JP2003152394A - Extra member mounting apparatus - Google Patents
Extra member mounting apparatusInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ネジ軸とこれに螺
合するナットからなる送りネジ装置を有する別部材実装
機に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a separate member mounting machine having a feed screw device including a screw shaft and a nut screwed with the screw shaft.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体装置製造プロセスにおいて、基板
上に接着剤、クリーム半田、銀ペースト等を位置決めさ
れた所定の半導体素子搭載位置に塗布するディスペンサ
や半導体素子等の電子部品を基板上に搭載する部品マウ
ンタ及び基板上に回路パターン等を形成するためのスク
リーン印刷機等の基板上に別部材を付加する別部材実装
機が用いられる。2. Description of the Related Art In a semiconductor device manufacturing process, an electronic component such as a dispenser or a semiconductor element for applying an adhesive, cream solder, silver paste or the like on a predetermined predetermined semiconductor element mounting position is mounted on the substrate. There is used a component mounter and a separate member mounting machine such as a screen printing machine for forming a circuit pattern or the like on the substrate, which adds another member to the substrate.
【０００３】これらのディスペンサや部品マウンタ等の
別部材実装機は、それぞれＸＹ方向に移動可能な作業ヘ
ッドを備えている。ディスペンサの作業ヘッドは、接着
剤塗布ノズルを有し、基板上の所定の位置に移動して半
田ペースト等を塗布する。部品マウンタの作業ヘッド
は、吸着ノズルを有し、部品を吸着して基板上に搬送し
て位置決めされた位置に部品を搭載する。一方、スクリ
ーン印刷機の作業ヘッドは、Ｘ方向に移動可能なスキー
ジを有し、スクリーン上を摺接させて半田ペーストある
いはレジスト等を掻き延ばしてその下側に配設した基板
に半田を供給したりあるいは回路パターンを印刷形成す
る。Each of the separate member mounting machines such as the dispenser and the component mounter has a work head movable in the XY directions. The work head of the dispenser has an adhesive application nozzle and moves to a predetermined position on the substrate to apply a solder paste or the like. The work head of the component mounter has a suction nozzle, sucks the component, conveys it onto the substrate, and mounts the component at a position where it is positioned. On the other hand, the work head of the screen printing machine has a squeegee that can move in the X direction, slides on the screen to scrape solder paste, resist, etc., and supplies solder to the substrate arranged below it. Or, a circuit pattern is printed and formed.
【０００４】このような別部材実装機は、基台上にガイ
ドレールを備え、このガイドレールに沿って例えばＸ方
向に往復動作する移動台を設け、この移動台に例えば作
業ヘッドをさらにＹ方向に移動可能に取付けたものであ
る。Such a separate member mounting machine is provided with a guide rail on a base, and a movable table which reciprocates along the guide rail, for example, in the X direction is provided, and for example, a working head is further mounted on the movable table in the Y direction. It is attached so that it can be moved.
【０００５】このような作業ヘッドの移動台を往復移動
動作させるために、ネジ軸とこれに螺合するナットから
なる送りネジ装置が用いられている。In order to reciprocate the moving base of the working head, a feed screw device including a screw shaft and a nut screwed with the screw shaft is used.
【０００６】図１１は、従来の別部材実装機に援用され
る送りネジ装置の構成を示す。（Ａ）は平面図、（Ｂ）
は側面図である。（Ａ）に示すように、基台１上に２本
の平行なガイドレール２ａ，２ｂが設けられ、この一対
のガイドレール２ａ，２ｂ上に移動台３が矢印Ａのよう
に直線往復移動可能に装着される。（Ｂ）に示すよう
に、移動台３の下面にスライダ１１が備わり、各スライ
ダ１１の下端にガイドブロック１２が備わる。各ガイド
ブロック１２は、それぞれガイドレール２２ａ，２２ｂ
上に跨り、ガイドレール２２ａ，２２ｂ上を摺動して移
動台３をスライドさせる。FIG. 11 shows a structure of a feed screw device used in a conventional separate member mounting machine. (A) is a plan view, (B)
Is a side view. As shown in (A), two parallel guide rails 2a and 2b are provided on the base 1, and the movable table 3 can be linearly reciprocated as shown by an arrow A on the pair of guide rails 2a and 2b. Be attached to. As shown in (B), sliders 11 are provided on the lower surface of the moving table 3, and guide blocks 12 are provided at the lower ends of the sliders 11. Each guide block 12 has a guide rail 22a, 22b, respectively.
The movable table 3 is slid on the guide rails 22a and 22b by straddling the upper part.
【０００７】移動台３には作業ヘッド４が矢印Ｂのよう
にガイドレール２ａ，２ｂに対し直交する方向に移動可
能に取付けられる。基台１上に２本の平行なコンベヤ５
が備わり、各種処理を施すべき基板６を搬送する。A work head 4 is attached to the movable table 3 so as to be movable in a direction orthogonal to the guide rails 2a and 2b as shown by an arrow B. Two parallel conveyors 5 on the base 1
And carries the substrate 6 to be subjected to various treatments.
【０００８】２本のガイドレール２ａ，２ｂのうち一方
（図では２ａ）の側に偏倚してこのガイドレール２ａと
平行なネジ軸７が配設される。このネジ軸７の端部にモ
ータ８が結合され、ネジ軸７を回転駆動する。このネジ
軸７にナット９が螺合する。ナット９は、これに隣接す
るスライダ１０に固定され、このスライダ１１を介して
移動台３に連結固定される。A screw shaft 7 is provided which is biased to one side (2a in the figure) of the two guide rails 2a and 2b and is parallel to the guide rail 2a. A motor 8 is coupled to the end of the screw shaft 7 and drives the screw shaft 7 to rotate. A nut 9 is screwed onto the screw shaft 7. The nut 9 is fixed to a slider 10 adjacent to the nut 9, and is connected and fixed to the movable table 3 via the slider 11.
【０００９】モータ８によりネジ軸７を回転させること
により、ナット９がこのネジ軸７に沿って直線運動す
る。モータ８の正逆回転により、ネジ軸７の回転方向を
変化させることにより、ナット９の移動方向がこのネジ
軸７上で反転し、これに伴って移動台３がガイドレール
２に沿って矢印Ａのように往復移動する。When the screw shaft 7 is rotated by the motor 8, the nut 9 linearly moves along the screw shaft 7. By changing the rotation direction of the screw shaft 7 by the forward and reverse rotation of the motor 8, the moving direction of the nut 9 is reversed on the screw shaft 7, and accordingly, the moving base 3 is moved along the guide rail 2 by an arrow. It moves back and forth like A.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の送りネジ装置では、ネジ軸７が移動台３の一方の端
部側に偏倚して設けられ、このネジ軸７に螺合するナッ
ト９が、偏倚したネジ軸に近接した位置で移動台と連結
される。このため、このナット９の位置がそのまま移動
台３に対するネジ軸７による送り運動の作用点の位置と
なる。したがって、移動台３は、その長さ方向の中心
（両ガイドレール２間の中心）からずれた位置で往復移
動動作の駆動力を受ける。However, in the above-mentioned conventional feed screw device, the screw shaft 7 is provided so as to be biased to one end side of the moving base 3, and the nut 9 screwed to the screw shaft 7 is provided. , Is connected to the movable table at a position close to the biased screw shaft. Therefore, the position of the nut 9 becomes the position of the action point of the feed motion of the screw shaft 7 with respect to the moving table 3 as it is. Therefore, the moving base 3 receives the driving force of the reciprocating movement at a position deviated from the center in the length direction (the center between the guide rails 2).
