JP2003121676A - 光ファイバアレイ、光ファイバ位置決め方法及び光ファイバ位置決め板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ファイバホルダの一端において高精度且つ
簡単に光ファイバの位置を決定する。 【解決手段】 光ファイバ位置決め板１２Ａは、光ファ
イバホルダ１０の保持孔Ｊ_１１〜Ｊ_８１に対応する位置
決め孔Ｈ_１１〜Ｈ_８１を有するように薄膜プロセス等に
より形成され、同様にして位置決め板１２Ｂも形成され
る。各位置決め孔は、その一端から他端に進むにつれて
サイズが増大するように形成される。位置決め板１２Ａ
及び１２Ｂをホルダ１０の一端及び他端にそれぞれ装着
する。光ファイバＦ_１１〜Ｆ_８１を位置決め孔Ｋ_１１〜
Ｋ_８１を介して保持孔Ｊ_１１〜Ｊ _８１及び位置決め孔Ｈ
_１１〜Ｈ_８１に挿通して接着層１６で固定する。光ファ
イバＦ_１１〜Ｆ_８１の固定は、接着層１６の代りに位置
決め板１２Ａ側に設けた接着層又は固定層を用いても達
成できる。固定層は、メッキ処理により形成した後、研
磨処理により平坦化する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、光ファイバを用
いた光伝送路形成技術に関し、特に光ファイバアレイ
と、この光ファイバアレイの製造に使用する光ファイバ
位置決め方法と、この方法の実施に使用する光ファイバ
位置決め板とに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、２次元光ファイバアレイとして
は、図２６に示すものが知られている（例えば、特開平
１０−２６８１４５号公報参照）。

【０００３】図２６に示す２次元光ファイバアレイで
は、セラミクス板１ａにレーザ加工等の精密加工により
孔Ｈ_１，Ｈ_２，Ｈ_３…を行列状に形成すると共に、同様
にして孔を形成したセラミクス板１ｂ，１ｃ…を用意す
る。Ｈ_１等の複数の孔にガイド線を通すことによりセラ
ミクス板１ａ，１ｂ，１ｃ…を孔位置を合わせて積層
し、固定する。孔からガイド線を抜き取った後、孔
Ｈ_１，Ｈ_２，Ｈ_３…に光ファイバ２ａ，２ｂ，２ｃ…を
挿通し、固定する。セラミクス板積層体の端面を研磨し
て光ファイバ２ａ，２ｂ，２ｃ…の端部を揃える。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来技術によ
ると、複数の光ファイバを２次元的に高精度に配置可能
である。しかしながら、多数のセラミクス板間で多数の
孔の位置を合わせるのは精密加工を用いるにしても容易
でなく、しかもセラミクス板積層体の多数の孔に光ファ
イバを挿通するのは容易でない。従って、製作に困難を
伴うという問題点がある。

【０００５】この発明の目的は、光ファイバホルダの一
端において高精度且つ簡単に光ファイバの位置を決定す
ることができる新規な光ファイバアレイ、光ファイバ位
置決め方法及び光ファイバ位置決め板を提供することに
ある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明に係る第１の光
ファイバアレイは、位置決め対象としての１又は複数の
光ファイバと、前記位置決め対象としての各光ファイバ
に対応する光ファイバ保持孔を有する光ファイバホルダ
であってその一端から他端に貫通するように各光ファイ
バ保持孔が形成されているものと、前記光ファイバホル
ダの各光ファイバ保持孔に対応した光ファイバ位置決め
孔が一方の主面から他方の主面に貫通し且つ該他方の主
面に近づくにつれてサイズを増大するように形成された
位置決め板であって該他方の主面にて各光ファイバ位置
決め孔を前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保
持孔に連通させるようにして前記光ファイバホルダの一
端に装着されたものと、前記光ファイバホルダの一端に
前記位置決め板を装着し且つ各光ファイバを前記光ファ
イバホルダの対応する光ファイバ保持孔と前記位置決め
板の対応する光ファイバ位置決め孔とに挿通した状態に
おいて前記光ファイバを前記位置決め板に固定する固定
手段とを備えたものである。ここで、孔のサイズとは、
孔の直径、孔の一辺の寸法等をいう。

【０００７】第１の光ファイバアレイは、後述する第１
の光ファイバ位置決め方法を用いて簡単且つ高精度に製
作可能である。

【０００８】この発明に係る第１の光ファイバ位置決め
方法は、位置決め対象としての１又は複数の光ファイバ
と、前記位置決め対象としての各光ファイバに対応する
光ファイバ保持孔を有する光ファイバホルダであってそ
の一端から他端に貫通するように各光ファイバ保持孔が
形成されているものと、前記光ファイバホルダの各光フ
ァイバ保持孔に対応した光ファイバ位置決め孔を有する
位置決め板であってその一方の主面から他方の主面に貫
通し且つ該他方の主面に近づくにつれてサイズを増大す
るように各光ファイバ位置決め孔が形成されているもの
とを用意するステップと、前記位置決め板の他方の主面
にて前記位置決め板の各光ファイバ位置決め孔が前記光
ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に連通する
ように前記位置決め板を前記光ファイバホルダの一端に
装着するステップと、前記光ファイバホルダの一端に前
記位置決め板を装着した状態において各光ファイバを前
記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔を介し
て前記位置決め板の対応する光ファイバ位置決め孔に挿
通するステップとを含むものである。

【０００９】第１の光ファイバ位置決め方法によれば、
光ファイバホルダの一端に位置決め板が装着され、各光
ファイバは、対応する光ファイバ保持孔を介して対応す
る光ファイバ位置決め孔に挿通される。位置決め板は、
薄膜プロセス等により高精度且つ簡単に作成可能であ
り、特に各光ファイバ位置決め孔の位置やサイズ及び光
ファイバ位置決め孔間ピッチは、サブミクロンの精度で
設定することができる。従って、光ファイバホルダの一
端において位置決め板により各光ファイバの先端位置を
高精度に決定することができる。

【００１０】また、位置決め板は、各光ファイバ位置決
め孔のサイズが大きい他方の主面側で光ファイバホルダ
の一端に装着される。このため、各光ファイバは、対応
する光ファイバ位置決め孔にサイズが大きい開口端側か
ら挿通されるようになり、光ファイバの挿通作業が簡単
且つスムーズとなる。その上、位置決め対象としての光
ファイバを別にすれば、部品点数は、光ファイバホルダ
と光ファイバ位置決め板との２つであり、組立作業が簡
単となる。

