JP2003132587A - 光記録媒体及び光記録媒体の評価方法 - Google Patents
光記録媒体及び光記録媒体の評価方法Info
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- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Optical Head (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高密度光ディスクの偏心測定にあたり、従来
の機械精度測定器を有効に活用する。 【解決手段】 ＤＶＲ用光ディスク２を、本来のフォー
マットに準拠した微小凹凸パターン（第１の凹凸：ピッ
ト及び／又はグルーブ）４をその情報記録領域６に有す
ると共に、該情報記録領域６以外の領域に、当該ＤＶＲ
用光ディスク２が準拠しているフォーマットよりも記録
密度が低いＣＤフォーマットに準拠した偏心測定用の微
小凹凸パターン（第２の凹凸）８を有する光ディスクと
する。この機械検査用の微小凹凸パターン８を利用する
ことにより、当該ＤＶＲ用光ディスク２の偏心（機械的
精度）を、従来のＣＤファミリー用の機械精度測定器を
用いてそのまま測定する。
の機械精度測定器を有効に活用する。 【解決手段】 ＤＶＲ用光ディスク２を、本来のフォー
マットに準拠した微小凹凸パターン（第１の凹凸：ピッ
ト及び／又はグルーブ）４をその情報記録領域６に有す
ると共に、該情報記録領域６以外の領域に、当該ＤＶＲ
用光ディスク２が準拠しているフォーマットよりも記録
密度が低いＣＤフォーマットに準拠した偏心測定用の微
小凹凸パターン（第２の凹凸）８を有する光ディスクと
する。この機械検査用の微小凹凸パターン８を利用する
ことにより、当該ＤＶＲ用光ディスク２の偏心（機械的
精度）を、従来のＣＤファミリー用の機械精度測定器を
用いてそのまま測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光記録媒体、特
に、青色レーザを用いた光学システムにより記録再生可
能な光記録媒体、及びその機械的精度の評価方法に関す
る。
に、青色レーザを用いた光学システムにより記録再生可
能な光記録媒体、及びその機械的精度の評価方法に関す
る。
【０００２】なお、この明細書における光記録媒体（光
ディスク）には、完成品としての光記録媒体（光ディス
ク）のほか、半完成品のディスク基板の状態のものも含
むものとする。
ディスク）には、完成品としての光記録媒体（光ディス
ク）のほか、半完成品のディスク基板の状態のものも含
むものとする。
【０００３】
【従来の技術】ＣＤ、ＭＤ、ＤＶＤ等の光ディスクは、
それぞれに定められた所定のフォーマットに準拠した微
小凹凸パターン（ピット及び／又はグルーブ）からなる
情報記録領域を有している。
それぞれに定められた所定のフォーマットに準拠した微
小凹凸パターン（ピット及び／又はグルーブ）からなる
情報記録領域を有している。
【０００４】この光ディスクの微小凹凸パターンの回転
中心に対する偏心の程度を測定するには、従来、偏心測
定器、或いはアキシャル方向変位測定器などと称される
機械精度測定器が用いられている。
中心に対する偏心の程度を測定するには、従来、偏心測
定器、或いはアキシャル方向変位測定器などと称される
機械精度測定器が用いられている。
【０００５】従来提案されている機械精度測定器には、
種々の構成のものがある。
種々の構成のものがある。
【０００６】代表的な構成として、例えば、アクチュエ
ータで駆動可能な対物レンズを介して光ディスクの微小
凹凸に対してレーザ光を照射して追従させ、微小凹凸の
半径方向の変位（偏心）を反映した対物レンズの動き
（移動量）を、光位置センサ上でのビームスポット位置
の変動として検出する構造が知られている（例えば特開
昭６２−１１７１５１号公報参照）。
ータで駆動可能な対物レンズを介して光ディスクの微小
凹凸に対してレーザ光を照射して追従させ、微小凹凸の
半径方向の変位（偏心）を反映した対物レンズの動き
（移動量）を、光位置センサ上でのビームスポット位置
の変動として検出する構造が知られている（例えば特開
昭６２−１１７１５１号公報参照）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】近年、青色レーザを用
いた光学システムにより記録再生可能な、例えばＤＶＲ
と呼ばれるレーザ光の波長４０５ｎｍ、ＮＡ０．８５等
の光学システムによる光ディスクが提案されている。
いた光学システムにより記録再生可能な、例えばＤＶＲ
と呼ばれるレーザ光の波長４０５ｎｍ、ＮＡ０．８５等
の光学システムによる光ディスクが提案されている。
【０００８】しかしながら、従来のＣＤ用あるいはＤＶ
Ｄ用の機械精度測定器は、あくまでＣＤ用あるいはＤＶ
Ｄ用のフォーマットの諸元（ＣＤの場合例えばレーザ光
の波長λ＝７８０ｎｍ、開口数ＮＡ＝０．４５、グルー
ブピッチ１．６μｍ、ＤＶＤの場合例えば６５０ｎｍ、
ＮＡ＝０．６、グルーブピッチ０．７４ｎｍ）を前提と
して製造されたものであるため、例えば微小凹凸パター
ンのグルーブピッチが５００ｎｍ以下になると、その追
従が困難になり、そのままではＤＶＲ用の測定器として
利用することはできない。
Ｄ用の機械精度測定器は、あくまでＣＤ用あるいはＤＶ
Ｄ用のフォーマットの諸元（ＣＤの場合例えばレーザ光
の波長λ＝７８０ｎｍ、開口数ＮＡ＝０．４５、グルー
ブピッチ１．６μｍ、ＤＶＤの場合例えば６５０ｎｍ、