【００１１】ここで、ネジ軸７からナット９を介して移
動台３に作用する駆動力は、移動台３に作用する瞬間
に、移動台３には、この駆動力と移動台３の重心に作用
する慣性力の２つの力が作用する。この２つの力は偶力
を発生する。この偶力により、移動台３のネジ軸７から
遠い方の端部は、図１１の矢印Ｃに示すように往復移動
方向に応じて揺動して振られる作用を受ける。このよう
な状態で移動台３がガイドレール２ａ，２ｂに沿って移
動すると、摩擦抵抗が大きくなり、円滑な摺動動作の妨
げになるとともに、ガイドレール及びガイドブロックの
摺接面が偏摩耗して位置決め精度の劣化の原因となる。
特に、ネジ軸７から遠い図の右側のガイドレール２ｂ及
びこれを挟むガイドブロック１２の側面に偶力による大
きな力が作用し、スライド動作への抵抗になるとともに
摩耗量が大きくなる。The driving force acting on the moving table 3 from the screw shaft 7 via the nut 9 is applied to the moving table 3 at the moment when it acts on the moving table 3 and the center of gravity of the moving table 3. Two forces, the acting inertial force, act. These two forces generate a couple. Due to this couple, the end of the moving table 3 that is farther from the screw shaft 7 is swung in accordance with the reciprocating direction, as shown by the arrow C in FIG. When the movable table 3 moves along the guide rails 2a and 2b in such a state, frictional resistance increases, which hinders smooth sliding operation and causes uneven wear on the sliding contact surfaces of the guide rail and the guide block. This will deteriorate the positioning accuracy.
In particular, a large force due to a couple acts on the side surface of the guide rail 2b on the right side of the drawing farther from the screw shaft 7 and the side surfaces of the guide block 12 that sandwiches the guide rail 2b, which becomes a resistance to the sliding operation and the wear amount increases.
【００１２】さらに言い換えて説明すると、ガイドレー
ルと移動台（ガイドブロック）との間のがた（隙間）は
０にはできないため、前述の偶力により、移動台３が重
心廻りに回動する。この回動した後においては（あるい
はがたが全くない場合には直ちに）、移動台３には、駆
動力、慣性力及び各ガイドレールからの反力が作用して
釣り合う。この場合、反力は駆動力と逆方向の摩擦力の
みでなく、こじれに対する抗力が加わったものとなる。In other words, since the rattling (gap) between the guide rail and the movable table (guide block) cannot be zero, the movable table 3 is rotated around the center of gravity by the couple. . After this rotation (or immediately when there is no rattling), the moving base 3 is balanced by the driving force, inertial force, and reaction force from each guide rail. In this case, the reaction force is not only the frictional force in the direction opposite to the driving force, but also the reaction force against the twisting.
【００１３】前述のように、ネジ軸の回転方向を変化さ
せる度にナット移動方向が反転し、移動台が反復回動す
る。このときガイドレールと移動台との間に隙間がない
としてもこじれは生じるため、その抗力が反転変化す
る。このようなガイドレールとの摺接部でのこじれに対
する抗力が原因でガイドレールの側面及びこれに摺接す
るガイドブロックに大きな偏摩耗が発生する。As described above, every time the rotation direction of the screw shaft is changed, the nut moving direction is reversed and the moving base is repeatedly rotated. At this time, even if there is no gap between the guide rail and the moving base, twisting occurs, and therefore the drag force reverses and changes. Due to the resistance against twisting at the sliding contact portion with the guide rail, large uneven wear occurs on the side surface of the guide rail and the guide block slidingly contacting the side surface.
【００１４】この偏摩耗が発生すると、表面実装機では
基板上所定位置に別部材である部品を吸着した吸着ノズ
ルを移動しようとしても位置がずれて部品を正しい位置
に装着できなかったりする。同様、ディスペンサにおい
ても基板上正しい位置に塗布ノズルを位置させることが
できず、基板上に正しくペースト状別部材を塗布するこ
とができなくなる。印刷機においては、スキージの基台
に対する姿勢が狂うことになり、ペースト状別部材を押
し広げることができない部分を作ってしまう。これらの
ように別部材実装機において、基板上に正しく別部材を
付加できなくなってしまう。When this uneven wear occurs, even if the surface mounting machine attempts to move the suction nozzle that sucks a component, which is a separate member, to a predetermined position on the substrate, the position shifts and the component cannot be mounted in the correct position. Similarly, even in the dispenser, the coating nozzle cannot be positioned at the correct position on the substrate, and the paste-shaped separate member cannot be correctly coated on the substrate. In the printing machine, the posture of the squeegee with respect to the base is changed, and a portion in which the paste-shaped separate member cannot be spread is created. As described above, in the separate member mounting machine, the separate member cannot be correctly added on the substrate.
【００１５】本発明は上記従来技術を考慮したものであ
って、一対の平行なガイドレールに沿って移動する移動
台に対する回転偶力を抑えて円滑な移動動作をさせると
ともに偏摩耗を軽減して位置決め精度の低下を防止し、
これによる基板上に正しく別部材を付加可能な別部材実
装機の提供を目的とする。The present invention has been made in consideration of the above-mentioned prior art, and suppresses the rotational couple to the movable table that moves along a pair of parallel guide rails to perform a smooth movement operation and reduce uneven wear. Prevents deterioration of positioning accuracy,
An object of the present invention is to provide a separate member mounting machine that can correctly add another member on a substrate.
【００１６】[0016]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明では、基台と、電子部品が搭載される基板が
固定される基板固定部の両側の基台上の部位に設けた２
本の平行なガイドレールと、このガイドレールに沿って
往復動作する移動台と、前記ガイドレール側に偏倚した
位置に配設されたネジ軸と、このネジ軸に螺合するとと
もに前記移動台に固定されたナットと、前記ネジ軸又は
ナットを回転させて該ナットを移動台とともに前記ネジ
軸に沿って直線動作させるためのモータとを有する送り
ネジ装置と、前記基板固定部に固定される基板に別部材
を付加する付加装置とを備えた別部材実装機において、
前記送りネジ装置は、前記ナットがアームを介して前記
移動台に固定され、このアームが前記ネジ軸より前記２
本のガイドレールの中央部側で前記移動台に連結された
ことを特徴とする別部材実装機を提供する。In order to achieve the above object, according to the present invention, two parts are provided on the base on both sides of a base and a board fixing portion to which a board on which an electronic component is mounted is fixed.
Parallel guide rails, a movable base that reciprocates along the guide rails, a screw shaft arranged at a position offset to the guide rail side, and a screw shaft that is screwed to the screw shaft and is attached to the movable base. A feed screw device having a fixed nut and a motor for rotating the screw shaft or the nut to linearly move the nut together with a moving base along the screw shaft, and a substrate fixed to the substrate fixing portion. In a separate member mounting machine equipped with an additional device for adding a separate member to
In the feed screw device, the nut is fixed to the movable table via an arm, and the arm is connected to the screw shaft from the screw shaft.
There is provided a separate member mounting machine characterized in that the guide rail of the book is connected to the movable table on the central side thereof.
【００１７】この構成によれば、２本のガイドレールの
中央から偏倚した位置に設けたネジ軸に対し、これに螺
合するナットと移動台とをアームを介して連結し、その
連結部を２本のガイドレールの中心側に設けたため、ネ
ジ軸からナットを介して移動台に作用する駆動力の作用
点が移動台の中心に近くなり、ガイドレールとの摺接部
分に作用する偶力が小さくなる。これにより、偶力の反
作用に基づく摩擦抗力が低減し、正逆反転時の揺動が抑
えられ、また正逆回転方向にかかわらず円滑な摺動動作
が達成され、偏摩耗を軽減して位置決め精度の低下を防
止することができる。According to this structure, the nut and the moving base screwed to the screw shafts provided at positions deviated from the centers of the two guide rails are connected via the arm, and the connecting portions are connected. Since it is provided on the center side of the two guide rails, the point of application of the driving force that acts on the moving base from the screw shaft via the nut becomes closer to the center of the moving base, and the couple force acting on the sliding contact portion with the guide rails. Becomes smaller. As a result, the frictional drag force due to the reaction of the couple is reduced, the swing at forward / reverse reversal is suppressed, and a smooth sliding operation is achieved regardless of the forward / reverse rotation direction, and uneven wear is reduced and positioning is performed. It is possible to prevent a decrease in accuracy.