【００１１】この発明に係る第２の光ファイバアレイ
は、位置決め対象としての１又は複数の光ファイバと、
前記位置決め対象としての各光ファイバに対応する光フ
ァイバ保持孔を有する光ファイバホルダであってその一
端から他端に貫通するように各光ファイバ保持孔が形成
されているものと、前記光ファイバホルダの各光ファイ
バ保持孔に対応した第１の光ファイバ位置決め孔が一方
の主面から他方の主面に貫通し且つ該他方の主面に近づ
くにつれてサイズを増大するように形成された第１の位
置決め板であって該他方の主面にて各第１の光ファイバ
位置決め孔を前記光ファイバホルダの対応する光ファイ
バ保持孔に連通させるようにして前記光ファイバホルダ
の一端に装着されたものと、前記光ファイバホルダの各
光ファイバ保持孔に対応した第２の光ファイバ位置決め
孔が一方の主面から他方の主面に貫通し且つ該他方の主
面に近づくにつれてサイズを増大するように形成された
第２の位置決め板であって該一方の主面にて各第２の光
ファイバ位置決め孔を前記光ファイバホルダの対応する
光ファイバ保持孔に連通させるようにして前記光ファイ
バホルダの他端に装着されたものと、前記光ファイバホ
ルダの一端及び他端にそれぞれ前記第１及び第２の位置
決め板を装着し且つ各光ファイバを前記第２の位置決め
板の対応する第２の光ファイバ位置決め孔と前記光ファ
イバホルダの対応する光ファイバ保持孔と前記第１の位
置決め板の対応する第１の光ファイバ位置決め孔とに挿
通した状態において前記光ファイバを前記第１及び第２
の位置決め板のうち少なくとも一方のものに固定する固
定手段とを備えたものである。

【００１２】第２の光ファイバアレイは、後述する第２
の光ファイバ位置決め方法を用いて簡単且つ高精度に製
作可能である。

【００１３】この発明に係る第２の光ファイバ位置決め
方法は、位置決め対象としての１又は複数の光ファイバ
と、前記位置決め対象としての各光ファイバに対応する
光ファイバ保持孔を有する光ファイバホルダであってそ
の一端から他端に貫通するように各光ファイバ保持孔が
形成されているものと、前記光ファイバホルダの各光フ
ァイバ保持孔に対応した第１の光ファイバ位置決め孔を
有する第１の位置決め板であってその一方の主面から他
方の主面に貫通し且つ該他方の主面に近づくにつれてサ
イズを増大するように各第１の光ファイバ位置決め孔が
形成されているものと、前記光ファイバホルダの各光フ
ァイバ保持孔に対応した第２の光ファイバ位置決め孔を
有する第２の位置決め板であってその一方の主面から他
方の主面に貫通し且つ該他方の主面に近づくにつれてサ
イズを増大するように各第２の光ファイバ位置決め孔が
形成されているものとを用意するステップと、前記第１
の位置決め板の他方の主面にて前記第１の位置決め板の
各第１の光ファイバ位置決め孔が前記光ファイバホルダ
の対応する光ファイバ保持孔に連通するように前記第１
の位置決め板を前記光ファイバホルダの一端に装着する
と共に前記第２の位置決め板の一方の主面にて前記第２
の位置決め板の各第２の光ファイバ位置決め孔が前記光
ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に連通する
ように前記第２の光ファイバ位置決め板を前記光ファイ
バホルダの他端に装着するステップと、前記光ファイバ
ホルダの一端及び他端にそれぞれ前記第１及び第２の位
置決め板を装着した状態において各光ファイバを前記第
２の位置決め板の対応する第２の光ファイバ位置決め孔
から前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔
を介して前記第１の位置決め板の対応する第１の光ファ
イバ位置決め孔に挿通するステップとを含むものであ
る。

【００１４】第２の光ファイバ位置決め方法によれば、
光ファイバホルダの一端及び他端にそれぞれ第１及び第
２の位置決め板が装着され、各光ファイバは、対応する
第２の光ファイバ位置決め孔から対応する光ファイバ保
持孔を介して対応する第１の光ファイバ位置決め孔に挿
通される。第１及び第２の位置決め板は、薄膜プロセス
等により高精度且つ簡単に作成可能であり、特に各光フ
ァイバ位置決め孔の位置やサイズ及び光ファイバ位置決
め孔間ピッチは、サブミクロンの精度で設定することが
できる。また、光ファイバホルダは、第１及び第２の位
置決め板間において光ファイバの直線性又は光ファイバ
間の平行度を確保するのに役立つ。従って、光ファイバ
ホルダの一端において第１の位置決め板により各光ファ
イバの先端位置を高精度に決定することができる。

【００１５】その上、第１の位置決め板は、各第１の光
ファイバ位置決め孔のサイズが大きい他方の主面側で光
ファイバホルダの一端に装着されると共に、第２の位置
決め板は、各第２の光ファイバ位置決め孔のサイズが小
さい一方の主面側で光ファイバホルダの他端に装着され
る。このため、各光ファイバは、対応する第２の光ファ
イバ位置決め孔にサイズが大きい開口端側から挿通され
ると共に対応する第１の光ファイバ位置決め孔にサイズ
が大きい開口端側から挿通されるようになり、光ファイ
バの挿通作業が簡単且つスムーズとなる。さらに、位置
決め対象としての光ファイバを別にすれば、部品点数
は、光ファイバホルダと第１及び第２の光ファイバ位置
決め板との３つであり、組立作業が簡単となる。

【００１６】第２の光ファイバ位置決め方法において、
前記用意するステップでは、前記第２の位置決め板の各
第２の光ファイバ位置決め孔に対応した光ファイバ案内
孔を有する案内板であってその一方の主面から他方の主
面に貫通するように各光ファイバ案内孔が前記第２の位
置決め板の対応する第２の光ファイバ位置決め孔より大
きなサイズで形成されているものを用意し、前記装着す
るステップでは、前記第２の位置決め板の他方の主面に
て前記案内板の各光ファイバ案内孔が前記第２の位置決
め板の対応する第２の光ファイバ位置決め孔に連通する
ように前記案内板を前記第２の位置決め板に装着し、前
記挿通するステップでは、前記案内板を前記第２の位置
決め板に装着した状態において各光ファイバを前記案内
板の対応する光ファイバ案内孔を介して前記第２の位置
決め板の対応する第２の光ファイバ位置決め孔に挿通す
るようにしてもよい。このようにすると、各光ファイバ
は、対応する光ファイバ案内孔により対応する第２の光
ファイバ位置決め孔に案内されるので、光ファイバの挿
通作業が一層容易となる。

【００１７】

【発明の実施の形態】図１は、この発明の一実施形態に
係る２次元光ファイバアレイを示すもので、図１のＡ−
Ａ’線に沿う断面は、図２に示されている。

【００１８】光ファイバホルダ１０は、一例として四角
柱状のもので、ステンレススチール又はインバー等の金
属からなっている。光ファイバホルダ１０には、各々正
方形状の８×８個の光ファイバ保持孔Ｊ_１１〜Ｊ
_８８（図２ではＪ_１１〜Ｊ_８１のみ示し、他は図示を省
略）が実質的に平行な状態でホルダ１０の一端から他端
に貫通するように行列状に形成されている。光ファイバ
ホルダ１０を形成する方法としては、機械加工による切
削方法を用いることができ、光ファイバ間の平行度を１
０秒以下（ホルダ長さを１２ｍｍとし、光ファイバ間ピ
ッチの精度を０．５μｍとして計算）にするように高精
度にホルダ１０を形成可能である。ホルダ１０の構成材
料としては、ステンレススチール等の金属に限らず、ジ
ルコニア等のセラミック、ガラス、石英等を用いてもよ
い。

【００１９】光ファイバ位置決め板１２Ａは、一例とし
て図３に示すように正方形状のもので、Ｎｉ−Ｆｅ合金
等の金属板からなっている。位置決め板１２Ａには、光
ファイバホルダ１０の光ファイバ保持孔Ｊ_１１〜Ｊ_８８
にそれぞれ対応して８×８個の正方形状の光ファイバ位
置決め孔Ｈ_１１〜Ｈ_８８が位置決め板１２Ａの一方の主
面から他方の主面に貫通するように行列状に形成されて
いる。

