JP2003121757A - プリズム検査装置 - Google Patents
プリズム検査装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 検査精度を向上させることができるととも
に、検査時間の短縮を図ることができるプリズム検査装
置を提供する。 【解決手段】 立方体形状のプリズム5を90°づつ回
転させて3つの面を同軸落射照明と暗視野照明とを切り
換えながら第1のカメラ13で撮像する。撮像された3
つの面の像を予め設定された検査の基準に基いて欠陥検
査をする。また、暗視野照明において接合面を第1のカ
メラ13で撮像する。撮像された接合面の像を予め設定
された検査の基準に基いて欠陥検査する。A面〜D面の
像はディスプレイ21の♯1〜♯7に表示される。
に、検査時間の短縮を図ることができるプリズム検査装
置を提供する。 【解決手段】 立方体形状のプリズム5を90°づつ回
転させて3つの面を同軸落射照明と暗視野照明とを切り
換えながら第1のカメラ13で撮像する。撮像された3
つの面の像を予め設定された検査の基準に基いて欠陥検
査をする。また、暗視野照明において接合面を第1のカ
メラ13で撮像する。撮像された接合面の像を予め設定
された検査の基準に基いて欠陥検査する。A面〜D面の
像はディスプレイ21の♯1〜♯7に表示される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明はプリズムの欠陥を
検査するプリズム検査装置に関する。
検査するプリズム検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】プリズムは屈折や反射を利用した光束の
偏光や位置の変換という機能を有し、顕微鏡等だけでな
くDVDや光コネクタ等に用いられている。
偏光や位置の変換という機能を有し、顕微鏡等だけでな
くDVDや光コネクタ等に用いられている。
【0003】DVD等の普及によってこの種プリズムの
需要も急激に拡大し、それに伴いプリズムの品質向上が
求められるようになってきている。
需要も急激に拡大し、それに伴いプリズムの品質向上が
求められるようになってきている。
【0004】従来、このプリズムの欠陥検査は自動化さ
れておらず、専ら目視によって行われている。
れておらず、専ら目視によって行われている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、欠陥検査は
プリズムの一面づつ複数の面に対して行われるため、1
個のプリズムの検査に多くの時間が必要になり、多量の
プリズムを検査することができない。
プリズムの一面づつ複数の面に対して行われるため、1
個のプリズムの検査に多くの時間が必要になり、多量の
プリズムを検査することができない。
【0006】また、検査を行う人の能力によって検出で
きる欠陥(傷)の大きさに差が生じ、検査の精度に個人
差が生じる。
きる欠陥(傷)の大きさに差が生じ、検査の精度に個人
差が生じる。
【0007】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は検査精度を向上させることができ
るとともに、検査時間の短縮を図ることができるプリズ
ム検査装置を提供することである。
たもので、その課題は検査精度を向上させることができ
るとともに、検査時間の短縮を図ることができるプリズ
ム検査装置を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項1記載の発明は、プリズムの複数の面を撮像する
撮像手段と、前記撮像手段で撮像された像を表示する表
示手段と、前記像を前記表示手段の画面上に撮像順に表
示させる画像表示制御手段とを備えていることを特徴と
する。
請求項1記載の発明は、プリズムの複数の面を撮像する
撮像手段と、前記撮像手段で撮像された像を表示する表
示手段と、前記像を前記表示手段の画面上に撮像順に表
示させる画像表示制御手段とを備えていることを特徴と
する。
【0009】撮像手段によってプリズムの複数の面を撮
像し、撮像した複数の画像を撮像順に表示手段に表示
し、複数の面の検査を行う。
像し、撮像した複数の画像を撮像順に表示手段に表示
し、複数の面の検査を行う。
【0010】請求項2記載の発明は、プリズムの複数の
面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段で撮像された像
を表示する表示手段と、前記像を前記表示手段の画面上
に複数同時に表示させる画像表示制御手段とを備えてい
る。
面を撮像する撮像手段と、前記撮像手段で撮像された像
を表示する表示手段と、前記像を前記表示手段の画面上