【００１８】すなわち、移動台の重心とほぼ一致した移
動台の中央部に送り駆動力を作用させることにより、両
方のガイドレールに対しほぼ均等に駆動力が作用し、移
動時や方向反転時の移動台への偶力が軽減され、摺動抵
抗が小さくなって円滑な移動動作が得られるとともにガ
イドレールの摺動面の偏摩耗が抑制され高い位置決め精
度が維持される。That is, by applying the feed driving force to the central portion of the moving table which substantially coincides with the center of gravity of the moving table, the driving force acts on both guide rails substantially evenly, and when the moving or the direction is reversed. Coupled force to the moving table is reduced, sliding resistance is reduced, smooth moving operation is obtained, and uneven wear on the sliding surface of the guide rail is suppressed, and high positioning accuracy is maintained.
【００１９】好ましい構成例では、前記ネジ軸を基台に
対して軸芯廻りに回転可能に支持し、このネジ軸を前記
モータに連結して該ネジ軸を回転駆動することを特徴と
している。In a preferred configuration example, the screw shaft is rotatably supported on the base about an axis, and the screw shaft is connected to the motor to drive the screw shaft to rotate.
【００２０】この構成によれば、ネジ軸をその軸芯廻り
にモータで回転駆動し、このネジ軸に螺合するナットを
回転方向に固定することにより、このナットをネジ軸方
向に移動させることができる。According to this construction, the screw shaft is driven to rotate about its axis by the motor, and the nut screwed on the screw shaft is fixed in the rotational direction to move the nut in the screw axial direction. You can
【００２１】別の好ましい構成例では、前記ネジ軸を基
台に固定し、前記ナットを前記アームに対して回転可能
で且つ軸方向に固定して支持し、該アームに前記モータ
を設けるとともに該モータを前記ナットに連結して該ナ
ットを回転駆動することを特徴としている。In another preferred configuration example, the screw shaft is fixed to a base, the nut is rotatably and axially fixed and supported with respect to the arm, and the arm is provided with the motor and A motor is connected to the nut to drive the nut to rotate.
【００２２】この構成によれば、モータをアームに搭載
し、このアームにナットを回転可能に取り付けるととも
に、ネジ軸を基台側に固定し、ナットをモータで回転駆
動することにより、このナットをネジ軸に沿って移動さ
せることができる。According to this structure, the motor is mounted on the arm, the nut is rotatably attached to the arm, the screw shaft is fixed to the base side, and the nut is rotationally driven by the motor, whereby the nut is rotated. It can be moved along the screw axis.
【００２３】さらに好ましい構成例では、前記ネジ軸と
螺合するナットの軸方向の長さは、前記移動台の移動方
向の幅より長いことを特徴としている。In a further preferred configuration example, the axial length of the nut screwed with the screw shaft is longer than the width of the movable table in the moving direction.
【００２４】この構成によれば、ナットの軸方向長さが
これに連結される移動台の幅より長いため、移動台がナ
ットに対し堅固に結合されるとともに、ナットの往復移
動反転時の揺動角度が小さくなって、ナットのがたつき
が抑制され移動台が安定して支持され円滑な移動動作が
達成される。According to this structure, since the axial length of the nut is longer than the width of the moving base connected to the nut, the moving base is firmly connected to the nut and the rocking of the nut when the reciprocating movement is reversed. The movement angle becomes small, the rattling of the nut is suppressed, the movable base is stably supported, and a smooth movement operation is achieved.
【００２５】好ましい構成例では、前記送りネジ装置に
おいて前記ネジ軸及びナットをＸ方向のネジ軸及びナッ
トとし、前記付加装置は、前記移動台に設けられ前記Ｘ
方向のネジ軸と直行するＹ方向のネジ軸と、この方向の
ネジ軸に螺合してネジ軸上で往復移動するナットと、こ
のＹ方向のネジ軸のナットに支持させた作業ヘッドとか
ら構成し、作業ヘッドを移動台に対して移動可能とした
ことを特徴としている。In a preferred configuration example, in the feed screw device, the screw shaft and the nut are screw shafts and nuts in the X direction, and the additional device is provided on the movable table and the X-axis is provided.
From the Y-direction screw shaft orthogonal to the direction-direction screw shaft, a nut screwed to the direction-direction screw shaft to reciprocate on the screw shaft, and a work head supported by the Y-direction screw shaft nut. It is characterized in that the work head is movable with respect to the moving table.
【００２６】この構成によれば、Ｘ方向のネジ軸に平行
なガイドレールに沿ってＸ方向に往復動作する移動台に
対し、この移動台上でＹ方向のネジ軸に沿って作業ヘッ
ドを移動させることにより、基台上で作業ヘッドを円滑
に任意の位置に移動させることができる。According to this construction, the work head is moved along the screw axis in the Y direction on the movable table which reciprocates in the X direction along the guide rail parallel to the screw axis in the X direction. By doing so, the working head can be smoothly moved to an arbitrary position on the base.
【００２７】好ましい構成例では、前記基台上に基板固
定部を有する基板搬送路と、基板搬送路の基台上外方に
部品供給路を備え、前記作業ヘッドは、前記部品供給部
の部品を吸着して基板上に搬送し、その後吸着を解除し
て基板上に前記部品を装着する吸着ノズルを備えた表面
実装機を構成することを特徴としている。In a preferred configuration example, there is provided a board transfer path having a board fixing portion on the base and a component supply path outside the base of the board transfer path, and the working head is a part of the part supply section. Is mounted on the board by suction, and then the board is mounted on the board.
【００２８】この構成によれば、部品吸着ノズルを円滑
に高精度で基板上に位置合わせすることができ、特に、
移動台反転時の揺動による位置ずれが防止され、基板に
対する半導体素子の実装位置精度が向上する。According to this structure, the component suction nozzle can be smoothly and accurately aligned on the substrate.
Positional displacement due to rocking when the movable table is reversed is prevented, and the mounting position accuracy of the semiconductor element on the substrate is improved.
【００２９】別の好ましい構成例では、前記基台上に基
板固定部を有する基板搬送路を備え、前記作業ヘッド
は、基板上にペースト状別部材を塗布する塗布ノズルを
備えたディスペンサを構成することを特徴としている。In another preferred configuration example, a substrate transfer path having a substrate fixing portion is provided on the base, and the working head constitutes a dispenser having an application nozzle for applying the paste-like separate member onto the substrate. It is characterized by that.
【００３０】この構成によれば、塗布ノズルを円滑に高
精度で基板上に位置合せすることができ、特に、移動台
反転時の揺動による位置ずれが防止され、基板に対する
ペースト状別部材の塗布位置の精度が向上する。According to this structure, the coating nozzle can be smoothly aligned on the substrate with high accuracy, and in particular, the displacement due to the rocking at the time of reversing the moving table is prevented, and the paste-like separate member for the substrate is prevented. The accuracy of the coating position is improved.
【００３１】別の好ましい構成例では、前記移動台に設
けられたスキージを備え、前記基台上に配設した透し孔
を設けたスクリーン上のペースト状別部材を、前記スキ
ージを前記移動台と共に移動させて押し広げることで、
前記スクリーンの直下に設けた前記基板固定部の基板上
に透し孔を通過させてペースト状別部材を塗布するよう
にしたスクリーン印刷機を構成することを特徴としてい
る。In another preferred configuration example, the squeegee is provided on the moving table, and the paste-like separate member on the screen provided with the through hole provided on the base is used as the squeegee. By moving and pushing with
The screen printing machine is characterized in that a paste-like separate member is applied by passing through a through hole on the substrate of the substrate fixing portion provided immediately below the screen.