【００２０】図４は、図３のＢ−Ｂ’線断面を示すもの
である。図４で位置決め孔Ｈ_１１〜Ｈ_１８に関して示す
ように、位置決め孔Ｈ_１１〜Ｈ_８８は、いずれも位置決
め板１２Ａの一方の主面から他方の主面に進むにつれて
サイズが大きくなるように形成されている。位置決め板
１２Ａにおいては、一例として、一辺の長さＷを５．８
ｍｍとし、一方の主面におけるＨ_１１等の位置決め孔の
一辺の長さＬを１２５．５μｍとし、位置決め孔間ピッ
チＰを２５０μｍとし、厚さｔを１０〜８０μｍとする
ことができる。

【００２１】光ファイバ位置決め板１２Ｂは、位置決め
板１２Ａと同様の構成を有するもので、光ファイバホル
ダ１０の光ファイバ保持孔Ｊ_１１〜Ｊ_８８にそれぞれ対
応して８×８個の正方形状の光ファイバ位置決め孔Ｋ
_１１〜Ｋ_８８が位置決め板１２Ｂの一方の主面から他方
の主面に貫通するように行列状に形成されている。位置
決め孔Ｋ_１１〜Ｋ_８８は、いずれも位置決め板１２Ｂの
一方の主面から他方の主面に進むにつれてサイズが大き
くなるように形成されている。

【００２２】位置決め板１２Ａ，１２Ｂは、いずれも図
５〜８に関して後述するような薄膜プロセスにより高精
度且つ簡単に形成可能であり、特に各位置決め孔の位置
やサイズ及び位置決め孔間ピッチは、０．５μｍ等のサ
ブミクロンの精度で設定することができる。

【００２３】２次元光ファイバアレイを製作するに際し
ては、上記したような光ファイバホルダ１０、位置決め
板１２Ａ，１２Ｂを用意すると共に、直径１２５μｍの
光ファイバ（シングルモードファイバ）を６４本用意す
る。そして、光ファイバホルダ１０の一端及び他端に位
置決め板１２Ａ、１２Ｂを接着等の方法によりそれぞれ
装着する。すなわち、位置決め板１２Ａの他方の主面
（位置決め孔のサイズが大きい方の主面）において位置
決め孔Ｈ_１１〜Ｈ_８８が光ファイバホルダ１０の光ファ
イバ保持孔Ｊ_１１〜Ｊ_８８にそれぞれ連通するように位
置決め板１２Ａを光ファイバホルダ１０の一端に装着す
ると共に、位置決め板１２Ｂの一方の主面（位置決め孔
のサイズが小さい方の主面）において位置決め孔Ｋ_１１
〜Ｋ_８８が光ファイバ保持孔Ｊ_１１〜Ｊ_８８にそれぞれ
連通するように位置決め板１２Ｂを光ファイバホルダ１
０の他端に装着する。この結果、図２に示すように例え
ば位置決め孔Ｈ_１１は、サイズが大きい方の開口端で保
持孔Ｊ_１１に連通すると共に、位置決め孔Ｋ_１１は、サ
イズが小さい方の開口端で保持孔Ｊ_１１に連通するよう
になる。なお、位置決め板１２Ａ，１２Ｂの装着は、い
ずれか一方を先に行なうようにしてもよく、あるいは同
時に行なうようにしてもよい。

【００２４】次に、各光ファイバを位置決め板１２Ｂの
対応する位置決め孔から光ファイバホルダ１０の対応す
る光ファイバ保持孔を介して位置決め板１２Ａの対応す
る位置決め孔に挿通する。例えば、図２に示すように光
ファイバＦ_１１を位置決め孔Ｋ_１１から保持孔Ｊ_１１を
介して位置決め孔Ｈ_１１に挿通する。このとき、位置決
め孔Ｋ_１１，Ｈ_１１のいずれについても、サイズが大き
い方の開口端から光ファイバＦ_１１が挿通されるので、
光ファイバＦ_１１を簡単且つスムーズに挿通することが
できる。他の光ファイバＦ_１２〜Ｆ_８８についても、光
ファイバＦ_１１と同様に挿通作業を行なうことができ
る。

【００２５】この後、接着層１６により光ファイバＦ
_１１〜Ｆ_８８を位置決め板１２Ｂに固定する。そして、
位置決め板１２Ａから突出した光ファイバの先端に研磨
処理を施して先端位置を位置決め板１２Ａの平面に揃え
る。なお、位置決め板１２Ａは、研磨仕上げ後残しても
よいし、あるいは光ファイバを保持孔にてホルダ１０に
接着剤で固定すれば位置決め板１２Ａを削り取ってもよ
い。

【００２６】上記した実施形態によれば、光ファイバホ
ルダ１０により位置決め板１２Ａ，１２Ｂ間で光ファイ
バＦ_１１〜Ｆ_８８の直線性又は平行度を高精度に確保し
た状態でホルダ１０の一端において位置決め板１２Ａに
より各光ファイバ先端位置を高精度に決定することがで
きる。また、位置決め板１２Ａ，１２Ｂのいずれについ
ても、各位置決め孔にはサイズが大きい方の開口端から
光ファイバを挿通するので、挿通作業を簡単且つスムー
ズに行なえる。

【００２７】上記した実施形態において、位置決め板１
２Ｂの他方の主面（位置決め孔のサイズが大きい方の主
面）には、図１，２に示すように光ファイバ案内板１４
を設けてもよい。案内板１４は、一例として正方形状の
もので、ステンレススチール等の金属板からなってい
る。案内板１４には、位置決め板１２Ｂの位置決め孔Ｋ
_１１〜Ｋ_８８にそれぞれ対応して８×８個の正方形状の
光ファイバ案内孔Ｇ_１１〜Ｇ_８８（図２ではＧ_１１〜Ｇ
_８１のみ示し、他は図示を省略）が案内板１４の一方の
主面から他方の主面に貫通するように行列状に形成され
ている。案内板１４の各案内孔は、位置決め板１２Ｂの
対応する位置決め孔より大きなサイズを有するように形
成されている。これは、光ファイバの挿通を容易にする
ためである。

【００２８】光ファイバ案内板１４の使用に際しては、
光ファイバホルダ１０の他端に位置決め板１２Ｂを装着
した後（装着する前でも、装着すると同時でも可）、位
置決め板１２Ｂの各位置決め孔に案内板１４の対応する
案内孔が連通するように位置決め板１２Ｂに案内板１４
を装着する。そして、各光ファイバを案内板１４の対応
する案内孔を介して位置決め孔１２Ｂの対応する位置決
め孔に挿通する。この結果、図２に示すように例えば光
ファイバＦ_１１は、位置決め孔Ｋ_１１よりサイズが大き
い案内孔Ｇ_１１から位置決め孔Ｋ_１１のサイズの大きい
開口端を介して位置決め孔Ｋ_１１に挿通されるようにな
り、光ファイバＦ_１１を簡単且つスムーズに挿通するこ
とができる。他の光ファイバＦ_１２〜Ｆ_８８について
も、光ファイバＦ_１１と同様に挿通作業を行なうことが
できる。この後の光ファイバホルダ１０及び位置決め板
１２Ａへの光ファイバ挿通作業は、前述したと同様であ
る。光ファイバＦ_１１〜Ｆ_８８の挿通作業が完了したと
きは、接着層１６により光ファイバＦ_１１〜Ｆ_８８を案
内板１４に固定する。