ＮＡ＝０．６、グルーブピッチ０．７４ｎｍ）を前提と
して製造されたものであるため、例えば微小凹凸パター
ンのグルーブピッチが５００ｎｍ以下になると、その追
従が困難になり、そのままではＤＶＲ用の測定器として
利用することはできない。
【０００９】勿論、これらの高密度光ディスクにおいて
も、同様な構造のＤＶＲ用の（より高性能の）機械精度
測定器を用いれば、その偏心を測定することは可能であ
る。
も、同様な構造のＤＶＲ用の（より高性能の）機械精度
測定器を用いれば、その偏心を測定することは可能であ
る。
【００１０】しかしながら、一般に、この種の機械精度
測定器は、ＣＤ用でさえかなり高価なものであり、ＤＶ
Ｒにも対応できるような製品は一層高価となることか
ら、これらをその都度新規に購入するとなると高額な出
費は避けられない。しかも、これらの測定器を新規に購
入した場合には、これまで使用してきたＣＤ用、あるい
はＤＶＤ用の機械精度測定器が余剰になってしまうとい
う問題も発生する。
測定器は、ＣＤ用でさえかなり高価なものであり、ＤＶ
Ｒにも対応できるような製品は一層高価となることか
ら、これらをその都度新規に購入するとなると高額な出
費は避けられない。しかも、これらの測定器を新規に購
入した場合には、これまで使用してきたＣＤ用、あるい
はＤＶＤ用の機械精度測定器が余剰になってしまうとい
う問題も発生する。
【００１１】一方、光ディスクの偏心を機械精度測定器
によらず顕微鏡観察によって測定・評価することも、従
来しばしば行われてきたが、この顕微鏡によって測定す
る方法においても、微小凹凸パターンのグルーブピッチ
が５００ｎｍ以下になると、光の回折現象が得られにく
くなるため、測定自体が困難になるという問題が生じて
いる。
によらず顕微鏡観察によって測定・評価することも、従
来しばしば行われてきたが、この顕微鏡によって測定す
る方法においても、微小凹凸パターンのグルーブピッチ
が５００ｎｍ以下になると、光の回折現象が得られにく
くなるため、測定自体が困難になるという問題が生じて
いる。
【００１２】本発明は、このような従来の問題を解消す
るためになされたものであって、高密度フォーマットに
準拠した光ディスクの偏心等の機械的精度の測定に当た
って、従来の機械精度測定器をそのまま有効に活用する
ことを可能とし、また、従来の顕微鏡による偏心検査等
をも可能とする光ディスク、あるいは偏心測定システム
を提供することをその目的としている。
るためになされたものであって、高密度フォーマットに
準拠した光ディスクの偏心等の機械的精度の測定に当た
って、従来の機械精度測定器をそのまま有効に活用する
ことを可能とし、また、従来の顕微鏡による偏心検査等
をも可能とする光ディスク、あるいは偏心測定システム
を提供することをその目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、（１）のよう
な構成に係る光ディスクを発案することにより上記目的
を達成した。
な構成に係る光ディスクを発案することにより上記目的
を達成した。
【００１４】（１）第１の凹凸としての主たる情報記録
領域のグルーブ及び／又はピットの幅が２００ｎｍ以下
である光記録媒体の、前記情報記録領域以外の所定の場
所に、レーザ波長７８０±１０ｎｍ、記録再生用レンズ
の開口数ＮＡが０．４５±０．０１の光学システムにお
いてトラッキング可能な第２の凹凸としてのグルーブ及
び／又はランドを有することを特徴とする光記録媒体。
領域のグルーブ及び／又はピットの幅が２００ｎｍ以下
である光記録媒体の、前記情報記録領域以外の所定の場
所に、レーザ波長７８０±１０ｎｍ、記録再生用レンズ
の開口数ＮＡが０．４５±０．０１の光学システムにお
いてトラッキング可能な第２の凹凸としてのグルーブ及
び／又はランドを有することを特徴とする光記録媒体。
【００１５】なお、本件のグルーブの幅はすべて半値幅
である。
である。
【００１６】本発明では、光ディスクの偏心（機械的精
度）に関して要求される精度は、前記２つのフォーマッ
トを連続して形成するか又は同一工程内（同一のディス
クセッティング）で形成すれば光ディスクのファーマッ
トが変わってもそれ程変わらないという事実に着目し
た。
度）に関して要求される精度は、前記２つのフォーマッ
トを連続して形成するか又は同一工程内（同一のディス
クセッティング）で形成すれば光ディスクのファーマッ
トが変わってもそれ程変わらないという事実に着目し
た。
【００１７】この事実に基づき、本発明では、高密度の
光ディスクに対応できるように設計した高性能な機械精
度測定器を次々に単純に購入して用いるのではなく、作
製しようとする光ディスク自体の方を、現に使用してい
る機械精度測定器を利用できるような仕様にするという
逆転の発想を採用した。
光ディスクに対応できるように設計した高性能な機械精
度測定器を次々に単純に購入して用いるのではなく、作
製しようとする光ディスク自体の方を、現に使用してい
る機械精度測定器を利用できるような仕様にするという
逆転の発想を採用した。
【００１８】本発明に係る光ディスクは、当該光ディス
ク本来のフォーマットに準拠した微小凹凸パターン（ピ
ット及び／又はグルーブ）をその情報記録領域に有する
と共に、該情報記録領域以外の領域に、当該光ディスク
が準拠しているフォーマットよりも記録密度が低い（グ
ルーブ幅が広く、グルーブピッチが大きい）フォーマッ
トに準拠した機械検査用の微小凹凸パターンを有する。
ク本来のフォーマットに準拠した微小凹凸パターン（ピ