【００３２】この構成によれば、移動台に設けたスキー
ジをスクリーン上で円滑に往復摺動動作させてレジスト
や半田ペースト等の印刷剤を安定して掻き広げることが
でき、正しく基板上に印刷することができる。According to this construction, the squeegee provided on the moving table can be smoothly reciprocally slid on the screen to stably spread the printing agent such as the resist or the solder paste, so that the printing is properly performed on the substrate. can do.
【００３３】[0033]
【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
の形態について説明する。図１は本発明の実施形態の基
本構成図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図であ
る。基台２１上に２本の平行なガイドレール２２ａ，２
２ｂが設けられ、この一対のガイドレール２２ａ，２２
ｂ上に移動台２３が矢印Ａのように直線往復移動可能に
装着される。移動台２３には作業ヘッド２４が矢印Ｂの
ようにガイドレール２２ａ，２２ｂに対し直交する方向
に移動可能に取付けられる。基台２１上に２本の平行な
コンベヤ２５が備わり、各種処理を施すべき基板２６を
搬送する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a basic configuration diagram of an embodiment of the present invention, (A) is a plan view and (B) is a side view. Two parallel guide rails 22a, 2 on the base 21
2b is provided, and the pair of guide rails 22a, 22
The movable table 23 is mounted on the b so as to be linearly reciprocally movable as indicated by an arrow A. A work head 24 is attached to the movable table 23 so as to be movable in a direction orthogonal to the guide rails 22a and 22b as shown by an arrow B. Two parallel conveyors 25 are provided on the base 21 and convey the substrate 26 to be subjected to various kinds of processing.
【００３４】なお、基板２６のコンベヤ２５は、ガイド
レール２２ａ，２２ｂと直交する方向に配置することも
できる。The conveyor 25 for the substrate 26 may be arranged in a direction orthogonal to the guide rails 22a and 22b.
【００３５】２本のガイドレール２２ａ，２２ｂのうち
一方（図では２２ａ）の側に偏倚してこのガイドレール
２２ａと平行なネジ軸２７（ボールネジ）が配設され
る。このネジ軸２７の端部にモータ２８が結合され、ネ
ジ軸２７を回転駆動する。このネジ軸２７にナット２９
が螺合する。移動台２３は、２つのスライダ３１を介し
て各ガイドレール２２ａ，２２ｂ上に載置される。各ス
ライダ３１の下端部にそれぞれガイドレール２２ａ，２
２ｂを跨るガイドブロック３２が備わり、ガイドレール
２２ａ，２２ｂ上をスライドする。A screw shaft 27 (ball screw) which is biased to one side (22a in the figure) of the two guide rails 22a and 22b and is parallel to the guide rail 22a is disposed. A motor 28 is coupled to the end of the screw shaft 27 and drives the screw shaft 27 to rotate. This screw shaft 27 has a nut 29
Screw together. The movable table 23 is placed on each of the guide rails 22a and 22b via the two sliders 31. Guide rails 22a, 2 are provided at the lower end of each slider 31, respectively.
A guide block 32 that straddles 2b is provided and slides on the guide rails 22a and 22b.
【００３６】ナット２９は、アーム３３を介して移動台
２３に連結される。このアーム３３は、ネジ軸２７より
両ガイドレール２２ａ，２２ｂ間の中央部側で（好まし
くは中央で）移動台２３の下面に連結固定される。図の
例では、アーム３３は両ガイドレール２２ａ，２２ｂ間
のほぼ中央で連結部３４を介してボルト（不図示）等に
より移動台２３の下面に連結固定される。The nut 29 is connected to the movable table 23 via the arm 33. The arm 33 is connected and fixed to the lower surface of the movable table 23 at the central portion side (preferably at the central portion) between the guide rails 22a and 22b with respect to the screw shaft 27. In the illustrated example, the arm 33 is connected and fixed to the lower surface of the moving table 23 by a bolt (not shown) or the like via a connecting portion 34 at approximately the center between the guide rails 22a and 22b.
【００３７】モータ２８によりネジ軸２７を回転させる
ことにより、ナット２９がこのネジ軸２７に沿って直線
運動する。モータ２８の正逆回転により、ネジ軸２７の
回転方向を変化させることにより、ナット２９の移動方
向がこのネジ軸２７上で反転し、これに伴って移動台２
３がガイドレール２２ａ，２２ｂに沿って矢印Ａのよう
に往復移動する。When the screw shaft 27 is rotated by the motor 28, the nut 29 linearly moves along the screw shaft 27. By changing the rotation direction of the screw shaft 27 by the forward and reverse rotation of the motor 28, the moving direction of the nut 29 is reversed on the screw shaft 27, and accordingly, the moving base 2 is moved.
3 reciprocates along the guide rails 22a and 22b as indicated by arrow A.
【００３８】本実施形態においては、ネジ軸２７上を移
動するナット２９からアーム３３を介して移動台２３に
対し送り駆動力が作用する。移動台２３に対するこの送
り駆動力の作用位置は、アーム３３と移動台２３との連
結部３４であり、作用点は両ガイドレール２２ａ，２２
ｂ間のほぼ中央となって移動台２３の重心とほぼ一致す
る位置になる。In this embodiment, a feed driving force acts on the moving table 23 from the nut 29 moving on the screw shaft 27 via the arm 33. The position where the feed driving force acts on the movable table 23 is the connecting portion 34 between the arm 33 and the movable table 23, and the action point is on both guide rails 22a, 22.
The position is substantially in the center between points b and is substantially in the same position as the center of gravity of the movable table 23.
【００３９】このように移動台２３の重心とほぼ一致し
た移動台の中央部に送り駆動力を作用させることによ
り、両方のガイドレール２２ａ，２２ｂに対しほぼ均等
に駆動力が作用し、移動時や方向反転時の移動台への偶
力が軽減され、摺動抵抗が小さくなって円滑な移動動作
が得られるとともにガイドレール２２ａ，２２ｂとスラ
イダ３１のガイドブロック３２との間の摺動面の偏摩耗
が抑制され高い位置決め精度が維持される。By applying the feed driving force to the central portion of the moving table which substantially coincides with the center of gravity of the moving table 23 in this way, the driving force acts on both guide rails 22a and 22b substantially evenly, and when moving. And a couple force to the moving table at the time of reversing the direction is reduced, the sliding resistance is reduced and a smooth moving operation is obtained, and the sliding surface between the guide rails 22a and 22b and the guide block 32 of the slider 31 is reduced. Uneven wear is suppressed and high positioning accuracy is maintained.
【００４０】なお、ナット２９とは、アーム３３に設け
たメネジ形成部分（ネジ軸２７に螺合する部分）を指し
て言う。したがって、アーム３３と別体で形成したもの
をアーム３３に固定してもよいし、アーム３３との一体
部材にメネジを形成したものであってもよい。このナッ
ト２９の軸方向の長さ（メネジ部分の長さ）は、移動台
２３を確実に保持するとともに安定して移動動作できる
ように、ガイドレール２２ａ，２２ｂ間の幅や移動台２
３の移動方向の幅等を考慮して定める。好ましくは移動
台２３の幅の約半分以上、さらに好ましくは移動台の幅
以上の長さとする。The nut 29 refers to a female screw forming portion (a portion screwed to the screw shaft 27) provided on the arm 33. Therefore, a member formed separately from the arm 33 may be fixed to the arm 33, or a female screw may be formed as an integral member with the arm 33. The length of the nut 29 in the axial direction (the length of the female screw portion) has a width between the guide rails 22a and 22b and a moving base 2 so that the moving base 23 can be reliably held and stably moved.
It is determined in consideration of the width of 3 in the moving direction. The length is preferably about half the width of the movable table 23 or more, more preferably the width of the movable table or more.
