JP2003136006A - 塗布装置 - Google Patents
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Abstract
布液を塗布することのできる塗布装置を提供する。 【解決手段】 本発明にて、塗布装置における部材は、
エッジ支持体と、可撓性帯状支持体に摺接するようにエ
ッジ支持体の先端部分に取り付けられるエッジ本体とを
有しており、エッジ本体を可撓性帯状支持体に臨む側と
は反対側の底部から挿入された固定手段によってエッジ
支持体に固定した。さらに、エッジ支持体に設けられた
凹部に、エッジ本体を引き込んだ状態で固定した。
Description
状支持体に、薄層の塗布液を塗布する塗布装置に係わ
り、特に、前記塗布液を吐出する塗布ヘッドに関するも
のである。
ドとして、例えば特開昭62−241574号公報(以
下、第1の従来技術という)に示されるような構成が知
られている。図5に示すように、塗布ヘッド5は、互い
に平行な二つの部材1,2を有しており、これらの部材
1,2の間にスロット3が形成されている。そして、こ
のスロット3の長手方向の両端部に、スロット3の幅方
向の長さを規制する規制部材4,4が設けられている。
先端側に長尺広巾の可撓性帯状支持体6が矢印A方向に
走行すると、スロット3から塗布液が可撓性帯状支持体
6に向けて吐出され、可撓性帯状支持体6の一方の面に
塗布液が均一な厚さで塗布されるようになっている。
し、複数の薄膜層を同時に塗布できる塗布装置の構成は
図6に示される様なもの(以下、第2の従来技術とい
う)となる。
行する長尺広巾の可撓性帯状支持体に塗布液を塗布する
図6に示されるような塗布ヘッドを備えている。塗布ヘ
ッド10は、図に示すように、例えば、可撓性帯状支持
体23の走行方向(図中矢印Bで示す。)に順次配置さ
れた第1,第2,第3の部材13,14,15の三つの
部材を有しており、塗布液が可撓性帯状支持体23に向
かって流通するように、第1の部材13と第2の部材1
4との間には第1スロット11(スロット)が、また、
第2の部材14と第3の部材15との間には第2スロッ
ト12(スロット)が形成されて構成されている。
4,15はそれぞれ鉄系合金からなる第1,第2,第3
エッジ支持体13a,14a,15aと、これら第1,
第2,第3エッジ支持体13a,14a,15aの可撓
性帯状支持体23側の先端部分にそれぞれ取り付けら
れ、可撓性帯状支持体23に圧接される超硬合金からな
る第1,第2,第3エッジ本体20,21,22とから
構成されている。
する図示されない給液手段を有しており、該塗布液30
A,30Bがポケット33,34および第1スロット1
1,第2スロット12を介して圧送され、第1スロット
11,第2スロット12の各流出口に押し出され、矢印
方向C1,C2に吐出されるように構成されている。そ
して、可撓性帯状支持体23を図中矢印B方向に送る図
示されぬ送り手段によって走行する可撓性帯状支持体2
3の片面に塗布液30A,30Bが重ねて塗布されるよ
うに構成されている。
支持体に塗布される塗布液の厚さは、数〜数十ミクロン
相当のものであって、これを流通させるスロットは必然
的に隘路となる形状になるので、スロットを塗布液が通
過する際、塗布液とスロットの間には少なからぬ摩擦が
生じる。該摩擦が必要以上に大きくなると、前記塗布液
において液圧の偏差が発生し、塗布後の膜厚を均一に制
御しにくくなるという問題がある。このため、該摩擦を
少しでも軽減するため、エッジ支持体のスロット面は、
研磨仕上げを施されており、前記スロット面における凹
凸は極力排除されるよう設計されている。
構成時、前記エッジ本体42,43は、前記エッジ支持
体40,41の前記スロット面46a,46bとは逆の