ット及び／又はグルーブ）をその情報記録領域に有する
と共に、該情報記録領域以外の領域に、当該光ディスク
が準拠しているフォーマットよりも記録密度が低い（グ
ルーブ幅が広く、グルーブピッチが大きい）フォーマッ
トに準拠した機械検査用の微小凹凸パターンを有する。
【００１９】この結果、いわゆるＤＶＲのような高密度
光ディスクを作製するに当たり、この機械検査用の微小
凹凸パターンを利用することにより、従来のＣＤ、ある
いはＤＶＤファミリー用の機械精度測定器をそのまま流
用することが可能となる。
光ディスクを作製するに当たり、この機械検査用の微小
凹凸パターンを利用することにより、従来のＣＤ、ある
いはＤＶＤファミリー用の機械精度測定器をそのまま流
用することが可能となる。
【００２０】即ち、様々に異なるトラック形状（ピット
やグルーブのピッチ、幅、或いは深さ等の諸元）を持つ
様々な種類の光ディスクの偏心を、ひとつの機械精度測
定器によって測定することができるようになる。
やグルーブのピッチ、幅、或いは深さ等の諸元）を持つ
様々な種類の光ディスクの偏心を、ひとつの機械精度測
定器によって測定することができるようになる。
【００２１】なお、この情報記録領域以外に形成される
微小凹凸パターンは、これをＣＤ用レベルとすることに
より光の回折現象が明確なピッチとすることができるた
め、顕微鏡による検査も可能である。従って、仮にＣＤ
ファミリー用の機械精度測定器でさえも調達できないよ
うな状況であっても、顕微鏡さえあれば、従来通り、偏
心測定が可能である。
微小凹凸パターンは、これをＣＤ用レベルとすることに
より光の回折現象が明確なピッチとすることができるた
め、顕微鏡による検査も可能である。従って、仮にＣＤ
ファミリー用の機械精度測定器でさえも調達できないよ
うな状況であっても、顕微鏡さえあれば、従来通り、偏
心測定が可能である。
【００２２】本発明のバリエーションとしては以下のよ
うな構成が考えられる。詳細は後述する。
うな構成が考えられる。詳細は後述する。
【００２３】（２）（１）において、前記第１の凹凸の
グルーブピッチが５００ｎｍ以下であることを特徴とす
る光記録媒体。
グルーブピッチが５００ｎｍ以下であることを特徴とす
る光記録媒体。
【００２４】（３）（１）又は（２）において、前記第
２の凹凸のグルーブの幅が４００ｎｍ以上６００ｎｍ以
下であり、グルーブピッチが１．２μｍ以上２．０μｍ
以下であることを特徴とする光記録媒体。
２の凹凸のグルーブの幅が４００ｎｍ以上６００ｎｍ以
下であり、グルーブピッチが１．２μｍ以上２．０μｍ
以下であることを特徴とする光記録媒体。
【００２５】（４）前記（１）〜（３）のいずれかにお
いて、前記第１の凹凸が、レーザ波長４５０ｎｍ以下、
記録再生用レンズの開口数ＮＡが０．７以上の光学シス
テムにおいて記録及び／又は再生可能であることを特徴
とする光記録媒体。
いて、前記第１の凹凸が、レーザ波長４５０ｎｍ以下、
記録再生用レンズの開口数ＮＡが０．７以上の光学シス
テムにおいて記録及び／又は再生可能であることを特徴
とする光記録媒体。
【００２６】（５）第１の凹凸としての主たる情報記録
領域のグルーブ及び／又はピットの幅が２００ｎｍ以下
である光記録媒体の、前記情報記録領域以外の所定の場
所に、レーザ波長６４０±２０ｎｍ、記録再生用レンズ
の開口数ＮＡが０．６±０．０１の光学システムにおい
てトラッキング可能な第２の凹凸を有することを特徴と
する光記録媒体。
領域のグルーブ及び／又はピットの幅が２００ｎｍ以下
である光記録媒体の、前記情報記録領域以外の所定の場
所に、レーザ波長６４０±２０ｎｍ、記録再生用レンズ
の開口数ＮＡが０．６±０．０１の光学システムにおい
てトラッキング可能な第２の凹凸を有することを特徴と
する光記録媒体。
【００２７】（６）（５）において、前記第１の凹凸グ
ルーブピッチが５００ｎｍ以下であることを特徴とする
光記録媒体。
ルーブピッチが５００ｎｍ以下であることを特徴とする
光記録媒体。
【００２８】（７）（５）又は（６）において、前記第
２の凹凸のグルーブの幅が７５０ｎｍ以上４００ｎｍ以
下であり、グルーブピッチが０．６μｍ以上１．５μｍ
以下であることを特徴とする光記録媒体。
２の凹凸のグルーブの幅が７５０ｎｍ以上４００ｎｍ以
下であり、グルーブピッチが０．６μｍ以上１．５μｍ
以下であることを特徴とする光記録媒体。
【００２９】（８）（５）〜（７）のいずれかにおい
て、前記第１の凹凸が、レーザ波長４５０ｎｍ以下、記
録再生用レンズの開口数ＮＡが０．７以上の光学システ
ムにおいて記録及び／又は再生可能であることを特徴と
する光記録媒体。
て、前記第１の凹凸が、レーザ波長４５０ｎｍ以下、記
録再生用レンズの開口数ＮＡが０．７以上の光学システ
ムにおいて記録及び／又は再生可能であることを特徴と
する光記録媒体。
【００３０】（９）レーザ波長４５０ｎｍ以下、記録再
生用レンズの開口数ＮＡが０．７以上の光学システムに
おいて記録及び／又は再生可能である第１の凹凸として
の主たる情報記録領域のグルーブ及び／又はピットの機
械精度を評価するための光記録媒体の評価方法であっ
て、前記情報記録領域以外の所定の場所に、レーザ波長
７８０±１０ｎｍ、記録再生用レンズの開口数ＮＡが
０．４５±０．０１の光学システム又はレーザ波長６４
０±２０ｎｍ、記録再生用レンズの開口数ＮＡが０．６
±０．０１の光学システムにおいてトラッキング可能な
第２の凹凸を、前記第１の凹凸と同時に又は連続して形
成し、該第１の凹凸の機械精度を、該第２の凹凸を検査