【００４１】このようにナット２９の軸方向長さをこれ
に連結される移動台２３の幅より長くすることにより、
移動台２３がナット２９に対し堅固に結合されるととも
に、ナットの往復移動反転時の揺動角度が小さくなっ
て、ナット２９や移動台２３のがたつきが抑制され、移
動台２９が安定してガイドレール２２ａ，２２ｂに沿っ
て往復移動する。Thus, by making the axial length of the nut 29 longer than the width of the movable table 23 connected thereto,
The movable table 23 is firmly connected to the nut 29, and the swing angle when the reciprocating movement of the nut is reversed is reduced, so that rattling of the nut 29 and the movable table 23 is suppressed and the movable table 29 is stabilized. And reciprocates along the guide rails 22a and 22b.
【００４２】図２〜図５は、本発明の別部材実装機の一
つである接着剤、クリーム半田、銀ペースト等を基板に
塗布するディスペンサを示す。図２は平面図、図３は図
２のＡ−Ａ方向の正面図、図４は図２のＢ−Ｂ方向の側
面図、図５はアームの断面図である。2 to 5 show a dispenser for applying an adhesive, cream solder, silver paste or the like to a substrate, which is one of the separate member mounting machines of the present invention. 2 is a plan view, FIG. 3 is a front view in the AA direction of FIG. 2, FIG. 4 is a side view in the BB direction of FIG. 2, and FIG. 5 is a sectional view of the arm.
【００４３】図２に示すように、基台２１上に２本の平
行なＸ方向のガイドレール２２ａ，２２ｂが設置され、
これと平行にその一方２２ａの側に偏倚してボールネジ
からなるＸネジ軸３７が設けられる。Ｘネジ軸３７はＸ
モータ３８に連結され回転駆動される。Ｘネジ軸３７に
ナット２９が装着される。ナット２９は、これに固定さ
れた又はこれと一体のアーム３３を介して前述（図１）
のように移動台２３のほぼ中央部に連結固定される。こ
の例では、連結部３４で６本のボルト３９によりアーム
３３が移動台２３のほぼ中央部に連結される。移動台２
３は、スライダ３５及びその下端部のガイドブロック３
６を介してそれぞれ２本のガイドレール２２ａ，２２ｂ
上に支持され、Ｘ方向に往復移動する。As shown in FIG. 2, two parallel X-direction guide rails 22a and 22b are installed on the base 21.
In parallel with this, an X screw shaft 37 formed of a ball screw is provided so as to be biased toward the one side 22a. X screw shaft 37 is X
It is connected to the motor 38 and driven to rotate. The nut 29 is attached to the X screw shaft 37. The nut 29 is described above (FIG. 1) via the arm 33 fixed to or integral with the nut 29.
As shown in FIG. In this example, the arm 33 is connected to the substantially central portion of the movable table 23 by the six bolts 39 at the connecting portion 34. Mobile stand 2
3 is a slider 35 and a guide block 3 at its lower end.
Two guide rails 22a and 22b via 6 respectively
It is supported above and moves back and forth in the X direction.
【００４４】この移動台２３にＹ方向のボールネジから
なるＹネジ軸４０が装着される。Ｙネジ軸４０の端部に
Ｙモータ４５が連結される。このＹネジ軸４０にナット
４１（図４参照）を介してヘッドユニット４２がＹ方向
に往復移動可能に装着される。ヘッドユニット４２は、
位置決め用のカメラ４３と接着剤やクリーム半田等を基
板２６に供給する２個のノズルヘッド４４とを備えてい
る。A Y screw shaft 40 made of a ball screw in the Y direction is mounted on the movable table 23. A Y motor 45 is connected to an end of the Y screw shaft 40. A head unit 42 is reciprocally mounted on the Y screw shaft 40 via a nut 41 (see FIG. 4) in the Y direction. The head unit 42 is
It is provided with a positioning camera 43 and two nozzle heads 44 for supplying an adhesive, cream solder or the like to the substrate 26.
【００４５】移動台２３の下方の基台２１上に２本の平
行なコンベヤ２５が、この例ではＸ方向に配設される。
このコンベヤ２５上に、接着剤を塗布すべき基板２６が
搭載される。両コンベヤ２５間の間隔は基板２６に対応
して変更可能である。Two parallel conveyors 25 are arranged in the X direction on the base 21 below the moving base 23 in this example.
A substrate 26 to which an adhesive is applied is mounted on the conveyor 25. The distance between both conveyors 25 can be changed according to the substrate 26.
【００４６】図３に示すように、ヘッドユニット４２
は、Ｙネジ軸４０の回転により移動台２３のガイド４６
に沿って往復移動する。各ノズルヘッド４４の下端には
接着剤を吐出するノズル４７が基板２６に対向して備わ
る。基板２６を搬送する一方のコンベヤ２５は、ガイド
ブロック４８を介してガイドレール４９上をスライド可
能であり、基板２６の大きさに応じて、両コンベヤ２５
間の間隔を調整することができる。５０は、電源や制御
ケーブルあるいは接着剤供給ホース（不図示）等を保持
するケーブルダクトである。As shown in FIG. 3, the head unit 42
Is rotated by the Y-screw shaft 40 to guide the guide 46 of the movable table 23.
Move back and forth along. At the lower end of each nozzle head 44, a nozzle 47 for ejecting an adhesive is provided so as to face the substrate 26. One of the conveyors 25 that conveys the board 26 is slidable on a guide rail 49 via a guide block 48. Depending on the size of the board 26, both conveyors 25
The spacing between can be adjusted. Reference numeral 50 is a cable duct that holds a power supply, a control cable, an adhesive supply hose (not shown), and the like.
【００４７】図４に示すように、ヘッドユニット４２
は、これと一体結合されたナット４１を介してＹネジ軸
４０に装着され、移動台２３に対しＹ方向にスライド可
能である。各ノズルヘッド４４は、Ｚモータ５１により
矢印Ｄのように上下方向に往復移動して高さ調整可能で
ある。移動台２３は、略三角形状のスライダ３５上に搭
載され、スライダ３５の下端の２個のガイドブロック３
６がガイドレール２２ａ，２２ｂ上をスライドしてＸ方
向に往復移動する。As shown in FIG. 4, the head unit 42
Is attached to the Y screw shaft 40 via a nut 41 integrally connected thereto, and is slidable in the Y direction with respect to the moving table 23. The height of each nozzle head 44 can be adjusted by reciprocating in the vertical direction by the Z motor 51 as shown by arrow D. The moving table 23 is mounted on a slider 35 having a substantially triangular shape, and the two guide blocks 3 at the lower end of the slider 35 are mounted.
6 slides on the guide rails 22a and 22b and reciprocates in the X direction.
【００４８】図５に示すように、アーム３３は、Ｘネジ
軸３７に螺合するナット２９を一体に備えたＬ字断面形
状であって、根元部３３ａが端部の連結部３４より薄く
なるように段差が形成される。連結部３４には、６本の
ボルト３９（図２）が挿通するボルト取付孔５２が形成
される。なお、ノズルヘッド４４は１個や３個以上でも
良い。さらに、スライダ３５は三角形状以外の形状でも
よい。なおさらに、Ｘネジ軸３７に螺合するナット２９
の幅を移動台２３の幅より大きくしても良い。これによ
りより偏摩耗を減少することができる。As shown in FIG. 5, the arm 33 has an L-shaped cross section integrally provided with a nut 29 that is screwed onto the X screw shaft 37, and the root portion 33a is thinner than the connecting portion 34 at the end portion. Thus, a step is formed. Bolt mounting holes 52 through which six bolts 39 (FIG. 2) are inserted are formed in the connecting portion 34. The number of nozzle heads 44 may be one or three or more. Further, the slider 35 may have a shape other than the triangular shape. Furthermore, the nut 29 screwed onto the X screw shaft 37.
The width may be larger than the width of the movable table 23. As a result, uneven wear can be further reduced.