に複数同時に表示させる画像表示制御手段とを備えてい
る。
【0011】撮像手段によってプリズムの複数の面を撮
像し、撮像した複数の画像を同時に表示手段に表示し、
複数の面の検査を行う。
像し、撮像した複数の画像を同時に表示手段に表示し、
複数の面の検査を行う。
【0012】請求項3記載の発明は、プリズムを保持す
るステージと、このステージを回転させる回転手段と、
前記プリズムを水平方向から撮像する第1の撮像手段
と、前記プリズムを垂直方向から撮像する第2の撮像手
段と、前記第2の撮像手段で撮像した画像と予め登録さ
せておいた基準画像とのずれ量を検出する検出手段と、
前記検出手段の検出結果に基いて、前記第1の撮像手段
の光軸が前記プリズムの1つの面に対して直角になるよ
うに前記回転手段を駆動するプリズム姿勢制御手段とを
備えていることを特徴とする。
るステージと、このステージを回転させる回転手段と、
前記プリズムを水平方向から撮像する第1の撮像手段
と、前記プリズムを垂直方向から撮像する第2の撮像手
段と、前記第2の撮像手段で撮像した画像と予め登録さ
せておいた基準画像とのずれ量を検出する検出手段と、
前記検出手段の検出結果に基いて、前記第1の撮像手段
の光軸が前記プリズムの1つの面に対して直角になるよ
うに前記回転手段を駆動するプリズム姿勢制御手段とを
備えていることを特徴とする。
【0013】第1の撮像手段の光軸を機械的なガイド板
を当てたり沿わせたりすることなくプリズムの1つの面
に対して直角にすることができる。
を当てたり沿わせたりすることなくプリズムの1つの面
に対して直角にすることができる。
【0014】請求項4記載の発明は、請求項3記載のプ
リズム検査装置において、前記プリズムを照明するため
の複数の観察用光源と、予め登録されたシーケンスにし
たがって前記複数の観察用光源を駆動する光源制御手段
とを備えていることを特徴とする。
リズム検査装置において、前記プリズムを照明するため
の複数の観察用光源と、予め登録されたシーケンスにし
たがって前記複数の観察用光源を駆動する光源制御手段
とを備えていることを特徴とする。
【0015】予め登録されたシーケンスにしたがって最
適の光源及び光量でプリズムを照明することができる。
適の光源及び光量でプリズムを照明することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。
面に基づいて説明する。
【0017】図1はこの発明の一実施形態に係るプリズ
ム検査装置のプリズム位置制御部のブロック構成図であ
る。
ム検査装置のプリズム位置制御部のブロック構成図であ
る。
【0018】このプリズム検査装置のプリズム位置制御
部10は、吸着ピンステージ(以下ステージという)1
1と、モータ(回転手段)12と、第1のカメラ(第1
の撮像手段)13と、第2のカメラ(第2の撮像手段)
14と、画像処理部15と、制御部16と、モータドラ
イバ17とを備えている。
部10は、吸着ピンステージ(以下ステージという)1
1と、モータ(回転手段)12と、第1のカメラ(第1
の撮像手段)13と、第2のカメラ(第2の撮像手段)
14と、画像処理部15と、制御部16と、モータドラ
イバ17とを備えている。
【0019】第1のカメラ13はレンズ13aとカメラ
本体13bとで構成されている。また、第2のカメラ1
4はレンズ14aとカメラ本体14bとで構成されてい
る。第1のカメラ及び第2のカメラはCCD(Char
ge Coupled Device)カメラである。
本体13bとで構成されている。また、第2のカメラ1
4はレンズ14aとカメラ本体14bとで構成されてい
る。第1のカメラ及び第2のカメラはCCD(Char
ge Coupled Device)カメラである。
【0020】ステージ11には被検査用のプリズム5が
吸着保持されている。
吸着保持されている。
【0021】第1のカメラ13はプリズム5の側方に配
置され、プリズム5の側面を横方向から撮像する。
置され、プリズム5の側面を横方向から撮像する。
【0022】第2のカメラ14はプリズム5の上方に配
置され、プリズム5の上面を上方向から撮像する。
置され、プリズム5の上面を上方向から撮像する。
【0023】制御部16は第2のカメラ14で撮像した
画像を画像処理部15で画像処理し、予めメモリ(図示
せず)に登録させておいた基準画像とのずれ量を検出す
る検出部(検出手段)16aを有する。
画像を画像処理部15で画像処理し、予めメモリ(図示
せず)に登録させておいた基準画像とのずれ量を検出す
る検出部(検出手段)16aを有する。
【0024】また、制御部16は、検出部16aの検出
結果に基いて、第1のカメラ13の光軸Lがプリズム5
の側面に対して直角になるようにモータドライバ17を