することによって評価することを特徴とする光記録媒体
の評価方法。
生用レンズの開口数ＮＡが０．７以上の光学システムに
おいて記録及び／又は再生可能である第１の凹凸として
の主たる情報記録領域のグルーブ及び／又はピットの機
械精度を評価するための光記録媒体の評価方法であっ
て、前記情報記録領域以外の所定の場所に、レーザ波長
７８０±１０ｎｍ、記録再生用レンズの開口数ＮＡが
０．４５±０．０１の光学システム又はレーザ波長６４
０±２０ｎｍ、記録再生用レンズの開口数ＮＡが０．６
±０．０１の光学システムにおいてトラッキング可能な
第２の凹凸を、前記第１の凹凸と同時に又は連続して形
成し、該第１の凹凸の機械精度を、該第２の凹凸を検査
することによって評価することを特徴とする光記録媒体
の評価方法。
【００３１】
【発明の実施の形態】以下図面に基づいて本発明の実施
形態の例を詳細に説明する。
形態の例を詳細に説明する。
【００３２】この実施形態に係る光ディスクの偏心測定
システムは、本発明を適用して、ＤＶＲ用光ディスクの
偏心（機械的精度）を、ＣＤ用機械精度測定器を用いて
測定しようとしたものである。
システムは、本発明を適用して、ＤＶＲ用光ディスクの
偏心（機械的精度）を、ＣＤ用機械精度測定器を用いて
測定しようとしたものである。
【００３３】図１に、この実施形態において用いられる
ＤＶＲ用光ディスク基板構成を模式的に示す。
ＤＶＲ用光ディスク基板構成を模式的に示す。
【００３４】このＤＶＲ用光ディスク２は、微小凹凸パ
ターン（第１の凹凸）４からなる情報記録領域６を有す
る。この情報記録領域６の微小凹凸パターン４の具体的
な構成は、この実施形態の場合、グルーブのみが形成さ
れたものとされ、その深さが２０〜５０ｎｍ、幅が１０
０〜２００ｎｍ、半径方向のピッチ（グルーブピッチ）
が２００〜４００ｎｍ程度とされている。この諸元は、
新たに提案されているＤＶＲと呼ばれるディスクに関す
るものである。
ターン（第１の凹凸）４からなる情報記録領域６を有す
る。この情報記録領域６の微小凹凸パターン４の具体的
な構成は、この実施形態の場合、グルーブのみが形成さ
れたものとされ、その深さが２０〜５０ｎｍ、幅が１０
０〜２００ｎｍ、半径方向のピッチ（グルーブピッチ）
が２００〜４００ｎｍ程度とされている。この諸元は、
新たに提案されているＤＶＲと呼ばれるディスクに関す
るものである。
【００３５】一方、この実施形態では、当該情報記録領
域６以外の領域７のうち、内周側の領域７Ａにおいて、
偏心測定用の微小凹凸パターン（第２の凹凸）８を構成
するグルーブが螺旋状に形成されている。この偏心測定
用の微小凹凸パターン８は、前記情報記録領域６の微少
凹凸パターン４の形成と同一の工程内で、即ち、同一の
ディスクセッティングのまま形成されており、そのグル
ーブの深さはフォトレジストの厚さに依存するため前記
と同等であり、幅は４００〜１０００ｎｍ、半径方向の
ピッチは１．２〜２．０μｍである。この諸元は、ＣＤ
のフォーマットに準拠したものである。
域６以外の領域７のうち、内周側の領域７Ａにおいて、
偏心測定用の微小凹凸パターン（第２の凹凸）８を構成
するグルーブが螺旋状に形成されている。この偏心測定
用の微小凹凸パターン８は、前記情報記録領域６の微少
凹凸パターン４の形成と同一の工程内で、即ち、同一の
ディスクセッティングのまま形成されており、そのグル
ーブの深さはフォトレジストの厚さに依存するため前記
と同等であり、幅は４００〜１０００ｎｍ、半径方向の
ピッチは１．２〜２．０μｍである。この諸元は、ＣＤ
のフォーマットに準拠したものである。
【００３６】なお、螺旋円状にではなく、例えば同心円
状とし、情報記録領域６と同心円に偏心測定用の微小凹
凸パターンを形成しても構わない。いずれを採用しても
実質的に無視できる誤差の範囲内に収まる。又、内周側
７Ａにではなく、外周側７Ｂに形成しても構わない。図
２に、この実施形態に係る偏心測定システムにおいて使
用されるＣＤ用機械精度測定器１０の概略構成を示す。
状とし、情報記録領域６と同心円に偏心測定用の微小凹
凸パターンを形成しても構わない。いずれを採用しても
実質的に無視できる誤差の範囲内に収まる。又、内周側
７Ａにではなく、外周側７Ｂに形成しても構わない。図
２に、この実施形態に係る偏心測定システムにおいて使
用されるＣＤ用機械精度測定器１０の概略構成を示す。
【００３７】このＣＤ用機械精度測定器１０自体は既に
公知のものである。換言するならば、従来公知のＣＤ用
機械精度測定器１０をＤＶＲ用光ディスク２の偏心測定
にそのまま使用することができるというのが、この実施
形態の大きな特徴の一つである。ＣＤ用機械精度測定器
１０は、既に業界で広く使用されているものであり、ま
た、本発明における機械精度測定器は、特にこの構成の
ものに限定されるものではないため、ここでは主にその
作用面を中心にして説明するに止める。
公知のものである。換言するならば、従来公知のＣＤ用
機械精度測定器１０をＤＶＲ用光ディスク２の偏心測定
にそのまま使用することができるというのが、この実施
形態の大きな特徴の一つである。ＣＤ用機械精度測定器
１０は、既に業界で広く使用されているものであり、ま
た、本発明における機械精度測定器は、特にこの構成の
ものに限定されるものではないため、ここでは主にその
作用面を中心にして説明するに止める。
【００３８】このＣＤ用機械精度測定器１０は、ＣＤの
フォーマットに準拠した波長７８０ｎｍのレーザ光を発
生するレーザ光源１２を備える。レーザ光源１２から照
射されたレーザ光は、分光器１４によって２つの方向に