【００４９】図６〜図８は、本発明の別の別部材実装機
となる部品マウンタを示し、図６は平面図、図７は正面
図、図８はヘッド部分の断面図である。ここで、図６は
便宜的にコンベア２５を上下方向に図示したが、左方が
部品マウンタの正面であり、部品マウンタを正面から見
て右手方向、すなわち図７における右手方向は、図６に
おいては下方方向となる。6 to 8 show a component mounter which is another component mounting machine of the present invention. FIG. 6 is a plan view, FIG. 7 is a front view, and FIG. 8 is a sectional view of a head portion. Here, although FIG. 6 illustrates the conveyor 25 in the vertical direction for convenience, the left side is the front surface of the component mounter, and the right hand direction when the component mounter is viewed from the front, that is, the right hand direction in FIG. Is in the downward direction.
【００５０】図６に示すように、基台２１上に２本の平
行なＸ方向のガイドレール２２ａ，２２ｂが設置され、
これと平行にその一方２２ｂの側に偏倚してＸネジ軸３
７が設けられる。Ｘネジ軸３７はＸモータ３８に連結さ
れ回転駆動される。３８ａはエンコーダである。Ｘネジ
軸３７に、前述（図１）のようにアーム３３と一体化さ
れたナット２９が装着される。ナット２９は、これに固
定された又はこれと一体のアーム３３を介して、前述の
ように、６本のボルト３９により移動台２３のほぼ中央
部に連結固定される。移動台２３は、ガイドブロック３
６を介してそれぞれ２本のガイドレール２２ａ，２２ｂ
上に支持され、Ｘ方向に往復移動する。As shown in FIG. 6, two parallel X-direction guide rails 22a and 22b are installed on the base 21.
In parallel with this, the X screw shaft 3
7 is provided. The X screw shaft 37 is connected to an X motor 38 and driven to rotate. 38a is an encoder. The nut 29 integrated with the arm 33 is mounted on the X screw shaft 37 as described above (FIG. 1). As described above, the nut 29 is connected and fixed to substantially the central portion of the movable table 23 by the six bolts 39 via the arm 33 fixed to or integral with the nut 29. The movable table 23 is a guide block 3
Two guide rails 22a and 22b via 6 respectively
It is supported above and moves back and forth in the X direction.
【００５１】この移動台２３にＹ方向のＹネジ軸４０が
装着される。Ｙネジ軸４０の端部にＹモータ４５が連結
される。４５ａはエンコーダである。このＹネジ軸４０
にナット４１（図８参照）を介してヘッドユニット５３
がＹ方向に往復移動可能に装着される。ヘッドユニット
５３は、部品吸着用の複数のノズルヘッド５４を備えて
いる。A Y-screw shaft 40 in the Y-direction is mounted on the moving table 23. A Y motor 45 is connected to an end of the Y screw shaft 40. 45a is an encoder. This Y screw shaft 40
To the head unit 53 via the nut 41 (see FIG. 8).
Is mounted so as to be capable of reciprocating in the Y direction. The head unit 53 includes a plurality of nozzle heads 54 for sucking components.
【００５２】移動台２３の下方の基台２１上に２本の平
行なコンベヤ２５が、この例ではＹ方向に配設される。
このコンベヤ２５上に、部品を実装すべき基板２６が搭
載される。両コンベヤ２５間の間隔は基板２６に対応し
て変更可能である。Two parallel conveyors 25 are arranged in the Y direction on the base 21 below the moving base 23 in this example.
A board 26 on which components are to be mounted is mounted on the conveyor 25. The distance between both conveyors 25 can be changed according to the substrate 26.
【００５３】基板２６の両側に、多数の帯状テープ上に
部品（不図示）を備えたテープフィーダ５５が配設され
る。このテープフィーダ５５上の部品がノズルヘッド５
４で吸着され基板２６上の所定位置に搬送されて実装さ
れる。On both sides of the substrate 26, tape feeders 55 having parts (not shown) on a large number of strip-shaped tapes are arranged. The parts on this tape feeder 55 are the nozzle head 5
4 is sucked and conveyed to a predetermined position on the substrate 26 to be mounted.
【００５４】図７に示すように、ヘッドユニット５３
は、Ｙネジ軸４０の回転により移動台２３のガイド４６
に沿って往復移動する。各ノズルヘッド５４の下端には
部品を吸着して基板２６上に搬送する吸着ノズル５６が
基板２６に対向して備わる。各ノズルヘッド５４は、真
空ホース（不図示）を介して真空ポンプ等の負圧供給手
段に連結される。ヘッドユニット５３上には、不図示の
電源や制御ケーブルあるいは真空ホース等を保持するケ
ーブルダクト５７が備わる。As shown in FIG. 7, the head unit 53
Is rotated by the Y-screw shaft 40 to guide the guide 46 of the movable table 23.
Move back and forth along. At the lower end of each nozzle head 54, a suction nozzle 56 that sucks a component and conveys it onto the substrate 26 is provided so as to face the substrate 26. Each nozzle head 54 is connected to a negative pressure supply means such as a vacuum pump via a vacuum hose (not shown). On the head unit 53, a cable duct 57 for holding a power supply, a control cable, a vacuum hose and the like (not shown) is provided.
【００５５】図８に示すように、ヘッドユニット５３
は、これと一体結合されたナット４１を介してＹネジ軸
４０に装着され、移動台２３に対しＹ方向にスライド可
能である。移動台２３の下面にアーム３３（図７）の連
結部３４がボルト３９で固定される。各ノズルヘッド５
４は不図示の昇降手段及び回転手段により、上下動作及
び回転動作が可能である。As shown in FIG. 8, the head unit 53
Is attached to the Y screw shaft 40 via a nut 41 integrally connected thereto, and is slidable in the Y direction with respect to the moving table 23. The connecting portion 34 of the arm 33 (FIG. 7) is fixed to the lower surface of the moving table 23 with a bolt 39. Each nozzle head 5
4 can be moved up and down and rotated by unillustrated elevating means and rotating means.
【００５６】図９及び図１０は、本発明の別の別部材実
装機となるスクリーン印刷機を示し、図９は平面図、図
１０は側面図である。9 and 10 show a screen printing machine which is another machine for mounting different members of the present invention. FIG. 9 is a plan view and FIG. 10 is a side view.
【００５７】図９に示すように、基台２１上に２本の平
行なＸ方向のガイドレール２２ａ，２２ｂが設置され、
これと平行にその一方２２ａの側に偏倚してＸネジ軸３
７が設けられる。Ｘネジ軸３７はＸモータ３８に連結さ
れ回転駆動される。３８ａはエンコーダである。Ｘネジ
軸３７に、前述（図１）のようにアーム３３と一体化さ
れたナット２９が装着される。ナット２９は、このアー
ム３３の連結部３４を介して、移動台２３のほぼ中央部
に連結固定される。移動台２３は、ガイドブロック（不
図示）を介してそれぞれ２本のガイドレール２２ａ，２
２ｂ上に支持され、Ｘ方向に往復移動する。As shown in FIG. 9, two parallel X-direction guide rails 22a and 22b are installed on the base 21.
In parallel to this, the X screw shaft 3 is biased toward the one side 22a.
7 is provided. The X screw shaft 37 is connected to an X motor 38 and driven to rotate. 38a is an encoder. The nut 29 integrated with the arm 33 is mounted on the X screw shaft 37 as described above (FIG. 1). The nut 29 is connected and fixed to substantially the center of the movable table 23 via the connecting portion 34 of the arm 33. The moving table 23 includes two guide rails 22a, 2 via guide blocks (not shown).
It is supported on 2b and reciprocates in the X direction.
【００５８】この移動台２３に、実質上その長さ方向
（Ｙ方向）のほぼ全体に渡る印刷ヘッドユニット５８が
備わる。この印刷ヘッドユニット５８は、移動台２３上
に固定したＺモータ５９及び及びこれに連結された昇降
機構６０によりユニット全体が昇降動作可能である。こ
の印刷ヘッドユニット５８の両端にそれぞれ２個のスキ
ージ駆動用のアクチュエータ６１が備わる。各アクチュ
エータ６１は、２個ずつ一対となって、それぞれＸ方向
に並んだ２つのスキージ６２の一方を昇降動作させる。
スキージ６２の下方の基台２１上に印刷用のスクリーン
６３が取付けられる。The movable table 23 is provided with a print head unit 58 substantially over the entire lengthwise direction (Y direction). The entire print head unit 58 can be moved up and down by a Z motor 59 fixed on the moving table 23 and an elevating mechanism 60 connected thereto. Two squeegee driving actuators 61 are provided at both ends of the print head unit 58. Each of the actuators 61 forms a pair with two actuators, and raises or lowers one of the two squeegees 62 arranged in the X direction.