働かせてモータ12(ステージ11)を回転させるプリ
ズム姿勢制御部(プリズム姿勢制御手段)16bを有す
る。モータドライバ17は、例えばモータ駆動用ICで
構成される。
結果に基いて、第1のカメラ13の光軸Lがプリズム5
の側面に対して直角になるようにモータドライバ17を
働かせてモータ12(ステージ11)を回転させるプリ
ズム姿勢制御部(プリズム姿勢制御手段)16bを有す
る。モータドライバ17は、例えばモータ駆動用ICで
構成される。
【0025】制御部16としては、例えばパーソナルコ
ンピュータ(以下パソコンという)を用いることができ
る。
ンピュータ(以下パソコンという)を用いることができ
る。
【0026】プリズム5の位置を制御するとき、まず、
第2のカメラ14によってプリズム5の上面の画像を取
得する。
第2のカメラ14によってプリズム5の上面の画像を取
得する。
【0027】第2のカメラ14によって取得された画像
を画像処理部15に送り、この画像処理部15で所定の
画像処理を施す。
を画像処理部15に送り、この画像処理部15で所定の
画像処理を施す。
【0028】画像処理された画像データを制御部16へ
送り、検出部16aで予めメモリに登録させておいた基
準画像とのずれ量を検出する。
送り、検出部16aで予めメモリに登録させておいた基
準画像とのずれ量を検出する。
【0029】プリズム姿勢制御部16bでは検出部16
aで検出されたずれ量に基いてモータ12を所定角度だ
け回転させて第1のカメラ13の光軸Lをプリズム5の
側面に対して直角になるようにする。
aで検出されたずれ量に基いてモータ12を所定角度だ
け回転させて第1のカメラ13の光軸Lをプリズム5の
側面に対して直角になるようにする。
【0030】その後、プリズム5の傷等の欠陥検査が行
なわれる。
なわれる。
【0031】この実施形態のプリズム位置制御部10に
よれば、上述したように第1のカメラ13の光軸Lを機
械的なガイド板を当てたり沿わせたりすることなくプリ
ズム5の側面に対して直角にすることができるため、プ
リズム5の側面にゴミが付着せず、検査精度を向上させ
ることができるとともに、ガイド板を制御する時間が不
要になる分だけ検査時間の短縮を図ることができる。ま
た、ガイド板によって検査スペースの制限を受けないた
め、プリズム5の搬送等の自由度が向上する。
よれば、上述したように第1のカメラ13の光軸Lを機
械的なガイド板を当てたり沿わせたりすることなくプリ
ズム5の側面に対して直角にすることができるため、プ
リズム5の側面にゴミが付着せず、検査精度を向上させ
ることができるとともに、ガイド板を制御する時間が不
要になる分だけ検査時間の短縮を図ることができる。ま
た、ガイド板によって検査スペースの制限を受けないた
め、プリズム5の搬送等の自由度が向上する。
【0032】図2はプリズム検査装置の検査時における
画面表示部を説明するブロック構成図、図3はプリズム
の検査面を説明する図である。
画面表示部を説明するブロック構成図、図3はプリズム
の検査面を説明する図である。
【0033】図3において、A〜Dは欠陥検査を行う面
を示している。
を示している。
【0034】また、図2において、♯1〜♯3、♯4〜
♯6及び♯7は、それぞれ同軸落射照明のときのA面〜
C面に対応する画像が表示される位置、暗視野照明のと
きのA面〜C面に対応する画像が表示される位置及び暗
視野テレセントリック照明のときのD面(接合面)に対
応する画像が表示される位置である。なお、A面〜C面
はポリッシュ面である。
♯6及び♯7は、それぞれ同軸落射照明のときのA面〜
C面に対応する画像が表示される位置、暗視野照明のと
きのA面〜C面に対応する画像が表示される位置及び暗
視野テレセントリック照明のときのD面(接合面)に対
応する画像が表示される位置である。なお、A面〜C面
はポリッシュ面である。
【0035】プリズム検査装置の画面表示部20は、第
1のカメラ13と、画像処理部15と、制御部16と、
ディスプレイ(表示手段)21とを備えている。
1のカメラ13と、画像処理部15と、制御部16と、
ディスプレイ(表示手段)21とを備えている。
【0036】制御部16は画像表示制御部(画像表示制
御手段)16cを有する。画像表示制御部(画像表示制
御手段)16cは、例えば第1のカメラ13で撮像され
た♯1〜♯7の像をディスプレイ21上に、複数同時に
表示させたり、♯1〜♯7の像を撮像順に表示させたり
する。
御手段)16cを有する。画像表示制御部(画像表示制
御手段)16cは、例えば第1のカメラ13で撮像され
た♯1〜♯7の像をディスプレイ21上に、複数同時に
表示させたり、♯1〜♯7の像を撮像順に表示させたり
する。