側面47,48に設けられた固定手段44a,44bに
よって、前記エッジ支持体40,41に固定されてい
た。
は、図4に示すとおり、第2エッジ本体21は、その両
側面がスロット11,12を構成するスロット面25
a,25bとなっているため、第1の従来技術と同様の
方法で第2エッジ支持体14aに固定すると、スロット
面25a,25bの平面性を著しく損なうこととなり、
塗布液に対する摩擦抵抗が増大し、膜厚の均一性の制御
が難しくなる恐れが生じていた。
のであって、超硬合金など高硬度材料にて形成されたエ
ッジ本体を、スロット面の平面性への影響なく強靱に固
定することのできる塗布装置を提供することを課題とす
る。
め、本発明の塗布装置は、以下の構成を採用した。すな
わち、一の方向に走行する可撓性帯状支持体の上に塗布
液を塗布する塗布ヘッドを備え、前記塗布ヘッドは、前
記可撓性帯状支持体の走行方向に順次配置された少なく
とも3つの部材を有し、前記部材同士の間に前記塗布液
が前記可撓性帯状支持体に向かって流通するスロットが
形成された塗布装置であって、前記部材は、エッジ支持
体と、前記可撓性帯状支持体に摺接するように前記エッ
ジ支持体の先端部分に取り付けられるエッジ本体とを有
しており、前記部材のうち、少なくとも前記可撓性帯状
支持体の走行方向両端に位置しない内側部材のエッジ本
体は、前記エッジ支持体の前記可撓性帯状支持体に臨む
側とは反対側の底部から挿入された固定手段によって、
前記エッジ支持体に固定されている。
エッジ本体を取り付けるための固定手段によっては、ス
ロット面の平面性が阻害されないので、塗布液に対する
摩擦抵抗の増大が防止されることとなる。よって、塗布
液吐出時の液圧偏差が抑制され、塗布後の膜厚は均一に
制御される。
布液の液離れ性を良好なものとし、前記スロット面上で
前記塗布液が固化し、付着することを防止することがで
きる。これは、前記スロット面の清掃時のメンテナンス
性を向上させることとなる。
記固定手段によって、前記エッジ支持体の先端部に設け
られた凹部内に引き込まれた状態で固定されている。
がくさび効果によって強靱に固定されるので、エッジ本
体のがたつきが効果的に抑制される。これにより、スロ
ット面の平面保持性が向上する。よって、塗布液吐出時
の液圧偏差が長期にわたって有効に抑制される。
面に基づき説明する。本発明の塗布装置は、一方向に走
行するフィルムやシート等の可撓性帯状支持体の表面に
塗付液を均一に塗布して薄層を形成する塗布装置に関す
るもので、その他の構成要素や用法に関して特に制限を
設けない。
態を示す。図において、塗布装置は塗布ヘッド10を有
し、この塗布ヘッド10が第1スロット(スロット)1
1を形成する第1の部材(部材)13および第2の部材
(内側部材)14と、第2の部材14と共に第2スロッ
ト(スロット)12を形成する第3の部材(部材)15
とを備えて構成されている。これら第1,第2,第3の
部材13,14,15は、可撓性帯状支持体23の走行
方向A(矢印A)にそって順次配置され、鉄系合金にて
形成される第1,第2,第3エッジ支持体(エッジ支持
体)13a,14a,15aのそれぞれの先端部に、超
硬合金にて形成される第1,第2,第3エッジ本体(エ
ッジ本体)20,21,22が装着される構造となって
いる。
3の走行時、図示しない給液手段によって塗布液30
A,30Bが供給され、該塗布液30A,30Bがポケ
ット33,34および第1スロット11,第2スロット
12を通過することにより、可撓性帯状支持体23の片
面に塗布液30A,30Bが重ねて塗布されるように構
成されている。
は、積層セラミックスコンデンサーのグリーンシートに
用いられる母材シートを形成するためのものであり、例
えば、誘電体セラミックス粉の含有液、およびその組成
を若干変えた誘電体含有液等の2種類からなっている。