分割される。
フォーマットに準拠した波長７８０ｎｍのレーザ光を発
生するレーザ光源１２を備える。レーザ光源１２から照
射されたレーザ光は、分光器１４によって２つの方向に
分割される。
【００３９】分割された一方のレーザ光は、対物レンズ
１６を経て被測定光ディスクであるＤＶＲ用光ディスク
２の情報記録領域６の内周側７Ａに形成された前記偏心
測定用微小凹凸パターン８に対して照射される。偏心測
定用微小凹凸パターン８からの反射光はフォトディテク
タ１８で検出され、この検出情報に基づいてフォーカス
及びトラッキング制御回路２０がアクチュエータ２２を
駆動する。このアクチュエータ２２の駆動により、レー
ザ光が偏心測定用微小凹凸パターン８に追従するように
前記対物レンズ１６が動かされる。
１６を経て被測定光ディスクであるＤＶＲ用光ディスク
２の情報記録領域６の内周側７Ａに形成された前記偏心
測定用微小凹凸パターン８に対して照射される。偏心測
定用微小凹凸パターン８からの反射光はフォトディテク
タ１８で検出され、この検出情報に基づいてフォーカス
及びトラッキング制御回路２０がアクチュエータ２２を
駆動する。このアクチュエータ２２の駆動により、レー
ザ光が偏心測定用微小凹凸パターン８に追従するように
前記対物レンズ１６が動かされる。
【００４０】レーザ光は、本来の情報記録領域６におけ
る微小凹凸パターン４に対してではなく、その内周側７
Ａに形成され、ＣＤ用フォーマットの諸元に準拠した偏
心測定用微小凹凸パターン８に対して照射されるため、
当該ＣＤ用機械検出測定器１０の性能により、この追従
は全く問題なく行われる。
る微小凹凸パターン４に対してではなく、その内周側７
Ａに形成され、ＣＤ用フォーマットの諸元に準拠した偏
心測定用微小凹凸パターン８に対して照射されるため、
当該ＣＤ用機械検出測定器１０の性能により、この追従
は全く問題なく行われる。
【００４１】一方、分割されたもう一方のレーザ光は、
固定レンズ２４を経てミラー２６に入射される。このミ
ラー２６は対物レンズ１６と一体化されており、偏心測
定用微小凹凸パターン８の半径方向の変位に追従して動
く。ミラー２６の反射光はビームスプリッタ２８を経て
光位置センサ３０に至る。
固定レンズ２４を経てミラー２６に入射される。このミ
ラー２６は対物レンズ１６と一体化されており、偏心測
定用微小凹凸パターン８の半径方向の変位に追従して動
く。ミラー２６の反射光はビームスプリッタ２８を経て
光位置センサ３０に至る。
【００４２】ミラー２６の反射光の方向が変わると、こ
の光位置センサ３０上でのビームスポット位置が変わ
る。ミラー２６の反射光の方向は、対物レンズ１６の動
き、即ち、偏心測定用微小凹凸パターン８の半径方向の
変位と連動しており、当該ＤＶＲ用光ディスク２の偏心
状態を反映している。そのため、この光位置センサ３０
上でのビームスポット位置の変動を検出することによ
り、当該ＤＶＲ用光ディスク２の偏心状態を知ることが
できる。
の光位置センサ３０上でのビームスポット位置が変わ
る。ミラー２６の反射光の方向は、対物レンズ１６の動
き、即ち、偏心測定用微小凹凸パターン８の半径方向の
変位と連動しており、当該ＤＶＲ用光ディスク２の偏心
状態を反映している。そのため、この光位置センサ３０
上でのビームスポット位置の変動を検出することによ
り、当該ＤＶＲ用光ディスク２の偏心状態を知ることが
できる。
【００４３】光位置センサ３０の出力は増幅器３２によ
って増幅され、「偏心情報」として出力される。この結
果、ＤＶＲ用光ディスク２の偏心状態を、ＣＤ用機械検
出測定器１０を用いて測定することが可能となる。
って増幅され、「偏心情報」として出力される。この結
果、ＤＶＲ用光ディスク２の偏心状態を、ＣＤ用機械検
出測定器１０を用いて測定することが可能となる。
【００４４】
【実施例１】情報記録領域の微小凹凸パターン（第１の
凹凸）として、新たに提案されているＤＶＲと呼ばれる
ディスクの諸元に準拠した深さ３０ｎｍ、幅１６０ｎ
ｍ、半径方向グルーブピッチ０．３μｍのグルーブを有
し、一方、その内周側にＣＤフォーマットの諸元に準拠
した深さ３０ｎｍ、幅５００ｎｍ、半径方向ピッチ１．
６μｍの偏心測定用グルーブ（第２の凹凸）を有するス
タンパを作成した。
凹凸）として、新たに提案されているＤＶＲと呼ばれる
ディスクの諸元に準拠した深さ３０ｎｍ、幅１６０ｎ
ｍ、半径方向グルーブピッチ０．３μｍのグルーブを有
し、一方、その内周側にＣＤフォーマットの諸元に準拠
した深さ３０ｎｍ、幅５００ｎｍ、半径方向ピッチ１．
６μｍの偏心測定用グルーブ（第２の凹凸）を有するス
タンパを作成した。
【００４５】ここでは２ビームのカッティングマシンを
用い、第１の凹凸を内周から外周に形成した後に再度最
内周に移動して第２の凹凸を形成した。
用い、第１の凹凸を内周から外周に形成した後に再度最
内周に移動して第２の凹凸を形成した。
【００４６】このスタンパを金型に装着し、射出成形機
にて外径１２０ｍｍ、厚さ１．２ｍｍの（本発明でいう
広義の光ディスクの範疇に属する）樹脂基板を成形し
た。
にて外径１２０ｍｍ、厚さ１．２ｍｍの（本発明でいう
広義の光ディスクの範疇に属する）樹脂基板を成形し
た。
【００４７】使用した樹脂は、三菱エンジニアリングプ
ラスチック製ポリカーボネートＨ４０００−Ｎ２８２
で、主な成形条件は、樹脂溶融温度３６０℃、金型温度
１２５℃、型締力３５トンである。
ラスチック製ポリカーボネートＨ４０００−Ｎ２８２
で、主な成形条件は、樹脂溶融温度３６０℃、金型温度