【0037】ディスプレイ21はパソコンのCRTモニ
タである。
タである。
【0038】なお、プリズム5は立方体又は直方体であ
る。このプリズム5の側面に対して第1のカメラ13の
光軸は前述したように直角になっている。
る。このプリズム5の側面に対して第1のカメラ13の
光軸は前述したように直角になっている。
【0039】次に、上記の状態になっているプリズム5
を検査し、検査結果を画面表示する方法を説明する。
を検査し、検査結果を画面表示する方法を説明する。
【0040】図4はプリズムの検査及び検査結果の画面
表示の一例を説明するフローチャートである。図4にお
いてS1〜S12は各ステップを示す。
表示の一例を説明するフローチャートである。図4にお
いてS1〜S12は各ステップを示す。
【0041】まず、ポリッシュ面(A面〜C面)の欠陥
検査と画像表示とを行う。
検査と画像表示とを行う。
【0042】同軸落射照明によって照明されているA面
の画像を取り込む(S1)。
の画像を取り込む(S1)。
【0043】予め設定された検査の基準に基いてA面の
画像の欠陥(ヒキ傷、汚れ、曇り、砂、欠け、クラック
等)を検査する(S2)。
画像の欠陥(ヒキ傷、汚れ、曇り、砂、欠け、クラック
等)を検査する(S2)。
【0044】A面の画像をディスプレイ21の♯1に表
示する(S3)。
示する(S3)。
【0045】暗視野照明によって照明されているA面の
画像を取り込む(S4)。
画像を取り込む(S4)。
【0046】予め設定された検査の基準に基いてA面の
画像の欠陥(ヒキ傷、汚れ、曇り、砂、欠け、クラック
等)を検査する(S5)。
画像の欠陥(ヒキ傷、汚れ、曇り、砂、欠け、クラック
等)を検査する(S5)。
【0047】A面の画像をディスプレイ21の♯4に表
示する(S6)。
示する(S6)。
【0048】プリズムを90°回転させる(S7)。
【0049】B面とC面の画像の欠陥検査と画像表示
(ディスプレイ21の♯2、♯3、♯5及び♯6に表
示)とが終了するまでステップS1〜S7を繰返す(S
8、S9)。
(ディスプレイ21の♯2、♯3、♯5及び♯6に表
示)とが終了するまでステップS1〜S7を繰返す(S
8、S9)。
【0050】上記ステップが終了した後、接合面(D
面)の欠陥検査と画像表示とを行う。
面)の欠陥検査と画像表示とを行う。
【0051】暗視野照明によって照明されているD面の
画像を取り込む(S10)。
画像を取り込む(S10)。
【0052】予め設定された検査の基準に基いてD面の
画像の欠陥(ヒキ傷、汚れ、曇り、砂、欠け、クラック
等)を検査する(S11)。
画像の欠陥(ヒキ傷、汚れ、曇り、砂、欠け、クラック
等)を検査する(S11)。
【0053】D面の画像をディスプレイ21の♯7に表
示する(S12)。
示する(S12)。
【0054】その後、他のプリズムに対して上記と同様
の検査が行なわれる。
の検査が行なわれる。
【0055】このプリズム検査装置の画面表示部20に
よれば、予め設定されたシーケンス、検査基準にしたが
って検査が行われるため、各面に生じた傷を客観的に検
出することができ、検査精度を向上させて検査の信頼性
を高めることができるとともに、検査時間の短縮を図る
ことができ、検査時における操作性が従来に比し向上す
る。
よれば、予め設定されたシーケンス、検査基準にしたが
って検査が行われるため、各面に生じた傷を客観的に検
出することができ、検査精度を向上させて検査の信頼性
を高めることができるとともに、検査時間の短縮を図る
ことができ、検査時における操作性が従来に比し向上す
る。
【0056】なお、上記説明では、♯1〜♯7の像を撮
像順に順次ディスプレイ21に表示したが、♯1〜♯7
の像を同時にディスプレイ21に表示するようにしても
よい。
像順に順次ディスプレイ21に表示したが、♯1〜♯7
の像を同時にディスプレイ21に表示するようにしても
よい。
【0057】♯1〜♯7の像を同時にディスプレイ21
に表示したときには、検査時における操作性が従来に比
しより向上する。
に表示したときには、検査時における操作性が従来に比
しより向上する。
【0058】図5は光源制御部のブロック構成図であ
る。
る。
【0059】光源制御部40は、プリズム5に応じた複
数のプログラムを有する制御部16と、この制御部16
から供給されるプログラムにしたがってプリズム5を照
明するためのLED1(同軸落射照明用光源)又はLE
D2(暗視野照明用光源)を選択し駆動する駆動部30
とを備えている。
数のプログラムを有する制御部16と、この制御部16
から供給されるプログラムにしたがってプリズム5を照
明するためのLED1(同軸落射照明用光源)又はLE
D2(暗視野照明用光源)を選択し駆動する駆動部30
