりも大きくする方が望まし
い。また、板バネの厚みは、板バネ１０４の厚みをｔ
１、板バネ１０５の厚みをｔ２としたとき、ほぼｔ１＝
２×ｔ２の関係になるように設定するのが望ましい。
【００１６】また、本発明ではプローブ１０１をプロー
ブホルダー１０３に板バネ１０４と１０５の２個で支持
しているが、３個以上で支えても良い。このとき、プロ
ーブ軸に対して一番ワークに近い側でプローブをプロー
ブホルダーに支える板バネの厚みを厚くするか、剛性の
高い形状にするのが望ましい。
ブホルダー１０３に板バネ１０４と１０５の２個で支持
しているが、３個以上で支えても良い。このとき、プロ
ーブ軸に対して一番ワークに近い側でプローブをプロー
ブホルダーに支える板バネの厚みを厚くするか、剛性の
高い形状にするのが望ましい。
【００１７】また、本発明ではプローブ軸は上下方向で
ワーク１０２はプローブ１０１の下に位置しているが、
ワークが上にあり、プローブ軸１０１がワーク１０２へ
下から接近する構造でも良い。同様に、プローブ軸が上
下方向ではなく、左右方向、すなわちＸ軸方向、Ｙ軸方
向に移動する構造でも良い。このときもプローブ１０１
をローブホルダー１０３に支持するための板バネは、よ
りワークに近い側でプローブをプローブホルダーに支え
ている板バネの厚みを厚くするか、剛性の高い形状にす
るのが望ましい。
ワーク１０２はプローブ１０１の下に位置しているが、
ワークが上にあり、プローブ軸１０１がワーク１０２へ
下から接近する構造でも良い。同様に、プローブ軸が上
下方向ではなく、左右方向、すなわちＸ軸方向、Ｙ軸方
向に移動する構造でも良い。このときもプローブ１０１
をローブホルダー１０３に支持するための板バネは、よ
りワークに近い側でプローブをプローブホルダーに支え
ている板バネの厚みを厚くするか、剛性の高い形状にす
るのが望ましい。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、物体の三次元形状を２
個以上の弾性体で支持する接触式のプローブにて走査し
て形状を測定する三次元形状測定装置において、前記プ
ローブ軸を支持する２個以上の弾性体の弾性率が異な
り、さらに、プローブ軸を支持する２個以上の弾性体の
うち、ワークに接触するプローブのよりワークに近い側
に設置された弾性体の弾性率の方がよりワークより遠い
所に設置された弾性体の弾性率より大きくすること、さ
らには前記プローブ軸を支持する２個以上の弾性体が板
バネであり、ワークに接触するプローブのよりワークに
近い側に設置された板バネの厚みがよりワークより遠い
所に設置された板バネの厚みより厚くすることによっ
て、プローブ軸の軸方向の弾性率を小さく押さえつつ、
プローブ軸の軸と直交する方向には相対的に弾性率を大
きくすることが可能となる。これによって、プローブの
測定ワークへの接触圧を小さくしながら、プローブが傾
くことによって生じる形状測定誤差を発生させることが
無くなる。
個以上の弾性体で支持する接触式のプローブにて走査し
て形状を測定する三次元形状測定装置において、前記プ
ローブ軸を支持する２個以上の弾性体の弾性率が異な
り、さらに、プローブ軸を支持する２個以上の弾性体の
うち、ワークに接触するプローブのよりワークに近い側
に設置された弾性体の弾性率の方がよりワークより遠い
所に設置された弾性体の弾性率より大きくすること、さ
らには前記プローブ軸を支持する２個以上の弾性体が板
バネであり、ワークに接触するプローブのよりワークに
近い側に設置された板バネの厚みがよりワークより遠い
所に設置された板バネの厚みより厚くすることによっ
て、プローブ軸の軸方向の弾性率を小さく押さえつつ、
プローブ軸の軸と直交する方向には相対的に弾性率を大
きくすることが可能となる。これによって、プローブの
測定ワークへの接触圧を小さくしながら、プローブが傾
くことによって生じる形状測定誤差を発生させることが
無くなる。
【図１】本発明を実施した接触式三次元形状測定装置の
プローブ軸断面図である。
プローブ軸断面図である。
【図２】従来の接触式三次元形状装置のプローブ軸断面
図である。
図である。
【図３】接触式プローブが傾斜面に接触しているところ
の概念図である。
の概念図である。
【図４】本発明を実施した接触式三次元測定装置のプロ
ーブ軸を支持している板バネの形状図である。
ーブ軸を支持している板バネの形状図である。
１０１ プローブ
１０２ 被測定物
１０３ プローブホルダー
１０４，１０５ 板バネ
１０６ 反射ミラー
１０７ プローブ軸ベース
１０８ スケール
１０９ センサー
Claims (5)
- 【請求項１】 物体の三次元形状を２個以上の弾性体で
支持する接触式のプローブにて走査して形状を測定する
三次元形状測定装置において、前記接触式プローブを支
持する２個以上の弾性体の弾性率が異なっていることを
特徴とする三次元形状測定装置。 - 【請求項２】 請求項目１に記載の三次元形状測定装置
において、前記接触式プローブを支持する２個以上の弾
性体のうち、測定対象物に接触させるプローブ先端に、
より近い側に設置されている弾性体の弾性率が、測定対
象物に接触させるプローブの先端からより遠いところに
設置されている弾性体の弾性率よりも大きくなるような
構造もしくは形状を有することを特徴とする三次元形状
測定装置。 - 【請求項３】 請求項目１に記載の三次元形状測定装置
において、前記接触式プローブを支持する２個以上の弾
性体が板バネであることを特徴とする三次元形状測定装
置。 - 【請求項４】 請求項目３に記載の三次元形状測定装置
において、前記接触式プローブを支持する２個以上の板
バネの厚みが異なっていることを特徴とする三次元形状
測定装置。 - 【請求項５】 請求項目４に記載の三次元形状測定装置
において、前記接触式プローブを支持する２個以上の板
バネの厚みのうち、測定対象物に接触させるプローブ先
端に、より近い側に設置されている板バネの厚みが、測
定対象物に接触させるプローブの先端から、より遠いと
ころに設置されている板バネの厚みよりも厚いことを特
徴とする三次元形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001353139A JP2003156323A (ja) | 2001-11-19 | 2001-11-19 | 三次元形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001353139A JP2003156323A (ja) | 2001-11-19 | 2001-11-19 | 三次元形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003156323A true JP2003156323A (ja) | 2003-05-30 |
Family
ID=19165208
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001353139A Withdrawn JP2003156323A (ja) | 2001-11-19 | 2001-11-19 | 三次元形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003156323A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007139769A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-06-07 | Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg | 特に、薄層の厚さ測定装置用の測定プローブ |
-
2001
- 2001-11-19 JP JP2001353139A patent/JP2003156323A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007139769A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-06-07 | Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg | 特に、薄層の厚さ測定装置用の測定プローブ |
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| Date | Code | Title | Description |
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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