１２５℃、型締力３５トンである。
【００４８】この樹脂基板を前述した構成のＣＤ用機械
精度測定器（小野測器製ＬＭ１２００：レーザ光の波長
７８０ｎｍ、開口数ＮＡ０．４５）にて測定したとこ
ろ、情報記録領域に関しては、グルーブ面にフォーカス
オンすることはできたが、径方向の追従（トラックオ
ン）することはできず、偏心の測定はできなかった。
精度測定器（小野測器製ＬＭ１２００：レーザ光の波長
７８０ｎｍ、開口数ＮＡ０．４５）にて測定したとこ
ろ、情報記録領域に関しては、グルーブ面にフォーカス
オンすることはできたが、径方向の追従（トラックオ
ン）することはできず、偏心の測定はできなかった。
【００４９】これに対し、樹脂基板内周側の情報記録領
域外に形成したＣＤフォーマットに準拠したグルーブに
ついては、フォーカスオン及び径方向の追従（トラック
オン）の双方が可能であり、問題なく偏心を測定するこ
とができた。
域外に形成したＣＤフォーマットに準拠したグルーブに
ついては、フォーカスオン及び径方向の追従（トラック
オン）の双方が可能であり、問題なく偏心を測定するこ
とができた。
【００５０】これにより、ＤＶＲ用の光ディスクの情報
記録領域以外の領域に、ＣＤフォーマットに準拠した微
小凹凸パターンを形成することにより、ＤＶＲ用光ディ
スクの偏心状態を、ＣＤ用機械検出測定器を用いて測定
することが可能となることがわかった。
記録領域以外の領域に、ＣＤフォーマットに準拠した微
小凹凸パターンを形成することにより、ＤＶＲ用光ディ
スクの偏心状態を、ＣＤ用機械検出測定器を用いて測定
することが可能となることがわかった。
【００５１】
【実施例２】実施例１の樹脂基板を用いて、顕微鏡観察
による偏心の測定を行ってみたところ、情報記録領域
（第１の凹凸）と鏡面領域との境界線は、顕微鏡では認
識困難なため、偏心の測定ができなかったが、情報記録
領域外の偏心測定用微小凹凸パターン（第２の凹凸）と
鏡面領域の境界線は、顕微鏡でも認識が可能であり、容
易に偏心を測定することができた。
による偏心の測定を行ってみたところ、情報記録領域
（第１の凹凸）と鏡面領域との境界線は、顕微鏡では認
識困難なため、偏心の測定ができなかったが、情報記録
領域外の偏心測定用微小凹凸パターン（第２の凹凸）と
鏡面領域の境界線は、顕微鏡でも認識が可能であり、容
易に偏心を測定することができた。
【００５２】これにより、情報記録領域に形成されてい
る微小凹凸パターンのフォーマットの種類にかかわら
ず、情報記録領域外にＣＤのフォーマットレベルのピッ
チを有する偏心測定用微小凹凸パターンを形成しておけ
ば、従来通り顕微鏡による偏心測定も可能であることが
分かった。
る微小凹凸パターンのフォーマットの種類にかかわら
ず、情報記録領域外にＣＤのフォーマットレベルのピッ
チを有する偏心測定用微小凹凸パターンを形成しておけ
ば、従来通り顕微鏡による偏心測定も可能であることが
分かった。
【００５３】結局、ＤＶＲクラスの光ディスク（第１の
凹凸としての主たる情報記録領域のグルーブ及び／又は
ピットの幅が２００ｎｍ以下である光記録媒体）であっ
ても、その内周或いは外周（前記情報記録領域以外の所
定の場所）に、ＣＤクラス（グルーブの幅が４００ｎｍ
以上１０００ｎｍ以下であり、グルーブピッチが１．２
μｍ以上２．０μｍ以下クラス）の第２の凹凸、或いは
ＤＶＤクラス（グルーブの幅が２５０ｎｍ以上７５０ｎ
ｍ以下であり、グルーブピッチが０．６μｍ以上１．５
μｍ以下クラス）の第２の凹凸を形成することにより、
その機械制度をＣＤ用の機械精度測定器、或いはＤＶＤ
の機械精度測定器により十分測定・評価することができ
るようになることがわかる。
凹凸としての主たる情報記録領域のグルーブ及び／又は
ピットの幅が２００ｎｍ以下である光記録媒体）であっ
ても、その内周或いは外周（前記情報記録領域以外の所
定の場所）に、ＣＤクラス（グルーブの幅が４００ｎｍ
以上１０００ｎｍ以下であり、グルーブピッチが１．２
μｍ以上２．０μｍ以下クラス）の第２の凹凸、或いは
ＤＶＤクラス（グルーブの幅が２５０ｎｍ以上７５０ｎ
ｍ以下であり、グルーブピッチが０．６μｍ以上１．５
μｍ以下クラス）の第２の凹凸を形成することにより、
その機械制度をＣＤ用の機械精度測定器、或いはＤＶＤ
の機械精度測定器により十分測定・評価することができ
るようになることがわかる。
【００５４】即ち、光ディスク自体は、あくまでＤＶＲ
クラスのそれであって、グルーブピッチが５００ｎｍ以
下とされ、レーザ波長４５０ｎｍ以下、記録再生用レン
ズの開口数ＮＡが０．７以上の光学システムにおいて初
めて記録及び／又は再生可能となるような諸元を有して
いるものであったとしても、そのディスクの機械精度を
ＣＤ用の機械精度測定器、或いはＤＶＤの機械精度測定
器により十分測定・評価することができるようになるこ
とがわかる。
クラスのそれであって、グルーブピッチが５００ｎｍ以
下とされ、レーザ波長４５０ｎｍ以下、記録再生用レン
ズの開口数ＮＡが０．７以上の光学システムにおいて初
めて記録及び／又は再生可能となるような諸元を有して
いるものであったとしても、そのディスクの機械精度を
ＣＤ用の機械精度測定器、或いはＤＶＤの機械精度測定
器により十分測定・評価することができるようになるこ
とがわかる。
【００５５】なお、上記実施形態で取り上げたＣＤ用機
械精度測定器１０は一つの例に過ぎず、本発明では機械
精度測定器自体の構成については特に限定されない。具
体的には従来既に提案、或いは市販されている全てのＣ
Ｄ用、或いはＤＶＤ用機械精度測定器を含み、更に、例