【００２９】次に、図５〜８を参照して上記した位置決
め板１２Ａ，１２Ｂのような光ファイバ位置決め板の製
法の一例を説明する。

【００３０】図５の工程では、例えばガラス、石英又は
シリコン等からなる基板２０の一方の主面にメッキ下地
層としてＣｕ／Ｃｒ積層（Ｃｒ層にＣｕ層を重ねた積
層）２２をスパッタ法により形成する。Ｃｒ層は、基板
２０に対するＣｕ層の密着性を向上させるためのもの
で、Ｃｒ層及びＣｕ層の厚さは、それぞれ３０ｎｍ及び
３００ｎｍ程度とすることができる。

【００３１】次に、ホトリソグラフィ処理によりＣｕ／
Ｃｒ積層２２の上にレジスト層２４，Ｒ_１〜Ｒ_８を形成
する。レジスト層２４は、所望の光ファイバ位置決め板
の平面パターンに対応した孔２４ａを有するように形成
し、レジスト層Ｒ_１〜Ｒ_８は、いずれも孔２４ａ内にお
いて所望の光ファイバ位置決め孔に対応したパターンを
有し且つ上部から下部に進むにつれてサイズが増大する
ように形成する。ここで、層Ｒ_１〜Ｒ_８のような順テー
パー状のレジスト形状を得るためには、ステッパ（縮小
投影露光装置）を用いた場合、（１）フォーカス位置を
レジスト内に設定する方法、（２）レジスト下部にて露
光量を小さく設定する方法（ポジレジスト用の方法）、
（３）露光マスクにおいて、マスク部の透過率を徐々に
変化させる（レジストの裾にいくに従って透過率を高く
する）方法のうちいずれかの方法を用いることができ
る。

【００３２】図６の工程では、レジスト層２４，Ｒ_１〜
Ｒ_８をマスクとするＮｉ−Ｆｅ合金の選択メッキ処理に
よりＮｉ−Ｆｅ合金層からなる光ファイバ位置決め板１
２を形成する。位置決め板１２の厚さは、１０〜８０μ
ｍ程度にすることができる。

【００３３】図７の工程では、薬液処理等によりレジス
ト層２４、Ｒ_１〜Ｒ_８を除去する。レジスト層Ｒ_１〜Ｒ
_８を除去したため、位置決め板１２には、光ファイバ位
置決め孔Ｓ_１〜Ｓ_８が付与される。各位置決め孔は、対
応するレジスト層が上部から下部に進むにつれてサイズ
が増大するようになっていたため、位置決め板１２の上
面から下面に進むにつれてサイズが増大するように形成
される。

【００３４】図８の工程では、エッチング処理によりＣ
ｕ／Ｃｒ積層２２のうちのＣｕ層を除去して基板２０か
ら位置決め板１２を分離する。基板２０の上面には、Ｃ
ｒ層２２ａが残される。基板２０は、Ｃｒ層２２ａの上
にＣｕ層をスパッタ法で形成することにより反復使用す
ることができる。

【００３５】図９〜１３は、光ファイバ位置決め板の製
法の他の例を示すもので、図５〜８と同様の部分には同
様の符号を付して詳細な説明を省略する。

【００３６】図９の工程では、図５に関して前述したと
同様に基板２０の一方の主面にＣｕ／Ｃｒ積層２２を形
成する。そして、ホトリソグラフィ処理により所望の接
着孔パターンにそれぞれ対応するレジスト層Ｒ_１１〜Ｒ
_１６をＣｕ／Ｃｒ積層２２の上に形成する。

【００３７】次に、図１０の工程では、ホトリソグラフ
ィ処理により所望の位置決め孔パターンにそれぞれ対応
するレジスト層Ｒ_２１〜Ｒ_２６をレジスト層Ｒ_１１〜Ｒ
_１６の上にそれぞれ形成する。

【００３８】図１１の工程では、レジスト層Ｒ_１１〜Ｒ
_１６，Ｒ_２１〜Ｒ_２６をマスクとするＮｉ−Ｆｅ合金の
選択メッキ処理によりＮｉ−Ｆｅ合金層からなる光ファ
イバ位置決め板１２を形成する。このとき、位置決め板
１２は、Ｒ_２１等の各レジスト層の周囲で上方に進むほ
ど各レジスト層から離れるように（上方に進むに従って
サイズが増大する位置決め孔を有するように）形成され
る。

【００３９】図１４は、このときのメッキ層１２の成長
状況をレジスト層Ｒ_１１，Ｒ_２１に関して例示するもの
である。Ｃｕ／Ｃｒ積層２２上においてレジスト層Ｒ
_１１の近傍の点Ｐから見たとき、メッキ層１２の表面に
おける図示の点Ｑ，Ｒは等距離にある。メッキ層１２は
等方的に成長するので、直下にレジスト層Ｒ_１１があっ
てメッキ下地が露呈していない点Ｒでは、メッキ層１２
がＰ点からレジスト層Ｒ _１１を乗り越えて成長する。こ
のため、メッキ層（位置決め板）１２は、各レジスト層
の周囲で上方に進むほど各レジスト層から離れるように
形成される。

【００４０】図１２の工程では、薬液処理等によりレジ
スト層Ｒ_１１〜Ｒ_１６，Ｒ_２１〜Ｒ _２６を除去して位置
決め板１２に光ファイバ位置決め孔Ｓ_１１〜Ｓ_１６及び
接着孔Ｍ_１１〜Ｍ_１６を付与する。この結果、位置決め
板１２においては、一方の主面から他方の主面に貫通し
且つ他方の主面に近づくにつれてサイズを増大するよう
に位置決め孔Ｓ_１１〜Ｓ_１６が形成されると共に、位置
決め孔Ｓ_１１〜Ｓ_１６の小サイズ端にそれぞれ連続して
該小サイズ端よりサイズが大きい接着孔Ｍ_１１〜Ｍ_１６
が形成される。

【００４１】図１３の工程では、図８に関して前述した
と同様にＣｕ／Ｃｒ積層２２のうちのＣｕ層をエッチン
グで除去して基板２０から位置決め板１２を分離する。

【００４２】図１５は、図９〜１３の製法で得られた位
置決め板１２を図１，２に示したような光ファイバホル
ダ１０の一端に装着して光ファイバの位置決めを行なっ
た場合において、光ファイバ端部の固定状況を示すもの
である。

【００４３】光ファイバＦ_１１，Ｆ_１２は、位置決め板
１２の他方の主面（位置決め孔のサイズが大きい方の主
面）側から位置決め孔Ｓ_１１，Ｓ_１２にそれぞれ挿通さ
れ、更に接着孔Ｍ_１１，Ｍ_１２を介して先端が位置決め
板１２の一方の主面から突出するように配置される。こ
のような状態において、接着孔Ｍ_１１，Ｍ_１２内で光フ
ァイバＦ_１１，Ｍ_１２の周囲に接着剤を塗布し、硬化さ
せることにより接着層Ａ_１１，Ａ_１２により光ファイバ
Ｆ_１１，Ｆ_１２を位置決め板１２に固定する。この後、
位置決め板１２の一方の主面に研磨処理を施して光ファ
イバＦ_１１，Ｆ _１２の突出部（破線で示す部分）や接着
層Ａ_１１，Ａ_１２の突出部（図示せず）を除去すること
により位置決め板１２の一方の主面を平坦化する。