A screen 63 for printing is attached on the base 21 below the squeegee 62.
【００５９】図１０に示すように、スクリーン６３上で
Ｘ方向に往復動作するスキージ６２は、往復の移動方向
に応じていずれか一方のみをスクリーン６３に摺接させ
て使用するように下端部が反対方向に傾斜している。ス
クリーン６３の下方の基台２１上にＸＹステージ６５が
備わり、このＸＹステージ６５上に基板２６を支持する
印刷テーブル６４が搭載される。As shown in FIG. 10, the squeegee 62 that reciprocates in the X direction on the screen 63 has a lower end portion so that only one of the squeegees 62 is slidably contacted with the screen 63 according to the reciprocating movement direction. It is tilted in the opposite direction. An XY stage 65 is provided on the base 21 below the screen 63, and a printing table 64 that supports the substrate 26 is mounted on the XY stage 65.
【００６０】すなわち図９において、下部位置に不図示
の基板搬入用コンベア、上部位置に不図示の基板搬出コ
ンベアが設けられ、ＸＹステージが移動してＸＹステー
ジ上の基板固定部を有する搬送路６４Ａと、基板搬入用
コンベアを連結した状態で基板が基板搬入用コンベアか
ら搬送路６４Ａ上に導かれて基板固定部で基板が固定保
持され、その状態でＸＹステージが移動して、基板固定
部がスクリーン６３下方位置とされ、基板固定部が上昇
して基板がスクリーン６３直下となる。印刷後は基板固
定部が下降し、ＸＹステージが移動してＸＹステージ上
の搬送路６４Ａと、基板搬出用コンベアとを連結した状
態で基板が基板搬出コンベアへ移動される。That is, in FIG. 9, a substrate carry-in conveyor (not shown) is provided at the lower position, and a substrate carry-out conveyor (not shown) is provided at the upper position, and the XY stage moves to convey a transport path 64A having a substrate fixing portion on the XY stage. With the substrate carry-in conveyer connected, the substrate is guided from the substrate carry-in conveyer onto the transport path 64A, and the substrate is fixedly held by the substrate fixing part. In this state, the XY stage moves and the substrate fixing part moves. It is located below the screen 63, and the substrate fixing portion is raised so that the substrate is directly below the screen 63. After printing, the substrate fixing unit moves down, the XY stage moves, and the substrate is moved to the substrate unloading conveyor while the transport path 64A on the XY stage is connected to the substrate unloading conveyor.
【００６１】[0061]
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、２本
のガイドレールの中央から偏倚した位置に設けたネジ軸
に対し、これに螺合するナットと移動台とをアームを介
して連結し、その連結部を２本のガイドレールの中心側
に設けたため、ネジ軸からナットを介して移動台に作用
する駆動力の作用点が移動台の中心に近くなり、ガイド
レールとの摺接部分に作用する偶力が小さくなる。これ
により、偶力の反作用に基づく摩擦抗力が低減し、正逆
反転時の揺動が抑えられ、また正逆回転方向にかかわら
ず円滑な摺動動作が達成され、偏摩耗を軽減して別部材
の基板上への付加において位置決め精度の低下を防止す
ることができる。As described above, according to the present invention, the screw shafts provided at the positions deviated from the centers of the two guide rails are connected with the nuts screwed to the screw shafts and the movable base through the arms. However, since the connecting portion is provided on the center side of the two guide rails, the point of application of the driving force acting on the moving base from the screw shaft through the nut is close to the center of the moving base, and the sliding contact with the guide rails is made. The couple acting on the part becomes smaller. As a result, the frictional drag force due to the reaction of the couple is reduced, the swing at forward / reverse reversal is suppressed, and the smooth sliding operation is achieved regardless of the forward / reverse rotation direction. It is possible to prevent the positioning accuracy from deteriorating when the member is added to the substrate.
【００６２】すなわち、移動台の重心とほぼ一致した移
動台の中央部に送り駆動力を作用させることにより、両
方のガイドレールに対しほぼ均等に駆動力が作用し、移
動時や方向反転時の移動台への偶力が軽減され、摺動抵
抗が小さくなって円滑な移動動作が得られるとともにガ
イドレールの摺動面の偏摩耗が抑制され別部材の基板上
への付加において高い位置決め精度が維持される。That is, by applying the feed driving force to the central portion of the moving table which substantially coincides with the center of gravity of the moving table, the driving force acts on both guide rails substantially evenly, and when moving or reversing the direction. Coupled force to the moving table is reduced, sliding resistance is reduced, smooth moving operation is obtained, uneven wear on the sliding surface of the guide rail is suppressed, and high positioning accuracy is achieved when adding another member on the substrate. Maintained.
【図１】 本発明実施形態の基本構成説明図。FIG. 1 is an explanatory diagram of a basic configuration of an embodiment of the present invention.
【図２】 本発明の適用例の平面図。FIG. 2 is a plan view of an application example of the present invention.
【図３】 図２の適用例の正面図。FIG. 3 is a front view of the application example of FIG.
【図４】 図２の適用例の側面図。FIG. 4 is a side view of the application example of FIG.
【図５】 本発明に係るアームの断面図。FIG. 5 is a cross-sectional view of an arm according to the present invention.
【図６】 本発明の別の適用例の平面図。FIG. 6 is a plan view of another application example of the present invention.
【図７】 図６の適用例の正面図。FIG. 7 is a front view of the application example of FIG.
【図８】 図６の適用例の要部断面図。8 is a cross-sectional view of a main part of the application example of FIG.
【図９】 本発明のさらに別の適用例の平面図。FIG. 9 is a plan view of still another application example of the present invention.
【図10】 図９の適用例の側面図。FIG. 10 is a side view of the application example of FIG. 9.
【図11】 従来の送りネジ装置の構成説明図。FIG. 11 is a structural explanatory view of a conventional feed screw device.
２１：基台、２２ａ：ガイドレール、２２ｂ：ガイドレ
ール、
２３：移動台、２４：作業ヘッド、２５：コンベヤ、２
６：基板、
２７：ネジ軸、２８：モータ、２９：ナット、３１：ス
ライダ、
３２：ガイドブロック、３３：アーム、３４：連結部、
３５：スライダ、３６：ガイドブロック、３７：ネジ
軸、
３８：Ｘモータ、３９：ボルト、４０：Ｙネジ軸、
４１：ナット、４２：ユニット、４３：カメラ、４４：
ノズルヘッド、
４５：Ｙモータ、４６：ガイド、４７：ノズル、４８：
ガイドブロック、
４９：ガイドレール、５０：ケーブルダクト、５１：Ｚ
モータ、
５３：ヘッドユニット、５４：ノズルヘッド、５５：テ
ープフィーダ、
５６：吸着ノズル、５７：ケーブルダクト、５８：印刷
ヘッドユニット、
５９：Ｚモータ、６０：昇降機構、６１：アクチュエー
タ、
６２：スキージ、６３：スクリーン、６４：印刷テーブ
ル、
６５：ＸＹステージ。21: base, 22a: guide rail, 22b: guide rail, 23: moving base, 24: work head, 25: conveyor, 2
6: board, 27: screw shaft, 28: motor, 29: nut, 31: slider, 32: guide block, 33: arm, 34: connecting part, 35: slider, 36: guide block, 37: screw shaft, 38 : X motor, 39: bolt, 40: Y screw shaft, 41: nut, 42: unit, 43: camera, 44:
Nozzle head, 45: Y motor, 46: Guide, 47: Nozzle, 48:
Guide block, 49: Guide rail, 50: Cable duct, 51: Z
Motor, 53: Head unit, 54: Nozzle head, 55: Tape feeder, 56: Suction nozzle, 57: Cable duct, 58: Printing head unit, 59: Z motor, 60: Lifting mechanism, 61: Actuator, 62: Squeegee , 63: screen, 64: printing table, 65: XY stage.