とを備えている。
【0060】なお、LED1,LED2はそれぞれ複数
(数十個)のLED(LightEmitting D
iode)の集合を意味する。例えば、数mm角程度の
プリズムには40〜50個程度のLEDを用いるのが欠
陥検出に効果的であり好ましい。
(数十個)のLED(LightEmitting D
iode)の集合を意味する。例えば、数mm角程度の
プリズムには40〜50個程度のLEDを用いるのが欠
陥検出に効果的であり好ましい。
【0061】プリズム5の下方から照明する暗視野照明
用光源では超高輝度(白色、青色、青緑色)LEDを円
形2重リング状に配置する。照射角度は20〜30度で
ある。
用光源では超高輝度(白色、青色、青緑色)LEDを円
形2重リング状に配置する。照射角度は20〜30度で
ある。
【0062】駆動部30は、メモリ31と、第1のラッ
チ回路32と、第1のD/A回路(ディジタルアナログ
変換回路)33と、第1のドライバ34と、第2のラッ
チ回路35と、第2のD/A回路36と、第2のドライ
バ37とで構成される。
チ回路32と、第1のD/A回路(ディジタルアナログ
変換回路)33と、第1のドライバ34と、第2のラッ
チ回路35と、第2のD/A回路36と、第2のドライ
バ37とで構成される。
【0063】メモリ31は、例えばディジタルメモリを
用い、制御部16から供給されるプリズム5の大きさ等
に応じたプログラムを記憶する。
用い、制御部16から供給されるプリズム5の大きさ等
に応じたプログラムを記憶する。
【0064】第1のラッチ回路32は同軸落射照明を行
うとき、プリズム5を同軸落射照明に適したLED1の
光量に対応するデータを記憶する。
うとき、プリズム5を同軸落射照明に適したLED1の
光量に対応するデータを記憶する。
【0065】第1のD/A回路33は第1のラッチ回路
32から出力されるディジタル信号をアナログ信号に変
換する。
32から出力されるディジタル信号をアナログ信号に変
換する。
【0066】第1のドライバ34は第1のD/A回路3
3の出力に基いてLED1を定電流駆動してLED1を
点灯させる。
3の出力に基いてLED1を定電流駆動してLED1を
点灯させる。
【0067】第2のラッチ回路35は暗視野照明を行う
とき、暗視野照明に適したLED2の光量に対応するデ
ータを記憶する。
とき、暗視野照明に適したLED2の光量に対応するデ
ータを記憶する。
【0068】第2のD/A回路36は第2のラッチ回路
35から出力されるディジタル信号をアナログ信号に変
換する。
35から出力されるディジタル信号をアナログ信号に変
換する。
【0069】第2のドライバ37は、第2のD/A回路
36の出力に基いてLED2を定電流駆動してLED2
を点灯させる。
36の出力に基いてLED2を定電流駆動してLED2
を点灯させる。
【0070】光源制御部の動作を図2の画面表示に沿っ
て説明する。
て説明する。
【0071】図6はプリズムの表面の欠陥検査時におけ
る光源制御部の動作を示すタイムチャートである。
る光源制御部の動作を示すタイムチャートである。
【0072】図6(a)に示すようにサイクルをスター
トさせるパルスを発生させ、以下のようにLED1及び
LED2を点灯させる。
トさせるパルスを発生させ、以下のようにLED1及び
LED2を点灯させる。
【0073】まず、同軸落射照明用のLED1を点灯さ
せる点灯パルスを発生させ(図6(b)参照)、この点
灯パルスの発生に同期して同軸落射照明によるA面の画
像を取得し(図6(e)参照)、このA面の画像をディ
スプレイ21の♯1に表示させる(図6(d)参照)。
せる点灯パルスを発生させ(図6(b)参照)、この点
灯パルスの発生に同期して同軸落射照明によるA面の画
像を取得し(図6(e)参照)、このA面の画像をディ
スプレイ21の♯1に表示させる(図6(d)参照)。
【0074】予め設定した時間経過後、暗視野照明用の
LED2を点灯させる点灯パルスを発生させ(図6
(c)参照)、暗視野照明によるA面の画像を取得し
(図6(e)参照)、このA面の画像をディスプレイ2
1の♯4に表示させる(図6(d)参照)。
LED2を点灯させる点灯パルスを発生させ(図6
(c)参照)、暗視野照明によるA面の画像を取得し
(図6(e)参照)、このA面の画像をディスプレイ2
1の♯4に表示させる(図6(d)参照)。
【0075】その後、図6(f)に示すようにサイクル
を終了させるパルスを発生させ、プリズム5を90°回
転させる。
を終了させるパルスを発生させ、プリズム5を90°回
転させる。
【0076】この動作を3回繰返してディスプレイ21
の♯1〜♯6にA面〜D面の画像を表示させる。
の♯1〜♯6にA面〜D面の画像を表示させる。