【００４４】図１５に示した光ファイバ端部の固定構造
を採用した場合は、図１，２に関して前述した接着層１
６による光ファイバ固定構造を省略してもよく、あるい
は接着層１６による光ファイバ固定構造を併用してもよ
い。

【００４５】図１６〜２２は、光ファイバ位置決め板の
製法の更に他の例を示すもので、図５〜８と同様の部分
には同様の符号を付して詳細な説明を省略する。

【００４６】図１６の工程では、基板２０の一方の主面
にリフトオフ用のレジスト層Ｒ_３１，Ｒ_３２をホトリソ
グラフィ処理により形成する。レジスト層Ｒ_３１，Ｒ
_３２は、いずれも光ファイバ位置決め孔に対応するもの
で、対応する位置決め孔より若干大きいサイズで形成す
る。

【００４７】図１７の工程では、レジスト層Ｒ_３１，Ｒ
_３２を覆って基板２０の一方の主面にＣｕ／Ｃｒ積層２
２をスパッタ法で形成する。このとき、Ｃｒ層及びＣｕ
層の厚さは、それぞれ１５ｎｍ及び２００ｎｍとするこ
とができる。この後、レジスト層Ｒ_３１，Ｒ_３２をその
上のＣｕ／Ｃｒ積層部分と共にリフトオフして基板表面
部分をそれぞれ露呈する孔Ｑ_３１，Ｑ_３２をＣｕ／Ｃｒ
積層２２に形成する。

【００４８】図１８の工程では、孔Ｑ_３１，Ｑ_３２内の
基板表面部分にレジスト層Ｒ_４１，Ｒ_４２をホトリソグ
ラフィ処理により形成する。レジスト層Ｒ_４１，Ｒ_４２
は、いずれも光ファイバ位置決め孔に対応するもので、
対応する位置決め孔に相当するサイズで形成する。

【００４９】図１９には、レジスト層Ｒ_４１，Ｒ_４２を
形成したときの基板２０の上面を示す。図１８，１９に
よれば、レジスト層Ｒ_４１の周囲では孔Ｑ_３１により、
レジスト層Ｒ_４２の周囲では孔Ｑ_３２によりそれぞれ基
板表面部分が円環状に露呈されているのがわかる。

【００５０】図２０の工程では、レジスト層Ｒ_４１，Ｒ
_４２をマスクとするＮｉ−Ｆｅ合金の選択メッキ処理に
よりＮｉ−Ｆｅ合金層からなる光ファイバ位置決め板１
２を形成する。このとき、メッキ下地膜としてのＣｕ／
Ｃｒ積層２２が円環状に欠如しているレジスト層
Ｒ_４１，Ｒ_４２の周辺部では、Ｃｕ／Ｃｒ積層２２の真
上に位置する部分に比べてメッキの成長が遅れるため、
位置決め板１２は、Ｒ_４１等の各レジスト層の周囲で上
方に進むほど各レジスト層から離れるように（上方に進
むに従ってサイズが増大する位置決め孔を有するよう
に）形成される。

【００５１】図２１の工程では、薬液処理によりレジス
ト層Ｒ_４１，Ｒ_４２を除去して位置決め板１２に光ファ
イバ位置決め孔Ｓ_３１，Ｓ_３２を付与する。この結果、
位置決め板１２においては、一方の主面から他方の主面
に貫通し且つ他方の主面に近づくにつれてサイズを増大
するように位置決め孔Ｓ_３１，Ｓ_３２が形成される。

【００５２】図２２の工程では、Ｃｕ／Ｃｒ積層２２の
うちのＣｕ層をエッチングで除去して基板２０から位置
決め板１２を分離する。Ｃｒ層２２ａが基板２０上に残
される。

【００５３】上記した光ファイバ位置決め板の製法によ
れば、光ファイバ位置決め孔Ｓ_１〜Ｓ_８，Ｓ_１１〜Ｓ
_１６，Ｓ_３１，Ｓ_３２の位置やサイズ及び光ファイバ位
置決め孔間ピッチを０．５μｍ等のサブミクロンの精度
で設定することができる。

【００５４】図１６〜２２に関して上記した光ファイバ
イ位置決め板の製法によれば、次の（イ）及び（ロ）の
ような付加的効果が得られる。

【００５５】（イ）図９の工程では、レジスト層Ｒ_１１
〜Ｒ_１６の厚さが２μｍ以上あるため、基板上の凹凸が
大きい。このため、図１０の工程では、レジスト塗布の
平坦性が損なわれやすく、レジスト層Ｒ_２１〜Ｒ_２６の
寸法変動を招きやすい。これに対し、図１７の工程で
は、レジスト層Ｒ_３１，Ｒ_３２を除去すると共にＣｕ／
Ｃｒ積層２２の厚さが２００ｎｍ程度と薄いので，基板
上の凹凸が小さい。このため、図１８の工程では、レジ
スト塗布の均一性が向上し、レジスト層Ｒ_４１，Ｒ_４２
の寸法変動が低減される。従って、位置決め板１２の製
造歩留りが向上する。

【００５６】（ロ）図１１の工程では、レジスト層Ｒ
_２１〜Ｒ_２６の下にレジスト層Ｒ_１１〜Ｒ_１６が存在す
る状態でメッキ処理を行なうので、図１２の工程でレジ
スト除去を行ない且つ図１３の工程でＣｕエッチングを
行なっても、位置決め板１２の接着孔Ｍ_１１〜Ｍ_１６や
位置決め孔Ｓ_１１〜Ｓ_１６にレジストが残り、汚染を招
きやすい。汚染は、光ファイバアレイの組立て時に位置
決め精度の低下を招く。これに対し、図２０の工程で
は、レジスト層Ｒ_４１，Ｒ_４２の下にレジスト層が存在
しない状態でメッキ処理を行なうので、位置決め板１２
に付着して残存するレジスト量が少なくなり、汚染を低
減できる。従って光ファイバアレイの組立て時の位置決
め精度が向上する。

【００５７】上記した光ファイバ位置決め板の製法にお
いて、位置決め板１２としては、位置決め孔Ｓ_１〜
Ｓ_８，Ｓ_１１〜Ｓ_１６，Ｓ_３１，Ｓ_３２が１次元配列を
なすものを例示したが、位置決め孔が２次元配列をなす
ものも上記したと同様にして作成可能である。なお、位
置決め板１２は、いわゆるテーパーエッチングが可能な
選択エッチング処理を用いても作成することができる。

【００５８】図２３は、この発明の他の実施形態に係る
２次元光ファイバアレイの前面構成を示すもので、図２
３のＸ−Ｘ’線に沿う断面を図２４に示す。図２３，２
４において、図１〜４と同様の部分の部分には同様の符
号を付して詳細な説明を省略する。