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F078 CA08 CB12 CC02 CC18 3J062 AA28 AA60 AB21 AC07 BA14 BA17 CD02 CD22 CD35 5E313 AA03 AA11 AA15 CD05 DD01 EE01 EE05 EE24 EE25 EE35 FG02 FG05 FG06 FG10 Continued front page F term (reference) 2F078 CA08 CB12 CC02 CC18 3J062 AA28 AA60 AB21 AC07 BA14 BA17 CD02 CD22 CD35 5E313 AA03 AA11 AA15 CD05 DD01 EE01 EE05 EE24 EE25 EE35 FG02 FG05 FG06 FG10
Claims (8)
側の基台上の部位に設けた２本の平行なガイドレール
と、 このガイドレールに沿って往復動作する移動台と、前記
ガイドレール側に偏倚した位置に配設されたネジ軸と、 このネジ軸に螺合するとともに前記移動台に固定された
ナットと、 前記ネジ軸又はナットを回転させて該ナットを移動台と
ともに前記ネジ軸に沿って直線動作させるためのモータ
とを有する送りネジ装置と、前記基板固定部に固定され
る基板に別部材を付加する付加装置とを備えた別部材実
装機において、 前記送りネジ装置は、前記ナットがアームを介して前記
移動台に固定され、このアームが前記ネジ軸より前記２
本のガイドレールの中央部側で前記移動台に連結された
ことを特徴とする別部材実装機。1. A base, two parallel guide rails provided at portions on the base on both sides of a board fixing portion to which a board on which electronic components are mounted are fixed, and reciprocating along the guide rails. A movable base that operates, a screw shaft that is arranged at a position that is offset to the guide rail side, a nut that is screwed onto this screw shaft and that is fixed to the movable base, and that rotates the screw shaft or the nut. Separate member mounting including a feed screw device having a motor for linearly operating the nut along with the moving shaft along the screw shaft, and an additional device for adding another member to the substrate fixed to the substrate fixing portion. In the machine, in the feed screw device, the nut is fixed to the movable table via an arm, and the arm is connected to the screw shaft from the screw shaft.
A separate member mounting machine, characterized in that it is connected to the movable table on the central side of the guide rail of the book.
可能に支持し、このネジ軸を前記モータに連結して該ネ
ジ軸を回転駆動することを特徴とする請求項１に記載の
別部材実装機。2. The screw shaft is rotatably supported around a shaft base with respect to a base, and the screw shaft is connected to the motor to rotate the screw shaft. Another component mounting machine described.
前記アームに対して回転可能で且つ軸方向に固定して支
持し、該アームに前記モータを設けるとともに該モータ
を前記ナットに連結して該ナットを回転駆動することを
特徴とする請求項１に記載の別部材実装機。3. The screw shaft is fixed to a base, the nut is rotatably and axially fixed and supported with respect to the arm, the arm is provided with the motor, and the motor is provided on the nut. The separate member mounting machine according to claim 1, wherein the nut is rotationally driven by connecting the nuts.
さは、前記移動台の移動方向の幅より長いことを特徴と
する請求項１から３の何れかに記載の別部材実装機。4. The separate member mounting according to claim 1, wherein an axial length of the nut screwed with the screw shaft is longer than a width of the moving base in the moving direction. Machine.
ナットをＸ方向のネジ軸及びナットとし、前記付加装置
は、前記移動台に設けられ前記Ｘ方向のネジ軸と直行す
るＹ方向のネジ軸と、この方向のネジ軸に螺合してネジ
軸上で往復移動するナットと、このＹ方向のネジ軸のナ
ットに支持させた作業ヘッドとから構成し、作業ヘッド
を移動台に対して移動可能としたことを特徴とする請求
項１から４の何れかに記載の別部材実装機。5. In the feed screw device, the screw shaft and nut are X-direction screw shafts and nuts, and the additional device is provided in the movable base and is orthogonal to the X-direction screw shafts in the Y-direction. And a working head supported by the nut of the screw shaft in the Y direction, and a nut that is reciprocally moved on the screw shaft by being screwed onto the screw shaft in this direction. The separate member mounting machine according to any one of claims 1 to 4, which is made possible.
路と、基板搬送路の基台上外方に部品供給路を備え、前
記作業ヘッドは、前記部品供給部の部品を吸着して基板
上に搬送し、その後吸着を解除して基板上に前記部品を
装着する吸着ノズルを備えた表面実装機を構成すること
を特徴とする請求項５に記載の別部材実装機。6. A substrate transfer path having a board fixing portion on the base, and a component supply path outside the base of the substrate transfer path, wherein the working head sucks the component of the component supply section. 6. The separate member mounting machine according to claim 5, wherein the surface mounting machine is provided with a suction nozzle for mounting the component on the substrate by releasing the suction after being conveyed onto the substrate.
路を備え、前記作業ヘッドは、基板上にペースト状別部
材を塗布する塗布ノズルを備えたディスペンサを構成す
ることを特徴とする請求項５に記載の別部材実装機。7. A substrate transfer path having a substrate fixing portion is provided on the base, and the working head constitutes a dispenser having an application nozzle for applying the paste-like separate member onto the substrate. The separate member mounting machine according to claim 5.
前記基台上に配設した透し孔を設けたスクリーン上のペ
ースト状別部材を、前記スキージを前記移動台と共に移
動させて押し広げることで、前記スクリーンの直下に設
けた前記基板固定部の基板上に透し孔を通過させてペー
スト状別部材を塗布するようにしたスクリーン印刷機を
構成することを特徴とする請求項１から４の何れかに記
載の別部材実装機。8. A squeegee provided on the movable table,
By moving the squeegee together with the squeegee to spread the paste-like separate member on the screen provided with the through holes arranged on the base, the substrate fixing portion provided directly below the screen The separate member mounting machine according to any one of claims 1 to 4, wherein a screen printing machine is configured so that the paste-like separate member is applied to the substrate through the through holes.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2001347039A JP3917407B2 (en) | 2001-11-13 | 2001-11-13 | Separate component mounting machine |
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| JP2003152394A true JP2003152394A (en) | 2003-05-23 |
| JP3917407B2 JP3917407B2 (en) | 2007-05-23 |
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9815081B2 (en) | 2015-02-24 | 2017-11-14 | Illinois Tool Works Inc. | Method of calibrating a dispenser |
| DE112009000667B4 (en) | 2008-03-25 | 2018-12-06 | Illinois Tool Works Inc. | Dispensing device and method for dispensing material onto a substrate |
| CN111844197A (en) * | 2020-07-10 | 2020-10-30 | 苏州锟荣精密电子有限公司 | Sectioning equipment |
| CN114701815A (en) * | 2022-04-21 | 2022-07-05 | 河北圣昊光电科技有限公司 | Guide rail structure and chip testing machine |
| CN118119108A (en) * | 2024-01-19 | 2024-05-31 | 无锡锦世恒电子技术有限公司 | Paste dispenser for processing electronic components |
-
2001
- 2001-11-13 JP JP2001347039A patent/JP3917407B2/en not_active Expired - Fee Related
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| US10926287B2 (en) | 2015-02-24 | 2021-02-23 | Illinois Tool Works Inc. | Method of calibrating a dispenser |
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| CN114701815B (en) * | 2022-04-21 | 2023-06-23 | 河北圣昊光电科技有限公司 | Guide rail structure and chip testing machine |
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|---|---|
| JP3917407B2 (en) | 2007-05-23 |
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