えばローコストの新たなＣＤ用、或いはＤＶＤ用機械精
度測定器が開発された場合には、それをも含む。
械精度測定器１０は一つの例に過ぎず、本発明では機械
精度測定器自体の構成については特に限定されない。具
体的には従来既に提案、或いは市販されている全てのＣ
Ｄ用、或いはＤＶＤ用機械精度測定器を含み、更に、例
えばローコストの新たなＣＤ用、或いはＤＶＤ用機械精
度測定器が開発された場合には、それをも含む。
【００５６】
【発明の効果】本発明によれば、高密度フォーマットに
準拠した光ディスクの機械的精度の測定に当たって、従
来の機械精度測定器をそのまま有効に活用することが可
能となるという効果が得られる。
準拠した光ディスクの機械的精度の測定に当たって、従
来の機械精度測定器をそのまま有効に活用することが可
能となるという効果が得られる。
【図１】本発明が適用された光ディスクの機械的精度の
測定システムにおいて使用されるＤＶＲ用光ディスクを
模式的に示した断面図
測定システムにおいて使用されるＤＶＲ用光ディスクを
模式的に示した断面図
【図２】上記測定システムにおいて使用される機械精度
測定器の概略構成図
測定器の概略構成図
２…ＤＶＲ用光ディスク
４…（情報記録領域の）微小凹凸パターン
６…情報記録領域
８…偏心測定用（機械測定用）微小凹凸パターン
１０…ＣＤ用機械精度測定器
１２…レーザ光源
１４…分光器
１６…対物レンズ
１８…フォトディテクタ
２０…フォーカス制御回路
２２…アクチュエータ
２４…固定レンズ
２６…ミラー
２８…ビームスプリッタ
３０…光位置センサ
３２…増幅器
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 5D029 WB11 WC01 WD30
5D119 AA22 AA38 BA01 JA43 JB02
5D121 AA20 HH05 HH19
5D789 AA22 AA38 BA01 JA43 JB02
Claims (9)
- 【請求項１】第１の凹凸としての主たる情報記録領域の
グルーブ及び／又はピットの幅が２００ｎｍ以下である
光記録媒体の、 前記情報記録領域以外の所定の場所に、レーザ波長７８
０±１０ｎｍ、記録再生用レンズの開口数ＮＡが０．４
５±０．０１の光学システムにおいてトラッキング可能
な第２の凹凸としてのグルーブ及び／又はランドを有す
ることを特徴とする光記録媒体。 - 【請求項２】請求項１において、前記第１の凹凸のグル
ーブピッチが５００ｎｍ以下であることを特徴とする光
記録媒体。 - 【請求項３】請求項１又は２において、前記第２の凹凸
のグルーブの幅が４００ｎｍ以上６００ｎｍ以下であ
り、グルーブピッチが１．２μｍ以上２．０μｍ以下で
あることを特徴とする光記録媒体。 - 【請求項４】前記請求項１〜３のいずれかにおいて、前
記第１の凹凸が、レーザ波長４５０ｎｍ以下、記録再生
用レンズの開口数ＮＡが０．７以上の光学システムにお
いて記録及び／又は再生可能であることを特徴とする光
記録媒体。 - 【請求項５】第１の凹凸としての主たる情報記録領域の
グルーブ及び／又はピットの幅が２００ｎｍ以下である
光記録媒体の、 前記情報記録領域以外の所定の場所に、レーザ波長６４
０±２０ｎｍ、記録再生用レンズの開口数ＮＡが０．６
±０．０１の光学システムにおいてトラッキング可能な
第２の凹凸を有することを特徴とする光記録媒体。 - 【請求項６】請求項５において、 前記第１の凹凸グルーブピッチが５００ｎｍ以下である
ことを特徴とする光記録媒体。 - 【請求項７】請求項５又は６において、 前記第２の凹凸のグルーブの幅が２５０ｎｍ以上７５０
ｎｍ以下であり、グルーブピッチが０．６μｍ以上１．
５μｍ以下であることを特徴とする光記録媒体。 - 【請求項８】請求項５〜７のいずれかにおいて、 前記第１の凹凸が、レーザ波長４５０ｎｍ以下、記録再
生用レンズの開口数ＮＡが０．７以上の光学システムに
おいて記録及び／又は再生可能であることを特徴とする
光記録媒体。 - 【請求項９】レーザ波長４５０ｎｍ以下、記録再生用レ
ンズの開口数ＮＡが０．７以上の光学システムにおいて
記録及び／又は再生可能である第１の凹凸としての主た
る情報記録領域のグルーブ及び／又はピットの機械精度
を評価するための光記録媒体の評価方法であって、 前記情報記録領域以外の所定の場所に、レーザ波長７８
０±１０ｎｍ、記録再生用レンズの開口数ＮＡが０．４
５±０．０１の光学システム又はレーザ波長６４０±２
０ｎｍ、記録再生用レンズの開口数ＮＡが０．６±０．
０１の光学システムにおいてトラッキング可能な第２の
凹凸を、前記第１の凹凸と同時に又は連続して形成し、
該第１の凹凸の機械精度を、該第２の凹凸を検査するこ
とによって評価することを特徴とする光記録媒体の評価
方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001326331A JP2003132587A (ja) | 2001-10-24 | 2001-10-24 | 光記録媒体及び光記録媒体の評価方法 |
| PCT/JP2002/010903 WO2003042987A1 (fr) | 2001-10-24 | 2002-10-21 | Support d'enregistrement optique et procede d'evaluation d'un support d'enregistrement optique |