【0077】図7はプリズムの接合面の欠陥検査時にお
ける光源制御部の動作を示すタイムチャートである。
ける光源制御部の動作を示すタイムチャートである。
【0078】プリズムの表面の欠陥を検査した後、図7
(a)に示すようにサイクルをスタートさせるパルスを
発生させ、LED2を点灯させる。
(a)に示すようにサイクルをスタートさせるパルスを
発生させ、LED2を点灯させる。
【0079】まず、暗視野照明用のLED2を点灯させ
る点灯パルスを発生させ(図7(b)参照)、この点灯
パルスの発生に同期して暗視野照明によるD面の画像を
取得し(図7(d)参照)、このD面の画像をディスプ
レイ21の♯7に表示させる(図7(c)参照)。
る点灯パルスを発生させ(図7(b)参照)、この点灯
パルスの発生に同期して暗視野照明によるD面の画像を
取得し(図7(d)参照)、このD面の画像をディスプ
レイ21の♯7に表示させる(図7(c)参照)。
【0080】このプリズム検査装置の光源制御部40に
よれば、予め登録されたシーケンスにしたがって最適の
光源及び光量でプリズムを照明することができるため、
検査に適した光源及び光量でプリズム5を照明でき、検
査精度を向上させることができるとともに、光源や光量
の変更に容易に対応することができ、検査時間の短縮を
図ることができる。
よれば、予め登録されたシーケンスにしたがって最適の
光源及び光量でプリズムを照明することができるため、
検査に適した光源及び光量でプリズム5を照明でき、検
査精度を向上させることができるとともに、光源や光量
の変更に容易に対応することができ、検査時間の短縮を
図ることができる。
【0081】次に、検査を行うプリズム5をステージの
中心に位置させるためのセンタ位置補正機構について説
明する。
中心に位置させるためのセンタ位置補正機構について説
明する。
【0082】図8はセンタ位置補正機構のブロック構成
図である。
図である。
【0083】センタ位置補正機構60は、チャック本体
50と、ステージ11を回転させるモータ12と、チャ
ックドライバ61と、モータドライバ62と、制御部1
6とで構成される。
50と、ステージ11を回転させるモータ12と、チャ
ックドライバ61と、モータドライバ62と、制御部1
6とで構成される。
【0084】チャック本体50は、互いに平行な一対の
アーム部51と、アーム51の一端に設けられ、アーム
51を互いに近づける方向及び離れる方向へ駆動する平
行チャックシリンダ52と、アーム51の他端に設けら
れ、ステージ11上に載置された被検査用のプリズム5
を挟むフィンガー部53とを有する。
アーム部51と、アーム51の一端に設けられ、アーム
51を互いに近づける方向及び離れる方向へ駆動する平
行チャックシリンダ52と、アーム51の他端に設けら
れ、ステージ11上に載置された被検査用のプリズム5
を挟むフィンガー部53とを有する。
【0085】フィンガー部53は円柱状であり、その一
端面の中央部に、プリズム5と直接接触しないように凹
部(図示せず)が形成されている。
端面の中央部に、プリズム5と直接接触しないように凹
部(図示せず)が形成されている。
【0086】制御部16は、予めプログラムによって定
められたシーケンスにしたがって信号を出力し、この出
力でチャックドライバ61を働かせて平行チャックシリ
ンダ52を駆動させるとともに、モータドライバ62を
働かせてモータ12を回転させる。
められたシーケンスにしたがって信号を出力し、この出
力でチャックドライバ61を働かせて平行チャックシリ
ンダ52を駆動させるとともに、モータドライバ62を
働かせてモータ12を回転させる。
【0087】次に、図8と図9とを参照してプリズムの
位置補正を説明する。
位置補正を説明する。
【0088】図9はセンタ位置補正機構の作動を説明す
る図である。
る図である。
【0089】ステージ11上にプリズムが載置されたと
き、チャック本体50を保持するXYステージ(図示せ
ず)を移動させ、フィンガー部53をプリズムを挟むこ
とができる位置にする(図9(a)参照)。
き、チャック本体50を保持するXYステージ(図示せ
ず)を移動させ、フィンガー部53をプリズムを挟むこ
とができる位置にする(図9(a)参照)。
【0090】図9(a)において、プリズム5は、X方
向へ0.5mmずれ、Y方向へ0.2mmずれ、ステー
ジ11の中心を通る軸Oに対して5°傾いている。
向へ0.5mmずれ、Y方向へ0.2mmずれ、ステー
ジ11の中心を通る軸Oに対して5°傾いている。
【0091】次に、平行チャックシリンダ52を駆動し
てアーム51を接近させ、フィンガー部53でプリズム
5を挟み、X方向のずれ及び軸Oに対する傾きを補正す
る(図9(b)参照)。