いては、前記第2のエッジ本体21は、前記第2の部材
14の両側面がスロット面25a,25bを成している
ことにより前記第2エッジ支持体14aの底部32にク
ランプボルト(固定手段)24を挿入し、それによっ
て、前記第2エッジ本体21を、前記第2エッジ支持体
14aに固定する。これにより、クランプボルト24を
スロット面25a,25bに配置せずにすむため、前記
スロット面25a,25bが平滑化される。よって、塗
布液に対する摩擦抵抗の増大が防止され、塗布液吐出時
の液圧の偏差も抑圧されることになり、膜厚の均一な二
層塗りを得ることができるようになる。
近の詳細図である。前記第2の部材14において、第2
エッジ支持体14aの先端部に凹部30を設け、そこに
第2エッジ本体21を配置し、クランプボルト24によ
って、前記第2エッジ本体21が前記凹部30に引き込
まれるような形で、前記第2エッジ支持体14aに固定
する。こうすることにより、前記第2エッジ本体21
は、互いに交差する凹部壁面31a,31bに押しつけ
られることによる、くさび効果によって、より前記第2
エッジ支持体14aに強靱に固定されることとなり、前
記第2エッジ本体21のがたつきが効果的に抑制され
る。従って、前記第2エッジ本体21と前記第2エッジ
支持体14aとの繋ぎ部における平面保持性が向上す
る。よって、塗布液吐出時の液圧偏差が長期にわたって
抑制されることとなり、さらに安定した均一な膜厚の二
層塗りが可能となる。
性帯状支持体23に2層の薄膜層を形成する第1,第
2,第3の部材13,14,15の3ブロックから構成
されるものとしたが、3種類以上の塗布液を塗布する塗
布装置であってもかまわない。両側面にスロット面を持
つエッジ本体の固定方法が同じならば、塗布ヘッドを構
成する部材の数は3つ以上の範囲でいくつであっても良
い。
内側部材のエッジ本体は、エッジ支持体の可撓性帯状支
持体に臨む側とは反対側の底部から挿入された固定手段
によって、前記エッジ支持体に固定されているため、ス
ロットを形成するスロット面の平面性が阻害されない。
これにより、塗布液吐出時の摩擦抵抗が低減し、液圧偏
差が抑制される。従って、膜厚の均一な多層塗りを行う
ことが可能となる。
固定手段によって、前記内側部材の先端部に設けられた
凹部内に引き込まれた状態で固定されているため、くさ
び効果によって、より強靱に固定される。従って、前記
内側部材のがたつきが抑制され、スロット面の平面保持
性が向上する。よって、膜厚の均一な多層塗りを長期に
わたって行うことができる。
る。
方法概略図である。
方法概略図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 一の方向に走行する可撓性帯状支持体の
上に塗布液を塗布する塗布ヘッドを備え、前記塗布ヘッ
ドは、前記可撓性帯状支持体の走行方向に順次配置され
た少なくとも3つの部材を有し、前記部材同士の間に前
記塗布液が前記可撓性帯状支持体に向かって流通するス
ロットが形成された塗布装置であって、 前記部材は、エッジ支持体と、前記可撓性帯状支持体に
摺接するように前記エッジ支持体の先端部分に取り付け
られるエッジ本体とを有しており、 前記部材のうち、少なくとも前記可撓性帯状支持体の走
行方向両端に位置しない内側部材のエッジ本体は、前記
エッジ支持体の前記可撓性帯状支持体に臨む側とは反対
側の底部から挿入された固定手段によって、前記エッジ
支持体に固定されていることを特徴とする塗布装置。 - 【請求項2】 前記エッジ本体は、前記固定手段によっ
て、前記エッジ支持体の先端部に設けられた凹部内に引
き込まれた状態で固定されていることを特徴とする請求
項1に記載の塗布装置。
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