| US10/493,420 US7283457B2 (en) | 2001-10-24 | 2002-10-21 | Optical recording medium and method of evaluating optical recording medium |
| TW091124388A TWI234774B (en) | 2001-10-24 | 2002-10-22 | Optical recording medium and optical recording medium evaluation method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001326331A JP2003132587A (ja) | 2001-10-24 | 2001-10-24 | 光記録媒体及び光記録媒体の評価方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003132587A true JP2003132587A (ja) | 2003-05-09 |
Family
ID=19142734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001326331A Pending JP2003132587A (ja) | 2001-10-24 | 2001-10-24 | 光記録媒体及び光記録媒体の評価方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JP2003132587A (ja) |
| TW (1) | TWI234774B (ja) |
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| JP4665024B2 (ja) * | 2008-12-10 | 2011-04-06 | 株式会社東芝 | スタンパの評価方法 |
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| JPS61216139A (ja) | 1985-03-20 | 1986-09-25 | Fujitsu Ltd | 光学的デイスク媒体の偏心量検出方式 |
| JPS62117151A (ja) | 1985-11-15 | 1987-05-28 | Shindenshi Kogyo Kk | 光デイスク機械精度測定装置用較正デイスク |
| JP2547028B2 (ja) * | 1987-07-07 | 1996-10-23 | 京セラ株式会社 | 基準ディスク |
| JPH0621108A (ja) | 1992-07-01 | 1994-01-28 | Oki Electric Ind Co Ltd | セラミック多層基板へのベアチップｉｃの実装構造 |
| JPH0668474A (ja) | 1992-08-19 | 1994-03-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 光記録媒体およびその再生装置 |
| JP2524326B2 (ja) | 1992-12-11 | 1996-08-14 | 日本コロムビア株式会社 | 光ディスク原盤の製造方法 |
| JPH087536A (ja) | 1994-06-27 | 1996-01-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インサート編集装置 |
| JP2983920B2 (ja) * | 1996-06-18 | 1999-11-29 | 三洋電機株式会社 | 互換再生可能なピックアップ調整用光記録媒体およびその調整方法 |
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| TW544671B (en) * | 2000-02-25 | 2003-08-01 | Sony Corp | Recording medium, recording apparatus, and reading apparatus |
| US6700862B2 (en) * | 2000-10-03 | 2004-03-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical disc and manufacturing method for the same |
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- 2001-10-24 JP JP2001326331A patent/JP2003132587A/ja active Pending
-
2002
- 2002-10-21 US US10/493,420 patent/US7283457B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-10-21 WO PCT/JP2002/010903 patent/WO2003042987A1/ja active Application Filing
- 2002-10-22 TW TW091124388A patent/TWI234774B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US7283457B2 (en) | 2007-10-16 |
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