【００５９】図２３，２４に示す光ファイバアレイは、
４×４本の光ファイバＦ_１１〜Ｆ_{４ ４}を備えたものであ
る。光ファイバホルダ１０は、一例として８ｍｍ角の四
角柱状のもので、１５ｍｍの長さを有する。ホルダ１０
には、光ファイバＦ_１１〜Ｆ _４４をそれぞれ保持するた
めの１６個の保持孔が設けられており、これらの保持孔
のうち４個の保持孔Ｊ_２１〜Ｊ_２４を図２４に示す。Ｊ
_２１等の各保持孔は、延長方向に直交する断面の形状が
円形状である。

【００６０】ホルダ１０には、ガイドピンＰ_１〜Ｐ_４を
それぞれ挿通するためのピン挿通孔Ｂ_１〜Ｂ_４がホルダ
１０の一端から他端に実質的に平行な状態で貫通するよ
うに設けられている。Ｂ_１等の各ピン挿通孔は、延長方
向に直交する断面の形状が円形状である。Ｐ_１等の各ガ
イドピンは、ジルコニア、アルミナ等のセラミックから
なるもので、直径が１ｍｍ程度である。ガイドピンＰ_１
〜Ｐ_４は、位置決め板１２Ａをホルダ１０に位置合せし
て保持するために用いられる。ガイドピンは、図２３に
おいて左右１本ずつとしてもよい。

【００６１】ホルダ１０において、Ｂ_１等の各ピン挿通
孔は、対応するガイドピンの挿通を容易にするため、ホ
ルダ１０の他端側で外方に進むにつれてサイズ（直径）
が増大するようになっている。また、Ｊ_２１等の各保持
孔は、対応する光ファイバの挿通を容易にするため、ホ
ルダ１０の他端側で外方に進むにつれてサイズ（直径）
が増大するようになっている。なお、ホルダ１０の他端
側には、各保持孔のサイズを増大させる代りに図１，２
に示したように位置決め板１２Ｂを設けてもよく、必要
に応じて案内板１４を設けてもよい。この場合、位置決
め板１２Ｂや案内板１４には、Ｂ_１等の各ピン挿通孔に
対応するピン挿通孔を設ける。

【００６２】ホルダ１０の一端には、光ファイバ位置決
め板１２Ａが配置されている。位置決め板１２Ａには、
ホルダ１０の１６個の保持孔にそれぞれ対応する１６個
の光ファイバ位置決め孔が行列状に設けられており、こ
れらの位置決め孔のうち４個の位置決め孔Ｈ_２１〜Ｈ
_２４を図２４に示す。Ｈ_２１等の各位置決め孔は、位置
決め板１２Ａの一方の主面から他方の主面に貫通し且つ
他方の主面に近づくにつれてサイズ（直径）が増大する
ように形成されている。位置決め板１２Ａには、ホルダ
１０の４個のピン挿通孔Ｂ_１〜Ｂ_４にそれぞれ対応する
４個のピン挿通孔Ｃ_１〜Ｃ_４が設けられている。Ｃ_１等
の各ピン挿通孔は、位置決め板１２Ａの一方の主面から
他方の主面に貫通し且つ他方の主面に近づくにつれてサ
イズ（直径）が増大するように形成されている。

【００６３】位置決め板１２Ａは、前述したような薄膜
プロセスにより簡単に且つ精度よく製作可能であり、一
例として、８ｍｍ角の正方形状を有し且つ５０〜１００
μｍの厚さを有するものとすることができる。

【００６４】図２３，２４の光ファイバアレイを組立て
る際には、位置決め板１２Ａの他方の主面（孔Ｃ_１〜Ｃ
_４の大サイズ端側の主面）をホルダ１０の一方の端面
（孔Ｂ _１〜Ｂ_４の小サイズ端側の端面）に対向させるよ
うにして位置決め板１２Ａをホルダ１０の一端に配置し
た状態において、ピン挿通孔Ｂ_１〜Ｂ_４をそれぞれ介し
てピン挿通孔Ｃ_１〜Ｃ_４にガイドピンＰ_１〜Ｐ_４を挿通
する。このとき、各ピン挿通孔には、大サイズ端側から
ガイドピンが挿通されるので、挿通作業が簡単且つスム
ーズとなる。このようにガイドピンＰ_１〜Ｐ_４をピン挿
通孔Ｂ_１〜Ｂ_４をそれぞれ介してピン挿通孔Ｃ_１〜Ｃ_４
に挿通した状態では、Ｈ_２１等の各位置決め孔がＪ_２１
等の対応する保持孔に位置合せされた状態となる。この
ような位置合せ状態において位置決め板１２Ａ及びガイ
ドピンＰ_１〜Ｐ_４をホルダ１０に接着等により装着す
る。一例としてピン挿通孔Ｃ_１〜Ｃ_４の大サイズ端に接
着剤を予め塗布しておき、上記のような位置合せの後、
接着剤を硬化させることで装着を達成することができ
る。Ｐ_１等の各ガイドピンは、図２５に示すように位置
決め板１２Ａから例えば１ｍｍ程度の所定長だけ突出さ
せるようにする。

【００６５】次に、上記のように位置決め板１２Ａ及び
ガイドピンＰ_１〜Ｐ_４をホルダ１０に装着した状態にお
いて、Ｊ_２１等の各保持孔を介してＨ_２１等の対応する
位置決め孔にＦ_２１等の対応する光ファイバを挿通す
る。このとき、各保持孔及び各位置決め孔には、いずれ
も大サイズ端側から光ファイバが挿通されるので、挿通
作業が簡単且つスムーズとなる。Ｆ_２１等の各光ファイ
バは、図２５に示すようにＰ_１等のガイドピンと同様に
位置決め板１２Ａから所定長だけ突出させるようにす
る。

【００６６】次に、上記のように光ファイバＦ_１１〜Ｆ
_４４を挿通した状態のホルダ１０に対して図２５に示す
ように処理規制枠を嵌合により装着する。処理規制枠３
２は、ホルダ１０の一端及びその近傍領域においてメッ
キ処理を規制するためのもので、ホルダ１０の一端部及
び位置決め板１２Ａを取囲み且つ位置決め板１２Ａから
例えば２００μｍ程度突出するように装着される。処理
規制枠３２としては、テフロン（登録商標）又は樹脂等
の非金属材料からなり、１４ｍｍ角の四角筒状で長さ１
０ｍｍのものを用いることができる。

【００６７】一方、ホルダ１０に処理規制枠３２を装着
する前又はした後、ガイドピンＰ_１〜Ｐ_４及び光ファイ
バＦ_１１〜Ｆ_４４（図２５ではＦ_２１〜Ｆ_２４のみ示
す）の突出部には、図２５に示すように光ファイバ位置
決め板３４を嵌合により装着する。位置決め板３４は、
位置決め板１２Ａと同様の構成を有し、同様にして製作
されるもので、ピン挿通孔Ｍ_１〜Ｍ_４は、ピン挿通孔Ｃ
_１〜Ｃ_４にそれぞれ対応し、位置決め孔Ｎ_２１〜Ｎ_２４
は、位置決め孔Ｈ_２１〜Ｈ_２４にそれぞれ対応する。Ｍ
_１等の各ピン挿通孔には、大サイズ端側からガイドピン
を挿通すると共に、Ｎ_２１等の各位置決め孔には、大サ
イズ端側から光ファイバを挿通するので、挿通作業を簡
単且つスムーズに行なえる。