てアーム51を接近させ、フィンガー部53でプリズム
5を挟み、X方向のずれ及び軸Oに対する傾きを補正す
る(図9(b)参照)。
【0092】次に、平行チャックシリンダ52を駆動し
てアーム51を開く(図9(c)参照)。このとき、プ
リズム5の位置ずれはY方向の0.2mmだけである。
てアーム51を開く(図9(c)参照)。このとき、プ
リズム5の位置ずれはY方向の0.2mmだけである。
【0093】次に、モータ12を回転させてプリズム5
を90°回転させる(図9(d)参照)。図9(d)で
は反時計方向へ90°回転させている。その結果、プリ
ズム5はX方向へ0.2mmずれている。
を90°回転させる(図9(d)参照)。図9(d)で
は反時計方向へ90°回転させている。その結果、プリ
ズム5はX方向へ0.2mmずれている。
【0094】次に、平行チャックシリンダ52を駆動し
てアーム51を接近させ、フィンガー部53で5プリズ
ムを挟み、X方向のずれを補正する(図9(e)参
照)。
てアーム51を接近させ、フィンガー部53で5プリズ
ムを挟み、X方向のずれを補正する(図9(e)参
照)。
【0095】次に、平行チャックシリンダ52を駆動し
てアーム51を開く(図9(f)参照)。このとき、プ
リズムの位置ずれは補正されている。
てアーム51を開く(図9(f)参照)。このとき、プ
リズムの位置ずれは補正されている。
【0096】上記補正によってプリズム5がステージ1
1の中心に位置ずれなく載置される。
1の中心に位置ずれなく載置される。
【0097】このセンタ位置補正機構60によれば、検
査後のプリズム5をトレイ(図示せず)に収納すると
き、トレイの向きとプリズム5の向きとを常に一致させ
ることができるため、プリズム5がトレイに収納できず
にトレイから零れ落ちることを防止することができる。
査後のプリズム5をトレイ(図示せず)に収納すると
き、トレイの向きとプリズム5の向きとを常に一致させ
ることができるため、プリズム5がトレイに収納できず
にトレイから零れ落ちることを防止することができる。
【0098】
【発明の効果】以上に説明したように請求項1、2記載
の発明のプリズム検査装置によれば、各面に生じた傷を
客観的に検出することができ、検査精度を向上させるこ
とができるとともに、検査時間の短縮を図ることができ
る。
の発明のプリズム検査装置によれば、各面に生じた傷を
客観的に検出することができ、検査精度を向上させるこ
とができるとともに、検査時間の短縮を図ることができ
る。
【0099】請求項3記載の発明のプリズム検査装置に
よれば、プリズムの面にゴミが付着せず、検査精度が向
上させることができるとともに、ガイド板の制御が不要
になる分だけ検査時間の短縮を図ることができる。
よれば、プリズムの面にゴミが付着せず、検査精度が向
上させることができるとともに、ガイド板の制御が不要
になる分だけ検査時間の短縮を図ることができる。
【0100】請求項4記載の発明のプリズム検査装置に
よれば、検査に適した光源及び光量でプリズムを照明で
き、検査精度を向上させることができるとともに、光源
や光量の変更に容易に対応することができ、検査時間の
短縮を図ることができる。
よれば、検査に適した光源及び光量でプリズムを照明で
き、検査精度を向上させることができるとともに、光源
や光量の変更に容易に対応することができ、検査時間の
短縮を図ることができる。
【図1】図1はこの発明の一実施形態に係るプリズム検
査装置のプリズム位置制御部のブロック構成図である。
査装置のプリズム位置制御部のブロック構成図である。
【図2】図2はプリズム検査装置の検査時における画面
表示部を説明するブロック構成図である。
表示部を説明するブロック構成図である。
【図3】図3はプリズムの検査面を説明する図である。
【図4】図4はプリズムの検査及び検査結果の画面表示
の一例を説明するフローチャートである。
の一例を説明するフローチャートである。
【図5】図5は光源制御部のブロック構成図である。
【図6】図6は光源制御部の動作を示すタイムチャート
である。
である。
【図7】図7は光源制御部の動作を示すタイムチャート
である。
である。
【図8】図8はセンタ位置補正機構のブロック構成図で
ある。
ある。
【図9】図9はセンタ位置補正機構の作動を説明する図
である。
である。
5 プリズム
11 吸着ピンステージ(ステージ)
12 モータ(回転手段)
13 第1のカメラ(第1の撮像手段)
14 第2のカメラ(第2の撮像手段)
16a 検出部(検出手段)
16b プリズム姿勢制御部(プリズム姿勢制御手段)
16c 画像表示制御部(画像表示制御手段)
21 ディスプレイ(表示手段)
40 光源制御部(光源制御手段)
LED1,LED2 光源