【００６８】処理規制枠３２と位置決め板３４との間の
間隔Ｄは、０．５ｍｍとすることができる。ガイドピン
Ｐ_１〜Ｐ_４及び光ファイバＦ_１１〜Ｆ_４４の突出部に位
置決め板３４を装着した状態では、光ファイバＦ_１１〜
Ｆ_４４は、位置決め板１２Ａ，３４間にて高精度に位置
決めされている。

【００６９】次に、ホルダ１０に処理規制枠３２を装着
すると共にガイドピンＰ_１〜Ｐ_４及び光ファイバＦ_１１
〜Ｆ_４４の突出部に位置決め板３４を装着した状態にお
いて、金属製ホルダ１０に通電してメッキ処理を行な
い、位置決め板１２Ａの一方の主面にメッキ金属（例え
ばＮｉ−Ｆｅ合金）からなる固定層３０を形成する。固
定層３０の厚さＫは、１００μｍ以上で処理規制枠３２
の突出長を越えない厚さとすることができる。

【００７０】メッキ処理の後、処理規制枠３２をホルダ
１０から取外す。そして、必要に応じて位置決め板３４
とガイドピンＰ_１〜Ｐ_４及び光ファイバＦ_１１〜Ｆ_４４
の突出部とを切断等により除去してから固定層３０に研
磨処理を施すことにより図２４に示すように固定層３０
の表面（図２３に示す光ファイバアレイの前面）を平坦
化する。このとき、光ファイバＦ_１１〜Ｆ_４４は、高精
度に位置決めされた状態で固定層３０により位置決め板
１２Ａに固定されているので、研磨量ｋを気にすること
なく、研磨面をどこで止めても、各光ファイバの先端位
置が高精度に維持される。なお、固定層３０は、メッキ
処理の代りに接着剤の硬化処理等によっても作成可能で
ある。

【００７１】図２３，２４に示した光ファイバアレイに
よれば、ホルダ１０の一端部において各光ファイバの先
端位置精度を高く維持した状態で各光ファイバを固定層
３０により位置決め板１２Ａに強固に固定することがで
きる。

【００７２】この発明は、上記した実施形態に限定され
るものではなく、種々の改変形態で実施可能なものであ
る。例えば、次のような変更が可能である。

【００７３】（１）光ファイバホルダ１０の形状は、四
角柱状に限らず、円柱状、多角柱（例えば三角柱、六角
柱）状等であってもよい。

【００７４】（２）光ファイバホルダ１０の保持孔やピ
ン挿通孔、位置決め板１２Ａ，１２Ｂ，１２，３４の位
置決め孔やピン挿通孔及び案内板１４の案内孔やピン挿
通孔の形状は、正方形状や円形状に限らず、多角形（例
えば三角形、平行四辺形、六角形）状等であってもよ
い。

【００７５】（３）この発明は、２次元光ファイバアレ
イに限らず、１次元光ファイバアレイや単芯の光ファイ
バホルダ（光ファイバ１本の位置決め）にも適用可能で
ある。

【００７６】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、光フ
ァイバホルダの一端側にて光ファイバ位置決め板により
各光ファイバの先端位置を高精度に決定するようにした
ので、光ファイバ配置の精度が向上する効果が得られ
る。

【００７７】また、光ファイバホルダの一端側で光ファ
イバ位置決め板の各位置決め孔のサイズを光ファイバの
受入れが容易になるように設定したので、各光ファイバ
を光ファイバホルダの対応する保持孔を介して光ファイ
バ位置決め板の対応する位置決め孔に挿通する作業が簡
単且つスムーズとなり、部品点数が少ないことと相俟っ
て光ファイバアレイの製作が容易となる効果が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の一実施形態に係る２次元光ファイ
バアレイを示す斜視図である。