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 須田 俊司
埼玉県戸田市本町1−3−3−202 有限
会社マクシス・ワン内
(72)発明者 小林 了
埼玉県戸田市本町1−3−3−202 有限
会社マクシス・ワン内
Fターム(参考) 2F065 AA20 AA37 AA49 BB05 BB22
BB25 CC21 DD06 FF42 FF61
GG07 GG13 HH14 HH16 HH17
JJ03 JJ05 JJ26 NN01 NN20
PP13 QQ00 QQ24 SS02 SS13
TT02
2H052 AC04 AC08 AD21 AF02 AF14
AF21
Claims (4)
- 【請求項1】 プリズムの複数の面を撮像する撮像手段
と、 前記撮像手段で撮像された像を表示する表示手段と、 前記像を前記表示手段の画面上に撮像順に表示させる画
像表示制御手段とを備えていることを特徴とするプリズ
ム検査装置。 - 【請求項2】 プリズムの複数の面を撮像する撮像手段
と、 前記撮像手段で撮像された像を表示する表示手段と、 前記像を前記表示手段の画面上に複数同時に表示させる
画像表示制御手段とを備えていることを特徴とするプリ
ズム検査装置。 - 【請求項3】 プリズムを保持するステージと、 このステージを回転させる回転手段と、 前記プリズムを水平方向から撮像する第1の撮像手段
と、 前記プリズムを垂直方向から撮像する第2の撮像手段
と、 前記第2の撮像手段で撮像した画像と予め登録させてお
いた基準画像とのずれ量を検出する検出手段と、 前記検出手段の検出結果に基いて、前記第1の撮像手段
の光軸が前記プリズムの1つの面に対して直角になるよ
うに前記回転手段を駆動するプリズム姿勢制御手段とを
備えていることを特徴とするプリズム検査装置。 - 【請求項4】 前記プリズムを照明するための複数の観
察用光源と、 予め登録されたシーケンスにしたがって前記複数の観察
用光源を駆動する光源制御手段とを備えていることを特
徴とする請求項3記載のプリズム検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001315599A JP2003121757A (ja) | 2001-10-12 | 2001-10-12 | プリズム検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001315599A JP2003121757A (ja) | 2001-10-12 | 2001-10-12 | プリズム検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003121757A true JP2003121757A (ja) | 2003-04-23 |
Family
ID=19133739
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001315599A Withdrawn JP2003121757A (ja) | 2001-10-12 | 2001-10-12 | プリズム検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003121757A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006323075A (ja) * | 2005-05-18 | 2006-11-30 | Olympus Corp | 顕微鏡システム |
CN104024835A (zh) * | 2011-11-17 | 2014-09-03 | 东丽工程株式会社 | 自动外观检查装置 |
-
2001
- 2001-10-12 JP JP2001315599A patent/JP2003121757A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006323075A (ja) * | 2005-05-18 | 2006-11-30 | Olympus Corp | 顕微鏡システム |
CN104024835A (zh) * | 2011-11-17 | 2014-09-03 | 东丽工程株式会社 | 自动外观检查装置 |
CN104024835B (zh) * | 2011-11-17 | 2016-02-24 | 东丽工程株式会社 | 自动外观检查装置 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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