【図２】 図１のＡ−Ａ’線に沿う断面図である。

【図３】 光ファイバ位置決め板を示す前面図である。

【図４】 図３のＢ−Ｂ’線に沿う断面図である。

【図５】 この発明に係る光ファイバ位置決め板の製法
の一例におけるレジスト層形成工程を示す断面図であ
る。

【図６】 図５の工程に続く選択メッキ工程を示す断面
図である。

【図７】 図６の工程に続くレジスト除去工程を示す断
面図である。

【図８】 図７の工程に続く分離工程を示す断面図であ
る。

【図９】 この発明に係る光ファイバ位置決め板の製法
の他の例におけるレジスト層形成工程を示す断面図であ
る。

【図１０】 図９の工程に続くレジスト層形成工程を示
す断面図である。

【図１１】 図１０の工程に続く選択メッキ工程を示す
断面図である。

【図１２】 図１１の工程に続くレジスト除去工程を示
す断面図である。

【図１３】 図１２の工程に続く分離工程を示す断面図
である。

【図１４】 選択メッキ処理におけるメッキ層の成長状
況を示す断面図である。

【図１５】 図９〜１３の製法で得られた位置決め板を
用いて光ファイバの位置決めを行なった場合において光
ファイバ端部の固定状況を示す断面図である。

【図１６】 この発明に係る光ファイバ位置決め板の更
に他の例におけるレジスト層形成工程を示す断面図であ
る。

【図１７】 図１６の工程に続くスパッタ工程及びリフ
トオフ工程を示す断面図である。

【図１８】 図１７の工程に続くレジスト層形成工程を
示す断面図である。

【図１９】 図１８の基板の上面図である。

【図２０】 図１８の工程に続く選択メッキ工程を示す
断面図である。

【図２１】 図２０の工程に続くレジスト除去工程を示
す断面図である。

【図２２】 図２１の工程に続く分離工程を示す断面図
である。

【図２３】 この発明の他の実施形態に係る２次元光フ
ァイバアレイを示す前面図である。

【図２４】 図２３のＸ−Ｘ’線に沿う断面図である。

【図２５】 図２４の光ファイバアレイにおける固定層
のメッキ状況を示す断面図である。

【図２６】 従来の２次元光ファイバアレイの一例を示
す斜視図である。

【符号の説明】

１０：光ファイバホルダ、１２，１２Ａ，１２Ｂ，３
４：光ファイバ位置決め板、１４：光ファイバ案内板、
１６，Ａ_１１，Ａ_１２：接着層、２０：基板、２２：Ｃ
ｕ／Ｃｒ積層、２２ａ：Ｃｒ層、２４，Ｒ_１〜Ｒ_８，Ｒ
_１１〜Ｒ_１６，Ｒ _２１〜Ｒ_２６，Ｒ_３１，Ｒ_３２，Ｒ
_４１，Ｒ_４２：レジスト層、３０：光ファイバ固定層、
３２：処理規制枠、Ｊ_１１〜Ｊ_８１：保持孔、Ｈ_１１〜
Ｈ_８８，Ｋ_{１ １}〜Ｋ_８８，Ｓ_１〜Ｓ_８，Ｓ_１１〜
Ｓ_１６，Ｓ_３１，Ｓ_３２：位置決め孔、Ｇ_{１ １}〜
Ｇ_８１：案内孔、Ｆ_１１〜Ｆ_８８：光ファイバ、Ｍ_１１
〜Ｍ_１６：接着孔、Ｐ_１〜Ｐ_４：ガイドピン。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】位置決め対象としての１又は複数の光ファ
   イバと、 前記位置決め対象としての各光ファイバに対応する光フ
   ァイバ保持孔を有する光ファイバホルダであってその一
   端から他端に貫通するように各光ファイバ保持孔が形成
   されているものと、 前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔に対応した
   光ファイバ位置決め孔が一方の主面から他方の主面に貫
   通し且つ該他方の主面に近づくにつれてサイズを増大す
   るように形成された位置決め板であって該他方の主面に
   て各光ファイバ位置決め孔を前記光ファイバホルダの対
   応する光ファイバ保持孔に連通させるようにして前記光
   ファイバホルダの一端に装着されたものと、 前記光ファイバホルダの一端に前記位置決め板を装着し
   且つ各光ファイバを前記光ファイバホルダの対応する光
   ファイバ保持孔と前記位置決め板の対応する光ファイバ
   位置決め孔とに挿通した状態において前記光ファイバを
   前記位置決め板に固定する固定手段とを備えた光ファイ
   バアレイ。
2. 【請求項２】位置決め対象としての１又は複数の光ファ
   イバと、前記位置決め対象としての各光ファイバに対応
   する光ファイバ保持孔を有する光ファイバホルダであっ
   てその一端から他端に貫通するように各光ファイバ保持
   孔が形成されているものと、前記光ファイバホルダの各
   光ファイバ保持孔に対応した光ファイバ位置決め孔を有
   する位置決め板であってその一方の主面から他方の主面
   に貫通し且つ該他方の主面に近づくにつれてサイズを増
   大するように各光ファイバ位置決め孔が形成されている
   ものとを用意するステップと、 前記位置決め板の他方の主面にて前記位置決め板の各光
   ファイバ位置決め孔が前記光ファイバホルダの対応する
   光ファイバ保持孔に連通するように前記位置決め板を前
   記光ファイバホルダの一端に装着するステップと、 前記光ファイバホルダの一端に前記位置決め板を装着し
   た状態において各光ファイバを前記光ファイバホルダの
   対応する光ファイバ保持孔を介して前記位置決め板の対
   応する光ファイバ位置決め孔に挿通するステップとを含
   む光ファイバ位置決め方法。
3. 【請求項３】位置決め対象としての１又は複数の光ファ
   イバと、 前記位置決め対象としての各光ファイバに対応する光フ
   ァイバ保持孔を有する光ファイバホルダであってその一
   端から他端に貫通するように各光ファイバ保持孔が形成
   されているものと、 前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔に対応した
   第１の光ファイバ位置決め孔が一方の主面から他方の主
   面に貫通し且つ該他方の主面に近づくにつれてサイズを
   増大するように形成された第１の位置決め板であって該
   他方の主面にて各第１の光ファイバ位置決め孔を前記光
   ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に連通させ
   るようにして前記光ファイバホルダの一端に装着された
   ものと、 前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔に対応した
   第２の光ファイバ位置決め孔が一方の主面から他方の主
   面に貫通し且つ該他方の主面に近づくにつれてサイズを
   増大するように形成された第２の位置決め板であって該
   一方の主面にて各第２の光ファイバ位置決め孔を前記光
   ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に連通させ
   るようにして前記光ファイバホルダの他端に装着された
   ものと、 前記光ファイバホルダの一端及び他端にそれぞれ前記第
   １及び第２の位置決め板を装着し且つ各光ファイバを前
   記第２の位置決め板の対応する第２の光ファイバ位置決
   め孔と前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持
   孔と前記第１の位置決め板の対応する第１の光ファイバ
   位置決め孔とに挿通した状態において前記光ファイバを
   前記第１及び第２の位置決め板のうち少なくとも一方の
   ものに固定する固定手段とを備えた光ファイバアレイ。
4. 【請求項４】位置決め対象としての１又は複数の光ファ
   イバと、前記位置決め対象としての各光ファイバに対応
   する光ファイバ保持孔を有する光ファイバホルダであっ
   てその一端から他端に貫通するように各光ファイバ保持
   孔が形成されているものと、前記光ファイバホルダの各
   光ファイバ保持孔に対応した第１の光ファイバ位置決め
   孔を有する第１の位置決め板であってその一方の主面か
   ら他方の主面に貫通し且つ該他方の主面に近づくにつれ
   てサイズを増大するように各第１の光ファイバ位置決め
   孔が形成されているものと、前記光ファイバホルダの各
   光ファイバ保持孔に対応した第２の光ファイバ位置決め
   孔を有する第２の位置決め板であってその一方の主面か
   ら他方の主面に貫通し且つ該他方の主面に近づくにつれ
   てサイズを増大するように各第２の光ファイバ位置決め
   孔が形成されているものとを用意するステップと、 前記第１の位置決め板の他方の主面にて前記第１の位置
   決め板の各第１の光ファイバ位置決め孔が前記光ファイ
   バホルダの対応する光ファイバ保持孔に連通するように
   前記第１の位置決め板を前記光ファイバホルダの一端に
   装着すると共に前記第２の位置決め板の一方の主面にて
   前記第２の位置決め板の各第２の光ファイバ位置決め孔
   が前記光ファイバホルダの対応する光ファイバ保持孔に
   連通するように前記第２の光ファイバ位置決め板を前記
   光ファイバホルダの他端に装着するステップと、 前記光ファイバホルダの一端及び他端にそれぞれ前記第
   １及び第２の位置決め板を装着した状態において各光フ
   ァイバを前記第２の位置決め板の対応する第２の光ファ
   イバ位置決め孔から前記光ファイバホルダの対応する光
   ファイバ保持孔を介して前記第１の位置決め板の対応す
   る第１の光ファイバ位置決め孔に挿通するステップとを
   含む光ファイバ位置決め方法。
5. 【請求項５】 前記用意するステップでは、前記第２の
   位置決め板の各第２の光ファイバ位置決め孔に対応した
   光ファイバ案内孔を有する案内板であってその一方の主
   面から他方の主面に貫通するように各光ファイバ案内孔
   が前記第２の位置決め板の対応する第２の光ファイバ位
   置決め孔より大きなサイズで形成されているものを用意
   し、前記装着するステップでは、前記第２の位置決め板
   の他方の主面にて前記案内板の各光ファイバ案内孔が前
   記第２の位置決め板の対応する第２の光ファイバ位置決
   め孔に連通するように前記案内板を前記第２の位置決め
   板に装着し、前記挿通するステップでは、前記案内板を
   前記第２の位置決め板に装着した状態において各光ファ
   イバを前記案内板の対応する光ファイバ案内孔を介して
   前記第２の位置決め板の対応する第２の光ファイバ位置
   決め孔に挿通する請求項４記載の光ファイバ位置決め方
   法。
6. 【請求項６】 １又は複数の光ファイバ保持孔を有する
   光ファイバホルダの一端に装着して使用される光ファイ
   バ位置決め板であって、 前記光ファイバホルダの各光ファイバ保持孔に対応した
   光ファイバ位置決め孔を有し、各光ファイバ位置決め孔
   は、前記光ファイバ位置決め板の一方の主面から他方の
   主面に貫通し且つ該他方の主面に近づくにつれてサイズ
   を増大するように形成されていることを特徴とする光フ
   ァイバ位置決め板。